JPH10218361A - ウエハの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハの搬送装置において、ウエハを積層収
容したバケットの水槽内への搬入、水槽内におけるバケ
ットの回転及び移動を、容易に行うことを可能にし、バ
ケットの回転時等にウエハがバケット内から飛び出すお
それを防止する。 【解決手段】 水槽２１内に支持フレーム４５を回転可
能及び移動可能に配設する。多数のウエハ２２をバケッ
ト２３内に積層収容した状態で、水槽２１内の支持フレ
ーム４５上にウエハ２２の積層方向が横向きとなるよう
に搬入する。この状態で、支持フレーム４５上の保持機
構６６により、ウエハ２２をバケット２３内の収容状態
に保持する。その後、支持フレーム４５の回転によりバ
ケット２３を回転させて、ウエハ２２をその積層方向が
縦向きとなるように姿勢変更する。さらに、支持フレー
ム４５の移動によりバケット２３を横方向に移動させ
て、ウエハ２２を水槽２１内の所定の分離位置に配置す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソー装置
により所定の厚さに切断された多数のウエハを、水槽内
に搬入して所定の分離位置に配置するウエハの搬送装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ワイヤソー装置によって切断さ
れた多数のウエハを、水槽内において１枚ずつ分離する
場合には、多数枚のウエハをバケット内に積層収容した
状態で、水槽内の所定の分離位置に配置していた。この
場合、作業者が手作業によって、ウエハを収容したバケ
ットをウエハの積層方向が横向きとなるように水槽内へ
搬入し、その後、バケットを回転させてウエハをその積
層方向が縦向きとなるように姿勢変更し、さらに、バケ
ットを横方向に移動させてウエハを所定の分離位置に配
置していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
ウエハの搬送装置では、ウエハを積層収容したバケット
の水槽内への搬入、水槽内におけるバケットの回転及び
移動を、作業者が手作業で行っていた。このため、ウエ
ハの搬送作業が面倒で手間がかかるとともに、水槽内に
おけるバケットの回転時等に、ウエハがバケット内から
飛び出すおそれがあるという問題があった。

【０００４】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ウエハを積層収容したバケットの水槽内
への搬入、水槽内におけるバケットの回転及び移動を、
作業者の手作業によることなく容易に行うことができる
とともに、バケットの回転時等にウエハがバケット内か
ら飛び出すおそれを防止することができるウエハの搬送
装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、ワイヤソー装置によ
り所定の厚さに切断された多数のウエハを、バケット内
に積層収容した状態で、水槽内にウエハの積層方向が横
向きとなるように搬入し、その後、バケットを回転させ
てウエハをその積層方向が縦向きとなるように姿勢変更
し、さらに、バケットを横方向に移動させてウエハを水
槽内の所定の分離位置に配置するようにしたウエハの搬
送装置であって、前記水槽内にはバケットを支持するた
めの支持フレームを回転可能及び移動可能に配設し、そ
の支持フレームにはウエハをバケット内の収容状態に保
持するための保持機構を設けたものである。

【０００６】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のウエハの搬送装置において、前記水槽上には、ウエ
ハを積層収容したバケットが水槽内の支持フレーム上に
搬入されるとき、保持機構を解除状態に変移させるため
の第１解除機構を設けたものである。

【０００７】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は請求項２に記載のウエハの搬送装置において、前記水
槽上には、ウエハを積層収容したバケットが水槽内にお
いて回転された後に横方向へ移動されるとき、保持機構
を解除状態に変移させるための第２解除機構を設けたも
のである。

【０００８】請求項４に記載の発明では、請求項１〜３
のいずれかに記載のウエハの搬送装置において、保持機
構は、ウエハの積層方向に延びるロッドを含み、そのロ
ッドはウエハを保持する位置と、ウエハを解放する位置
との間を移動可能である。

【０００９】請求項５に記載の発明では、請求項１〜４
のいずれかに記載のウエハの搬送装置において、支持フ
レームは、バケットを掛止して、回転時にバケットの脱
落を防止するための掛止手段を有する。

【００１０】請求項６に記載の発明では、請求項１〜４
のいずれかに記載のウエハの搬送装置において、支持フ
レームの回転を寸動にした。さて、請求項１に記載のウ
エハの搬送装置において、ワイヤソー装置により切断さ
れた多数のウエハを、水槽内において１枚ずつ分離する
場合には、次のように多数のウエハがバケット内に積層
収容された状態で、水槽内の所定の分離位置に配置され
る。すなわち、多数のウエハを収容したバケットが、水
槽内の支持フレーム上にウエハの積層方向を横向きとす
るように搬入される。そして、この状態で支持フレーム
上の保持機構により、ウエハがバケット内から飛び出さ
ないように保持される。

【００１１】その後、支持フレームの回転によりバケッ
トが回転されて、ウエハがその積層方向を縦向きとする
ように姿勢変更される。さらに、支持フレームの移動に
よりバケットが横方向に移動されて、ウエハがその積層
方向を縦向きにしたままの状態で、水槽内の所定の分離
位置に配置される。このため、水槽内でのウエハの搬送
を、作業者の手作業によることなく容易に行うことがで
きるとともに、バケットの回転時等にウエハがバケット
内から飛び出すおそれを防止することができる。

【００１２】請求項２に記載のウエハの搬送装置におい
ては、ウエハを積層収容したバケットが水槽内の支持フ
レーム上に搬入されるとき、第１解除機構により保持機
構が解除状態に変移される。このため、支持フレーム上
の保持機構に干渉することなく、ウエハを収容したバケ
ットを支持フレーム上に容易に搬入することができる。

【００１３】請求項３に記載のウエハの搬送装置におい
ては、ウエハを積層収容したバケットが水槽内において
回転された後に横方向へ移動されるとき、第２解除機構
により保持機構が解除状態に変移される。このため、バ
ケットが水槽内の分離位置に配置された状態で、バケッ
ト内からウエハを容易に取り出すことができる。

【００１４】請求項４に記載のウエハの搬送装置におい
ては、ウエハがロッドにより保持されて、バケットから
の脱落を防止される。請求項５に記載のウエハの搬送装
置においては、バケットはその回転時に、掛止手段によ
り掛止めされて、支持フレームからの脱落を防止され
る。

【００１５】請求項６に記載のウエハの搬送装置におい
ては、バケット回転時に、その回転動作を寸動にするこ
とで、バケット内のウエハの横流れが防止される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図面に基づいて詳細に説明する。図１及び図２に示
すように、水槽２１は上面を開口した四角箱状に形成さ
れている。そして、図示しないワイヤソー装置で所定の
厚さに切断された多数のウエハ２２が、バケット２３内
に積層収容された状態で、この水槽２１内に搬入された
後に、積層方向が縦向きになるように回転されるととも
に、横方向移動されて所定の分離位置に配置される。さ
らに、この分離位置において、ウエハ２２が支持バー２
４の上昇によりバケット２３内からその支持バー２４上
に受け渡されるとともに、保持ロッド２５との係合によ
り所定位置に保持される。この保持ロッド２５はウエハ
２２を保持する位置と、そこから退避する位置との間を
移動される。

【００１７】昇降台２６は前記水槽２１内に昇降可能に
配設され、その上面にはウエハを分離状態で収納するた
めのカセット２７が載置される。そして、この昇降台２
６がモータ２８により昇降機構２９を介して所定高さ位
置に移動されながら、ノズル３０から支持バー２４上の
ウエハ２２のうちの最上部のウエハ２２に水が噴射され
る。これにより、ウエハ２２が１枚ずつ分離されるとと
もに、ガイド板３１に沿って搬送されてカセット２７内
に収納される。

【００１８】図３及び図４に示すように、前記バケット
２３は一対の側板３４を備え、両側板３４間にはウエハ
２２を支持するための一対の支持ロッド３５が架設され
ている。ネジ棒３６は両側板３４間に回転可能に支持さ
れ、その外周面には中央を境にして逆方向のネジ部３６
ａが形成されている。一対のクランプ板３７は両側板３
４の内側に移動可能に配設され、一方のクランプ板３７
はその下部のネジ筒３８を介してネジ棒３６のネジ部３
６ａに螺合されている。そして、図示しないモータにて
ネジ棒３６が回転されることにより、一方のクランプ板
３７が他方のクランプ板３７に対して接離移動されて、
これらの両クランプ板３７間でウエハ２２が挟持または
開放される。

【００１９】各一対の係合突起３９は前記各側板３４の
上端外面に形成され、図示しない作業ロボットのアーム
と係合可能になっている。一対の係合孔４０は一方の側
板３４に形成され、後述する掛止爪５０と係合可能にな
っている。そして、ウエハ２２を積層収容したバケット
２３が、作業ロボットのアームにより水槽２１内に、ウ
エハ２２の積層方向を横向きにした状態で搬入される。

【００２０】図５〜図７に示すように、移動フレーム４
３は下面に取り付けた複数の車輪４４を介して、前記水
槽２１内に移動可能に配設されている。支持フレーム４
５は一対の水平な支軸４６を介して移動フレーム４３上
に回動可能に支持され、その上面にはバケット２３の両
側板３４に係合可能な受け台４７が配設されてる。そし
て、ウエハ２２を積層収容したバケット２３が、水槽２
１内に搬入されて、この支持フレーム４５の受け台４７
上に支持される。

【００２１】図６及び図８に示すように、一対の掛止爪
５０は前記支持フレーム４５の一側縁に回動可能に取り
付けられ、バネ５１によりバケット２３の係合孔４０と
係合する方向に回動付勢されている。そして、バケット
２３が支持フレーム４５の受け台４７上に搬入支持され
たとき、これらの掛止爪５０が係合孔４０に係合して、
バケット２３が支持フレーム４５に対して掛止保持され
る。この掛止爪５０により、バケット２３が支持フレー
ム５５とともに支軸４６を中心に回転しても、バケット
２３の脱落が防止される。また、バケット２３を支持フ
レーム４５上から取り外すときには、図示しないシリン
ダにより連結リンク５２を介して係止爪５０が解放方向
に回動されて、支持フレーム４５に対するバケット２３
の掛止が解放される。

【００２２】図５〜図７に示すように、前記支持フレー
ム４５上に支持されたバケット２３を回転及び移動させ
るための機構は、水槽２１上に配設されている。すなわ
ち、固定フレーム５５は水槽２１の上方に配設され、そ
の前面には一対のガイドレール５６が敷設されている。
移動板５７はガイドレール５６に移動可能に支持され、
その下端が移動フレーム４３に連結されている。そし
て、移動用モータ５８によりボールネジ５９を介して移
動板５７が移動されて、移動フレーム４３が水槽２１内
で横方向に移動される。

【００２３】駆動レバー６０は前記移動板５７の上端に
回動可能に支持され、回動用モータ６１により上方位置
と下方位置とに回動される。従動レバー６２は駆動レバ
ー６０に対応して一方の支軸４６に取り付けられ、連結
ロッド６３を介して駆動レバー６０に連結されている。
そして、支持フレーム４５上にバケット２３が支持され
た状態で、回転用モータ６１により駆動レバー６０が上
方位置から下方位置に回転されたとき、連結ロッド６
３、従動レバー６２及び支軸４６を介して支持フレーム
４５が水平状態から垂直状態に回転される。

【００２４】これにより、バケット２３が同方向に９０
度回転されて、そのバケット２３上のウエハ２２が積層
方向を縦向きとするように姿勢変更される。その後、前
記移動用モータ５８により移動フレーム４３が横方向に
移動され、支持フレーム４５上に支持されたバケット２
３が、ウエハ２２の積層方向を縦向きにしたままの状態
で同方向に移動されて、図１に示す支持バー２４と対応
する分離位置に配置される。

【００２５】図６及び図７に示すように、保持機構６６
は前記支持フレーム４５上に配設され、支持フレーム４
５の水平位置から垂直方向への回転に先立って、ウエハ
２２をバケット２３内の収容状態に保持するようになっ
ている。すなわち、各一対の保持レバー６７は支軸６８
を介して支持フレーム４５の両側に回動可能に支持さ
れ、各保持レバー６７が複数のリンク６９を介して一体
回動可能に連結されている。保持ロッド７０は対応する
保持レバー６７間に架設され、バケット２３上のウエハ
２２の外周上面に接離可能に対応している。

【００２６】バネ７１は前記各保持レバー６７と支持フ
レーム４５との間に張設され、各保持レバー６７を内側
に向かって回動付勢している。この付勢により、通常は
各保持レバー６７が図６に鎖線で示す内側位置に配置さ
れて、両保持ロッド７０がバケット２３上のウエハ２２
の外周上面に圧接され、ウエハ２２がバケット２３上か
ら飛び出さないように保持される。

【００２７】解除ローラ７２はレバー７３を介して、前
記一方の支軸６８に取り付けられている。そして、この
解除ローラ７２が押圧されたとき、各保持レバー６７が
図６に鎖線で示す内側位置から実線で示す外側位置に回
動されて、両保持ロッド７０がウエハ２２の外周上面か
ら離間する解除位置に配置される。

【００２８】図９及び図１１に示すように、第１解除機
構７６は前記水槽２１上に配設され、ウエハ２２を積層
収容したバケット２３が水槽２１内の支持フレーム４５
上に搬入されるとき、解除ローラ７２を押圧して、保持
機構６６を解除状態に変移させるようになっている。す
なわち、解除レバー７７は中間部において水槽２１の一
側内面に回動可能に支持され、その下端には解除ローラ
７２に係合可能な押圧板７８が設けられている。

【００２９】第１シリンダ７９はブラケット８０を介し
て水槽２１の外部上方に配設され、そのピストンロッド
が連結体８１を介して解除レバー７７の上端に連結され
ている。そして、この第１シリンダ７９が没入動作され
たとき、解除レバー７７が図９の時計方向に回動され
て、解除ローラ７２が押圧され、保持機構６６の両保持
ロッド７０が解除位置に配置される。これにより、両保
持ロッド７０に干渉することなく、ウエハ２２を収容し
たバケット２３を支持フレーム４５上に搬入することが
できる。

【００３０】図１０及び図１１に示すように、第２解除
機構８４は前記第１解除機構７６に隣接して分解用水槽
２１上に配設され、ウエハ２２を積層収容したバケット
２３が水槽２１内において積層方向が垂直方向になるよ
うに回転された後に横方向へ移動されるとき、解除ロー
ラ７２を押圧して、保持機構６６を解除状態に変移させ
るようになっている。すなわち、移動板８５はブラケッ
ト８６及び一対のガイドロッド８７を介して、水槽２１
の外部上方に移動可能に配設され、その下端には解除板
８８がバケット２３の移動方向に延長配置されている。

【００３１】第２シリンダ８９は前記ブラケット８６上
に配設され、そのピストンロッドが連結体９０を介して
移動板８５に連結されている。そして、この第２シリン
ダ８９が突出動作されたとき、解除板８８が図１１に実
線で示す不作用位置から鎖線で示す作用位置に移動され
る。この状態で、支持フレーム４５の回転及び水平移動
に伴い、ウエハ２２を積層収容したバケット２３が回転
された後に横方向へ移動されるとき、解除ローラ７２が
解除板８８との係合にて押圧されて、保持機構６６の両
保持ロッド７０が解除位置に配置される。これにより、
両保持ロッド７０に干渉することなく、バケット２３内
からウエハ２２を取り出すことができる。

【００３２】次に、前記のように構成されたウエハの搬
送装置の動作を説明する。さて、このウエハの搬送装置
においては、図示しないワイヤソー装置により所定の厚
さに切断された多数のウエハ２２がバケット２３内に積
層収容され、そのバケット２３が図示しない作業ロボッ
トにより、水槽２１内の支持フレーム４５上に搬入され
る。このとき、図５及び図６に示すように、支持フレー
ム４５が水平状態に回転配置されていて、ウエハ２２は
その積層方向が横向きとなるように搬入支持される。

【００３３】また、この搬入時には第１解除機構７６に
より、支持フレーム４５上の保持機構６６が図６に実線
で示す解除位置に配置されている。このため、ウエハ２
２を収容したバケット２３は、保持機構６６に干渉する
ことなく支持フレーム４５上に搬入支持される。そし
て、バケット２３の搬入が完了すると、掛止爪５０によ
りバケット２３が支持フレーム４５に掛止保持されると
ともに、保持機構６６の保持ロッド７０が図６に鎖線で
示す保持位置に配置されて、ウエハ２２がバケット２３
内の収容状態に保持される。

【００３４】この状態で、回転用モータ６１を間欠駆動
することにより支持フレーム４５が９０度の角度間を寸
動回転されて、バケット２３が同方向に回転され、ウエ
ハ２２がその積層方向を縦向きとするように姿勢変更さ
れる。このとき、保持機構６６によりウエハ２２がバケ
ット２３内の収容状態に保持されているため、バケット
２２の回転途中で、ウエハ２２がバケット２３内から飛
び出すおそれはない。

【００３５】しかも、バケット２３の回転は寸動による
ため、遠心力によるバケット２３内のウエハ２２の横流
れが防止され、ウエハ２２が安定した収容状態で姿勢変
更される。従って、保持機構６６に対してもウエハ２２
による過剰な力が掛からず、これにより保持機構６６の
掛止、解除駆動力も小さくてすむ。

【００３６】その後、移動用モータ５８により支持フレ
ーム４５が移動フレーム４３とともに横方向へ移動さ
れ、バケット２３内に収容されたウエハ２２がその積層
方向を縦向きにしたままの状態で、水槽２１内の所定の
分離位置に配置される。この移動時の終期には第２解除
機構８４により、支持フレーム４５上の保持機構６６が
図１１に示すように解除位置に配置され、保持レバー６
７が開放される。

【００３７】そして、この状態で図１及び図２に示す支
持レバー２４の上昇により、ウエハ２２がバケット２３
内から支持レバー２４上に受け渡されるとともに、保持
ロッド２５が退避位置から保持位置へ回動してきて、ウ
エハ２２はその保持レバーとの係合により所定位置に保
持される。その後、昇降台２６がモータ２８によりウエ
ハ２２の厚さのピッチで段階的に上昇されながら、ノズ
ル３０から支持バー２４上のウエハ２２に水が噴射され
る。これにより、ウエハ２２が分離位置から１枚ずつ分
離されて、カセット２７内に収納される。

【００３８】一方、空のバケット２３を載置した移動フ
レーム４３は前記とは逆順に動作されて、水平方向への
後退に引き続いて復帰回転が行われ、図９に示すよう
に、保持ロッド２５が開放されて、作業ロボットにより
水槽２１から取り出される。

【００３９】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態のウエハの搬送装置においては、水槽
２１内にバケット２３を支持するための支持フレーム４
５が回転可能及び移動可能に配設され、その支持フレー
ム４５にはウエハ２２をバケット２３内の収容状態に保
持するための保持機構６６が設けられている。このた
め、ウエハ２２を積層収容したバケット２３の水槽内２
１への搬入、水槽２１内におけるバケット２３の回転及
び移動を、手作業によることなく容易に行うことができ
る。また、バケット２３の回転時等においては、保持機
構６６によりウエハ２２がバケット２３内の収容状態に
保持されているため、ウエハ２２がバケット２３内から
飛び出すおそれを防止することができる。そして、保持
機構６６はウエハ２２の積層方向に延びる保持ロッド２
５によりウエハ２２を保持するため、簡単な構成で確実
にウエハ２２を保持できる。

【００４０】・ この実施形態のウエハの搬送装置にお
いては、ウエハ２２を積層収容したバケット２３が水槽
２１内の支持フレーム４５上に搬入されるとき、保持機
構６６を解除状態に変移させるための第１解除機構７６
が、水槽２１上に設けられている。このため、支持フレ
ーム４５上の保持機構６６に干渉することなく、ウエハ
２２を収容したバケット２３を支持フレーム４５上に容
易に搬入することができる。

【００４１】・ この実施形態のウエハの搬送装置にお
いては、ウエハ２２を積層収容したバケット２３が水槽
２１内において回転された後に横方向へ移動されると
き、保持機構６６を解除状態に変移させるための第２解
除機構８４が、水槽２１上に設けられている。このた
め、バケット２３が水槽２１内の分離位置に配置された
状態で、バケット２３内からウエハ２２を容易に取り出
すことができる。

【００４２】・ この実施形態のウエハの搬送装置にお
いては、支持フレーム４５の回転時に、掛止爪５０によ
り、支持フレーム４５からのバケット２３の脱落が防止
され、ウエハ２２の搬送作業を円滑に行うことができ
る。

【００４３】・ この実施形態のウエハの搬送装置にお
いては、バケット２３の回転は寸動によるため、遠心力
によるバケット２３内のウエハ２２の横流れが防止さ
れ、ウエハ２２が安定した収容状態で姿勢変更される。
従って、保持機構６６に対してもウエハ２２による過剰
な力が掛からず、これにより保持機構６６の掛止、解除
駆動力を小さくすることができる。

【００４４】なお、前記実施形態は、モータ等の各種の
アクチュエータを別のものに変更すること。例えば、モ
ータをシリンダに、シリンダをソレノイド等に変更した
りする等、各種の変更が可能である。

【００４５】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、ウエハを積層収容したバケットの水槽内へ
の搬入、水槽内におけるバケットの回転及び移動を、手
作業によることなく容易に行うことができるとともに、
バケットの回転時等にウエハがバケット内から飛び出す
おそれを防止することができる。

【００４６】請求項２に記載の発明によれば、支持フレ
ーム上の保持機構に干渉することなく、ウエハを収容し
たバケットを支持フレーム上に容易に搬入することがで
きる。

【００４７】請求項３に記載の発明によれば、バケット
が水槽内の分離位置に配置された状態で、バケット内か
らウエハを容易に取り出すことができる。請求項４の発
明によれば、ウエハの脱落を簡単な構成で容易に行うこ
とができる。

【００４８】請求項５の発明によれば、バケットの脱落
を確実に防止できる。請求項６の発明によれば、保持機
構に対してウエハによる過剰な力が掛からず、これによ
り保持機構の掛止、解除駆動力を小さくすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のウエハの搬送装置の一実施形態を
示す斜視図。

【図２】 ウエハの搬送装置の全体を示す断面図。

【図３】 ウエハを支持するためのバケットを示す部分
破断正面図。

【図４】 そのバケットの側面図。

【図５】 ウエハの回転及び移動機構を拡大して示す要
部正面図。

【図６】 ウエハの保持機構を拡大して示す要部側面
図。

【図７】 図６の保持機構の要部正面図。

【図８】 回転フレームに対するバケットの掛止機構を
示す要部正面図。

【図９】 ウエハの保持機構のための第１解除機構を示
す要部側面図。

【図１０】 ウエハの保持機構のための第２解除機構を
示す要部側面図。

【図１１】 第１解除機構及び第２解除機構を示す要部
平面図。

【符号の説明】

２１…水槽、２２…ウエハ、２３…バケット、３４…側
板、３５…支持ロッド、３７…クランプ板、４０…係合
孔、４３…移動フレーム、４５…支持フレーム、４６…
支軸、５０…掛止爪、５７…移動板、５８…移動用モー
タ、６０…駆動レバー、６１…回転用モータ、６２…従
動レバー、６６…保持機構、６７…保持レバー、７０…
保持ロッド、７２…解除ローラ、７６…第１解除機構、
７７…解除レバー、７９…第１シリンダ、８４…第２解
除機構、８８…解除板、８９…第２シリンダ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の厚さに切断された多数のウエハ
   を、バケット内に積層収容した状態で、水槽内にウエハ
   の積層方向が横向きとなるように搬入し、その後、バケ
   ットを回転させてウエハをその積層方向が縦向きとなる
   ように姿勢変更し、さらに、バケットを横方向に移動さ
   せてウエハを水槽内の所定の分離位置に配置するように
   したウエハの搬送装置であって、 前記水槽内にはバケットを支持するための支持フレーム
   を回転可能及び移動可能に配設し、その支持フレームに
   はウエハをバケット内の収容状態に保持するための保持
   機構を設けたウエハの搬送装置。
2. 【請求項２】 前記水槽上には、ウエハを積層収容した
   バケットが水槽内の支持フレーム上に搬入されるとき、
   保持機構を解除状態に変移させるための第１解除機構を
   設けた請求項１に記載のウエハの搬送装置。
3. 【請求項３】 前記水槽上には、ウエハを積層収容した
   バケットが水槽内において回転された後に横方向へ移動
   されるとき、保持機構を解除状態に変移させるための第
   ２解除機構を設けた請求項１または請求項２に記載のウ
   エハの搬送装置。
4. 【請求項４】 保持機構は、ウエハの積層方向に延びる
   ロッドを含み、そのロッドはウエハを保持する位置と、
   ウエハを解放する位置との間を移動可能である請求項１
   〜３のいずれかに記載のウエハの搬送装置。
5. 【請求項５】 支持フレームは、バケットを掛止して、
   回転時にバケットの脱落を防止するための掛止手段を有
   する請求項１〜４のいずれかに記載のウエハの搬送装
   置。
6. 【請求項６】 支持フレームの回転を寸動にした請求項
   １〜５のいずれかに記載のウエハの搬送装置。