JP2011054245A - 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 - Google Patents
積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011054245A JP2011054245A JP2009203030A JP2009203030A JP2011054245A JP 2011054245 A JP2011054245 A JP 2011054245A JP 2009203030 A JP2009203030 A JP 2009203030A JP 2009203030 A JP2009203030 A JP 2009203030A JP 2011054245 A JP2011054245 A JP 2011054245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- glass substrate
- laminate
- laminated
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G59/00—De-stacking of articles
- B65G59/02—De-stacking from the top of the stack
- B65G59/026—De-stacking from the top of the stack with a stepwise upward movement of the stack
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】積層基板分離収容装置10は、円盤状のガラスからなるガラス基板20を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体30からガラス基板20を1枚ずつ分離・収容するように構成されている。また、積層基板分離収容装置10は、ベース12上に、積層体収納ホルダ40と、基板収容カセット50と、液槽60と、ホルダ駆動部70と、積層基板位置決め部80と、カセット駆動部90と、カセット位置決め部110と、基板押出機構120と、基板受取機構130と、制御装置200とを有する。制御装置200は、予めメモリに格納された各制御プログラムに基づいて各制御処理を行なうホルダ位置制御部210と、カセット位置制御部220と、基板押出制御部230と、基板受取制御部240と、積層基板位置制御部250とを有する。
【選択図】図1
Description
(1)本発明は、ガラス基板を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体から前記ガラス基板を1枚ずつ分離収容する積層基板分離収容装置において、
前記ガラス基板積層体を収納する積層体収納ホルダと、
前記ガラス基板積層体から分離された前記ガラス基板を1枚毎に収容するカセットと、
前記積層体収納ホルダ及び前記カセットが垂直方向に延在する向きで液中に挿入された液槽と、
前記積層体収納ホルダを上下方向に駆動させる積層体駆動部と、
前記積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体の最上段の高さ位置を位置決めする積層基板位置決め部と、
前記カセットを上下方向に駆動させるカセット駆動部と、
前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を1枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに収容させる基板押出機構と、
前記カセットの前記ガラス基板が収容されていない収容部の高さ位置が前記基板押出機構により押し出された前記ガラス基板の高さ位置となるように前記カセット駆動部を制御するカセット位置制御部と、
を有することを特徴とする。
(2)本発明の前記基板押出機構は、
前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板を半径方向に押し出して1枚ずつ側方にスライドさせる押出治具と、
該押出治具を前記ガラス基板積層体の積層方向に対して直交する前記ガラス基板の平面と平行な方向に駆動させる駆動部と、
を有することを特徴とする。
(3)本発明は、前記積層体収納ホルダと前記カセットとの間に、前記基板押出機構により前記ガラス基板積層体から前記ガラス基板を1枚ずつ確実に分離する擦切り治具を設けたことを特徴とする。
(4)本発明は、前記基板押出機構による基板押し出し動作に連動して前記ガラス基板積層体から分離したガラス基板を受け取り、当該ガラス基板を前記カセットの基板収容部に搬送する基板受取機構を有することを特徴とする。
(5)本発明の前記積層基板位置決め部は、
前記ガラス基板積層体に接触する積層基板位置決め部材を先端に有し、該積層基板位置決め部材を上下方向に移動させる積層基板位置決めシリンダと、
該積層基板位置決めシリンダが上下方向に移動した位置を検出する積層基板位置決めセンサと、
前記積層基板位置決めセンサからの検出信号により前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板が所定高さ位置に到達するまで前記積層体駆動部を駆動させる制御手段と、
を有することを特徴とする。
(6)本発明の前記カセット位置制御部は、前記カセットのガラス基板受け取りを行なう収納部の高さ位置が前記積層体収納ホルダの最上段に位置する前記ガラス基板の高さ位置と一致するように前記カセット駆動部を制御することを特徴とする。
(7)本発明の前記基板受取機構は、前記基板押出機構の押し出し動作により前記ガラス基板積層体より分離されたガラス基板を載せる受取治具と、
該受取治具をカセット内に収納するガラス基板の主平面と平行な方向に駆動させる駆動部とを有することを特徴とする。
(8)本発明の前記押出治具は、前記ガラス基板の外周の少なくとも2点に接触する接触部を有する形状に樹脂成型されたことを特徴とする。
(9)本発明の前記積層体収納ホルダは、前記液槽内に縦置きに挿入され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする。
(10)本発明の前記カセットは、前記液槽内に縦置きに挿入され、前記積層体収納ホルダに対向する側に前記ガラス基板を受け入れる基板挿入口を有し、前記基板挿入口と逆側に前記受取治具が挿脱される開口を有する形状に樹脂成型され、または少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする。
(11)本発明の前記擦切り治具は、前記基板押出機構により前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を1枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに搬送する搬送経路に設けられ、上面が前記ガラス基板の搬送をガイドするガイド面となるように樹脂成型されたことを特徴とする。
(12)本発明の前記積層基板位置決め部材は、前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板の上面に接触する接触部を有し、前記接触部が樹脂成型されたことを特徴とする。
(13)本発明の前記受取治具は、前記ガラス基板積層体から分離されて前記擦切り治具の前記ガイド面を通過した前記ガラス基板を受け取る基板受取部を有する形状に成型され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする。
(14)本発明の前記ガラス基板積層体は、前記ガラス基板積層体から分離されるガラス基板を除いて、液槽の液中に浸漬されている状態であることを特徴とする。
(15)本発明の前記カセット駆動部は、前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板が前記カセットに収納されると、当該カセットが液槽の液中に浸漬されるように降下移動し、前記ガラス基板積層体から分離した当該ガラス基板が液中に浸漬されるように前記カセットを駆動することを特徴とする。
(16)本発明は、複数のガラス基板と複数のスペーサとを交互に、または複数のガラス基板を重ね合わせたガラス基板積層体を形成し、該ガラス基板積層体の各ガラス基板の端面の研磨加工を行なった後に前記ガラス基板積層体から前記ガラス基板を分離する工程とを有するガラス基板の製造方法において、(1)乃至(15)のいずれかに記載した積層基板分離収容装置を用いて積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体から最上段の前記ガラス基板を1枚ずつ分離してカセットに収納させることを特徴とする。
(17)本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
12 ベース
20 ガラス基板
30 ガラス基板積層体
40 積層体収納ホルダ
42 円筒状空間
43 基板保持用治具
44 下部開口
45 上部フランジ
46 通路
47 下部フランジ
48 支柱
50 基板収容カセット
52 基板収容部
54 基板挿入部
56 基板受取部挿入部
60、62 液槽
64 ホルダ設置用固定台
70 ホルダ駆動部
72 基板載置部
74 支持アーム
76 垂直アーム
80 積層基板位置決め部
82 積層基板位置決め部材
84 積層基板位置決めシリンダ
86 積層基板位置決めセンサ
88 ブラケット
90 カセット駆動部
92 カセット保持部材
110 カセット位置決め部
120 基板押出機構
122 基板当接部
124 基板押出用シリンダ
130 基板受取機構
132 基板受取部
134 基板受取用シリンダ
140 ホルダ押え部材
150 擦切り治具
200 制御装置
210 ホルダ位置制御部
220 カセット位置制御部
230 基板押出制御部
240 基板受取制御部
250 積層基板位置制御部
Claims (17)
- ガラス基板を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体から前記ガラス基板を1枚ずつ分離収容する積層基板分離収容装置において、
前記ガラス基板積層体を収納する積層体収納ホルダと、
前記ガラス基板積層体から分離された前記ガラス基板を1枚毎に収容するカセットと、
前記積層体収納ホルダ及び前記カセットが垂直方向に延在する向きで液中に挿入された液槽と、
前記積層体収納ホルダを上下方向に駆動させる積層体駆動部と、
前記積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体の最上段の高さ位置を位置決めする積層基板位置決め部と、
前記カセットを上下方向に駆動させるカセット駆動部と、
前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を1枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに収容させる基板押出機構と、
前記カセットの前記ガラス基板が収容されていない収容部の高さ位置が前記基板押出機構により押し出された前記ガラス基板の高さ位置となるように前記カセット駆動部を制御するカセット位置制御部と、
を有することを特徴とする積層基板分離収容装置。 - 前記基板押出機構は、
前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板を半径方向に押し出して1枚ずつ側方にスライドさせる押出治具と、
該押出治具を前記ガラス基板積層体の積層方向に対して直交する前記ガラス基板の平面と平行な方向に駆動させる駆動部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の積層基板分離収容装置。 - 前記積層体収納ホルダと前記カセットとの間に、前記基板押出機構により前記ガラス基板積層体から前記ガラス基板を1枚ずつ確実に分離する擦切り治具を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の積層基板分離収容装置。
- 前記基板押出機構による基板押し出し動作に連動して前記ガラス基板積層体から分離したガラス基板を受け取り、当該ガラス基板を前記カセットの基板収容部に搬送する基板受取機構を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記積層基板位置決め部は、
前記ガラス基板積層体に接触する積層基板位置決め部材を先端に有し、該積層基板位置決め部材を上下方向に移動させる積層基板位置決めシリンダと、
該積層基板位置決めシリンダが上下方向に移動した位置を検出する積層基板位置決めセンサと、
前記積層基板位置決めセンサからの検出信号により前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板が所定高さ位置に到達するまで前記積層体駆動部を駆動させる制御手段と、
を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。 - 前記カセット位置制御部は、前記カセットの基板受け取りを行なう収納部の高さ位置が前記積層体収納ホルダの最上段に位置する前記ガラス基板の高さ位置と一致するように前記カセット駆動部を制御することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記基板受取機構は、前記基板押出機構の押し出し動作により前記ガラス基板積層体より分離されたガラス基板を載せる受取治具と、
該受取治具をカセット内に収納するガラス基板の主平面と平行な方向に駆動させる駆動部とを有することを特徴とする請求項4乃至6のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。 - 前記押出治具は、前記ガラス基板の外周の少なくとも2点に接触する接触部を有する形状に樹脂成型されたことを特徴とする請求項2乃至7のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記積層体収納ホルダは、前記液槽内に縦置きに挿入され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記カセットは、前記液槽内に縦置きに挿入され、前記積層体収納ホルダに対向する側に前記ガラス基板を受け入れる基板挿入口を有し、前記基板挿入口と逆側に前記受取治具が挿脱される開口を有する形状に樹脂成型され、または少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記擦切り治具は、前記基板押出機構により前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を1枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに搬送する搬送経路に設けられ、上面が前記ガラス基板の搬送をガイドするガイド面となるように樹脂成型されたことを特徴とする請求項3乃至10のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記積層基板位置決め部材は、前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板の上面に接触する接触部を有し、前記接触部が樹脂成型されたことを特徴とする請求項5乃至11のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記受取治具は、前記ガラス基板積層体から分離されて前記擦切り治具の前記ガイド面を通過した前記ガラス基板を受け取る基板受取部を有する形状に成型され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする請求項7乃至12のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記ガラス基板積層体は、前記ガラス基板積層体から分離されるガラス基板を除いて、液槽の液中に浸漬されている状態であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 前記カセット駆動部は、前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板が前記カセットに収納されると、当該カセットが液槽の液中に浸漬されるように降下移動し、前記ガラス基板積層体から分離した当該ガラス基板が液中に浸漬されるように前記カセットを駆動することを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の積層基板分離収容装置。
- 複数のガラス基板と複数のスペーサとを交互に、または複数のガラス基板を重ね合わせたガラス基板積層体を形成し、該ガラス基板積層体の各ガラス基板の端面の研磨加工を行なった後に前記ガラス基板積層体から前記ガラス基板を分離する工程とを有するガラス基板の製造方法において、
請求項1乃至15のいずれかに記載した積層基板分離収容装置を用いて積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体から最上段の前記ガラス基板を1枚ずつ分離してカセットに収納させることを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする請求項16に記載のガラス基板の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009203030A JP5347853B2 (ja) | 2009-09-02 | 2009-09-02 | 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 |
US12/873,644 US20110054662A1 (en) | 2009-09-02 | 2010-09-01 | Laminated substrate separating and accommodating device and method of producing glass substrates |
SG201006404-6A SG169319A1 (en) | 2009-09-02 | 2010-09-02 | Stacked substrate separation loading apparatus and method of producing glass substrates |
CN201010273153.5A CN102001524B (zh) | 2009-09-02 | 2010-09-02 | 层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009203030A JP5347853B2 (ja) | 2009-09-02 | 2009-09-02 | 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011054245A true JP2011054245A (ja) | 2011-03-17 |
JP5347853B2 JP5347853B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=43626036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009203030A Expired - Fee Related JP5347853B2 (ja) | 2009-09-02 | 2009-09-02 | 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110054662A1 (ja) |
JP (1) | JP5347853B2 (ja) |
CN (1) | CN102001524B (ja) |
SG (1) | SG169319A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012064295A (ja) * | 2009-11-10 | 2012-03-29 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP5624829B2 (ja) * | 2010-08-17 | 2014-11-12 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012089221A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012099172A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
KR101331067B1 (ko) * | 2012-06-01 | 2013-11-19 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 취성 재료 기판의 수직 공급 로더 컨베이어 장치 |
CN104241186B (zh) * | 2014-09-19 | 2017-09-29 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种晶圆提取装置 |
CN104576030B (zh) * | 2015-02-03 | 2016-12-28 | 太仓益鑫机床有限公司 | 一种磁芯分层机 |
CN104714324A (zh) * | 2015-03-18 | 2015-06-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶显示装置的制作工艺方法 |
KR101941404B1 (ko) * | 2018-04-18 | 2019-01-22 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 처리체 수납 장치와, 처리체 수납 방법 및 이를 사용한 증착 방법 |
CN110405513B (zh) * | 2018-04-28 | 2024-12-31 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 上料设备及cnc加工设备 |
KR102041805B1 (ko) * | 2019-05-14 | 2019-11-27 | 동진이공(주) | 자동차 카페트 보강판용 자동 부착장치 |
CN111112003B (zh) * | 2019-12-31 | 2021-06-25 | 玉环市几偶孵化器有限公司 | 一种板材加工装置及加工方法 |
CN111136528A (zh) * | 2020-01-10 | 2020-05-12 | 石家庄华平轴承设备有限公司 | 一种压缩机叶片夹具的自动上料装置 |
CN111618916A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-09-04 | 深圳市激埃特光电有限公司 | 一种用于内圆切割、外圆切割后分片的分片机 |
CN113042994B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-08-26 | 重庆精鸿益科技股份有限公司 | 电脑硬盘垫圈组装设备及方法 |
CN115533203B (zh) * | 2021-06-30 | 2024-05-14 | 上海茸科新型塑料制造有限公司 | 一种自动切槽装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0563058A (ja) * | 1991-01-10 | 1993-03-12 | Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh | 積重ねたウエーハを自動的に個別化する装置及び方法 |
JPH09148278A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-06 | Nippei Toyama Corp | ウエハの分離搬送装置及び分離搬送方法 |
JPH10114426A (ja) * | 1996-10-11 | 1998-05-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ取出装置 |
JPH10218361A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-18 | Nippei Toyama Corp | ウエハの搬送装置 |
JP2000156396A (ja) * | 1998-06-23 | 2000-06-06 | Nippei Toyama Corp | ウエハ分離搬送装置 |
JP2008159254A (ja) * | 2008-01-28 | 2008-07-10 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
JP2008302448A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Konica Minolta Opto Inc | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 |
JP2009166955A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Mitsubishi Materials Techno Corp | 分離装置及び基板の検査装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3989494A (en) * | 1974-05-08 | 1976-11-02 | Owens-Corning Fiberglas Corporation | Method for making glass fibers |
CN1270948C (zh) * | 2004-03-08 | 2006-08-23 | 友达光电股份有限公司 | 基板输送装置及方法 |
CN1876529B (zh) * | 2006-07-11 | 2010-12-01 | 友达光电股份有限公司 | 玻璃基板移送装置 |
-
2009
- 2009-09-02 JP JP2009203030A patent/JP5347853B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-09-01 US US12/873,644 patent/US20110054662A1/en not_active Abandoned
- 2010-09-02 SG SG201006404-6A patent/SG169319A1/en unknown
- 2010-09-02 CN CN201010273153.5A patent/CN102001524B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0563058A (ja) * | 1991-01-10 | 1993-03-12 | Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh | 積重ねたウエーハを自動的に個別化する装置及び方法 |
JPH09148278A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-06 | Nippei Toyama Corp | ウエハの分離搬送装置及び分離搬送方法 |
JPH10114426A (ja) * | 1996-10-11 | 1998-05-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ取出装置 |
JPH10218361A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-18 | Nippei Toyama Corp | ウエハの搬送装置 |
JP2000156396A (ja) * | 1998-06-23 | 2000-06-06 | Nippei Toyama Corp | ウエハ分離搬送装置 |
JP2008302448A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Konica Minolta Opto Inc | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 |
JP2009166955A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Mitsubishi Materials Techno Corp | 分離装置及び基板の検査装置 |
JP2008159254A (ja) * | 2008-01-28 | 2008-07-10 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5347853B2 (ja) | 2013-11-20 |
US20110054662A1 (en) | 2011-03-03 |
CN102001524B (zh) | 2014-11-12 |
SG169319A1 (en) | 2011-03-30 |
CN102001524A (zh) | 2011-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5347853B2 (ja) | 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 | |
US7811899B2 (en) | Method for laminating substrate and apparatus using the method | |
JP6283573B2 (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
TWI228483B (en) | Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate | |
JP4964070B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
KR20100127713A (ko) | 웨이퍼 마운트 방법과 웨이퍼 마운트 장치 | |
KR102341638B1 (ko) | 박리 방법, 컴퓨터 기억 매체, 박리 장치 및 박리 시스템 | |
TW201423876A (zh) | 半導體晶圓安裝方法及半導體晶圓安裝裝置 | |
WO2010116949A1 (ja) | ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 | |
KR20110023821A (ko) | 보호 테이프 박리 방법 및 그 장치 | |
JP2007281053A (ja) | 薄板収納容器 | |
CN113772410A (zh) | 一种无尘级夹持式载板上板机 | |
JP5457113B2 (ja) | ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 | |
JP2015118719A (ja) | ガラス基板分離装置、ガラス基板分離方法及びガラス基板の製造方法 | |
CN108735918B (zh) | 柔性器件的制造装置及制造方法 | |
CN1887669A (zh) | 玻璃板的解包装系统及其方法 | |
JP5368222B2 (ja) | ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 | |
JP2012129228A (ja) | 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法 | |
JP2011061120A (ja) | ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 | |
JP3963576B2 (ja) | フィルム状部品の積層装置および積層方法 | |
JP4600495B2 (ja) | ウエハ取り出し装置及び半導体装置の製造方法 | |
TWI715727B (zh) | 封裝基板之處置方法 | |
JP4257784B2 (ja) | 薄板供給装置およびそれを用いた薄板供給方法 | |
KR20210145659A (ko) | 불림을 이용한 초박형 유리블록의 박리 방법 | |
CN218490878U (zh) | 一种堆叠上下料装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130805 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |