CN104241186B - 一种晶圆提取装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆提取装置，该装置将一组按垂直于晶舟中的晶圆轴向设置且与晶圆数量、位置分别对应的杠杆安装在中空的晶舟承载平台和晶圆推进操作平台内，并通过各杠杆间独立的转动，带动与杠杆连接的推进杆使之穿过晶舟承载平台的上表面开口垂直移动，从而可将晶舟承载平台上安装的晶舟中对应的晶圆顶起，并使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差。这样，就无须将真空吸笔伸入到二枚相邻晶圆之间,即可实现晶圆的安全提取。因此，本发明避免了在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时触碰到其他晶圆而造成晶圆损伤及污染的问题。

Description

一种晶圆提取装置

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造设备技术领域，更具体地，涉及一种在使用真空吸笔将晶圆从晶舟中取出时的提取装置。

背景技术

在半导体集成电路工艺研发阶段的实验过程中，常需要手动将晶圆从晶舟中取出，以便进行检测、测量、观察等相关的测试工作。

请参阅图1，图1是晶舟的结构示意图。如图1所示，晶舟大致为一盒形，晶舟的内侧相对设有夹持晶圆403的竖直卡槽402，并通过卡槽402固定晶圆403。晶舟通过并列设置的多对卡槽，可放置相应数量的晶圆，例如，通常的晶舟一般可放置25枚晶圆。二对相邻卡槽的间距约在6毫米左右，而晶圆的厚度约在1毫米左右，所有的晶圆通过卡槽有序地放置在晶舟内。在晶舟的底部设有1副支架401，用于支撑晶舟。支架401之间的晶舟底部为开口结构。

当需要将晶圆从晶舟中取出时，一般采用真空吸笔从晶舟内提取晶圆。其提取过程包括：首先，将吸笔从2枚晶圆之间的空隙伸入晶舟中，至待提取晶圆的背面处停留，并保持吸笔与晶圆背面的距离，约为2毫米；接着，将吸笔缓慢靠向晶圆背面，直到触碰到晶圆背面，并通过吸笔笔头上的真空开口牢牢将晶圆吸住；然后，竖直提起吸笔，将晶圆提取并带离晶舟。

在上述提取晶圆的过程中，因为晶圆之间的距离十分窄，且含有真空吸管的吸笔笔头也具有一定的厚度，所以，在吸笔伸入晶舟中的时候，容易发生由于手势不稳而使得吸笔碰触到后面一枚晶圆的正面，造成后枚晶圆的表面污染或划伤，进而影响到晶圆中器件的性能，严重时可能导致晶圆报废。

因此，为了避免在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时发生可能触碰及损伤晶圆的现象，需要设计一种安全的晶圆提取装置。

发明内容

本发明的目的在于为克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆提取装置，通过在所述晶圆提取装置的中空箱体内设置一组与晶舟中晶圆的方向、数量、位置对应的杠杆构成的晶圆推进机构，将所述晶圆提取装置上安装的所述晶舟中对应的晶圆顶起，使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差，处于真空吸笔可安全提取的状态，从而避免了在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时发生触碰及损伤晶圆的现象发生。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种晶圆提取装置，包括：

晶舟承载平台，为中空箱体，其上表面用于安装所述晶舟，并设有连通其中空部的开口；

晶圆推进操作平台，为中空箱体，并与所述承载平台横向连通，所述推进操作平台内设有平行于所述晶舟中的晶圆轴向的一固定轴，所述推进操作平台的表面设有连通其中空部的窗口；

晶圆推进机构，包括数量与所述晶舟中的所述晶圆相等的一组杠杆，各所述杠杆以所述固定轴为转动支点垂直于所述晶舟中的晶圆轴向并列设置，每个杠杆独立绕固定轴转动，各所述杠杆的动力臂由所述推进操作平台的所述窗口穿出，各所述杠杆的阻力臂伸入所述承载平台内，并分别活动连接一推进杆，各所述推进杆由所述承载平台的所述开口并列垂直穿出，可伸入所述晶舟并位于各自对应的所述晶圆的正下方，各所述推进杆与所述开口之间间隙配合；

其中，通过各所述杠杆的动力臂在所述窗口范围内独立转动，可带动与所述阻力臂活动连接的所述推进杆在所述开口内垂直移动，以将所述晶舟中对应的晶圆顶起，并使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差而可提取。

优选的，所述固定轴穿过所述杠杆与其转动连接，并在所述固定轴二侧形成所述杠杆的所述动力臂和所述阻力臂，所述固定轴的二端与所述推进操作平台的侧壁固接。

优选的，所述杠杆的所述动力臂和所述阻力臂之间形成80～150度夹角，所述窗口的开度与所述动力臂的转动角范围相匹配。

优选的，所述杠杆的所述阻力臂设有滑槽，并通过所述滑槽与所述推进杆滑动连接，所述滑槽的长度大于所述推进杆垂直移动时与所述阻力臂之间所需的相对移动距离。

优选的，所述滑槽设有卡口，所述推进杆的下端卡接于所述卡口内。

优选的，所述推进杆位于所述滑槽的所述卡口内的下端具有圆弧面。

优选的，所述推进杆的上端具有与所述晶圆圆周相配合的卡槽。

优选的，所述推进杆的上端设有一水平推进块，所述水平推进块按垂直于晶舟中的所述晶圆轴向水平设置，各所述水平推进块并列位于各自对应的所述晶圆的正下方。

优选的，所述水平推进块的上表面具有与所述晶圆圆周相配合的卡槽。

优选的，所述承载平台的上表面设有用于安装所述晶舟的定位结构。

从上述技术方案可以看出，本发明通过在晶圆提取装置中空的晶舟承载平台和晶圆推进操作平台内，按垂直于晶舟中的晶圆轴向设置与晶圆数量、位置分别对应的一组杠杆，并通过各杠杆间独立的转动，带动与杠杆活动连接的推进杆使之穿过晶舟承载平台的上表面开口垂直移动，从而可将晶舟承载平台上安装的晶舟中对应的晶圆顶起，并使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差。这样，在提取晶圆时就无须将真空吸笔伸入到晶舟内的二枚相邻晶圆之间，即可实现晶圆的安全提取。因此，本发明避免了在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时触碰到其他晶圆而造成晶圆损伤及污染的问题。

附图说明

图1是晶舟的结构示意图；

图2是本发明一实施例中的晶圆提取装置与晶舟的安装位置示意图；

图3是本发明一实施例中的晶舟承载平台的结构示意图；

图4是本发明一实施例中的晶圆推进操作平台的结构示意图；

图5是本发明一实施例中的晶圆推进机构的结构示意图；

图6是本发明一实施例中的晶圆推进机构的杠杆放大结构示意图；

图7是本发明一实施例中的晶圆推进机构的杠杆局部放大结构示意图；

图8是本发明一实施例中的晶圆推进机构的推进杆放大结构示意图；

图9是本发明一实施例中的晶圆推进机构的水平推进块放大结构示意图；

图10是本发明一实施例中的晶圆推进机构的水平推进块的剖面放大结构示意图；

图11是本发明一实施例中的晶圆推进机构的水平推进块与推进杆的连接件放大结构示意图；

图12是本发明一实施例中的晶圆推进机构的动作原理示意图；

图13是本发明一实施例中的晶圆提取装置的工作状态变化示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施例中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及省略简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。

在本实施例中，首先请参阅图2，其显示本发明晶圆提取装置与晶舟的安装位置关系。如图2所示，本发明的晶圆提取装置包括晶舟承载平台1和晶圆推进操作平台2，分别为一个中空箱体，并通过横向拼接在一起形成相互连通的整体。但不限于此，晶舟承载平台1和晶圆推进操作平台2可以在横向分开设置，只要其相对面具有开口，使箱体内安装的晶圆推进机构3(图中显示的是晶圆推进机构3的露出部分，其具体结构详见后文说明)能够在2个箱体内的各自空间正常工作即可。晶舟承载平台1和晶圆推进操作平台2通过横向拼接在一起形成相互连通的整体，可节约装置的整体尺寸。在晶舟承载平台1的上表面安装有晶舟4，晶舟4的朝向与晶舟承载平台1和晶圆推进操作平台2的连接方向相垂直设置(即如图面所示方向设置)。

关于晶舟的结构及其放置的晶圆状态，可参阅图1(图1中的晶舟是图2中晶舟的放大形式)。如图1所示，晶舟大致为一盒形，晶舟的内侧相对设有夹持晶圆403的竖直卡槽402，并通过卡槽402固定晶圆403。晶舟通过并列设置的多对卡槽，可放置相应数量的晶圆，例如，通常的晶舟一般可放置25枚晶圆。二对相邻卡槽的间距约在6毫米左右，而晶圆的厚度约在1毫米左右，所有的晶圆通过卡槽有序地放置在晶舟内。在晶舟的底部设有1副支架401，用于支撑晶舟。支架401的形式例如可为如图1所示的2个平底结构。支架401的2个支撑脚之间的晶舟底部为开口结构，晶舟中竖直放置的晶圆403的最低点位于2个支撑脚的正中位置。

请参阅图3，其显示本发明晶舟承载平台的结构。如图3所示，晶舟承载平台的形式为中空箱体，箱体的上表面用于安装如图1和图2所示的晶舟4。因此，箱体与晶舟4之间的安装配合面应相互匹配，具体是通过定位结构来安装的。按照图1所示的晶舟4底部支架401形态，此定位结构可加工成如图3所示的2个固定槽103，2个固定槽103的间距与晶舟4底部支架401的2个支撑脚的间距对应，槽宽应与支架401的支撑脚宽度相匹配，并避免支架401放入槽103中发生松动。为防止晶舟4沿固定槽103滑动，在固定槽103的2端还各设有挡板101和102，挡板101和102之间的间距与支架401的长度相匹配。

请继续参阅图3。在晶舟承载平台上表面的2个固定槽103之间，还加工有1个开口104，开口104的形状可为一矩形，并沿晶舟承载平台的箱壁垂直向下打通至连通中空箱体内部。开口104以位于2个固定槽103正中间为优选。开口104的长度优选大于晶舟4在晶圆轴向的长度，至少也应大于晶舟中2个最远端晶圆之间的距离。晶舟承载平台的1个侧面不封闭(如图示方位的侧面)，形成侧面开口105。

请参阅图4，其显示本发明晶圆推进操作平台的结构。如图4所示，晶圆推进操作平台的形式同样为中空箱体，并同样有1个侧面不封闭(如图示方位的侧面)，形成侧面开口202，该侧面用来与晶舟承载平台1的开口侧面进行拼接以连通。在晶圆推进操作平台的内部侧壁固定安装有1个圆柱形固定轴203，固定轴203的设置方向与开口侧面平行，也就是固定轴203的设置方向与晶舟4中的晶圆403轴向平行。固定轴203优选安装在晶圆推进操作平台的箱体近下方位置，并与箱体底部留有一定间距。在晶圆推进操作平台的上表面加工有1个矩形窗口201，并连通晶圆推进操作平台的内部中空部分。窗口201的长度及设置方向与图3中晶舟承载平台1上表面的矩形开口104一致。将晶圆推进操作平台与晶舟承载平台1横向拼接并连通，就形成如图2所示的晶圆提取装置的整体外形。

请参阅图5，其显示本发明晶圆推进机构的结构。如图5所示，晶圆推进机构的主体是L形的一组杠杆301，杠杆301的数量与所述晶舟4中的晶圆403数量相等，也就是1副杠杆对应1个晶圆。例如，通常的晶舟一般可放置25枚晶圆，则杠杆的数量对应也为25副设置(图示为5副)。各杠杆301以并列平行地方式转动安装在晶圆推进操作平台2内的固定轴203上，例如可将固定轴203从各杠杆的L形转折角处穿过杠杆进行安装，并保持间隙配合。这样，即形成以固定轴203为转动支点的多副并列平行排列的一组杠杆301，且各杠杆301垂直于所述晶舟4中的晶圆403轴向设置。每个杠杆301可独立地绕固定轴203转动，互不干扰。其中，在作为支点的固定轴203的2侧，杠杆301的L形竖直臂部分构成杠杆301的动力臂3011，L形水平臂部分构成阻力臂3013。杠杆301的动力臂3011和阻力臂3013优选相互垂直形成直角配置。当然，也可形成不同角度的配置形式，例如，可在80～150度的优选范围内任意选择。在满足工作要求及装置、工作空间充裕的情况下，也可以在此角度范围以外配置，例如动力臂和阻力臂可形成直线式配置。

请继续参阅图5。各所述杠杆301的阻力臂3013在安装时伸入到晶舟承载平台1内，其端部应超过晶舟承载平台1上表面开口104的垂直投影位置，并在靠近阻力臂3013近端部的位置分别以活动连接方式垂直安装1个推进杆302。推进杆302的下端在阻力臂3013近自由端部的位置形成活动连接点3016；在推进杆302的顶端还固定安装有1个水平推进块303。水平推进块303按平行于阻力臂3013的方向安装，即以垂直于所述晶舟4中的晶圆403轴向水平设置。水平推进块303、推进杆302、动力臂3011和阻力臂3013在垂直投影上的粗细尺寸优选相等，水平推进块303优选在正中下方位置与推进杆302安装。这样，动力臂3011、阻力臂3013、推进杆302、水平推进块303以垂直共面配置，杠杆301组以与晶舟4中的各晶圆403相同的间距平行、并列排列，形成整个晶圆推进机构。装配时，杠杆301组通过固定轴203安装在晶圆推进操作平台2内，杠杆301的动力臂3011的端部从晶圆推进操作平台2上表面的窗口201伸出，推进杆302从晶舟承载平台1上表面的开口104伸出。

需要说明的是，上述晶圆推进操作平台2上表面的窗口201的开设位置，是与杠杆动力臂3011和阻力臂3013之间的夹角对应的，即如果动力臂和阻力臂之间的夹角大于直角时，窗口201可以开设到晶圆推进操作平台2的侧面，甚至是从晶圆推进操作平台2的上表面一直扩展到侧面，本实施例的图示位置仅限于例举的杠杆动力臂3011和阻力臂3013之间的夹角为直角形式时的配置结构。同时，窗口201的宽度(即开度)应与所述动力臂3011工作时的转动角范围相匹配；长度应保证杠杆301组最外侧2个动力臂3011的活动不受限制。此外，晶舟承载平台1上表面的开口104的宽度与推进杆302之间要形成间隙配合，开口104的宽度不要明显大于推进杆302的杆径，避免推进杆302沿开口104的宽度方向摆动。有鉴于此，在将推进杆302从晶舟承载平台1的开口104穿出时，需要在推进杆302穿过后，再安装推进杆302端部的水平推进块303。

请参阅图6，其显示本发明晶圆推进机构的杠杆放大结构。如图6所示，在L形杠杆的转折点、即动力臂3011、阻力臂3013的交点处加工有1个穿孔3012，用于安装固定轴203。在阻力臂3013的上表面向其内部下方加工出1条滑槽3015，用于与推进杆302进行活动连接。

为了更好地说明滑槽3015的结构，请参阅图7，其显示本发明晶圆推进机构的杠杆局部放大结构。如图7所示，阻力臂3013的滑槽3015口部带有收缩的卡口3014，滑槽3015的截面形状为矩形。当然，也可以加工成例如圆形及其他可实现滑动功能的任意形状，关键是滑槽3015的内壁应具有一定的光洁度，以保证滑动效果。

请参阅图8，其显示本发明晶圆推进机构的推进杆放大结构。如图8所示，在推进杆的近上端侧面加工有1个穿孔3021，作为与水平推进块303之间的安装孔。推进杆的下端加工成球体3022，以具备光滑的圆弧面。将这个具有圆弧面的推进杆下端球体3022放入杠杆阻力臂3013的滑槽3015内，推进杆的杆身向上垂直穿过卡口3014，并通过卡口3014的收缩作用使杠杆阻力臂3013与推进杆形成卡接。当然，推进杆的下端也可以加工成可与滑槽3015配合的其他适用形状。为保证推进杆在滑槽3015中自由滑动，推进杆的杆径与卡口3014的开口间距应保持一定的间隙。同时，为避免推进杆产生相对阻力臂3013的横向摆动，卡口3014与推进杆身的配合部应具备一定的厚度，并控制好配合间隙。滑槽3015的长度应大于推进杆垂直移动时与所述阻力臂3013之间产生相对滑动所需的相对移动距离，并应考虑滑动时的起止点位置，避免推进杆滑出滑槽或因滑槽长度设计不合理，在滑动时受阻，导致推进杆垂直移动障碍。推进杆与杠杆的连接方式也可以采用弹性铰链等现有技术的其他形式，只要保证推进杆在垂直移动时与杠杆之间的相对位移能实现即可。

请参阅图9，其显示本发明晶圆推进机构的水平推进块放大结构。如图9所示，水平推进块的外形为长条矩形，在上端面加工有1条卡槽3031，用于卡住晶舟4中的晶圆403，因此，卡槽3031的开口尺寸应与晶圆403的厚度相匹配。在卡槽3031下方沿水平推进块的长度方向(即与卡槽平行方向)加工有1个穿孔3032，孔径与推进杆302上端部的安装穿孔3021孔径一致，用于与推进杆302进行孔对孔安装。

请参阅图10，其显示本发明晶圆推进机构的水平推进块的剖面放大结构。如图10所示，在水平推进块的底部中间位置加工有1个凹槽3033，凹槽3033的横截面形状与推进杆302的横截面形状相匹配，或至少在穿孔3032方向使水平推进块与推进杆302保持间隙配合，避免将推进杆302上端放入凹槽3033安装后，水平推进块与推进杆302之间发生沿穿孔3032方向的相对位移。需注意的是，推进杆302上端放入凹槽3033后，推进杆302的穿孔3021与水平推进块的穿孔3032应孔对孔对齐，因此，在分别加工穿孔时需保证加工尺寸及位置的配合度。

请参阅图11，其显示本发明晶圆推进机构的水平推进块与推进杆的连接件放大结构。如图11所示，该连接件采用螺杆螺母配合形式，螺杆3035中部为光杆，在端部具有与螺母3034的配合螺纹。在水平推进块303与推进杆302进行安装时，将推进杆302上端插入水平推进块303底部凹槽3033内，并使各自的穿孔3021和3032对齐。然后，将螺杆3035从水平推进块303的穿孔3032的1侧插入，经过推进杆302的穿孔3021、由水平推进块303的穿孔3032另1侧穿出，再用螺母3034锁紧螺杆3035，使水平推进块303与推进杆302连接牢固即可。安装后的水平推进块303以与晶舟4中晶圆403径向方向水平位于对应的晶圆403下方，水平推进块303的卡槽3031与晶圆403位置对准，以便在推进杆302上升时，将晶圆403卡入卡槽3031，约束晶圆403的槽向移动。水平推进块303的加工长度应小于晶舟4支架401的2个支撑脚的间距。并且，水平推进块303的加工长度可大于晶舟承载平台1的开口104宽度，在计算好杠杆301的停止位置(初始位置)时，可使水平推进块303正好搁置在开口104上，以增强杠杆机构的稳定性。

也可以不通过水平推进块303来顶起晶圆403，而直接以推进杆302上端面替代水平推进块303的作用。此时的推进杆302应保证位于晶圆403的正下方，并具有一定的杆径，以避免因位置偏离晶圆403重心或因杆径过小，造成顶起晶圆403时的晶圆滑动及不稳现象。推进杆302的上端面也可像水平推进块303一样采用卡槽形式卡住晶圆，以增强顶起晶圆时的稳定性。

为了进一步说明晶圆推进机构的动作原理，请参阅图12。如图12所示，晶圆推进机构的L形杠杆301通过以固定安装在晶圆推进操作平台2箱体内的固定轴203为转动支点3017而具备杠杆功能。与杠杆阻力臂滑动连接的推进杆302从晶舟承载平台1的开口104垂直穿出，推进杆身与开口104的宽度之间形成间隙配合，以限制推进杆302发生沿开口104宽度方向的摆动，也就是利用晶舟承载平台1的开口104内壁形成对推进杆302的侧向限位3023。同时，杠杆阻力臂滑槽的卡口限制了推进杆302发生沿开口104长度方向的摆动。这样，当对杠杆301的动力臂施加一横向力时，动力臂即绕支点3017(即固定轴203)转动，带动杠杆的阻力臂同步同向转动。以图示为例，当动力臂逆时针方向转动时，阻力臂也同样逆时针方向转动，阻力臂的自由端上升，将与之连接的推进杆302顶起。由于阻力臂是以支点3017为圆心进行圆弧转动，而推进杆302因受侧向限位3023(晶舟承载平台1的开口104宽度方向内壁)的限制，只能发生垂直移动。故在推进杆302与阻力臂的活动连接点处会产生相对位移，在结构上是利用滑槽形式来满足该相对位移，并利用滑槽卡口避免推进杆302脱离阻力臂。因此，当杠杆动力臂逆时针转动时，即可使推进杆302垂直上升，亦带动推进杆302上端安装的水平推进块303的垂直上升。反之，当杠杆动力臂顺时针转动时，推进杆302即垂直下降。

最后通过图13来详细说明本发明晶圆提取装置的工作原理及方法。

请参阅图13，其显示本发明晶圆提取装置的工作状态变化情况。首先，将本发明的晶圆提取装置与晶舟进行安装。将晶舟水平放置在晶舟承载平台上，并通过晶舟承载平台上表面的挡板和固定槽将晶舟固定。在设计时已考虑将晶圆推进机构的各杠杆及推进杆302之间的垂直面间距与晶舟中放置的晶圆间距对应，因此，装置内的晶圆推进机构的推进杆302及推进杆302上安装的水平推进块303与晶舟中放置的对应晶圆处于对准状态，并位于对应晶圆的正下方。

然后，在晶圆推进机构上找到与需要提取的晶圆相对应的一杠杆的动力臂3011，将该动力臂3011往外侧方向扳动(图示为往左)，即从如图所示的A点扳到A’点，使得该杠杆的阻力臂3013围绕着支点固定轴203逆时针旋转，即阻力臂3013的自由端部从B点移动到B’点，也就是阻力臂3013的端部上升了B点与B’点之间的垂直高度差的距离。这时，阻力臂3013靠近端部以滑动方式连接的对应推进杆302即在晶舟承载平台的开口104侧壁的限制下作垂直上升运动，同时，推进杆下端在滑槽内的活动连接点3016将向阻力臂3013端部方向发生一段相对位移。该推进杆302上端安装的水平推进块303也将随着推进杆302垂直向上运动，位置从C点移动到C’点。

在该水平推进块303的位置从C点移动到C’点的过程中，其上方对应的1枚晶圆的下方圆周边部将卡入水平推进块303的卡槽中，并随着水平推进块303的移动而被垂直向上顶起，沿着晶舟自身的晶圆卡槽向上推出，晶圆的顶端位置从D点变换到D’点。D点和D’点两点之间的高度差即为该晶圆与其他晶舟里的晶圆之间的高度差。

此时，即可用真空吸笔将该被顶起的晶圆取出，进行后续对该晶圆的检测、测量、观察等步骤。

当该上述晶圆被取出后，放开对应杠杆的动力臂3011，释放作用在其上的扳动力，推进杆302即可通过自身重力作用下降，使晶圆推进机构的该副杠杆归位。最后，在完成对该被提取晶圆的检测、测量、观察等步骤后，再将该晶圆放回晶舟对应的晶圆卡槽中，结束整个操作过程。接下来，可继续进行其他位置晶圆的提取步骤。

根据本发明的上述实施例，在提取晶圆时无须将真空吸笔伸入到晶舟内的二枚相邻晶圆之间，即可实现晶圆的安全提取。因此，应用本发明可避免在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时触碰到其他晶圆、造成晶圆损伤及污染的问题。

以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆提取装置，其特征在于，包括：

晶舟承载平台，为中空箱体，其上表面用于安装所述晶舟，并设有连通其中空部的开口；

晶圆推进操作平台，为中空箱体，并与所述承载平台横向连通，所述推进操作平台内设有平行于所述晶舟中的晶圆轴向的一固定轴，所述推进操作平台的表面设有连通其中空部的窗口；

晶圆推进机构，包括数量与所述晶舟中的所述晶圆相等的一组杠杆，各所述杠杆以所述固定轴为转动支点垂直于所述晶舟中的晶圆轴向并列设置，每个杠杆独立绕固定轴转动，各所述杠杆的动力臂由所述推进操作平台的所述窗口穿出，各所述杠杆的阻力臂伸入所述承载平台内，并分别活动连接一推进杆，各所述推进杆由所述承载平台的所述开口并列垂直穿出，可伸入所述晶舟并位于各自对应的所述晶圆的正下方，各所述推进杆与所述开口之间间隙配合；

其中，通过各所述杠杆的动力臂在所述窗口范围内独立转动，可带动与所述阻力臂活动连接的所述推进杆在所述开口内垂直移动，以将所述晶舟中对应的晶圆顶起，并使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差而可提取。

2.根据权利要求1所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述固定轴穿过所述杠杆与其转动连接，并在所述固定轴二侧形成所述杠杆的所述动力臂和所述阻力臂，所述固定轴的二端与所述推进操作平台的侧壁固接。

3.根据权利要求1所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述杠杆的所述动力臂和所述阻力臂之间形成80～150度夹角，所述窗口的开度与所述动力臂的转动角范围相匹配。

4.根据权利要求1所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述杠杆的所述阻力臂设有滑槽，并通过所述滑槽与所述推进杆滑动连接，所述滑槽的长度大于所述推进杆垂直移动时与所述阻力臂之间所需的相对移动距离。

5.根据权利要求4所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述滑槽设有卡口，所述推进杆的下端卡接于所述卡口内。

6.根据权利要求5所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述推进杆位于所述滑槽的所述卡口内的下端具有圆弧面。

7.根据权利要求1、4、5或6所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述推进杆的上端具有与所述晶圆圆周相配合的卡槽。

8.根据权利要求1、4、5或6所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述推进杆的上端设有一水平推进块，所述水平推进块按垂直于晶舟中的所述晶圆轴向水平设置，各所述水平推进块并列位于各自对应的所述晶圆的正下方。

9.根据权利要求8所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述水平推进块的上表面具有与所述晶圆圆周相配合的卡槽。

10.根据权利要求1所述的晶圆提取装置，其特征在于，所述承载平台的上表面设有用于安装所述晶舟的定位结构。