CN103887220A - 一种设有过载传感器的晶片机械手 - Google Patents

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陈滨
龚小春
夏金伟
姜北
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Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
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Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
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Abstract

本发明公开了一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台，设置在升降台上的转动台，设置在转动台上的抓取手，以及设置在转动台上并与抓取手的后端固定连接的L型传动臂，该传动臂与抓取手连接的部分处于抓取手的延长线上，还包含设置在转动台上的：传感组件，其设置在L型传动臂的一侧，该传感组件位于抓取手的延长线上，其输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口；支架，所述的L型传动臂与抓取手垂直的部分设置在支架上，当转动台转动时，L型传动臂带动抓取手转动时，L型传动臂在与抓取手垂直方向上沿支架滑动。本发明能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。

Description

一种设有过载传感器的晶片机械手
技术领域
本发明涉及一种自动控制机器人，特别涉及一种设有过载传感器的晶片机械手。
背景技术
现有技术中，晶片机械手采用马达进行驱动，马达能够对晶片机械手进行精确定位，但是缺点是经常需要大修，因此，当晶片机械手撞到东西，严重损坏之后，不得不马上送出国去修理，大大降低了生产效率，大大提高了生产成本。
发明内容
本发明的目的是提供一种设有过载传感器的晶片机械手，能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。
为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：
一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台，设置在升降台上的转动台，设置在转动台上的抓取手，以及设置在转动台上并与抓取手的后端固定连接的L型传动臂，该传动臂与抓取手连接的部分处于抓取手的延长线上，还包含设置在转动台上的：
传感组件，所述的传感组件设置在L型传动臂的一侧，该传感组件位于抓取手的延长线上，所述的传感组件的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口；
支架，所述的L型传动臂与抓取手垂直的部分设置在支架上，当转动台转动时，L型传动臂带动抓取手转动时，L型传动臂在与抓取手垂直方向上沿支架滑动。
所述的传感组件包含依次相连的：弹性元件、触片以及过载传感器，所述的弹性元件设置在L型传动臂的一侧，当L型传动臂转动出现故障时挤压弹性元件，弹性元件推动触片与过载传感器接触。
所述的弹性元件为弹簧。
所述的过载传感器为光电传感器。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：
能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。
附图说明
图1为本发明一种设有过载传感器的晶片机械手的立体图；
图2为本发明一种设有过载传感器的晶片机械手的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。
如图1所示，一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台4，设置在升降台4上的转动台5，设置在转动台5上的抓取手1，以及设置在转动台5上并与抓取手1的后端固定连接的L型传动臂2，该L型传动臂2与抓取手1连接的部分处于抓取手1的延长线上，还包含设置在转动台5上的：传感组件3和支架6。
其中，传感组件3设置在L型传动臂2的一侧，该传感组件3位于抓取手1的延长线上，传感组件3的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口。在本实施例中，该传感组件3包含依次相连的：弹性元件31、触片32以及过载传感器33，其中，弹性元件31设置在传动臂2的一侧，当L型传动臂2转动出现故障时挤压弹性元件31，弹性元件31推动触片32与过载传感器33接触。在本实施例中，过载传感器33选用光电传感器，其采用24V直流电源进行供电，而弹性元件31选用弹簧，可缓冲L型传动臂2挤压传感组件3时的力道，有效保护传感组件3。
L型传动臂2与抓取手1垂直的部分设置在支架6上，当转动台5转动时，传动臂2带动抓取手1转动时，L型传动臂2在与抓取手1垂直方向上沿支架6滑动，当出现故障或者出现碰撞时，L型传动臂2沿支架6滑动可起到缓冲作用，有效保护L型传动臂2。
当使用时，转动台5和升降台4带动L型转动臂2，从而控制抓取手1抓取晶片，当出现故障或者出现碰撞时，L型传动臂2触发传感组件3，过载传感器33触发后，将信号传递至外部的晶片机械手控制器的停止端口，从而控制晶片机械手停机，从而避免继续运行而带来的机械损毁，大大降低了事故率，降低了维修成本。
综上所述，本发明一种设有过载传感器的晶片机械手，能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (4)

1.一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台（4），设置在升降台（4）上的转动台（5），设置在转动台（5）上的抓取手（1），以及设置在转动台（5）上并与抓取手（1）的后端固定连接的L型传动臂（2），该L型传动臂（2）与抓取手（1）连接的部分处于抓取手（1）的延长线上，其特征在于，还包含设置在转动台（5）上的：
传感组件（3），所述的传感组件（3）设置在L型传动臂（2）的一侧，该传感组件（3）位于抓取手（1）的延长线上，所述的传感组件（3）的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口；
支架（6），所述的L型传动臂（2）与抓取手（1）垂直的部分设置在支架（6）上，当转动台（5）转动时，L型传动臂（2）带动抓取手（1）转动时，L型传动臂（2）在与抓取手（1）垂直方向上沿支架（6）滑动。
2.如权利要求1所述的设有过载传感器的晶片机械手，其特征在于，所述的传感组件（3）包含依次相连的：弹性元件（31）、触片（32）以及过载传感器（33），所述的弹性元件（31）设置在L型传动臂（2）的一侧，当L型传动臂（2）转动出现故障时挤压弹性元件（31），弹性元件（31）推动触片（32）与过载传感器（33）接触。
3.如权利要求2所述的设有过载传感器的晶片机械手，其特征在于，所述的弹性元件（31）为弹簧。
4.如权利要求2所述的设有过载传感器的晶片机械手，其特征在于，所述的过载传感器（33）为光电传感器。
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