CN103887220A - 一种设有过载传感器的晶片机械手 - Google Patents

一种设有过载传感器的晶片机械手 Download PDF

Info

Publication number
CN103887220A
CN103887220A CN201210557506.3A CN201210557506A CN103887220A CN 103887220 A CN103887220 A CN 103887220A CN 201210557506 A CN201210557506 A CN 201210557506A CN 103887220 A CN103887220 A CN 103887220A
Authority
CN
China
Prior art keywords
transmission arm
hand
sensor
type transmission
wafer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201210557506.3A
Other languages
English (en)
Inventor
陈滨
龚小春
夏金伟
姜北
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Original Assignee
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp filed Critical Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority to CN201210557506.3A priority Critical patent/CN103887220A/zh
Publication of CN103887220A publication Critical patent/CN103887220A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明公开了一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台，设置在升降台上的转动台，设置在转动台上的抓取手，以及设置在转动台上并与抓取手的后端固定连接的L型传动臂，该传动臂与抓取手连接的部分处于抓取手的延长线上，还包含设置在转动台上的：传感组件，其设置在L型传动臂的一侧，该传感组件位于抓取手的延长线上，其输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口；支架，所述的L型传动臂与抓取手垂直的部分设置在支架上，当转动台转动时，L型传动臂带动抓取手转动时，L型传动臂在与抓取手垂直方向上沿支架滑动。本发明能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。

Description

一种设有过载传感器的晶片机械手
技术领域
本发明涉及一种自动控制机器人，特别涉及一种设有过载传感器的晶片机械手。
背景技术
现有技术中，晶片机械手采用马达进行驱动，马达能够对晶片机械手进行精确定位，但是缺点是经常需要大修，因此，当晶片机械手撞到东西，严重损坏之后，不得不马上送出国去修理，大大降低了生产效率，大大提高了生产成本。
发明内容
本发明的目的是提供一种设有过载传感器的晶片机械手，能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。
为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：
一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台，设置在升降台上的转动台，设置在转动台上的抓取手，以及设置在转动台上并与抓取手的后端固定连接的L型传动臂，该传动臂与抓取手连接的部分处于抓取手的延长线上，还包含设置在转动台上的：
传感组件，所述的传感组件设置在L型传动臂的一侧，该传感组件位于抓取手的延长线上，所述的传感组件的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口；
支架，所述的L型传动臂与抓取手垂直的部分设置在支架上，当转动台转动时，L型传动臂带动抓取手转动时，L型传动臂在与抓取手垂直方向上沿支架滑动。
所述的传感组件包含依次相连的：弹性元件、触片以及过载传感器，所述的弹性元件设置在L型传动臂的一侧，当L型传动臂转动出现故障时挤压弹性元件，弹性元件推动触片与过载传感器接触。
所述的弹性元件为弹簧。
所述的过载传感器为光电传感器。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：
能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。
附图说明
图1为本发明一种设有过载传感器的晶片机械手的立体图；
图2为本发明一种设有过载传感器的晶片机械手的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。
如图1所示，一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台4，设置在升降台4上的转动台5，设置在转动台5上的抓取手1，以及设置在转动台5上并与抓取手1的后端固定连接的L型传动臂2，该L型传动臂2与抓取手1连接的部分处于抓取手1的延长线上，还包含设置在转动台5上的：传感组件3和支架6。
其中，传感组件3设置在L型传动臂2的一侧，该传感组件3位于抓取手1的延长线上，传感组件3的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口。在本实施例中，该传感组件3包含依次相连的：弹性元件31、触片32以及过载传感器33，其中，弹性元件31设置在传动臂2的一侧，当L型传动臂2转动出现故障时挤压弹性元件31，弹性元件31推动触片32与过载传感器33接触。在本实施例中，过载传感器33选用光电传感器，其采用24V直流电源进行供电，而弹性元件31选用弹簧，可缓冲L型传动臂2挤压传感组件3时的力道，有效保护传感组件3。
L型传动臂2与抓取手1垂直的部分设置在支架6上，当转动台5转动时，传动臂2带动抓取手1转动时，L型传动臂2在与抓取手1垂直方向上沿支架6滑动，当出现故障或者出现碰撞时，L型传动臂2沿支架6滑动可起到缓冲作用，有效保护L型传动臂2。
当使用时，转动台5和升降台4带动L型转动臂2，从而控制抓取手1抓取晶片，当出现故障或者出现碰撞时，L型传动臂2触发传感组件3，过载传感器33触发后，将信号传递至外部的晶片机械手控制器的停止端口，从而控制晶片机械手停机，从而避免继续运行而带来的机械损毁，大大降低了事故率，降低了维修成本。
综上所述，本发明一种设有过载传感器的晶片机械手，能够防止晶片和机械手的损坏，大大降低了故障率，提高了生产效率，具有显著的经济效益。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (4)

1.一种设有过载传感器的晶片机械手，包含：驱动马达，升降台（4），设置在升降台（4）上的转动台（5），设置在转动台（5）上的抓取手（1），以及设置在转动台（5）上并与抓取手（1）的后端固定连接的L型传动臂（2），该L型传动臂（2）与抓取手（1）连接的部分处于抓取手（1）的延长线上，其特征在于，还包含设置在转动台（5）上的：
传感组件（3），所述的传感组件（3）设置在L型传动臂（2）的一侧，该传感组件（3）位于抓取手（1）的延长线上，所述的传感组件（3）的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口；
支架（6），所述的L型传动臂（2）与抓取手（1）垂直的部分设置在支架（6）上，当转动台（5）转动时，L型传动臂（2）带动抓取手（1）转动时，L型传动臂（2）在与抓取手（1）垂直方向上沿支架（6）滑动。
2.如权利要求1所述的设有过载传感器的晶片机械手，其特征在于，所述的传感组件（3）包含依次相连的：弹性元件（31）、触片（32）以及过载传感器（33），所述的弹性元件（31）设置在L型传动臂（2）的一侧，当L型传动臂（2）转动出现故障时挤压弹性元件（31），弹性元件（31）推动触片（32）与过载传感器（33）接触。
3.如权利要求2所述的设有过载传感器的晶片机械手，其特征在于，所述的弹性元件（31）为弹簧。
4.如权利要求2所述的设有过载传感器的晶片机械手，其特征在于，所述的过载传感器（33）为光电传感器。
CN201210557506.3A 2012-12-20 2012-12-20 一种设有过载传感器的晶片机械手 Pending CN103887220A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210557506.3A CN103887220A (zh) 2012-12-20 2012-12-20 一种设有过载传感器的晶片机械手

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210557506.3A CN103887220A (zh) 2012-12-20 2012-12-20 一种设有过载传感器的晶片机械手

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103887220A true CN103887220A (zh) 2014-06-25

Family

ID=50956053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210557506.3A Pending CN103887220A (zh) 2012-12-20 2012-12-20 一种设有过载传感器的晶片机械手

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103887220A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108340388A (zh) * 2018-05-10 2018-07-31 山东大学深圳研究院 一种救援机器人的七自由度力反馈手柄及操作方法
CN114975207A (zh) * 2022-07-13 2022-08-30 上海隐冠半导体技术有限公司 一种带升降真空爪的转台及交接方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1800865A (zh) * 2004-12-04 2006-07-12 飞而康公司 悬臂板搬运装置
CN1851558A (zh) * 2006-06-02 2006-10-25 上海微电子装备有限公司 一种过载缓冲保护装置
CN101529555A (zh) * 2006-10-23 2009-09-09 赛博光学半导体公司 改进的衬底操作机械手校准
CN201432802Y (zh) * 2009-05-08 2010-03-31 天津华一有限责任公司 无硬条盒条透明纸包装装置
CN102085658A (zh) * 2009-12-07 2011-06-08 株式会社安川电机 水平多关节机械手以及具备该机械手的输送装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1800865A (zh) * 2004-12-04 2006-07-12 飞而康公司 悬臂板搬运装置
CN1851558A (zh) * 2006-06-02 2006-10-25 上海微电子装备有限公司 一种过载缓冲保护装置
CN101529555A (zh) * 2006-10-23 2009-09-09 赛博光学半导体公司 改进的衬底操作机械手校准
CN201432802Y (zh) * 2009-05-08 2010-03-31 天津华一有限责任公司 无硬条盒条透明纸包装装置
CN102085658A (zh) * 2009-12-07 2011-06-08 株式会社安川电机 水平多关节机械手以及具备该机械手的输送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108340388A (zh) * 2018-05-10 2018-07-31 山东大学深圳研究院 一种救援机器人的七自由度力反馈手柄及操作方法
CN114975207A (zh) * 2022-07-13 2022-08-30 上海隐冠半导体技术有限公司 一种带升降真空爪的转台及交接方法
CN114975207B (zh) * 2022-07-13 2022-09-30 上海隐冠半导体技术有限公司 一种带升降真空爪的转台及交接方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101383313B (zh) 一种取送硅片的机械手
CN203696417U (zh) 弹簧式微动开关自动组装机的弹簧送料组装机构
CN105035706A (zh) 拉杆式翻转检查装置
CN105347027B (zh) 抓取托举装置
CN103848248A (zh) 一种升降抓取翻转机构
CN104016205A (zh) 电梯设备
CN105397798A (zh) 抓取夹持装置
CN201282136Y (zh) 一种取送硅片的机械手
CN103887220A (zh) 一种设有过载传感器的晶片机械手
CN202665433U (zh) 擦玻璃机器人
CN204872744U (zh) 拉杆式翻转检查装置
CN103448068B (zh) 自动翻转式抓手装置
CN205219116U (zh) 一种机械自动化抓取装置
CN203495979U (zh) 防撞机构
CN205222050U (zh) 抓取托举装置
CN104297774A (zh) 一种废物桶表面剂量率检测装置
CN204713966U (zh) 层垫板集发机中悬臂上的安全保护机构
CN204514045U (zh) 一种用于加热炉的炉门定位装置
CN106276213B (zh) 一种智能卡的过渡拨送装置
CN104229461B (zh) 一种推料装置
CN106426297A (zh) 一种用于机械臂的防撞装置
CN205870532U (zh) 一种板材取放机械手
CN203495419U (zh) 一种继电器自动焊接转运平台
CN104972479A (zh) 一种多自由度机械臂
CN105082162B (zh) 光盘自动抓取装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20140625

RJ01 Rejection of invention patent application after publication