CN1800865A - 悬臂板搬运装置 - Google Patents

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Abstract

提供了一种悬臂板搬运装置，其通过构建具有根据要被检测的板的大小自动调节的两个悬臂的夹取运送装置，以及设置启动各个悬臂夹取搬运器的一对搬运装置移动单元，而具有简单结构并需要较少成本。在用于在液晶板检测装置的子工作台和工作台之间搬运板的悬臂板搬运装置中，驱动单元使移动体在子工作台和工作台之间移动，在移动体上设置一对搬运装置移动单元，两个移动块通过搬运装置移动单元在移动体的长度方向上来回移动，两个悬臂夹取搬运器平行地相互面对。两个悬臂夹取搬运器具有分别接合到移动块并可通过搬运装置移动单元移动的一端。至少两个夹取单元附着到每个悬臂夹取搬运器以夹取板。两个夹取单元可在悬臂夹取搬运器的长度方向上移动。

Description

悬臂板搬运装置
技术领域
本发明涉及一种板检测装置的板搬运装置(carrier)，更特别地，涉及这样一种悬臂(cantilever)板搬运装置，其通过构建具有两个可根据要被检测的板的大小自动调节的悬臂的夹取运送装置，和设置一对启动各自悬臂夹取运送装置的搬运装置移动单元，从而具有简单结构和需要较小成本。
背景技术
如本领域所公知的那样，液晶(LC)板检测装置使用探针单元来执行发光检测，以检测LC板的线路开断和色彩缺陷。此外，使用显微镜来执行目视检测。
如图1所示，这种LC板检测装置包括主体100、形成于主体100侧面的LC板供应部分10、形成于LC板供应部分10旁边的检测部分30、以及从LC板供应部分10接收LC板以将该LC板装载到检测部分30或从检测部分30卸载的板搬运装置40。
参照图2，相关领域的LC板检测装置的板搬运装置40包括搬运装置主体41、一个或多个导轨42、矩形移动体43、多个搬运元件44以及多个驱动单元(未示出)。一个或多个导轨42安装在搬运装置主体41的端部上，并且以多级(multistage fashion)方式在LC板48的长度方向上沿着LC板供应部分10，相对于检测部分30间隔预定的距离排列。矩形移动体43沿着导轨42以可在水平方向上移动而不会在它们之间产生干扰的方式安装。搬运元件44在各自的矩形移动体43的顶部和底部形成。搬运元件44在沿着导轨42移动时，以水平方向搬运矩形移动体43。驱动单元在各自的矩形移动体43的顶部或底部处与搬运元件44接合，以驱动搬运元件44。
板搬运装置40进一步包括位于各自的矩形移动体43的两侧上的两对垂直对称的引导装置45、能够沿着引导装置45以垂直方向对称移动的一对移动块46、驱动各自的移动块46的驱动单元(未示出)、以及安装在各自的移动块46的内缘上固定LC板48的夹取单元47。夹取单元47固定地安装在各自的移动块46的内缘的中央部分。
如图2的放大部分所示，每个夹取单元47包括驱动单元47c(例如设置在移动块46上的气缸)、由驱动单元47c启动的柱塞47b、以及与柱塞47b接合以夹取LC板48的夹具47a。这样，驱动单元47c使与柱塞47b接合的夹具47a移动，以夹取LC板48。
为了移动每个移动块46，在各自的移动块46的两端连接一对驱动单元(未示出)。通过对这对驱动单元进行同步操作，可将移动块46移动到预定位置，用于夹取要被检测的LC板48。
同时，LC板供应单元10设置有子工作台20(参见图1)。子工作台20暂时地接纳LC板48，然后板搬运装置40将LC板48从子工作台20装载到检测部分30。之后，板搬运装置40将LC板48从检测部分30卸载，并将其搬运回LC板供应部分10。移动块46通过驱动单元(未示出)移动到夹取位置，然后气缸47c使移动块46的夹具47a在垂直方向上对称地来回移动，以将LC板48装配在夹具47a之间。LC板检测装置以上述的方式配置。
在LC板检测装置的这一结构中，当操作人员将LC板48置于LC板供应部分10的子工作台20上并按下操作按钮时，控制器(未示出)产生控制信号，以运行气缸。通过气缸的运行，置于LC板供应部分10的子工作台20上的LC板48可放置到矩形移动体43的供应位置。
当置于LC板供应部分10的子工作台20上的LC板48准备好供应时，将与供应到子工作台20的LC板48的尺寸和类型有关的信息发送到控制器。然后，控制器产生控制信号，以根据LC板48的尺寸和类型使移动块46移动到夹取位置。
然后，驱动单元47c(例如，气缸)使夹具47a在垂直方向上对称地来回移动，以将LC板48装配在夹具47a之间。
接着，设置在夹取单元47的侧面的传感器检测LC板48是否被适当地夹取。如果是，则气缸将子工作台20移动回其原始位置，而检测部分30的检测台向前移动到初始位置，用于检测另一个LC板。
上述相关领域的LC板检测装置的板搬运装置40的缺陷在于，每个矩形移动体43设置有一对移动块46，并且需要设置两对驱动单元(未示出)驱动这对移动块46，从而使LC板检测装置的结构变得复杂，并且增加了LC板检测装置的制造成本。
板搬运装置40的另一缺陷在于，需要附加的驱动单元47c启动夹具47a夹取LC板48，从而增加了LC板检测装置的功耗和重量。
板搬运装置40的另一缺陷在于，如果气缸作为驱动单元47c使用，需要附加的管路和传感器来向气缸提供空气，从而使得LC板检测装置的结构变得复杂，并难以控制。另外，如果对于每个气缸供应的空气不均匀，则不能正确地夹取LC板48。
板搬运装置40的另一缺陷在于，因为每个移动块46由一对连接到移动块46两端的驱动单元(未示出)移动，所以，在这对驱动单元未同步地运行时，移动块46可能在两端不均匀地移动，从而使移动块46和板搬运装置40破损和非正常地工作。
发明内容
本发明提供一种悬臂板搬运装置，其通过构建具有可根据要被检测的板的大小调节的一对悬臂的夹取运送装置而具有简单结构。
本发明还提供了一种悬臂板搬运装置，其通过设置用于启动一对悬臂夹取运送装置的一对搬运装置移动单元而具有简单结构并需要较少成本。
本发明进一步提供了这样一种悬臂板搬运装置，其通过设置具有不同形状的保持装置，能够防止当板被LC供应部分在垂直方向上不适当地设置时而对板造成的损伤。
本发明的实施方案提供了这样一种悬臂板搬运装置，用于在液晶(LC)板检测装置的子工作台和工作台之间搬运板，所述悬臂板搬运装置可包括：移动体，驱动单元使其在所述子工作台和所述工作台之间移动；一对搬运装置移动单元，设置在所述移动体上；移动块，所述搬运装置移动单元使其能够在所述移动体的长度方向上来回移动；两个悬臂夹取运送装置，平行地相互面对设置并具有分别与所述移动块接合的一端，而且可由所述搬运装置移动单元移动；以及至少两个夹取单元，附着到每个所述悬臂夹取运送装置，用于夹取所述板。
在一些实施方案中，每个所述搬运装置移动单元包括以所述移动体的长度方向安装的一对导轨、设置于所述导轨之间的滚珠螺杆、以及驱动所述滚珠螺杆的电机，并且每个所述移动块包括与所述导轨接合用于滑动的轨道配合件，以及与所述滚珠螺杆接合用于联动移动的螺母组件。
在另外的实施方案中，所述悬臂夹取运送装置进一步包括安装在所述移动块的顶面上的肋材，所述悬臂夹取运送装置接合到所述肋材。所述肋材从所述悬臂夹取运送装置向所述移动块逐渐变厚和变宽。
在另外的实施方案中，每个所述移动块包括连接到所述悬臂夹取运送装置的上移动块和接合到所述上移动块底部的下移动块，所述上移动块可相对于所述下移动块稍稍转动。
在另外的实施方案中，所述上移动块和所述下移动块中的每一个包括：枢轴孔，与用于接纳枢轴螺栓的垂直线相对应；以及两个微调孔，与用于接纳微调螺栓的垂直线相对应。
在另外的实施方案中，所述微调孔具有螺纹，用于与所述微调螺栓螺纹接合，并且所述微调孔弯曲地横向拉长，以使得所述微调螺栓沿着所述微调孔移动。
在另外的实施方案中，所述悬臂板搬运装置进一步包括设置在所述上移动块的一侧上的至少两个校正插销。因此，通过使用所述校正插销，接合到所述上移动块的所述悬臂夹取运送装置不需要倾斜就能正确定位。
在另外的实施方案中，所述夹取单元包括：第一夹取单元，固定于所述悬臂夹取运送装置的自由端；以及第二夹取单元，在所述第一夹取单元和所述悬臂夹取运送装置的固定端之间安装在所述悬臂夹取运送装置上，所述第二夹取单元可以人工的方式沿着限定于所述悬臂夹取运送装置的表面中的槽、在所述悬臂夹取运送装置的长度方向上移动。
在另外的实施方案中，所述夹取单元包括：第一夹取单元，固定于所述悬臂夹取运送装置的自由端；以及第二夹取单元，在所述第一夹取单元和所述悬臂夹取运送装置的固定端之间安装在所述悬臂夹取运送装置上，所述第二夹取单元可自动地沿着所述悬臂夹取运送装置的表面、在所述悬臂夹取运送装置的长度方向上移动。
在另外的实施方案中，所述夹取单元包括：第一夹取单元，安装于所述悬臂夹取运送装置的自由端，所述第一夹取单元可以人工的方式沿着限定于所述悬臂夹取运送装置长度中的槽移动；以及第二夹取单元，在所述第一夹取单元和所述悬臂夹取运送装置的固定端之间安装在所述悬臂夹取运送装置上，所述第二夹取单元可以人工或自动的方式沿着所述悬臂夹取运送装置的表面、在所述悬臂夹取运送装置的长度方向上移动。
在另外的实施方案中，每个所述夹取单元包括：夹取底座，可移动地安装在所述悬臂夹取运送装置上；支撑装置，通过一对张力元件接合到所述夹取底座；以及保持装置，接合到所述支撑装置的底部。
在另外的实施方案中，所述一对张力元件包括：一对接合杆，使得所述支撑装置接合到所述夹取底座；以及弹簧，围绕所述接合杆安装，用于相对于所述夹取底座弹性地支撑所述支撑装置。
在另外的实施方案中，所述悬臂夹取运送装置包括在顶面中的一对纵向槽，所述夹取底座固定到所述一对纵向槽的内槽，或所述夹取底座可以人工的方式沿着所述内槽移动。
在另外的实施方案中，所述支撑装置包括第一传感器杆和第二传感器杆，所述第一传感器杆和第二传感器杆设置在所述支撑装置的两侧上，并且延伸到所述悬臂夹取运送装置的中心，并且，所述悬臂夹取运送装置进一步包括：板传感器，通过所述第一传感器杆检测是否夹取了所述板；以及过载传感器，通过所述第二传感器杆检测是否向所述夹取的板施加了过量的力。
在另外的实施方案中，所述过载传感器安装到限定于所述悬臂夹取运送装置的顶部中的所述一对纵向槽的外槽。
在另外的实施方案中，所述悬臂夹取运送装置包括在其长度方向上安装的一对L/M(线性移动)引导装置、位于所述一对L/M引导装置之间的螺旋杆、以及驱动所述螺旋杆的电机，并且，所述第二夹取单元包括夹取底座，所述夹取底座具有设置于底部上的螺母和引导装置配合件，用于分别与所述螺旋杆和所述L/M引导装置接合，以使得所述第二夹取单元能够自动移动。
在另外的实施方案中，所述保持装置包括在其一端的板接触面，所述板接触面为凹面或L形面。所述板接触面包括橡胶。
附图说明
附图描述了本发明的实施方案，并和说明书一起解释本发明原理，附图提供了对于本发明的进一步理解，并被并入本文构成本申请一部分。其中：
图1是传统的板检测装置的立体图；
图2是图1中所示的传统的板搬运装置的平面图；
图3是示出了根据本发明的悬臂板搬运装置的整体结构的立体图；
图4是示出了根据本发明的悬臂板搬运装置的搬运装置移动单元和移动块的分解立体图；
图5是示出了根据本发明的悬臂夹取运送装置附着有肋材时，悬臂板搬运装置的悬臂夹取运送装置的结构的立体图；
图6是示出了安装到根据本发明的悬臂板搬运装置的悬臂夹取运送装置的自由端(free end)的夹取单元的结构的立体图；
图7A到7D示出了根据本发明的悬臂板搬运装置的保持装置(holder)的实施例；
图8是示出了根据本发明的可在悬臂夹取运送装置的顶侧的长度方向上移动的夹取单元，以及用来启动一个夹取单元的致动元件的立体图；以及
图9是图8中所示的夹取单元和致动元件的分解立体图。
具体实施方式
下面将参照附图对本发明的优选实施方案进行详细描述，这些优选实施方案的实施例在附图中表示。但是，本发明并不被本文随后描述的实施方案所限制，对本发明的实施方案的描述是为了更容易和完整地理解本发明的范围和精神。
图3是示出了根据本发明的悬臂板搬运装置200的结构的立体图，其中，悬臂板搬运装置200在LC板检测装置的子工作台和工作台之间搬运LC板。
参照图3，本发明的悬臂板搬运装置200包括：移动体210，可由驱动单元(未示出)驱动在子工作台和工作台之间沿着轨道211移动；一对搬运装置移动单元220，设置在移动体210上；移动块230，可通过搬运装置移动单元220移动；一对悬臂夹取运送装置240，具有连接到移动块230的端部；以及夹取单元250和260，以人工或自动操作固定地安装于悬臂夹取运送装置240或可移动地安装于悬臂夹取运送装置240。
移动体210具有矩形板结构，其两端可移动地沿着在子工作台和工作台之间形成的轨道211安装。移动体210可由驱动单元(未示出)驱动沿着轨道211，在子工作台和工作台之间移动。驱动单元和轨道211的结构和操作与传统的板搬运装置相似。
上述一对搬运装置移动单元220设置在移动体210上，以使得所述一对悬臂夹取运送装置240移动。为了使得两个悬臂夹取运送装置240移动，搬运装置移动单元220对称地安装在移动体210上。
搬运装置移动单元220与移动块230接合，并且悬臂夹取运送装置240的端部接合于移动块230。
因此，移动块230可通过搬运装置移动单元220在移动体210的长度方向上来回移动。相应地，接合到移动块230的悬臂夹取运送装置240也可在移动体210的长度方向上来回移动。
图4示出了移动块230和搬运装置移动单元220的组装结构。所述一对悬臂夹取运送装置240、一对移动块230以及一对搬运装置移动单元220分别以相同的方式构建和操作。因此，将只对各种装置的一个进行主要描述。
参照图4，搬运装置移动单元220包括以移动体210的长度方向安装于移动体210的一对平行导轨221、设置在导轨221之间的滚珠螺杆223、驱动滚珠螺杆223的电机(例如伺服电机)225。能够通过搬运装置移动单元220在移动体210的长度方向上移动的移动块230包括与导轨221接合用于在其上滑动的轨道配合件231，以及具有螺纹用于与滚珠螺杆223接合的螺母组件233。
在这一结构中，操作伺服电机225使滚珠螺杆223转动，以使悬臂夹取运送装置对240根据LC板的大小移动。通过滚珠螺杆223的转动，与滚珠螺杆223接合的螺母组件233移动，以使移动块230沿着导轨221滑动。
因此，接合到移动块230的一对悬臂夹取运送装置240可通过对移动块230进行移动而移动到符合LC板大小的夹取点。
另外，因为悬臂夹取运送装置对240的一端分别接合到所述移动块对230，所以，悬臂夹取运送装置对240可相互平行并且相对，如图3所示。
此时，如图3和4所示，移动块230进一步包括连接到悬臂夹取运送装置240的上移动块230a，和接合到上移动块230a的底部的下移动块230b。上移动块230a可在下移动块230b上稍稍转动，以使悬臂夹取运送装置240可夹取多种类型的板。
为了使上移动块230a在下移动块230b上的稍稍转动，上移动块230a和下移动块230b包括一对垂直排列的枢轴孔233a和233b，以及两对微调孔232a和232b。在枢轴孔233a和233b中插入枢轴螺栓234，而在微调孔232a和232b中插入微调螺栓235。
也就是说，下移动块230b包括枢轴孔233b和两个微调孔232b，而接合到下移动块230b的上移动块230a包括与枢轴孔233b和两个微调孔232b对应的枢轴孔233a和两个微调孔232a。
枢轴螺栓234插入在上移动块230a和下移动块230b上分别形成的枢轴孔233a和233b中。微调螺栓235插入分别形成于上移动块230a和下移动块230b的微调孔232a和232b中。
因此，微调孔232a和232b形成有螺纹，用于与微调螺栓235接合，并且具有弯曲的拉长形状，以使微调螺栓235能够移动。
在这一结构中，在松开接合到微调孔232a和232b的微调螺栓235，和接合到枢轴孔233a和233b的枢轴螺栓234之后，悬臂夹取运送装置240以预定的角度转动时，接合到悬臂夹取运送装置240端部的上移动块230a绕枢轴螺栓234转动，从而使微调孔232a和232b沿着微调螺栓235滑动。
在悬臂夹取运送装置240以所需角度转动之后，微调螺栓235固定到上移动块230a的微调孔232a和下移动块230b的微调孔232b中。这样，就完成了对悬臂夹取运送装置240的θ轴设置。
由于对悬臂夹取运送装置240进行了θ轴设置，所以能够夹取以不同角度供应的多种类型的板。
同时，移动块230在上移动块230a的侧面进一步包括至少两个校正插销236，如图3和4所示。有时，由于在制造过程中会产生机械误差，从而使接合到上移动块230a的悬臂夹取运送装置240不能水平设置。在这种情况下，可使用校正插销236来校正悬臂夹取运送装置240的水平位置误差。
此外，移动块230和与其接合的悬臂夹取运送装置240的顶面优选地设置肋材270，如图5所示。肋材270使得移动块230和悬臂夹取运送装置240更牢固地结合，并且通过有效分地布应力来减小悬臂夹取运送装置240上的应力。
在悬臂夹取运送装置240的夹取单元250和260夹取要被检测的板时，当板从悬臂夹取运送装置240的自由端移动到固定端时，悬臂夹取运送装置240上由板引起的应力增大。也就是说，悬臂夹取运送装置240上在移动块230附近的应力大于自由端的应力。
因此，肋材270的厚度和宽度优选地从自由端朝向移动块230增加。
此时，夹取单元250和260接合到上述一对悬臂夹取运送装置240，以夹取被搬运的板。为此，夹取单元250和260分别朝向对方安装。
为每个悬臂夹取运送装置240设置至少两个夹取单元250和260，而夹取单元250和260固定地或可移动地安装于悬臂夹取运送装置240。也就是说，夹取单元250和260的至少之一可在悬臂夹取运送装置240的长度方向上移动，以便根据板的大小进行调节。
参照图5，为了简化悬臂板搬运装置200的结构，为每个悬臂夹取运送装置240设置两个夹取单元250和260。
在下文中，固定地或可移动地安装于悬臂夹取运送装置240的夹取单元250和260将分别表示为第一夹取单元250和第二夹取单元260。
每个第一夹取单元250可固定地安装于悬臂夹取运送装置240的自由端处，而每个第二夹取单元260可移动地安装于悬臂夹取运送装置240。第二夹取单元260能以人工的方式沿着在悬臂夹取运送装置240的长度方向上延伸的槽241移动。
作为一种选择，第一夹取单元250可固定到悬臂夹取运送装置240的自由端，而第二夹取单元260可在悬臂夹取运送装置240上以悬臂夹取运送装置240的长度方向自动地移动。
作为一种选择，第一夹取单元250可安装于悬臂夹取运送装置240的自由端，并能在悬臂夹取运送装置240的长度方向上，沿着限定在自由端中的槽手动地稍稍移动。第二夹取单元260可移动地安装于悬臂夹取运送装置240。第二夹取单元260可手动或自动地在悬臂夹取运送装置240的长度方向上移动。
图5示出了第一夹取单元250为固定的，而第二夹取单元260可手动地移动的实施例。如图5所示，第二夹取单元260可手动地沿着悬臂夹取运送装置240中的拉长槽241移动。优选地，在第二夹取单元260根据要搬运的板的大小以预定方向移动之后，可使用螺旋265固定。
如果安装于悬臂夹取运送装置240的自由端的第一夹取单元250可手动地移动，那么在第一夹取单元250移动到适当位置之后，可使用螺栓251来固定，如图6所示。
图6示出了固定地或可移动地安装于悬臂夹取运送装置240的自由端的第一夹取单元250的结构。
参照图6，悬臂夹取运送装置240包括在其长度方向延伸的一对平行槽241和242。第一夹取单元250可在要夹取的板附近限定出的槽241(下文中表示为内槽241)上移动。第一夹取单元250包括由螺栓251a固定的夹取底座251、通过一对张力元件253与夹取底座251接合的支撑装置255、以及附着于支撑装置255的下部上的保持装置257。
张力元件253包括一对使得夹取底座251和支撑装置255结合的接合杆253”，以及一对围绕接合杆253”的弹簧253’。
当保持装置257夹取板时，张力元件253通过吸收施加到板的多余的力来对板进行保护保护。
参照图7A到7D，保持装置257的一端具有板接触面。板接触面可为如图7A所示的凹面257a、或者如图7B所示的L形面257b。优选地，板接触面可附着橡胶257c，以防止擦伤夹取的板，如图7C和7D。
具体地说，当将由LC板供应部分供应到悬臂板搬运装置200的板抬得过高(over-lift)时，该板可能由于与保持装置257之间的相互作用，而受损或破裂。这时，L形的板接触面能够防止对板的损坏。
此外，悬臂夹取运送装置240可优选地进一步包括检测保持装置257是否夹取了板的传感器，以及检测是否由于上述一对悬臂夹取运送装置240过夹取(over clamp)而向板施加了过大的力的其它传感器。
为了准备传感器，如图6所示，在支撑装置255的两侧设置第一传感器杆258和第二传感器杆259。第一和第二传感器杆258和259朝向悬臂夹取运送装置240的中心延伸。而且，在悬臂夹取运送装置240上设置板传感器245和过载传感器247。板传感器245通过第一传感器杆258检测板是否被夹取，而过载传感器247通过第二传感器杆259检测是否向夹取的板施加了过大的力。
过载传感器247可移动地安装到在悬臂夹取运送装置240的长度方向上延伸的一对槽241和242中的外槽242上，以通过第二传感器杆259检测夹取的板上的过载。过载传感器247可使用螺钉来固定。
在这一结构中，当上述一对悬臂夹取运送装置240用保持装置257夹取板时，受到张力元件253偏压的支撑装置255向后移动。因此，附着到支撑装置255的第一传感器杆258也向后移动，板传感器245感测到第一传感器杆258的向后移动。这样，告知控制器(未示出)板已被夹取。
如果悬臂夹取运送装置240被过驱动，则会向夹取的板施加过大的力。这时，受到张力元件253偏压的支撑装置255进一步向后移动，而附着到支撑装置255的第二传感器杆259进一步以相同的方向移动。过载传感器247感测到第二传动器杆259的向后移动，并将相应的信号发送到控制器。这样，能够确定夹取的板是否过量受压。
此外，如图8和9所示，两个夹取单元250和260安装于各自的悬臂夹取运送装置240。第一夹取单元250固定地安装于悬臂夹取运送装置240的自由端。第二夹取单元260安装于悬臂夹取运送装置240的预定部分，并可自动地移动。
因为第二夹取单元260可移动地安装于悬臂夹取运送装置240，所以可快速地应付板的大小改变。
图8是示出了安装于悬臂夹取运送装置240的夹取单元250和260的立体图。参照图8，安装于悬臂夹取运送装置240的自由端的第一夹取单元250以能够使用螺栓251a固定的方式构建。第二夹取单元260在悬臂夹取运送装置240中安装于离第一夹取单元250一定距离处的位置。第二夹取单元260可通过启动元件280的作用，而在悬臂夹取运送装置240上自动移动。板传感器245和过载传感器247在悬臂夹取运送装置240上安装于第一夹取单元250的附近。
图9示出了使得安装在悬臂夹取运送装置240上的第二夹取单元260自动移动的启动元件280的部件。
参照图9，启动元件280在悬臂夹取运送装置240的长度方向上包括一对线性移动(L/M)引导装置281、介于L/M引导装置对281之间的螺旋轴283、以及驱动螺旋轴283的电机285。第二夹取单元260包括位于沿着L/M引导装置281自动移动的夹取底座251的底部中的螺母263。螺母263与螺旋轴283接合，用于使夹取底座251自动移动。第二夹取单元260进一步包括与L/M引导装置281接合的引导装置配合件261。
在这一结构中，当螺旋轴283由电机285转动时，与螺旋轴283接合的螺母263移动，使夹取底座251能够在L/M引导装置281上滑动。这样，第二夹取单元260可自动移动，以在适当位置夹住板的边缘。因此，具有不同大小的板可由悬臂板搬运装置200快速和牢固地夹取。
第二夹取单元260具有与可手动移动的第一夹取单元250一样的结构。因此，省略对第二夹取单元260结构的描述。另外，因为第二夹取单元260与第一夹取单元250具有相同的保持装置(参见图7中的保持装置257)，所以也省略对其的描述。
在下文中，将结合悬臂板搬运装置200对板的夹取和搬运动作来描述悬臂板搬运装置200的全部操作。
首先，根据要被搬运的板的大小对夹取单元250和260的位置进行调节。具体来说，为了确保用夹取单元250和260牢固地夹取目标板的边缘，将每个安装于悬臂夹取运送装置240的第一夹取单元250固定到悬臂夹取运送装置240的自由端，然后，将每个第二夹取单元260手动地移动到适当位置，并使用螺栓265将其固定到这一适当位置，或者将第二夹取单元260自动设置到该适当位置。这里，可使安装到悬臂夹取运送装置240的自由端的第一夹取单元250以手动的方式移动，并使用螺栓对其进行固定。
在根据要搬运的板的大小调节夹取单元250和260之后，悬臂板搬运装置200接收该板，并将其从LC板检测部分的子工作台搬运到工作台。
具体来说，当控制器(未示出)收到关于目标板的大小和类型的信息时，该控制器向上述搬运装置移动单元对220发送控制信号。根据该控制信号，搬运装置移动单元220根据目标板的大小和类型将上述一对悬臂夹取运送装置240快速移动到夹取位置。
当悬臂夹取运送装置240到达夹取位置时，控制器使悬臂夹取运送装置240减速，以使目标板可由悬臂夹取运送装置240的夹取单元250和260稳定和牢固地夹取。
如果夹取单元250和260夹取了目标板，则板传感器245向控制器发送相应的信号。如果由于搬运装置移动单元220的过驱动而使得夹取的板受到夹取单元250和260的过量压迫，则过载传感器247向控制器发送相应的信号。然后，控制器使搬运装置移动单元220停止，或控制悬臂夹取运送装置240，以释放板和再次夹取板。
在以这种方式成功夹取板之后，驱动单元(未示出)使移动体210移动，以将板搬运到检测位置。
如上所述，在本发明的悬臂板搬运装置中，用悬臂构建夹取运送装置，从而简化了悬臂板搬运装置的结构并降低了制造成本。
另外，悬臂夹取运送装置可仅由两个搬运装置移动单元来启动，从而降低了悬臂板搬运装置的制造成本和功耗。
另外，根据本发明，使用悬臂夹取运送装置来搬运板，从而可降低部件大小和重量以及制造成本。
另外，夹取板的保持装置并未使用驱动装置来操作，从而简化了悬臂板搬运装置的结构并降低了制造成本。
另外，安装与悬臂夹取运送装置的夹取单元可自动移动到所需位置，因此可使用该悬臂板搬运装置来快速搬运具有不同大小的板。
另外，接合于悬臂夹取运送装置一端的上移动块可相对于下移动块稍稍转动，使得该悬臂夹取运送装置可绕θ轴进行调节。因此，该悬臂板搬运装置可用于搬运具有不同大小并以不同角度供应的板。
此外，保持装置是L形的，从而即使在从LC板供应部分向悬臂板搬运装置供应的板被抬得过高时，也能够防止由保持装置造成板的破损。
对本发明进行多种修改和变化对于本领域技术人员来说是显而易见的。因此，本发明涵盖了在所附的权利要求的范围内对本发明进行的修改和变化及其等价物。

Claims (19)

1.一种悬臂板搬运装置，用于在液晶板检测装置的子工作台和工作台之间搬运板，所述悬臂板搬运装置包括：
移动体，驱动单元使其在所述子工作台和所述工作台之间移动；
一对搬运装置移动单元，设置在所述移动体上；
移动块，所述搬运装置移动单元使其能够在所述移动体的长度方向上来回移动；
两个悬臂夹取运送装置，平行地相互面对设置并具有分别与所述移动块接合的一端，而且可由所述搬运装置移动单元移动；以及
至少两个夹取单元，附着到每个所述悬臂夹取运送装置上，用于夹取所述板。
2.如权利要求1所述的悬臂板搬运装置，其中，每个所述搬运装置移动单元包括以所述移动体的长度方向安装的一对导轨、设置于所述导轨之间的滚珠螺杆、以及驱动所述滚珠螺杆的电机，并且
每个所述移动块包括与所述导轨接合用于滑动的轨道配合件，以及与所述滚珠螺杆接合用于联动移动的螺母组件。
3.如权利要求1所述的悬臂板搬运装置，进一步包括肋材，所述肋材安装在所述移动块的顶面上，并与所述悬臂夹取运送装置接合。
4.如权利要求3所述的悬臂板搬运装置，其中，所述肋材从所述悬臂夹取运送装置向所述移动块逐渐变厚和变宽。
5.如权利要求1所述的悬臂板搬运装置，其中，每个所述移动块包括连接到所述悬臂夹取运送装置的上移动块，和接合到所述上移动块底部的下移动块，所述上移动块相对于所述下移动块可稍稍转动。
6.如权利要求5所述的悬臂板搬运装置，其中，所述上移动块和所述下移动块中的每一个包括：
枢轴孔，与用于接纳枢轴螺栓的垂直线相对应；以及
两个微调孔，与用于接纳微调螺栓的垂直线相对应。
7.如权利要求6所述的悬臂板搬运装置，其中，所述微调孔具有螺纹，用于与所述微调螺栓的螺纹接合，并且所述微调孔弯曲地横向拉长，以使得所述微调螺栓沿着所述微调孔移动。
8.如权利要求5所述的悬臂板搬运装置，进一步包括设置于所述上移动块侧面的至少两个校正插销。
9.如权利要求1所述的悬臂板搬运装置，其中，所述夹取单元包括：
第一夹取单元，固定于所述悬臂夹取运送装置的自由端；以及
第二夹取单元，安装在所述悬臂夹取运送装置上，并位于所述第一夹取单元和所述悬臂夹取运送装置的固定端之间，且能够沿着在所述悬臂夹取运送装置的表面中限定的槽，以所述悬臂夹取运送装置的长度方向手动地移动。
10.如权利要求1所述的悬臂板搬运装置，其中，所述夹取单元包括：
第一夹取单元，固定于所述悬臂夹取运送装置的自由端；以及
第二夹取单元，安装到所述悬臂夹取运送装置上，并位于所述第一夹取单元和所述悬臂夹取运送装置的固定端之间，且能够沿着在所述悬臂夹取运送装置的表面，以所述悬臂夹取运送装置的长度方向自动地移动。
11.如权利要求1所述的悬臂板搬运装置，其中，所述夹取单元包括：
第一夹取单元，安装于所述悬臂夹取运送装置的自由端，并沿着在所述悬臂夹取运送装置的长度方向上限定出的槽以手动的方式移动；以及
第二夹取单元，安装在所述悬臂夹取运送装置上，并位于所述第一夹取单元和所述悬臂夹取运送装置的固定端之间，且能够沿着所述悬臂夹取运送装置的表面、在所述悬臂夹取运送装置的长度方向上以手动或自动的方式移动。
12.如权利要求9到11中任意一项所述的悬臂板搬运装置，其中，每个所述夹取单元包括：
夹取底座，可移动地安装在所述悬臂夹取运送装置上；
支撑装置，通过一对张力元件接合到所述夹取底座；以及
保持装置，接合到所述支撑装置的底部。
13.如权利要求12所述的悬臂板搬运装置，其中，所述一对张力元件包括：
一对接合杆，将所述支撑装置接合到所述夹取底座；以及
弹簧，绕所述接合杆安装，用于相对于所述夹取底座弹性地支撑所述支撑装置。
14.如权利要求13所述的悬臂板搬运装置，其中，所述悬臂夹取运送装置在顶面中包括一对纵向槽，所述夹取底座固定到所述一对纵向槽的内槽中，或能够以手动的方式沿所述内槽移动。
15.如权利要求14所述的悬臂板搬运装置，其中，所述支撑装置包括第一传感器杆和第二传感器杆，所述第一传感器杆和第二传感器杆设置在所述支撑装置的两侧上，并且延伸到所述悬臂夹取运送装置中心，并且
所述悬臂夹取运送装置进一步包括：板传感器，通过所述第一传感器杆检测是否夹取了所述板；以及过载传感器，通过所述第二传感器杆检测是否向所述夹取的板施加了过量的力。
16.如权利要求15所述的悬臂板搬运装置，其中，所述过载传感器安装到在所述悬臂夹取运送装置的顶部中限定出的所述一对纵向槽的外槽中。
17.如权利要求10或11所述的悬臂板搬运装置，其中，所述悬臂夹取运送装置包括在其长度方向上安装的一对线性移动引导装置、位于所述一对线性移动引导装置之间的螺旋杆、以及驱动所述螺旋杆的电机，并且
所述第二夹取单元包括夹取底座，所述夹取底座具有设置于底部上的螺母和引导装置配合件，用于分别与所述螺旋杆和所述线性移动引导装置接合，以使所述第二夹取单元能够自动移动。
18.如权利要求12所述的悬臂板搬运装置，其中，所述保持装置在其一端包括板接触面，所述板接触面为凹面或L形面。
19.如权利要求18所述的悬臂板搬运装置，其中，所述板接触面包括橡胶。
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Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101571452B (zh) * 2008-05-02 2011-08-31 沋博普利斯金股份有限公司 显示面板检测装置用工作台的多规格面板支撑装置
CN102172910A (zh) * 2011-01-26 2011-09-07 上海铭源数康生物芯片有限公司 一种用于抓取和释放磁套的装置
CN102275159A (zh) * 2010-06-14 2011-12-14 株式会社丰电子工业 机械手装置以及多关节机器人
CN102672520A (zh) * 2012-05-21 2012-09-19 典发食品（苏州）有限公司 双缸运动承接缓冲装置
CN102686370A (zh) * 2010-02-02 2012-09-19 夏普株式会社 搬运装置
CN103786041A (zh) * 2012-10-31 2014-05-14 苏州久工自动化科技有限公司 一种平行夹持器
CN103887220A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 上海华虹宏力半导体制造有限公司 一种设有过载传感器的晶片机械手
CN104148325A (zh) * 2014-08-27 2014-11-19 吴中区横泾博尔机械厂 一种显示屏发光板全自动清洗机的发光板平行夹爪
CN104785659A (zh) * 2014-01-21 2015-07-22 深圳市金洲精工科技股份有限公司 一种集流管冲压模具的自动传递装置
CN104860014A (zh) * 2014-01-09 2015-08-26 何良双 汽车白车身生产线全自动输送装置
CN105459076A (zh) * 2016-01-05 2016-04-06 南通迅达橡塑制造有限公司 新型手动夹持装置
CN105835049A (zh) * 2016-05-05 2016-08-10 佛山科学技术学院 一种氢燃料电池反应堆的机械手自动抓取运输设备
CN106003110A (zh) * 2016-06-07 2016-10-12 江苏八达电子有限公司 一种sc适配器自动组装装置中的卸料手
CN106006034A (zh) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 一种玻璃基板搬运手臂
CN106006033A (zh) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 一种可调节的玻璃基板搬运手臂
CN106241269A (zh) * 2016-07-12 2016-12-21 常熟市惠机电有限公司 一种全自动生产线送料装置
CN107214723A (zh) * 2017-08-03 2017-09-29 刘力瑗 一种自动化专线搬运机械手
CN107263515A (zh) * 2017-08-21 2017-10-20 东莞合安机电有限公司 一种nc膜条夹放机
CN107498574A (zh) * 2017-08-21 2017-12-22 东莞合安机电有限公司 一种nc膜条夹取机构
CN107658240A (zh) * 2016-07-26 2018-02-02 Ap系统股份有限公司 用于处理待处理的物体的设备和方法和用于其的平台单元
CN108362111A (zh) * 2017-02-16 2018-08-03 天辅高科技股份有限公司 滑动夹具固定方式印刷电路板两面干燥装置
CN111266743A (zh) * 2020-02-21 2020-06-12 上海精测半导体技术有限公司 面板切割设备载台更换装置以及面板切割设备
CN111470308A (zh) * 2019-01-23 2020-07-31 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种夹持机械手及自动搬运装置
CN112573053A (zh) * 2019-09-27 2021-03-30 江苏华章物流科技股份有限公司 适用于agv小车的存取机构、agv小车以及存入、取出方法
CN107813333B (zh) * 2017-09-05 2021-04-27 芜湖瑞思机器人有限公司 一种用于高速并联机器人的食品抓取机构
CN114380044A (zh) * 2022-01-19 2022-04-22 常州创捷电气科技有限公司 一种高温作业用机器人自动化夹持装置

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4674151B2 (ja) * 2005-11-16 2011-04-20 株式会社日本マイクロニクス 点灯検査装置
KR100860721B1 (ko) * 2006-11-27 2008-09-29 주식회사 파이컴 패널 이송장치
US9321591B2 (en) 2009-04-10 2016-04-26 Symbotic, LLC Autonomous transports for storage and retrieval systems
US9499338B2 (en) 2010-12-15 2016-11-22 Symbotic, LLC Automated bot transfer arm drive system
US11078017B2 (en) 2010-12-15 2021-08-03 Symbotic Llc Automated bot with transfer arm
US8696010B2 (en) 2010-12-15 2014-04-15 Symbotic, LLC Suspension system for autonomous transports
FR2981598B1 (fr) * 2011-10-25 2017-03-10 Plastic Omnium Cie Prehenseur de piece a peindre pour robot manipulateur
JP6523296B2 (ja) * 2013-09-13 2019-05-29 シムボティック エルエルシー 自動保管および取出システム
CN104150136B (zh) * 2014-08-25 2017-01-11 长沙开元仪器股份有限公司 存查样柜、样瓶夹持装置及其夹持方法
JP6701007B2 (ja) * 2016-06-27 2020-05-27 川崎重工業株式会社 ワーク保持機構
CN106323874A (zh) * 2016-11-02 2017-01-11 苏州鼎纳自动化技术有限公司 实验室手动调节光源支架
CN107132678A (zh) * 2017-06-29 2017-09-05 武汉精测电子技术股份有限公司 一种适用于大尺寸lcm模组的升降检测装置
CN107478257B (zh) * 2017-08-15 2023-08-15 江苏集萃智能制造技术研究所有限公司 一种可自动调节的检测平台
CN107843492A (zh) * 2017-12-06 2018-03-27 张家港市沙源检测技术有限公司 一种金属应力测试用夹具
CN108594494B (zh) * 2018-06-14 2023-08-29 广东速美达自动化股份有限公司 一种不带fpc液晶屏自动检测流水线
JP2023503242A (ja) * 2019-11-20 2023-01-27 コーニング インコーポレイテッド 脆い材料のシートの移動装置、アセンブリおよび方法
CN111056350A (zh) * 2019-12-27 2020-04-24 利辛县富亚纱网有限公司 一种轻薄物料输送堆叠机构
CN111362020B (zh) * 2020-03-20 2021-03-23 温州益蓉机械有限公司 一种效率高的机械自动化卸货机构
CN111591667B (zh) * 2020-06-11 2024-09-24 广东恒泰立华智能装备制造有限公司 一种线路板收板机
CN112809729B (zh) * 2021-02-02 2024-09-24 上海图双精密装备有限公司 一种晶圆的手臂夹持机构
CN114872071A (zh) * 2021-02-05 2022-08-09 江西华派光电科技有限公司 一种玻璃基板夹持机械手
KR102602306B1 (ko) * 2021-03-30 2023-11-17 오디씨(주) 디스플레이 패널 검사용 지그
KR102494903B1 (ko) * 2021-06-23 2023-02-06 경북대학교 산학협력단 시험편 고정용 만능 지그
CN113771075A (zh) * 2021-10-25 2021-12-10 北方导航控制技术股份有限公司 一种柔性化自适应抓取物体的机械手抓手装置
CN114193363A (zh) * 2022-01-05 2022-03-18 上海新阳半导体材料股份有限公司 引线框架夹持装置
CN114378573B (zh) * 2022-01-25 2023-12-26 深圳市顺章电器有限公司 家用电器的自动化装配设备

Cited By (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101571452B (zh) * 2008-05-02 2011-08-31 沋博普利斯金股份有限公司 显示面板检测装置用工作台的多规格面板支撑装置
CN102686370A (zh) * 2010-02-02 2012-09-19 夏普株式会社 搬运装置
CN102275159A (zh) * 2010-06-14 2011-12-14 株式会社丰电子工业 机械手装置以及多关节机器人
CN102172910A (zh) * 2011-01-26 2011-09-07 上海铭源数康生物芯片有限公司 一种用于抓取和释放磁套的装置
CN102172910B (zh) * 2011-01-26 2012-10-17 上海铭源数康生物芯片有限公司 一种用于抓取和释放磁套的装置
CN102672520A (zh) * 2012-05-21 2012-09-19 典发食品（苏州）有限公司 双缸运动承接缓冲装置
CN103786041A (zh) * 2012-10-31 2014-05-14 苏州久工自动化科技有限公司 一种平行夹持器
CN103887220A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 上海华虹宏力半导体制造有限公司 一种设有过载传感器的晶片机械手
CN104860014A (zh) * 2014-01-09 2015-08-26 何良双 汽车白车身生产线全自动输送装置
CN104785659B (zh) * 2014-01-21 2017-02-08 深圳市金洲精工科技股份有限公司 一种集流管冲压模具的自动传递装置
CN104785659A (zh) * 2014-01-21 2015-07-22 深圳市金洲精工科技股份有限公司 一种集流管冲压模具的自动传递装置
CN104148325A (zh) * 2014-08-27 2014-11-19 吴中区横泾博尔机械厂 一种显示屏发光板全自动清洗机的发光板平行夹爪
CN105459076A (zh) * 2016-01-05 2016-04-06 南通迅达橡塑制造有限公司 新型手动夹持装置
CN105835049A (zh) * 2016-05-05 2016-08-10 佛山科学技术学院 一种氢燃料电池反应堆的机械手自动抓取运输设备
CN105835049B (zh) * 2016-05-05 2018-03-09 佛山科学技术学院 一种氢燃料电池反应堆的机械手自动抓取运输设备
CN106003110A (zh) * 2016-06-07 2016-10-12 江苏八达电子有限公司 一种sc适配器自动组装装置中的卸料手
CN106241269A (zh) * 2016-07-12 2016-12-21 常熟市惠机电有限公司 一种全自动生产线送料装置
CN107658240B (zh) * 2016-07-26 2023-11-24 Ap系统股份有限公司 用于处理待处理的物体的设备和方法和用于其的平台单元
CN107658240A (zh) * 2016-07-26 2018-02-02 Ap系统股份有限公司 用于处理待处理的物体的设备和方法和用于其的平台单元
CN106006034A (zh) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 一种玻璃基板搬运手臂
CN106006033A (zh) * 2016-07-28 2016-10-12 苏州高通机械科技有限公司 一种可调节的玻璃基板搬运手臂
CN108362111A (zh) * 2017-02-16 2018-08-03 天辅高科技股份有限公司 滑动夹具固定方式印刷电路板两面干燥装置
CN107214723A (zh) * 2017-08-03 2017-09-29 刘力瑗 一种自动化专线搬运机械手
WO2019037384A1 (zh) * 2017-08-21 2019-02-28 梁晓东 一种nc膜条夹取机构
WO2019037383A1 (zh) * 2017-08-21 2019-02-28 梁晓东 一种nc膜条夹放机
CN107498574B (zh) * 2017-08-21 2019-06-18 东莞合安机电有限公司 一种nc膜条夹取机构
CN107263515A (zh) * 2017-08-21 2017-10-20 东莞合安机电有限公司 一种nc膜条夹放机
CN107498574A (zh) * 2017-08-21 2017-12-22 东莞合安机电有限公司 一种nc膜条夹取机构
CN107813333B (zh) * 2017-09-05 2021-04-27 芜湖瑞思机器人有限公司 一种用于高速并联机器人的食品抓取机构
CN111470308B (zh) * 2019-01-23 2022-04-01 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种夹持机械手及自动搬运装置
CN111470308A (zh) * 2019-01-23 2020-07-31 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种夹持机械手及自动搬运装置
CN112573053A (zh) * 2019-09-27 2021-03-30 江苏华章物流科技股份有限公司 适用于agv小车的存取机构、agv小车以及存入、取出方法
CN112573053B (zh) * 2019-09-27 2021-11-26 江苏华章物流科技股份有限公司 适用于agv小车的存取机构、agv小车以及存入、取出方法
CN111266743B (zh) * 2020-02-21 2021-09-24 上海精测半导体技术有限公司 面板切割设备载台更换装置以及面板切割设备
CN111266743A (zh) * 2020-02-21 2020-06-12 上海精测半导体技术有限公司 面板切割设备载台更换装置以及面板切割设备
CN114380044A (zh) * 2022-01-19 2022-04-22 常州创捷电气科技有限公司 一种高温作业用机器人自动化夹持装置
CN114380044B (zh) * 2022-01-19 2024-04-02 常州创捷电气科技有限公司 一种高温作业用机器人自动化夹持装置

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