CN1849061A - 基板装配机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板装配机，该基板装配机在制造液晶显示设备的过程中将上基板和下基板装配起来。所述基板装配机的一个基板装载/卸载设备将基板插入一上工作台和一腔之间的空间内，以及将装配后的基板从所述空间退出。

Description

基板装配机

技术领域

本发明涉及用于装配基板的基板装配机，更具体地，涉及用于装配基板的装配机，其中设置在所述基板装配机中的上和下工作台(stage)之间的距离由竖直驱动装置调整并且防止所述竖直驱动装置过载。

背景技术

随着信息技术的发展，对于显示设备的需求增加。为了满足所述需求，开发了各种平显示板(flat display panel)，例如液晶显示器(LCD)、等离子显示板(PDP)等，并且某些所述平显示板已经在各种器具中用作显示设备。

在所述平显示板中，LCD替代阴极射线管(CRT)，并且因为其同时具有以下优点：高的图像质量、轻重量、薄厚度以及低功耗，从而最广泛地用作便携式显示设备。另外，LCD除了开发用作诸如膝上型计算机监视器的便携式显示器，还开发用作TV或者计算机的监视器。

因而，尽管对于LCD在各种领域中用作显示设备的作用是考虑到各种技术开发的，但是，与上述特征和优点相反，有相当多的因素影响图像质量的提高。从而，为了将LCD在各种领域中用作通用显示设备，对LCD进行研发的关建点在于如何维持所述的轻重量、薄厚度和低功耗，以及如何实现高的图像质量——例如高亮度、大面积等等。

在此，LCD包含：注入薄膜晶体管(TFT)基板和涂覆有荧光材料的滤色器(CF)之间的液晶材料；与所述两个基板的周边耦合以保持所述液晶材料的密封装置；以及分布在所述两个基板之间以支撑所述基板的距离维持构件。

对具有各向异性介电常数且注入至所述两个基板之间的液晶材料施加电能，并且调整所述电能的强度以调整经过所述基板的光量，从而显示图象。

为了制造所述LCD设备，需要多种设备，并且在所述多种设备中，用于装配基板的基板装配机是一种重要设备。

如图1所示，用于装配基板的传统基板装配机大致包含：一个下基部10、一个与下基部10间隔开的上基部12、设置在上基部12的上部区域内的上腔14和下腔16、以及设置在所述上腔14和下腔16的上部区域和下部区域内的上工作台20和下工作台22，并且传统基板装配机的结构设置成：在将两个基板S(TFT阵列基板及滤色器基板)水平地设置在上工作台20和下工作台22上之后，将所述基板S沿竖直方向插入所述上腔14和下腔16内。

在上腔14的上部区域内，一个上板18设置成可打开和关闭以在维持密封状态的同时对内部元件进行维护。

为了确保基板S出入上腔14和下腔16的通道，升降器相应地设置在上腔14的下角部区域处，以升起和降下上腔14。

在上工作台20的下部区域以及下工作台22的上部区域内，相应地设置静电吸盘(electrostatice chucks，ESEc，未图示)以产生用于吸附所载入基板S的静电力。

尽管在附图中没有示出，但是实际上设置有多个升起销(lift pin，未图示)，以通过多个竖直地穿过上工作台20和下工作台22的孔主要地与临时地吸附所述基板S。所述升起销都由设置在其上侧和下侧的相应单个板移动。

同时，所述上和下升起销一体地固定在其上侧和下侧的所述板包含分离的驱动单元(未示出)以升起或降下所述板。

在此，有一个工作台对准过程，用于将装载在下工作台20上的基板在X轴和Y轴方向上以及在θ轴方向上精确地定位，并且所述基板的对准由对准单元24执行，所述对准单元24设置成接触下腔16的邻近侧壁的三个点。

对准单元24直接接触叠置的上腔14和下腔16中的下腔16，且固定到上基部12的上部区域，并且包含一个偏心设置的凸轮以及用于为所述凸轮施加旋转力的驱动单元。

设置有竖直的驱动单元34，用于通过精确地(minutely)升起和降下上工作台20以及支撑构件30而调整所述两基板S之间的距离，支撑构件30从上工作台20的侧壁或四侧伸出以将竖直的驱动单元34的升起或降下力传递到上工作台20，且支撑构件30设置在竖直的驱动单元34内。

如图2所示，下腔16带有在厚度方向穿透下腔16的通孔，并且下轴支撑件42插入所述通孔内并由螺纹紧固件紧固，使得下轴支撑件42的上侧与下腔16的上侧对齐。竖直的驱动单元34固定至下轴支撑件42的下部内周，且下轴36定位在下轴支撑件42的中央处以接触34的移动轴。

支撑构件30朝外延伸并彼此相对地固定到上工作台18的外壁以容易地支撑上工作台18。紧固构件32带有螺纹并且固定到支撑构件30的内壁。

为了将支撑构件30放在竖直的驱动单元34上，上腔14的内侧带有朝外取向的凹穴且所述凹穴被向下穿透以与竖直的驱动单元34连通。

上轴38设置成在与支撑构件30的下侧接触的同时由上轴支撑件40升起或降下，且与上轴38和竖直的驱动单元34接触的下轴36设置在竖直轴线上。

在此，竖直的驱动单元34的驱动力通过与竖直的驱动单元34接触的下轴36以及分别与下轴36接触的上轴38而传递至支撑构件30。支撑构件30固定至上工作台20的外壁以精确地移动。

在上板18中，在上板18和上工作台20之间在各角部处设置弹性构件26以支撑置于下侧的上工作台20。弹性构件26的上端穿过上板18而突出于上板18并固定至上板18，使得弹性构件26的固定部分由螺栓固定至上板18，并且弹性构件26的下端由螺栓固定至上工作台20。

然而，由于上工作台20由多个弹性构件26支撑至上板18，上工作台20的负载由于弹性构件26而散布，但是上工作台20必然振动。如果去除弹性构件26以消除上工作台20的振动，竖直的驱动单元34支撑上工作台20的过负载(oval load)，使得应力集中至紧固构件32并且竖直的驱动单元34的负载量必然增加。另外，由于上轴38和下轴36置于竖直的驱动单元34和支撑构件30之间用于支撑上工作台20，所以传递升力的结构是复杂的。

进一步地，在传统的基板装配机中，由于设置多个升起销用于装载和卸载基板，所以结构复杂且维护成本增加。

发明内容

因此，考虑到上述和/或其它问题而开发了本发明，本发明的一个目的在于提供一种基板装配机，其中上工作台在下侧和上侧处得到支撑，从而防止过载。

本发明的另一目的在于提供一种带有装载/卸载设备的基板装配机，其中上腔和所述装载/卸载设备由单个升降设备升降。

本发明的再一目的在于提供一种基板装配机，该基板装配机带有用于吸附和固定的装载/卸载设备，其中插入腔内的上基板和下基板中的上基板由弦线吸附与固定，从而结构简单、制造成本降低，并且容易进行维护。

根据本发明，上述和其它的方面能够通过提供一种用于在一真空腔内装配上和下基板的基板装配机而实现，所述基板装配机包含：一个腔，所述腔包含上腔以及与所述上腔耦合的下腔；分别设置在所述腔的上部区域和下部区域内的上和下工作台，用于分别地吸附所述上和下基板；上工作台支撑构件，其端部与所述上工作台耦合，并且其相对侧部插入上腔的侧壁内以支撑所述上腔；置于所述上腔的侧壁内的下支撑构件，用于支撑插入所述上腔的侧壁内的上工作台支撑构件的相对侧部的下侧；竖直的驱动单元，其与从上腔的侧壁插入所述腔的侧壁内的上工作台支撑构件的相对侧部的下侧耦合，以在竖直方向上移动所述上腔；以及装载/卸载设备，其置于所述腔内以退出所插入的基板以及将装配后的基板排出至外部。由于竖直的驱动单元设置在上工作台的上角部区域内且下支撑构件设置在上工作台的下角部区域内以散布上工作台的负载，从而防止上工作台振动，并且防止竖直的驱动单元过载。另外，由于直接接触，所述基板装配机的结构能够得以简化。

附图说明

通过结合附图对本发明所作的下述说明，本发明的这些和/或其它方面及优点将变得明显和更容易理解，在所述附图中：

图1是图示传统基板装配机的正视截面图；

图2是对传统基板装配机的一部分进行图示的局部放大视图；

图3是根据本发明第一优选实施方式的基板装配机的正视截面图；

图4是根据本发明第一实施方式的基板装配机的局部放大视图；

图5示出一装载/卸载设备以及安装有装载/卸载设备的根据本发明第二优选实施方式的基板装配机；

图6是图5中装载/卸载设备的平面图；

图7是图5中装载/卸载设备的立体图；

图8是一侧截面图，图示根据本发明第二优选实施方式的基板装配机的打开状态；

图9是一侧截面图，图示图8中基板装配机的完全打开状态；

图10是一侧截面图，图示一基板装配机，其中设置有根据本发明第三优选实施方式的装载/卸载设备；

图11a和11b是侧截面图，图示图10中装载/卸载设备的运转；

图12是图10中装载/卸载设备的仰视图；

图13是侧截面图，图示图10中的装载/卸载设备的基板接收单元；

图14a和14b是侧截面图，图示根据本发明第三优选实施方式的基板装配机的抽吸模块；以及

图15a和15b是仰视图，图示设置在图10中所示装载/卸载设备的弦线(string)中的防松弛构件。

具体实施方式

在下文中，将参考以上附图详细描述根据本发明优选实施方式的基板装配机。

<实施方式1>

根据本发明优选实施方式的基板装配机，如图3和4所示，包含：上基部112和下基部110、上腔114和下腔116、上工作台120和下工作台122、升降设备(未图示)、对准设备124、竖直的驱动单元134、以及下支撑构件144，并且类似于传统的基板装配机，构造成使得插入所述上腔114和下腔116内的两个基板S(薄膜晶体管(TFT)阵列基板及滤色器基板)水平地设置在上工作台120和下工作台122上，以彼此装配在一起。

在此，由于上基部112和下基部110、上腔114和下腔114、上工作台120和下工作台122、以及对准设备124与传统的基板装配机中的相应装置具有相同的结构与性能，所以省去对它们的描述。

必须升起上工作台120和下工作台122中的上工作台120以精确地调整上工作台120和下工作台122之间的距离，并且带有支撑构件130，支撑构件130从上工作台120的外壁突出。为了将支撑构件130固定至上工作台120，设置有用于将支撑构件130固定至上工作台120的紧固构件132。

固定至支撑构件130内侧的紧固构件132各自具有形成于其外周上的公螺纹，上工作台120具有形成于其外壁上的母螺纹，这样所述公螺纹与所述母螺纹紧固在一起，从而支撑构件130分别地固定至上工作台120的外壁。

为了将支撑构件130定位在竖直的驱动单元134的下侧，上腔114具有朝外取向且形成于其内侧内的凹部空间，且固定至上工作台120的支撑构件130定位在所述凹部空间内。

在此，在支撑构件130的上缘边区域内，作为线性致动器的竖直驱动单元134设置成接触所述上缘边区域，并且竖直的驱动单元134穿过上腔114的预设位置且固定至上腔114，同时保持所述被穿过位置密封。

在支撑构件130所处的上腔114的空间内，下支撑构件144和止挡146插入沿竖直的驱动单元134的竖直轴线向下穿透的空间内，并且打开和关闭构件114a固定至上腔114的下侧。

下支撑构件144是压缩弹簧，并且置于支撑构件130和打开和关闭构件114a之间以在多个位置处支撑上工作台120，使得：当上工作台120降下时，上工作台120的负载因为竖直的驱动单元134的运转而散布并降低。

同时，在打开和关闭构件114a的上部区域内，设置用作振动吸收器的止挡146，以限制固定至上工作台120的支撑构件130的最大下降高度，并使上工作台120的振动最小化。止挡146设置在支撑构件130和打开和关闭构件144a之间，并且其高度能够在支撑构件130降下时防止支撑构件130与上腔114内部空间的底部接触。

打开和关闭构件144a以板形制造，可以除下以便对下支撑构件144和止挡146进行修理和维护，并且由螺栓紧固至上腔114的下侧。

在此，将标号118指定给上板。

为了在根据本发明优选实施方式的基板装配机中精确地调整上和下工作台之间的距离，上工作台120如图4所示地运转。换句话说，上工作台120由设在上工作台120外的多个支撑构件130支撑，所述支撑是由设在上工作台120角部区域处的多个下支撑构件144执行的，且支撑构件130的上部区域由置于上腔114外的竖直的驱动单元134支撑，竖直的驱动单元134在竖直轴线上与下支撑构件144对准，使得竖直的驱动单元134的负载由所述竖直的驱动单元134和下支撑构件144分担。

另外，当上工作台120振动时，上工作台120的振动通过设在下支撑构件144内的止挡146而最小化。

<实施方式2>

如图5所示，根据本发明优选实施方式的基板装配机带有装载/卸载设备，其包含：上基板212和下基板210、上腔214和下腔216、上工作台218和下工作台220、升降设备(232)、对准设备236、以及装载/卸载设备250。

设置在下工作台220上侧上的静电吸盘228不同于与上工作台218整体地形成的静电吸盘226，并且具有多个在宽度和长度上彼此间隔开且面积相同的矩形空间。

如图6和图9所示，装载/卸载设备250，包含框架252、引导轴254、弹性构件256、升降器260、弦线固定单元262、以及基板接触器264，并且设在由上腔214和下腔216和上工作台218和下工作台220限定的空间内。

框架252由引导轴254引导而升起或降下，所述引导轴254插入至在角部形成的孔内，框架252具有呈板形且透穿的中央部分，所述透穿的中央部分的面积小于在下腔216内形成的内空间而大于下工作台220的面积。

各引导轴254是中空的缸，其侧端的直径大于其中间部分的直径，并且下端置于上基部212的上侧，位于下腔216和下工作台220之间的空间的下角部。

弹性构件256是压缩弹簧。弹性构件256的上端固定至引导轴254的外周上端，而弹性构件256的下端固定至与引导轴254对准的框架252的上侧。

弹性构件256沿着各自的引导轴254升起，并在框架252返回初始位置时为之提供回复力。

升降器260是卷轴，并且以线卷轴的形式制造，所述线卷轴连接至用于给诸如传统吸尘器之类的电气器件供电的电源插头。线(wire)258卷绕在相应的升降器260内。当保持和释放线258时，线258由于自身的回复力返回到初始位置。

升降器260固定至上腔214的天花板上与引导轴254中心轴线对准的相应位置。

在此，线258进入以及离开升降器260的引导端固定至暴露于引导轴254的框架252。

线258的长度可增加或减小以调整装载/卸载设备250被升起或降下的高度。换句话说，设置在弹性构件256内的线258的释放长度是可以调整的。线258的这个长度设置成使得线258能够释放至预定长度，但是当所述释放长度超过预定长度时阻止线258释放，或者线258的释放长度由独立的止挡(未示)限制。

弦线固定单元262为块状并以各个单一的线设置在框架252上以调整作为基板接触器264的弦线的拉力。如果各基板接触器264的受拉状态是相同的，基板S能够水平地放置在基板接触器264的上侧上，并且当基板S以倾斜的状态放置时，弦线固定单元262能够调整某些基板接触器264的拉力而水平地放置所述倾斜基板S。

在此，基板接触器264是弦线或升起销，在此优选实施方式中，所述弦线用作基板接触器264。当基板接触器264是升起销时，所述升起销进出所穿过的孔形成为在厚度方向上穿过下工作台220，并且基板S放置在通过所述通孔升起或降下的升起销的上侧。

基板接触器264的端部固定至相应的弦线固定单元262，并且由金属或合成树脂制造，并且基板接触器264的表面被涂覆以防止所述表面被置于其上的基板擦伤。同时，随着基板的面积增大，可以设置多个基板接触器264。

在此，所述基板接触器的最大升起高度与基板S被卸载的高度相同。

如图8所示，当下腔216的下侧设置为上腔214从下腔216升起高度的基准点时，高度a是随着上腔214升起至最大高度而升起的装载/卸载设备250的弦线264的位置。而高度b是设置在卷轴260内的线264释放至最大时的高度，高度c是上腔214由于升降器232而升起至最大时的高度。当上腔214就位在高度c处时，高度c成为置于装载/卸载设备250上的基板S被承载的位置。

基板通过装载/卸载设备从根据所述优选实施方式的基板装配机退出是如图5、8和9中所示地执行的。换句话说，基板S由外部的承载自动机(未示)插入基板装配机，随着用于在真空状态吸附上基板S的升起销222升起，上基板S由上工作台218的静电吸盘226吸附，下基板S到达高度a，并且此时，上腔214的下侧到达高度b。

换句话说，当上腔214由升降器232升起且上腔214和下腔216打开时，安装至上腔214天花板的升降器260的卷绕在升降器260内的线258被释放。这样，当上腔214到达高度b时，基板S由承载自动机插入所述腔内，并且装载/卸载设备250的框架252由于弹性构件256的弹性力而不会升起，而仅仅线258释放。此时，线258如同完全释放地那样尽可能地拖长(trained)。

此后，当升降器232被驱动而将上腔214升起至高度c时，已尽可能释放的线258不再进一步释放，并且升起装载/卸载设备250的框架252。这样，由弦线固定单元262固定至框架252的作为基板接触器264的弦线升起，使得基板接触器264升起并退出由所述承载自动机的臂定位在高度b处的基板S。

此时，框架252沿着引导轴254升起并压缩设置在引导轴254和框架252之间的弹性构件256。当基板S完全退出时，自动机的臂退出并移出所述基板装配机，并且上腔214被升降器232降下。由于置于引导轴254和框架252之间的弹性构件256的回复力，框架252也降下，基板S放置在下静电吸盘228的上侧，固定至框架252的线258返回到升降器260并逐渐卷绕，并且上腔214和下腔216被密封。

此后，在所述基板装配机内，对所述上和下基板S进行装配，并且装配后的基板S以与上述工艺相反的顺序退出。

这样，在使用升降器232升起上腔214以通过升起上腔214而将基板S插入和退出所述腔的过程中，所述装载/卸载设备设置成：当上腔214定位成高于一根据上腔214高度而预设的高度时无需分离的驱动单元来驱动，使得不需要用于退出基板S的驱动单元。

<实施方式3>

如图10所示，根据此优选实施方式的带有装载/卸载设备的基板装配机大致包含：下基部310、与下基部310间隔开的上基部312、置于上基板312上侧的上腔314和下腔316、置于上腔314上侧以密封上腔314的上盖318、置于上腔314和下腔316的上部区域和下部区域内的上工作台320和下工作台322，并且所述基板装配机构造成将插入所述上腔314和下腔316内的两个基板S(薄膜晶体管(TFT)阵列基板及滤色器基板，下文称为“上和下基板”)水平地设置在上工作台320和下工作台322上，以将之彼此装配在一起。

为了确保插入和退出所述上腔314和下腔316的上和下基板S的通过，用于升起上腔314的升降器332穿过下腔316并接触上腔314的下角部。

在此，在装配上和下基板S之前，有一个将置于下工作台322上的下基板S对准在X轴和Y轴方向上以及在θ轴方向上的精确位置的步骤。所述下基板S的所述对准由对准设备(未示)执行，所述对准设备设置成接触下腔316的邻近侧壁的三个点。

上工作台320和下工作台322相对地设置在带有装载/卸载设备的基板装配机的上腔314和下腔316的上空间和下空间内，使得由承载自动机(未示)插入上腔314和下腔316内的上和下基板S装配在一起。

同时，下工作台322使用多个固定至一板的升起销326来退出上和下基板S。由于下工作台322与传统的下工作台具有相同的结构，省去对下工作台322的详细描述。

特别地，如图11a和11b和12所示，用于退出置于所述上和下基板S上侧的基板S的每个基板退出设备340，在上盖318和上工作台320的内壁之间限定的空间内置于上盖318的下侧，并且包含：可运动件342、弦线张力调整器344、弦线346、驱动设备348、波纹管350、真空管线352、以及抽吸模块354。

基板退出设备340分别置于多个部分地从下侧凹下预定的深度的凹部320a内。

另外，基板退出设备340的抽吸模块354升起至预定高度。抽吸模块354的最低高度是承载自动机进入以插入上基板S的高度。抽吸模块354的最高高度是抽吸模块354吸附所插入的上基板S的高度，并且上基板S的下侧到达上工作台320的静电吸盘328的下侧。

基板退出设备340的元件将更详细地描述。首先，可运动件342制成板形，且除了缘边之外在厚度方向上透穿。

弦线张力调整器344拉弦线346的任意端以根据与抽吸模块354下侧接触的上基板S的尺寸和质量而调整所述弦线的张力。

弦线346要求有预定的强度，并且由金属、几种金属的混合物、或合成树脂制造。

另外，弦线346设置成多行，每行两根，并且所述弦线中的几根(twoor three)固定至弦线张力调整器344的侧壁。

驱动设备348是缸致动器或伺服电机。并且它们的旋转速度由马达控制器(未示)控制。驱动设备348穿过上腔314的上侧并且与上腔314的上侧偶联以固定至可运动件342的两个或四个上部中心点，使得当驱动设备348被驱动时所有的可运动件342升起。

在此，由于基板退出设备340的弦线张力调整器344能够在弦线张力调整器344在可运动件342上的设置方向上运动，所以，各弦线346能够水平地设置或者倾斜地设置。这样，当承载自动机进入弦线张力调整器344之间的空间或者其它情况下，承载自动机能够沿着所述设置方向运动(见图12)。

另外，当设置在一侧的任一驱动设备348或多个驱动设备348被驱动时，所述驱动设备348之一在高度方向上调整。这样，在装载在承载自动机上的基板S的前端处，承载自动机的一悬臂上柄(cantilever upperhand)下降，使得基板S也倾斜所述悬臂上柄下降的高度。基板退出设备340倾斜一与定位在承载自动机上柄上的基板S相同的角度，使得基板S被抽吸模块354的下侧水平地吸附(见图13)。

波纹管350绕着驱动设备348的暴露于上盖318及基板装配机的可运动件342所限定空间的可运动轴设置，并且保护驱动设备348的所述可运动轴。

真空管线352与外部真空泵(未示)连通，设置在弦线346之上的弦线张力调整器344的内侧，并且其内被抽真空。真空管线352上设置连接至接头352a的抽吸模块354。

抽吸模块354，如图14a和14b所示，设置在多根弦线346内，并且在其固定状态下与相应的真空管线352连通。抽吸模块354设置为使用真空管线352吸附所述上基板，并且优选地以规则的间隔设置。

同时，抽吸模块354固定至几根弦线346，并当所述抽吸模块354固定至单根弦线346时防止所述弦线振动。

各抽吸模块354包含固定块356和真空垫(vacuum pad)360。固定块356由塑料或金属制成并且分成固定至弦线346以及与弦线346接触的上部和下部。固定块356的接触面带有对应于弦线346的直径的半圆形凹槽。所述固定块固定至弦线346的适当位置。

在此，固定块356的固定具有夹型固定和螺栓型固定。根据所述夹型固定，铰链358附着至固定块356接触面的各侧，使得固定块356绕着铰链358枢转预定的角度并且接触面的相对侧部由螺栓紧固。

根据所述螺栓型固定，所述上和下固定块356由螺栓B紧固。

真空垫360定位在形成于固定块354下侧的通孔中，并且包含形成于其下侧的锥形穿孔，以通过真空管线352对与上基板S接触的表面抽真空。

同时，当真空垫360安装在固定块354内时，真空垫360从固定块354的上侧突出一预定的高度。真空垫360的突出部分插入真空管线352的接头352a内并与之连通。换句话说，由于能够在仅仅抽吸模块354从真空管线352接头352a分离的情况下对抽吸模块354进行维修，所以对抽吸模块354的维护是非常简单的。

同时，如图15a和15b所示，在可运动件342的端部处，进一步设置有防下垂构件370，所述防下垂构件370在弦线346的长度方向上运动并防止弦线346下垂。

防下垂构件370以在所述长度方向上延展的块形制造，并且当被设置在所述可运动件342的上侧时，与所述可运动件342一起升起。相应的弦线346插入防下垂构件370内，或放置在防下垂构件370的上侧，使得所述防下垂构件370的上侧支撑弦线346的下侧以防止弦线346下垂。

换句话说，由于防下垂构件370在与可运动件342端部的上表面接触的同时能够在水平方向上移动，所以，当弦线346已下垂时，防下垂构件370移至所述已下垂的位置以防止弦线346下垂。同时，当防下垂构件370置于弦线346之间时，抽吸模块354从弦线346分离以改变防下垂构件370的位置。

这样，在本发明的优选实施方式中，使用装载/卸载设备将装载的基板支撑在所述腔内的上和下工作台上的工序如下面的图10、11a和11b所示地进行。当基板S定位在上工作台320的下侧内时，置于上工作台320缘边内的基板退出设备340的驱动设备348被驱动而降下所述固定至驱动设备348下端的可运动件342。当弦线张力调整器344(其置于可运动件342的下侧内使得所述多根弦线346以适当的间隔设置)被降下时，固定至所述多根弦线346的抽吸模块354的真空垫360也降下，并且接触基板S的上表面。

通过设置在344端部处的真空线路，抽吸模块354使用在基板S和抽吸模块354的真空垫360之间产生的真空压力(vacuum pressure)来吸附基板S。之后，设置在344内的抽吸模块354在吸附上基板S的同时被升起，并且定位在上工作台320和静电吸盘328之间的凹部320a内。上基板S的上侧接触静电吸盘328的下侧，并且上基板的位置由静电吸盘328的静电力固定。

此后，当设置在下工作台322内的升起销326由驱动设备降下时，所述真空泵被驱动，使得升起销326临时地吸附下基板326并且下柄朝外移动。升起销326降下，下基部S由置于下工作台322上侧的静电吸盘328的静电力牢固地吸附，并且装配上和下基板S。

根据本发明的基板装配机，当上工作台升起以调整上和下工作台之间的距离时，竖直的驱动单元支撑上工作台的上侧，下支撑构件和止挡支撑上工作台的下侧，以支撑所述上工作台的上侧和下侧，从而防止所述竖直的驱动单元过载。这样，由于可以使用较小容量的竖直驱动单元，所以制造成本降低且支撑结构简化。

根据装载/卸载设备和带有装载/卸载设备的本发明基板装配机，用于将基板定位至传送高度的装载/卸载设备设置在作为用于制造平板显示设备的装置的基板装配机内。所述装载/卸载设备包含设置在上腔天花板内的升降器，其中具有预定长度的线的端部固定至框架，并且当施加至其上的力消失时，所述线返回到其初始位置。当上腔由所述升降器升起至预定高度并且在所述线尽可能地拖长的状态下进一步升起时，由于所述装载/卸载设备升起至基板退出位置以退出基板，所以不需要单独的设备来使基板到达传送位置。这样，制造成本降低且结构简化。

尽管已经为说明的目的描述了本发明的优选实施方式，但是本领域的普通技术人员会理解：在不脱离所附权利要求书所公开的本发明范围和主旨的情况下，可能有多种修改、添加和替代。

Claims (11)

1.一种用于在真空腔内装配上和下基板的基板装配机，包括：

一腔，其包含上腔和与所述上腔耦合的下腔；

上和下工作台，其分别设置在所述腔的上部区域和下部区域内，用于分别地吸附所述上和下基板；

上工作台支撑构件，其端部与所述上工作台的侧部耦合，并且其相对侧部插入所述上腔的侧壁内以支撑所述上腔；

下支撑构件，其置于所述上腔的侧壁内，用于支撑插入所述上腔的侧壁内的所述上工作台支撑构件的相对侧部的下侧；

竖直的驱动单元，其与从所述腔的侧壁插入所述腔的侧壁内的上工作台支撑构件的相对侧部的上侧耦合，以在竖直方向上移动所述上工作台；以及

装载/卸载设备，其置于所述腔内以收回从外部插入的基板以及将装配后的基板排出至外部。

2.如权利要求1所述的基板装配机，其中，所述下支撑构件包括压缩弹簧。

3.如权利要求1所述的基板装配机，进一步包括设置在下支撑构件内的止挡以限制所述上工作台的下降高度。

4.如权利要求1所述的基板装配机，其中，所述竖直的驱动单元包括线性致动器。

5.如权利要求1所述的基板装配机，其中，所述装载/卸载设备包括：

多个基板接触器，其置于所述下工作台上使得所述基板放置在其上以支撑所述基板；

板框架，其设置在所述基板接触器下侧内，且具有形成在其中央区域内透穿的中央部分，所述中央部分的面积大于所述下工作台的面积；以及

升降器，其设置在所述框架的各角部处以将所述框架固定至所述上腔，并且具有当所述上腔与所述框架耦合时卷绕的线。

6.如权利要求5所述的基板装配机，其中，所述基板接触器包括弦线。

7.如权利要求6所述的基板装配机，进一步包括引导轴，所述引导轴置于所述框架的角部区域内且竖直地直立，并且其下端固定至下工作台以引导所述框架的竖直运动使得内部透穿，用于所述线穿过所述内部，并且所述框架在竖直方向上沿着外周升起或降下。

8.如权利要求7所述的基板装配机，其中，各引导轴进一步包含一个弹性构件，所述弹性构件用于使所述框架由于弹性力而返回至初始位置。

9.如权利要求1所述的基板装配机，其中，所述装载/卸载设备包括：

可运动件，其制成为矩形缘边的形状并且在竖直方向上往复运动；

弦线，其设置在所述可运动方向的长度方向上，有多根弦线排成数行；

多个弦线张力调节器，其设置在所述弦线的侧部以固定所述弦线的侧部；

抽吸模块，其设置至相应的弦线以使用真空压力吸附所述基板；

真空管线，其连接至所述抽吸模块和外部真空泵以便将真空抽吸力供应至抽吸模块；

多个驱动设备，其与所述可运动件耦合以提供驱动力使得一些或所有的可运动件移动；以及

波纹管，其设置在所述驱动设备暴露至外部的部分内，以保持所述腔的真空状态。

10.如权利要求9所述的基板装配机，其中，所述抽吸模块包括：

固定块，其设置成接触所述弦线的上和下侧，固定至所述弦线的预定位置，并且具有半圆形的槽，所述半圆形槽的直径对应于在所述固定块的接触面内形成的弦线的直径；以及

真空垫，其设置在固定块的下侧，以通过所述真空管线在其与所述基板接触的表面内产生真空压力。

11.如权利要求10所述的基板装配机，进一步包括防下垂构件，所述防下垂构件设置在所述可运动件的侧部处，并在所述弦线的长度方向上移动且以防止所述弦线下垂。

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