CN101424815B

CN101424815B - 用于附着衬底的设备

Info

Publication number: CN101424815B
Application number: CN2008101723619A
Authority: CN
Inventors: 金东建; 崔凤焕
Original assignee: ADP Engineering Co Ltd
Current assignee: ADP Engineering Co Ltd
Priority date: 2007-11-02
Filing date: 2008-11-03
Publication date: 2011-03-16
Anticipated expiration: 2028-11-03
Also published as: KR100894739B1; TW200947371A; CN101424815A; US20090114350A1; US8205653B2; TWI420436B

Abstract

提供了一种衬底贴合设备和方法。该衬底贴合设备可以包括：接收第一衬底的第一支承件；接收与第一支承件相对的第二衬底的第二支承件；支承销，支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该支承销可以连接到第一支承件；以及距离调节单元，距离调节单元可以向上或向下移动支承销，以调节第一支承件和第二支承件之间的距离。

Description

用于附着衬底的设备

技术领域

本发明涉及一种衬底贴合设备，更具体地说，涉及一种在平板显示器面板的制造过程中使用的衬底贴合设备。

背景技术

随着基于信息技术的社会的发展，对显示器设备的需求在增加。诸如液晶显示器(LCD)、等离子显示器面板(PDP)和电致发光显示器(ELD)的多种平板显示器设备正在被广泛使用。

其中，由于LCD与老式的阴极射线管(CRT)相比具有优良的图像质量、重量轻、厚度薄以及低功耗，LCD被广泛用于移动应用中。当制造用于LCD的液晶显示器面板的时候，用于贴合阵列衬底和滤色器衬底的工艺会是确定LCD质量的重要因素。

发明内容

提供了一种衬底贴合设备，该衬底贴合设备能够在上板(或下板)向着下板(或上板)移动的时候，防止上板(或者下板)震动。

本申请包含并概况描述的衬底贴合设备可以包括：第一支承件，第一支承件在其一个主表面处固定第一衬底；第二支承件，第二支承件在其与第一支承件相对的一个主表面处固定第二衬底；支承销，支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该支承销连接到第一支承件；以及距离调节单元，距离调节单元用于向上或向下移动支承销，以调节第一支承件和第二支承件之间的距离。

支承销可以被布置成与第一衬底的一侧基本平行，并且距离调节单元包括基本平行于固定到第二支承件的第二衬底的一侧而形成的槽，以接收支承销。

距离调节单元可以包括推杆和致动器，其中推杆具有接收支承销的槽，该推杆支承槽内接收到的支承销，并且致动器连接到推杆以向上或向下移动推杆。

本申请包含并概况描述的衬底贴合设备可以包括：第一支承件，第一支承件在其一个主表面处固定第一衬底；第二支承件，第二支承件在其与第一支承件相对的一个主表面处固定第二衬底；第一支承销，第一支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该第一支承销连接到第一支承件的一侧；第二支承销，第二支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该第二支承销连接到与第一支承件的所述一侧基本平行的第一支承件的另一侧；第一腔室，第一腔室具有开口，其中布置有第一支承件，第一腔室围绕第一和第二支承销和第一支承件；第一和第二弹性件，第一和第二弹性件分别布置在第一腔室和第一支承件的一侧之间以及第一腔室和第一支承件的另一侧之间，以在朝着第一支承件的方向上向第一支承件提供弹性力；以及距离调节单元，距离调节单元用于向上或向下移动第一和第二支承销，以调节第一支承件和第二支承件之间的距离。

本申请包含并概况描述的衬底贴合设备可以包括：第一支承件，第一支承件在其一个主表面处固定第一衬底；第二支承件，第二支承件在其与第一支承件相对的一个主表面处固定第二衬底；第一支承销，第一支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该第一支承销连接到第一支承件的一侧；第二支承销，第二支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该第二支承销连接到与第一支承件的所述一侧基本垂直的第一支承件的另一侧；以及距离调节单元，距离调节单元用于向上或向下移动第一和第二支承销，以调节第一支承件和第二支承件之间的距离。

附图说明

下面将参照附图详细地描述实施例。附图中，类似附图标记表示类似元件，其中，

图1是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的剖面图；

图2是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的距离调节器的内部结构的前剖面图；

图3是图2中示出的距离调节器的部分透视图；

图4是图2中示出的距离调节器的侧剖面图；

图5是上板和支承销的俯视图；

图6是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的另一距离调节器的内部结构的前剖面图；

图7是图6中示出的距离调节器的侧剖面图；

图8A和8B是上板和支承销的俯视图；以及

图9是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的操作流程图。

具体实施方式

下文中，将参考附图1-9详细描述示例性实施例。这些示例性实施例可以修改成多种形式，因此本发明的范围不应被解释成受这些示例性实施例的限制。

薄膜晶体管(TFT)-LCD面板可以通过下述步骤来制备：制备具有以矩阵形式排列的多个薄膜晶体管的阵列衬底；制备其上形成有滤色器或遮光膜的滤色器衬底；将滤色器衬底贴合到阵列衬底，使得滤色器衬底与阵列衬底相对，同时维持滤色器衬底和阵列衬底之间若干μm的预定距离；在贴合之前、期间或之后，将液晶注入滤色器衬底和阵列衬底之间；以及密封经贴合的滤色器衬底和阵列衬底。

衬底贴合工艺可以由包括上腔室和下腔室的衬底贴合设备执行，并且在上、下腔室限定的内部空间产生真空。衬底可以被固定到上腔室和下腔室，并且可以被移动以调节衬底之间的距离，并且调节衬底的对准。在每个腔室中可以设置有板、夹具和对准器，以防止腔室的结构变形影响衬底，并且还用来对准和调节衬底之间的距离。

本申请包含并概括性描述的示例性衬底贴合设备100在图1中示出。衬底贴合设备100可以包括框架200、上腔室300、下腔室400、以及驱动器500。

框架200形成衬底贴合设备100的外观，并且支承衬底贴合设备100的相应组件。框架200包括限定框架200下部的多个支柱210，支柱210被固定到基底220的边缘。基底220支承驱动器500。在相邻的支柱210之间可以设置额外的梁(未示出)或撑杆(未示出)，以增加支柱210提供的结构刚度的强度。

上腔室300可以结合到框架200的上部，并且可以与下腔室400紧密接触以限定贴合空间。上腔室300可以包括上腔室主体310和多个支承杆320，其中上腔室主体310被配置可以与下腔室400紧密接触以定义贴合空间，并且多个支承杆320从上腔室主体310突出以允许框架200的支柱210从中穿过，使得支柱210被支承杆320接收并与支承杆320结合。

上腔室主体310可以包括开口312，开口312形成在上腔室主体310的下部以接收上支承件。上支承件可以包括上板330和被置于上板330底部的上夹具340。上夹具340可以被形成为平板的形状。第一衬底P1可以被放置在上夹具340的接收表面上。上夹具340可以是使用静电力来支承第一衬底P1的静电夹具，或者是其他合适类型的夹具。在替代性实施例中，上板330可以与上夹具340一体形成。在此情形中，上板330可以保持第一衬底P1。

支承销350可以从上板330的外端突出，并且可以被布置成与固定到上夹具340的第一衬底P1的一侧基本平行。支承销350可以由推杆412支承，这将在稍后描述。

摄像机360可以设置在上腔室主体310的顶部，以调节第一衬底P1和第二衬底P2之间的相对位置。其他位置也可能适宜安放摄像机360。还可以与上腔室310一同设置衬底分离器370，以吸或压第一衬底P1，使得第一衬底P1可以固定到上夹具340或者从上夹具340分离。

摄像机360通过形成在上腔室主体310和上板330中的通孔361可以观察固定到上夹具340的第一衬底P1和第二衬底P2之间的对准，这将在稍后描述。例如，摄像机360可以在将第一衬底P1和第二衬底P2重叠的时候，观察设置在第一衬底P1和第二衬底P2上的对准标记(未示出)。摄像机360还可以在将第一衬底P1和第二衬底P2重叠的时候，观察第一衬底P1和第二衬底P2的至少两个对角。

衬底分离器370可以包括多个分离销371和分离销致动件372，其中多个分离销371延伸穿过上腔室主体310和上板330，并且分离销致动件372被布置在上腔室主体310外部，以向上或向下移动分离销371。每个分离销371可以被形成为中空管的形状。分离销371可以连接到排气器件600，使得当利用排气器件600在分离销371中产生真空压力的时候，分离销371可以对第一衬底P1施加吸力。

排气器件600可以在上腔室主体310和下腔室400之间限定的贴合空间中产生真空压力。排气器件600可以包括排气管610和真空泵(未示出)，其中排气管610与上腔室主体310和下腔室400之间限定的贴合空间连通，并且真空泵通过排气管在贴合空间中产生真空压力。真空泵可以连接到排气管610，使得在贴合期间使用的N₂工艺气体可以在产生真空压力的同时被供应。或者，加压气体可以被供应到排气管610中，使得贴合空间中的压力变为大气压。

下腔室400被布置在上腔室300之下。下腔室400可以向着上腔室300移动，使得下腔室400与上腔室主体310紧密接触，进而限定贴合空间。在下腔室400的顶部可以设置下支承件，下支承件包括下板420和设置在下板420顶部的下夹具430，以支承第二衬底P2。下夹具430可以是使用静电力固定第二衬底P2的静电夹具，或者是其他合适类型的夹具。在替代性实施例中，下板420可以与下夹具430一体形成。在此情形中，下板420可以保持第二衬底P2。

密封件440可以设置在上、下腔室300、400的对应边缘之间，以便接触上腔室主体310的底部，并且紧紧密封贴合空间。

距离调节器410还可以设置在下腔室400的边缘，以支承支承销350并调节上板330和下板420之间的距离，其中支承销350从上板330穿过上腔室主体310向外突出。

衬底移动器450可以设置在下腔室400的底部，以将第二衬底P2固定到下夹具或者将第二衬底P2从下夹具430分离。衬底移动器450可以包括多个销451和致动件452，多个销451延伸穿过下腔室400，致动件452被布置在下腔室400的外部，以向上或向下移动销451。

由驱动器500支承的位置调节架460可以调节下腔室400的位置，进而对准上腔室主体310和下腔室400。

驱动器500可以被布置在框架200的下部，以向着或远离上腔室300移动下腔室400，使得贴合空间被打开或关闭。驱动器500可以包括安装在基底220边缘的多个移动器件510以及由移动器件510支承的平板520。

每个移动器件510可以包括支承平板520的支柱511和向上或向下移动支柱511的移动件512。移动件512可以是产生直接向上或向下移动平板520所需动力的液压缸(未示出)。或者，移动件512可以是电机(未示出)、减速器(未示出)和螺旋组件(未示出)的组合，其中减速器转换电机所产生的动力的方向，同时减慢动力的速度，螺旋组件将减速器的旋转运动转换为直线运动。移动件512可以被构造成多种结构，并不限于上述结构。

下文中，将参考图2-4更详细地描述本申请包含并概括性描述的距离调节器410。距离调节器410可以支承设置在上板330处的多个支承销350。距离调节器410可以包括致动器411和推杆412。

致动器411可以安装在下腔室400的边缘，以向上或向下移动推杆412。推杆412可以支承对应的支承销350，并且可以由致动器411向上或向下移动。

槽412a可以形成在推杆412的上端，以接收布置在上板330处的对应的支承销350。槽412a可以与固定到下板420的第二衬底P2的一侧基本平行(或者与第一衬底P1的一侧或支承销350基本平行)，即，如图3所示，槽412a可以与上、下板330、420以及/或者第一、二衬底P1、P2的纵轴平行。从而，推杆412可以防止对应的支承销350在与支承销350基本垂直的方向上移动。尽管在本实施例中图3-4示出的槽412a被形成在推杆412的上端中，但是推杆412的上端的形状可被修改，只要防止对应的支承销350在与支承销350基本垂直的方向上移动即可。

如图5所示，衬底贴合设备100可以包括多个支承销350a和350b。支承销350a和350b可以包括连接到上板330一侧的第一支承销350a以及连接到上板330另一侧的第二支承销350b。第一支承销350a可以被布置成与第二支承销350b基本垂直。多个推杆412b和412c可以分别支承第一和第二支承销350a和350b。推杆412b和412c可以包括支承第一支承销350a的第一推杆412b和支承第二支承销350b的第二推杆412c。

在每个第一推杆412b的上端内，可以形成第一槽以接收对应的第一支承销350a。第一槽可以与对应的第一支承销350a基本平行。在每个第二推杆412c的上端内，可以形成第二槽以接收对应的第二支承销350b。第二槽可以与对应的第二支承销350b基本平行。第一槽防止第一支承销350a在与第一支承销350a基本垂直的方向上移动，并且第二槽防止第二支承销350b在与第二支承销350b基本垂直的方向上移动。从而，当衬底P1和P2之间的距离通过上板330的向上或向下移动而被调节时，可以防止上板330上下或左右移动。而且，可以在均匀地维持衬底P1和P2之间距离的同时，向上或向下移动上板330。

所设置的支承销350和推杆412的数目可以是一个或多个，并且支承销350和推杆412的数目未被具体限定。

图6是根据这里概括描述的另一实施例的距离调节器410的内部结构的前剖面图，图7是该距离调节器410的侧剖面图，并且图8A和8B是与本实施例相关联的上板和支承销的俯视图。

图6-7中示出的距离调节器410支承设置在上板330处的多个支承销350，并且包括致动器411、推杆412以及弹性件413。致动器411可以安装在下腔室400的边缘，以向上或向下移动推杆412，进而向上或向下移动对应的支承销350。

在推杆412的上端中，可以形成槽412a以接收上板330处的支承销350。槽412a可以在衬底P1和P2以及支承销350的纵向上定向，并且与固定到下板420的第二衬底P1的一侧基本平行(或者与第一衬底P1的一侧或支承销350基本平行)。从而，推杆412可以防止支承销350在与支承销350基本垂直的方向上移动。尽管图7所示实施例中的槽412a被形成在推杆412的上端中，但是槽并不限于这种结构。推杆412上端的形状可以被修改，只要防止支承销350在与支承销350基本垂直的方向上移动即可。

如图8A所示，弹性件413可以位于支承销350的端部以在朝着上板330的方向上向支承销350提供弹性力。弹性力可以基本平行于支承销350。布置在上板330左侧和右侧的弹性件413可以防止支承销350在与支承销350基本平行的方向上移动

弹性件413例如可以是球塞。当支承销350由致动器411向上或向下移动时，支承销350也可以在与相应球塞413的球接触的条件下向上或向下移动，从而可以最大程度上防止支承销350在纵向上移动。

参考图8A和8B，支承销350的数目可以大于1，并且支承销350可以沿着上板330的第一侧以及沿着与上板330的第一侧平行的上板330的第二侧安装。而且，支承销350可以安装在上板330的第一侧和第二侧的对应位置处。由于支承销350由相应的推杆412支承，所以支承销350不能在与支承销350基本垂直的方向上移动。而且，由于相应的球塞413，支承销350不能在与支承销350基本平行的方向上移动。从而支承销350的水平移动被推杆412和球塞412限制。支承销350、推杆412和球塞413的数目可以是一个或多个，并且支承销350、推杆412和球塞413的数目未被具体限定。

图9是图1所示衬底贴合设备的操作流程图。

参考图9，利用衬底提供设备(未示出)，第一衬底P1和第二衬底P2被提供到上腔室300和下腔室400之间的空间中(S110)。

例如，第一衬底P1可以首先被提供并被固定到布置于上腔室主体310中的上板330的上夹具340。然后，当第二衬底P2被提供的时候，利用致动件452，下腔室400中设置的销451可以从下腔室400向上移动，并且第二衬底P2可以被销451支承在上腔室300和下腔室400之间。当销451随后由致动件452向下移动的时候，被销451支承的第二衬底P2也向下移动。此时，第二衬底P2可以利用位于第二衬底P2底部的下板420的下夹具430产生的附着力或者其他合适的手段，固定到下夹具430。

当第一衬底P1和第二衬底P2被固定到适当的位置的时候，在驱动器500向着上腔室300移动下腔室400的时候，下腔室400可以与上腔室300对准(S120)。

支承下腔室400的平板520由多个移动器件510支承，所述多个移动器件510是可独立操作的。平板520的垂直位置可以通过支柱511来调节，支柱511通过相应的移动件512向上或向下移动。此时，摄像机360拍下第一衬底P1和第二衬底P2的对准标记(未示出)，以观察第一衬底P1和第二衬底P2的对准状态。在下腔室400由驱动器500向上或向下移动的时候，下腔室400和上腔室主体310的水平位置对准可以利用布置在下腔室400和驱动器500的平板520之间的位置调节架460来执行。

当下腔室400和驱动器500的平板520的位置对准完成的时候，下腔室400的顶部与上腔室主体310的底部紧密接触，以形成其中将贴合第一衬底P1和第二衬底P2的贴合空间(S130)。密封件440可以维持上腔室主体310和下腔室400之间限定的贴合空间内部的气密性。

在移动下腔室400以形成贴合空间之后，距离调节器410调节第一衬底P1和第二衬底P2之间的距离(S140)。即，当距离调节器410的致动器411被运行以维持第一衬底P1和第二衬底P2之间的均匀距离的时候，支承支承销350的推杆412移动，引起固定有第一衬底P1的上板330的上夹具340也向下移动。

当第一衬底P1和第二衬底P2之间获得了预定距离之后，上板330的向下移动停止，并且排气器件600在贴合空间中形成真空(S150)。此时，即使是在贴合空间中建立真空压力的时候，也可以通过距离调节器410均匀维持第一衬底P1和第二衬底P2之间的距离。

当在贴合空间中建立了真空压力的时候，第一衬底可以被上夹具340释放，并且自由降落到第二衬底P2的顶部，使得第一衬底P1临时贴合到第二衬底P2(S160)。

在N₂工艺气体被供应到贴合空间围绕临时贴合的第一和第二衬底P1和P2的时候，压力被施加到临时贴合的第一和第二衬底P1和P2，使得第一衬底P1和第二衬底P2牢固贴合在一起(S170)。即，通过增加贴合空间中的压力，增加了临时贴合的第一和第二衬底P1和P2内外之间的压力差，结果是第一衬底P1贴合到第二衬底P2。

当第一衬底P1和第二衬底P2的贴合完成之后，贴合空间的压力可以恢复到大气压，并且贴合后衬底被传送出衬底贴合设备100(S180)。贴合空间中的压力被恢复到大气压，因为这样容易控制压力，并且随后的衬底传送工作可以在大气压下进行，并且不需要进一步的处理。

尽管为了例示的目的公开了多个实施例，但是本领域技术人员将意识到，在不背离权利要求以及这里公开的精神和范围的前提下，可以进行多种修改、添加和替换。例如，可以在这里概括描述的实施例中添加具有其他附加功能的组件，或者用其他新组件替换这里的组件。然而，应当注意，当其他修改方式包括这里公开的基本组件的时候，这种修改被包括在这里概括描述的实施例的技术范畴之内。

本申请包含并概况描述的衬底贴合设备和方法可以在上板(或下板)向着下板(或上板)移动的时候，防止上板(或者下板)震动。而且，上板(或下板)可以被均匀移动，从而维持衬底之间的均匀距离。此外，可以在维持衬底之间均匀距离的同时贴合衬底，从而降低了贴合后衬底的缺陷率。

在本说明书中所谈到的“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“特定实施例”、“替换性实施例”等等，指的是结合该实施例描述的具体特征、结构或者特点包括在本申请概括性描述的至少一个实施例中。在说明书中任何地方出现这种表述不是一定都指的是该同一个实施例。进一步，结合任一实施例描述一个具体特征、结构或者特点时，所要主张的是结合其他实施例来实现这种特征、结构或者特点，落在本领域技术人员的范围内。

尽管参照本发明的多个解释性实施例对本发明进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变型和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。

Claims

1.一种衬底贴合设备，包括：

第一支承件，第一支承件在其接收表面上接收第一衬底；

与所述第一支承件相对设置以便在其间限定贴合空间的第二支承件，其中所述第二支承件在其接收表面上接收第二衬底；

设置在所述第一支承件内并在所述第一衬底外部的支承销，所述支承销与所述第一支承件的接收表面和其上接收的所述第一衬底的纵向基本平行地延伸；以及

距离调节器，所述距离调节器有选择地向上或向下移动所述支承销，以调节所述第一支承件和所述第二支承件之间的距离，所述距离调节器包括：

推杆，所述推杆具有在其第一端中形成的与所述支承销基本平行的槽，以接收并支承相应支承销的一端并限制所述支承销的横向移动，以及

致动器，所述致动器结合到所述推杆的第二端，其中所述致动器有选择地向上或向下移动所述推杆。

2.如权利要求1所述的衬底贴合设备，其中所述第一支承件包括：

第一腔室；

可移动地结合到所述第一腔室的第一板；以及

结合到所述第一板的第一夹具，其中所述第一支承件的所述接收表面被形成在面对所述第二支承件的所述第一夹具的表面上；并且其中所述第二支承件包括：

第二腔室；

结合到所述第二腔室的第二板；以及

结合到第二板的第二夹具，其中所述第二支承件的所述接收表面被形成在面对所述第一夹具的所述第二夹具的表面上。

3.如权利要求2所述的衬底贴合设备，其中所述支承销包括从所述第一板的相对侧边向外延伸并进入在所述第一腔室中形成的对应接收空间中的至少两个支承销。

4.如权利要求3所述的衬底贴合设备，其中所述距离调节器包括至少两个距离调节器，所述至少两个距离调节器设置在第二腔室上与所述至少两个支承销相对应的位置处。

5.如权利要求4所述的衬底贴合设备，其中所述槽被定位成与所述支承销的纵轴基本平行，从而所述槽的外壁限制定位其中的所述支承销的横向移动。

6.如权利要求4所述的衬底贴合设备，其中所述推杆从所述第二腔室延伸，经过所述第一腔室中的通孔，进入在所述第一腔室中形成的接收空间，以便支承所述支承销的所述一端，并且其中所述支承销和结合到所述支承销的所述第一板响应于由所述致动器产生的所述推杆的对应移动，在所述第一腔室内向上或向下移动。

7.如权利要求4所述的衬底贴合设备，其中每个距离调节器还包括位于所述接收空间的侧壁和位于其中的所述支承销的端部之间弹性件，其中所述弹性件限制所述槽中的所述支承销的纵向移动，所述槽的相对侧壁限制所述槽中的所述支承销的横向移动。

8.如权利要求4所述的衬底贴合设备，其中所述至少两个支承销包括从所述第一板的四个侧边中的每个向外延伸并进入在所述第一腔室中形成的对应接收空间的至少一个支承销，并且其中所述至少两个距离调节器包括设置用于每个支承销的至少一个调节器。

9.一种衬底贴合设备，包括：

第一腔室，与第二腔室相对定位以便在其间限定贴合空间；

第一支承件，位于所述第一腔室中以便接收并保持第一衬底；

第二支承件，位于所述第二腔室中以便接收并保持与所述第一衬底相对的第二衬底；

第一和第二支承销，所述第一和第二支承销分别从第一支承件的相对的第一和第二侧边向外延伸，并且分别进入在所述第一腔室的相对侧壁中形成的对应的第一和第二接收空间；

距离调节器，所述距离调节器结合到所述第一和第二支承销，以便有选择地上升和下降所述第一和第二支承销并调节结合到第一和第二支承销的所述第一支承件；以及

分别位于所述第一支承件和所述第一腔室之间的所述第一和第二接收空间中的第一和第二弹性件，其中所述第一和第二弹性件在所述第一支承件上施加弹性力，以便维持所述第一腔室中的所述第一支承件的位置，

其中所述距离调节器与所述第二支承件一起设置，并且其中所述距离调节器包括：

与所述第一和第二支承销相对应的第一和第二推杆，所述第一和第二推杆每个具有其中形成有槽的第一端，所述第一端延伸进入相应的接收空间，以便接收并支承其相应的支承销的一端；以及

分别结合到所述第一和第二推杆的第二端的第一和第二致动器，其中所述第一和第二致动器上升和下降所述第一和第二推杆，以便上升和下降在所述槽中支承的所述第一和第二支承销，并且调节与其相连的所述第一支承件相对于所述第二支承件的位置。

10.如权利要求9所述的衬底贴合设备，其中所述第一弹性件位于所述第一支承销的远端和所述第一腔室之间，并且所述第二弹性件位于所述第二支承销的远端和所述第一腔室之间，并且其中所述第一和第二弹性件在所述第一和第二支承销上施加维持所述第一腔室中的所述第一支承件的水平位置的弹性力。

11.如权利要求9所述的衬底贴合设备，其中所述第一和第二支承销与所述第一支承件支承的所述第一衬底的纵轴基本平行地延伸，并且在所述第一和第二推杆中形成的所述槽与所述第二衬底的纵轴基本平行地延伸。

12.如权利要求11所述的衬底贴合设备，其中在所述第一和第二推杆中形成的所述槽与其中接收的所述第一和第二支承销基本平行，并且其中所述槽的相对侧壁限制所述槽中的所述第一和第二支承销的横向移动。