JP2012064295A - 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1次ラップ加工及び2次ラップ加工には、ダイヤモンド砥粒が結合剤で固定されたダイヤモンドパッド20A,20Bを用い、このダイヤモンドパッド20A,20Bのラップ面20aは、平坦な頂部を有するタイル状の凸部21が複数並んで設けられた構造を有し、1次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッド20Aは、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が4〜12μmであり、凸部21におけるダイヤモンド砥粒の含有量が5〜70体積%であり、2次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッド20Bは、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が1〜5μmであり、凸部21におけるダイヤモンド砥粒の含有量が5〜80体積%である。
【選択図】図2
Description
(1) 少なくともガラス基板の端面を除く表面に1次ラップ加工を施す工程と2次ラップ加工を施す工程とを含む磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記1次ラップ加工及び2次ラップ加工には、ダイヤモンド砥粒が結合剤で固定されたダイヤモンドパッドを用い、このダイヤモンドパッドのラップ面は、平坦な頂部を有するタイル状の凸部が複数並んで設けられた構造を有し、
前記1次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッドは、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径が4〜12μmであり、前記凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が5〜70体積%であり、
前記2次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッドは、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径が1〜5μmであり、前記凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が5〜80体積%であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
(2) 前記1次ラップ加工及び2次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッドは、前記凸部の外形寸法が1.5〜5mm角、高さが0.2〜3mmであり、隣接する凸部の間の間隔が0.5〜3mmであることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
本発明を適用して製造される磁気記録媒体用ガラス基板は、中心孔を有する円盤状のガラス基板であり、磁気記録媒体は、このガラス基板の面上に、磁性層、保護層及び潤滑膜等を順次積層したものからなる。また、磁気記録再生装置(HDD)では、この磁気記録媒体の中心部をスピンドルモータの回転軸に取り付けて、スピンドルモータにより回転駆動される磁気記録媒体の面上を磁気ヘッドが浮上走行しながら、磁気記録媒体に対して情報の書き込み又は読み出しを行う。
例えば、上述した1次主面ラップ工程及び2次主面ラップ工程で用いられるラッピングマシーン10及び1次主面ポリッシュ工程及び2次主面ポリッシュ工程で用いられるポリッシングマシーン50については、例えば図7に示すように、上下一対の下定盤71及び上定盤72と、下定盤71の上定盤72と対向する面に配置された複数のキャリア73とを備え、各キャリア73に設けられた複数(本実施形態では35つ。)の開口部74にガラス基板(図示せず。)をセットし、これら複数のガラス基板の両主面を下定盤71及び上定盤72に設けられた研削パッドにより研削する又は研磨パッドにより研磨する構成とすることも可能である。
実施例1では、先ず、外径48mm、中央孔12mm、厚さ0.560mmのガラス基板(オハラ社製、TS−10SX)を用いた。
比較例1では、上記1次主面ラップ工程において、上下一対の定盤を備えるラッピングマシーンを用い、互いに逆向きに回転する定盤の間で複数枚のガラス基板を挟み込み、ガラス基板に研削液を滴下しながら、これらガラス基板の両主面を定盤に設けられた研削パッドにより研削した。このとき、1次ラップ加工の研削パッドには、平均粒径9μmのダイヤモンド砥粒を用いたレジンボンドダイヤモンドラップ盤を用い、研削液には、水を用いた。なお、1次ラップ加工に用いたラップ盤は、研削面の全面にダイヤモンド粒が結合剤を介してボンディングされており、その表面は平坦である。また、ダイヤモンド砥粒の含有量は約20体積%であり、結合剤としてポリウレタン系樹脂を用いている。
実施例2では、上記実施例1の1次主面ラップ工程において、研削パッドとしてメタルボンドのダイヤモンドパッドを用いた。このダイヤモンドパッドは、ポリウレタン系樹脂製の基材に、無電解ニッケルめっきによって、ダイヤモンド砥粒を固着したものであり、凸部の外形寸法が2.6mm角、高さが2mm、隣接する凸部の間の間隔が1mm、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が9μmであり、凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が約20体積%である。そして、それ以外の製造条件は、上記実施例1と同様にした。
実施例3では、上記実施例1の2次主面ラップ工程において、研削パッドとしてメタルボンドのダイヤモンドパッドを用いた。このダイヤモンドパッドは、ポリウレタン系樹脂製の基材に、無電解ニッケルめっきによって、ダイヤモンド砥粒を固着したものであり、凸部の外形寸法が2.6mm角、高さが2mm、隣接する凸部の間の間隔が1mm、ダイヤモンド砥粒の平均粒径が4μmであり、凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が約50体積%である。それ以外の製造条件は、上記実施例1と同様にした。
また、実施例2は、実施例1よりもうねりが5%ほど悪化したものの、実施例3は、実施例1と同等のうねりであり、実施例1〜3は、何れも比較例1よりもうねりが小さかった。
以上のように、実施例1〜3では、比較例1よりも表面の平滑性が高いガラス基板(磁気記録媒体用ガラス基板)を製造することができた。
Claims (2)
- 少なくともガラス基板の端面を除く表面に1次ラップ加工を施す工程と2次ラップ加工を施す工程とを含む磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記1次ラップ加工及び2次ラップ加工には、ダイヤモンド砥粒が結合剤で固定されたダイヤモンドパッドを用い、このダイヤモンドパッドのラップ面は、平坦な頂部を有するタイル状の凸部が複数並んで設けられた構造を有し、
前記1次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッドは、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径が4〜12μmであり、前記凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が5〜70体積%であり、
前記2次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッドは、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径が1〜5μmであり、前記凸部におけるダイヤモンド砥粒の含有量が5〜80体積%であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記1次ラップ加工及び2次ラップ加工に用いるダイヤモンドパッドは、前記凸部の外形寸法が1.5〜5mm角、高さが0.2〜3mmであり、隣接する凸部の間の間隔が0.5〜3mmであることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
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