JP2015022784A - 磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記固定砥粒工具の研磨面に表出している砥粒の平均面積は10μm2以上300μm2以下であり、
前記固定砥粒工具の研磨面の砥粒表出率は1.1%以上3.0%以下である磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法を提供する。
(砥粒表出率)=100×(砥粒を構成する元素のカウントが所定値以上(例えば、砥粒を構成する元素のカウントが30以上)の測定点の数)/(観察視野内の全測定点の数)・・・式2
上記式の各パラメータの測定、算出手順について説明する。
(工程1)ガラス素基板から、中央部に円孔を有する円盤形状のガラス基板に加工する形状付与工程。
(工程2)ガラス基板の内周と外周の端面部分の面取りを行う面取り工程。
(工程3)ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程。
(工程4)ガラス基板の端面(内周端面及び外周端面)を研磨する端面研磨工程。
(工程5)ガラス基板を洗浄して乾燥する洗浄工程。
(1)固定砥粒工具の研磨面に表出している砥粒の平均面積、固定砥粒工具の研磨面の砥粒表出率
固定砥粒工具の研磨面に表出している砥粒の平均面積、固定砥粒工具の研磨面の砥粒表出率はそれぞれ以下の式1、式2により算出した。なお、測定は後述する9B型両面研磨装置の上定盤、下定盤に固定砥粒工具を装着後、固定砥粒工具の研磨面をドレス治具を用いてドレス処理した後に行っている。
(砥粒表出率)=100×(砥粒を構成する元素のカウントが30以上の測定点の数)/(観察視野内の全測定点の数)・・・式2
上記式の各パラメータは、SEM/EDX(SEM:株式会社日立ハイテクノロジーズ、型番:SU−8030/EDX検出器:株式会社堀場製作所、型番X−MAX80)を用いて以下の手順により算出した。
(2)固定砥粒工具の研磨面の磨耗量
ガラス基板を50μm研磨する際の固定砥粒工具の研磨面の磨耗量は、ガラス基板を合計で4000μm研磨する前後の固定砥粒工具の厚さを測定し、以下の式3を計算することにより算出した。なお、以下の実験例では両面研磨装置を用いていることから、ガラス基板を合計で4000μm研磨するとは、ガラス基板の上面の研磨量と、ガラス基板の下面の研磨量と、を合わせた両主平面の研磨量の平均値が4000μmであることを意味している。すなわち、両主平面の研磨量の合計は8000μmとなっている。
(固定砥粒工具の研磨面の磨耗量)={(研磨前の固定砥粒工具の厚さ)−(ガラス基板を4000μm研磨後の固定砥粒工具の厚さ)}×50/4000・・・式3
ここで両面研磨装置において固定砥粒工具は、上定盤に装着した固定砥粒工具(上定盤側の固定砥粒工具)と、下定盤に装着した固定砥粒工具(下定盤側の固定砥粒工具)と、の2つがある。本実験例においては上定盤側の固定砥粒工具、及び、下定盤側の固定砥粒工具の磨耗量の平均を、固定砥粒工具の研磨面の磨耗量とした。そして、研磨前の固定砥粒工具の厚さ、ガラス基板を4000μm研磨後の固定砥粒工具の厚さとは、それぞれ、研磨前、ガラス基板を4000μm研磨後の、上定盤側の固定砥粒工具及び下定盤側の固定砥粒工具の厚さの平均を意味する。
(3)研磨速度
後述する固定砥粒工具の研磨面をドレス処理した後1バッチ目と、15バッチ目のガラス基板研磨において、ガラス基板の研磨を始めてから研磨を終えるまでの時間を測定し、研磨量を研磨時間(加工時間)で除すことにより研磨速度を算出した。すなわち、以下の式により算出した。
(研磨速度)={(研磨前のガラス基板の厚さ)−(研磨後のガラス基板の厚さ)}/(加工時間)
(4)ガラス基板の表面粗さRa
研磨後のガラス基板の主平面の表面粗さ(算術平均粗さ)Raは、JIS B 0601−2001に準ずる方法により評価を行った。測定には接触式表面粗さ計(株式会社ミツトヨ製 商品名:サーフテストSV624)を用いた。測定長さ4.8mm、測定速度0.5mm/sec、基準長さ0.8mm、カットオフ波長λc=0.8mm、λs=0.0025mmとして測定を行った。なお測定は、ガラス基板の上下面についてそれぞれ一点ずつ測定し、その平均値を該ガラス基板の表面粗さRaとした。
(例1)
以下の手順により、磁気記録媒体用ガラス基板の主平面を研磨した。
(例2)
主平面研磨工程において、ドレス処理後の研磨面が表1に示す特性を有する固定砥粒工具を用いた点以外は例1と同様にして磁気記録媒体用ガラス基板の研磨を行った。
(例3)
主平面研磨工程において、固定砥粒工具16、18として、砥粒としてダイヤモンドを、ボンド材として銅、ニッケルを含有する合金を用いたメタルボンド砥石を用い、ドレス処理後の研磨面が表1に示す特性を有する固定砥粒工具を用いた点以外は例1と同様にして磁気記録媒体用ガラス基板の研磨を行った。
(例4)
主平面研磨工程において、ドレス処理後の研磨面が表1に示す特性を有する固定砥粒工具を用いた点以外は例1と同様にして磁気記録媒体用ガラス基板の研磨を行った。
(例5)
主平面研磨工程において、ドレス処理後の研磨面が表1に示す特性を有する固定砥粒工具を用いた点以外は例1と同様にして磁気記録媒体用ガラス基板の研磨を行った。
(例6)
主平面研磨工程において、ドレス処理後の研磨面が表1に示す特性を有する固定砥粒工具を用いた点以外は例1と同様にして磁気記録媒体用ガラス基板の研磨を行った。
次に、主平面研磨の2次、3次研磨工程を行った。2次研磨工程、3次研磨工程は、遊離砥粒を用いて研磨を行った。遊離砥粒を用いた研磨は図1(B)に示した両面研磨装置12において、固定砥粒工具16、18に代えて研磨パッドを装着し、研磨液を供給しながら行った。2次研磨工程においては、研磨液として酸化セリウム砥粒を含有する研磨液を、3次研磨工程においては、研磨液としてシリカ砥粒を含有する研磨液を用いてそれぞれ研磨を行った。
13 サンギア
14 インターナルギア
15 上定盤
16、18 固定砥粒工具
17 下定盤
Claims (3)
- 固定砥粒工具を用いて鏡面であるガラス基板の主平面を研磨する磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法であって、
前記固定砥粒工具の研磨面に表出している砥粒の平均面積は10μm2以上300μm2以下であり、
前記固定砥粒工具の研磨面の砥粒表出率は1.1%以上3.0%以下である磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法。 - 磁気記録媒体用ガラス基板の主平面を50μm研磨したときの前記固定砥粒工具の研磨面の磨耗量は0.11μm以上である請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法。
- 請求項1または2に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の研磨方法を用いた研磨工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
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