JP6419578B2 - ハードディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
研削工程は、溶融工程(ガラスブランクス製造工程)および円盤加工工程を経たガラス基板を、所定の板厚に加工する工程である。具体的には、例えば、ガラス基板の両面を研削(研削)加工する工程等が挙げられる。そうすることによって、ガラス基板の平行度、平坦度及び厚みを調整する。
そして、本実施形態で必須となる精研削工程は、ある程度平行かつ平坦になったガラス基板の両表面をさらに研削し、より平行度、平坦度を調整し、加えて表面粗さを調整する工程である。これにより次工程である粗研磨工程の負荷を低減することが出来る。
粗研磨工程(第1研磨工程)は、通常、その後に行われる鏡面研磨(第2研磨)工程において最終的に必要とされる面粗さが効率よく得られるように、ガラス基板の両主表面を研磨剤スラリーを用いて研磨加工する工程である。この工程で採用される研磨方法としては特に限定されず、両面研磨機を用いて研磨することが可能である。
本実施形態に係る製造方法においては、上記工程(粗研削工程、精研削工程および粗研磨工程)を少なくとも有していれば、その他の工程については特に限定はないが、ハードディスク用ガラス基板の製造方法の一実施態様について、各工程を以下に具体的に説明する。
本実施形態において、ハードディスク用ガラス基板の材料として用いられるガラス素材は、ハードディスク用ガラス基板の素材として通常用いられる素材であれば特に限定されない。
粗研削工程は、上述の通り、ブランクスの両表面を研削加工し、ガラス基板の平行度、平坦度および厚みを予備調整する工程である。
コアリング工程は、ガラス基板の中心部に円形の孔(中心孔)を開ける工程である。具体的には、コアリング工程は、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板を成形する工程である。このコアリング工程で、例えば、外径が2.5インチ(約64mm)、1.8インチ(約46mm)、1インチ(約25mm)、0.8インチ(約20mm)等で、厚みが2mm、1mm、0.63mm等の円盤状のガラス基板に加工される。また、外径が2.5インチ(約64mm)のときは、内径が0.8インチ(約20mm)等に加工される。
内周研磨工程は、ガラス基板とスペーサとを1枚ずつ交互に重ねて積層体を作成し、内周端面研磨機により内周端面を研磨する工程である。スペーサとしては特に限定されないが、たとえばポリプロピレン製で厚さ0.3mm、内径21mm、外径64mmのものを採用することができる。研磨機のブラシ毛は、たとえば直径0.1mmのナイロン繊維を採用することができる。回転ブラシの回転数は、たとえば5000rpmとすることができる。内周研磨用研磨液は、たとえばフッ酸系溶剤を含むものを用いることができ、研磨剤としてはたとえば平均一次粒子径3μmの酸化セリウムを用いることができる。
外周研磨工程は、ガラス基板とスペーサとを1枚ずつ交互に重ねて積層体を作成し、外周端面研磨機により外周端面を研磨する工程である。スペーサ、使用する研磨機の研磨条件は、内周研磨工程で採用した条件と同様である。
予備精研削(第2研削)は、ガラス基板の両表面を研削加工し、ガラス基板の平行度、平坦度をさらに調整し、表面粗さを調整する工程である。第2研削工程では、第1研削工程で得られた主表面に前工程のコアリングや端面加工において形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことが出来る。精研削(第3研削)工程の製造効率や研削シートの寿命を考えた場合、精研削(第3研削)工程前に予備精研削(第2研削)工程を行うことが好ましい。
上述の通りであるが、予備精研削(第2研削)工程を実施する場合、本精研削工程は第3研削工程となる。
上述の通りであり、この粗研磨工程は、後続する鏡面研磨工程において最終的に必要とされる面粗さが効率よく得られるように、ガラス基板の両主表面を研磨剤スラリーを用いて研磨加工する工程である。本実施形態においては、前記精研削(第3研削)工程を行うことによって、この粗研磨工程の負荷がかなり低減される。
化学強化工程は、ガラス基板を強化処理液に浸漬し、ガラス基板の耐衝撃性、耐振動性及び耐熱性等を向上させる工程である。化学強化工程は、ガラス基板に化学強化を施す工程である。化学強化に用いる強化処理液としては、特に限定はされないが、たとえば、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)の混合溶液などを挙げることができる。化学強化においては、強化処理液を300℃〜400℃に加熱し、ガラス基板を200〜300℃に予熱し、強化処理液中に3〜4時間浸漬することによって行うことができる。この浸漬の際に、ガラス基板の両主表面全体が化学強化されるように、複数のガラス基板の端面を保持するホルダに収納した状態で行うことが好ましい。
鏡面研磨工程(第二研磨工程)は、ガラス基板の両主表面をさらに精密に研磨加工する工程である。鏡面研磨工程では、粗研磨工程で使用する両面研磨機と同様の両面研磨機を使用することができる。
最終洗浄工程は、研磨されたガラス基板の表面から研磨剤を除去するように洗浄する工程である。具体的には、精密研磨工程を終えたガラス基板に対して、例えば、下記のように行う工程等が挙げられる。
(1)ブランクス製造工程
溶融ガラスを下型に流し込み、上型によってプレス成形して円板状のガラス基板前駆体を得るダイレクトプレス法で成型したガラス基板1.0mmを使用した。このプレス成形したガラス基板前駆体は、カッター部にダイヤモンド砥石等を備えたコアドリル等で中心部に孔を開け、外周端面及び内周端面の研削をして外径を65mm、内径(中心部の円孔の直径)を20mmとした。
粗面化工程(第1研削工程)においては、平面研磨機(スピードファム社製)による遊離砥粒研磨を用いる機械的方法を適用した。遊離砥粒研磨を用いてガラス基板の表面全体が略均一の表面粗さ(Ra=0.4μm程度)になるように研削加工を施した。
端面研磨工程においては、ブラシ研磨方法により、ガラス基板を回転させながらガラス基板の外周端面及び内周端面の表面の粗さを、Rmaxで0.4μm、Raで0.1μm程度になるように研磨した。そして、このような端面研磨を終えたガラス基板の表面を水洗浄した。
精研削工程(第2研削工程)においては、粗面化されたガラス基板の主表面を、固定砥粒研磨パッドを用いて研削した。この精研削工程においては、粗面化されたガラス基板を研削装置にセットして、トライザクト8μm(ダイヤモンドタイル(Diamond Tile)のような表面模様付きの三次元固定研磨物品、ダイヤモンドタイルの大きさが8μm)を用いてガラス基板の表面を研削することにより、高加工レートで表面粗さRaを0.3μm以下で、平坦度を7μm以下とすることができた。
精研削工程(第3研削工程)においては、粗面化されたガラス基板の主表面を、研削液1を流量1.5l/分(1m2あたり)で流しながら、固定砥粒研磨パッドを用いて研削した。この精研削工程においては、第2研削工程で得られたガラス基板をトライザクト1μm(ダイヤモンドタイル(Diamond Tile)のような表面模様付きの三次元固定研磨物品、ダイヤモンドタイルの大きさが1μm)を用いてガラス基板の表面を研削することにより、高加工レートで表面粗さRaを0.005μm以下で、平坦度を4μm以下とすることができた。
粗研磨工程においては、まず、研削工程で残留した傷や歪みの除去するための第1研磨工程を、上述した両面研磨装置を用いて行なった。この第1研磨工程においては、表2の研磨剤1を用いて得られた前記研磨スラリーと、通常の硬質ポリシャ(硬質発泡ウレタン)の研磨パッドを用いて、ガラス基板の主表面の研磨を行った。
硝酸ナトリウム:硝酸カリウムを3:7混合した強化塩を300℃にて溶融し、ガラス基板を30分間浸漬させた。これにより、ガラス基板の内周端面および外周端面のリチウムイオンおよびナトリウムイオンを、化学強化溶液中のナトリウムイオンおよびカリウムイオンにそれぞれ置換させ、ガラス基板を強化した。
ガラス基板の両主表面を、両面研磨機を用いてさらに精密に研磨加工した。研磨剤スラリーは、平均一次粒子径が20nmのコロイダルシリカを砥粒として水に分散させてスラリー状にしたものを用い、水とコロイダルシリカとの混合比率は、80:20とした。さらに硫酸を含有する調整液でpHを調整した。また、加重は120g/cm2とした。研磨剤スラリーの添加量は、500mL/分とした。
スクラブ洗浄工程は、2段階に分けて実施した。
100枚のガラス基板をホルダに配置した。洗浄は、アルカリ洗剤槽(80kHz)、純水槽(80kHz)、中性洗剤槽(120kHz)、純水槽(120kHz)、IPA、IPAベーパー乾燥の順で各洗浄槽に順次浸漬することにより行った。各槽に要した時間は、5分とした。
精研削工程(第3研削工程)における研削液1とその流量を、それぞれ表3に示す研削液2〜8および流量に変更する以外は、実施例1と同様にしてガラス基板を製造した。
精研削工程(第3研削工程)における研削液1とその流量を、それぞれ表3に示す研削液9〜10および流量に変更する以外は、実施例1と同様にしてガラス基板を製造した。
(研削レート促進効果)
加工時間を15分程度に設定し、その際の取り代を評価した。
加工前後の研削シートのダイヤモンドタイルのタイル高さを測定し、その減り具合を評価した。
また、レート安定性は研削液を循環で使用し、連続加工した場合、レート低下が起こるか否かを評価した。具体的には、連続20回加工し、研削レート変動が10%未満であるかを確認した。
精研削工程(第3研削)で用いる研削シートの砥粒平均径を表4に示すように変更した以外は実施例8と同様にしてガラス基板を得た。
Claims (5)
- ハードディスク用ガラス基板の製造方法であって、
遊離砥粒を用いた第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後に行われ、研削液を流しながらダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程と、
第1及び第2の研磨工程とを少なくとも有し、
前記ダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程は平均粒子径が0.5μm以上2.0μm未満のダイヤモンド固定砥粒を有する研削シートを用いて行われること、並びに、前記研削液が少なくとも陰イオン界面活性剤および分子量500〜10000の範囲の非イオン系界面活性剤を含有し、界面活性剤の総量に対する前記非イオン系界面活性剤の割合が70質量%より大きく、
前記研磨工程は酸化セリウムを含有した研磨液を用いた第1研磨工程を少なくとも有し、前記第1研磨工程における研磨量を25μm以下とし、少なくとも前記第2の研磨工程を行うことにより算術平均粗さRaが2Å以下のガラス基板を得ることを特徴とする、ハードディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記研削液がさらに含リンキレート剤を含有する、請求項1に記載のハードディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記ダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程における前記研削液の流量が1.5l/min以上である、請求項1又は2に記載のハードディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記第1の研削工程と前記ダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程の間に、さらに第2の研削工程を行う、請求項1〜3のいずれかに記載のハードディスク用ガラス基板の製造方法。
- ハードディスク用ガラス基板の製造方法であって、
遊離砥粒を用いた第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後に行われ、研削液を流しながらダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程とを少なくとも有し、
前記ダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程は平均粒子径が0.5μm以上2.0μm未満のダイヤモンド固定砥粒を有する研削シートを用いて行われること、並びに、前記研削液が少なくとも陰イオン界面活性剤および分子量500〜10000の範囲の非イオン系界面活性剤を含有し、界面活性剤の総量に対する前記非イオン系界面活性剤の割合が70質量%より大きく、
前記ダイヤモンド固定砥粒によって研削を行う精研削工程においてガラス基板の表面を研削することにより、主表面の算術平均粗さRaを0.005μm以下で、平坦度を4μm以下とし、その後に酸化セリウムを含有した研磨液を用いた第1研磨工程、およびコロイダルシリカを用いた第2の研磨工程を行うことを特徴とする、ハードディスク用ガラス基板の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012284732 | 2012-12-27 | ||
JP2012284732 | 2012-12-27 | ||
PCT/JP2013/007577 WO2014103296A1 (ja) | 2012-12-27 | 2013-12-25 | ハードディスク用ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014103296A1 JPWO2014103296A1 (ja) | 2017-01-12 |
JP6419578B2 true JP6419578B2 (ja) | 2018-11-07 |
Family
ID=51020412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014554138A Active JP6419578B2 (ja) | 2012-12-27 | 2013-12-25 | ハードディスク用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6419578B2 (ja) |
CN (1) | CN104838444B (ja) |
WO (1) | WO2014103296A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6553074B2 (ja) * | 2014-10-14 | 2019-07-31 | アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ | レジストパターン処理用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 |
CN110872484B (zh) * | 2018-08-30 | 2021-07-02 | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 | 一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液及其制备方法和应用 |
CN110102537B (zh) * | 2019-06-13 | 2021-07-06 | 宁波永新光学股份有限公司 | 一种高磨耗度低化学稳定性光学玻璃的清洗方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4228015B2 (ja) * | 2004-04-14 | 2009-02-25 | 日本ミクロコーティング株式会社 | 磁気ハードディスク用ガラス基板のテクスチャ加工方法及びスラリー |
JP5297321B2 (ja) * | 2008-10-07 | 2013-09-25 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP5233621B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-07-10 | 旭硝子株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板及びその製造方法。 |
JP5177087B2 (ja) * | 2009-07-09 | 2013-04-03 | 旭硝子株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法、磁気記録媒体 |
JP2011040144A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-24 | Ohara Inc | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
JP5495686B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2014-05-21 | 株式会社ネオス | 水溶性ガラス加工液組成物 |
JP5624829B2 (ja) * | 2010-08-17 | 2014-11-12 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012089221A (ja) * | 2010-10-22 | 2012-05-10 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012099174A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012099172A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2012099173A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
WO2012093516A1 (ja) * | 2011-01-07 | 2012-07-12 | 旭硝子株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法および磁気記録媒体 |
-
2013
- 2013-12-25 CN CN201380064023.2A patent/CN104838444B/zh active Active
- 2013-12-25 WO PCT/JP2013/007577 patent/WO2014103296A1/ja active Application Filing
- 2013-12-25 JP JP2014554138A patent/JP6419578B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104838444A (zh) | 2015-08-12 |
JPWO2014103296A1 (ja) | 2017-01-12 |
CN104838444B (zh) | 2018-06-29 |
WO2014103296A1 (ja) | 2014-07-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A02 | Decision of refusal |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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