JP5906823B2 - 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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前記ガラス基板の主平面を研削する主平面研削工程と、
前記主平面研削工程の後、前記ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程と
を備える磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法であり、
前記主平面研削工程は、平均粒径が0.01μm〜15μmのダイヤモンド砥粒を有する固定砥粒工具を用いて、前記ガラス基板の主平面を研削する固定砥粒研削工程を有し、
前記主平面研磨工程は、シリカ粒子、ジルコニア粒子、ジルコン粒子、酸化マンガン粒子、チタニア粒子、および酸化鉄粒子からなる群より選ばれる1種以上で平均粒径が5nm〜3000nmの第1の砥粒を含有する第1の研磨液と、第1の研磨パッドを用いて、前記ガラス基板の主平面を研磨し、該主平面に存在する加工変質層を除去する第1の研磨工程と、
前記第1の研磨工程の後、砥粒として平均粒径が5〜50nmのシリカ粒子を含有する第2の研磨液と第2の研磨パッドを用いて、前記ガラス基板の主平面を研磨する第2の研磨工程と
を有することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
すなわち、まず(1)形状付与および面取り工程で、中央部に円孔11を有する円盤形状のガラス基板を形成した後、内周側面101および外周側面102と両主平面103との交差部にそれぞれ面取り部104を形成する。
<(1)形状付与および面取り工程>
フロート法、フュージョン法またはプレス成形法で成形されたガラス素基板を、中央部に円孔11を有する円盤形状に加工した後、所定の幅および角度で面取り加工を行い、内周面取り部104および外周面取り部104を形成する。ガラス素基板は、フロート法で成形されたものでも、フュージョン法またはプレス成形法で成形されたものでもよい。また、基板を構成するガラスは、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよい。
内周側面101および外周側面102の面取り加工等の際に生じたキズ等を除去し、凹凸を平滑化して鏡面とするために、ガラス基板の内周端面および外周端面を研磨することが好ましい。この工程では、例えば、ガラス基板の複数枚を積層し、研磨液と研磨ブラシを用いて研磨を行う。
主平面研削工程においては、平均粒径が0.01μm〜15μmのダイヤモンド粒子を砥粒として有する固定砥粒工具と、研削液を使用し、両面研削装置または片面研削装置によりガラス基板の主平面を研削する(固定砥粒研削工程)。前記した加工変質層の深さが15μm以下となるように、ガラス基板の主平面を研削することが好ましい。
(3A)第1の研磨工程においては、前記固定砥粒研削工程によって、加工変質層の深さが例えば15μm以下となるように研削されたガラス基板の主平面を、第1の砥粒を含有する第1の研磨液と、第1の研磨パッドを用いて研磨し、主平面に残った加工変質層を除去する。
第1の砥粒としては、シリカ粒子、ジルコニア粒子、ジルコン粒子が好ましく、シリカ粒子が特に好ましい。
前記第1の研磨工程によって、加工変質層が完全に除去されかつ十分に平滑化された主平面を、(3B)第2の研磨工程において、第2の砥粒を含有する第2の研磨液と第2の研磨パッドを用いて研磨する。第2の砥粒としては、平均粒径が5〜50nmのシリカ粒子を使用する。シリカ粒子の平均粒径が5nm未満の場合には、研磨速度が低くなりすぎて研磨に時間がかかりすぎる。平均粒径が50nmを超える場合には、平滑性に優れる主平面に研磨することが難しい。シリカ粒子の平均粒径は、5〜40nmの範囲がより好ましい。
砥粒の平均粒径は、平均粒径が150nm未満の小粒子の平均粒径については、動的光散乱方式粒度分布測定機(大塚電子社製:FPAR-1000)を使用し、平均粒径が大きい方の粒子(大粒子)については、レーザー回折・散乱装置(日機装社製:マイクロトラックMT3200II)を使用して測定した。
なお、平均粒径の異なる2種類の粒子を混合してなる混合粒子の平均粒径の測定は、SEM観察により実施した。
HORIBA社製のpH計D-51を使用し、25℃で測定した。
主平面研削工程後または第1の研磨工程後のガラス基板を洗浄、乾燥した後、電子天秤(AND社製HR-202i)を用いて、片面における研磨量(μm)を測定した。
前記方法で測定された片面の研磨量(μm)を研磨に要した時間(min.)で除して、片面における研磨速度(μm/min.)とした。
主平面研削工程後のガラス基板の表面を、フッ酸と硝酸等を含む酸性のエッチング溶液を用いて5μmエッチングした後、ガラス基板の主平面を所定量研磨して洗浄と乾燥を行い、エッチング処理により円形状ピットまたは楕円形状ピットとなった加工変質層を光学顕微鏡で観察することにより実施した。光学顕微鏡の対物レンズは20倍を使用し、観察視野635μm×480μmで観察を行った。ガラス基板の両主平面において、0°、90°、180°、270°の計8箇所の位置で観察し、円形状ピットまたは楕円形状ピットが観察されなくなった時点におけるガラス基板の主平面の研磨量を、ガラス基板主平面の加工変質層最大深さとした。
研磨パッドの研磨面を顕微鏡で観察し、断面に存在する最も大きい開口(孔)の直径を測定した。
主平面の表面うねり(μWa)を走査型白色干渉計(Zygo社製NewView 5033)により測定した。
フロート法で成形されたSiO2を主成分とするガラス板を、外径65mm、内径20mm、板厚0.635mmの磁気記録媒体用ガラス基板用に、中央部に円孔を有する円盤形状に加工した。この中央部に円孔を有する円盤状ガラス基板の内周側面と外周側面を、面取り幅0.15mm、面取り角度45°となるように面取り加工した。
固定砥粒の粒径(平均粒径)を表1あるいは表2に示すように変え、固定砥粒研削工程を行った。それ以外は例1と同様にして、ガラス基板の形状付与から主平面の研磨までの工程を順に行った。
第1の研磨液の組成を表1に示すように変えて、(3A)第1の研磨工程を行った。それ以外は例2と同様にして、ガラス基板の形状付与から主平面の研磨までの工程を順に行った。そして、主平面の研削・研磨工程において、固定砥粒研削工程後の加工変質層の深さ、第1の研磨工程における研磨量と研磨速度と研磨時間、および第1の研磨工程後の主平面の特性(微小うねり(μWa)と加工変質層の有無)を、それぞれ測定した。測定結果を表1および表2に示す。
固定砥粒工具を使用した固定研削の代わりに、平均粒径9μmのアルミナ粒子の遊離砥粒を使用して主平面の研削を行った。それ以外は例2と同様にして、ガラス基板の形状付与から主平面の研磨までの工程を順に行った。そして、主平面の研削・研磨工程において、研削工程後の加工変質層の深さ、第1の研磨工程における研磨量と研磨速度と研磨時間、および第1の研磨工程後の主平面の特性(微小うねり(μWa)と加工変質層の有無)を、それぞれ測定した。測定結果を表2に示す。
第1の砥粒として、表3に示す平均粒径を有するジルコニア粒子あるいはジルコン粒子を使用して(3A)第1の研磨工程を行った。それ以外は例2と同様にして、ガラス基板の形状付与から主平面の研磨までの工程を順に行った。そして、主平面の研削・研磨工程において、固定砥粒研削工程後の加工変質層の深さ、第1の研磨工程における研磨量と研磨速度と研磨時間、および第1の研磨工程後の主平面の特性(微小うねり(μWa)と加工変質層の有無)を、それぞれ測定した。測定結果を表3に示す。
第1の砥粒として、表3に示すように平均粒径の異なる2種類のシリカ粒子を同表に示す質量比で混合した混合粒子を使用して、(3A)第1の研磨工程を行った。それ以外は例2と同様にして、ガラス基板の形状付与から主平面の研磨までの工程を順に行った。そして、主平面の研削・研磨工程において、固定砥粒研削工程後の加工変質層の深さ、第1の研磨工程における研磨量と研磨速度と研磨時間、および第1の研磨工程後の主平面の特性(微小うねり(μWa)と加工変質層の有無)を、それぞれ測定した。測定結果を表3に示す。
Claims (9)
- 円盤形状のガラス基板を形成する形状付与工程と、
前記ガラス基板の主平面を研削する主平面研削工程と、
前記主平面研削工程の後、前記ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程と
を備える磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法であり、
前記主平面研削工程は、平均粒径が0.01μm〜15μmのダイヤモンド砥粒を有する固定砥粒工具を用いて、前記ガラス基板の主平面を研削する固定砥粒研削工程を有し、
前記主平面研磨工程は、シリカ粒子、ジルコニア粒子、ジルコン粒子、酸化マンガン粒子、チタニア粒子、および酸化鉄粒子からなる群より選ばれる1種以上で平均粒径が5nm〜3000nmの第1の砥粒を含有する第1の研磨液と、第1の研磨パッドを用いて、前記ガラス基板の主平面を研磨し、該主平面に存在する加工変質層を除去する第1の研磨工程と、
前記第1の研磨工程の後、砥粒として平均粒径が5〜50nmのシリカ粒子を含有する第2の研磨液と第2の研磨パッドを用いて、前記ガラス基板の主平面を研磨する第2の研磨工程と
を有することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記第1の砥粒は、平均粒径の異なる2種類の粒子を混合してなる混合粒子であり、平均粒径が大きい方の粒子(大粒子)の平均粒径と平均粒径が小さい方の粒子(小粒子)の平均粒径との比が、4以上50以下であり、かつ前記大粒子の混合割合が、第1の砥粒全体に対して10〜50体積%である請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記第1の研磨液は、pH1〜6の範囲である請求項1または2に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記第1の研磨液は、カルボン酸基を有する有機酸と該有機酸の塩を含有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記有機酸は、カルボン酸基を2個以上有する多価有機酸である請求項4に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記有機酸は、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸、フマル酸、マレイン酸およびフタル酸からなる群より選ばれる1種以上である請求項5に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記有機酸の塩は、リチウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオンおよびアンモニウムイオンからなる群より選ばれる1種以上の対イオンを有する塩である請求項4〜6のいずれか1項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記固定砥粒研削工程において、前記ガラス基板の主平面を、該主平面の加工変質層の深さが15μm以下となるように研削する請求項1〜7のいずれか1項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記第1の研磨パッドは、研磨面に最大径が30μm〜150μmの開口を有する発泡樹脂製の研磨パッドである請求項1〜8のいずれか1項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012050378A JP5906823B2 (ja) | 2011-03-15 | 2012-03-07 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011057125 | 2011-03-15 | ||
JP2011057125 | 2011-03-15 | ||
JP2012050378A JP5906823B2 (ja) | 2011-03-15 | 2012-03-07 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012209010A JP2012209010A (ja) | 2012-10-25 |
JP5906823B2 true JP5906823B2 (ja) | 2016-04-20 |
Family
ID=47188595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012050378A Expired - Fee Related JP5906823B2 (ja) | 2011-03-15 | 2012-03-07 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5906823B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5108134B1 (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-26 | 株式会社オハラ | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
WO2014115495A1 (ja) * | 2013-01-23 | 2014-07-31 | Hoya株式会社 | ハードディスク用ガラス基板の製造方法 |
CN108447507B (zh) * | 2013-09-28 | 2020-07-28 | Hoya株式会社 | 磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘的制造方法、以及磨削工具 |
JP6447332B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2019-01-09 | 信越半導体株式会社 | 両面研磨装置用のキャリアの製造方法およびウェーハの両面研磨方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004303280A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Hoya Corp | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2006053965A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 磁気記録媒体用基板の製造方法並びにそれに用いる両面研磨装置及び基板研磨用キャリア |
JP2008310897A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 磁気記録媒体用基板の製造方法 |
JP5005645B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2012-08-22 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
JP5326638B2 (ja) * | 2009-02-18 | 2013-10-30 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、それが使用される磁気記録媒体用ガラス基板、および、垂直磁気記録媒体 |
JP5484782B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2014-05-07 | 花王株式会社 | 研磨材スラリーの製造方法 |
-
2012
- 2012-03-07 JP JP2012050378A patent/JP5906823B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012209010A (ja) | 2012-10-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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