JP5347853B2 - 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は複数枚のガラス基板が面方向に積層されたガラス基板積層体からガラス基板を効率良く分離収容させるように構成された積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法に関する。

例えば、円盤状のガラス基板を製造する製造工程においては、ガラス基板の平面及び端面（内外周面）に研削、研磨などの加工を施す加工工程があり、例えば、ガラス基板の端面の研磨効率を高める手法として複数枚（例えば、数百枚程度）のガラス基板を面方向に重ね合わせたガラス基板積層体を形成し、多数のガラス基板の端面を同時に研削、研磨する方法が用いられている。

このガラス基板積層体の端面の加工が終了すると、ガラス基板の平面部分を研削、研磨加工する工程に移行する前に、ガラス基板積層体からガラス基板を１枚ずつ分離し、ガラス基板をスペーサを介して積層した場合は、ガラス基板の平面に密着したスペーサを剥がしてガラス基板のみを所定のカセットに収容させる作業を行なう。このガラス基板をガラス基板積層体から分離してカセットに収容する工程は、主に作業員の人手で行なっていた。

しかし、人手による分離方式は、ガラス基板の平面同士が圧接されているので、１枚ずつガラス基板を簡単に分離させることができず、また、樹脂製のスペーサを介してガラス基板を積層した場合、ガラス基板の表面に密着したスペーサを剥がすのに手間がかかるといった問題がある。なお、ガラス基板積層体には、上記のようにガラス基板間にスペーサを介在させて積層する場合と、ガラス基板を直接積層する場合（スペーサ無し）とがある。

そこで、従来は、ガラス基板積層体からガラス基板を１枚ずつ分離して、所定のカセットに収容する方法として、例えば、ガラス基板積層体を水槽の液中に沈めた状態で真空吸着パッドなどの治具によりガラス基板の上面側平面を吸着し、ガラス基板を上方へと引き剥がす分離方式（特許文献１）、ガラス基板の端面の複数箇所（少なくとも３箇所）を把持するアームを有し、ガラス基板に水流を当てながらアームを上昇させて最上段のガラス基板及びスペーサを積層体から上方へと引き剥がす分離方式（特許文献２〜４）が提案されている。

特開２００８−３０２４４８号公報 特開２００８−３０７６１２号公報 特開２００９−４８７３５号公報 特開２００９−４８６８８号公報

しかしながら、上記特許文献１〜４の装置では、真空吸着治具やガラス基板の端面を把持する保持治具を用いて分離する方式は、ガラス基板積層体のガラス基板同士が互いに面方向に圧接されていて強固に吸着しているため、上部方向に引き剥がして分離することは容易ではなく分離作業に時間がかかるだけでなく、ガラス基板を強引に引き剥がすことになり、分離させる際に治具がガラス基板に接触する部分に掛かる負荷が大きくなって当該ガラス基板の接触部に傷を発生させやすいという問題があった。

また、従来の方式では、ガラス基板積層体からガラス基板を剥がす機構の他にガラス基板間に水圧を加えたり、あるいは超音波を照射したり、あるいは回転するブラシを接触させたり、あるいは水槽内でガラス基板積層体を振動させたりする特殊な機構を別個に設ける必要があり、その分装置全体が複雑化し、製造コストが高価になっていた。

そこで、本発明は上記事情に鑑み、ガラス基板積層体からガラス基板を１枚ずつ効率よく分離させて上記課題を解決した積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、ガラス基板を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体から前記ガラス基板を１枚ずつ分離収容する積層基板分離収容装置において、
前記ガラス基板積層体を収納する積層体収納ホルダと、
前記ガラス基板積層体から分離された前記ガラス基板を１枚毎に収容するカセットと、
前記積層体収納ホルダ及び前記カセットが垂直方向に延在する向きで液中に挿入された液槽と、
前記積層体収納ホルダを上下方向に駆動させる積層体駆動部と、
前記積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体の最上段の高さ位置を位置決めする積層基板位置決め部と、
前記カセットを上下方向に駆動させるカセット駆動部と、
前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を１枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに収容させる基板押出機構と、
前記カセットの前記ガラス基板が収容されていない収容部の高さ位置が前記基板押出機構により押し出された前記ガラス基板の高さ位置となるように前記カセット駆動部を制御するカセット位置制御部と、
前記基板押出機構による基板押し出し動作に連動して前記ガラス基板積層体から分離したガラス基板を受け取り、当該ガラス基板を前記カセットの基板収容部に搬送する基板受取機構と、
前記積層体収納ホルダと前記カセットとの間に設けられ、前記基板押出機構により半径方向に押し出される前記ガラス基板積層体の最上段の前記ガラス基板と当該最上段のガラス基板の下方のガラス基板との間の吸着力と直交する剪断力を作用させる擦切り治具と、を有し、
前記基板押出機構は、
前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板を半径方向の一側から前記擦切り治具側へ押し出す押出治具と、
該押出治具を前記ガラス基板積層体の積層方向に対して直交する前記ガラス基板の平面と平行な方向に駆動させる駆動部と、を有し、
前記最上段のガラス基板は、前記押出治具が前記駆動部により駆動されることで前記擦切り治具の上方を通過して前記基板受取機構へスライドすることを特徴とする。
（２）本発明の前記基板受取機構は、前記基板押出機構の押し出し動作により前記ガラス基板積層体より分離されたガラス基板を載せる受取治具と、
該受取治具をカセット内に収納するガラス基板の主平面と平行な方向に駆動させる駆動部とを有することを特徴とする。
（３）本発明の前記積層基板位置決め部は、
前記ガラス基板積層体に接触する積層基板位置決め部材を先端に有し、該積層基板位置決め部材を上下方向に移動させる積層基板位置決めシリンダと、
該積層基板位置決めシリンダが上下方向に移動した位置を検出する積層基板位置決めセンサと、
前記積層基板位置決めセンサからの検出信号により前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板が所定高さ位置に到達するまで前記積層体駆動部を駆動させる制御手段と、
を有することを特徴とする。
（４）前記カセット位置制御部は、前記カセットの基板受け取りを行なう収納部の高さ位置が前記積層体収納ホルダの最上段に位置する前記ガラス基板の高さ位置と一致するように前記カセット駆動部を制御することを特徴とする。
（５）本発明の前記押出治具は、前記ガラス基板の外周の少なくとも２点に接触する接触部を有する形状に樹脂成型されたことを特徴とする。
（６）本発明の前記積層体収納ホルダは、前記液槽内に縦置きに挿入され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする。
（７）本発明の前記カセットは、前記液槽内に縦置きに挿入され、前記積層体収納ホルダに対向する側に前記ガラス基板を受け入れる基板挿入口を有し、前記基板挿入口と逆側に前記受取治具が挿脱される開口を有する形状に樹脂成型され、または少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されることを特徴とする。
（８）本発明の前記擦切り治具は、前記基板押出機構により前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を１枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに搬送する搬送経路に設けられ、上面が前記ガラス基板の搬送をガイドするガイド面となるように樹脂成型されたことを特徴とする。
（９）本発明の前記積層基板位置決め部材は、前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板の上面に接触する接触部を有し、前記接触部が樹脂成型されたことを特徴とする。
（１０）本発明の前記受取治具は、前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板を受け取る基板受取部を有する形状に成型され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする。
（１１）本発明の前記ガラス基板積層体は、前記ガラス基板積層体から分離されるガラス基板を除いて、液槽の液中に浸漬されている状態であることを特徴とする。
（１２）本発明の前記カセット駆動部は、前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板が前記カセットに収納されると、当該カセットが液槽の液中に浸漬されるように降下移動し、前記ガラス基板積層体から分離した当該ガラス基板が液中に浸漬されるように前記カセットを駆動することを特徴とする。
（１３）本発明は、複数のガラス基板と複数のスペーサとを交互に、または複数のガラス基板を重ね合わせたガラス基板積層体を形成し、該ガラス基板積層体の各ガラス基板の端面の研磨加工を行なった後に前記ガラス基板積層体から前記ガラス基板を分離する工程とを有するガラス基板の製造方法において、
（１）〜（１２）いずれか一項に記載した積層基板分離収容装置を用いて積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体から最上段の前記ガラス基板を１枚ずつ分離してカセットに収納させることを特徴とする。
（１４）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。

本発明によれば、押出し治具と擦切り治具との相対的な作用により密着したガラス基板間の吸着力と直交する剪断力を作用させるため、最上段のガラス基板を１枚ずつ確実に分離させ、当該ガラス基板を基板受取機構で受け取ることができる。また、基板押出機構による基板押し出し動作に連動してガラス基板積層体から分離したガラス基板を受け取り、当該ガラス基板をカセットの基板収容部に搬送するため、ガラス基板積層体からガラス基板を効率良く、且つ傷を発生させることなく１枚ずつ容易に分離できると共に、傷を発生させることなく所定カセットに収容することが可能になり、従来の方式に比べて、生産性高い製造方法と、品質安定性に優れるガラス基板を提供することができる。

本発明による積層基板分離収容装置の一実施例を示す斜視図である。 積層基板分離収容装置の各制御部と各駆動部とを示すブロック図である。 積層基板分離収容装置の正面図である。 図３中Ａ−Ａ線に沿う横断面図である。 積層体収納ホルダを上方からみた平面図である。 積層基板分離収容装置の左側面図である。 積層基板分離収容装置の右側面図である。 積層基板分離収容装置の待機状態を示す平面図である。 積層基板分離収容装置のガラス基板を押し出す開始状態を示す平面図である。 積層基板分離収容装置のガラス基板を押し出す動作過程を示す平面図である。 積層基板分離収容装置のガラス基板をカセットに収納させた状態を示す平面図である。 工程４を模式的に示す図である。 工程６を模式的に示す図である。 工程８を模式的に示す図である。 工程９を模式的に示す図である。 工程１０を模式的に示す図である。 工程１１を模式的に示す図である。 工程１２を模式的に示す図である。 工程１３を模式的に示す図である。 工程１４を模式的に示す図である。 工程１５を模式的に示す図である。 制御装置が実行する制御処理の手順を説明するためのフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。尚、本発明は、以下に説明する実施例に記載した内容に限定されるものではありません。

図１は本発明による積層基板分離収容装置の一実施例を示す斜視図である。図２は積層基板分離収容装置の各制御部と各駆動部とを示すブロック図である。図１及び図２に示されるように、積層基板分離収容装置１０は、円盤状のガラス基板２０を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体３０からガラス基板２０を１枚ずつ分離・収容するように構成されている。尚、ガラス基板２０としては、例えば、磁気記録媒体用ガラス基板がある。

また、積層基板分離収容装置１０は、ベース１２上に、積層体収納ホルダ４０と、基板収容カセット５０と、液槽６０と、ホルダ駆動部７０と、積層基板位置決め部８０と、カセット駆動部９０と、カセット位置決め部１１０と、基板押出機構１２０と、基板受取機構１３０と、制御装置２００とを有する。制御装置２００は、予めメモリに格納された各制御プログラムに基づいて各制御処理を行なうコンピュータからなり、ホルダ位置制御部２１０と、カセット位置制御部２２０と、基板押出制御部２３０と、基板受取制御部２４０と、積層基板位置制御部２５０とを有する。

ホルダ位置制御部２１０は、エアシリンダ等からなるアクチュエータを有するホルダ駆動部７０を制御して積層体収納ホルダ４０に収納されたガラス基板積層体３０を昇降させる。カセット位置制御部２２０は、エアシリンダ等からなるアクチュエータを有するカセット駆動部９０を制御して基板収容カセット５０の基板収容部５２の高さ位置を調整する。

基板押出制御部２３０は、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４を駆動させてガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０を分離させ、さらに分離したガラス基板２０を基板収容カセット５０に収容させる。基板受取制御部２４０は、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４を駆動してガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０が基板収容カセット５０の所定収容部に収容されるようにガイドする。

積層基板位置制御部２５０は、積層体収納ホルダ４０に収納されたガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０の高さ位置を検出し、当該ガラス基板２０が基板押出機構１２０により押し出し可能な高さ位置に位置決めする。また、積層基板位置決め部８０は、ガラス基板積層体３０に接触する積層基板位置決め部材を先端に有し、積層基板位置決め部材を上下方向に移動させる積層基板位置決めシリンダ８４と、積層基板位置決めシリンダ８４が上下方向に移動した位置を検出する積層基板位置決めセンサ８６とが接続されている。また、積層基板位置制御部２５０は、積層基板位置決めセンサ８６からの検出信号によりガラス基板積層体２０の最上段のガラス基板２０が所定高さ位置に到達するまでホルダ駆動部７０を駆動させる制御手段を有する。

図３は積層基板分離収容装置の正面図である。図４は図３中Ａ−Ａ線に沿う横断面図である。図５は積層体収納ホルダを上方からみた平面図である。図６は積層基板分離収容装置の左側面図である。図７は積層基板分離収容装置の右側面図である。

ここで、図３乃至図７を参照して積層基板分離収容装置１０を構成する各部について詳細に説明する。

図３及び図６、図７に示されるように、積層体収納ホルダ４０は、ガラス基板積層体３０を収納しており、液槽６０の液中に垂直状態（縦置き）に挿入されている。また、積層体収納ホルダ４０は、下端が液槽６０の底部に当接した状態に固定されており、内部に収納されたガラス基板積層体３０が上下方向（Ｚ１，Ｚ２方向）に移動可能に保持されている。そして、ガラス基板積層体３０は、後述する基板分離収容動作が行なわれる度に徐々に上昇移動するように駆動される。

基板収容カセット５０は、ガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０を１枚毎に収容する複数の基板収容部５２が上下方向に整列された樹脂製容器である。また、基板収容カセット５０は、液槽６０に垂直状態（縦置き）に挿入されており、積層体収納ホルダ４０と対向する右側面にガラス基板２０が挿入される基板挿入部５４が開口し、基板受取機構１３０が対向する左側面には基板受取部１３２が挿入される基板受取部挿入部５６が開口している。また、基板収容カセット５０は、基板分離収容動作開始前の状態では、その殆どが液槽６０の液面より上方に位置しており、ガラス基板２０が分離・収容される度に下方に移動して徐々に収容したガラス基板２０を液槽６０の液中に浸漬ように降下する。

液槽６０では、ガラス基板２０を乾燥から防ぐために積層体収納ホルダ４０及び基板収容カセット５０が垂直方向に延在する向きで挿入されると共に、液体が対流するように液体の供給と排水とが行われている。本実施例では、液槽６０の底部より濾過された液体が供給され、液槽６０の上端からオーバーフローした液体を液槽６０の外側に設けられた液槽６２に流出させ、さらに液槽６２の液体を外部に排出する。これにより、液槽６０内では、常に液体が下方から上方に対流しており、例えば、基板分離収容動作により異物が発生した場合でも対流によって外側の液槽６２に異物を排出することが可能になる。そのため、液槽６０に挿入された積層体収納ホルダ４０及び基板収容カセット５０のガラス基板２０に異物が付着することを防止することができる。また、液槽６０の底に沈降した異物（ガラスカレット、研磨砥粒など）を定期的に除去するため、例えば、液槽６０の底部に排出穴を設けて、沈殿物を排出穴から槽外に排出し、液槽６０の液を定期的に交換しても良い。

尚、液槽６０に供給される液体としては、特に制限されるものではなく、通常の水、純水、機能水（アノード水、カソード水、水素水、オゾン水、炭酸水など）や、これらにアルカリを加えてアルカリ性にしたもの、酸を加えて酸性にしたものや界面活性剤を加えて表面張力を低下させたものを用いても良い。また、液槽６０は、液槽中の液体を攪拌させる攪拌機構や、積層体収納ホルダ４０内のガラス基板積層体３０や基板収容カセット５０のガラス基板２０に超音波を照射して異物を除去する超音波振動子などを有する構成としても良い。

ホルダ駆動部７０は、ホルダ位置制御部２１０によって制御されており、積層体収納ホルダ４０の底部よりホルダ内に挿入されてガラス基板積層体３０を支持すると共に、ガラス基板積層体３０を昇降させる基板載置部７２、支持アーム７４を有する。

ここで、積層体収納ホルダ４０の構成について説明する。

図４、図５に示されるように、積層体収納ホルダ４０は、樹脂材により成型されており、下部が液槽６０の底部に設けられたホルダ設置用固定台６４に当接した状態に固定される。また、積層体収納ホルダ４０の内部には、縦方向（Ｚ１，Ｚ２方向）に延在する円筒状空間４２を有する基板保持用治具４３が収納されている。積層体収納ホルダ４０の上端には、積層体収納ホルダ４０の内部に収納された基板保持用治具４３を上方から保持するホルダ押え部材１４０が取り付けられている。

基板保持用治具４３の円筒状空間４２には、外周端面が研磨加工されたガラス基板積層体３０が縦方向に挿入されており、積層体収納ホルダ４０の内部に上方から挿脱可能に取り付けられている。円筒状空間４２は、上下方向（Ｚ１，Ｚ２方向）に貫通しており、下部開口４４にはホルダ駆動部７０に駆動される基板載置部７２が挿入されている。

また、積層体収納ホルダ４０は、基板保持用治具４３の位置を外側から規制する４本の支柱４８を有する。図３に示されるように、各支柱４８は、垂直方向（Ｚ１，Ｚ２方向）に起立し、且つ両端が積層体収納ホルダ４０の上部フランジ４５、下部フランジ４７に固定されている。

さらに、積層体収納ホルダ４０は、長方形状の基板載置部７２を支持する支持アーム７４が昇降するための通路４６が側面と円筒状空間４２との間に形成されている。また、通路４６は、支持アーム７４が昇降する範囲（上下ストローク）をカバーするように上下方向（Ｚ１，Ｚ２方向）に延在形成されている。従って、円筒状空間４２の内壁は、通路４６を除く範囲でガラス基板積層体３０の外周端部に対向するように形成されている。

また、積層体収納ホルダ４０のガラス基板２０と直接接触する部分は、樹脂製であり、ガラス基板２０に傷を発生させず、機械的強度が高く使用中に削れや破壊が発生しない材質、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、超高分子量ポリエチレン樹脂、４フッ化エチレン樹脂から選ばれる材質を用いることが好ましい。

図７に示されるように、支持アーム７４は、液槽６０の背面側に設けられたホルダ駆動部７０より液槽６０内に挿入された垂直アーム７６に結合されている。垂直アーム７６は、垂直方向に延在しており、下端が支持アーム７４に連結され、上端がホルダ駆動部７０の可動部に連結されている。

積層体収納ホルダ４０内に挿入された基板載置部７２には、ガラス基板積層体３０が載置されており、支持アーム７４、垂直アーム７６がホルダ駆動部７０によって上下方向（Ｚ１，Ｚ２方向）に駆動されると、円筒状空間４２に収納されたガラス基板積層体３０を昇降させることができる。

また、積層体収納ホルダ４０の上方には、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０の位置を検出する積層基板位置決め部８０が設けられている。積層基板位置決め部８０は、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０に当接する積層基板位置決め部材８２と、積層基板位置決め部材８２を昇降させる積層基板位置決めシリンダ８４と、積層基板位置決め部材８２が最上段のガラス基板２０に当接したことを検出して検出信号を出力する積層基板位置決めセンサ８６とを有する。また、積層基板位置決めシリンダ８４は、ブラケット８８により所定高さ位置に保持されている。

積層基板位置決め部材８２は、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０の上面に接触したとき、上方に移動し、この動作が積層基板位置決めセンサ８６により検出されると、積層基板位置決めシリンダ８４に圧縮空気が供給されてガラス基板２０を上方から下方へ押圧する。これにより、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０は、所定高さ位置に位置決めされる。そして、ホルダ駆動部７０は、積層基板位置決め部８０により最上段のガラス基板２０が液面上の所定高さ位置に位置決めされるようにガラス基板積層体３０を昇降させる。

図３及び図６に示されるように、カセット駆動部９０は、カセット保持部材９２を介して垂直状態に保持された基板収容カセット５０を液槽６０に浸漬したり、基板収容カセット５０を取出すときにカセット保持部材９２を上下方向に駆動する昇降機構である。また、カセット駆動部９０は、垂直状態に保持された基板収容カセット５０をガラス基板積層体３０から分離された当該ガラス基板２０を収容した後に１段ずつ下方に降下させる。

カセット位置決め部１１０は、基板収容カセット５０の内部に設けられた複数の基板収容部５２のうち次にガラス基板２０が挿入される当該基板収容部５２がガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０が搬送される高さ位置と一致するように位置決めする。

基板収容カセット５０は、積層体収納ホルダ４０に対向する側面がガラス基板２０の挿入を行なうための基板挿入口５４が形成されており、内部には各ガラス基板２０を収容した際に各ガラス基板２０が所定間隔で保持するための複数の基板収容部５２が上下方向に整列されている。カセット駆動部９０は、基板収容カセット５０にガラス基板２０を収容する際、複数の基板収容部５２のうちガラス基板２０を収容する当該基板収容部５２の高さ位置を分離されたガラス基板２０の搬送高さ位置と一致するようにカセット位置制御部２２０によって駆動量を制御される。

また、基板収容カセット５０のガラス基板２０と直接接触する部分は、樹脂製であり、ガラス基板２０に傷を発生させず、機械的強度が高く使用中に削れや破壊が発生しない材質、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、超高分子量ポリエチレン樹脂、４フッ化エチレン樹脂から選ばれる材質を用いることが好ましい。

図３に示されるように、基板押出機構１２０は、ベース１２上に起立する支柱１４により所定高さ位置に支持されており、ガラス基板積層体３０の最上段に位置するガラス基板２０を１枚ずつ側方から押し出して分離させて基板収容カセット５０に収容させるように動作する基板当接部１２２と、基板当接部１２２を水平方向に移動させる基板押出用シリンダ１２４とを有する。

基板受取機構１３０は、ベース１２上に起立する支柱１６により所定高さ位置に支持されており、基板押出機構１２０による基板押し出し動作に連動してガラス基板積層体３０から分離したガラス基板２０を基板収容カセット５０にガイドする２本のガイドアームを有する基板受取部１３２と、基板受取部１３２を水平方向に駆動する基板受取用シリンダ１３４とを有する。

基板当接部１２２及び基板受取部１３２は、ガラス基板２０を傷つけないようにガラス基板２０より軟らかい材質によって形成されており、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、超高分子量ポリエチレン樹脂、４フッ化エチレン樹脂等の樹脂材を用いて成型、または少なくともガラス基板２０と接触する部分が樹脂材により形成されていることが好ましい。

ここで、基板押出機構１２０及び基板受取機構１３０の動作について説明する。

図８Ａは積層基板分離収容装置の待機状態を示す平面図である。図８Ｂは積層基板分離収容装置のガラス基板を押し出す開始状態を示す平面図である。図８Ｃは積層基板分離収容装置のガラス基板を押し出す動作過程を示す平面図である。図８Ｄは積層基板分離収容装置のガラス基板をカセットに収納させた状態を示す平面図である。

図８Ａに示されるように、積層基板分離収容装置１０の電源スイッチまたはスタートスイッチがオフの状態では、基板押出機構１２０と基板受取機構１３０は、夫々待機状態にある。すなわち、基板押出機構１２０の基板当接部１２２は、積層体収納ホルダ４０の右方（Ｘ２方向）に待機しており、基板受取機構１３０の基板受取部１３２は、基板収容カセット５０の左方（Ｘ１方向）に待機している。

本実施例では、基板押出機構１２０の基板当接部１２２は、上方からみるとＶ字状に形成されており、ガラス基板２０の外周の２点で接触する構成になっている。基板当接部１２２のガラス基板２０の外周に当接する部分の形状としては、上記Ｖ字状に限らず、円弧状、台形状、四角形状など任意の形状を選択することが可能である。

また、積層体収納ホルダ４０の上部左側には、ガラス基板積層体３０の左側面に近接配置された擦切り治具１５０が固定されている。擦切り治具１５０は、樹脂材により直方体形状に成型されており、上面１５２がガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０の下面が摺接して基板搬送動作をガイドするガイド面として作用する。

また、擦切り治具１５０は、樹脂製であり、ガラス基板２０に傷を発生させず、機械的強度が高く使用中に削れや破壊が発生しない材質、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、超高分子量ポリエチレン樹脂、４フッ化エチレン樹脂から選ばれる材質を用いることが好ましい。

図８Ｂに示されるように、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４が基板当接部１２２を左方（Ｘ１方向）に駆動してガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０の外周側端面を半径方向に押し出す。このとき、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４が基板受取部１３２を右方（Ｘ２方向）に駆動して基板受取部１３２を基板収容カセット５０内に挿入させている。

図８Ｃに示されるように、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４が、さらに基板当接部１２２を左方（Ｘ１方向）に駆動してガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０を押し出す。これにより、ガラス基板積層体３０に圧接された最上段のガラス基板２０は、面方向の吸着力の作用方向と直交する半径方向に押し出されることで、下面側と下方のガラス基板２０の上面（または樹脂製スペーサ）との間に剪断力が発生してガラス基板積層体３０から容易に分離される。このように、基板当接部１２２がガラス基板積層体３０の側方から最上段のガラス基板２０を一枚ずつ半径方向に押し出して分離させるため、研磨加工したガラス基板２０の端面を傷つけることなく、効率良く分離させることが可能になる。

そして、ガラス基板２０は、基板当接部１２２に押し出されて擦切り治具１５０の上面１５２を搬送され、擦切り治具１５０の上面１５２にガイドされて基板収容カセット５０側に搬送される。擦切り治具１５０の上面１５２には、ガラス基板２０の搬送抵抗を軽減すると共に、ガラス基板２０の乾燥を防ぐため、水が供給されている。そのため、ガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０は、擦切り治具１５０の上面１５２をスムーズに移動することができる。

図８Ｄに示されるように、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４が、さらに基板当接部１２２を左方（Ｘ１方向）に駆動してガラス基板積層体３０から分離したガラス基板２０を基板収容カセット５０内に挿入する。これにより、ガラス基板積層体３０から分離したガラス基板２０は、基板受取機構１３０の基板受取部１３２にガイドされながら基板収容カセット５０の所定の基板収容部５２に収容される。この後、基板受取機構１３０の基板受取部１３２は、Ｘ１方向に駆動されて基板収容カセット５０の左側に退避する。

そして、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４が、基板当接部１２２を右方（Ｘ２方向）に駆動して積層体収納ホルダ４０の右側に復帰させると、図８Ａに示す待機状態に戻る。

ここで、図９Ａ〜図９Ｊに示す工程図を参照して積層基板位置決め部８０によるガラス基板２０の位置決め動作と共に、上記基板押出機構１２０及び基板受取機構１３０によるガラス基板２０の分離・収容の各工程について詳細に説明する。尚、図９Ａ〜図９Ｊにおいては、各部材の動作を分かりやすくするため、形状を簡略化して示してある。

なお、図９Ａ〜図９Ｊでは、ガラス基板２０間に樹脂製スペーサ２１がある状態で積層されたガラス基板積層体３０について説明するが、ガラス基板２０同士を直接積層する樹脂製スペーサ２１がない場合でも同様な工程が行なわれる。

（工程１）図１、図３、図７に示されるように、ガラス基板積層体３０の端面の研削、研磨加工処理を行った後、当該ガラス基板積層体３０を基板保持用治具４３の円筒状空間４２内に設置する。

（工程２）図１、図３、図７に示されるように、ガラス基板積層体３０が設置された基板保持用治具４３を積層体収納ホルダ４０にセットし、ガラス基板積層体３０を垂直状態にして液槽６０の液中に浸漬させた状態とする。

（工程３）図１、図６に示されるように、空の状態の基板収容カセット５０をカセット駆動部９０のカセット保持部材９２にセットして液槽６０の上方に垂直状態で待機させる。このとき、基板押出機構１２０及び基板受取機構１３０は、図８Ａに示す待機状態である。

（工程４）図９Ａに示されるように、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４が基板受取部１３２を右方（Ｘ２方向）に駆動して基板受取部１３２を基板収容カセット５０内に挿入させる。尚、この工程４は、基板収容カセット５０の最下端位置にガラス基板２０を挿入する場合に行なう。２回目以降は、前回の工程１４で基板受取部１３２を基板収容カセット５０内に挿入させているので、当該工程４を省略する。

（工程５）ガラス基板積層体３０の１回当たりの押上量を設定する。本実施例では、擦切り治具１５０の上面１５２を基準位置としてガラス基板２０の厚さ（またはガラス基板２０の厚さに樹脂製スペーサ２１の厚さを加算した値）分を押上量として積層基板位置決めセンサ８６の調整を行うことにより押上量を設定する。

（工程６）図９Ｂに示されるように、ホルダ駆動部７０により積層体収納ホルダ４０内に挿入された基板載置部７２を予め設定された押上量に達するまで上方（Ｚ１方向）に移動させる。基板載置部７２に載置されたガラス基板積層体３０が積層体収納ホルダ４０内を上昇して最上段のガラス基板２０の上面（または樹脂製スペーサ）が積層基板位置決め部８０の積層基板位置決め部材８２に当接する。積層基板位置決め部材８２が上方に押し上げられると共に、積層基板位置決め部材８２より上方に延在形成された被検出片８３の上端が積層基板位置決めセンサ８６の検出位置に達する。積層基板位置決めセンサ８６としては、例えば、発光素子と受光素子とを組み合わせたフォトインタラプタなどからなり、被検出片８３が発光素子と受光素子と間を遮断すると、検出信号が出力される。

（工程７）積層基板位置決めセンサ８６から検出信号が出力されると、ホルダ駆動部７０によるガラス基板積層体３０の上昇が停止し、積層基板位置決めシリンダ８４に圧縮空気が供給される。これにより、積層基板位置決め部材８２は、積層基板位置決めシリンダ８４により下方に駆動され、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０を下方に押圧する。これにより、当該ガラス基板２０は、挟持されて停止位置が安定化する。このとき、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０は、下面の高さ位置が擦切り治具１５０の上面１５２の高さ位置と一致した状態に位置決め保持される。

また、基板収容カセット５０は、カセット位置決め部１１０により複数の基板収容位置のうち次にガラス基板２０が挿入される当該基板収容部５２がガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０が搬送される高さ位置と一致するように位置決めされる。

また、擦切り治具１５０の上面１５２を基準高さとして設定された位置は、液槽６０の液面より上方の位置にある。そして、擦切り治具１５０の上面１５２には、上方から水などの液体が供給されており、ガラス基板２０が分離方向に搬送される際の摺動抵抗が軽減されている。

（工程８）図９Ｃに示されるように、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４が基板当接部１２２を左方（Ｘ１方向）に駆動してガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０の外周側端面を押圧してガラス基板２０をガラス基板積層体３０から押し出す。このとき、積層基板位置決めシリンダ８４の圧縮空気が除去され、積層基板位置決め部材８２は自重でガラス基板２０に当接する。

ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０は、基板当接部１２２の押し出し動作により面方向の吸着力の作用方向と直交する半径方向に押し出されることで、下面２０Ｂと下方のガラス基板２０の上面２０Ａ（または樹脂製スペーサ２１）との間に剪断力が発生してガラス基板積層体３０から容易に分離される。さらに、ガラス基板積層体３０の左側には、擦切れ治具１５０が近接（または当接）しており、基板当接部１２２がガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０をＸ１方向に押し出す際は、最上段のガラス基板２０より下方のガラス基板積層体３０がＸ１方向に移動しないように保持され、最上段のガラス基板２０の下面２０Ｂと２段目のガラス基板２０（または樹脂製スペーサ２１）の上面２０Ａとの間には、ガラス基板２０間の吸着力（圧接力）と直交する剪断力が作用する。

そして、ガラス基板２０は、基板当接部１２２が左方（Ｘ１方向）に駆動されると共に押し出されて擦切り治具１５０の上面１５２を搬送され、擦切り治具１５０の上面１５２にガイドされて基板収容カセット５０側に搬送される。

さらに、擦切り治具１５０は、基板押出機構１２０による押し出し方向（Ｘ１方向）と１８０度反対側に設けられており、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０より１段低い位置に上面１５２が位置するように取り付けられている。そのため、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４が基板当接部１２２を駆動してガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０を左方（Ｘ１方向）に押し出す際、擦切り治具１５０は、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０より下方の位置でガラス基板積層体３０の左側に近接（または当接）する位置に設けられている。

これにより、基板当接部１２２がガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０をＸ１方向に押し出す際は、最上段のガラス基板２０より下方のガラス基板積層体３０がＸ１方向に移動しないように保持され、最上段のガラス基板２０の下面２０Ｂと２段目のガラス基板２０（または樹脂製スペーサ２１）の上面２０Ａとの間には、ガラス基板２０間の吸着力（圧接力）と直交する剪断力が作用する。この剪断力の作用によって、ガラス基板積層体３０に圧接された最上段のガラス基板２０をガラス基板積層体３０から瞬時に分離させることができる。

そして、ガラス基板積層体３０から分離されたガラス基板２０は、擦切れ治具１５０の上面１５２を摺動しながらＸ１方向に搬送される。

（工程９）図９Ｄに示されるように、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４は、基板当接部１２２を左方（Ｘ１方向）に駆動してガラス基板積層体３０から分離したガラス基板２０を擦切れ治具１５０の上面１５２により挿入高さをガイドされながら基板収容カセット５０内に挿入する。このとき、ガラス基板積層体３０から分離した当該ガラス基板２０は、擦切れ治具１５０の上面１５２を通過して基板収容カセット５０内に挿入された基板受取機構１３０の基板受取部１３２にガイドされる。これにより、当該ガラス基板２０は、基板受取機構１３０の基板受取部１３２により挿入高さ位置をガイドされながら基板収容カセット５０の所定の基板収容部５２に収容される。尚、基板収容部５２は、基板収容カセット５０の内壁に形成された溝からなり、ガラス基板２０の周縁部を受け入れるように設けられている。

（工程１０）図９Ｅに示されるように、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４により基板受取部１３２を左方（Ｘ１方向）に移動して基板受取部１３２を基板収容カセット５０の左側に退避させる。

（工程１１）図９Ｆに示されるように、ホルダ駆動部７０により積層体収納ホルダ４０内に挿入された基板載置部７２を予め設定された押上量分（ガラス基板２０の厚さまたはガラス基板２０の厚さに樹脂製スペーサの厚さを加算した以上）Ｚ１方向に降下させる。基板載置部７２に載置されたガラス基板積層体３０の上面が擦切れ治具１５０の上面１５２（基準位置）より下方位置に移動する。これにより、ガラス基板積層体３０は、液槽６０の水中に浸漬され、最上段のガラス基板２０が乾燥することが防止される。

（工程１２）図９Ｇに示されるように、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４は、基板当接部１２２を右方（Ｘ２方向）に駆動して押出前の待機位置に復帰させる。このとき、ガラス基板積層体３０は、上面が擦切れ治具１５０の上面１５２（基準位置）より下方位置に降下しているので、基板当接部１２２の復帰動作過程で基板当接部１２２がガラス基板積層体３０に接触せず、ガラス基板２０を傷つけないように戻すことができる。

（工程１３）図９Ｈに示されるように、カセット駆動部９０を駆動させて基板収容カセット５０を降下させる。これにより、基板収容カセット５０は、高さ位置を予め設定された押下量の分（カセット５０に収容したガラス基板２０が、液体に浸漬される量、または基板を収容した基板収容部５２が液体に浸漬される量）一段下方に調整される。基板収容カセット５０の基板収容部５２に収納された最上段のガラス基板２０は、液槽６０の液体に浸漬されて乾燥を防止される。

（工程１４）図９Ｉに示されるように、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４が基板受取部１３２を右方（Ｘ２方向）に駆動して基板受取部１３２を基板収容カセット５０内に挿入させる。

（工程１５）図９Ｊに示されるように、積層基板位置決めシリンダ８４に圧縮空気を供給して積層基板位置決め部材８２を下限位置に降下させて被検出片８３の上端を積層基板位置決めセンサ８６の下方に引き抜き、積層基板位置決め部８０を待機状態に復帰させる。

積層基板分離収容装置１０は、上記工程５〜工程１４を連続して繰り返すことにより、ガラス基板積層体３０からガラス基板２０を効率良く、且つガラス基板２０に傷を発生させることなく１枚ずつ容易に分離できると共に、ガラス基板２０に傷を発生させることなく基板収容カセット５０に収容することが可能になり、従来の方式に比べて、生産性高い製造方法と、品質安定性に優れるガラス基板２０を提供することができる。

そして、基板収容カセット５０の各基板収容部５２にガラス基板２０が収容された場合は、カセット駆動部９０により基板収容カセット５０を液槽６０の上方に移動させて空の基板収容カセット５０に交換するカセット交換作業を行なう。各ガラス基板２０が収容された基板収容カセット５０は、積層基板分離収容装置１０から外されて次の加工工程へ搬送される。次工程で全てのガラス基板２０が取り出された基板収容カセット５０は、再び積層基板分離収容装置１０に装着されて使用される。

ここで、図１０に示すフローチャートを参照して制御装置２００が実行する制御処理について説明する。図１０のＳ１１では、積層基板分離収容装置１０の電源スイッチ、またはスタートスイッチがオンに操作されたか否かをチェックする。図１、図３、図７に示されるように、作業員は、ガラス基板積層体３０を基板保持用治具４３の円筒状空間４２内に設置し、ガラス基板積層体３０が設置された基板保持用治具４３を液槽６０内に固定された積層体収納ホルダ４０にセットする。続いて、図１、図６に示されるように、空の状態の基板収容カセット５０をカセット駆動部９０のカセット保持部材９２にセットして液槽６０の上方に垂直状態で待機させる。

そして、作業員は、ガラス基板積層体３０及び基板収容カセット５０の取付が完了すると、電源スイッチ、またはスタートスイッチがオンに操作する。Ｓ１１において、電源スイッチ、またはスタートスイッチがオンに操作されると、Ｓ１２に進み、ガラス基板積層体３０の１回当たりの押上量を設定する。本実施例では、擦切り治具１５０の上面１５２を基準位置としてガラス基板２０の厚さ（またはガラス基板２０の厚さに樹脂製スペーサ２１の厚さを加算した値）分を押上量として積層基板位置決めセンサ８６の調整を行うことにより押上量を設定する。

Ｓ１３では、カセット駆動部９０を駆動して基板収容カセット５０の下端を液槽６０の液体に浸漬すると共に、カセット位置決め部１１０により最下端位置の基板収容部５２が擦切れ治具１５０の上面１５２（基準位置）に一致したことが検出されるまで基板収容カセット５０を降下させる。

次のＳ１４では、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４が基板受取部１３２を右方（Ｘ２方向）に駆動して基板受取部１３２を基板収容カセット５０内に挿入させる（図９Ａ参照）。

次のＳ１５では、ホルダ駆動７０を駆動して積層体収納ホルダ４０内に挿入された基板載置部７２及び支持アーム７４を上昇させる（図９Ｂ参照）。

次のＳ１６では、積層基板位置決めセンサ８６が被検出片８３を検出したか否かをチェックしており、ガラス基板積層体３０の上面（最上段のガラス基板２０）が積層基板位置決め部８０の積層基板位置決め部材８２に当接して被検出片８３が積層基板位置決めセンサ８６に検出されるまでＳ１５によるガラス基板積層体３０の上昇動作を行なう。

Ｓ１６において、積層基板位置決めセンサ８６が被検出片８３の上昇を検出した場合（ＹＥＳの場合）、Ｓ１７に進み、ホルダ駆動７０の駆動を停止させる。続いて、Ｓ１８に進み、積層基板位置決めシリンダ８４に圧縮空気を供給し、積層基板位置決め部材８２をガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０に当接させて当該ガラス基板２０を挟持する。

次のＳ１９では、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４に圧縮空気を供給して基板当接部１２２を左方（Ｘ１方向）に駆動すると共に、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０の外周側端面を押圧してガラス基板２０をガラス基板積層体３０から押し出す（図９Ｃ、図９Ｄ参照）。これにより、ガラス基板積層体３０の最上段のガラス基板２０は、下面側と下方のガラス基板２０の上面２０Ａ（または樹脂製スペーサ２１）との間に剪断力が発生してガラス基板積層体３０から容易に分離される。

続いて、Ｓ２０に進み、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４の駆動方向を切換えて基板受取部１３２を左方（Ｘ１方向）に駆動して基板受取部１３２を基板収容カセット５０から退避させる（図９Ｅ参照）。

次のＳ２１では、ホルダ駆動７０を駆動して積層体収納ホルダ４０内に挿入された基板載置部７２及び支持アーム７４を降下させてガラス基板積層体３０の上端を擦切れ治具１５０の上面１５２（基準位置）より下方位置に移動する（図９Ｆ参照）。

Ｓ２２では、基板押出機構１２０の基板押出用シリンダ１２４の駆動方向を切換えて基板当接部１２２を右方（Ｘ２方向）に駆動すると共に、基板当接部１２２を積層体収納ホルダ４０の右側方の待機位置に復帰させる（図９Ｇ参照）。

続いて、Ｓ２３に進み、カセット駆動部９０を駆動して基板収容カセット５０を予め設定された押下量の分（基板収容カセット５０に収容されたガラス基板２０が、液体に浸漬される量、またはガラス基板２０を収容された基板収容部５２が液体に浸漬される量）一段降下させる（図９Ｈ参照）。

次のＳ２４では、基板受取機構１３０の基板受取用シリンダ１３４を駆動して基板受取部１３２を右方（Ｘ２方向）に移動し、基板受取部１３２を基板収容カセット５０内に挿入する（図９Ｉ参照）。

Ｓ２５では、積層基板位置決めシリンダ８４を駆動して積層基板位置決め部材８２を下限位置に降下させて被検出片８３の上端を積層基板位置決めセンサ８６の下方に引き抜き、積層基板位置決め部８０を待機状態に復帰させる（図９Ｊ参照）。

続いて、Ｓ２６に進み、電源スイッチがオフまたは停止スイッチがオンに操作されたか否かをチェックする。Ｓ２６において、電源スイッチがオン及び停止スイッチがオフのときは（ＮＯの場合）、上記Ｓ１５〜Ｓ２６を繰り返す。Ｓ１５〜Ｓ２６の処理を連続することにより、ガラス基板積層体３０に積層された各ガラス基板２０は一枚ずつ分離され、そして各ガラス基板２０は効率よく基板収容カセット５０の各基板収容部５２に順次収容される。

また、上記Ｓ２６において、電源スイッチがオフまたは停止スイッチがオンのときは（ＹＥＳの場合）、一連の制御処理を終了する。また、Ｓ２６において、例えば、予めガラス基板積層体３０または基板収容カセット５０の交換時、あるいはガラス基板２０の押し出し回数等の停止条件が設定されている場合には、当該停止条件が満たされた時点で自動的に停止させることも可能である。

上記実施例では、液槽６０に積層体収納ホルダ４０、基板収容カセット５０を１つずつ浸漬した構成を例示したが、作業効率を高めるため、複数の積層体収納ホルダ４０、複数の基板収容カセット５０を液槽６０に並列に浸漬させると共に、複数の基板押出機構１２０及び複数の基板受取機構１３０を同時に作動させる構成としても良い。

また、本実施例のガラス基板２０としては、磁気記録媒体用ガラス基板に用いられるものを想定しているが、これに限らず、磁気記録媒体用ガラス基板以外のものでもよいし、例えば、フォトマスク用ガラス基板、液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ用ガラス基板、光学フィルター、光ピックアップ素子などの光学部品用ガラス基板、半導体用の基板（シリコン基板、炭化ケイ素基板など）でも良い。

１０ 積層基板分離収容装置
１２ ベース
２０ ガラス基板
３０ ガラス基板積層体
４０ 積層体収納ホルダ
４２ 円筒状空間
４３ 基板保持用治具
４４ 下部開口
４５ 上部フランジ
４６ 通路
４７ 下部フランジ
４８ 支柱
５０ 基板収容カセット
５２ 基板収容部
５４ 基板挿入部
５６ 基板受取部挿入部
６０、６２ 液槽
６４ ホルダ設置用固定台
７０ ホルダ駆動部
７２ 基板載置部
７４ 支持アーム
７６ 垂直アーム
８０ 積層基板位置決め部
８２ 積層基板位置決め部材
８４ 積層基板位置決めシリンダ
８６ 積層基板位置決めセンサ
８８ ブラケット
９０ カセット駆動部
９２ カセット保持部材
１１０ カセット位置決め部
１２０ 基板押出機構
１２２ 基板当接部
１２４ 基板押出用シリンダ
１３０ 基板受取機構
１３２ 基板受取部
１３４ 基板受取用シリンダ
１４０ ホルダ押え部材
１５０ 擦切り治具
２００ 制御装置
２１０ ホルダ位置制御部
２２０ カセット位置制御部
２３０ 基板押出制御部
２４０ 基板受取制御部
２５０ 積層基板位置制御部

Claims (14)

1. ガラス基板を複数枚重ね合わせたガラス基板積層体から前記ガラス基板を１枚ずつ分離収容する積層基板分離収容装置において、
   前記ガラス基板積層体を収納する積層体収納ホルダと、
   前記ガラス基板積層体から分離された前記ガラス基板を１枚毎に収容するカセットと、
   前記積層体収納ホルダ及び前記カセットが垂直方向に延在する向きで液中に挿入された液槽と、
   前記積層体収納ホルダを上下方向に駆動させる積層体駆動部と、
   前記積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体の最上段の高さ位置を位置決めする積層基板位置決め部と、
   前記カセットを上下方向に駆動させるカセット駆動部と、
   前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を１枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに収容させる基板押出機構と、
   前記カセットの前記ガラス基板が収容されていない収容部の高さ位置が前記基板押出機構により押し出された前記ガラス基板の高さ位置となるように前記カセット駆動部を制御するカセット位置制御部と、
   前記基板押出機構による基板押し出し動作に連動して前記ガラス基板積層体から分離したガラス基板を受け取り、当該ガラス基板を前記カセットの基板収容部に搬送する基板受取機構と、
   前記積層体収納ホルダと前記カセットとの間に設けられ、前記基板押出機構により半径方向に押し出される前記ガラス基板積層体の最上段の前記ガラス基板と当該最上段のガラス基板の下方のガラス基板との間の吸着力と直交する剪断力を作用させる擦切り治具と、を有し、
   前記基板押出機構は、
   前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板を半径方向の一側から前記擦切り治具側へ押し出す押出治具と、
   該押出治具を前記ガラス基板積層体の積層方向に対して直交する前記ガラス基板の平面と平行な方向に駆動させる駆動部と、を有し、
   前記最上段のガラス基板は、前記押出治具が前記駆動部により駆動されることで前記擦切り治具の上方を通過して前記基板受取機構へスライドすることを特徴とする積層基板分離収容装置。
2. 前記基板受取機構は、前記基板押出機構の押し出し動作により前記ガラス基板積層体より分離されたガラス基板を載せる受取治具と、
   該受取治具をカセット内に収納するガラス基板の主平面と平行な方向に駆動させる駆動部とを有することを特徴とする請求項１に記載の積層基板分離収容装置。
3. 前記積層基板位置決め部は、
   前記ガラス基板積層体に接触する積層基板位置決め部材を先端に有し、該積層基板位置決め部材を上下方向に移動させる積層基板位置決めシリンダと、
   該積層基板位置決めシリンダが上下方向に移動した位置を検出する積層基板位置決めセンサと、
   前記積層基板位置決めセンサからの検出信号により前記ガラス基板積層体の最上段のガラス基板が所定高さ位置に到達するまで前記積層体駆動部を駆動させる制御手段と、
   を有することを特徴とする請求項１または２に記載の積層基板分離収容装置。
4. 前記カセット位置制御部は、前記カセットの基板受け取りを行なう収納部の高さ位置が前記積層体収納ホルダの最上段に位置する前記ガラス基板の高さ位置と一致するように前記カセット駆動部を制御することを特徴とする請求項１〜３いずれか一項に記載の積層基板分離収容装置。
5. 前記押出治具は、前記ガラス基板の外周の少なくとも２点に接触する接触部を有する形状に樹脂成型されたことを特徴とする請求項１に記載の積層基板分離収容装置。
6. 前記積層体収納ホルダは、前記液槽内に縦置きに挿入され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする請求項１〜５いずれか一項に記載の積層基板分離収容装置。
7. 前記カセットは、前記液槽内に縦置きに挿入され、前記積層体収納ホルダに対向する側に前記ガラス基板を受け入れる基板挿入口を有し、前記基板挿入口と逆側に前記受取治具が挿脱される開口を有する形状に樹脂成型され、または少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されることを特徴とする請求項２に記載の積層基板分離収容装置。
8. 前記擦切り治具は、前記基板押出機構により前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板を１枚ずつ側方から押し出して分離させて前記カセットに搬送する搬送経路に設けられ、上面が前記ガラス基板の搬送をガイドするガイド面となるように樹脂成型されたことを特徴とする請求項１に記載の積層基板分離収容装置。
9. 前記積層基板位置決め部材は、前記ガラス基板積層体の最上段に位置する前記ガラス基板の上面に接触する接触部を有し、前記接触部が樹脂成型されたことを特徴とする請求項３に記載の積層基板分離収容装置。
10. 前記受取治具は、前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板を受け取る基板受取部を有する形状に成型され、少なくとも前記ガラス基板と接触する部分が樹脂材により形成されたことを特徴とする請求項２又は７に記載の積層基板分離収容装置。
11. 前記ガラス基板積層体は、前記ガラス基板積層体から分離されるガラス基板を除いて、液槽の液中に浸漬されている状態であることを特徴とする請求項１〜１０いずれか一項に記載の積層基板分離収容装置。
12. 前記カセット駆動部は、前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板が前記カセットに収納されると、当該カセットが液槽の液中に浸漬されるように降下移動し、前記ガラス基板積層体から分離した当該ガラス基板が液中に浸漬されるように前記カセットを駆動することを特徴とする請求項１〜１１いずれか一項に記載の積層基板分離収容装置。
13. 複数のガラス基板と複数のスペーサとを交互に、または複数のガラス基板を重ね合わせたガラス基板積層体を形成し、該ガラス基板積層体の各ガラス基板の端面の研磨加工を行なった後に前記ガラス基板積層体から前記ガラス基板を分離する工程とを有するガラス基板の製造方法において、
    請求項１〜１２いずれか一項に記載した積層基板分離収容装置を用いて積層体収納ホルダに収納された前記ガラス基板積層体から最上段の前記ガラス基板を１枚ずつ分離してカセットに収納させることを特徴とするガラス基板の製造方法。
14. 前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の製造方法。

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