KR101126685B1 - 필름 부착장치 및 부착방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 필름 부착장치는, 기판이 흡착되는 기판 흡착판 및 기판 흡착판이 이동 가능하게 장착되고 기판 흡착판을 부착 위치로 이동하기 위해 회전하는 기판 운반용 회전 테이블을 갖는 기판 흡착 유닛, 기판에 부착될 필름이 흡착되는 필름 흡착판과 필름 흡착판이 장착되고 필름 흡착판이 기판 흡착판과 대면하도록 필름 흡착판을 부착 위치로 이동하기 위해 회전하는 필름 운반용 회전 테이블과 필름 운반용 회전 테이블에 장착되고 부착 위치로 이동한 필름 흡착판을 기판 흡착판 쪽으로 틸팅시키는 필름 흡착판 틸팅 장치를 갖는 필름 흡착 유닛, 부착 위치로 이동한 필름 흡착판이 틸팅되어 필름 흡착판에 흡착된 필름의 일단이 기판 흡착판에 흡착된 기판에 부착될 때 기판 흡착판을 이동하여 필름이 그 일단부터 타단까지 기판에 점진적으로 부착되도록 하는 기판 흡착판 이송장치, 기판 흡착판 및 필름 흡착판에 진공압을 제공하기 위한 하나 이상의 진공 펌프를 포함한다. 기판 흡착판 이송장치는 부착 위치에 하나가 배치된다.

Description

필름 부착장치 및 부착방법{FILM BONDING APPARATUS AND BONDING METHOD OF FILM}
본 발명은 평판표시패널용 기판에 필름을 부착하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 필름의 접촉 압력을 균일하게 유지하면서 필름을 기판에 안정적으로 부착할 수 있으며, 장치의 콤팩트한 구현이 가능한 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것이다.
최근 액정표시장치가 광범위하게 산업에 이용되고 있고, 이러한 액정표시장치와 같은 평판표시패널용 기판에는 다양한 용도의 필름이 제조과정에서 부착되고 있다.
평판표시패널용 기판에 필름을 부착하는 장치의 일례를 살펴보면 다음과 같다.
종래의 필름 부착장치는 2개의 필름 공급 유닛이 일정 간격을 두고 설치되고, 그 사이로 기판이 공급되도록 구성된다. 상기 필름 공급유닛에는 로딩 플레이트가 설치되며, 상기 로딩 플레이트는 일정 각도로 회동한다. 상기 로딩 플레이트는 회전 모터에 의하여 바닥면과 수평 또는 수직으로 회전하면서 공급되는 필름을 부착 위치로 이송시키게 된다. 그리고 상기 각 로딩 플레이트의 끝단에는 기판과 필름의 부착 위치에서 상기 필름을 기판 쪽으로 압착하는 부착 롤러가 설치된다.
이러한 종래의 필름 부착장치는 기판은 직선으로 공급되고, 로딩 플레이트로 공급되는 필름은 보호시트 제거 등의 공정을 거치면서 90°간격으로 수평 또는 수직 방향으로 회전하면서 부착위치로 이송된다.
그런데 상기 종래 필름 부착장치는 기판이 직선으로 공급되면서, 공급되는 기판 상에 필름이 접촉하는 구성을 취하기 때문에, 장치의 구성이 비교적 복잡하고, 콤팩트한 장치의 구현이 어렵다는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 기판과 필름의 부착 시 부착 위치 및 부착 압력을 균일하게 유지할 수 있어, 부착면에 기포 등이 개입되지 않게 하고 필름의 부착을 위하여 설치되는 개별 부품의 점유 공간 및 동작 범위를 줄여 콤팩트한 구조가 가능한 필름 부착장치 및 이를 이용한 필름 부착방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는, 기판이 흡착되는 기판 흡착판 및 상기 기판 흡착판이 이동 가능하게 장착되고 상기 기판 흡착판을 부착 위치로 이동하기 위해 회전하는 기판 운반용 회전 테이블을 갖는 기판 흡착 유닛, 상기 기판에 부착될 필름이 흡착되는 필름 흡착판과 상기 필름 흡착판이 장착되고 상기 필름 흡착판이 상기 기판 흡착판과 대면하도록 상기 필름 흡착판을 상기 부착 위치로 이동하기 위해 회전하는 필름 운반용 회전 테이블과 상기 필름 운반용 회전 테이블에 장착되고 상기 부착 위치로 이동한 상기 필름 흡착판을 상기 기판 흡착판 쪽으로 틸팅시키는 필름 흡착판 틸팅 장치를 갖는 필름 흡착 유닛, 상기 부착 위치로 이동한 상기 필름 흡착판이 틸팅되어 상기 필름 흡착판에 흡착된 상기 필름의 일단이 상기 기판 흡착판에 흡착된 상기 기판에 부착될 때 상기 기판 흡착판을 이동하여 상기 필름이 그 일단부터 타단까지 상기 기판에 점진적으로 부착되도록 하는 기판 흡착판 이송장치, 상기 기판 흡착판 및 상기 필름 흡착판에 진공압을 제공하기 위한 하나 이상의 진공 펌프를 포함한다. 상기 기판 흡착판 이송장치는 상기 부착 위치에 하나가 배치된다.
상기 기판 흡착판 이송장치는 상기 기판 흡착판에 외력을 가하여 상기 기판 흡착판을 이동시키기 위한 가동부재 및 상기 가동부재를 구동시키기 위한 가동부재 구동장치를 포함한다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는 상기 기판 운반용 회전 테이블에 장착되어 상기 기판 흡착판을 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 지지부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는, 상기 기판 운반용 회전 테이블에 설치되고 상기 지지부재에 외력을 가하여 상기 지지부재를 상기 기판 운반용 회전 테이블의 내외측 방향으로 이동시키는 지지부재 이송장치를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 흡착판은 복수가 상기 기판 운반용 회전 테이블에 일정 간격으로 배치되고, 상기 필름 흡착판은 복수가 상기 필름 운반용 회전 테이블에 일정 간격으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는 상기 필름 운반용 회전 테이블에 장착되어 상기 필름 흡착판을 회전 가능하게 지지하는 힌지 장치를 더 포함하고, 상기 필름 흡착판은 상기 힌지 장치를 중심으로 회전하여 틸팅될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는 상기 필름 흡착판에 흡착된 필름이 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판에 접할 때 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하기 위해 상기 필름 흡착판에 설치되는 가압 롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는, 상기 부착 위치에 배치되고 상기 필름 흡착판에 흡착된 필름이 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판에 접할 때 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하기 위한 가압 롤러 및 상기 가압 롤러를 상기 필름을 가압하는 방향으로 전진 및 상기 필름에서 떨어지는 방향으로 후퇴시키기 위한 가압 롤러 이송장치를 갖는 필름 가압장치를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치는, 상기 기판을 상기 기판 흡착판에 공급하기 위한 기판 로딩 장치, 상기 필름의 부착이 완료된 상기 기판을 상기 기판 흡착판으로부터 분리하기 위한 기판 언로딩 장치, 상기 필름을 상기 필름 흡착 유닛에 공급하기 위한 필름 공급장치를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름 부착장치는, 기판이 흡착되는 기판 흡착판 및 상기 기판 흡착판을 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 지지부재를 갖는 기판 흡착 유닛, 상기 기판에 부착될 필름이 흡착되는 필름 흡착판 및 상기 필름 흡착판을 상기 기판 흡착판 쪽으로 틸팅시키는 필름 흡착판 틸팅 장치를 갖는 필름 흡착 유닛, 상기 기판 흡착판과 상기 필름 흡착판이 대면하는 부착 위치에 배치되는 기판 흡착판 이송장치 및 상기 기판 흡착판 및 상기 필름 흡착판에 진공압을 제공하기 위한 하나 이상의 진공 펌프를 포함한다. 상기 기판 흡착판 이송장치는 상기 필름 흡착판이 틸팅되어 상기 필름 흡착판에 흡착된 상기 필름의 일단이 상기 기판 흡착판에 흡착된 상기 기판에 부착될 때, 상기 기판 흡착판을 이동하여 상기 필름이 그 일단부터 타단까지 상기 기판에 점진적으로 부착되도록 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착방법은, (a) 기판 흡착판에 기판을 흡착하는 단계, (b) 필름 흡착판에 필름을 흡착하는 단계, (c) 상기 필름 흡착판에 흡착된 필름의 일단이 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판에 부착되도록 상기 필름 흡착판을 상기 기판 흡착판 쪽으로 틸팅시키는 단계, (d) 상기 부착 위치에 배치된 기판 흡착판 이송장치로 상기 기판 흡착판을 직선 이동시켜서 상기 필름을 그 일단부터 타단까지 상기 기판에 점진적으로 부착하는 단계를 포함한다.
상기 (d) 단계는 가압 롤러로 상기 필름 흡착판에 흡착된 필름을 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판 쪽으로 가압하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착방법은 상기 (c) 단계 이전에, 상기 기판 흡착판을 부착 위치로 이동하는 단계 및 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판과 상기 필름 흡착판에 흡착된 필름이 서로 마주보도록 상기 필름 흡착판을 상기 부착 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 필름 부착장치는 기판이 흡착되는 기판 흡착판이 직선 이동하고, 필름이 흡착되는 필름 흡착판이 기판 흡착판 쪽으로 틸팅되어 필름을 기판에 부착시키므로, 기판과 필름의 공급, 운반을 위한 부품들의 점유 공간 및 동작 범위를 줄일 수 있다. 따라서, 콤팩트한 구조가 가능하고, 동일한 공간 내에 많은 수의 부품을 설치할 수 있다. 또한, 기판이나 필름의 운반 시간을 줄일 수 있어 생산성을 대폭 향상시킬 수 있고, 구조가 간소화되므로 장치의 고장 발생율을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 필름 부착장치는 기판이 흡착되는 기판 흡착판이 직선 이동하고 필름이 흡착되는 필름 흡착판이 기판 흡착판 쪽으로 틸팅되어 필름을 기판에 부착하므로, 필름을 그 일단부터 타단까지 기판에 점진적으로 부착할 수 있다. 따라서, 기판과 필름 사이의 부착면에 기포 등이 개입됨 없이 필름을 기판에 안정적으로 부착할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 필름 부착장치는 부착 위치에 배치되는 하나의 기판 흡착판 이송장치를 이용하여 부착 위치로 이동한 모든 기판 흡착판을 이동시킬 수 있고, 부착 위치에 설치되는 하나의 필름 가압장치를 이용하여 복수의 필름 흡착판에 흡착된 필름을 차례로 기판 흡착판 쪽으로 가압할 수 있으므로, 부품의 수를 줄이고 설치 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치의 기판 흡착 유닛 및 기판 흡착판 이송장치를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치의 필름 흡착 유닛 및 필름 공급장치를 나타낸 것이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치의 동작을 설명하기 위한 것이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름 부착장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름 부착장치의 동작을 설명하기 위한 것이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치 및 부착방법에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치(100)는, 기판(S;도 2참조)을 하나씩 부착 위치(P1)로 운반하기 위한 기판 흡착 유닛(110), 기판(S)에 부착될 필름(F;도 3참조)을 하나씩 부착 위치(P1)로 운반하기 위한 필름 흡착 유닛(120), 기판 흡착 유닛(110)에 구비되는 기판 흡착판(111)을 이동하기 위한 기판 흡착판 이송장치(140) 및 진공압을 제공하기 위한 진공 펌프(150)를 포함한다. 여기에서, 부착 위치(P1)는 기판(S)과 필름(F)이 대면하여 서로 접착되는 위치이다. 이 밖에, 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치(100)는 기판(S)을 기판 흡착판(111)에 하나씩 공급하기 위한 기판 로딩 장치(160), 필름(F)이 부착된 기판(S)을 기판 흡착판(111)으로부터 분리하기 위한 기판 언로딩 장치(170) 및 필름(F)을 필름 흡착 유닛(120)에 구비되는 필름 흡착판(121)에 하나씩 공급하기 위한 필름 공급장치(180)를 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 기판 흡착 유닛(110)은, 기판(S)이 흡착되는 복수의 기판 흡착판(111), 기판 흡착판(111)을 상하 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 복수의 지지부재(112), 지지부재(112)를 직선 이동시키기 위한 복수의 지지부재 이송장치(113) 및 기판 운반용 회전 테이블(114)을 포함한다. 복수의 기판 흡착판(111), 복수의 지지부재(112) 및 복수의 지지부재 이송장치(113)는 기판 운반용 회전 테이블(114)에 장착된다. 기판 운반용 회전 테이블(114)은 모터(미도시) 등 회전력을 제공하는 액츄에이터에 의해 일정 각도씩 회전할 수 있다.
복수의 기판 흡착판(111)은 기판 운반용 회전 테이블(114)에 일정한 각도를 이루도록 배치된다. 도면에는 기판 흡착판(111)의 개수가 네 개이고, 이들이 90°간격으로 배치된 것으로 나타나 있으나, 기판 흡착판(111)의 개수나 배치 간격은 다양하게 변경될 수 있다. 기판 흡착판(111)은 지지부재 이송장치(113)에 의해 지지부재(112)와 함께 기판 운반용 회전 테이블(114)의 내외측 방향으로 이동할 수 있고, 지지부재(112)에 결합된 상태로 상하 이동할 수 있다.
기판 흡착판(111)의 전면에는 기판(S)을 진공압으로 흡착할 수 있도록 다수의 흡착 홀(115)이 마련된다. 기판 흡착판(111)은 튜브를 통해 진공 펌프(150)와 연결될 수 있으며, 진공 펌프(150)에서 발생되는 진공압이 튜브를 통해 다수의 흡착 홀(115)에 제공됨으로써 기판(S)이 기판 흡착판(111)의 전면에 흡착될 수 있다. 기판 흡착판(111)과 진공 펌프(150)를 연결하는 튜브에는 진공압 조절을 위한 조절 밸브(151)가 설치될 수 있다.
도 2에 도시된 것과 같이, 지지부재(112)는 기판 흡착판(111)을 상하 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지한다. 지지부재(112)에는 상하 방향으로 연장된 가이드 레일(116)이 마련되고, 기판 흡착판(111)의 후면에는 가이드 레일(116)이 삽입되는 가이드 홈(117)이 마련된다. 따라서, 기판 흡착판(111)이 기판 흡착판 이송장치(140)로부터 외력을 받으면 기판 흡착판(111)은 가이드 레일(116)을 따라 직선 이동하게 된다. 물론, 기판 흡착판(111)과 지지부재(112)의 결합 구조는 이러한 구조로 한정되지 않고, 기판 흡착판(111)이 지지부재(112)에서 슬라이드 이동할 수 있는 다양한 구조로 변경될 수 있다.
지지부재(112)는 기판 운반용 회전 테이블(114)에 결합되는 지지부재 이송장치(113)에 결합된다. 지지부재 이송장치(113)는 지지부재(112)에 외력을 가하여 지지부재(112)를 부착 위치(P1)에 위치하는 필름 흡착판(121) 쪽으로 전진시키거나 그 반대 방향으로 후퇴시킨다. 따라서, 기판(S)이 흡착되는 기판 흡착판(111)도 지지부재(112)와 함께 기판 운반용 회전 테이블(114)의 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 지지부재 이송장치(113)로는 지지부재(112)에 직선 이동력을 제공할 수 있는 다양한 리니어 액츄에이터가 이용될 수 있다.
이러한, 기판 흡착 유닛(110)은 기반 운반용 회전 테이블(123)의 회전에 의해 복수의 기판 흡착판(111)에 흡착된 기판(S)이 하나씩 로딩 위치(P2), 부착 위치(P1) 및 언로딩 위치(P3)로 운반된다. 기판 흡착판(111)이 로딩 위치(P2)에 위치할 때 기판 로딩 장치(160)가 기판 흡착판(111)에 기판(S) 하나를 공급하여 기판 흡착판(111)에 하나의 기판(S)이 흡착된다. 그리고 기판 흡착판(111)이 부착 위치(P1)에 위치할 때 기판(S)에 필름(F)이 부착되고, 기판 흡착판(111)이 언로딩 위치(P3)에 위치할 때 기판 언로딩 장치(170)가 필름(F)이 부착된 기판(S)을 기판 흡착판(111)으로부터 분리한다. 기판 로딩 장치(160)나 기판 언로딩 장치(170)는 기판 흡착판(111)에 기판(S)을 하나씩 공급하거나 기판(S)을 기판 흡착판(111)에서 분리할 수 있는 다양한 구조로 이루어질 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1 및 도 3에 도시된 것과 같이, 필름 흡착 유닛(120)은, 기판(S)에 부착될 필름(F)이 흡착되는 복수의 필름 흡착판(121), 필름 흡착판(121)을 틸팅(Tilting)시키기 위한 복수의 필름 흡착판 틸팅 장치(122) 및 필름 운반용 회전 테이블(123)을 포함한다. 복수의 필름 흡착판(121) 및 복수의 필름 흡착판 틸팅 장치(122)는 필름 운반용 회전 테이블(123)에 장착된다. 필름 운반용 회전 테이블(123)은 모터(미도시) 등 회전력을 제공하는 액츄에이터에 의해 일정 각도씩 회전할 수 있다.
복수의 필름 흡착판(121)은 필름 운반용 회전 테이블(123)에 일정한 각도를 이루도록 배치된다. 도면에는 기판 흡착판(111)의 개수가 네 개이고, 이들이 90°간격으로 배치된 것으로 나타나 있으나, 필름 흡착판(121)의 개수나 배치 간격은 다양하게 변경될 수 있다. 필름 흡착판(121)은 그 하단이 필름 운반용 회전 테이블(123)에 결합되는 힌지 장치(124)에 회전 가능하게 결합된다.
필름 흡착판 틸팅 장치(122)가 필름 흡착판(121)을 밀거나 당기면 필름 흡착판(121)은 힌지 장치(124)를 중심으로 일정 각도 회전함으로써 틸팅될 수 있다. 필름 흡착판(121)이 그 상단이 부착 위치(P1)에 위치하는 기판 흡착판(111)에 접근하도록 기울어지면 필름 흡착판(121)에 흡착된 필름(F)의 일단이 기판 흡착판(111)에 흡착된 기판(S)에 부착될 수 있다. 필름 흡착판 틸팅 장치(122)의 끝단은 필름 흡착판(121)에 결합된다. 필름 흡착판 틸팅 장치(122)는 필름 흡착판(121)을 밀거나 당길 수 있는 다양한 형태의 액츄에이터가 이용될 수 있다.
또한 상기 필름 흡착판의 상부 쪽에 힌지 장치가 마련되도록 하여 필름 흡착판이 필름 흡착판 틸팅 장치의 동작에 의하여 필름 흡착판 상부 쪽이 틸팅되도록 구성할 수도 있다.
필름 흡착판(121)의 전면에는 필름(F)을 진공압으로 흡착할 수 있도록 다수의 흡착 홀(125)이 마련된다. 필름 흡착판(121)은 튜브를 통해 진공 펌프(150)와 연결될 수 있으며, 진공 펌프(150)에서 발생되는 진공압이 튜브를 통해 다수의 흡착 홀(125)에 제공됨으로써 필름(F)이 필름 흡착판(121)의 전면에 흡착될 수 있다. 필름 흡착판(121)과 진공 펌프(150)를 연결하는 튜브에는 진공압 조절을 위한 조절 밸브(152)가 설치될 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 것과 같이, 필름 흡착판(121)의 상단에는 가압 롤러(130)가 설치된다. 가압 롤러(130)는 필름 흡착판(121)에 흡착된 필름(F)이 기판 흡착판(111)에 흡착된 기판(S)에 접할 때 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압하여 필름(F)이 들뜨지 않고 기판(S)에 원활하게 부착되도록 하는 역할을 한다. 가압 롤러(130)는 베어링과 같은 공지의 회전 보조장치에 의해 회전할 수 있도록 필름 흡착판(121)에 결합될 수 있다. 또한, 가압 롤러(130)는 밀착력을 좋게 하기 위해 고무나 실리콘 등 탄성을 갖는 소재로 이루어질 수 있다.
도 3에 도시된 것과 같이, 필름 공급장치(180)는 필름(F)을 흡착하기 위한 필름 공급판(181)과 필름 공급판(181)을 회전시키기 위한 필름 공급판 회전장치(182)를 포함한다. 필름 공급판(181)은 힌지 장치(183)에 회전 가능하게 지지되며, 필름 공급판 회전장치(182)에 의해 힌지 장치(183)를 중심으로 일정 각도 회전한다. 필름 공급판(181)은 필름(F)을 흡착하기 위해 그 일면에 다수의 흡착 홀(184)이 마련된다. 필름 공급판(181)은 튜브를 통해 진공 펌프(150)와 연결될 수 있으며, 필름 공급판(181)과 진공 펌프(150)를 연결하는 튜브에는 진공압 조절을 위한 조절 밸브(153)가 설치될 수 있다. 필름 공급장치(180)의 구조는 도시된 것으로 한정되는 것은 아니다. 필름 공급장치(180)는 필름 흡착판(121)에 필름(F)을 하나씩 공급할 수 있는 다양한 구조로 변경될 수 있다.
상술한 것과 같은 필름 흡착 유닛(120)은 필름 운반용 회전 테이블(123)의 회전에 의해 복수의 필름 흡착판(121)이 필름 공급 위치(P4) 및 부착 위치(P1)로 이동한다. 필름 흡착판(121)이 필름 공급 위치(P4)에 위치할 때 필름 공급장치(180)가 필름 흡착판(121)에 필름(F) 하나를 공급하여 필름 흡착판(121)에 하나의 필름(F)이 흡착된다. 그리고 필름 흡착판(121)이 부착 위치(P1)에 위치할 때 필름 흡착판(121)의 필름(F)이 기판 흡착판(111)에 흡착된 기판(S)으로 이동한다. 필름(F)에 접착면이 마련되는 경우 필름(F)에 부착되어 접착면을 덮는 보호 시트는 필름(F)이 부착 위치(P1)로 이동하기 전에 필름(F)으로부터 제거된다. 필름(F)에서 보호 시트를 제거하는 방법은 공지된 다양한 방법이 이용될 수 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 기판 흡착판 이송장치(140)는 부착 위치(P1)에 배치된다. 기판 흡착판 이송장치(140)는 부착 위치(P1)로 이동한 기판 흡착판(111)을 가이드 레일(116)을 따라 상하 방향으로 슬라이드 이동시킨다. 기판 흡착판 이송장치(140)는 기판 흡착판(111)에 외력을 가하여 기판 흡착판(111)을 상하 이동시키기 위한 가동부재(141) 및 가동부재(141)를 작동시키기 위한 가동부재 구동장치(142)를 포함한다. 가동부재(141)는 한 쌍의 핑거(143)를 포함한다. 한 쌍의 핑거(143)는 서로 가까워짐으로써 기판 흡착판(111)의 상단을 잡을 수 있고, 서로 멀어짐으로써 기판 흡착판(111)에서 떨어질 수 있다.
가동부재 구동장치(142)는 가동부재(141)를 하부 방향으로 밀거나 가동부재(141)를 상부 방향으로 끌어당긴다. 가동부재(141)가 기판 흡착판(111)의 상단을 잡은 상태에서 가동부재 구동장치(142)가 가동부재(141)를 상부 방향으로 이동시키면 기판 흡착판(111)이 가이드 레일(116)을 따라 상부 방향으로 슬라이드 이동한다. 그리고 기판 흡착판(111)이 상승한 상태에서 가동부재 구동장치(142)가 가동부재(141)를 하부 방향으로 이동시키면 기판 흡착판(111)이 하부 방향으로 슬라이드 이동한다.
물론, 기판 흡착판(111)이 가이드 레일(116)에서 쉽게 슬라이드 이동할 수 있는 경우, 기판 흡착판 이송장치(140)가 기판 흡착판(111)을 하부 방향으로 밀지 않더라도 기판 흡착판(111)은 자중에 의해 하부 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다. 가동부재 구동장치(142)로는 가동부재(141)에 직선 이동력을 제공할 수 있는 다양한 리니어 액츄에이터가 이용될 수 있다.
본 발명에 있어서, 가동부재(141)의 구체적인 구조나 기판 흡착판 이송장치(140)의 구조는 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 기판 흡착판 이송장치(140)는 기판 흡착판(111)의 하부에 배치될 수도 있다. 이 경우, 가동부재(141)의 핑거(143)는 생략될 수 있고, 기판 흡착판 이송장치(140)가 기판 흡착판(111)을 상부 방향으로 밀 때 기판 흡착판(111)이 상부 방향으로 슬라이드 이동하고, 기판 흡착판 이송장치(140)가 하강할 때 기판 흡착판(111)도 하부 방향으로 슬라이드 이동할 수 있다. 이 밖에도 기판 흡착판 이송장치(140)는 기판 흡착판(111)에 외력을 가하여 기판 흡착판(111)을 직선 이동시킬 수 있는 다양한 구조로 변경될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치(100)의 작용에 대하여 설명한다.
하나의 기판 흡착판(111)이 로딩 위치(P2)로 이동하면, 기판 로딩 장치(160)가 로딩 위치(P2)에 있는 하나의 기판 흡착판(111)에 기판(S)을 공급하여 기판 흡착판(111)에 기판(S)이 흡착된다. 이후, 기판 운반용 회전 테이블(114)이 일정 각도 회전하여 기판(S)이 흡착된 기판 흡착판(111)이 부착 위치(P1)로 이동한다.
이와 별도로, 필름 공급 위치(P4)에서 필름 공급장치(180)에 의해 필름(F)을 공급받은 하나의 필름 흡착판(121)은 필름 운반용 회전 테이블(123)의 회전에 의해 부착 위치(P1)로 이동한다.
도 4에 도시된 것과 같이, 기판(S)이 흡착된 기판 흡착판(111)과 필름(F)이 흡착된 필름 흡착판(121)이 부착 위치(P1)에서 서로 마주볼 때, 지지부재 이송장치(113)가 지지부재(112)를 필름 흡착판(121) 쪽으로 밀고, 필름 흡착판 틸팅 장치(122)가 필름 흡착판(121)을 틸팅시킨다. 이때, 필름 흡착판(121)은 힌지 장치(124)를 중심으로 일정 각도 회전하여 그 상단이 기판 흡착판(111)에 접근하며, 기판 흡착판(111)에 흡착된 필름(F)의 일단이 기판 흡착판(111)에 흡착된 기판(S)의 일단에 부착된다. 이와 동시에, 가압 롤러(130)가 기판(S)에 접촉된 필름(F)의 일단을 기판(S) 쪽으로 가압한다.
이후, 기판 흡착판 이송장치(140)가 작동하여 가동부재(141)가 하강하여 기판 흡착판(111)의 상단을 잡는다. 계속해서, 도 5에 도시된 것과 같이, 가동부재(141)가 가동부재 구동장치(142)에 의해 상승하여 기판 흡착판(111)을 가이드 레일(116)을 따라 상부 방향으로 이동시킨다. 이때, 필름 흡착판(121)에 흡착된 필름(F)이 일단부터 점진적으로 기판(S)에 부착된다. 이 과정에서 가압 롤러(130)는 기판(S)에 부착되는 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압함으로써, 필름(F)이 들뜨거나 기판(S)과 필름(F) 사이에 기포가 발생하는 일없이 필름(F)은 기판(S)에 원활하게 부착될 수 있다.
필름(F)이 기판(S) 쪽으로 점진적으로 이동하는 과정에서 필름 흡착판(121)의 진공 흡착력은 필름(F)이 기판(S)으로 이동하면서 점진적으로 감소할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치(100)는 필름(F)을 그 일단부터 타단까지 기판(S)에 점진적으로 부착함으로써 부착면에 기포 등이 개입됨 없이 필름(F)을 기판(S)에 안정적으로 부착할 수 있다.
또한, 기판(S)과 필름(F)의 공급, 운반을 위한 부품들의 점유 공간 및 동작 범위를 줄여 콤팩트한 구조가 가능하고, 부착 위치(P1)에 배치되는 하나의 기판 흡착판 이송장치(140)를 이용하여 부착 위치(P1)로 이동한 모든 기판 흡착판(111)을 이동시킬 수 있기 때문에 부품의 수를 줄이고 설치 비용을 줄일 수 있다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름 부착장치를 나타낸 것이다.
본 발명의 다른 실시예에 의한 필름 부착장치(200)는 상술한 본 발명의 일실시예에 의한 필름 부착장치(200)와 대부분의 구성이 같고, 다만, 복수의 필름 흡착판(121) 각각에 설치되는 복수의 가압 롤러(130) 대신에 하나의 필름 가압장치(210)가 구비된 것이다. 부착 위치(P1)에 배치되는 하나의 필름 가압장치(210)는 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압하는 역할을 한다. 이하에서, 상술할 필름 부착장치(100)의 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6 및 도 7에 도시된 것과 같이, 필름 가압장치(210)는 부착 위치(P1)에 하나가 배치된다. 필름 가압장치(210)는 필름 흡착판(121)에 흡착된 필름(F)이 기판 흡착판(111)에 흡착된 기판(S)에 접할 때 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압하기 위한 가압 롤러(211) 및 가압 롤러(211)를 필름(F)을 가압하는 방향으로 전진 및 필름(F)에서 떨어지는 방향으로 후퇴시키기 위한 가압 롤러 이송장치(212)를 포함한다. 가압 롤러(211)는 가압 롤러 이송장치(212)에 마련된 지지 브라켓(213)에 회전 가능하게 결합된다. 가압 롤러 이송장치(212)로는 가압 롤러(211)에 직선 이동력을 제공할 수 있는 다양한 리니어 액츄에이터가 이용될 수 있다.
도 8에 도시된 것과 같이, 부착 위치(P1)로 이동한 필름 흡착판(121)이 틸팅되어 이에 흡착된 필름(F)의 일단이 기판(S)에 접할 때 가압 롤러(211)가 전진하여 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압한다. 이후, 기판 흡착판 이송장치(140)가 작동하여 기판(S)을 상부 방향으로 이동시킴으로써 필름(F)은 일단부터 타단까지 기판(S)에 점진적으로 부착된다. 이때, 가압 롤러(211)가 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압하므로 필름(F)은 기판(S)에 들뜸 없이 기판(S)에 원활하게 부착될 수 있다.
필름(F)의 부착이 완료되면, 가압 롤러(211)는 원래 상태로 후퇴하여 필름(F)으로부터 떨어진다. 그리고 새로운 필름(F)이 흡착된 필름 흡착판(121)이 부착 위치(P1)로 이동하면 다시 전진하여 필름(F)을 기판(S) 쪽으로 가압한다.
이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름 부착장치(200)는 부착 위치(P1)에 설치되는 하나의 필름 가압장치(210)를 이용하여 복수의 필름 흡착판(121)에 흡착된 필름(F)을 차례로 기판 흡착판(111) 쪽으로 가압할 수 있다.
본 발명에 있어서, 기판 흡착판(111)이 기판 흡착판 이송장치(140)에 의해 슬라이드 이동하는 방향은 도시된 것과 같이, 상하 방향으로 한정되지 않고 좌우방향이 될 수 있다. 이 경우, 필름 흡착판(121)이 틸팅되는 방향은 기판 흡착판(111)의 이동 방향에 따라 달라진다.
한편, 상술한 실시예들에서는 기판 흡착 유닛(110)이 기판 흡착판(111)을 이동시키기 위한 기판 운반용 회전 테이블(114)을 구비하고, 필름 흡착 유닛(120)이 필름 흡착판(121)을 이동시키기 위한 필름 운반용 회전 테이블(123)을 구비하는 것으로 설명되었으나, 본 발명은 이러한 구성으로 한정되는 것이 아니다. 즉, 기판 흡착판(111)은 회전하는 기판 운반용 회전 테이블(114)에 설치되지 않고 직선 라인 상에 하나 또는 복수가 설치될 수 있다. 그리고 필름 흡착판(121)도 회전하는 필름 운반용 회전 테이블(123)에 설치되지 않고 직선 라인 상에 하나 또는 복수가 설치될 수 있다. 이 경우, 기판 흡착판(111)이나 필름 흡착판(121)은 부착 위치로 직선 이동하도록 설치될 수도 있고, 부착 위치에 정지해 있도록 설치될 수도 있다.
또한 앞서 설명된 본 발명의 실시예들에 의한 필름 부착장치가 연속으로 배치되도록 하여 기판의 양면에 필름을 모두 부착하도록 구성할 수도 있다. 즉, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 부착장치를 연속하도록 나란히 배치하여 기판의 일면에 필름을 부착하고, 일면에 필름이 부착된 기판의 다른 면에 필름을 부착하도록 할 수도 있다. 이 경우 언로딩 장치는 양면에 필름이 모두 부착된 기판을 언로딩하는 부분으로 이동하게 된다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 특허청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 개량 및 변경은 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
100, 200 : 필름 부착장치 110 : 기판 흡착 유닛
111 : 기판 흡착판 112 : 지지부재
113 : 지지부재 이송장치 114 : 기판 운반용 회전 테이블
116 : 가이드 레일 120 : 필름 흡착 유닛
121 : 필름 흡착판 122 : 필름 흡착판 틸팅 장치
123 : 필름 운반용 회전 테이블 130, 211 : 가압 롤러
140 : 기판 흡착판 이송장치 141 : 가동부재
142 : 가동부재 구동장치 143 : 핑거
150 : 진공 펌프 160 : 기판 로딩 장치
170 : 기판 언로딩 장치 180 : 필름 공급장치
181 : 필름 공급판

Claims (13)

  1. 기판이 흡착되는 기판 흡착판, 상기 기판 흡착판이 이동 가능하게 장착되고 상기 기판 흡착판을 부착 위치로 이동시키기 위해 회전하는 기판 운반용 회전 테이블 및 상기 기판 운반용 회전 테이블에 장착되어 상기 기판 흡착판을 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 지지부재를 갖는 기판 흡착 유닛;
    상기 기판에 부착될 필름이 흡착되는 필름 흡착판, 상기 필름 흡착판이 장착되고 상기 필름 흡착판이 상기 기판 흡착판과 대면하도록 상기 필름 흡착판을 상기 부착 위치로 이동시키기 위해 회전하는 필름 운반용 회전 테이블 및 상기 필름 운반용 회전 테이블에 장착되고 상기 부착 위치로 이동한 상기 필름 흡착판을 상기 기판 흡착판 쪽으로 틸팅시키는 필름 흡착판 틸팅 장치를 갖는 필름 흡착 유닛;
    상기 부착 위치에 배치되고, 상기 부착 위치로 이동한 상기 필름 흡착판이 틸팅되어 상기 필름 흡착판에 흡착된 상기 필름의 일단이 상기 기판 흡착판에 흡착된 상기 기판에 부착될 때, 상기 기판 흡착판을 이동하여 상기 필름이 그 일단부터 타단까지 상기 기판에 점진적으로 부착되도록 하기 위하여, 상기 기판 흡착판에 외력을 가하여 상기 기판 흡착판을 이동시키기 위한 가동부재 및 상기 가동부재를 구동시키기 위한 가동부재 구동장치를 갖는 기판 흡착판 이송장치; 및
    상기 기판 흡착판 및 상기 필름 흡착판에 진공압을 제공하기 위한 하나 이상의 진공 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 흡착 유닛은,
    상기 기판 운반용 회전 테이블에 설치되고, 상기 지지부재에 외력을 가하여 상기 지지부재를 상기 기판 운반용 회전 테이블의 내외측 방향으로 이동시키는 지지부재 이송장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 흡착판은 복수가 상기 기판 운반용 회전 테이블에 일정 간격으로 배치되고, 상기 필름 흡착판은 복수가 상기 필름 운반용 회전 테이블에 일정 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름 운반용 회전 테이블에 장착되어 상기 필름 흡착판을 회전 가능하게 지지하는 힌지 장치를 더 포함하고, 상기 필름 흡착판은 상기 힌지 장치를 중심으로 회전하여 틸팅되는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름 흡착판에 흡착된 필름이 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판에 접할 때 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하기 위해 상기 필름 흡착판에 설치되는 가압 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착 위치에 배치되고, 상기 필름 흡착판에 흡착된 필름이 상기 기판 흡착판에 흡착된 기판에 접할 때 상기 필름을 상기 기판 쪽으로 가압하기 위한 가압 롤러 및 상기 가압 롤러를 상기 필름을 가압하는 방향으로 전진 및 상기 필름에서 떨어지는 방향으로 후퇴시키기 위한 가압 롤러 이송장치를 갖는 필름 가압장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 기판 흡착판에 공급하기 위한 기판 로딩 장치;
    상기 필름의 부착이 완료된 상기 기판을 상기 기판 흡착판으로부터 분리하기 위한 기판 언로딩 장치; 및
    상기 필름을 상기 필름 흡착 유닛에 공급하기 위한 필름 공급장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101208666B1 (ko) * 2012-08-13 2012-12-06 한동희 패널 부착장치
CN104516131B (zh) * 2014-12-24 2018-02-13 合肥京东方光电科技有限公司 一种贴膜治具
WO2019049596A1 (ja) * 2017-09-07 2019-03-14 Ｓｔｓ合同会社 取付具

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101814505B1 (ko) * 2017-05-18 2018-01-04 김지형 기포 제거기능을 갖는 필름 부착장치

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