CN102656508B - 薄膜贴附装置及贴附方法 - Google Patents

Abstract

本发明的薄膜贴附装置包括：基板吸附单元，具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台，所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装，为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转；薄膜吸附单元，具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置，其中，所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附，所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装，为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转，使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面，所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台，使移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆；基板吸附板移送装置，配置于所述贴附位置，当移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板倾摆，所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时，移动所述基板吸附板，使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板；以及真空泵，为一个以上，用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。基板吸附板移送装置为一个，配置于贴附位置。

Description

薄膜贴附装置及贴附方法

技术领域

本发明涉及在平板显示面板用基板上贴附薄膜的装置及方法，尤其涉及一种能够在均匀地保持薄膜的接触压力的同时，把薄膜稳定地贴附于基板，能实现装置的简化的薄膜贴附装置及薄膜贴附方法。

背景技术

最近，液晶显示装置在工业中得到广泛应用，在诸如这种液晶显示装置的平板显示面板用基板上，在制造过程中贴附多种用途的薄膜。

下面考察在平板显示面板用基板上贴附薄膜的装置的一个示例。

以往的薄膜贴附装置由2个薄膜供应单元设置既定间隔安装，在其间供应基板。在所述薄膜供应单元安装有载入板，所述载入板按既定角度转动。所述载入板在借助于旋转马达与底面水平或垂直地旋转的同时，使供应的薄膜移送到贴附位置。而且，在所述各载入板的末端，安装有在基板与薄膜的贴附位置对所述薄膜向基板侧压附的贴附辊。

就这种以往的薄膜贴附装置而言，基板以直线供应，以载入板供应的薄膜在经过去除保护片等工序的同时，按90°间隔，向水平或竖直方向旋转，同时移送到贴附位置。

发明内容

（要解决的技术问题）

可是，由于上述以往薄膜贴附装置采取的结构是，基板在以直线供应的同时，薄膜接触于供应的基板上，因此，装置的结构比较复杂，存在难以体现简化的装置的问题。

本发明正是为了改进这种问题而提出的，目的是提供一种薄膜贴附装置及利用其的薄膜贴附方法，在基板与薄膜贴附时，能够均匀地保持贴附位置及贴附压力，在贴附面中不夹带气泡等，减小为薄膜贴附而安装的个别部件的占有空间及动作范围，可实现简化的结构。

（解决问题的手段）

为达成上述目的，本发明一个实施例的薄膜贴附装置包括：基板吸附单元，具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台，所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装，为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转；薄膜吸附单元，具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置，其中，所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附，所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装，为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转，使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面，所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台，使移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆；基板吸附板移送装置，当移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板倾摆，所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时，移动所述基板吸附板，使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板；以及真空泵，为一个以上，用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。所述基板吸附板移送装置为一个，配置于所述贴附位置。

所述基板吸附板移送装置包括：移动构件，用于对所述基板吸附板施加外力，使所述基板吸附板移动；以及移动构件驱动装置，用于使所述移动构件驱动。

本发明的一个实施例的薄膜贴附装置还可以包括支撑构件，加装于所述基板运送用回转台，能滑动移动地支撑所述基板吸附板。

本发明的一个实施例的薄膜贴附装置还可以包括支撑构件移送装置，安装于所述基板运送用回转台，对所述支撑构件施加外力，使所述支撑构件向所述基板运送用回转台的内外侧方向移动。

所述基板吸附板可以为多个，按既定间隔配置于所述基板运送用回转台，所述薄膜吸附板可以为多个，按既定间隔配置于所述薄膜运送用回转台。

本发明的一个实施例的薄膜贴附装置还可以包括铰链装置，加装于所述薄膜运送用回转台，能旋转地支撑所述薄膜吸附板；所述薄膜吸附板可以以所述铰链装置为中心旋转并倾摆。

本发明的一个实施例的薄膜贴附装置还可以包括加压辊，当所述薄膜吸附板上吸附的薄膜接触所述基板吸附板上吸附的基板时，为对所述薄膜向所述基板侧加压而安装于所述薄膜吸附板上。

本发明的一个实施例的薄膜贴附装置还可以包括薄膜加压装置，配置于所述贴附位置，具有加压辊及加压辊移送装置，其中，所述加压辊用于当所述薄膜吸附板上吸附的薄膜接触所述基板吸附板上吸附的基板时，对所述薄膜向所述基板侧加压，所述加压辊移送装置用于使所述加压辊向对所述薄膜加压的方向前进及向远离所述薄膜的方向后退。

本发明的一个实施例的薄膜贴附装置还可以包括：基板载入装置，用于把所述基板供应给所述基板吸附板；基板卸载装置，用于把所述薄膜贴附完成的所述基板从所述基板吸附板分离；以及薄膜供应装置，用于把所述薄膜供应给所述薄膜吸附单元。

为达成上述目的，本发明的另一实施例的薄膜贴附装置包括：基板吸附单元，具有供基板吸附的基板吸附板及能滑动移动地支撑所述基板吸附板的支撑构件；薄膜吸附单元，具有供将贴附于所述基板的薄膜吸附的薄膜吸附板及使所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆的薄膜吸附板倾摆装置；基板吸附板移送装置，配置于所述基板吸附板与所述薄膜吸附板面对面的贴附位置；以及真空泵，为一个以上，用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。所述基板吸附板移送装置当所述薄膜吸附板倾摆，所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时，移动所述基板吸附板，使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板。

为达成上述目的，本发明的一个实施例的薄膜贴附方法包括：步骤（a），在基板吸附板上吸附基板；步骤（b），在薄膜吸附板上吸附薄膜；步骤（c），使所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆，以便使所述薄膜吸附板上吸附的薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的基板；以及步骤（d），利用配置于所述贴附位置的基板吸附板移送装置，使所述基板吸附板直线移动，把所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板。

所述步骤（d）可以包括利用加压辊，对所述薄膜吸附板上吸附的薄膜向所述基板吸附板上吸附的基板侧加压的步骤。

本发明的一个实施例的薄膜贴附方法在所述步骤（c）之前，还可以包括：移动步骤1，把所述基板吸附板移动到贴附位置；以及移动步骤2，把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置，使所述基板吸附板上吸附的基板与所述薄膜吸附板上吸附的薄膜相互相视而立。

（发明的效果）

就本发明的薄膜贴附装置而言，吸附基板的基板吸附板进行直线移动，吸附薄膜的薄膜吸附板向基板吸附板侧倾摆，使薄膜贴附于基板，因此，能够减小用于供应、运送基板和薄膜的部件的占有空间及动作范围。从而，能够实现简化的结构，在相同的空间内能够安装大量的部件。另外，能够缩短基板或薄膜的运送时间，能够大幅度提高生产率，由于结构被精简，所以能够降低装置的故障发生率。

另外，就本发明的薄膜贴附装置而言，吸附基板的基板吸附板进行直线移动，吸附薄膜的薄膜吸附板向基板吸附板侧倾摆，把薄膜贴附于基板，从而能够把薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于基板。因此，能够在基板与薄膜之间的贴附面上不夹带气泡地把薄膜稳定地贴附于基板。

另外，本发明的薄膜贴附装置能够利用配置于贴附位置的一个基板吸附板移送装置，使移动到贴附位置的所有基板吸附板移动，能够利用安装于贴附位置的一个薄膜加压装置，对吸附于多个薄膜吸附板的薄膜依次向基板吸附板侧加压，因此，能够减少部件的数量，减少安装费用。

附图说明

图1是简要显示本发明一个实施例的薄膜贴附装置的俯视图。

图2是显示本发明一个实施例的薄膜贴附装置的基板吸附单元及基板吸附板移送装置的附图。

图3是显示本发明一个实施例的薄膜贴附装置的薄膜吸附单元及薄膜供应装置的附图。

图4及图5是用于说明本发明一个实施例的薄膜贴附装置的动作的附图。

图6是简要显示本发明另一实施例的薄膜贴附装置的俯视图。

图7及图8是用于说明本发明另一实施例的薄膜贴附装置的动作的附图。

<标号说明>

100,200:薄膜贴附装置110:基板吸附单元

111:基板吸附板112:支撑构件

113:支撑构件移送装置114:基板运送用回转台

116:导轨120:薄膜吸附单元

121:薄膜吸附板122:薄膜吸附板倾摆装置

123:薄膜运送用回转台130,211:加压辊

140:基板吸附板移送装置141:移动构件

142:移动构件驱动装置143:棘爪

150:真空泵160:基板载入装置

170:基板卸载装置180:薄膜供应装置

181:薄膜供应装板

具体实施方式

下面参照附图，对本发明一个实施例的薄膜贴附装置及贴附方法进行详细说明。

在说明本发明的过程中，为了说明上的明确性和便利，附图显示的构成要素的大小或形状等可能会夸张或简化显示。另外，考虑到在本发明中的功能而特别定义的术语，可能会因用户、操作者的意图或惯例而异。因此，这种术语应当以本说明书全文的内容为基础，解释为符合本发明技术思想的意义和概念。

图1是简要显示本发明一个实施例的薄膜贴附装置的俯视图。

如图1所示，本发明一个实施例的薄膜贴附装置100包括：基板吸附单元110，用于把基板S（参照图2）逐个运送到贴附位置P1；薄膜吸附单元120，用于把将贴附于基板S的薄膜F（参照图3）逐个运送到贴附位置P1；基板吸附板移送装置140，用于移动基板吸附单元110中配备的基板吸附板111；以及真空泵150，用于提供真空压力。其中，贴附位置P1是基板S与薄膜F面对面相互接触的位置。此外，本发明一个实施例的薄膜贴附装置100还包括：基板载入装置160，用于把基板S逐个供应给基板吸附板111；基板卸载装置170，用于把贴附了薄膜F的基板S从基板吸附板111分离；以及薄膜供应装置180，用于把薄膜F逐个供应给薄膜吸附单元120中配备的薄膜吸附板121。

如图1及图2所示，基板吸附单元110包括：基板吸附板111，为多个，供基板S吸附；支撑构件112，为多个，能沿上下方向滑动移动地支撑基板吸附板111；支撑构件移送装置113，为多个，用于使支撑构件112直线移动；以及基板运送用回转台114。多个基板吸附板111、多个支撑构件112以及多个支撑构件移送装置113加装于基板运送用回转台114。基板运送用回转台114能够借助于马达（图中未示出）等提供旋转力的驱动器而每次旋转既定角度。

多个基板吸附板111在基板运送用回转台114上构成既定角度地配置。在附图中，显示的是基板吸附板111的个数为四个，他们以90°间隔进行配置的情形，但是，基板吸附板111的个数或配置间隔可以多样地变更。基板吸附板111借助于支撑构件移送装置113，能够与支撑构件112一同向基板运送用回转台114的内外侧方向移动，能够以结合于支撑构件112的状态上下移动。

在基板吸附板111的前面，具有多个吸附孔115，以便能够利用真空压力吸附基板S。基板吸附板111能够通过软管与真空泵150连接，真空泵150产生的真空压力通过软管提供给多个吸附孔115，从而基板S能够被吸附于基板吸附板111的前面。在连接基板吸附板111与真空泵150的软管上，能够安装用于调节真空压力的调节阀151。

如图2所示，支撑构件112能够沿上下方向滑动移动地支撑基板吸附板111。在支撑构件112上，具有沿上下方向延长的导轨116，在基板吸附板111的后面，具有供导轨116插入的引导槽117。因此，如果基板吸附板111受到来自基板吸附板移送装置140的外力，则基板吸附板111沿导轨116进行直线移动。当然，基板吸附板111与支撑构件112的结合结构并非限定于这种结构，可以变更为基板吸附板111能够在支撑构件112上滑动移动的多种结构。

支撑构件112结合于基板运送用回转台114上结合的支撑构件移送装置113。支撑构件移送装置113对支撑构件112施加外力，使支撑构件112向位于贴附位置P1的薄膜吸附板121侧前进，或向相反方向后退。因此，供基板S吸附的基板吸附板111也能够与支撑构件112一同向基板运送用回转台114的内外侧方向移动。作为支撑构件移送装置113，可以利用能够向支撑构件112提供直线移动力的多种线性驱动器。

这种基板吸附单元110借助于基板运送用回转台123的旋转，多个基板吸附板111上吸附的基板S被逐个运送到载入位置P2、贴附位置P1及卸载位置P3。当基板吸附板111位于载入位置P2时，基板载入装置160向基板吸附板111供应一个基板S，该一个基板S被吸附于基板吸附板111。而且，当基板吸附板111位于贴附位置P1时，薄膜F被贴附于基板S，当基板吸附板111位于卸载位置P3时，基板卸载装置170把贴附了薄膜F的基板S从基板吸附板111分离。基板载入装置160或基板卸载装置170可以由能够向基板吸附板111逐个供应基板S或把基板S从基板吸附板111分离的多种结构构成，因此省略对其的详细说明。

如图1及图3所示，薄膜吸附单元120包括：薄膜吸附板121，为多个，供将贴附于基板S的薄膜F吸附；薄膜吸附板倾摆装置122，为多个，用于使薄膜吸附板121倾摆（Tilting）；以及薄膜运送用回转台123。多个薄膜吸附板121及多个薄膜吸附板倾摆装置122加装于薄膜运送用回转台123。薄膜运送用回转台123能够借助于马达（图中未示出）等提供旋转力的驱动器而每次旋转既定角度。

多个薄膜吸附板121在薄膜运送用回转台123上构成既定角度地配置。在附图中，显示的是基板吸附板111的个数为四个，他们以90°间隔进行配置的情形，但是，薄膜吸附板121的个数或配置间隔可以多样地变更。薄膜吸附板121的下端能旋转地结合于薄膜运送用回转台123上结合的铰链装置124。

如果薄膜吸附板倾摆装置122推动或拉动薄膜吸附板121，则薄膜吸附板121以铰链装置124为中心旋转既定角度，从而能够倾摆。如果薄膜吸附板121的上端倾摆得接近位于贴附位置P1的基板吸附板111，那么，薄膜吸附板121上吸附的薄膜F的一端则能够贴附于基板吸附板111上吸附的基板S。薄膜吸附板倾摆装置122的末端结合于薄膜吸附板121。薄膜吸附板倾摆装置122可以利用能够推动或拉动薄膜吸附板121的多种形态的驱动器。

另外，还可以在所述薄膜吸附板的上部侧具有铰链装置，使薄膜吸附板的上部侧借助于薄膜吸附板倾摆装置的动作而倾摆。

在薄膜吸附板121的前面，具有多个吸附孔125，以便能够利用真空压力对薄膜F进行吸附。薄膜吸附板121能够通过软管与真空泵150连接，真空泵150产生的真空压力通过软管，提供给多个吸附孔125，从而，薄膜F能够吸附于薄膜吸附板121的前面。在连接薄膜吸附板121与真空泵150的软管上，能够安装用于调节真空压力的调节阀152。

如图3及图4所示，在薄膜吸附板121的上端，安装有加压辊130。当薄膜吸附板121上吸附的薄膜F接触到基板吸附板111上吸附的基板S时，加压辊130对薄膜F向基板S侧加压，发挥使薄膜F不发生翘起，而是平顺地贴附于基板S的作用。加压辊130能够借助于诸如轴承的众所周知的旋转辅助装置，结合于薄膜吸附板121，以便能够旋转。另外，加压辊130为改善抓力，可以由橡胶或硅等具有弹性的材质构成。

如图3所示，薄膜供应装置180包括用于吸附薄膜F的薄膜供应板181和用于使薄膜供应板181旋转的薄膜供应板旋转装置182。薄膜供应板181能旋转地支撑于铰链装置183，借助于薄膜供应板旋转装置182，以铰链装置183为中心旋转既定角度。薄膜供应板181为了吸附薄膜F，在其一面具有多个吸附孔184。薄膜供应板181能够通过软管与真空泵150连接，在连接薄膜供应板181与真空泵150的软管上，可以安装用于调节真空压力的调节阀153。薄膜供应装置180的结构并非限定于附图所示的情形。薄膜供应装置180可以变更为能够向薄膜吸附板121逐个供应薄膜F的多种结构。

如上所述的薄膜吸附单元120借助于薄膜运送用回转台123的旋转，使多个薄膜吸附板121移动到薄膜供应位置P4及贴附位置P1。当薄膜吸附板121位于薄膜供应位置P4时，薄膜供应装置180向薄膜吸附板121供应一个薄膜F，该一个薄膜F被吸附于薄膜吸附板121。而且，当薄膜吸附板121位于贴附位置P1时，薄膜吸附板121的薄膜F向基板吸附板111上吸附的基板S移动。在薄膜F具有粘贴面的情况下，贴附于薄膜F上并覆盖粘贴面的保护片在薄膜F向贴附位置P1移动前，从薄膜F上去除。从薄膜F上去除保护片的方法可以使用众所周知的多种方法，因此省略对其的详细说明。

如图1及图2所示，基板吸附板移送装置140配置于贴附位置P1。基板吸附板移送装置140使移动到贴附位置P1的基板吸附板111沿导轨116向上下方向滑动移动。基板吸附板移送装置140包括：移动构件141，用于对基板吸附板111施加外力，使基板吸附板111上下移动；以及移动构件驱动装置142，用于使移动构件141启动。移动构件141包括一对棘爪143。一对棘爪143通过相互接近，能够夹住基板吸附板111的上端，通过相互远离，能够从基板吸附板111离开。

移动构件驱动装置142把移动构件141推向下部方向，或把移动构件141拉向上部方向。在移动构件141夹住基板吸附板111的上端的状态下，如果移动构件驱动装置142使移动构件141向上部方向移动，那么，基板吸附板111则沿导轨116向上部方向滑动移动。而且，在基板吸附板111上升的状态下，如果移动构件驱动装置142使移动构件141向下部方向移动，那么，基板吸附板111则向下部方向滑动移动。

当然，在基板吸附板111能够在导轨116上轻松地滑动移动的情况下，即使基板吸附板移送装置140不把基板吸附板111推向下部方向，基板吸附板111借助于自重，也能够向下部方向滑动移动。作为移动构件驱动装置142，可以使用能够向移动构件141提供直线移动力的多种线性驱动器。

在本发明中，移动构件141的具体结构或基板吸附板移送装置140的结构并不限定于附图所示的情形，可以多样地变更。例如，基板吸附板移送装置140也可以配置于基板吸附板111的下部。此时，移动构件141的棘爪143可以省略，当基板吸附板移送装置140向上部方向推动基板吸附板111时，基板吸附板111向上部方向滑动移动，当基板吸附板移送装置140下降时，基板吸附板111也能够向下部方向滑动移动。除此之外，基板吸附板移送装置140可以变更为能够向基板吸附板111施加外力，使基板吸附板111直线移动的多种结构。

下面参照附图，对本发明一个实施例的薄膜贴附装置100的作用进行说明。

如果一个基板吸附板111移动到载入位置P2，那么，基板载入装置160则向处于载入位置P2的一个基板吸附板111供应基板S，基板S被吸附于基板吸附板111。然后，基板运送用回转台114旋转既定角度，吸附了基板S的基板吸附板111移动到贴附位置P1。

另外，在薄膜供应位置P4中，借助于薄膜供应装置180而获得薄膜F供应的一个薄膜吸附板121，随着薄膜运送用回转台123的旋转而移动到贴附位置P1。

如图4所示，当吸附了基板S的基板吸附板111与吸附了薄膜F的薄膜吸附板121在贴附位置P1相互相向而立时，支撑构件移送装置113把支撑构件112推向薄膜吸附板121侧，薄膜吸附板倾摆装置122使薄膜吸附板121倾摆。此时，薄膜吸附板121以铰链装置124为中心旋转既定角度，其上端接近基板吸附板111，基板吸附板111上吸附的薄膜F的一端贴附于基板吸附板111上吸附的基板S的一端。与此同时，加压辊130对薄膜F接触基板S的一端向基板S侧加压。

然后，基板吸附板移送装置140启动，移动构件141下降，夹住基板吸附板111的上端。接着，如图5所示，移动构件141借助于移动构件驱动装置142而上升，使基板吸附板111沿导轨116向上部方向移动。此时，薄膜吸附板121上吸附的薄膜F从一端渐进地贴附于基板S。在该过程中，加压辊130对贴附于基板S的薄膜F向基板S侧加压，从而薄膜F不发生翘起或在基板S与薄膜F之间产生气泡，薄膜F能够平顺地贴附于基板S。

在薄膜F渐进地向基板S侧移动的过程中，薄膜吸附板121的真空吸附力随着薄膜F向基板S移动而逐渐减小。

这样一来，本发明一个实施例的薄膜贴附装置100把薄膜F由其一端至另一端渐进地贴附于基板S，从而能够在贴附面中不夹带气泡等，把薄膜F稳定地贴附于基板S。

另外，减小了基板S和薄膜F的供应、运送所需部件的占有空间及动作范围，能够实现简化的结构，能够利用配置于贴附位置P1的一个基板吸附板移送装置140，使移动到贴附位置P1的所有基板吸附板111移动，因此，能够减少部件数量，减少安装费用。

图6至图8是显示本发明另一实施例的薄膜贴附装置的附图。

本发明另一实施例的薄膜贴附装置200与上述的本发明一个实施例的薄膜贴附装100大部分结构相同，不同之处只是在于，具备一个薄膜加压装置210，取代在多个薄膜吸附板121上分别安装的多个加压辊130。配置于贴附位置P1的一个薄膜加压装置210发挥对薄膜F向基板S侧加压的作用。下面，针对与上述薄膜贴附装置100结构相同的部分赋予相同的标号，并省略对其的详细说明。

如图6及图7所示，薄膜加压装置210在贴附位置P1配置一个。薄膜加压装置210包括：加压辊211，用于当薄膜吸附板121上吸附的薄膜F接触基板吸附板111上吸附的基板S时，对薄膜F向基板S侧加压；加压辊移送装置212，用于使加压辊211向对薄膜F加压的方向前进及向远离薄膜F的方向后退。加压辊211能旋转地结合于加压辊移送装置212具有的支撑托架213。作为加压辊移送装置212，可以利用能够向加压辊211提供直线移动力的多种线性驱动器。

如图8所示，移动到贴附位置P1的薄膜吸附板121进行倾摆，当其上吸附的薄膜F的一端接触基板S时，加压辊211前进，对薄膜F向基板S侧加压。然后，基板吸附板移送装置140启动，使基板S向上部方向移动，于是，薄膜F由一端至另一端渐进地贴附于基板S。此时，由于加压辊211对薄膜F向基板S侧加压，所以，薄膜F能够在基板S不发生翘起地平顺地贴附于基板S。

薄膜F的贴附完成后，加压辊211后退至原来状态，从薄膜F上分离。而且，如果吸附了新的薄膜F的薄膜吸附板121移动到贴附位置P1，则再次前进，对薄膜F向基板S侧加压。

如此一来，本发明另一实施例的薄膜贴附装置200能够利用在贴附位置P1安装的一个薄膜加压装置210，对多个薄膜吸附板121上吸附的薄膜F依次向基板吸附板111侧加压。

在本发明中，基板吸附板111借助于基板吸附板移送装置140而滑动移动的方向，并非如图所示限定于上下方向，也可以是左右方向。此时，薄膜吸附板121倾摆的方向因基板吸附板111的移动方向而异。

另一方面，在上述实施例中，说明的是基板吸附单元110具备用于使基板吸附板111移动的基板运送用回转台114，薄膜吸附单元120具备用于使薄膜吸附板121移动的薄膜运送用回转台123的情形，但是，本发明并非限定于这种结构。即，基板吸附板111可以不安装于旋转的基板运送用回转台114上，而是在直线上安装一个或多个。而且，薄膜吸附板121也可以不安装于旋转的薄膜运送用回转台123上，而是在直线上安装一个或多个。此时，基板吸附板111或薄膜吸附板121既可以安装得能够向贴附位置直线移动，也可以安装得停止于贴附位置。

另外，也可以使前面说明的本发明实施例的薄膜贴附装置连续地配置，以便在基板的两面全部贴附薄膜。即，使本发明实施例的薄膜贴附装置连续地并排配置，以便能够在基板的一面贴附薄膜后，再在一面上贴附了薄膜的基板的另一面上也贴附薄膜。此时，卸载装置移动到对两面均贴附了薄膜的基板进行卸载的部分。

前面参照附图说明的本发明实施例，不得解释为限定本发明的技术思想。本发明的保护范围仅由权利要求书记载的事项限定，本发明所属技术领域的普通技术人员能够把本发明的技术思想改善变更为多种形态。因此，这种改善及变更属于本发明的保护范围，这是所属技术领域的普通技术人员不言而喻的。

Claims (11)

1.一种薄膜贴附装置，其特征在于，包括：

基板吸附单元，具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台，所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装，为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转；

薄膜吸附单元，具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置，其中，所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附，所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装，为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转，使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面，所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台，使移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆；

基板吸附板移送装置，配置于所述贴附位置，当移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板倾摆，所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时，移动所述基板吸附板，使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板；

支撑构件，加装于所述基板运送用回转台，能滑动移动地支撑所述基板吸附板；

支撑构件移送装置，安装于所述基板运送用回转台，对所述支撑构件施加外力，使所述支撑构件向所述基板运送用回转台的内外侧方向移动；以及

真空泵，为一个以上，用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。

2.根据权利要求1所述的薄膜贴附装置，其特征在于，所述基板吸附板移送装置包括：

移动构件，用于对所述基板吸附板施加外力，使所述基板吸附板移动；以及移动构件驱动装置，用于使所述移动构件驱动。

3.根据权利要求1所述的薄膜贴附装置，其特征在于：

所述基板吸附板为多个，按既定间隔配置于所述基板运送用回转台，所述薄膜吸附板为多个，按既定间隔配置于所述薄膜运送用回转台。

4.根据权利要求1所述的薄膜贴附装置，其特征在于：

还包括铰链装置，加装于所述薄膜运送用回转台，能旋转地支撑所述薄膜吸附板；而且，所述薄膜吸附板以所述铰链装置为中心旋转并倾摆。

5.根据权利要求1所述的薄膜贴附装置，其特征在于：

还包括加压辊，当所述薄膜吸附板上吸附的薄膜接触所述基板吸附板上吸附的基板时，为对所述薄膜向所述基板侧加压而安装于所述薄膜吸附板上。

6.根据权利要求1所述的薄膜贴附装置，其特征在于：

还包括薄膜加压装置，配置于所述贴附位置，具有加压辊及加压辊移送装置，其中，所述加压辊用于当所述薄膜吸附板上吸附的薄膜接触所述基板吸附板上吸附的基板时，对所述薄膜向所述基板侧加压，所述加压辊移送装置用于使所述加压辊向对所述薄膜加压的方向前进及向远离所述薄膜的方向后退。

7.根据权利要求1所述的薄膜贴附装置，其特征在于还包括：

基板载入装置，用于把所述基板供应给所述基板吸附板；

基板卸载装置，用于把所述薄膜贴附完成的所述基板从所述基板吸附板分离；以及

薄膜供应装置，用于把所述薄膜供应给所述薄膜吸附单元。

8.一种薄膜贴附装置，其特征在于，包括：

基板吸附单元，具有供基板吸附的基板吸附板及能滑动移动地支撑所述基板吸附板的支撑构件，以及对所述支撑构件施加外力、使所述支撑构件向基板运送用回转台的内外侧方向移动的支撑构件移送装置；

薄膜吸附单元，具有供将贴附于所述基板的薄膜吸附的薄膜吸附板及使所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆的薄膜吸附板倾摆装置；

基板吸附板移送装置，配置于所述基板吸附板与所述薄膜吸附板面对面的贴附位置，当所述薄膜吸附板倾摆，所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时，移动所述基板吸附板，使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板；以及

真空泵，为一个以上，用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。

9.一种薄膜贴附方法，其特征在于，包括：

步骤(a)，在基板吸附板上吸附基板；

步骤(b)，在薄膜吸附板上吸附薄膜；

步骤(c)，通过支撑构件移送装置把支撑构件推向所述薄膜吸附板侧，以及使所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆，以便使所述薄膜吸附板上吸附的薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的基板；以及

步骤(d)，利用配置于贴附位置的基板吸附板移送装置，使所述基板吸附板直线移动，把所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板。

10.根据权利要求9所述的薄膜贴附方法，其特征在于：

所述步骤(d)包括利用加压辊，对所述薄膜吸附板上吸附的薄膜向所述基板吸附板上吸附的基板侧加压的步骤。

11.根据权利要求9所述的薄膜贴附方法，其特征在于，在所述步骤(c)之前，还包括：

移动步骤1，把所述基板吸附板移动到贴附位置；以及

移动步骤2，把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置，使所述基板吸附板上吸附的基板与所述薄膜吸附板上吸附的薄膜相互相视而立。