JP6676484B2 - 貼合装置 - Google Patents

Description

本発明は、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する貼合装置に関する。

従来より、ロール状に巻かれた基材上に配置された各種機能フィルムを、テンション管理しながらロール状の基材から取り出して、別のロールに貼り合わせて搬送する技術が一般的に知られている。

さらに、特許文献１のように、フィルム同士を貼合する技術も一般的に知られている。例えば、図１４及び図１５に示すように、一定のテンション１１０で張られかつロール状態で供給される基材シート１０３に対して、厚み方向において、セパレータ１０１を残して機能フィルム１０２のみをカットするハーフカットを行う。そして、図示しない剥離ブロック上でセパレータ１０１のみを鋭角に送ることにより、セパレータ１０１から機能フィルム１０２のみを剥離し、機能フィルム１０２を、図示しない貼合台で吸着固定される。貼合台に吸着固定された機能フィルム１０２を貼合台で搬送しながら、機能フィルム１０２の位置調整を行い、機能フィルム１０２を貼合対象物のロールに貼り付けている。

特開２０１３−１３９１０８号公報

ところで、特許文献１の場合、機能フィルム１０２を貼合対象物のロールに貼り付けるとき、まず、機能フィルム１０２と貼合対象物のロールの貼り付け位置とのアライメント調整を行っている。その後、機能フィルム１０２を吸着保持する吸着盤の先端を傾斜させ、傾斜に伴い貼合対象物のロールの搬送方向と上下方向との位置ずれ量を、傾斜角度に応じた固定値分だけ補正する。その後、傾斜した吸着盤の先端を貼合対象物のロールに押し付けて貼り付けを行うようにしている。

このような貼り付け動作では、一旦、アライメント調整を行って高精度の位置調整をしたにもかかわらず、その後の傾斜動作で位置ずれが発生し、しかも、その補正は固定値で行っているため、傾斜角度のばらつきにより高精度での位置調整が維持されておらず、結果として、±１０μｍオーダーで高精度な貼り付けができないといった問題があった。

従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、±１０μｍオーダーでの高精度な貼り付けが可能な貼合装置を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の第１態様によれば、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
長尺で一方の表面にセパレータが配置された第１フィルムを搬送する第１搬送部と、
長尺の第２フィルムを搬送する第２搬送部と、
前記第１フィルムから前記セパレータを残して前記第１フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
前記吸着保持部において、前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着する吸着動作制御部と、
剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第１フィルムの前記シート状個片と前記第２フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
前記貼合わせ位置にて、前記吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記第２フィルムに対して貼り付ける貼付部とを備え、
前記貼付部は、
前記貼合わせ位置にて、前記第２フィルムを吸着保持する第２フィルム吸着保持部と、
前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片と、第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムとの位置調整を行う位置調整部と、
前記吸着保持部の貼付開始側の先端に配置され、前記吸着保持部の前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持面よりも高さ方向に高い位置に前記第１フィルムの前記シート状個片の貼付開始端部を載置保持するフィルム貼付開始部材と、
第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムに対して接離するように前記吸着保持部を昇降させる昇降部と、
貼付開始時に、前記吸着保持部において前記フィルム貼付開始部材が、前記第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムに接触可能に前記吸着保持部を傾動させる傾動部と、
前記吸着保持部を前記第２フィルムの搬送方向とは逆方向に移動させる移動装置とを備え、
前記貼付部は、前記位置調整部で位置調整した状態でかつ前記傾動部で前記吸着保持部を傾動する前に前記昇降部で前記吸着保持部を上昇して、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムに接触させたのち、前記貼付開始端部を前記第２フィルムに接触させた状態で前記傾動部で前記吸着保持部を傾動させ、その後、前記傾動部での傾動を維持しつつ前記吸着保持部を前記第２フィルムの搬送方向とは逆方向の貼付方向に移動させて、前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記フィルム貼付開始部材に順に送りつつ、前記フィルム貼付開始部材で前記第２フィルムに貼り付ける、貼合装置を提供する。

本発明の前記第１態様によれば、位置調整部で高精度に第１フィルムのシート状個片と第２フィルムとを位置合わせしたのち、昇降部で吸着保持部を上昇させて、フィルム貼付開始部材に保持された第１フィルムのシート状個片の貼付開始端部を第２フィルムに接触させたのち、この接触を維持しつつシート状個片を吸着保持する吸着保持部を傾動部で傾動させ、その接触及び傾動状態のまま、吸着保持部を第２フィルムの搬送方向とは逆方向に移動装置で移動させて、シート状個片の貼付開始端部より後方の領域をフィルム貼付開始部材に順に送りつつ、フィルム貼付開始部材で第２フィルムに貼り付けるようにしている。この結果、高精度に位置合わせした状態を維持しつつ貼り付けができるので、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能となる。

本発明の一実施形態にかかる貼合装置の全体の斜視図 実施形態にかかる貼合装置で実施する貼合方法の概略工程図 ハーフカット後の剥離前の装置状態の説明図 ハーフカットされた機能フィルムを吸着盤に吸着する説明図 ハーフカットされた機能フィルムをロールから剥離する説明図 剥離された機能フィルムにかかっている応力を表す説明図 吸着を停止又は緩めることで機能フィルムにかかっている応力をリセットし、再度しっかりと吸着した状態を表した説明図 吸着盤の平面図 吸着盤の吸引孔の領域分割を説明する図 変形例にかかる吸着盤の吸引孔の領域分割を説明する図 貼合対象物のロールテンションを調整した装置状態の説明図 カメラで両材料のアライメントマークを認識して調整する説明図 吸着盤を上昇させて貼合対象物に貼付する説明図 ハーフカット前のロールテンションのかかった状態の説明図 ハーフカットによってシート化される事により縮む方向に応力がかかる事を表す説明図 貼合された機能フィルムの状態を表している説明図であり、（ａ）は貼合する両方の材料が共に前工程までのテンションと応力が同じであれば位置ズレは起きない事を表す説明図であり、（ｂ）は貼合時に発生する不明な応力が加わる事でフィルムの伸び縮みにより発生する微妙なズレを表す説明図 吸着保持部材の拡大側面図 貼合動作のアライメント工程の説明図 貼合動作の傾動工程の説明図 貼合動作の貼付工程の説明図 傾動部の傾動前の状態の説明図 傾動部の傾動状態の説明図 変形例にかかる入替機構部の斜視図 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作のアライメント工程の説明図 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作のアライメント工程の説明図 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作の貼付工程の説明図 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作の貼付工程の説明図 変形例にかかる入替機構部を使用する貼合動作の貼付工程の説明図 従来例にかかる貼合動作の説明図 従来例にかかる貼合動作の説明図 従来例にかかる貼合動作の説明図 従来例にかかる貼合動作の説明図 従来例にかかる貼合動作の説明図

（本発明の知見）
まず、本発明を説明する前に、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができない理由について説明する。

機能フィルム１０２を貼合対象物のロール１２２に貼り付けるとき、まず、図２５Ａに示すように、機能フィルム１０２と貼合対象物のロール１２２の貼り付け位置との高精度の位置調整を行っている。その後、図２５Ｂに示すように、機能フィルム１０２を吸着保持する吸着盤１２３の先端を傾斜させ、図２５Ｃに示すように、傾斜に伴い貼合対象物のロール１２２の搬送方向と上下方向との位置ずれ量を、傾斜角度に応じた固定値分だけ補正する（矢印１２４を参照）。その後、図２５Ｄに示すように、傾斜した吸着盤１２３の先端を貼合対象物のロール１２２に矢印１２５に示すように押し付けて、図２５Ｅに示すように、貼り付けを行うようにしている。

このような貼り付け動作では、一旦、高精度の位置調整をしたにもかかわらず、その後の傾斜動作で位置ずれが発生してしまう。しかも、その位置ずれの補正は固定値で行っているため、傾斜機構の傾斜角度決定部分の機構的な摩耗又は製造誤差などの原因により傾斜角度がばらつくと、高精度での位置調整が維持されず、結果として、±１０μｍオーダーで高精度な貼り付けができないといった問題があった。

そこで、本発明者らは、高精度の位置調整をした状態でフィルム同士の貼付開始位置を確定できれば、以降はローラ貼合でアライメント通りに貼合出来ることを想到して発明をするに至ったものである。すなわち、高精度の位置調整をした状態で第１フィルムを傾動する前に、まず、第１フィルムの貼付開始端部を第２フィルムの貼付対象領域の貼付開始端部に接触させて貼付開始位置を固定したのち、第１フィルムを傾動させて、第１フィルムの貼付開始端部以降の領域を第２フィルムに貼り付ければ、アライメント通りの貼合ができて、±１０μｍオーダーで高精度な貼り付けができることを見出したものである。

なお、本発明者らは、さらに高精度な貼り付けがより確実にできるように、貼合前の機能フィルム１０２に残留している応力についても検討している。

図１４及び図１５で先に説明したように、センサ基材のような機能フィルム１０２などがセパレータ１０１上に何層にも積層されて構成されかつロールテンション１１０が加えられた基材シート１０３において、機能フィルム１０２に対してのみ、図１５のようにハーフカット１０４を入れると、機能フィルム１０２に縮む力１０５が働く。このとき、機能フィルム１０２の厚み又は材料によって、機能フィルム１０２に作用する応力は不明であり、ロールのテンション１１０の調整だけで、機能フィルム１０２に作用する応力を制御するのは困難である。その上、機能フィルム１０２をセパレータ１０１から剥離することにより、機能フィルム１０２には、どのような応力が残留しているか全く不明な状態となる。そのような不明な状態のまま、機能フィルム１０２が吸着盤などで吸着保持されて、機能フィルム１０２と貼合対象物との貼合が行われるため、貼合後にどのような反りが発生するか全く不明なものとなり、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。

特に、フォトリソグラフ又はエッチングで形成されたパターンは、定められたロールテンションで加工されており、貼合するときに発生する不明な応力がパターンに加わると、フィルムの伸び縮みにより、図１６の上側（ａ）に示す理想的な貼合に対して、下側（ｂ）に示すように、微妙なズレが発生して貼合することになり、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。

そこで、本発明者らは、吸着盤などで吸着保持されている機能フィルム１０２において、吸着保持を一旦停止又は緩和して、残留している応力を解放することを想到して発明をするに至ったものである。

（実施形態）
以下、図面を参照して本発明における第１実施形態を詳細に説明する。

本発明の第１の実施形態にかかる貼合方法を実施できる貼合装置は、図１及び図３に示すように、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置であって、第１搬送部１１と、第２搬送部１２と、ハーフカット処理部１３と、吸着保持部１４と、剥離部１５と、吸着動作制御部１７と、移送機構部１８と、貼付部１９とを備えて構成している。

この貼合装置では、図２に示すように、第１搬送部１１側では、第１搬送部１１から第１フィルム１が搬出された（巻き戻された）のち、ハーフカット工程Ｓ１１と、吸着及び剥離工程Ｓ１２と、移送工程Ｓ１３とを行う一方、第２搬送部１２側では、第２搬送部１２から第２フィルム４が搬出された（巻き戻された）のち、必要に応じてセパレータ剥離工程Ｓ２１と、貼付部１９での吸着工程Ｓ２２と、貼付部１９でのアライメント工程Ｓ２３と、貼付工程Ｓ２４とを経て、第２フィルム４が巻き取られるものである。

第１搬送部１１は、一定のロールテンション２０で、長尺で一方の表面にセパレータ３が配置された第１フィルム１を第１フィルム１の搬送方向沿いに搬送する。第１フィルム１は、長尺の樹脂フィルムのセパレータ３側の一方面、セパレータ３側とは反対側の他方面のうちいずれかに第１導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムである。例えば、導電パターンとして一種の電極と当該電極から引き出された配線とを形成したセンサ基材用フィルムである。第１搬送部１１としては、具体的には、図１及び図３に示すように、第１フィルム巻戻ローラ１１ａから巻き戻された第１フィルム１を多数の案内ローラ１１ｃで案内するとともに、ハーフカット処理部１３と吸着保持部１４と剥離部１５とに案内したのち、シート状個片２以外の第１フィルム１を第１フィルム巻取ローラ１１ｂで巻取るようにしている。

第２搬送部１２は、一定のテンションで、長尺の第２フィルム４を第２フィルム４の搬送方向沿いに搬送する。第２フィルム４は、長尺の樹脂フィルムの両面に第２導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムである。例えば、導電パターンとして表裏合わせて２種の電極と当該電極から各々引き出された配線とを形成したセンサ基材用フィルムである。なお、第２フィルム４も、一方面にセパレータが配置されていて、貼付部１９に搬送される前に剥離されてもよい。この第２フィルム４の導電パターンに対して第１フィルム１から抜き出したシート状個片２の導電パターンを高精度に位置合わせして、第２フィルム４と第１フィルム１から抜き出したシート状個片２とを貼合させるのが、この貼付装置である。第２搬送部１２としては、具体的には、図１及び図３に示すように、第２フィルム巻戻ローラ１２ａから巻き戻された第２フィルム４を多数の案内ローラ１２ｃで案内するとともに、貼付部１９の第１フィルム１から抜き出されたシート状個片２を第２フィルム４との貼合わせ位置９２に案内したのち、第２フィルム４にシート状個片２が貼合された状態で第２フィルム巻取ローラ１２ｂで巻取るようにしている。第２フィルム巻戻ローラ１２ａの近傍には、第２フィルム４のテンションを検出して、テンションを制御できる機構１２ｄが配置されている（図１１を参照）。

ハーフカット処理部１３は、ハーフカット工程Ｓ１１を実施するものであり、第１フィルム１からセパレータ３を残して第１フィルム１だけを所定の大きさと形状とに、厚み方向にハーフカットして、多数のシート状個片２すなわちシート状個片２を形成する。ハーフカット処理部１３は、図３に示すように、第１フィルム巻戻ローラ１１ａの近傍に配置されて、ハーフカット部７でハーフカットされて生ずるシート状個片２をセパレータ３と共に、吸着保持部１４と剥離部１５とに案内ローラ１２ｃで案内される。

吸着保持部１４及び剥離部１５は、吸着及び剥離工程Ｓ１２を実施するものである。

吸着保持部１４は、図３に示すように、剥離部１５の近傍でかつハーフカット処理部１３側に配置されている。吸着保持部１４は、第１フィルム１の搬送が間欠的に停止されて剥離部１５の近傍の吸着保持位置９１に停止し、かつ、セパレータ３上の、ハーフカットされることにより第１フィルム１から生じたシート状個片２を吸着保持する。吸着保持部１４は、図８に示す多数の吸引孔４１を有して第１フィルム１のうちシート状個片２のみに全面を吸着保持可能な吸着盤４２と、吸着盤４２の各吸引孔４１に連通する真空吸引装置などの吸引機構部４７とを備え、吸着動作制御部１７で吸引機構部４７による吸引動作（すなわち吸着動作）を制御している。吸着盤４２は、図４に示すように昇降装置１４ｂにより上下方向沿いに昇降するとともに、図５に示すように第１移動装置１４ｃにより第１フィルム１の搬送方向沿いに移動可能としている。よって、吸着盤４２の下部には、昇降装置１４ｂと第１移動装置１４ｃとが配置され、さらには、移送機構部１８と連結されるか又は移送機構部１８に支持されて、移送機構部１８で吸着盤４２が、第１フィルム１の搬送方向と直交する方向沿いに、剥離部１５と、第１フィルム１のシート状個片２と貼合わせ装置９２との間を往復移動可能としている。昇降装置１４ｂと第１移動装置１４ｃと移送機構部１８とは、それぞれ、±１０μｍオーダーで位置調整が可能でかつボールネジにもガタ付きが少ない直動装置、例えばサーボモータなどのアクチュエータを利用して構成される直線的に往復移動可能な駆動装置であって高精度で位置決めできる機構が良い。

剥離部１５は、案内板１５ａでセパレータ３及び第１フィルム１を第１フィルム１の搬送方向沿いに案内しつつ、ハーフカットして形成された第１フィルム１のシート状個片２以外の残余部分１ａ及びセパレータ３を、案内板１５ａの先端に固定されたブレード１６によって鋭角に反転して、吸着保持位置９１で吸着保持部１４に吸着保持された第１フィルム１のシート状個片２を、セパレータ３から円滑に剥離する。このとき、図５に示すように、第１フィルム１を第１搬送部１１で搬送方向沿いに搬送するとともに、吸着保持部１４も第１移動装置１４ｃにより第１フィルム１の搬送方向沿いに第１フィルム１の搬送速度と同じ速度で同期して移動しつつ、この剥離動作が行われる。

剥離動作によりセパレータ３から剥離された第１フィルム１のシート状個片２は、図６に示すように、吸着保持部１４の吸着盤１４ａに吸着保持されている（下記の第１吸着動作Ｓ４１を参照。）が、この状態では、従来と同様に、縮む力８１の他、剥がした力８２及び吸着力８３などの力が作用して、不明な応力が残留している。この残留している不明な応力は、吸着動作制御部１７での以下の動作で解消することができる。

吸着動作制御部１７は、吸着保持部１４において、吸引機構部４７による吸引動作を制御することにより、第１吸着動作Ｓ４１と、吸着制御動作Ｓ４２と、第２吸着動作Ｓ４３とを順に実施する。これらの一連の動作は、剥離動作から貼合わせ位置９２への移送動作終了までの間に行われる。よって、例えば、剥離動作開始から剥離動作終了までに第１吸着動作Ｓ４１を行い、剥離動作終了後から移送開始前に吸着制御動作Ｓ４２を行い、移送開始後から移送終了までに第２吸着動作Ｓ４３を行うことができる。又は、剥離動作開始から移送動作終了までに第１吸着動作Ｓ４１を行い、移送動作終了後に吸着制御動作Ｓ４２と第２吸着動作Ｓ４３とを順に行うこともできる。

第１吸着動作Ｓ４１は、第１フィルム１のシート状個片２を吸着盤１４ａの全ての吸引孔４１で吸着する。

吸着制御動作Ｓ４２は、図７に示すように、第１吸着動作Ｓ４１後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う。この吸着制御動作Ｓ４２により、吸着盤１４ａにシート状個片２が吸着保持されているとき、シート状個片２に残留している不明な応力を、シート状個片２から解放するようにしている。よって、シート状個片２に対する吸引孔４１による吸着保持力をすべて停止すれば、確実に解放できるが、その際、応力の影響等によりシート状個片２が吸着盤１４ａの当初に吸着保持した位置から大きく位置ずれして、アライメントの認識時に視野角から外れることが懸念される。そのような場合には、吸着保持力を全体的に緩めるか、すべての吸引孔４１のうちの一部の吸引孔４１による吸着保持力を維持しつつ残りの吸引孔４１による吸着保持力を停止して部分的に停止するか、又は、すべての吸引孔４１のうちの一部の吸引孔４１による吸着保持力を維持しつつ残りの吸引孔４１による吸着保持力を低下させて部分的に緩めるようにすればよい。このようにすれば、シート状個片２が、吸着盤１４ａの当初に吸着保持した位置から大きく位置ずれすることを防止することができる。

この動作は、図８に示す吸着盤１４ａに多数配列された吸引孔４１を、例えば図９に示すように複数の（例えば６列の）縦列の領域４３に分割し、各領域４３毎に吸引孔４１による吸着保持力を独立して制御できるように吸着動作制御部１７で吸引機構部４７を制御すればよい。具体的には、真空吸引装置及び真空を発生させる機構と各領域４３とを連結する連結通路に制御弁をそれぞれ配置し、吸着動作制御部１７で各制御弁を開閉制御すれば、各領域４３毎の吸着保持力を吸着維持、吸着停止、及び緩めるなどの動作制御を行うことができる。

吸着盤１４ａにおける吸引孔４１の領域の分け方としては、図９に示すものに限らず、図１０（ａ）に示すように横方向の領域４４に分けたり、図１０（ｂ）に示すようにマトリックス状の領域４５に分けたり、図１０（ｃ）に示すように同心円状の領域４６に分けたりすることができる。このように、吸着盤１４ａにおける吸引孔４１を複数の領域に分割したのち、任意の領域毎に吸着保持力を吸着維持、吸着停止、及び緩めるなどの動作制御を行うほか、特定の領域での吸着保持力を吸着維持しつつ、残りの領域での吸着保持力を吸着停止又は緩めるなどの動作制御を行うようにしてもよい。

さらに、残りの領域のうち、少なくとも１つの領域の吸引孔４１での吸引機構部４７による吸引動作を、再稼働するか、又は再強化したのちに、吸引動作を維持していた領域での吸引機構部４７による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御するようにしてもよい。このようにすれば、すべての領域で、残留している不明な応力をすべて解放することができる。

よって、例えば、分割された領域のうち、いずれか一端部の領域（例えば、図９の右端又は左端の領域、図１０（ａ）の上端又は下端の領域）の吸引孔４１での吸引機構部４７による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の吸引孔で４１の吸引機構部４７による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御すれば、一端部が支持された状態で、一端部を除く他の領域の残留応力を解放することができ、その後、他端部を吸着維持して一端部の吸着を停止して、一端部の領域の残留応力を解放すれば、残留応力をより円滑に解放することができる。同様に、例えば、分割された領域のうち、中央部の領域（例えば、図１０（ｃ）の中心の領域）の吸引孔４１での吸引機構部４７による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の吸引孔で４１の吸引機構部４７による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御すれば、中央部が支持された状態で、中央部を除く他の領域の残留応力を解放することができ、その後、中央部以外の部分を吸着維持して中央部の吸着を停止して、中央部の領域の残留応力を解放すれば、残留応力をより円滑に解放することができる。

第２吸着動作Ｓ４３は、吸着制御動作Ｓ４２後に、残留している応力が無くなったと思われる第１フィルム１のシート状個片２を吸着盤１４ａに再び吸着して、貼合動作に備える。

移送機構部１８は、移送工程Ｓ１３を実施するものであり、吸着保持部１４を支持するか、又は、吸着保持部１４と一体的に設けられている。移送機構部１８は、吸着保持部１４の吸着盤１４ａを、剥離部１５と、貼付部１９の第１フィルム１のシート状個片２と第２フィルム４との貼合わせ位置９２との間で往復移動可能に配置している。剥離部１５で剥離した第１フィルム１のシート状個片２を吸着保持した吸着保持部１４の吸着盤１４ａを、第１フィルム１の搬送方向とは直交する横方向に移動し、第２フィルム４の搬送方向を横切って、図１１〜図１３に示すように、貼合わせ位置９２の貼付部１９の下方まで移動させる。

貼付部１９は、図１１〜図１３に示すように、吸着保持部１４と協働して、吸着工程Ｓ２２とアライメント工程Ｓ２３と貼付工程Ｓ２４とを行うものである。貼付部１９は、第２フィルム吸着保持部の一例として機能する第２フィルム吸着盤６０と、位置調整部６１と、フィルム貼付開始部材６２と、昇降部６３と、傾動部６４と、移動装置とを備えるように構成している。こでは、第１移動装置１４ｃが、移動装置の一例として機能する。

第２フィルム吸着盤６０は、吸着工程Ｓ２２を行うものであり、貼合わせ位置９２に配置され、真空吸引装置などの吸引機構部１９ａに接続された多数の吸引孔を有する吸着盤として機能し、その下面に、第２フィルム４の四角形の貼付対象領域４ａを含む領域を吸着保持する。第２フィルム吸着盤６０の下方には、移送機構部１８で貼合わせ位置９２まで移送されてくる吸着保持部１４の吸着盤１４ａの上面が、貼り付けのため。対向して配置可能となっている。

位置調整部６１は、アライメント工程Ｓ２３を行うものであり、貼合わせ位置９２において、第２吸着動作Ｓ４３を実施している吸着保持部１４の吸着盤１４ａに吸着保持された第１フィルム１のシート状個片２と、第２フィルム吸着盤６０で吸着保持された第２フィルム４の貼付対象領域４ａとを接近させた状態で、位置調整部６１による位置調整が行われる。このとき、第１フィルム１のシート状個片２と第２フィルム４とがほぼ平行な状態であることが、高精度に位置調整する観点から、好ましい。一例として、貼合わせ位置９２に対して、シート状個片２と第２フィルム４の貼付対象領域４ａとは、それぞれ、大よその正確な位置までは、移送機構部１８と第２フィルム巻戻ローラ１２ａと第２フィルム巻取ローラ１２ｂとなどの駆動装置としてそれぞれのサーボモータなどのアクチュエータを利用すれば位置調整可能である。よって、大よその正確な位置の後の高精度な微調整を位置調整部６１で行っている。

ここで、シート状個片２が四角形の場合、図１６に示すように、四隅に第１アライメントマーク６９を形成しておくとともに、対応する、第２フィルム４の四角形の貼付対象領域４ａの四隅にも第２アライメントマーク７０を形成しておく。一例として、第１アライメントマーク６９と第２アライメントマーク７０とは、いずれか一方が小さな黒丸点とし、他方を円環として、小さな黒丸点が円環の中に入り込むことにより、アライメント調整ができるように設定することができる。一例として、小さな黒丸点は直径１ｍｍの点であり、円環は外径２ｍｍである。各アライメントマーク６９，７０は、それぞれ、丸又は円形状に限定されるものではなく、その他種々の形状であってもよく、例えば四角であってもよい。

より具体的には、位置調整部６１は、一例として、４個のカメラ４８と、補正量算出部６６と、位置制御部６７とで構成されている。

４個のカメラ４８は、吸着保持部１４において、吸着保持部１４に吸着保持された第１フィルム１の四角形のシート状個片２の四隅それぞれの付近を撮像可能に配置されている。よって、４個のカメラ４８は、シート状個片２の四隅の第１アライメントマーク６９と、これらに対向する第２フィルム４の四角形の貼付対象領域４ａの四隅の第２アライメントマーク７０とを画像取得できるようにしている。例えば、各カメラ４８で同時的に第１アライメントマーク６９と第２アライメントマーク７０とを画像取得してもよいし、各カメラ４８の焦点距離を切り替えて、第１アライメントマーク６９と第２アライメントマーク７０とをそれぞれ画像取得してもよい。

補正量算出部６６は、４個のカメラ４８でそれぞれ取得した画像を基に画像処理を行って、四隅のそれぞれの第１アライメントマーク６９と第２アライメントマーク７０との位置ずれ量を算出して、第２フィルム４の搬送方向とその搬送方向と直交する横方向との、互いに直交する２方向の補正量を求める。

位置制御部６７は、補正量算出部６６で求めた補正量を基に、第１移動装置１４ｃと移送機構部１８とで吸着盤１４ａの位置調整を行う。例えば、位置制御部６７の制御により、吸着保持部１４の第１移動装置１４ｃで第２フィルム４の搬送方向沿いの位置調整を行い、移送機構部１８で第２フィルム４の搬送方向と直交する横方向沿いの位置調整を行う。第１移動装置１４ｃと移送機構部１８とのそれぞれの駆動装置としてサーボモータなどの高精度位置決め可能なアクチュエータを使用することにより、±１０μｍオーダーでの高精度な位置調整、すなわち、第２フィルム４に形成されている導電パターンに対して、シート状個片２が有する導電パターンの高精度な位置調整が可能である。このようにして、位置調整部６１での高精度な位置調整が行われる。

貼付工程Ｓ２４は、第２フィルム吸着盤６０と、フィルム貼付開始部材６２と、昇降部６３と、傾動部６４と、第１移動装置１４ｃとで行われる。

フィルム貼付開始部材６２は、吸着保持部１４の吸着盤１４ａの貼付開始側の先端１４ｅに配置され、吸着保持部１４の吸着盤１４ａのシート状個片２を吸着保持する吸着保持面１４ｆよりも高さ方向に高い位置に、第１フィルム１のシート状個片２の貼付開始端部２ｃを載置保持する。

ここで、高さ方向に高い位置とは、例えば０．１ｍｍ〜２ｍｍだけ吸着保持面１４ｆよりも高い位置とする。もし２ｍｍを越えて高くなると、単純に斜辺ｄ３の長さが大きくなり、貼り付け誤差が大きくなる。一方、０．１ｍｍ未満の高い位置では、そのような数値の高さに高さ調整することが困難であり、貼付開始端部２ｃのみを接触させたいにもかかわらず、他の部分も接触する可能性がある。

このシート状個片２の貼付開始端部２ｃの高さについては、以下のような関係がある。図１７に示すように、フィルム貼付開始部材６２の上に第１フィルム１のシート状個片２の貼付開始端部２ｃを載置保持するとき、吸着保持面１４ｆからフィルム貼付開始部材６２にかけての貼付開始端部２ｃ付近において、側面からみると、直角三角形の関係が成立している。すなわち、シート状個片２が傾斜した斜辺ｄ３と、貼付開始端部２ｃ付近以外の領域のシート状個片２の下面を吸着保持する吸着保持面１４ｆ沿いの横の辺ｄ１と、吸着保持面１４ｆから貼付開始端部２ｃの下面までの高さを示す高さｄ２とで直角三角形が成立している。このように傾斜して直角三角形が成立している状態で上昇させて位置決めを行った場合、アライメントマークの有る吸着保持面１４ｆに保持されている部分と、第２フィルム４に接触させる貼付開始端部２ｃとの高さが違うため、シート状個片２が傾斜せずに第２フィルム４と平行な場合と比べて、斜めになっている分だけ、貼り合せる時に位置ズレを起こす可能性がある。その位置ズレの誤差は、辺ｄ１と高さｄ２とから斜辺ｄ３を算出でき、算出された斜辺ｄ３から辺ｄ１を引いた数値である。例えば、辺ｄ１を６ｍｍ、高さｄ２を１ｍｍと想定すると、斜辺ｄ３は√（６^２＋１^２）＝６．０８２７６ｍｍとなり、斜辺ｄ３−辺ｄ１＝６．０８２７６ｍｍ−６ｍｍ＝０．０８２７６ｍｍとなるので、８２μｍの誤差があることになる。実際の設計において±１０μｍオーダーの高精度を求められる場合は、高さｄ２を１ｍｍ以下とすることを考慮しないと、高精度な貼合には厳しいと考えられる。そこで、後述する調整機構により、高さｄ２を１ｍｍから０．５ｍｍに変更した場合、誤差は±１０μｍ以内、すなわち、誤差の範囲は２０μｍまで小さくすることができる。また、辺ｄ１を長くすれば、誤差は小さくなることがわかる。

一例として、高さ方向に高い位置とは、例えば０．１ｍｍ〜２ｍｍの中の固定値とする以外に、この０．１ｍｍ〜２ｍｍの範囲内で、使用状況に応じて調整機構で高さを任意に調節可能に構成するようにしてもよい。この使用状況とは、材料又は材質により撓みなどが発生する場合、例えば、硬すぎる材料の場合は、吸着パットで吸着が困難になるので高さｄ２の距離を大きくするなど、辺ｄ１と高さｄ２とで最適な位置への調整が必要になる。構造上、高さｄ２の距離を変えると、斜辺ｄ３の長さを合わせる必要が出るため、高さ変更が必要になる。

フィルム貼付開始部材６２の一例としては、図１７などに示すように、吸着パッド部材６５で構成することができる。吸着パッド部材６５は、図示しないが多数の吸引孔があり、多数の吸引孔に連通する真空吸引装置などの貼付用吸引機構部７１を有して、第１フィルム１のシート状個片２の貼付開始端部２ｃを、吸着パッド部材６５の上面に載置保持するように吸着保持するとともに、貼り付け開始時には、貼付用吸引機構部７１で吸引保持力を停止又は緩和できるようにしている。なお、吸着パッド部材６５は、吸着及び剥離工程Ｓ１２では吸着動作には関わらないようにしている。

フィルム貼付開始部材６２の別の例としては、図１８などに示すように、回転自在に吸着盤１４ａに支持された貼付ロール６８で構成して、第１フィルム１のシート状個片２の貼付開始端部２ｃを載置保持するようにしてもよい。

昇降部６３は、貼合わせ位置９２で、第２フィルム吸着盤６０で吸着保持された第２フィルム４に対して、吸着盤１４ａで吸着保持されたシート状個片２を接離するように吸着保持部１４を昇降させるものであり、昇降装置１４ｂで兼用することができる。

傾動部６４は、貼付開始時の最初に、吸着保持部１４において先端１４ｅの吸着パッドユニット６５で載置保持したシート状個片２の貼付開始端部２ｃが、第２フィルム吸着盤６０で吸着保持された第２フィルム４に接触可能に吸着保持部１４を傾動（チルト）させる。具体的には、図２１及び図２２に示すように、Ｔ字状の吸着保持部１４の吸着盤１４ａは、その脚部１４ｈの下部のチルト支点軸１４ｊ周りに揺動可能に基台部１４ｐに支持されている。吸着盤１４ａの後端には下方に屈曲した係止突起１４ｋが突出し、傾動時に基台部１４ｐの後部のストッパ１４ｍに係止突起１４ｋが当接して、吸着盤１４ａのチルト支点軸１４ｊ周りの傾動角度が所定角度に規制されるようにしている。基台部１４ｐの後部と吸着盤１４ａの後端との間には、シリンダなどの傾動駆動装置１４ｎが配置されて、シリンダ１４ｎからピストンロッドを伸縮させることにより、吸着盤１４ａがチルト支点軸１４ｊ周りに揺動可能としている。傾動駆動装置１４ｎとしては、シリンダに限らず、±１０μｍオーダーで位置調整が可能でかつサーボモータなどのアクチュエーターを利用して構成されかつボールネジにもガタ付きが少ない直動装置でもよい。なお、基台部１４ｐは、昇降装置１４ｂと第１移動装置１４ｃと移送機構部１８とに連結されて、吸着盤１４ａと一体的に、それぞれの方向に移動できるようにしている。

このような構成の貼付部１９は、以下のようにして貼付工程Ｓ２４を行う。

図１８に示すように、貼付部１９は、位置調整部６１で位置調整した状態でかつ傾動部６４で吸着保持部１４を傾動する前に昇降部６３で吸着保持部１４を位置調整状態よりもさらに上昇して、吸着保持部１４のフィルム貼付開始部材６２に載置保持されたシート状個片２の貼付開始端部２ｃを、第２フィルム吸着盤６０で吸着保持された第２フィルム４に接触させる。このとき、シート状個片２の貼付開始端部２ｃ以外の他の領域は、第２フィルム４には接触していない状態とする。

次いで、図１９に示すように、シート状個片２の貼付開始端部２ｃが、第２フィルム４に接触した状態で、傾動部６４のシリンダ１４ｎを駆動して、所定角度まで吸着保持部１４すなわち吸着盤１４ａを傾動させる。

次いで、図２０に示すように、シート状個片２の貼付開始端部２ｃが、第２フィルム４に接触するとともに傾動部６４で吸着保持部１４を所定角度まで傾動させた状態で、吸着保持部１４を第２フィルム４の搬送方向とは逆方向である貼付方向に第１移動装置１４ｃで移動させて、シート状個片２の貼付開始端部２ｃより後方の領域をフィルム貼付開始部材６２に順に送りつつ、フィルム貼付開始部材６２で第２フィルム４に貼り付ける。このようにして、シート状個片２の全体を第２フィルム４の貼付対象領域４ａに貼り付けると、昇降部６３で吸着保持部１４を下降させて、次のシート状個片２の吸着保持のため、移送機構部１８で吸着保持位置９１まで戻って、吸着及び剥離工程Ｓ１２を行う。

なお、図２に示す一連の貼合動作を実施するそれぞれの駆動装置等は、貼合制御部で制御するのが好ましい。

前記実施形態によれば、位置調整部６１で高精度に第１フィルム１のシート状個片２と第２フィルム４とを位置合わせしたのち、昇降部６３で吸着盤１４ａを上昇させて、フィルム貼付開始部材６２に保持された第１フィルム１のシート状個片２の貼付開始端部２ｃを第２フィルム４に接触させたのち、この接触を維持しつつシート状個片２を吸着保持する吸着盤１４ａを傾動部６４で傾動させ、その接触及び傾動状態のまま、吸着盤１４ａを第２フィルム４の搬送方向とは逆方向に第１移動装置１４ｃで移動させて、シート状個片２の貼付開始端部２ｃより後方の領域をフィルム貼付開始部材６２に順に送りつつ、フィルム貼付開始部材６２で第２フィルム４に貼り付けるようにしている。この結果、高精度に位置合わせした状態を維持しつつ貼り付けができるので、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能となる。

また、吸着動作制御部１７で、吸着保持部１４において、吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作を行うことによって、吸着保持部１４に保持されていたシート状個片２の応力を解放したのち、貼合することができる。このため、シート状個片２には残留応力が無く、フィルム対フィルムであってもシートの伸び縮みによる位置ズレが起きず、貼合後の反りを効果的に防止できて、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合がさらに確実に可能となり、品質向上に繋がる。

なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。

例えば、残留応力を解放するため、吸着保持力の停止又は緩和以外に、吸着保持力の停止する上にエアなどを吸引孔４１から少量吹き出して、残留応力をより解放しやすくしてもよい。

また、フィルム貼付開始部材６２として吸着パッド部材６５と、回転自在に配置された貼付ロール６８との両方を備えて、適宜、入れ替えて使用するようにしてもよい。

すなわち、図２３に示すように、貼付部１９は、フィルム貼付開始部材６２として、上端面に、シート状個片２の貼付開始端部を吸着保持する吸着パッド部材６５と、回転自在に配置された貼付ロール６８とを有する入替機構部７３を備える。

入替機構部７３は、吸着盤１４ａの貼付開始側の先端１４ｅにおいて、吸着パッド部材６５が吸着盤１４ａの端部近傍に、第２フィルム４の搬送方向沿いに、貼付位置９９Ａと退避位置９９Ｂとの間で吸着パッド部材移動装置７４で移動可能に配置されている。また、入替機構部７３は、吸着盤１４ａの貼付開始側の先端１４ｅにおいて、貼付ロール６８が吸着盤１４ａの端部近傍に、上下方向沿いに、貼付位置９８Ａと退避位置９８Ｂとの間で貼付ロール移動装置７５で移動可能に配置されている。

フィルム貼付開始部材６２として、上端面に、第１フィルム１のシート状個片２の貼付開始端部２ｃを吸着保持する吸着パッド部材６５と、回転自在に配置された貼付ロール６８とを有している。

吸着盤１４aの貼付開始側の先端１４ｅの位置に、貼付開始時には吸着パッド部材６５を配置し、貼付開始後には貼付ロール６８を配置するように、吸着パッド部材６５と貼付ロール６８との位置を入替機構部７３で入れ替える。

貼付開始時、吸着パッド部材６５の吸着パッド面でシート状個片２の貼付開始端部２ｃを吸着保持して貼付開始したのち、入替機構部７３で吸着パッド部材６５と貼付ロール６８とを入れ替えたのち、貼付ロール６８でシート状個片２の貼付開始端部２ｃより後方の領域を第２フィルム４に貼り付ける。

図２４Ａ〜図２４Ｅは、入替機構部７３の動作を説明するための図である。

図２４Ａには、位置調整部６１で、４点カメラ４８などを使用してアライメント工程Ｓ２３を実施して位置合わせする状態を示している。このとき、吸着パッド部材６５が貼付位置９９Ａに位置し、貼付ロール６８が退避位置９８Ｂに位置している。

次いで、図２４Ｂでは、吸着保持部１４が昇降部６３により上昇して、吸着盤１４ａに吸着保持されたシート状個片２であって吸着パッド部材６５に保持された貼付開始端部２ｃが、第２フィルム４に押圧接触させられる。このとき、吸着パッド部材６５が貼付位置９９Ａに位置し、貼付ロール６８が退避位置９８Ｂに位置している。

次いで、図２４Ｃでは、シート状個片２の貼付開始端部２ｃが第２フィルム４に接触した状態において、吸着パッド部材６５が貼付位置９９Ａから退避位置９９Ｂに吸着パッド部材移動装置７４で移動するとともに、貼付ロール６８が退避位置９８Ｂから貼付位置９８Ａに貼付ロール移動装置７５で上昇して、貼付ロール６８でシート状個片２の貼付開始端部２ｃが第２フィルム４に押圧接触させるようになる。この結果、吸着パッド部材６５が退避位置９９Ｂに位置し、貼付ロール６８が貼付位置９８Ａに位置している。

次いで、図２４Ｄは、シート状個片２の貼付開始端部２ｃが第２フィルム４に貼付ロール６８で接触させた状態において、傾動部６４で吸着盤１４ａを所定角度まで傾動させる。

次いで、図２４Ｅは、シート状個片２の貼付開始端部２ｃが第２フィルム４に貼付ロール６８で接触させた状態でかつ吸着盤１４ａが傾動した状態で、第１移動装置１４ｃにより第２フィルム４の搬送方向とは逆方向沿いに吸着盤１４ａを移動させて、シート状個片２の貼付開始端部２ｃより後方の領域を、貼付ロール６８に順に送りながらかつ貼付ロール６８が回転することにより押圧力を作用させながら、第２フィルム４に貼り付ける。なお、第１移動装置１４ｃにより、傾動動作での位置ずれ分の移動を接触位置に変化が出ないように連動させながら移動する。このとき、吸着パッド部材６５が退避位置９９Ｂに位置し、貼付ロール６８が貼付位置９８Ａに位置している。

このような構成によれば、以下のような利点がある。すなわち、最初に、吸着盤１４ａの端部に、貼付ロール６８の代わりに吸着パッド部材６５を配置する理由は、シート状個片２の端部まで吸着する事で、シート状個片２のカールを抑える事ができるためである。また、貼付ロール６８による接触の場合には、円滑に貼り付けが行えるが、シート状個片２の端部のカールが原因で、外観不良（めくれ上がりなど）が発生するリスクがある。そこで、貼付ロール６８と吸着パッド部材６５とを両方備え、かつ、機構的に同一箇所に両部材を同時に配置出来ないため、両部材を適切なタイミングで入れ替え方式とすることにより、貼付ロール６８と吸着パッド部材６５とのそれぞれの利点を享受できるようにしている。

本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、第２フィルム４も、長尺の樹脂フィルムの一方面のみに第２導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムであってもよい。また、第１フィルム１及び第２フィルム４の一方が、絵柄パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された加飾フィルムであってもよい。さらには、フィルム状の有機ＬＥＤと機能フィルム又は加飾フィルムとの貼り合せにも適用可能である。

なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本発明にかかる貼合装置は、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能であり、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する場合に有用である。

１ 第１フィルム
１ａ シート状個片以外の残余部分
１ｃ 第１フィルムの貼付開始端部
２ シート状個片
３ セパレータ
４ 第２フィルム
４ａ 第２フィルムの貼付対象領域
７ ハーフカット部
１１ 第１搬送部
１１ａ 第１フィルム巻戻ローラ
１１ａ 第１フィルム巻取ローラ
１１ｃ 案内ローラ
１２ 第２搬送部
１２ａ 第２フィルム巻戻ローラ
１２ｂ 第２フィルム巻取ローラ
１２ｃ 案内ローラ
１３ ハーフカット処理部
１４ 吸着保持部
１４ａ 吸着盤
１４ｂ 昇降装置
１４ｃ 第１移動装置
１４ｅ 吸着保持部の貼付開始側の先端
１４ｆ 吸着保持面
１４ｈ 脚部
１４ｊ チルト支点軸
１４ｋ 係止突起
１４ｎ シリンダ
１４ｐ 基台部
１５ 剥離部
１５ａ 案内板
１６ ブレード
１７ 吸着動作制御部
１８ 移送機構部
１９ 貼付部
１９ａ 吸引機構部
２０ ロールテンション
４１ 吸引孔
４２ 吸着盤
４３，４４，４５，４６ 領域
４７ 吸引機構部
４８ カメラ
６０ 吸着盤
６１ 位置調整部
６２ フィルム貼付開始部材
６３ 昇降部
６４ 傾動部
６５ 吸着パッド部材
６６ 補正量算出部
６７ 位置制御部
６８ 貼付ロール
６９ 第１アライメントマーク
７０ 第２アライメントマーク
７１ 貼付用吸引機構部
７３ 入替機構部
７４ 吸着パッド部材移動装置
７５ 貼付ロール移動装置
９１ 吸着保持位置
９２ 貼合わせ位置
Ｓ１１ ハーフカット工程
Ｓ１２ 吸着及び剥離工程
Ｓ１３ 移送工程
Ｓ２１ 剥離工程
Ｓ２２ 吸着工程
Ｓ２３ アライメント工程
Ｓ２４ 貼付工程
Ｓ４１ 第１吸着動作
Ｓ４２ 吸着制御動作
Ｓ４３ 第２吸着動作

Claims (6)

1. フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
   長尺で一方の表面にセパレータが配置された第１フィルムを搬送する第１搬送部と、
   長尺の第２フィルムを搬送する第２搬送部と、
   前記第１フィルムから前記セパレータを残して前記第１フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
   ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
   ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
   前記吸着保持部において、前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着する吸着動作制御部と、
   剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第１フィルムの前記シート状個片と前記第２フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
   前記貼合わせ位置にて、前記吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記第２フィルムに対して貼り付ける貼付部とを備え、
   前記貼付部は、
   前記貼合わせ位置にて、前記第２フィルムを吸着保持する第２フィルム吸着保持部と、
   前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片と、第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムとの位置調整を行う位置調整部と、
   前記吸着保持部の貼付開始側の先端に配置され、前記吸着保持部の前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持面よりも高さ方向に高い位置に前記第１フィルムの前記シート状個片の貼付開始端部を載置保持するフィルム貼付開始部材と、
   第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムに対して接離するように前記吸着保持部を昇降させる昇降部と、
   貼付開始時に、前記吸着保持部において前記フィルム貼付開始部材が、前記第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムに接触可能に前記吸着保持部を傾動させる傾動部と、
   前記吸着保持部を前記第２フィルムの搬送方向とは逆方向に移動させる移動装置とを備え、
   前記貼付部は、前記位置調整部で位置調整した状態でかつ前記傾動部で前記吸着保持部を傾動する前に前記昇降部で前記吸着保持部を上昇して、前記吸着保持部の前記フィルム貼付開始部材に保持された前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を、前記第２フィルム吸着保持部で吸着保持された前記第２フィルムに接触させたのち、前記貼付開始端部を前記第２フィルムに接触させた状態で前記傾動部で前記吸着保持部を傾動させ、その後、前記傾動部での傾動を維持しつつ前記吸着保持部を前記第２フィルムの搬送方向とは逆方向の貼付方向に移動させて、前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記フィルム貼付開始部材に順に送りつつ、前記フィルム貼付開始部材で前記第２フィルムに貼り付ける、貼合装置。
2. 前記フィルム貼付開始部材に載置保持された前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部は、前記吸着保持部の前記吸着保持面よりも高さ方向に０．１ｍｍ〜２ｍｍだけ高い位置に位置するように、前記フィルム貼付開始部材が前記吸着保持部の前記吸着保持面よりも高い位置に配置されている、
   請求項１に記載の貼合装置。
3. 前記フィルム貼付開始部材は、上端面に、前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を吸着保持する吸着パッド部材である、
   請求項１又は２に記載の貼合装置。
4. 前記フィルム貼付開始部材は、回転自在に配置された貼付ロールである、
   請求項１又は２に記載の貼合装置。
5. 前記貼付部は、
   前記フィルム貼付開始部材として、上端面に、前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を吸着保持する吸着パッド部材と、回転自在に配置された貼付ロールとを有するとともに、
   前記吸着保持部の貼付開始側の前記先端の位置に、貼付開始時には前記吸着パッド部材を配置し、貼付開始後には前記貼付ロールを配置するように、前記吸着パッド部材と前記貼付ロールとの位置を入れ替える入替機構部とを備え、
   貼付開始時、前記吸着パッド部材で前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部を吸着保持して貼付開始したのち、前記入替機構部で前記吸着パッド部材と前記貼付ロールとを入れ替えたのち、前記貼付ロールで前記第１フィルムの前記シート状個片の前記貼付開始端部より後方の領域を前記第２フィルムに貼り付ける、
   請求項１又は２に記載の貼合装置。
6. 前記吸着動作制御部は、前記吸着保持部において、前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着する第１吸着動作と、前記第１吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作と、前記吸着制御動作後に前記第１フィルムの前記シート状個片を再び吸着する第２吸着動作とを順に実施するように制御する、
   請求項１〜５のいずれか１つに記載の貼合装置。

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