JP6788406B2 - 貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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Description

本発明は、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等の表示装置を構成する第1部材に、同じく表示装置を構成するフィルム状またはシート状の比較的薄い第2部材を貼り付ける貼付装置および貼付方法に関する。
液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等の表示装置の製造工程においては、比較的厚い第1部材にフィルム状またはシート状の比較的薄い第2部材(例えば、偏光フィルム)を貼り付けるために貼付装置が使用されている。このような貼付装置は従来から種々の方式のものが知られており、例えば、特許文献1には、いわゆる「ローラー貼付方式」を採用した貼付装置が開示されている。
図11に示すように、特許文献1に記載の貼付装置300Aは、第1部材301が載置される複数のフリーローラー304と、フリーローラー304の上方において第1部材301を吸着保持する第1保持ステージ303と、フリーローラー304の下方において接着面が露出するように第2部材302を吸着保持する第2保持ステージ305と、搬送方向下流側に設けられた貼付ローラー306,307とを備えている。また、第2保持ステージ305は、軸305a回りに傾動可能となっている。
この貼付装置300Aでは、以下の手順で第2部材302が第1部材301に貼り付けられる。すなわち、第1保持ステージ303によって第1部材301が所定位置に移動させられた後、第2保持ステージ305が傾動することにより、第2部材302の貼始端が第1部材301に接触した状態とされ(図11(A))、その後、第1保持ステージ303が退避するとともに貼付ローラー306,307が互いに近付くことにより第1部材301および第2部材302が挟み込まれ(図11(B))、さらにその後、貼付ローラー306が半時計回りに、貼付ローラー307が時計回りにそれぞれ回転することにより、第2部材302が第1部材301に貼り付けられていく(図11(C))。
特開2005−7748号公報(特に、図10)
ところで、表示装置の画素の高密度化にともない、近年、貼付装置は、10μm以下(好ましくは5μm以下)の非常に高い位置精度で第2部材を第1部材に貼り付けることが求められるようになってきている。また、フィルム状またはシート状の第2部材は、製造時の残留応力や吸湿等の影響によりカールが生じる場合がある。
このため、従来の貼付装置300Aでは、図12に示すように、カールした第2部材302の貼始端が所定位置からずれた位置に貼り付いてしまい、要求される高い位置精度を満足できない場合があった。なお、カールの程度は1枚毎に異なっているので、カールの程度を考慮して第1部材301または第2部材302の位置を予め調整しておくことによりカールの影響をキャンセルするのは非常に困難である。
第1保持ステージ303と第2保持ステージ305の位置関係を天地逆転させた図13に示す貼付装置300Bにおいても、貼付装置300Aと同様、第2部材302のカールに起因する位置ずれの問題が発生する。また、貼付装置300Bでは、自重によっても第2部材302がカールするので、第1部材301または第2部材302の位置を予め調整することによりカールの影響をキャンセルするのは、より一層困難である。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、貼り付け位置精度が非常に高い貼付装置および貼付方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明に係る貼付方法は、第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、第1部材を水平に保持させる第1工程と、第1部材に離間して対向するように、第1部材の下方において第2部材を水平に支持させる第2工程と、第2部材の貼始端を含む端部を上昇させて、第2部材の他の部分よりも第1部材に近接させる第3工程と、第2部材の上記端部を先行して第1部材に貼り付ける第4工程と、第2部材の上記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、第2部材の貼終端側を下降させて、第2部材の上記他の部分を傾斜させる第6工程と、貼付ローラーを水平移動させることにより、第2部材の上記他の部分を第1部材に貼り付けていく第7工程とを含み、第1〜第4工程を順次実行した後に、第5および第6工程を順不同で実行し、その後、第7工程を実行するよう構成されている。
上記貼付方法は、第3工程および第4工程の間に実行される、第1部材および第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、第4工程において、第2部材の姿勢を保ったまま該第2部材の全体を上昇させるよう構成されていることが好ましい。
また、上記貼付方法は、第2工程および第3工程の間に実行される、第1部材および第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、第4工程において、第2部材の姿勢を保ったまま該第2部材の全体を上昇させるよう構成されていてもよい。
あるいは、上記貼付方法は、第2工程および第3工程の間に実行される、第1部材および第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、第3工程を実行することにより第4工程が実行されるよう構成されていてもよい。
第1部材が透光性を有している場合、上記貼付方法は、第1部材の上方に配置された光学カメラで、第1部材に付された第1アライメントマークの位置を認識するとともに、第1部材越しに第2部材に付された第2アライメントマークの位置を認識し、第1アライメントマークおよび第2アライメントマークの位置関係に基づいて第1部材または第2部材の位置を調整することにより位置合わせ工程を実行するよう構成されていてもよい。
なお、上記貼付方法は、第2工程を実行した後の、第1部材および第2部材の上下方向の離間距離が、0.5mm〜1.0mmであることが好ましい。
上記課題を解決するために、本発明に係る第1の貼付装置は、第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、第1部材を水平に保持する第1ステージと、第1ステージに保持された第1部材に離間して対向するように、第1部材の下方において第2部材を支持する第2ステージと、制御部とを備え、第2ステージは、第2部材の貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、制御部は、第2ステージの貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、第2部材の上記端部を上記他の部分よりも第1部材に近接させ、その後、第1ステージまたは第2ステージの位置を微調整することにより、第1部材および第2部材の位置合わせを行い、さらにその後、第2ステージの全体を上昇させることにより、第2部材の上記端部を上記他の部分に先行して第1部材に貼り付けるよう構成されている。
また、上記課題を解決するために、本発明に係る第2の貼付装置は、第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、第1部材を水平に保持する第1ステージと、第1ステージに保持された第1部材に離間して対向するように、第1部材の下方において第2部材を支持する第2ステージと、制御部とを備え、第2ステージは、第2部材の貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、制御部は、第1ステージまたは第2ステージの位置を微調整することにより、第1部材および第2部材の位置合わせを行い、その後、第2ステージの貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、第2部材の上記端部を上記他の部分よりも第1部材に近接させ、さらにその後、第2ステージの全体を上昇させることにより、第2部材の上記端部を上記他の部分に先行して第1部材に貼り付けるよう構成されている。
また、上記課題を解決するために、本発明に係る第3の貼付装置は、第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、第1部材を水平に保持する第1ステージと、第1ステージに保持された第1部材に離間して対向するように、第1部材の下方において第2部材を支持する第2ステージと、制御部とを備え、第2ステージは、第2部材の貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、制御部は、第1ステージまたは第2ステージの位置を微調整することにより、第1部材および第2部材の位置合わせを行い、その後、第2ステージの貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、第2部材の上記端部を上記他の部分に先行して第1部材に貼り付けるよう構成されている。
第1部材が透光性を有している場合、上記第1〜第3の貼付装置は、例えば、第1ステージの上方に配置された光学カメラをさらに備え、光学カメラは、透光性を有する第1ステージ越しに第1部材に付された第1アライメントマークを撮影するとともに、透光性を有する第1ステージおよび第1部材越しに第2部材に付された第2アライメントマークを撮影し、制御部は、光学カメラによって撮影された第1アライメントマークおよび第2アライメントマークの位置関係に基づいて第1ステージまたは第2ステージの位置を微調整するよう構成されていてもよい。
なお、上記第1〜第3の貼付装置の第2ステージは、第1部材の0.5mm〜1.0mm下方において、第1部材に対向するように第2部材を支持することが好ましい。
本発明によれば、貼り付け位置精度が非常に高い貼付装置および貼付方法を提供することができる。
本発明に係る貼付装置の概略的な構成を示す側面図である。 本発明に係る貼付装置によって貼り合される(A)第1部材、および(B)第2部材の平面図である。 本発明に係る貼付装置の制御ブロック図である。 (A)→(B)→(C)の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の一例を示す図である。 図4(C)に示す動作に続いて(A)→(B)→(C)の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の一例を示す図である。 図5(C)に示す動作に続いて(A)→(B)→(C)の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の一例を示す図である。 本発明に係る貼付装置による第1部材および第2部材の位置合わせを説明するための図である。 (A)→(B)→(C)の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の別の一例を示す図である。 図8(C)に示す動作に続いて(A)→(B)→(C)の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の別の一例を示す図である。 図9(C)に示す動作に続いて(A)→(B)の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の別の一例を示す図である。 (A)→(B)→(C)の順に行われる、従来の貼付装置の貼り付け動作を示す図である。 従来の貼付装置の問題点を説明するための図である。 従来の別の貼付装置の問題点を説明するための図である。
以下、添付図面を参照しつつ、本発明に係る貼付装置および貼付方法の実施形態について説明する。
図1に、本発明に係る貼付装置1を示す。貼付装置1は、透光性を有する比較的厚い第1部材100に対し、貼始端200aと該貼始端200aに対向した貼終端200bとを有する矩形状の第2部材200を貼始端200aから貼終端200bにかけて貼り付けていくための装置である。同図に示すように、貼付装置1は、第1ステージ2と、その下方に配置された第2ステージ20(3,5)を含む貼付ユニット21と、光学カメラユニット22と、貼付ユニット位置調整・昇降手段13と、貼付ユニット走行手段14とを備えている。
第1ステージ2は、透光性を有する樹脂からなる。第1ステージ2は、水平な保持面2aを有している。そして、この保持面2aには、ポンプ31(図3参照)に繋がる複数の吸着ノズル2bが開口している。貼り付け動作の間、第1ステージ2は、この保持面2aによって第1部材100を吸着保持し続ける。
貼付ユニット21は、ユニット基台12と、第2ステージ20とを含んでいる。そして、第2ステージ20は、第2部材200の貼始端200aを含む端部を支持する貼始側ステージ5と、第2部材200の他の部分を支持する貼終側ステージ3とで構成されている。第2部材200の他の部分は、貼終端200bを含む大多数の部分とも言える。
第2ステージ20の貼終側ステージ3は、水平な支持面3aを有している。そして、この支持面3aには、ポンプ31に繋がる複数の吸着ノズル3bが開口している。貼り付け動作の間、貼終側ステージ3は、この支持面3aによって第2部材200を支持し続ける。ただし、吸着ノズル3bは、貼り付け動作の途中で動作を停止する。
貼終側ステージ3は、貼終側ステージ傾動手段4を介してユニット基台12に取り付けられている。このおかげで、貼終側ステージ3は、ユニット基台12を基準としてY軸まわりに傾動することができる。
第2ステージ20の貼始側ステージ5は、水平な支持面5aを有している。そして、この支持面5aには、ポンプ31に繋がる複数の吸着ノズル5bが開口している。貼り付け動作の途中まで、貼始側ステージ5は、この支持面5aによって第2部材200を支持し続ける。
貼付ユニット21は、貼始側ステージ支持部6と、その一側面に設けられたZ方向に延びるガイド7と、貼始側ステージ支持部6を支持する貼始側ステージ退避手段8と、ユニット基台12に設けられたX方向に延びるガイド9とをさらに含んでいる。貼始側ステージ5は、ガイド7にスライド可能に取り付けられている。また、貼始側ステージ退避手段8は、ガイド9にスライド可能に取り付けられている。なお、貼始側ステージ支持部6およびガイド7は、貼始側ステージ昇降手段を構成する。
図1に示す初期状態において、貼終側ステージ3の支持面3aおよび貼始側ステージ5の支持面5aは、同一の水平面内にある。言い換えると、2つの支持面3a,5aは、Z方向の位置(高さ)が等しい。
貼付ユニット21は、貼付ローラー10と、ユニット基台12に設けられた貼付ローラー昇降手段11とをさらに含んでいる。貼付ローラー昇降手段11が伸縮すると、その上端に取り付けられた貼付ローラー10が昇降する。
貼付ユニット走行手段14は、基台18に設けられたX方向に延びるガイド15にスライド可能に取り付けられている。また、貼付ユニット走行手段14は、貼付ユニット位置調整・昇降手段13を介して貼付ユニット21のユニット基台12を支持している。したがって、貼付ユニット走行手段14がガイド15に沿ってX方向に移動すると、第2ステージ20(3,5)および貼付ローラー10を含む貼付ユニット21全体がX方向に移動する。また、貼付ユニット位置調整・昇降手段13が作動すると、貼付ユニット21全体がY方向に移動したり、貼付ユニット21全体がθ方向に旋回したり、貼付ユニット21全体が昇降したりする。
光学カメラユニット22は、第1ステージ2の上方に配置された4つの光学カメラ(16a,16b,17a,17b)を含んでいる。これらのうち、カメラ16a,17a(以下、「貼始側カメラ」という)は、貼始端200a側の端部の上方に、Y方向に互いに離間して配置されている。また、カメラ16b,17b(以下、「貼終側カメラ」という)は、貼終端200b側の端部の上方に、Y方向に互いに離間して配置されている。
図2(A)に示すように、第1部材100の四隅には、中空円状の第1アライメントマークM1が各1つ付されている。また、同図(B)に示すように、第2部材200の四隅には、第1アライメントマークM1に対応する位置に点状の第2アライメントマークM2が各1つ付されている。隣り合う第1アライメントマークM1の中心を結ぶと、長方形を描くことができる。同様に、隣り合う第2アライメントマークM2の中心を結ぶと、長方形を描くことができる。
前述の通り、第1ステージ2は透光性を有している。したがって、各カメラ16a,16b,17a,17bは、第1ステージ2越しに第1部材100に付された第1アライメントマークM1を撮影することができる。また、前述の通り、第1部材100も透光性を有している。したがって、各カメラ16a,16b,17a,17bは、第1ステージ2および第1部材100越しに第2部材200に付された第2アライメントマークM2を撮影することもできる。
後述するように、貼付装置1は、カメラ16a,16b,17a,17bによって撮影された第1アライメントマークM1および第2アライメントマークM2の位置関係に基づいて、第1部材100および第2部材200の位置合わせを行う。アライメントマークM1,M2の位置が異なる様々な第1部材100および第2部材200の位置合わせを行うために、カメラ16a,16b,17a,17bは、X方向およびY方向に移動可能であることが好ましい。
図3に、貼付装置1の制御ブロック図を示す。同図に示すように、貼付装置1に備えられた制御部30は、(1)第1ステージ2および第2ステージ20に接続されたポンプ31の制御、(2)貼始側ステージ5の昇降および退避に関する制御、(3)貼終側ステージ3の傾動に関する制御、(4)貼付ローラー10の昇降に関する制御、並びに、(5)貼付ユニット21の位置調整および昇降に関する制御、を行う。ここで、制御部30は、ポンプ31を介して、吸着ノズル2b,3b,5bの動作を個別に制御することができる。また、制御部30は、制御(5)を行う際に、光学カメラユニット22の撮影結果を利用する。
続いて、図4〜図6を参照しながら、貼付装置1の貼り付け動作について説明する。なお、これらの図においては一部の構成要素および参照符号が省略されている。図8〜図10についても同様である。
図4(A)は、第1ステージ2の水平な保持面2aの所定位置に前工程から搬送されてきた第1部材100がセットされるとともに、第2ステージ20(3,5)の水平な支持面3a,5aの所定位置に前工程から搬送されてきた第2部材200がセットされた、初期状態を示している。この状態は、図1に示す状態に等しい。
図4(B)は、貼付ユニット位置調整・昇降手段13を作動させることにより、第2ステージ20(3,5)および貼付ローラー10を含む貼付ユニット21全体を上昇させた状態を示している。この状態において、第1部材100および第2部材200の上下方向の離間距離Dは、1mmである。
図4(C)は、貼始側ステージ昇降手段6,7を作動させることにより、貼始側ステージ5のみを上昇させて、第2部材200の貼始端200aを含む端部を他の部分よりも第1部材100に近接させた状態を示している。この状態において、第1部材100および第2部材200の上下方向の離間距離Dは、0.5mmである。ここまで両者を近接させるのは、貼り付け動作が開始される時の状態、すなわち両者の離間距離がゼロとなった状態になるべく近い状態で後述する位置合わせを行うためである。
図5(A)は、カメラ16a,16b,17a,17bによって、第1部材100に付された第1アライメントマークM1および第2部材200に付された第2アライメントマークM2を撮影している状態を示している。撮影結果は、各カメラ16a,16b,17a,17bから制御部30に送られる。そして、制御部30は、必要に応じて貼付ユニット位置調整・昇降手段13および/または貼付ユニット走行手段14を作動させ、第1部材100に対する第2部材200の位置ずれを解消する。言い換えると、制御部30は、第1アライメントマークM1および第2アライメントマークM2の位置関係に基づいて、第1部材100および第2部材200の位置合わせを行う。
制御部30は、図7に示す手法により位置合わせを行う。
まず、制御部30は、撮影結果から求めた4つの第1アライメントマークM1の位置を頂点とする矩形を仮想空間上で描き、対向する長辺の中心同士を結ぶ線L1aと、対向する短辺の中心同士を結ぶ線L1bと、線L1a,L1bの交点C1を求める(同図(A)参照)。次に、制御部30は、撮影結果から求めた4つの第2アライメントマークM2の位置を頂点とする矩形を仮想空間上で描き、対向する長辺の中心同士を結ぶ線L2aと、対向する短辺の中心同士を結ぶ線L2bと、線L2a,L2bの交点C2を求める(同図(B)参照)。
そして、制御部30は、交点C1および交点C2に位置ずれが生じている場合は、貼付ユニット位置調整・昇降手段13および/または貼付ユニット走行手段14を作動させることにより、貼付ユニット21全体をY方向および/またはX方向に移動させて、交点C2の位置を交点C1の位置に一致させる。さらに、制御部30は、線L1aと線L2aとのなす角度が0°ではない場合は、貼付ユニット位置調整・昇降手段13を作動させることにより、貼付ユニット21全体をθ方向に旋回させて、これを0°に近付ける。
位置合わせの精度を高めるために、アライメントマークM1,M2の撮影およびその結果に基づく位置合わせは、複数回行われることが好ましい。
図5(B)は、貼付ユニット位置調整・昇降手段13を作動させることにより、貼付ユニット21全体を上昇させて、第2部材200の貼始端200aを含む端部を他の部分に先行して第1部材100に貼り付けた状態を示している。貼付ユニット21全体を真上に上昇させるだけなので、図5(B)に示す状態への移行時に、第1部材100と第2部材200の間に位置ずれが生じることはない。
図5(C)は、貼始側ステージ昇降手段6,7および貼始側ステージ退避手段8を作動させることにより、貼始側ステージ5を退避させた状態を示している。貼始側ステージ5によって支持されていた第2部材200の端部は、第1部材100および第2部材200の一方に設けられた接着層(不図示)を介して第1部材100にしっかりと貼り付いているので、貼始側ステージ5が退避しても該端部が脱落することはない。
図6(A)は、貼付ローラー昇降手段11を作動させることにより、貼付ローラー10を上昇させて、貼始側ステージ5によって支持されていた部分を貼付ローラー10で押圧させた状態を示している。このとき、制御部30は、第2部材200からの反力が所定の範囲内となるように貼付ローラー昇降手段11を制御することが好ましい。
図6(B)は、貼終側ステージ傾動手段4を作動させることにより、貼終側ステージ3を傾動させた状態を示している。貼終側ステージ3を傾動させることにより、第2部材200の姿勢が、ストレスが少ない、緩やかに湾曲した姿勢となる。
図6(C)は、貼付ユニット走行手段14を作動させることにより、貼付ユニット21全体をX方向に移動させた状態を示している。この移動より、第2部材200は、第1部材100に貼り付けられていく。
このように、本発明に係る貼付装置および貼付方法によれば、第2部材200の一部分を他の部分に先行して第1部材100に貼り付ける時の状態に非常に近い状態で第1部材100および第2部材200の位置合わせを行うことにより、貼り付け位置精度を向上させることができる。
なお、本発明に係る貼付装置および貼付方法は、上記の構成に限定されない。
例えば、本発明に係る貼付装置は、図8〜図10に示す貼り付け動作を行っても良い。この貼り付け動作は、以下の点において図4〜図6に示す貼付動作と異なっている。
図8(B):貼付ユニット位置調整・昇降手段13を作動させることにより、第2ステージ20(3,5)および貼付ローラー10を含む貼付ユニット21全体を、離間距離Dが0.5mmとなるまで上昇させること。
図8(C):第2部材200の一部が他の部分よりも第1部材100に近接した状態ではなく、第2部材200の姿勢が真っ直ぐな状態で位置合わせを行うこと。
図9(A):貼始側ステージ昇降手段6,7を作動させることにより、貼始側ステージ5のみを上昇させると、第2部材200の貼始端200aを含む端部が他の部分に先行して第1部材100に貼り付けられること。
図9(C),図10(A):貼始側ステージ5で支持されていた部分を貼付ローラー10で押圧する前に、貼終側ステージ3を傾動させること。
また、第1部材100および第2部材200の位置合わせは、図7に示す手法とは異なる手法で行われてもよい。
さらに、第1部材100および第2部材200の位置合わせでは、貼付ユニット21(第2部材200)ではなく、第1ステージ2(第1部材100)の位置を微調整してもよい。
また、第1ステージ2は、透光性を有していなくてもよい。この場合は、各カメラ16a,16b,17a,17bの直下に貫通穴を形成し、これを通して各カメラ16a,16b,17a,17bが第1部材100および第2部材200を撮影できるようにしておく必要がある。
また、離間距離Dは、0.5mm〜1.0mmの範囲内で変更することができる。離間距離Dがこの上限を上回ると、位置合わせを行ってから第2部材200の一部が第1部材100に貼り付けられるまでの間に位置ずれが起こる可能性が高くなる。一方、離間距離Dがこの下限を下回ると、第1部材100と第2部材200が意図せず接触する可能性が高くなる。
また、アライメントマークM1,M2の形状および位置は、任意に変更することができる。ただし、第1アライメントマークM1および第2アライメントマークM2の形状は、異なっていることが好ましい。また、第1アライメントマークM1の位置および第2アライメントマークM2の位置は、対応している必要がある。
1 貼付装置
2 第1ステージ
2a 保持面
3 貼終側ステージ
3a 支持面
4 貼終側ステージ傾動手段
5 貼始側ステージ
5a 支持面
6 貼始側ステージ支持部(貼始側ステージ昇降手段)
7 ガイド(貼始側ステージ昇降手段)
8 貼始側ステージ退避手段
9 ガイド
10 貼付ローラー
11 貼付ローラー昇降手段
12 ユニット基台
13 貼付ユニット位置調整・昇降手段
14 貼付ユニット走行手段
15 ガイド
16a,17a 貼始側カメラ
16b,17b 貼終側カメラ
18 基台
20 第2ステージ
21 貼付ユニット
22 光学カメラユニット

Claims (10)

  1. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
    前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
    前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
    前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
    前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
    前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
    前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
    前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
    を含み、
    前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
    前記第3工程および前記第4工程の間に実行される、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、
    前記第4工程において、前記第2部材の姿勢を保ったまま該第2部材の全体を上昇させる
    ことを特徴とする貼付方法。
  2. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
    前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
    前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
    前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
    前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
    前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
    前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
    前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
    を含み、
    前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
    前記第2工程および前記第3工程の間に実行される、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、
    前記第4工程において、前記第2部材の姿勢を保ったまま該第2部材の全体を上昇させる
    ことを特徴とする貼付方法。
  3. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
    前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
    前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
    前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
    前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
    前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
    前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
    前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
    を含み、
    前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
    前記第2工程および前記第3工程の間に実行される、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせ工程をさらに含み、
    前記第3工程を実行することにより、前記第4工程が実行される
    ことを特徴とする貼付方法。
  4. 前記第1部材が透光性を有し、
    前記第1部材の上方に配置された光学カメラで、前記第1部材に付された第1アライメントマークの位置を認識するとともに、前記第1部材越しに前記第2部材に付された第2アライメントマークの位置を認識し、前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの位置関係に基づいて前記第1部材または前記第2部材の位置を調整することにより前記位置合わせ工程が実行される
    ことを特徴とする請求項〜請求項のいずれか一項に記載の貼付方法。
  5. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
    前記第1部材を水平に保持させる第1工程と、
    前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を水平に支持させる第2工程と、
    前記第2部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第2部材の他の部分よりも前記第1部材に近接させる第3工程と、
    前記第2部材の前記端部を先行して前記第1部材に貼り付ける第4工程と、
    前記第2部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第5工程と、
    前記第2部材の前記貼終端側を下降させて、前記第2部材の前記他の部分を傾斜させる第6工程と、
    前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第2部材の前記他の部分を前記第1部材に貼り付けていく第7工程と、
    を含み、
    前記第1〜第4工程を順次実行した後に、前記第5および第6工程を順不同で実行し、その後、前記第7工程を実行し、
    前記第2工程を実行した後の、前記第1部材および前記第2部材の上下方向の離間距離が0.5mm〜1.0mmである
    ことを特徴とする貼付方法。
  6. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
    前記第1部材を水平に保持する第1ステージと、
    前記第1ステージに保持された前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を支持する第2ステージと、
    制御部と、
    を備え、
    前記第2ステージは、前記第2部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
    前記制御部は、前記第2ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分よりも前記第1部材に近接させ、その後、前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整することにより、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせを行い、さらにその後、前記第2ステージの全体を上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第1部材に貼り付ける
    ことを特徴とする貼付装置。
  7. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
    前記第1部材を水平に保持する第1ステージと、
    前記第1ステージに保持された前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を支持する第2ステージと、
    制御部と、
    を備え、
    前記第2ステージは、前記第2部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
    前記制御部は、前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整することにより、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせを行い、その後、前記第2ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分よりも前記第1部材に近接させ、さらにその後、前記第2ステージの全体を上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第1部材に貼り付ける
    ことを特徴とする貼付装置。
  8. 第1部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第2部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
    前記第1部材を水平に保持する第1ステージと、
    前記第1ステージに保持された前記第1部材に離間して対向するように、前記第1部材の下方において前記第2部材を支持する第2ステージと、
    制御部と、
    を備え、
    前記第2ステージは、前記第2部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第2部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
    前記制御部は、前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整することにより、前記第1部材および前記第2部材の位置合わせを行い、その後、前記第2ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第2部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第1部材に貼り付ける
    ことを特徴とする貼付装置。
  9. 前記第1部材は透光性を有し、
    前記第1ステージの上方に配置された光学カメラをさらに備え、
    前記光学カメラは、透光性を有する前記第1ステージ越しに前記第1部材に付された第1アライメントマークを撮影するとともに、透光性を有する前記第1ステージおよび前記第1部材越しに前記第2部材に付された第2アライメントマークを撮影し、
    前記制御部は、前記光学カメラによって撮影された前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの位置関係に基づいて前記第1ステージまたは前記第2ステージの位置を微調整する
    ことを特徴とする請求項〜請求項のいずれか一項に記載の貼付装置。
  10. 前記第2ステージは、前記第1部材の0.5mm〜1.0mm下方において、前記第1部材に対向するように前記第2部材を支持する
    ことを特徴とする請求項〜請求項のいずれか一項に記載の貼付装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002127258A (ja) * 2000-10-24 2002-05-08 Mck:Kk シート部材の貼り合わせ装置
JP2012020427A (ja) * 2010-07-13 2012-02-02 Panasonic Corp フィルム貼付装置
WO2012172603A1 (ja) * 2011-06-15 2012-12-20 クライムプロダクツ株式会社 ワークの精密貼合装置、およびワークの精密貼合方法
JP2013022760A (ja) * 2011-07-15 2013-02-04 Fuk:Kk フィルム貼付装置
JP2013186315A (ja) * 2012-03-08 2013-09-19 Suntec Inc 平坦物品の貼着装置
JP5311527B1 (ja) * 2013-04-04 2013-10-09 株式会社Fuk 貼付装置
JP6022425B2 (ja) * 2013-08-23 2016-11-09 クライムプロダクツ株式会社 ワークを湾曲状に貼合する貼合装置、および貼合方法
JP6320211B2 (ja) * 2014-07-17 2018-05-09 三菱電機株式会社 貼合装置
JP2018111207A (ja) * 2015-05-20 2018-07-19 長野オートメーション株式会社 フィルムを貼りつける装置

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