KR101760113B1 - 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

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히데키 도쿠나가
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히라따기꼬오 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 패널을 보다 확실히 보유지지하면서 기포의 혼입을 방지하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 제조 장치는, 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 장치로서, 상기 제1 패널을 보유지지하는 제1 보유지지 유닛과, 상기 제1 패널의 하방에서 상기 제2 패널을 보유지지하는 복수의 제2 보유지지 유닛과, 상기 제2 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제2 패널의 하방으로부터 상기 제2 패널을 상기 제1 패널로 향하여 압압하는 압압 롤러와, 상기 압압 롤러에 접속하여 설치되고, 상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시키는 롤러 이동 기구와, 상기 제1 보유지지 유닛에 대해 상기 복수의 제2 보유지지 유닛을 상하로 이동시키는 승강 기구를 구비하고, 상기 복수의 제2 보유지지 유닛은 각각 상기 제1 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제1 패널의 패널면에 평행한 축둘레로 회동 가능하게 지지된다.

Description

제조 장치 및 제조 방법{Manufacturing apparatus and manufacturing method}
본 발명은 패널의 접합 기술에 관한 것이다.
액정 패널과 커버 유리와 같은 패널끼리를 접합하여 적층체를 제조하는 장치에서는, 접합면에 기포가 혼입되면 적층체의 품질에 영향을 주는 경우가 있다. 기포의 혼입을 저감하기 위해, 롤러에 의해 한쪽 패널을 다른 쪽 패널에 압압하면서 롤러를 이동함으로써 양자의 접합을 행하는 장치가 제안되어 있다(특허문헌 1~3).
특허문헌 2에는, 한쪽 패널을 수평으로 보유지지한 상태로부터 비스듬하게 자세 변화시켜 다른 쪽 패널에 첩부하는 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1: 일본특허 제4870046호 공보 특허문헌 2: 일본특허 제5311527호 공보 특허문헌 3: 국제공개 제W02012/172603호 팜플렛
특허문헌 2와 같이 한쪽 패널을 비스듬하게 자세 변화시켜 다른 쪽 패널에 첩부하면, 패널 사이의 공기가 롤러의 이동에 따라 개방측으로 밀려나온다. 이는 기포의 혼입 방지에 효과가 있다. 그러나, 패널을 자세 변화시킬 때 패널의 보유지지 부분 주변에는 굽힘이 발생한다. 이 굽힘의 탄성 복귀력에 의해, 패널이 보유지지 기구로부터 탈락할 가능성이 있다. 또한, 패널의 보유지지 부분 주변은 수평으로 되어 다른 쪽 패널에 대해 면접촉이 되기 쉬워 기포가 혼입될 가능성이 있다.
본 발명의 목적은, 패널을 보다 확실히 보유지지하면서 기포의 혼입을 방지하는 것에 있다.
본 발명에 의하면, 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 장치로서, 상기 제1 패널을 보유지지하는 제1 보유지지 유닛과, 상기 제1 패널의 하방에서 상기 제2 패널을 보유지지하는 복수의 제2 보유지지 유닛과, 상기 제2 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제2 패널의 하방으로부터 상기 제2 패널을 상기 제1 패널쪽으로 향하여 압압하는 압압 롤러와, 상기 압압 롤러에 접속하여 설치되고, 상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시키는 롤러 이동 기구와, 상기 제1 보유지지 유닛에 대해 상기 복수의 제2 보유지지 유닛을 상하로 이동시키는 승강 기구를 구비하고, 상기 복수의 제2 보유지지 유닛은 각각 상기 제1 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제1 패널의 패널면에 평행한 축둘레로 회동 가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 제조 장치가 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 방법으로서, 첩부면을 하향으로 하여 보유지지된 상기 제1 패널의 하방에서 첩부면을 상향으로 하여 상기 제2 패널을 복수의 보유지지 유닛으로 보유지지하는 보유지지 공정과, 보유지지된 상기 제2 패널의 하면에 압압 롤러를 접촉시킴과 아울러 상기 제1 패널로 향하여 상기 제2 패널을 압압하고, 상기 제2 패널의 상기 첩부면의 적어도 일부를 상기 제1 패널의 상기 첩부면에 접촉시키는 접촉 공정과, 상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시켜 상기 제1 패널과 상기 제2 패널을 접합하는 접합 공정을 구비하고, 상기 접합 공정은 상기 압압 롤러의 이동에 추종시켜 상기 제1 패널에 대한 상기 제2 패널의 접촉 영역을 증대시키기 위해, 상기 복수의 보유지지 유닛 중 적어도 일부의 보유지지 유닛의 자세를 변화시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법이 제공된다.
본 발명에 의하면, 패널을 보다 확실히 보유지지하면서 기포의 혼입을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 제조 장치의 평면도.
도 2는 도 1의 제조 장치의 도 1에서의 화살표 D1 방향에서 본 도면.
도 3은 도 1의 제조 장치의 도 1에서의 화살표 D2 방향에서 본 도면.
도 4의 (A)는 보유지지 기구의 구성을 나타내는 도 2에서의 화살표 D3 방향에서 본 도면, (B)는 보유지지 기구의 측면도, (C)는 도 4의 (A)의 I-I선 단면도, (D)는 도 4의 (A)의 II-II선 단면도.
도 5의 (A)는 도 4의 (B)의 III-III선 단면도, (B) 및 (C)는 접촉 부재의 동작 설명도.
도 6의 (A)~(E)는 보유지지 유닛 및 규제 기구의 동작 설명도.
도 7의 (A)는 보유지지 기구의 다른 구성예를 나타내는 도면, (B)는 보유지지 기구의 측면도, (C)는 도 7의 (A)의 V-V선 단면도, (D)는 접촉 부재의 동작 설명도.
도 8의 (A)는 도 7의 (B)의 VI-VI선 단면도, (B)는 보유지지 유닛 및 규제 기구의 동작 설명도.
도 9의 (A)는 보유지지 기구의 구성을 나타내는 도 2에서의 화살표 D4 방향에서 본 도면, (B)는 보유지지 기구의 측면도, (C)는 도 9의 (A)의 VII-VII선 단면도, (D)는 도 9의 (A)의 VIII-VIII선 단면도.
도 10의 (A)~(E)는 보유지지 유닛 및 규제 기구의 동작 설명도.
도 11은 압압 롤러의 설명도.
도 12는 제어 유닛의 블록도.
도 13의 (A) 및 (B)는 도 1의 제조 장치의 동작 설명도.
도 14의 (A)~(C)는 도 1의 제조 장치의 동작 설명도.
도 15의 (A) 및 (B)는 도 1의 제조 장치의 동작 설명도.
도 16의 (A) 및 (B)는 도 1의 제조 장치의 동작 설명도.
도 17의 (A)~(D)는 도 1의 제조 장치의 동작 설명도.
도 18의 (A)~(C)는 다른 예의 설명도.
도 19의 (A) 및 (B)는 다른 예의 설명도.
도 20의 (A)~(C)는 다른 예의 설명도.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 각 도면에서 화살표 X 및 Y는 서로 직교하는 수평 방향을 나타내고, 화살표 Z는 상하 방향을 나타낸다.
<제1 실시형태>
<장치의 개요>
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 제조 장치(A)의 평면도, 도 2는 제조 장치(A)의 도 1에서의 화살표 D1 방향에서 본 도면, 도 3은 제조 장치(A)의 도 1에서의 화살표 D2 방향에서 본 도면이다.
제조 장치(A)는, 2장의 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 장치이다. 본 실시형태의 경우, 사각형 패널(P1)과 사각형 패널(P2)을 접합한 적층체를 제조한다. 패널(P1)은 예를 들어 화상 표시 패널이고, 패널(P2)은 예를 들어 커버 패널이며, 그 적층체는 화상 표시 장치를 구성한다. 화상 표시 패널로서는 예를 들어 액정 표시 패널(예를 들어 LCD)이고, 그 표시면 측(접합 과정에서는 하면이 됨)에 커버 패널(예를 들어 커버 유리)이 첩부된다. 커버 패널은 광투과성을 가지는 패널이고, 예를 들어 유리판이나 수지판이다. 본 실시형태의 경우, 패널(P2)은 그 상면에 미경화 상태의 접착층이 형성되어 제조 장치(A)에 투입되는 형태를 상정하고 있다. 접착층은 접착제, 접착 시트, 접착 필름 등에 의해 형성할 수 있다.
제조 장치(A)는 반입대(1), 반송 기구(2), 이동탑재 기구(3), 보유지지 기구(4), 압압 기구(5)를 구비한다.
<반입대>
반입대(1)는, 제조 장치(A)에 패널(P1)을 투입하기 위한 유닛이다. 패널(P1)은 접합면을 하면으로 하여 외부 장치 또는 작업자에 의해 반입대(1) 상에 놓인다. 반입대(1)는, 예를 들어 패널(P1)을 비접촉으로 지지하는 에어 부상 테이블이나 패널(P1)과 접촉하여 지지하는 받침대이다. 반입대(1)의 주위에는 패널(P1)의 자세 조정이나 위치 결정을 행하는 장치를 마련해도 된다. 이 장치에 의해 패널(P1)과 패널(P2)의 접합 위치의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이 장치는, 예를 들어 패널(P1)의 주연(周緣)에 접촉함으로써 그 자세 조정이나 위치 결정을 행하는 장치이어도 된다.
<이동탑재 기구>
이동탑재 기구(3)는, 반입대(1)에 반입된 패널(P1)을, 패널(P2)과 접합하는 작업을 행하는 영역(이하, 작업 영역이라고 함)으로 반송하는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 작업 영역은 반송 기구(2)의 상방으로 설정되어 있다. 이동탑재 기구(3)는 보유지지 유닛(31)과 이동 기구(32)를 구비한다.
보유지지 유닛(31)은, 본 실시형태의 경우 패널(P1)을 흡착 보유지지하는 유닛이지만, 패널(P1)을 기계적으로 보유지지(예를 들어 협지(挾持))하는 유닛이어도 된다. 보유지지 유닛(31)의 하면은 수평인 흡착면을 구성하고 있다. 이 흡착면에는 공기구멍이 형성되어 있고, 보유지지 유닛(31) 내부의 통로를 통해 도시하지 않은 공기 흡인 장치에 접속되어 있다. 공기 흡인 장치는 예를 들어 펌프이다. 공기구멍으로부터 공기를 흡인함으로써, 보유지지 유닛(31)은 패널(P1)의 상면을 진공압 흡인하여 흡착한다.
이동 기구(32)는, 보유지지 유닛(31)의 승강(Z방향 이동)과 X방향 이동을 행하는 유닛이다. 이동 기구(32)는 승강축(321), 구동 유닛(322), 레일(323), 한 쌍의 지주(324)를 구비한다.
승강축(321)은 Z방향으로 연장되는 축이며, 그 하단에 보유지지 유닛(31)이 고정되어 있다. 구동 유닛(322)은 승강축(321)을 승강시키는 기구를 구비한다. 이 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다. 레일(323)은 X방향으로 수평으로 연장 설치되어 있고, 그 양단부가 한 쌍의 지주(324)에 의해 지지되어 있다.
구동 유닛(322)은, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 레일(323)의 안내에 따라 X방향으로 왕복 이동 가능하다. 구동 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다. 구동 유닛(322)의 X방향 이동과 승강축(321)의 승강에 따라 보유지지 유닛(31)은 X-Z평면 상을 이동 가능하다.
<반송 기구>
반송 기구(2)는, 제조 장치(A)에 투입된 패널(P2)의 작업 영역으로의 반송과 적층체의 반출을 행하는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 반송 기구(2)는 수평인 반송면(2a) 상에서 패널(P2) 또는 적층체를 Y방향으로 반송한다. 패널(P2)은 반송 기구(2)의 Y방향 한쪽 끝(도 1에서는 좌단)에 외부 장치 또는 작업자에 의해 투입되고, 적층체는 반송 기구(2)의 Y방향 다른 쪽 끝(도 1에서는 우단)으로 반출된다.
반송 기구(2)는, 예를 들어 패널(P2)을 비접촉으로 지지하는 에어 부상 테이블을 이용한 반송 기구나, 패널(P2)과 접촉하여 반송하는 반송 기구(예를 들어 벨트 컨베이어, 롤러 컨베이어)이다.
반송면(2a)에는 Y방향으로 이격된 한 쌍의 피트부(21)가 형성되어 있다. 한 쌍의 피트부(21)는 X방향으로 연장되는 홈이고, 작업 영역의 Y방향 양단부에 위치하고 있다. 피트부(21)는 후술하는 제2 보유지지 유닛(41L, 41R) 등과 반송 기구(2)의 간섭을 회피하기 위해 마련되어 있다.
반송 기구(2)의 주위에는 패널(P2)의 자세 조정이나 위치 결정을 행하는 장치를 마련해도 된다. 이 장치에 의해 패널(P1)과 패널(P2)의 접합 위치의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이 장치는, 예를 들어 패널(P2)의 주연에 접촉함으로써 그 자세 조정이나 위치 결정을 행하는 장치이어도 된다. 이 장치는 작업 영역 또는 작업 영역보다 상류측 영역에 배치할 수 있다. 상류측이란 패널(P2)의 반송 방향의 상류측을 의미한다. 마찬가지로 하류측이란 패널(P2)의 반송 방향의 하류측을 의미한다.
<보유지지 기구>
다음에, 보유지지 기구(4)에 대해 설명한다. 보유지지 기구(4)는, 반송 기구(2)에 의해 반송되는 패널(P2)의 작업 영역으로의 반송과 접합 작업 중에서의 패널(P2)의 보유지지를 행한다.
보유지지 기구(4)는 보유지지 유닛(41L 및 41R), 회동 지지 유닛(42L 및 42R), 규제 기구(43L 및 43R), 승강 기구(44L 및 44R), 수평 이동 기구(45L 및 45R)를 구비한다. 도 1~도 3에 더하여 도 4~도 10을 참조하여 이들 구성에 대해 설명한다.
도 4의 (A)는 보유지지 기구(4)의 구성을 나타내는 도 2에서의 화살표 D3 방향에서 본 도면, 도 4의 (B)는 보유지지 기구(4)의 측면도, 도 4의 (C)는 도 4의 (A)의 I-I선 단면도, 도 4의 (D)는 도 4의 (A)의 II-II선 단면도이다. 도 5의 (A)는 도 4의 (B)의 III-III선 단면도이다. 도 5의 (B) 및 도 5의 (C)는 접촉 부재(413)의 동작 설명도로서, 도 4의 (C)의 IV부분의 확대 파단도이다. 도 6의 (A)~도 6의 (E)는 보유지지 유닛(41L) 및 규제 기구(43L)의 동작 설명도이다.
도 7의 (A)~도 7의 (D)와 도 8의 (A) 및 도 8의 (B)는 보유지지 유닛(41L) 등의 다른 구성예의 설명도이다.
도 9의 (A)는 보유지지 기구(4)의 구성을 나타내는 도 2에서의 화살표 D4 방향에서 본 도면, 도 9의 (B)는 보유지지 기구(4)의 측면도, 도 9의 (C)는 도 9의 (A)의 VII-VII선 단면도, 도 9의 (D)는 도 9의 (A)의 VIII-VIII선 단면도이다. 도 10의 (A)~도 10의 (E)는 보유지지 유닛(41R) 및 규제 기구(43R)의 동작 설명도이다.
보유지지 유닛(41L 및 41R)은, 보유지지 유닛(31)의 패널(P1)의 하방에서 패널(P2)을 보유지지하는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 보유지지 유닛(41L 및 41R)은 패널(P2)을 흡착 보유지지하는 유닛이지만, 패널(P2)을 기계적으로 보유지지하는(예를 들어 협지하는) 유닛이어도 된다.
본 실시형태의 경우, 보유지지 유닛(41L 및 41R)은 서로 Y방향으로 이격되어 있고, 보유지지 유닛(41L)은 패널(P2)의 일변을 보유지지하고, 보유지지 유닛(41R)은 패널(P2)의 그 일변에 대향하는 타변을 보유지지한다. 다시 말하면, 보유지지 유닛(41L)은 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부를 보유지지한다. 보유지지 유닛(41R)은 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부를 보유지지한다.
본 실시형태의 경우, 보유지지 유닛(41L)은 2개 설치되어 있고, X방향으로 이격되어 배치되어 있다. 마찬가지로 보유지지 유닛(41R)도 2개 설치되어 있고, X방향으로 이격되어 배치되어 있다. 보유지지 유닛(41L 및 41R)의 수는 하나이어도 되고 3개 이상이어도 된다. 보유지지 유닛(41L)의 수와 보유지지 유닛(41R)의 수는 같아도 되고 달라도 된다.
주로 도 4~도 6을 참조하여 보유지지 유닛(41L), 회동 지지 유닛(42L), 규제 기구(43L) 및 승강 기구(44L)에 대해 설명한다.
보유지지 유닛(41L)은, Y방향으로 돌출된 한 쌍의 후크형상의 안착부(411)를 구비한다. 안착부(411)는 X방향으로 이격되어 설치되어 있다. 또, 안착부(411)는 하나이어도 되고 3개 이상이어도 된다.
안착부(411)의 상면(411a)에는 흡착부(412)가 형성되어 있다. 흡착부(412)는 안착부(411)의 상면(411a)에 개구된 구멍이다. 이 구멍에는 안착부(411) 내에 형성된 공기 통로(411b)가 연통되어 있고, 공기 통로(411b)는 도시하지 않은 공기 흡인 장치에 접속되어 있다. 공기 흡인 장치는 예를 들어 펌프이다. 흡착부(412)로부터 공기를 흡인함으로써, 보유지지 유닛(41L)은 패널(P2)의 하면을 진공압 흡인하여 흡착한다. 상면(411a)은 평탄, 평활하게 형성되어 있고, 이에 따라 패널(P2)이 밀접되는 패널 보유지지면을 형성하고 있다.
보유지지 유닛(41L)의 상면에는, 한 쌍의 접촉 부재(413)와, 한 쌍의 접촉 부재(413)를 Y방향으로 진퇴시키는 액추에이터(414)를 구비한다. 접촉 부재(413)와 액추에이터(414)는 패널(P2)을 기계적으로 보유지지하는 클램프 기구를 구성한다. 액추에이터(414)는 예를 들어 에어 실린더 혹은 전동 실린더이며, 그 로드부의 단부에 접촉 부재(413)가 접속되어 있다. 액추에이터(414)는 퇴피 위치와 보유지지 위치의 사이에서 접촉 부재(413)를 안착부(411)의 상면(411a) 상에서 진퇴시킨다. 도 5의 (B)는 접촉 부재(413)가 퇴피 위치에 있는 경우를 나타내고, 도 5의 (C)는 접촉 부재(413)가 보유지지 위치에 있는 경우를 나타내고 있다.
당접 부재(413)의 단부는 상면측이 하면측보다 앞으로 나온 처마형상을 이루고 있고, 그 단면은 하향 경사부(413a)를 형성하고 있다. 경사부(413a)가 도 5의 (C)에 도시된 바와 같이 패널(P2)의 단연(端緣; 끝테두리)에 접촉함으로써, 패널(P2)의 단연은 경사부(413a)와 안착부(411)의 상면(411a)의 사이에 위치하여 협지된 상태, 다시 말하면 상면측으로부터 눌러넣어진 상태가 된다.
패널(P2)의 보유지지는 흡착부(412)에 의한 진공압 흡인만으로 가능하지만, 본 실시형태에서는 보유지지력을 보강하기 위해 접촉 부재(413)에 의해서도 패널(P2)을 기계적으로 보유지지하는 구성으로 하고 있다.
또, 본 실시형태에서는 접촉 부재(413)를 액추에이터(414)에 의해 진퇴시키는 구성으로 하였지만, 접촉 부재(413)를 보유지지 유닛(41L)에 고정적으로 배치하는 구성도 채용 가능하다. 이 경우, 예를 들어 후술하는 수평 이동 기구(45L)에 의해 보유지지 유닛(41L) 전체의 이동에 의해, 접촉 부재(413)와 상면(411a)의 사이에 패널(P2)의 단연이 위치하도록 하면 좋다.
회동 지지 유닛(42L)은 보유지지 유닛(41L)을 회동 가능하게 지지하는 역U자형 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 하나의 보유지지 유닛(41L)에 대해 하나의 회동 지지 유닛(42L)이 설치되어 있지만, 복수의 보유지지 유닛(41L)을 하나의 회동 지지 유닛(42L)으로 지지하는 구성으로도 된다.
회동 지지 유닛(42L)은 한 쌍의 측벽(421)과, 한 쌍의 측벽(421)의 상부를 접속하는 상벽(422)을 구비한다. 한 쌍의 측벽(421)은 X방향으로 서로 이격되어 배치되고, 그 면방향은 Y-Z평면과 평행이다.
한 쌍의 측벽(421) 사이에는 축(423)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 축(423)은 X방향과 평행한 축이며, 다시 말하면 보유지지 유닛(31)에 보유지지된 패널(P1)의 패널면에 평행한 축이다. 축(423)은 보유지지 유닛(41L)을 관통하고 보유지지 유닛(41L)에 고정되어 있다. 따라서, 보유지지 유닛(41L)은 축(423) 둘레로 회동 가능하게 지지되어 있다. 또, 본 실시형태에서는 축(423)과 보유지지 유닛(41L)을 서로 고정하는 구성으로 하였지만, 축(423)에 대해 보유지지 유닛(41L)이 회동 가능한 구성이어도 된다.
회동 지지 유닛(42L)의 한쪽 측부에는 축(423)의 회동 범위를 규제하는 기구가 설치되어 있다. 이 기구는 아암(424)과 2개의 스토퍼(425)를 구비한다. 축(423)의 회동 범위를 규제함으로써 보유지지 유닛(41L)의 회동 범위가 규제되게 된다.
아암(424)은, 회동 지지 유닛(42L)의 한쪽 측부에서의 축(423)의 단부에 고정되어 있다. 2개의 스토퍼(425)는 회동 지지 유닛(42L)의 한쪽 측부에서의 측벽(421)의 외면에 고정되어 있고, 2개의 스토퍼(425)의 사이에 아암(424)이 위치하고 있다. 축(423)은, 아암(424)이 한쪽 스토퍼(425)에 접촉하는 위치부터 아암(424)이 다른 쪽 스토퍼(425)에 접촉하는 위치까지의 소정의 각도 범위 내에서 회동 가능하다.
규제 기구(43L)는 보유지지 유닛(41L)의 회동을 규제 또는 규제 해제하는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 하나의 보유지지 유닛(41L)에 대해 하나의 규제 기구(43L)가 설치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 규제 기구(43L)는 에어 실린더, 전동 실린더 혹은 전자 솔레노이드 등의 신축형 액추에이터이며, 본체부(431)와 본체부(431)로부터 진퇴하는 로드부(432)를 구비한다. 본체부(431)는, 로드부(432)의 진퇴 방향이 Z방향이 되도록 회동 지지 유닛(42L)의 상벽(422)에 고정되어 있다. 로드부(432)는 보유지지 유닛(41L)의 회동을 규제하는 규제 위치와 보유지지 유닛(41L)의 회동 규제를 해제하는 해제 위치의 사이에서 이동 가능하다. 규제 위치에 있는 경우, 로드부(432)의 선단(하단)이 보유지지 유닛(41L)의 상면에 접촉한다. 접촉하는 위치는, 축(423)보다 반송 방향 하류측에서 한 쌍의 안착부(411) 사이의 위치이다. 퇴피 위치에 있는 경우, 로드부(432)의 선단(하단)이 보유지지 유닛(41L)의 상면으로부터 이격된다.
도 6을 참조하여 규제 기구(43L)의 동작 및 보유지지 유닛(41L)의 회동 형태에 대해 설명한다. 도 6의 (A) 및 도 6의 (B)는 규제 기구(43L)의 로드부(432)가 규제 위치에 있어 보유지지 유닛(41L)의 회동이 규제되어 있는 상태를 나타낸다. 도 6의 (A)는 도 6의 (B)에서 측벽(421) 등의 도시를 생략한 것이다. 로드부(432)의 선단이 보유지지 유닛(41L)의 상면에 접촉하고 있기 때문에, 이 도면에서 반시계 방향에서의 보유지지 유닛(41L)의 회동이 규제된다. 아암(424)은 이 도면에서 우측 스토퍼(425)에 접촉하고 있고, 이 도면에서 시계 방향에서의 보유지지 유닛(41L)의 회동도 규제되어 있다. 이 상태에서는, 안착부(411)의 상면(411a)이 수평이며, 보유지지되는 패널(P2)의 단부는 수평 자세로 보유지지되게 된다.
도 6의 (C)는 규제 기구(43L)의 로드부(432)가 해제 위치로 상승되어 보유지지 유닛(41L)의 회동 규제가 해제된 상태를 나타낸다. 보유지지 유닛(41L)은 한 쌍의 스토퍼(425)에 의해 규정되는 소정의 각도 범위 내에서 자유 회동이 가능한 플로팅 상태에 있다. 도 6의 (D) 및 도 6의 (E)는 규제 기구(43L)의 로드부(432)가 해제 위치에 있고, 보유지지 유닛(41L)이 이 도면에서 반시계 방향으로 최대한 회동한 상태를 나타낸다. 도 6의 (D)는 도 6의 (E)에서 측벽(421) 등의 도시를 생략한 것이다. 아암(424)은 이 도면에서 좌측 스토퍼(425)에 접촉하고 있고, 이 도면에서 반시계 방향에서의 보유지지 유닛(41L)의 회동이 규제되어 있다. 이 상태에서는, 안착부(411)의 상면(411a)이 수평면에 대해 경사져 있고, 보유지지되는 패널(P2)의 단부는 경사진 자세로 보유지지되게 된다.
본 실시형태에서는, 보유지지 유닛(41L)이 회동 가능하기 때문에, 후술하는 바와 같이 보유지지되는 패널(P2)의 자세에 따라 보유지지 유닛(41L)의 자세 변화가 가능해진다. 본 실시형태의 경우, 보유지지 유닛(41L)의 회동은 자유 회동으로 하고 있지만, 보유지지 유닛(41L)을 강제적으로 회동시키는 구동 기구를 마련해도 된다. 구동 기구는 예를 들어 모터를 구동원으로 한 기구로 할 수 있다. 구동 기구를 마련함으로써, 보유지지 유닛(41L)의 자세를 제어하는 것이 가능해진다. 그러나, 패널(P2)의 자세에 따라 보유지지 유닛(41L)의 자세를 변화시키는 경우, 본 실시형태와 같이 보유지지 유닛(41L)을 자유 회동 가능한 플로팅 상태로 하는 것이 패널(P2)에 불필요한 외력이 작용하는 것을 회피할 수 있어 보다 적합하다.
다음에, 승강 기구(44L)에 대해 주로 도 2, 도 4를 참조하여 설명한다. 승강 기구(44L)는, 보유지지 유닛(41L)을 보유지지 유닛(31)에 대해 상하로 이동시키는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 1세트의 보유지지 유닛(41L) 및 회동 지지 유닛(42L)에 대해 하나의 승강 기구(44L)가 설치되어 있다.
승강 기구(44L)는, 승강축(441)과 구동 유닛(442)을 구비한다. 승강축(441)은 Z방향으로 연장되는 축이며, 그 하단에 회동 지지 유닛(42L)의 상벽(422)이 고정되어 있다. 구동 유닛(442)은 승강축(441)을 승강시키는 기구를 구비한다. 이 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다.
다음에, 수평 이동 기구(45L)에 대해 주로 도 1, 도 2를 참조하여 설명한다. 본 실시형태의 경우, 수평 이동 기구(45L)는 보유지지 유닛(41L)을 Y방향 및 X방향으로 이동시키는 기구이지만, 보유지지 유닛(41L)을 Y방향으로만 이동시키는 기구이어도 된다.
수평 이동 기구(45L)는, 가동 레일(451)과 한 쌍의 슬라이더(452)와 한 쌍의 레일(453)을 구비한다. 가동 레일(451)은 반송 기구(2)를 횡단하도록 X방향으로 연장 설치된 빔 부재이다. 2개의 구동 유닛(442)은 X방향으로 이동 가능하게 가동 레일(451)과 걸어맞추어져 지지되어 있다.
구동 유닛(442)은 도시하지 않은 구동 기구에 의해 가동 레일(451)의 안내에 따라 X방향으로 왕복 이동 가능하다. 이 구동 기구는 구동 유닛(442)마다 설치되고, 2개의 구동 유닛(442)은 서로 독립하여 X방향으로 이동 가능하다. 2개의 구동 유닛(442)의 X방향 거리를 변경함으로써, 2개의 보유지지 유닛(41L)의 X방향 거리가 변경된다. 이에 의해, 크기가 다른 패널(P2)을 보유지지할 수 있다. 구동 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다.
가동 레일(451)의 양단부에는 각각 슬라이더(452)가 고정되어 있다. 슬라이더(452)는 Y방향으로 이동 가능하게 레일(453)과 걸어맞춤되어 있다. 한 쌍의 레일(453)은 서로 X방향으로 이격되어 평행하게 배치되어 있다. 각 레일(453)은 Y방향으로 연장 설치되어 있다. 슬라이더(452)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 레일(453)의 안내에 따라 Y방향으로 왕복 이동 가능하다. 이 구동 기구는 한 쌍의 슬라이더(452) 중 적어도 한쪽에 마련할 수 있고, 가동 레일(451)을 Y방향으로 평행 이동시킨다. 구동 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다.
가동 레일(451)이 Y방향으로 평행이동함으로써, 2개의 보유지지 유닛(41L)을 보유지지 유닛(41R)에 대해 근접 또는 이격시킬 수 있다.
다음에, 주로 도 7 및 도 8을 참조하여 상술한 보유지지 유닛(41L), 회동 지지 유닛(42L) 및 규제 기구(43L)의 다른 구성예인 보유지지 유닛(41L'), 회동 지지 유닛(42L') 및 규제 기구(43L')에 대해 설명한다. 보유지지 유닛(41L')은, 보유지지 유닛(41L)보다 패널(P1 및 P2)에 대한 분진의 부착을 저감시키는 점 등에서, 보다 바람직한 구성으로 되어 있다.
도 7의 (A)는 보유지지 유닛(41L') 등을 이용한 경우의 보유지지 기구(4)의 구성을 나타내는 도면으로, 도 2에서의 화살표 D3 방향에서 본 도면에 상당하는 도면이다. 도 7의 (B)는 도 7의 (A)의 보유지지 기구(4)의 측면도, 도 7의 (C)는 도 7의 (A)의 V-V선 단면도, 도 7의 (D)는 보유지지 유닛(41L')의 동작 설명도이다. 도 8의 (A)는 도 7의 (B)의 VI-VI선 단면도, 도 8의 (B)는 보유지지 유닛(41L')의 동작 설명도이다.
보유지지 유닛(41L'), 회동 지지 유닛(42L') 및 규제 기구(43L')의 각 구성 중에서 상술한 보유지지 유닛(41L), 회동 지지 유닛(42L) 및 규제 기구(43L)의 각 구성과 동일한 구성 또는 대응하는 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 있다. 이하, 다른 구성을 중심으로 설명한다.
보유지지 유닛(41L')은, Y방향으로 돌출된 한 쌍의 후크형상의 안착부(411) 및 안착부(411)의 상면(411a)에 형성된 흡착부(412)를 구비한다. 본 구성예에서는, 보유지지 유닛(41L')은 그 바닥부에 오목부를 가지고 경량화되어 있고, 도 7의 (A)에서 나타내는 시선도에서는 축(423)의 중앙부가 노출되어 있다.
보유지지 유닛(41L')의 상면에는 접촉 부재(413)가 설치되어 있다. 본 구성예에서는, 접촉 부재(413)는 한 쌍의 안착부(411) 사이에 걸친 크기를 가지는 1장의 판형 부재로 하고 있다.
당접 부재(413)를 Y방향으로 진퇴시키는 액추에이터(414)는, 지지 부재(416)를 통해 보유지지 유닛(41L')에 접속되어 지지되어 있다. 지지 부재(416)는 보유지지 유닛(41L')의 하방으로 연장 설치되고, 액추에이터(414)는 보유지지 유닛(41L')의 하측에 배치되어 있다. 접촉 부재(413)와 액추에이터(414)는 패널(P2)을 기계적으로 보유지지하는 클램프 기구를 구성한다.
액추에이터(414)의 로드부의 단부에는 브라켓(415)을 통해 접촉 부재(413)가 접속되어 있다. 액추에이터(414)는 퇴피 위치와 보유지지 위치의 사이에서 접촉 부재(413)를 안착부(411)의 상면(411a) 상에서 진퇴시킨다. 도 7의 (C)는 접촉 부재(413)가 퇴피 위치에 있는 경우를 나타내고, 도 7의 (D)는 접촉 부재(413)가 보유지지 위치에 있는 경우를 나타내고 있다.
본 구성예에서는, 액추에이터(414)가 안착부(411)의 상면(411a)보다 하방에 위치하고 있으므로, 액추에이터(414)의 구동에 의해 분진이 발생한 경우, 상면(411a)에 보유지지되는 패널(P2)에 분진의 부착을 저감할 수 있다.
회동 지지 유닛(42L')의 구성은 기본적으로 회동 지지 유닛(42L)과 마찬가지의 구성이며, 측벽(421) 및 상벽(422)의 형상 또는 크기가 다른 정도이다. 본 구성예에서도, 축(423)은 보유지지 유닛(41L')을 관통하고 보유지지 유닛(41L')에 고정되어 있지만, 축(423)에 대해 보유지지 유닛(41L')이 회동 가능한 구성이어도 된다. 또한, 회동 지지 유닛(42L')의 한쪽 측부에는 축(423)의 회동 범위를 규제하는 기구(아암(424) 및 2개의 스토퍼(425))가 설치되어 있다.
규제 기구(43L')의 구성도 기본적으로 규제 기구(43L)와 동일하고, 본체부(431)와 본체부(431)로부터 진퇴하는 로드부(432)를 구비하지만, 보유지지 유닛(41L')에 대한 접촉 부위가 다르다. 본 구성예에서는, 보유지지 유닛(41L')의 상면에 접촉 부재(413)를 걸치도록 배치된 역U자형 틀체(415)가 고정되어 있다. 보유지지 유닛(41L')의 회동을 규제하는 경우, 로드부(432)의 선단(하단)은 틀체(415)의 상면에 접촉한다. 도 7의 (C) 및 도 7의 (D)는 로드부(432)가 규제 위치에 있는 경우를 나타낸다. 안착부(411)의 상면(411a)이 수평이며, 보유지지되는 패널(P2)의 단부는 수평 자세로 보유지지되게 된다.
도 8의 (B)는 로드부(432)가 퇴피 위치에 있는 경우를 나타내고 있다. 퇴피 위치에 있는 경우, 로드부(432)의 선단(하단)이 틀체(415)의 상면으로부터 이격된다. 보유지지 유닛(41L')은 자유 회동 가능한 플로팅 상태가 되고, 이 도면에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(41L')이 경사진 자세를 취하는 것이 가능해진다. 이 경우, 보유지지되는 패널(P2)의 단부는 경사진 자세로 보유지지되게 된다.
다음에, 주로 도 9 및 도 10을 참조하여 보유지지 유닛(41R), 회동 지지 유닛(42R), 규제 기구(43R) 및 승강 기구(44R)에 대해 설명한다. 보유지지 유닛(41R), 회동 지지 유닛(42R), 규제 기구(43R) 및 승강 기구(44R)의 구성은 기본적으로 상술한 보유지지 유닛(41L), 회동 지지 유닛(42L), 규제 기구(43L) 및 승강 기구(44L)와 마찬가지이고, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 있다.
보유지지 유닛(41R)은, Y방향으로 돌출된 한 쌍의 후크형상의 안착부(411)를 구비한다. 안착부(411)는 X방향으로 이격되어 설치되어 있다. 또, 안착부(411)는 하나이어도 되고 3개 이상이어도 된다.
안착부(411)의 상면(411a)에는 흡착부(412)가 형성되어 있다. 흡착부(412)는 안착부(411)의 상면(411a)에 개구된 구멍이다. 이 구멍에는 안착부(411) 내에 형성된 공기 통로(411b)가 연통되어 있고, 공기 통로(411b)는 도시하지 않은 공기 흡인 장치에 접속되어 있다. 공기 흡인 장치는 예를 들어 펌프이다. 흡착부(412)로부터 공기를 흡인함으로써, 보유지지 유닛(41R)은 패널(P2)의 하면을 진공압 흡인하여 흡착한다. 상면(411a)은 평탄, 평활하게 형성되어 있고, 이에 따라 패널(P2)이 밀접되는 패널 보유지지면을 형성하고 있다.
본 실시형태에서는, 보유지지 유닛(41R)은 보유지지 유닛(41L)과 달리 접촉 부재(413) 및 액추에이터(414)를 구비하지 않은 구성의 것을 예로 들고 있다. 그러나, 보유지지 유닛(41R)으로서 보유지지 유닛(41L)과 동일한 구성의 것을 채용해도 되는 것은 물론이다.
회동 지지 유닛(42R)은 보유지지 유닛(41R)을 회동 가능하게 지지하는 역U자형 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 하나의 보유지지 유닛(41R)에 대해 하나의 회동 지지 유닛(42R)이 설치되어 있지만, 복수의 보유지지 유닛(41R)을 하나의 회동 지지 유닛(42R)으로 지지하는 구성으로도 된다.
회동 지지 유닛(42R)은 한 쌍의 측벽(421)과, 한 쌍의 측벽(421)의 상부를 접속하는 상벽(422)을 구비한다. 한 쌍의 측벽(421)은 X방향으로 서로 이격되어 배치되고, 그 면방향은 Y-Z평면과 평행이다.
한 쌍의 측벽(421) 사이에는 축(423)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 축(423)은 X방향과 평행한 축이며, 다시 말하면 보유지지 유닛(31)에 보유지지된 패널(P1)의 패널면에 평행한 축이다. 축(423)은 보유지지 유닛(41R)을 관통하고 보유지지 유닛(41R)에 고정되어 있다. 따라서, 보유지지 유닛(41R)은 축(423) 둘레로 회동 가능하게 지지되어 있다. 또, 본 실시형태에서는 축(423)과 보유지지 유닛(41R)을 서로 고정하는 구성으로 하였지만, 축(423)에 대해 보유지지 유닛(41R)이 회동 가능한 구성이어도 된다.
회동 지지 유닛(42R)의 한쪽 측부에는 축(423)의 회동 범위를 규제하는 기구가 설치되어 있다. 이 기구는 아암(424)과 2개의 스토퍼(425)를 구비한다. 축(423)의 회동 범위를 규제함으로써 보유지지 유닛(41R)의 회동 범위가 규제되게 된다.
아암(424)은, 회동 지지 유닛(42R)의 한쪽 측부에서의 축(423)의 단부에 고정되어 있다. 2개의 스토퍼(425)는 회동 지지 유닛(42R)의 한쪽 측부에서의 측벽(421)의 외면에 고정되어 있고, 2개의 스토퍼(425) 사이에 아암(424)이 위치하고 있다. 축(423)은, 아암(424)이 한쪽 스토퍼(425)에 접촉하는 위치부터 아암(424)이 다른 쪽 스토퍼(425)에 접촉하는 위치까지의 소정의 각도 범위 내에서 회동 가능하다.
규제 기구(43R)는 보유지지 유닛(41R)의 회동을 규제 또는 규제 해제하는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 하나의 보유지지 유닛(41R)에 대해 하나의 규제 기구(43R)가 설치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 규제 기구(43R)는 에어 실린더, 전동 실린더 혹은 전자 솔레노이드 등의 신축형 액추에이터이며, 본체부(431)와 본체부(431)로부터 진퇴하는 로드부(432)를 구비한다. 본체부(431)는, 로드부(432)의 진퇴 방향이 Z방향이 되도록 회동 지지 유닛(42R)의 상벽(422)에 고정되어 있다. 로드부(432)는 보유지지 유닛(41R)의 회동을 규제하는 규제 위치와 보유지지 유닛(41L)의 회동 규제를 해제하는 해제 위치의 사이에서 이동 가능하다. 규제 위치에 있는 경우, 로드부(432)의 선단(하단)이 보유지지 유닛(41L)의 상면에 접촉한다. 접촉하는 위치는 축(423)보다 하류측의 위치이다. 퇴피 위치에 있는 경우, 로드부(432)의 선단(하단)이 보유지지 유닛(41L)의 상면으로부터 이격된다.
도 10을 참조하여 규제 기구(43R)의 동작 및 보유지지 유닛(41R)의 회동 형태에 대해 설명한다. 도 10의 (A) 및 도 10의 (B)는 규제 기구(43R)의 로드부(432)가 규제 위치에 있어 보유지지 유닛(41R)의 회동이 규제되어 있는 상태를 나타낸다. 도 10의 (A)는 도 10의 (B)에서 측벽(421) 등의 도시를 생략한 것이다. 로드부(432)의 선단이 보유지지 유닛(41R)의 상면에 접촉하고 있기 때문에, 이 도면에서 반시계 방향에서의 보유지지 유닛(41R)의 회동이 규제된다. 아암(424)은 이 도면에서 우측 스토퍼(425)에 접촉하고 있고, 이 도면에서 시계 방향에서의 보유지지 유닛(41R)의 회동도 규제되어 있다. 이 상태에서는, 안착부(411)의 상면(411a)이 수평이며, 보유지지되는 패널(P2)의 단부는 수평 자세로 보유지지되게 된다.
도 10의 (C)는 규제 기구(43R)의 로드부(432)가 해제 위치로 상승되어 보유지지 유닛(41R)의 회동 규제가 해제된 상태를 나타낸다. 보유지지 유닛(41R)은 한 쌍의 스토퍼(425)에 의해 규정되는 소정의 각도 범위 내에서 자유 회동이 가능한 플로팅 상태에 있다. 도 10의 (D) 및 도 10의 (E)는 규제 기구(43R)의 로드부(432)가 해제 위치에 있고, 보유지지 유닛(41R)이 이 도면에서 반시계 방향으로 최대한 회동한 상태를 나타낸다. 도 10의 (D)는 도 10의 (E)에서 측벽(421) 등의 도시를 생략한 것이다. 아암(424)은 이 도면에서 좌측 스토퍼(425)에 접촉하고 있고, 이 도면에서 반시계 방향에서의 보유지지 유닛(41R)의 회동이 규제되어 있다. 이 상태에서는, 안착부(411)의 상면(411a)이 수평면에 대해 경사져 있고, 보유지지되는 패널(P2)의 단부는 경사진 자세로 보유지지되게 된다.
본 실시형태에서는, 보유지지 유닛(41R)이 회동 가능하기 때문에, 후술하는 바와 같이 보유지지되는 패널(P2)의 자세에 따라 보유지지 유닛(41R)의 자세 변화가 가능해진다. 본 실시형태의 경우, 보유지지 유닛(41R)의 회동은 자유 회동으로 하고 있지만, 보유지지 유닛(41R)을 강제적으로 회동시키는 구동 기구를 마련해도 된다. 구동 기구는 예를 들어 모터를 구동원으로 한 기구로 할 수 있다. 구동 기구를 마련함으로써, 보유지지 유닛(41R)의 자세를 제어하는 것이 가능해진다. 그러나, 패널(P2)의 자세에 따라 보유지지 유닛(41R)의 자세를 변화시키는 경우, 본 실시형태와 같이 보유지지 유닛(41R)을 자유 회동 가능한 플로팅 상태로 하는 것이 패널(P2)에 불필요한 외력이 작용하는 것을 회피할 수 있어 보다 적합하다.
다음에, 승강 기구(44R)에 대해 주로 도 2, 도 4를 참조하여 설명한다. 승강 기구(44R)는, 보유지지 유닛(41R)을 보유지지 유닛(31)에 대해 상하로 이동시키는 유닛이다. 본 실시형태의 경우, 1세트의 보유지지 유닛(41R) 및 회동 지지 유닛(42R)에 대해 하나의 승강 기구(44R)가 설치되어 있다.
승강 기구(44R)는 승강축(441)과 구동 유닛(442)을 구비한다. 승강축(441)은 Z방향으로 연장되는 축이며, 그 하단에 회동 지지 유닛(42R)의 상벽(422)이 고정되어 있다. 구동 유닛(442)은 승강축(441)을 승강시키는 기구를 구비한다. 이 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다. 승강 기구(44L)와 승강 기구(44R)는 독립하여 구동된다. 따라서, 보유지지 유닛(41L) 및 회동 지지 유닛(42L)과 보유지지 유닛(41R) 및 회동 지지 유닛(42R)은 서로 독립하여 승강 가능하다.
다음에, 수평 이동 기구(45R)에 대해 주로 도 1, 도 2를 참조하여 설명한다. 본 실시형태의 경우, 수평 이동 기구(45R)는 보유지지 유닛(41R)을 Y방향 및 X방향으로 이동시키는 기구이지만, 보유지지 유닛(41R)을 Y방향으로만 이동시키는 기구이어도 된다.
수평 이동 기구(45R)는, 가동 레일(451)과 한 쌍의 슬라이더(452)와 한 쌍의 레일(453)을 구비한다. 가동 레일(451)은 반송 기구(2)를 횡단하도록 X방향으로 연장 설치된 빔 부재이다. 2개의 구동 유닛(442)은 X방향으로 이동 가능하게 가동 레일(451)과 걸어맞추어져 지지되어 있다.
구동 유닛(442)은 도시하지 않은 구동 기구에 의해 가동 레일(451)의 안내에 따라 X방향으로 왕복 이동 가능하다. 이 구동 기구는 구동 유닛(442)마다 설치되고, 2개의 구동 유닛(442)은 서로 독립하여 X방향으로 이동 가능하다. 2개의 구동 유닛(442)의 X방향 거리를 변경함으로써, 2개의 보유지지 유닛(41R)의 X방향 거리가 변경된다. 이에 의해, 크기가 다른 패널(P2)을 보유지지할 수 있다. 구동 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다.
가동 레일(451)의 양단부에는 각각 슬라이더(452)가 고정되어 있다. 슬라이더(452)는 Y방향으로 이동 가능하게 레일(453)과 걸어맞춤되어 있다. 한 쌍의 레일(453)은 서로 X방향으로 이격되어 평행하게 배치되어 있다. 각 레일(453)은 Y방향으로 연장 설치되어 있다. 슬라이더(452)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 레일(453)의 안내에 따라 Y방향으로 왕복 이동 가능하다. 이 구동 기구는 한 쌍의 슬라이더(452) 중 적어도 한쪽에 마련할 수 있고, 가동 레일(451)을 Y방향으로 평행이동시킨다. 구동 기구는 예를 들어 볼 스크류 기구나 벨트 전동 기구 등을 채용 가능하다.
가동 레일(451)이 Y방향으로 평행이동함으로써, 2개의 보유지지 유닛(41R)을 보유지지 유닛(41L)에 대해 근접 또는 이격시킬 수 있다. 본 실시형태에서는, 보유지지 유닛(41L)에 대해 수평 이동 기구(45L)를 마련하고, 보유지지 유닛(41R)에 대해 수평 이동 기구(45R)를 마련하고 있다. 이에 의해, 보유지지 유닛(41L)과 보유지지 유닛(41R)이 각각 독립하여 서로 근접 또는 이격되는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그러나, 수평 이동 기구(45L)와 수평 이동 기구(45R) 중 한쪽만을 마련해도 된다. 이 경우, 보유지지 유닛(41L)과 보유지지 유닛(41R) 중 한쪽만이 다른 쪽에 대해 근접 또는 이격되는 구성이 된다.
<압압 기구>
압압 기구(5)는, 보유지지 유닛(31)에 보유지지된 패널(P1)에 대해 보유지지 유닛(41L 및 41R)에서 보유지지된 패널(P2)을 그 두께 방향(여기서는 Z방향)으로 압압하는 기구이다.
압압 유닛(5)은 압압 롤러(51)와 롤러 이동 기구(52)를 구비한다. 압압 롤러(51)는 반송 기구(2)를 걸치도록 X방향으로 수평으로 연장 설치되어 있고, 롤러 이동 기구(52)에 의해 Z방향과 Y방향으로 이동된다. 압압 롤러(51)는 예를 들어 금속제의 축과, 이 축의 주위를 피복하는 고무제 혹은 수지제의 원통체(롤러 부재)로 구성된다. 도 11은 압압 롤러(51)의 평면도이다.
본 실시형태의 경우, 압압 롤러(51)의 둘레면에는 복수의 홈(51a)과 복수의 홈(51b)이 형성되어 있다.
홈(51a)은, 보유지지 유닛(41L 및 41R)과 압압 롤러(51)의 간섭을 회피하는 것을 목적으로 한 홈이다. 홈(51a)은, 압압 롤러(51)의 둘레면에서 보유지지 유닛(41L 및 41R)과 대향하는 부분에 배치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 안착부(411)와 대향하는 부분에 형성되어 있고, 안착부(411)의 폭 및 두께보다 넓은 폭 및 깊이를 가지고 있다. 이러한 홈(51a)을 마련함으로써, 패널(P2)이 패널(P1)과 같은 크기인 경우 혹은 패널(P1)보다 작은 크기라도, 패널(P2)의 단연 주변을 안착부(411)와 간섭하지 않고 압압하는 것이 가능해진다.
단일 크기의 패널(P2)의 사용을 상정한 경우, 홈(51a)의 수는 안착부(411)의 수와 같아도 된다. 본 실시형태에서는, 복수 크기의 패널(P2)의 사용을 상정하여 안착부(411)의 수보다 홈(51a)의 수를 많게 하고 있다.
홈(51b)은 패널(P1)과 패널(P2)의 밀착성을 향상시키는 것을 목적으로 한 홈이며, 홈(51a)보다 폭 및 깊이가 각각 작게 되어 있고, 또한 압압 롤러(51)의 둘레면 전역에 걸쳐 형성되어 있다. 홈(51b)의 피치는 등피치이어도 되고 부등피치이어도 되지만, 여기서는 등피치로 하고 있다.
패널(P1)의 접합면에는 미소한 요철이 있는 경우가 있다. 홈(51b)을 마련함으로써, 압압 롤러(51)의 둘레면은 홈(51b) 사이의 돌기에 의해 형성되고, 이 돌기는 가요성을 가지고 탄성 변형되기 때문에 요철에 대해 보다 균일한 압압력을 발휘하는 것이 가능해진다. 압압 롤러(51)의 둘레면을 탄성 변형하기 쉽게 하는 다른 방법으로서는, 압압 롤러(51)의 원통체를 보다 경도가 낮은 재료로 형성하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이 방법에서는 패널(P2)과 압압 롤러(51)의 둘레면의 접촉 면적이 커지므로 양자간 마찰이 커진다. 이 때문에, 압압 롤러(51)의 이동에 따라 패널(P1)에 대해 패널(P2)이 어긋나 버리는 경우가 있다. 본 실시형태와 같이 홈(51b)을 마련함으로써, 패널(P2)과 압압 롤러(51)의 둘레면의 접촉 면적이 작아지고 패널(P2)의 어긋남도 방지할 수 있다.
롤러 이동 기구(52)는 복수의 지지부(521), 복수의 승강 기구(522), 복수의 슬라이더(523), 복수의 레일(524)을 구비한다. 지지부(521)와 승강 기구(522)와 슬라이더(523)와 레일(524)은 2세트 설치되어 있다. 승강 기구(522)는 슬라이더(523)에 탑재되고, 지지부(521)는 승강 기구(522)에 탑재되어 있다.
압압 롤러(51)는, 그 양단부가 지지부(521)에 회전 가능하게 지지되어 자유 회전 가능하다. 레일(524)은 반송 기구(2)를 사이에 두고 그 양측에 하나씩 배치되어 있으며, Y방향으로 수평으로 연장 설치되어 있다. 슬라이더(523)는 레일(524)과 걸어맞춤하여 레일(524)의 안내에 의해 Y방향으로 이동 가능하다. 슬라이더(523)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 Y방향으로 왕복 이동된다. 2개의 슬라이더(523)를 동기적으로 이동시킴으로써, 압압 롤러(51)를 Y방향으로 평행이동할 수 있다.
승강 기구(522)는 예를 들어 에어 실린더, 전동 실린더, 전자 솔레노이드 등의 액추에이터를 그 구동원으로서 포함하고, 지지부(521)를 승강한다. 2개의 지지부(521)를 동기적으로 승강 이동시킴으로써, 압압 롤러(51)를 Z방향으로 평행이동(승강)시킬 수 있다.
<제어 유닛>
도 12는 제조 장치(A)의 제어를 행하는 제어 유닛(6)의 블록도이다. 제어 유닛(6)은 CPU 등의 처리부(61)와, RAM, ROM 등의 기억부(62)와, 외부 디바이스와 처리부(61)를 인터페이스하는 인터페이스부(63)를 포함한다. 인터페이스부(63)에는 호스트 컴퓨터와의 통신을 행하는 통신 인터페이스도 포함된다. 호스트 컴퓨터는 예를 들어 제조 장치(A)가 배치된 제조 설비 전체를 제어하는 컴퓨터이다.
처리부(61)는 기억부(62)에 기억된 프로그램을 실행하고, 각종 센서(65)의 검출 결과나 상위 컴퓨터 등의 지시에 기초하여 각종 액추에이터(64)를 제어한다. 각종 센서(65)에는, 예를 들어 반송 기구(2)에 의해 반송되는 패널(P2)의 위치를 검출하는 센서, 보유지지 유닛(41L 및 41R)의 위치를 검출하는 센서, 지지부(521)의 위치를 검출하는 센서, 보유지지 유닛(31)의 위치를 검출하는 센서 등 각종 센서가 포함된다. 각종 액추에이터(64)에는, 예를 들어 흡착부(411a)용 공기 장치, 보유지지 유닛(31)용 공기 장치, 각종 기구의 구동원(예를 들어 모터) 등이 포함된다.
<제어예>
처리부(61)의 제어예에 대해 도 13~도 17을 참조하여 설명한다. 여기서는 패널(P1)과 패널(P2)의 접합에 대해 설명한다. 또, 접합 작업 중, 보유지지 기구(4) 중에서 각 액추에이터(414), 각 규제 기구(43L), 각 승강 기구(44L)는 동기적으로 제어된다. 마찬가지로 각 규제 기구(43R), 각 승강 기구(44R)는 동기적으로 제어된다. 또한, 초기 상태로서 규제 기구(43L, 43R)는 보유지지 유닛(41L, 41R)의 회동을 규제하고, 접촉 부재(413)는 퇴피 위치에 위치하고 있다.
반송 기구(2)에 반입된 패널(P2)은 도 13의 (A)에 도시된 바와 같이 작업 영역으로 반송된다. 이 때, 보유지지 유닛(41L)은 패널(P2)의 반송 방향 상류측에, 보유지지 유닛(41R)은 패널(P2)의 반송 방향 하류측에 각각 위치하고 있다.
도 13의 (B)에 도시된 바와 같이, 승강 기구(44L, 44R)에 의해 보유지지 유닛(41L, 41R)이 각각 피트부(21)로 강하된다. 또한, 수평 이동 기구(45L, 45R)에 의해 보유지지 유닛(41L, 41R)이 서로 근접하는 방향으로 이동되고, 보유지지 유닛(41L)의 안착부(411)를 패널(P2)의 반송 방향 상류측 단부의 하방에, 보유지지 유닛(41R)의 안착부(411)를 패널(P2)의 반송 방향 하류측 단부의 하방에 각각 위치시킨다.
이들 동작에 병행하여 반입대(1) 상의 패널(P1)이 작업 영역으로 반송된다. 도 14의 (A)에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(31)이 반입대(1)의 상방으로 이동된다. 이어서 보유지지 유닛(31)이 강하되어 보유지지 유닛(31)에서 패널(P1)이 흡착 보유지지된다. 패널(P1)은, 패널(P2)에 접합되는 측의 면(여기서는 하면)과는 반대측 면(여기서는 상면)이 흡착된다.
도 14의 (B)에 도시된 바와 같이, 보유지지 유닛(31)을 반입대(1)로부터 상승시켜 작업 영역으로 이동하여 정지시킨다.
도 14의 (C)에 도시된 바와 같이, 승강 기구(44L, 44R)에 의해 보유지지 유닛(41L, 41R)이 각각 피트부(21)로부터 상승되어 패널(P2)이 반송면(2a)으로부터 들어올려진다. 이 때, 보유지지 유닛(41L, 41R)의 각 흡착부(412)에 의해 패널(P2)이 흡착 보유지지된다. 패널(P2)은 패널(P1)의 하방에서 첩부면을 상향으로 하여 수평 자세로 보유지지된 상태가 된다.
도 15의 (A)에 도시된 바와 같이, 접촉 부재(413)가 퇴피 위치로부터 보유지지 위치로 이동된다. 이에 의해, 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단연의 일부가 접촉 부재(413)와 안착부(411)의 상면(411a)의 사이에서 상하 방향으로 끼워넣어진다. 이와 같이 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부는 흡착부(412)에 의한 흡착 보유지지에 더하여 접촉 부재(413)와 안착부(411)의 상면(411a)의 사이에서 기계적으로 보유지지된다.
다음에, 보유지지된 패널(P2)의 자세를 변화시킨다. 본 예에서는, 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부를 접합 시작단부로 하고, 반송 방향 상류측의 단부를 접합 종료단부로 한다. 이 때문에, Z방향에서 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부가 패널(P1)에 가깝고, 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부가 패널(P1)로부터 멀어지도록 패널(P2)의 자세를 비스듬하게 변화시킨다.
우선, 도 15의 (B)에 도시된 바와 같이, 규제 기구(43L, 43R)에 의한 보유지지 유닛(41L, 41R)의 회동 규제를 해제한다. 보유지지 유닛(41L, 41R)은 축(423) 둘레로 자유 회동 가능해진다.
승강 기구(44L) 또는 승강 기구(44R) 중 적어도 어느 한쪽을 구동하여, 도 16의 (A)에 도시된 바와 같이 보유지지 유닛(41L)이 보유지지 유닛(41R)보다 패널(P1)로부터 떨어진 상태가 되도록 이동시킨다. 여기서는 보유지지 유닛(41L)을 거리(L2)만큼 강하시키고 있다. 이 때, 보유지지 유닛(41L)의 축(423)과 보유지지 유닛(41R)의 축(423)의 축간 거리가 바뀌지 않도록, 수평 이동 기구(45L)에 의해 보유지지 유닛(41L)을 Y방향으로 거리(L1)만큼 이동시킨다. 보유지지 유닛(41L)의 이동 궤적은 호(弧) 형상의 궤적(T1)이 된다.
보유지지 유닛(41L)의 이동에 따라 패널(P2)의 자세가 수평 방향에 대해 비스듬하게 변화한다. 이 때, 보유지지 유닛(41L, 41R)은 플로팅 상태에 있기 때문에, 패널(P2)의 자세 변화에 따라 보유지지 유닛(41L, 41R)의 자세가 변화한다. 도 16의 (A)의 예에서는, 보유지지 유닛(41L, 41R)은 반시계 방향으로 회동된다.
이와 같이 보유지지 유닛(41L, 41R)의 자세가 변화함으로써, 패널(P2)이 거의 똑바른(대략 평탄한) 상태가 유지되어 패널(P2)을 보다 확실히 보유지지할 수 있다. 즉, 보유지지 유닛(41L, 41R)의 자세가 변화하지 않고 안착부(411)가 수평인 상태이면, 패널(P2)의 단부도 수평 자세로 보유지지되고 단부로부터 중앙부로 향하여 급격히 만곡하게 된다. 이 굽힘의 탄성 복귀력에 의해, 패널(P2)이 안착부(411)로부터 탈락할 가능성이 있다. 그러나, 본 실시형태에서는 패널(P2)의 경사에 따라 안착부(411)가 기울어지므로, 패널(P2)에 굽힘이 거의 발생하지 않고, 따라서 패널(P2)을 보다 확실히 보유지지할 수 있다.
다음에, 롤러 이동 기구(52)에 의해 압압 롤러(51)를 접합 시작단부의 하방 위치로 이동시킨다.
도 17의 (A)에 도시된 바와 같이, 롤러 이동 기구(52)에 의해 압압 롤러(51)를 상승시켜 패널(P1)과 패널(P2)의 접합이 개시된다. 압압 롤러(51)는 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부를 패널(P1)로 향하여 압압한다. 압압력은 보유지지 유닛(31)에서 받아낸다. 패널(P2)의 첩부면(상면)의 일부가 패널(P1)의 첩부면(하면)에 접촉한다. 패널(P2)과 패널(P1)의 접촉 영역은 X방향으로 긴 띠형상 영역이 된다.
압압 롤러(51)가 패널(P2)의 단부를 패널(P1)에 눌러붙임으로써, 그 단부의 자세가 서서히 수평으로 변화한다. 이에 따라 보유지지 유닛(41R)도 시계방향으로 회동되고, 안착부(411)의 자세가 수평 자세로 되돌아간다. 보유지지 유닛(41R)의 안착부(411)는 압압 롤러(51)의 홈(51a) 내에 위치하므로, 안착부(411)와 압압 롤러(51)가 간섭하는 일이 없고, 또한 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부에서의 기포 혼입을 방지할 수 있다.
접합 중에 보유지지 유닛(41R)의 안착부(411)의 자세는 패널(P1)과 패널(P2)의 박리를 방지하는 점에서 수평 자세 상태가 바람직하므로, 도 17의 (B)에 도시된 바와 같이 규제 기구(43R)를 구동하여 보유지지 유닛(41R)의 회동을 규제한다. 롤러 이동 기구(52)에 의해 압압 롤러(51)를 접합 종료단부가 되는 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부로 향하여 수평으로 이동시킨다. 패널(P1)은 보유지지 유닛(31)에 의해 수평 자세로 보유지지되어 있으므로, 압압 롤러(51)는 패널(P1)을 따라 이동하게 된다.
압압 롤러(51)의 이동에 추종하여 패널(P1)과 패널(P2)의 접촉 영역이 증대하고, 패널(P2)이 그 반송 방향 하류측의 단부로부터 순차적으로 패널(P1)에 첩부된다. 패널(P1)과 패널(P2) 사이의 공기는 반송 방향 상류측으로 순차적으로 밀려나와서 패널 사이에 기포의 혼입을 방지할 수 있다.
압압 롤러(51)의 이동에 따라, 보유지지 유닛(41L)을 승강 기구(44L)에 의해 상승시킴과 아울러 수평 이동 기구(45L)에 의해 보유지지 유닛(41R)으로부터 떨어지는 방향으로 이동시킨다. 도 17의 (B)의 예에서는, 보유지지 유닛(41L)은 상방으로 거리(L4)만큼 상승되고 Y방향으로 거리(L3)만큼 이동되고, 그 이동 궤적은 호 형상의 궤적(T2)으로 되어 있다. 보유지지 유닛(41L)의 회동 규제는 해제된 상태가 계속된다. 따라서, 압압 롤러(51)의 이동에 따른 패널(P2)의 자세 변화에 따라 플로팅 상태에 있는 보유지지 유닛(41L)이 회동하여 그 자세가 변화한다. 압압 롤러(51)에 의한 압압 개소로부터 접합 종료단부로 향하여 패널(P2)은 만곡되는데, 보유지지 유닛(41L)의 흡착부(412)에 의한 흡착 보유지지와 더불어 접촉 부재(413)에 의해 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부가 기계적으로 보유지지되어 있으므로, 패널(P2)이 보다 확실히 보유지지된다.
압압 롤러(51)가 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부에 가까워지면, 도 17의 (C)에 도시된 바와 같이 액추에이터(414)의 구동에 의해 접촉 부재(413)가 퇴피 위치로 이동되어 접촉 부재(413)와 패널(P1)의 간섭이 회피된다. 압압 롤러(51)의 이동에 따른 보유지지 유닛(41L)의 상승과 Y방향 수평 이동이 계속되고, 도 17의 (C)의 예에서는 보유지지 유닛(41L)은 상방으로 거리(L6)만큼 상승되고 Y방향으로 거리(L5)만큼 이동되어 그 이동 궤적은 호 형상의 궤적(T3)으로 되어 있다. 보유지지 유닛(41L)의 회동 규제는 해제된 상태가 계속되고, 그 안착부(411)가 서서히 수평 자세에 가까워진다.
압압 롤러(51)가 접합 종료단부인 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부에 도달하면, 패널(P1)과 패널(P2)의 접합 작업이 완료된다. 도 17에서, 선(M)은 접합 개시시에서의 보유지지 유닛(41L)의 축(423)의 위치를 나타내고 있다. 접합이 진행됨에 따라, 보유지지 유닛(41L)의 축(423)의 위치가 보유지지 유닛(41R)으로부터 이격되는 방향으로 이동하고 있는 것을 알 수 있다. 보유지지 유닛(41L)을 상승시키면서 상류측으로 이동시킴으로써, 패널(P2)의 휨을 줄여 패널(P1)에 대해 패널(P2)을 딱 붙이는 것이 가능해진다. 선(N)은 접합 개시시에서의 보유지지 유닛(41R)의 축(423)의 위치를 나타내고 있다. 접합이 진행되어도 보유지지 유닛(41R)은 이동하지 않는 것을 알 수 있다.
이 후, 규제 기구(43L)에 의해 보유지지 유닛(41L)의 회동이 규제되고 그 안착부(411)가 수평 자세가 된다. 롤러 이동 기구(52)에 의해 압압 롤러(51)가 초기 위치로 퇴피되고, 보유지지 유닛(31)에 의한 패널(P1)의 보유지지가 해제된다. 그리고, 보유지지 유닛(41L 및 41R)을 강하시켜 패널(P1)과 패널(P2)의 적층체가 반송 기구(2)의 반송면(2a) 상에 놓인다. 그 후, 적층체는 반송 기구(2)에 의해 반송되어 일단위의 처리가 종료된다.
<제2 실시형태>
제1 실시형태에서는, 접합시에 압압 롤러(51)를 패널(P2)의 한쪽 단부로부터 다른 쪽 단부로 이동시켰지만, 다른 이동 형태도 채용 가능하다. 도 18의 (A)~도 18의 (C)는 그 설명도이다.
이 도면의 예에서는 패널(P2)의 중앙부를 접합 시작단부로 하고, 도 18의 (A)와 같이 압압 롤러(51)의 초기 위치를 패널(P2)의 중앙부로 한다. 보유지지 유닛(41L, 41R)의 회동 규제는 모두 해제한 상태로 접합 작업을 행한다. 도 18의 (B)에 도시된 바와 같이, 압압 롤러(51)를 Y방향의 일방향으로 이동시킨다. 이 도면의 예에서는 반송 방향 하류측(보유지지 유닛(41R) 측)으로 이동시키고 있다. 패널(P1)과 패널(P2) 사이의 공기는 순차적으로 반송 방향 하류측으로 밀려나온다. 압압 롤러(51)가 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부에 도달하면 패널(P2)의 접합이 절반 완료된다.
이어서, 도 18의 (C)에 도시된 바와 같이 압압 롤러(51)를 Y방향의 다른 방향으로 이동시킨다. 이 도면의 예에서는 반송 방향 상류측(보유지지 유닛(41L) 측)으로 이동시키고 있다. 패널(P1)과 패널(P2) 사이의 공기는 순차적으로 반송 방향 상류측으로 밀려나온다. 압압 롤러(51)가 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부에 도달하면 패널(P2)의 접합이 완료된다.
압압 롤러(51)를 이러한 이동 형태로 이동시킨 경우에서도, 패널(P2)의 자세 변화에 따라 플로팅 상태에 있는 보유지지 유닛(41L 및 41R)의 자세가 변화하므로, 패널(P2)을 보다 확실히 보유지지하면서 기포의 혼입을 방지할 수 있다.
다음에, 제1 실시형태에서는 하나의 압압 롤러(51)에 의해 패널(P1)과 패널(P2)의 접합을 행하였지만, 복수의 압압 롤러(51)에 의해 패널(P1)과 패널(P2)의 접합을 행해도 된다. 도 19의 (A)는 그 일례를 나타낸다. 이 도면의 예는 도 18의 예와 마찬가지로 패널(P2)의 중앙부를 접합 시작단부로 하고, 압압 롤러(51)를 2개로 하고 있다. 2개의 압압 롤러(51)는 Y방향으로 나란히 설치되어 있고, 서로 이격되는 방향으로 이동된다. 이 도면의 예에서는, 한쪽 압압 롤러(51a)가 Y방향의 일방향(예를 들어 보유지지 유닛(41R) 측)으로, 다른 쪽 압압 롤러(51b)가 Y방향의 다른 방향(예를 들어 보유지지 유닛(41L) 측)으로 각각 이동된다.
도 19의 (A)의 예의 경우, 접합 시작단부에서 복수의 압압 롤러(51)가 동시에 패널(P2)을 압압하면, 압압 롤러(51) 사이에 기포가 혼입될 우려가 있다. 그래서, 처음에 하나의 압압 롤러(51)로 패널(P2)을 압압하고, 다른 압압 롤러(51)가 처음에 압압하는 영역을 사전에 압압해도 된다. 도 20의 (A)~도 20의 (C)는 그 일례를 나타낸다.
우선, 도 20의 (A)에 도시된 바와 같이 압압 롤러(51A)만이 상승하여 패널(P2)의 첩부면(상면) 일부를 패널(P1)의 첩부면(하면)에 접촉시킨다. 이어서, 도 20의 (B)에 도시된 바와 같이, 일단 압압 롤러(51A)를 보유지지 유닛(41R) 측으로 이동하여 압압 롤러(51B)가 처음에 압압하는 영역을 접합한다. 이 때, 보유지지 유닛(41R)으로의 압압 롤러(51A)의 이동량은 압압 롤러(51B)가 상승하여 패널(P2)의 압압을 개시하는 위치까지의 거리분이다. 그 후, 도 20의 (C)에 도시된 바와 같이, 압압 롤러(51A)의 이동을 꺾어 보유지지 유닛(41L) 측의 접합 종료단부까지 이동한다. 또한, 압압 롤러(51B)는 압압 롤러(51A)가 보유지지 유닛(41L) 측으로 이동을 개시한 후에 상승하여 패널(P2)을 압압하고 보유지지 유닛(41R) 측의 접합 종료단부까지 이동한다. 패널(P2)과 패널(P1)의 접촉 영역은 X방향으로 긴 띠형상 영역이 된다. 이와 같이 복수의 압압 롤러(51A, 51B)를 이용함으로써 접합 시간을 단축할 수 있고 기포의 혼입을 방지할 수 있는 경우가 있다.
다음에, 압압 롤러(51)의 이동 방향은 패널(P2)의 일변으로부터 대향하는 변으로의 방향 이외이어도 된다. 도 19의 (B)는 그 일례를 나타낸다. 이 도면의 예는 압압 롤러(51)의 이동 방향을 대각선 방향으로 한 예를 나타내고 있고, 패널(P2)의 중앙부를 접합 시작단부로 하고 압압 롤러(51)를 2개로 하고 있다. 2개의 압압 롤러(51)는 패널(P2)의 대각선상을 서로 이격되는 방향으로 이동된다. 보유지지 유닛(41L, 41R)은 패널(P2)의 서로 대향하는 모서리부를 보유지지하고 있다.
그 밖에 복수의 압압 롤러를 패널(P2)의 중앙부 주위에 방사상으로 배치하고, 각 압압 롤러를 방사상으로 이동시키는 구성 등도 채용 가능하다. 이에 의해, 패널(P1)과 패널(P2) 사이의 공기를 순차적으로 패널(P2)의 단연부로 향하여 밀어낼 수 있다. 이 때, 패널(P2)의 중앙부로부터 각 단연부로의 거리는 각각 다르다. 따라서, 모든 압압 롤러가 동시에 패널(P2)의 단연부에 도달하도록 각 압압 롤러의 이동 속도를 조정하는 것이 바람직하다. 또한, 각 압압 롤러는 방사상의 배치 개소에 따라 그 롤러 폭을 조정해도 된다. 예를 들어, 패널(P2)의 중앙부로부터 각 모서리부로 이동시키는 압압 롤러는 패널(P2)의 중앙부로부터 각 단연부로 이동시키는 압압 롤러에 비해 롤러 폭을 길게 하도록 해도 된다.
<다른 실시형태>
제1 실시형태에서는, 보유지지 유닛(41L)에 의해 패널(P2)의 반송 방향 상류측의 단부를, 보유지지 유닛(41R)에 의해 패널(P2)의 반송 방향 하류측의 단부를 각각 보유지지하고, 패널(P2)의 서로 대향하는 단부를 보유지지하는 구성으로 하였다. 이는 패널(P2)을 안정적으로 보유지지하는 것을 가능하게 한다.
그러나, 패널(P2)의 한쪽 단부만을 보유지지하는 구성(예를 들어, 보유지지 유닛(41L) 또는 (41R) 중 어느 한쪽으로 하는 구성)도 채용 가능하다. 반대로 보유지지 유닛을 증설하여 패널(P2)의 4변 전부나 3변을 보유지지하는 구성도 채용 가능하다. 이 패널(P2)의 4변 보유지지 또는 3변 보유지지는, 패널(P2)의 중앙부를 접합 시작단부로 하는 접합 방법에 대해 특히 적합하다.
A 제조 장치, P1 패널, P2 패널, 31 보유지지 유닛, 41L 보유지지 유닛, 41R 보유지지 유닛, 44L 승강 기구, 44R 승강 기구, 51 압압 롤러, 52 롤러 이동 기구

Claims (21)

  1. 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 장치로서,
    상기 제1 패널을 보유지지하는 제1 보유지지 유닛과,
    상기 제1 패널의 하방에서 상기 제2 패널을 보유지지하는 복수의 제2 보유지지 유닛과,
    상기 제2 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제2 패널의 하방으로부터 상기 제2 패널을 상기 제1 패널쪽으로 향하여 압압하는 압압 롤러와,
    상기 압압 롤러에 접속하여 설치되고, 상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시키는 롤러 이동 기구와,
    상기 제1 보유지지 유닛에 대해 상기 복수의 제2 보유지지 유닛을 상하로 이동시키는 승강 기구를 구비하고,
    상기 복수의 제2 보유지지 유닛은 각각, 상기 제1 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제1 패널의 패널면에 평행한 축둘레로 자유 회동 가능하게 지지되며,
    또한,
    상기 제2 보유지지 유닛과의 접촉에 의한 상기 제2 보유지지 유닛의 자유 회동의 규제와, 그 해제를 행하는 복수의 규제 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 제2 보유지지 유닛은,
    상기 제2 패널의 일변을 보유지지하는 적어도 하나의 일변측 보유지지 유닛과,
    상기 제2 패널의, 상기 일변에 대향하는 타변을 보유지지하는 적어도 하나의 타변측 보유지지 유닛을 포함하고,
    상기 승강 기구는, 상기 일변측 보유지지 유닛과 상기 타변측 보유지지 유닛을 독립하여 상하로 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 제2 보유지지 유닛은 각각, 상기 제2 패널의 하면을 흡착 보유지지하는 흡착부를 가지는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수의 제2 보유지지 유닛은 접촉 부재를 구비하는 적어도 하나의 보유지지 유닛을 포함하고,
    상기 접촉 부재는 상기 제2 패널의 단연(端緣)에 접촉되는 하향 경사부를 가지며,
    상기 제2 패널의 단연은 상기 경사부와 상기 흡착부를 구비하는 패널 보유지지면 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    복수의 회동 지지 유닛을 더 구비하고,
    상기 복수의 회동 지지 유닛은 각각, 상기 복수의 제2 보유지지 유닛 중 적어도 하나의 제2 보유지지 유닛을 상기 제1 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제1 패널의 패널면에 평행한 축둘레로 자유 회동 가능하게 지지하며, 또한, 상기 제2 보유지지 유닛의 자유 회동의 범위를 소정의 각도 범위 내로 규제하는 스토퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 규제 기구는, 상기 제2 보유지지 유닛이 상기 제2 패널을 수평 자세로 보유지지하는 자세가 유지되도록 상기 제2 보유지지 유닛의 자유 회동을 규제하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 압압 롤러는, 그 둘레면에서의 상기 복수의 제2 보유지지 유닛과 대향하는 부분에 홈을 가지는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 일변측 보유지지 유닛과 상기 타변측 보유지지 유닛 중에서 적어도 어느 한쪽을 다른 쪽에 근접·이격하는 방향으로 이동시키는 수평 이동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  9. 청구항 2에 있어서,
    상기 일변측 보유지지 유닛을 복수 구비하고,
    상기 타변측 보유지지 유닛을 복수 구비하며,
    복수의 상기 일변측 보유지지 유닛을 서로 근접·이격하는 방향으로 이동시키는 제1 수평 이동 기구와,
    복수의 상기 타변측 보유지지 유닛을 서로 근접·이격하는 방향으로 이동시키는 제2 수평 이동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 압압 롤러를 접합 시작단부 측으로부터 접합 종료단부 측으로 이동시키는 제어를 행함과 아울러, 상기 복수의 제2 보유지지 유닛 중에서 상기 접합 종료단부 측에서의 보유지지 유닛을 상승시키는 제어를 행하는 제어 유닛을 더 구비하며,
    상기 접합 종료단부 측에서의 보유지지 유닛의 상승 중, 상기 규제 기구는 그 보유지지 유닛의 자유 회동의 규제를 해제한 상태로 있는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 압압 롤러를 상기 제2 패널에서의 상기 일변 측으로부터 상기 타변측 방향으로 이동시키는 제어를 행함과 아울러, 상기 타변측 보유지지 유닛을 상승시키면서 상기 일변측 보유지지 유닛으로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 제어를 행하는 제어 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  12. 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 방법으로서,
    첩부면을 하향으로 하여 보유지지된 상기 제1 패널의 하방에서, 첩부면을 상향으로 하여 상기 제2 패널을, 자유 회동 가능하게 지지된 복수의 보유지지 유닛으로 보유지지하는 보유지지 공정과,
    보유지지된 상기 제2 패널의 하면에 압압 롤러를 접촉시킴과 아울러 상기 제1 패널로 향하여 상기 제2 패널을 압압하고, 상기 제2 패널의 상기 첩부면의 적어도 일부를 상기 제1 패널의 상기 첩부면에 접촉시키는 접촉 공정과,
    상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시켜 상기 제1 패널과 상기 제2 패널을 접합하는 접합 공정을 구비하고,
    상기 접합 공정은,
    상기 압압 롤러의 이동에 추종시켜 상기 제1 패널에 대한 상기 제2 패널의 접촉 영역을 증대시키기 위해, 상기 복수의 보유지지 유닛 중 적어도 일부의 보유지지 유닛의 자세를 자유 회동에 의해 변화시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 보유지지 공정은, 상기 제2 패널의 단연의 일부를 상하 방향으로 끼워넣는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 보유지지 공정에서는, 상기 제2 패널의 접합 종료단부 측을 상기 제2 패널의 접합 시작단부보다 상기 제1 패널로부터 이격시켜 상기 제2 패널을 보유지지하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 접합 공정에서는, 상기 압압 롤러의 이동에 추종시켜 상기 제2 패널의 상기 접합 종료단부를 상기 제1 패널에 근접하는 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 접합 공정에서는, 상기 압압 롤러의 이동에 추종시켜 상기 제2 패널의 상기 접합 종료단부를 상기 제1 패널에 근접하는 방향으로 이동시키면서, 상기 제2 패널의 상기 접합 시작단부로부터 수평 방향으로 이격시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  17. 청구항 12에 있어서,
    상기 압압 롤러는, 상기 복수의 보유지지 유닛이 상기 제2 패널을 보유지지한 상태에서, 상기 제2 패널을 상기 제1 패널로 향하여 압압하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  18. 청구항 12에 있어서,
    상기 접촉 공정에서는, 상기 제2 패널의 상기 첩부면과 상기 제1 패널의 상기 첩부면의 접촉 영역이 띠형상 영역이며,
    상기 접합 공정에서는, 상기 압압 롤러를 상기 띠형상 영역으로부터 상기 제1 패널을 따라 일방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  19. 청구항 12에 있어서,
    상기 접촉 공정에서는, 상기 제2 패널의 상기 첩부면과 상기 제1 패널의 상기 첩부면의 접촉 영역이 띠형상 영역이며,
    상기 접합 공정에서는, 2개의 상기 압압 롤러를 상기 띠형상 영역으로부터 상기 제1 패널을 따라 서로 이격되는 방향으로 각각 이동시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  20. 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 장치로서,
    상기 제1 패널을 보유지지하는 제1 보유지지 유닛과,
    상기 제1 패널의 하방에서 상기 제2 패널을 보유지지하는 복수의 제2 보유지지 유닛과,
    상기 제2 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제2 패널의 하방으로부터 상기 제2 패널을 상기 제1 패널쪽으로 향하여 압압하는 압압 롤러와,
    상기 압압 롤러에 접속하여 설치되고, 상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시키는 롤러 이동 기구와,
    상기 제1 보유지지 유닛에 대해 상기 복수의 제2 보유지지 유닛을 상하로 이동시키는 승강 기구와,
    상기 복수의 제2 보유지지 유닛을 관통하는 축을 가지며, 그 축을 지지함과 아울러, 상기 제1 보유지지 유닛에 보유지지된 상기 제1 패널의 패널면에 평행한 상기 축 둘레로 상기 복수의 제2 보유지지 유닛을 자유 회동시키는 회동 지지 유닛과,
    상기 복수의 제2 보유지지 유닛과 각각 접촉, 이격 가능하게 마련되어, 그 제2 보유지지 유닛의 자유 회동의 규제와, 그 해제를 행하는 복수의 규제 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 제조 장치.
  21. 제1 패널과 제2 패널을 접합하여 적층체를 제조하는 제조 방법으로서,
    첩부면을 하향으로 하여 보유지지된 상기 제1 패널의 하방에서, 첩부면을 상향으로 하여 상기 제2 패널을 복수의 보유지지 유닛으로 보유지지하는 보유지지 공정과,
    보유지지된 상기 제2 패널의 하면에 압압 롤러를 접촉시킴과 아울러 상기 제1 패널로 향하여 상기 제2 패널을 압압하고, 상기 제2 패널의 상기 첩부면의 적어도 일부를 상기 제1 패널의 상기 첩부면에 접촉시키는 접촉 공정과,
    상기 압압 롤러를 상기 제1 패널을 따라 이동시켜 상기 제1 패널과 상기 제2 패널을 접합하는 접합 공정을 구비하고,
    상기 접합 공정은,
    상기 압압 롤러의 이동에 추종시켜 상기 제1 패널에 대한 상기 제2 패널의 접촉 영역을 증대시키기 위해, 상기 제2 패널을 보유지지하는 상기 복수의 보유지지 유닛에 축을 관통시키고, 그 보유지지 유닛의 자세를, 상기 제1 패널의 패널면에 평행한 상기 축 둘레로 자유 회동시켜서 변화시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102052667B1 (ko) * 2015-10-27 2019-12-05 히라따기꼬오 가부시키가이샤 이송 유닛, 이동 탑재 장치 및 이동 탑재 방법
JP2018082539A (ja) * 2016-11-15 2018-05-24 株式会社三井ハイテック 積層鉄心の製造装置及び積層鉄心の製造方法
JP6930734B2 (ja) * 2018-01-25 2021-09-01 株式会社ブイ・テクノロジー 基板保持装置及び基板検査装置
CN108357182B (zh) * 2018-04-08 2023-09-08 东莞市沃德精密机械有限公司 阻尼片全自动贴装机
JP6995691B2 (ja) * 2018-05-17 2022-01-17 津田駒工業株式会社 繊維強化材料片の製造装置
KR102056631B1 (ko) * 2018-12-13 2019-12-17 문경원 패널 접합장치
KR102253811B1 (ko) * 2019-11-27 2021-05-21 이엘케이 주식회사 터치 디스플레이 모듈 제조를 위한 터치스크린 패널의 다이렉트 본딩방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000263734A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Casio Comput Co Ltd フィルム基板の接合装置
JP5339393B1 (ja) * 2013-05-07 2013-11-13 株式会社Ｆｕｋ 貼付装置
JP2014200999A (ja) * 2013-04-04 2014-10-27 株式会社Ｆｕｋ 貼付装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4573444B2 (ja) * 2001-01-24 2010-11-04 株式会社スリーボンド 貼合装置及び貼合方法
JP4920209B2 (ja) * 2005-07-15 2012-04-18 シーケーディ株式会社 板状ワークの移載装置
JP4870046B2 (ja) * 2007-08-06 2012-02-08 クライムプロダクツ株式会社 板ガラスの貼合方法およびその装置
JP2010064159A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Seiko Epson Corp 吸引保持ハンド
JP4712886B2 (ja) * 2009-09-03 2011-06-29 株式会社Ｆｕｋ 板状部材貼り合せ装置
JP6172997B2 (ja) * 2013-03-28 2017-08-02 株式会社ディスコ 板状物の搬送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000263734A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Casio Comput Co Ltd フィルム基板の接合装置
JP2014200999A (ja) * 2013-04-04 2014-10-27 株式会社Ｆｕｋ 貼付装置
JP5339393B1 (ja) * 2013-05-07 2013-11-13 株式会社Ｆｕｋ 貼付装置

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