JP2010064159A - 吸引保持ハンド - Google Patents
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Abstract
【課題】被吸引保持面が平坦ではないワークであっても、非接触で吸引保持することができる吸引保持ハンドを提供すること。
【解決手段】レンズLを非接触で吸引保持するベルヌーイチャック、およびベルヌーイチャックを下向きに保持するチャック垂設部71から成る複数のチャックユニット2と、複数のチャックユニット2を下向きの状態でそれぞれ首振り自在に保持するユニットヘッドと、下流端が複数のベルヌーイチャックに接続されると共に上流端が気体供給源に接続され、複数のベルヌーイチャックに気体を供給する気体供給流路62,87,88と、を備えたものである。
【選択図】図2
【解決手段】レンズLを非接触で吸引保持するベルヌーイチャック、およびベルヌーイチャックを下向きに保持するチャック垂設部71から成る複数のチャックユニット2と、複数のチャックユニット2を下向きの状態でそれぞれ首振り自在に保持するユニットヘッドと、下流端が複数のベルヌーイチャックに接続されると共に上流端が気体供給源に接続され、複数のベルヌーイチャックに気体を供給する気体供給流路62,87,88と、を備えたものである。
【選択図】図2
Description
本発明は、複数のベルヌーイチャックを有し、ワークを非接触状態で吸引保持する吸引保持ハンドに関するものである。
従来、この種の非接触搬送装置(吸引保持ハンド)として、ウェハ(ワーク)を非接触で吸引保持する4個の旋回流形成体(ベルヌーイチャック)と、各旋回流形成体を支持する支持体と、を有するものが知られている(特許文献1参照)。
この非接触搬送装置では、各旋回流形成体の平坦状端面が、互いに同一平面上に位置するように支持体の基底面に着設されており、薄い円板状のウェハを表面から非接触で吸引保持できるようになっている。
特開2005−51260号公報
この非接触搬送装置では、各旋回流形成体の平坦状端面が、互いに同一平面上に位置するように支持体の基底面に着設されており、薄い円板状のウェハを表面から非接触で吸引保持できるようになっている。
しかしながら、このような従来の非接触搬送装置では、複数の旋回流形成体が、それぞれの平坦状端面を同一平面内に位置させて固定的に設けられているため、被吸引保持面が平坦なワークしか吸引保持することができなかった。したがって、被吸引保持面が曲面で構成されているワークを吸引保持する場合には、支持体に対する旋回流形成体の設置角度や、設置位置をワークの被吸引保持面に合わせた専用の非接触搬送装置を用意する必要があった。
そこで本発明は、被吸引保持面が平坦ではないワークであっても、非接触で吸引保持することができる吸引保持ハンドを提供することをその課題としている。
本発明の吸引保持ハンドは、ワークを非接触で吸引保持するベルヌーイチャックおよびベルヌーイチャックを下向きに保持するチャック垂設部から成る複数のチャックユニットと、複数のチャックユニットを下向き状態でそれぞれ首振り自在に保持するユニットヘッドと、下流端が複数のベルヌーイチャックに接続されると共に上流端が気体供給源に接続され、複数のベルヌーイチャックに作動気体を供給する気体供給流路と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、ベルヌーイチャックを下向きに保持したチャックユニットの複数個が、ユニットヘッドに対し首振り自在に保持されているため、チャックユニットをワークに近づけてゆくと、複数のユニットヘッドは、ワークの被吸引保持面に倣って姿勢変更(傾く)する。すなわち、ベルヌーイチャックの下端が、ワークを保持する位置までワークに近づくと、ベルヌーイチャックから一様に流出する気体が、ワークの被吸引保持面との間で圧力バランスをとるように働く。このため、ベルヌーイチャックの下端の各部と、被吸引保持面との間隙が均一になったところで、ベルヌーイチャックの姿勢が落ち着く。結果、各ベルヌーイチャック(各チャックユニット)は、被吸引保持面に倣うように姿勢制御された状態で、ワークを非接触で吸引保持する。したがって、被吸引保持面が平坦でないワークを非接触状態で適切に吸引保持することができる。なお、被吸引保持面が平坦であった場合には、各ベルヌーイチャックが傾くことなく、ワークを非接触で吸引保持する。
この場合、各チャック垂設部は、ベルヌーイチャックを保持する垂設部本体と、垂設部本体の上端部に設けた首振りコマと、を有し、ユニットヘッドは、各首振りコマを受容する複数の首振りガイド部を窪入形成した支持ブロックを有し、各首振りコマには、各首振りガイド部に摺接する冠球面状の下向き摺接面が形成され、各首振りガイド部には、下向き摺接面が摺接し、下向き摺接面と相補的形状に形成された上向き摺接面が形成されていることが、好ましい。
この構成によれば、首振りコマの下向き摺接面および首振りガイド部の上向き摺接面が相補的形状に構成されているため、この下向き摺接面と上向き摺接面とが、自在継手(球形自在継手)の形態で係合することになる。したがって、チャックユニットの姿勢変更(姿勢制御)を円滑に行わせることができる。
この場合、気体供給流路は、各チャック垂設部の軸心に形成され、下流端が各ベルヌーイチャックに接続された複数の内部気体流路と、各内部気体流路の上流端に連通し、各首振りガイド部内に構成した複数の気体室と、ユニットヘッド内に形成され、複数の気体室と気体供給源とを連通する気体分配流路と、を有していることが、好ましい。
この構成によれば、気体供給源からの作動気体を、首振りガイド部内に構成した気体室および内部気体流路を介してベルヌーイチャックに供給することができ、チャックユニットの首振り動作に影響を与えることなく、ベルヌーイチャックに吸引保持のための気体を円滑に供給することができる。
この場合、支持ブロックは、多孔質材料で形成され、支持ブロックを介して、複数の首振りガイド部に対し複数の各首振りコマを浮上させるための浮上気体を供給する浮上気体供給手段を、更に備えたことが、好ましい。
この構成によれば、浮上気体供給手段から供給された浮上気体により、首振りコマを支持ブロックに対して浮上させることができる。すなわち、首振りガイド部の上向き摺接面に対し、首振りコマの下向き摺接面を僅かに浮上させることができる。このため、チャックユニットの首振り動作に摩擦力が作用することが無く、被吸引保持面に倣うチャックユニットの姿勢変更を円滑に行わせることができる。
この場合、複数のチャックユニットは、ベルヌーイチャックにおける旋回流の旋回方向が正逆異なる少なくとも一組のもので構成されていることが、好ましい。
この構成によれば、吸引保持されたワークにθ方向の力が作用することが無く、平面内においてワークを安定に吸引保持することができる。
以下に添付した図面を参照して、本発明に係る吸引保持ハンドについて説明する。この吸引保持ハンドは、気体の流れにより生じるベルヌーイ効果を利用した複数のベルヌーイチャックを用いて、例えばレンズのような被吸引保持面が平坦でないワークを非接触で吸引・保持するものであり、眼鏡レンズ製造装置等に備える搬送ロボットに取付けて使用する。
図1に示すように、吸引保持ハンド1は、レンズLを吸引保持する複数(図示のものは、4個)のベルヌーイチャック31およびベルヌーイチャック31を下向きに保持するチャック垂設部71からなる複数(4個)のチャックユニット2と、チャックユニット2を首振り自在に保持するユニットヘッド3と、ユニットヘッド3を支持すると共に気体供給源29に連なる第1チューブ30が接続されたジョイント部材4と、ジョイント部材4を支持する装置取付部5と、から構成されている。チャックユニット2およびユニットヘッド3は、ユニット化されており、レンズLの径に応じた大きさを有している。
ジョイント部材4には、気体供給源29に連なる第1チューブ30が接続される一方、ユニットヘッド3には、第1チューブ30から継手33を介して分岐した第2チューブ46が接続されている。また、第1チューブ30は各ベルヌーイチャック31にエアー(作動気体)を供給するものであり、第1チューブ30には、供給するエアーを圧力調整する第1レギュレータ32が介設されている。同様に、第2チューブ46はチャック垂設部71にエアー(浮上気体)を供給するものであり、第2チューブ46には、供給するエアーを圧力調整する第2レギュレータ45が介設されている。
装置取付部5は、略円筒状に形成され、上半部の内部には太径の取付孔11が、下半部の内部には細径の装着孔12が、それぞれ形成されている。取付孔11および装着孔12は同軸上に配設されており、取付孔11は、吸引保持ハンド1を搬送ロボットのロボットアーム(共に図示省略)に取付けるための部位として機能し、装着孔12にはジョイント部材4が差込み装着されている。なお、図1中の符号13は、吸引保持ハンド1をロボットアームに取付けるための止めネジ用の上ネジ孔であり、符号14は、ジョイント部材4を固定する止めネジ用の下ネジ孔である。
ジョイント部材4は、細径に形成された上半部の装着部21および太径に形成された下半部の垂設部22で構成されている。装着部21には、上記の止めネジが突き当てられる弦状の平坦部23が形成されており、この装着部21を装置取付部5の装着孔12に嵌合し、止めネジを上記の下ネジ孔14から螺合することにより、ジョイント部材4が装置取付部5に装着されるようになっている。
垂設部22には、その軸心に下面から穿孔した縦流路24と、外周面から縦流路24の上端部に向って穿孔した横流路25と、から成る「L」字状のジョイント部流路26が形成されており、その下面には、円柱状に形成された装着穴27が窪入形成されている。横流路25の上流端は、第1チューブ30が接続され、下流端は、ユニットヘッド3の内部に形成されているエアー流路(気体供給流路)84に連通している。第1チューブ30からジョイント部流路26に流入したエアーは、ジョイント部流路26からユニットヘッド3に導かれ、ユニットヘッド3から各ベルヌーイチャック31に供給される。
図2および図3に示すように、ユニットヘッド3は、上ハウジング42および下ハウジング41から成る略円形のハウジング40内に、エアー流路84と、各チャックユニット2を首振り自在に支持する支持ブロック54とを備えて、構成されている。上ハウジング42は、主体を為す円板部51と、円板部51の中心部から上方に突設された円筒状の装着突起52と、から構成されている。ユニットヘッド3は、この装着突起52が垂設部22の装着穴27に嵌入固定されることで、ジョイント部材4に固定されている。また、ユニットヘッド3の側面の一部には、弦状の切欠き部43が形成されており、切欠き部43には第2チューブ46が接続されている。
下ハウジング41は有底の円筒状に形成されており、その内部には、アルミニウム等の多孔質材からなる支持ブロック54が収容されている。そして、4個のチャックユニット2は、鉛直姿勢の状態でそれぞれのベルヌーイチャック31の下端が同一平面内に位置するように、支持ブロック54に支持されている。支持ブロック54には、4個のチャックユニット2を下向きに首振り自在に支持する4つの首振りガイド部57が窪入形成され、また第2チューブ46に連通するエアー導入部63が形成されている(図3参照)。エアー導入部63は、支持ブロック54の中心部に設けた球形の導入エアー室56と、上記の切欠き部43から導入エアー室56まで水平に延びる導入管55と、で構成されている。詳細は後述するが、第2チューブ46からは、各チャックユニット2を僅かに浮上させるエアーが導入される。この第2チューブ46から導入されたエアーは、導入エアー室56から多孔質材内部を通って各首振りガイド部57から吹き出すようになっている。このため、支持ブロック54の導入エアー室56に接する部分および各首振りガイド部57を構成する表面部分以外の表面部分は、接着剤の塗布等により微細な孔が閉止されている。なお、請求項に言う浮上気体供給手段は、気体供給源29と、エアー導入部63と、第2チューブ46と、で構成されている。
各首振りガイド部57は、支持ブロック54の表面を下向き冠球状に窪入形成した上向き摺接面61を有し、上向き摺接面61は、後述するチャックユニット2における首振りコマ73の下向き摺接面91(図4参照)と自在継手(球形自在継手)の形態を有して、チャックユニット2を首振り自在に支持している。また、首振りガイド部57の下側には、首振りガイド部57に連通するようにして、チャックユニット2の首振り動作を許容する首振り穴58が形成されている。首振り穴58は、支持ブロック54および下ハウジング41を貫通するように、円錐台形状に拡開形成されており、首振り動作するチャックユニット2が支持ブロック54や下ハウジング41に干渉しないようになっている。
一方、エアー流路84は、上ハウジング42の中心(装着突起52の軸心)に形成した導入流路88と、各首振りガイド部57に構成した4つのエアー室(気体室)62と、導入流路88とエアー室62とを連通する4つのエアー分配流路(気体分配流路)87と、で構成されている。この場合、エアー分配流路87は、上ハウジング42と支持ブロック54の間隙により形成されている。導入流路88から流入したエアーは、エアー分配流路87を介して各エアー室62に流れ、各エアー室62からチャックユニット2に導かれる。
図4に示すように、チャックユニット2は、レンズLを非接触で保持するベルヌーイチャック31と、ベルヌーイチャック31と気密に接合し、ベルヌーイチャック31を下向きに保持するチャック垂設部71と、から構成されている。チャック垂設部71は、円筒状の本体円筒部81および本体円筒部81の下端に取り付けられ、ベルヌーイチャック31を下向きに保持する円形のチャック取付け部80から成る垂設部本体72と、垂設部本体(本体円筒部81)72の上端部にねじ止め固定された首振りコマ73と、から構成されている。垂設部本体72の内部には、上記のエアー室62に連通する内部エアー流路74が形成されており、エアー室62から内部エアー流路74に供給されたエアーが、ベルヌーイチャック31に流入するようになっている。
チャック取付け部80の外周面には、雄ねじ104が形成され、この雄ねじ104にベルヌーイチャック31が螺合(テーパねじ)するようにして取り付けられている。また、本体円筒部81の内部には、チャック取付け部80に至る主内部流路(内部気体流路)89が形成され、またチャック取付け部80の内部には、主内部流路89に連通しチャック取付け部80の直径方向に延びる一対の分岐流路85と、一対の分岐流路85の下流端部に連なりベルヌーイチャック31のエアー噴出流路103に連なる一対の端部流路86と、が形成されている。すなわち、主内部流路89、一対の分岐流路85および一対の端部流路86により、上記の内部エアー流路74が形成されている。気体供給源29から供給されたエアーは、主内部流路89、一対の分岐流路85および一対の端部流路86を介して、ベルヌーイチャック31に供給される。
首振りコマ73は、樹脂やアルミニウム等の軽量な素材で下向きの冠球状に形成されており、その中心に貫通形成した雌ねじ部92により、本体円筒部81の上端部に螺合している。首振りコマ73下面は、冠球面状に形成された下向き摺接面91となっており、首振りガイド部57の上向き摺接面61に倣うように接している。すなわち、下向き摺接面91と上向き摺接面61とは相補的形状に形成され、チャックユニット2の首振り動作をガイドする。上述したように、首振りガイド部57の上向き摺接面61からは、第2チューブ46から供給されたエアーが吹き出すようになっており、吹き出したエアーは、下向き摺接面91に当たって首振りコマ73を首振りガイド部57から僅かに浮上させる。これにより、チャックユニット2の首振り動作に摩擦力が作用することが無く、被吸引保持面に倣うチャックユニット2の姿勢変更を円滑に行わせることができる。
ベルヌーイチャック31は、上半部の接合部105と下半部のチャック部106とから成り、接合部105に形成されたこの雄ねじ104により、ベルヌーイチャック31がチャック垂設部71(チャック取付け部80)にねじ止め固定されている。チャック部106は、チャック取付け部80の下面を天面として円柱状に形成された旋回流発生室101と、旋回流発生室101の開口側端に連なり、レンズLを吸引保持する円形の吸引保持面102と、旋回流発生室101の内周面112に沿ってエアーを噴出させて、旋回流発生室101に旋回流を発生させる一対のエアー噴出流路103と、から構成されている。そして、各エアー噴出流路103には、内部エアー流路74の端部流路86が連通している。
エアー噴出流路103から旋回流発生室101に流入したエアーは、旋回流発生室101の内周面112に沿うように流れ、強い旋回流となってやがて吸引保持面102に沿うようにして側方に流出する。そして、旋回流の中心部には、ベルヌーイの定理に従って負圧が生じ、この負圧によりレンズLを吸引するようになっている。すなわち、旋回流発生室101の中心部に生ずる負圧と、吸引保持面102に沿って旋回流発生室101から流出するエアーと、が拮抗することにより、レンズLが吸引保持面102に非接触状態で吸引保持される。なお、旋回流発生室101の開口端が徐々に広がるようにベルマウス形状としてもよいし、吸引保持面102に渦流を維持する渦形の溝を形成するようにしてもよい。
一対のエアー噴出流路103は、180°点対称位置において、旋回流発生室101の接線方向に延在しており、エアーを内周面112に沿わせるように噴出させる。この場合、エアー噴出流路103は、正回転の旋回流を発生させるベルヌーイチャック31と逆回転の旋回流を発生させるベルヌーイチャック31とでは、その形成位置が逆になっている(図示省略)。そして、実施形態の4個のベルヌーイチャック31のうちの対角に位置する2つのベルヌーイチャック31が正回転方向の旋回流を発生し、他方の対角に位置する2つのベルヌーイチャック31が逆回転方向の旋回流を発生するようになっている(図3参照)。
ここで、図5を参照して、吸引保持ハンド1によるレンズLの保持動作について説明する。気体供給源29を起動し、第1チューブ30から4個のベルヌーイチャック31に作動用のエアーを供給すると共に、第2チューブ46からチャック垂設部71に浮上用のエアーを供給する。この状態で、被吸引保持面(凸部)を上に向けたレンズLを保持すべく、吸引保持ハンド1をレンズLの真上から近づけてゆく(図5(a)参照)。4個のベルヌーイチャック31がレンズLを吸引する位置に達すると、各ベルヌーイチャック31の負圧とエアーの流出がレンズLの表面に作用する。このとき、各ベルヌーイチャック31は、自身の吸引保持面102の端から一様に流出するエアーが、レンズLの被吸引保持面との間で圧力バランスをとるように、反力を受ける。この反力により、ベルヌーイチャック31は、被吸引保持面に倣うように姿勢制御された状態に傾き、ベルヌーイチャック31の下端および被吸引保持面の間隙が均一になったところでその姿勢が落ち着く(図5(b)参照)。そして、ベルヌーイチャック31は、姿勢が落ち着くと同時に、レンズLを非接触状態で吸引保持する。
以上の構成によれば、ベルヌーイチャック31を下向きに保持したチャックユニット2の複数個が、ユニットヘッド3に対し首振り自在に保持されているため、チャックユニット2をレンズLに近づけてゆくと、複数のユニットヘッド3は、レンズLの被吸引保持面に倣って傾いた後、これを非接触で吸引保持する。すなわち、各ベルヌーイチャック31は、被吸引保持面に倣うように姿勢制御された状態で、レンズLを非接触で吸引保持する。したがって、実施形態の吸引保持ハンド1によれば、被吸引保持面が平坦でないレンズL等のワークを非接触状態で適切に吸引保持することができる。
なお、複数のチャックユニット2(ベルヌーイチャック31)の数は、本実施形態(4個)のものに限定されるものではなく、ベルヌーイチャック31における旋回流の旋回方向が正逆異なるものを1単位として、複数組み(偶数個)設けられていればよい。3組(6個)以上のチャックユニット2(ベルヌーイチャック31)を設ける場合には、レンズLの外縁に沿うように、複数のチャックユニット2をユニットヘッド3に対して環状に配置することが好ましい。また、言うまでもないが、同様の構成で、被吸引保持面が平坦であるICデバイス等のワークも吸引保持することができる。
1…吸引保持ハンド 2…チャックユニット 3…ユニットヘッド 29…気体供給源 30…第1チューブ 31…ベルヌーイチャック 46…第2チューブ 54…支持ブロック 57…首振りガイド部 61…上向き摺接面 62…エアー室 71…チャック垂設部 72…垂設部本体 73…首振りコマ 74…内部エアー流路 84…エアー流路 85…分岐流路 86…端部流路 87…エアー分配流路 88…導入流路 89…主内部流路 91…下向き摺接面 L…レンズ
Claims (5)
- ワークを非接触で吸引保持するベルヌーイチャックおよび前記ベルヌーイチャックを下向きに保持するチャック垂設部から成る複数のチャックユニットと、
前記複数のチャックユニットを下向き状態でそれぞれ首振り自在に保持するユニットヘッドと、
下流端が複数の前記ベルヌーイチャックに接続されると共に上流端が気体供給源に接続され、複数の前記ベルヌーイチャックに作動気体を供給する気体供給流路と、を備えたことを特徴とする吸引保持ハンド。 - 前記各チャック垂設部は、前記ベルヌーイチャックを保持する垂設部本体と、前記垂設部本体の上端部に設けた首振りコマと、を有し、
前記ユニットヘッドは、前記各首振りコマを受容する複数の首振りガイド部を窪入形成した支持ブロックを有し、
前記各首振りコマには、前記各首振りガイド部に摺接する冠球面状の下向き摺接面が形成され、
前記各首振りガイド部には、前記下向き摺接面が摺接し、前記下向き摺接面と相補的形状に形成された上向き摺接面が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の吸引保持ハンド。 - 前記気体供給流路は、前記各チャック垂設部の軸心に形成され、下流端が前記各ベルヌーイチャックに接続された複数の内部気体流路と、
前記各内部気体流路の上流端に連通し、前記各首振りガイド部内に構成した複数の気体室と、
前記ユニットヘッド内に形成され、前記複数の気体室と前記気体供給源とを連通する気体分配流路と、を有していることを特徴とする請求項2に記載の吸引保持ハンド。 - 前記支持ブロックは、多孔質材料で形成され、
前記支持ブロックを介して、前記複数の首振りガイド部に対し前記複数の前記各首振りコマを浮上させるための浮上気体を供給する浮上気体供給手段を、更に備えたことを特徴とする請求項2または3に記載の吸引保持ハンド。 - 前記複数のチャックユニットは、前記ベルヌーイチャックにおける旋回流の旋回方向が正逆異なる少なくとも一組のもので構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の吸引保持ハンド。
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