JP4538849B2 - 非接触保持装置 - Google Patents
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Description
この発明での追加の課題は、効率的に物品を保持するためのノズルの吹出角を具体的に定めることにある。
請求項2の発明での追加の課題は、気流と内壁との摩擦を軽減するための具体的な条件を定めることにある。
請求項3の発明での追加の課題は、内壁と平坦面との縁での気流の旋回を最小にしながら、平坦面に気流を均一に供給することにある。
4 凹部
6 平坦面
8 ノズル
10 上面
12 側壁
13 エッジ
14 フランジ
16 本体
18 頂部
20 注入口
22 流路
24 テーパー面
30 ワーク
O 中心
r 半径
R 直径
H 深さ
θ 側面視での吹出角
ψ 平面視での吹出角
Claims (3)
- 非接触保持装置の本体に下側が開口した凹部を設けると共に、該凹部の周囲の本体の底面を平坦にして、下向きに物品と対向する平坦面とし、かつ前記凹部内に気流を吹き出すためのノズルを設けて、物品と平坦面との間を気流が通過する際の負圧により物品を保持する装置において、
前記ノズルを凹部と平坦面との縁へ向けて気流を吹き出すように、凹部の上面の外周付近もしくは凹部の側壁にノズルを配置し、さらに前記ノズルからの気流の吹出方向を、平面視で凹部の内周方向から内側へ0〜10°、側面視で下向きに5°〜30°としたことを特徴とする、非接触保持装置。 - 凹部の内径と前記縁からノズルの吹き出し口までの高さの比を、10:1〜100:1としたことを特徴とする、請求項1の非接触保持装置。
- 前記ノズルを4個以上設けると共に、前記縁を、凹部の内壁面と平坦面とがほぼ直角に交わるエッジ状としたことを特徴とする、請求項1または2の非接触保持装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012144120A1 (ja) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | 村田機械株式会社 | 吸引チャック、及びそれを備えたワークの移載装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007176637A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
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KR100859835B1 (ko) * | 2008-05-13 | 2008-09-23 | 한국뉴매틱(주) | 비접촉식 진공패드 |
JP5239564B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | チャック装置および吸引保持ハンド |
JP5403247B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-01-29 | 村田機械株式会社 | 基板移載装置 |
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CN116759369B (zh) * | 2023-08-17 | 2023-10-31 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 一种伯努利手指 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5029171A (ja) * | 1973-07-17 | 1975-03-25 | ||
JPS58141536A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハ−の吸着ヘツド |
JPH02312256A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-27 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ウエハ保持装置 |
JP2000511354A (ja) * | 1996-05-31 | 2000-08-29 | アイペック・プリシジョン・インコーポレーテッド | ウェーハ状物品のための非接触保持器 |
JP2001353683A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-12-25 | Hiroshi Akashi | 空気保持装置 |
JP2002064130A (ja) * | 2000-06-09 | 2002-02-28 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
JP2006282345A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Hiroshi Akashi | 非接触搬送装置 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5029171A (ja) * | 1973-07-17 | 1975-03-25 | ||
JPS58141536A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハ−の吸着ヘツド |
JPH02312256A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-27 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ウエハ保持装置 |
JP2000511354A (ja) * | 1996-05-31 | 2000-08-29 | アイペック・プリシジョン・インコーポレーテッド | ウェーハ状物品のための非接触保持器 |
JP2001353683A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-12-25 | Hiroshi Akashi | 空気保持装置 |
JP2002064130A (ja) * | 2000-06-09 | 2002-02-28 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
JP2006282345A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Hiroshi Akashi | 非接触搬送装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012144120A1 (ja) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | 村田機械株式会社 | 吸引チャック、及びそれを備えたワークの移載装置 |
JP2012223860A (ja) * | 2011-04-20 | 2012-11-15 | Murata Machinery Ltd | 吸引チャック、及びそれを備えたワークの移載装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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