JP2003334730A - 板材加工機械の板材支持テーブル - Google Patents

板材加工機械の板材支持テーブル

Info

Publication number
JP2003334730A
JP2003334730A JP2002137374A JP2002137374A JP2003334730A JP 2003334730 A JP2003334730 A JP 2003334730A JP 2002137374 A JP2002137374 A JP 2002137374A JP 2002137374 A JP2002137374 A JP 2002137374A JP 2003334730 A JP2003334730 A JP 2003334730A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate material
air
processing machine
air chamber
swirling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002137374A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4025116B2 (ja
Inventor
Komei Shioji
功明 塩地
Atsushi Nakamura
淳 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP2002137374A priority Critical patent/JP4025116B2/ja
Publication of JP2003334730A publication Critical patent/JP2003334730A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4025116B2 publication Critical patent/JP4025116B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 板材の支持高さhの変化が少なく、かつ板材
自由端での振動発生を抑制した板材を非接触支持できる
板材加工機械の板材支持テーブルの提供。 【解決手段】 板材加工機械の板材支持テーブル10に
おいて、平坦な板材保持面11と、該板材保持面の内側
に前記板材に対向する凹部13と、該凹部中央に空気噴
出ノズル15とを有する吸着支持手段3を前記板材支持
テーブル上面と同一水準になるように設けた。前記吸着
支持手段の凹部下方に旋回空気室を設け、該旋回空気室
上部に前記凹部に連通する空気噴出口を設けると共に、
旋回空気室側部に空気流入口を設け、前記旋回空気室に
流入する空気に旋回運動を付与する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は板材加工機械の板材
支持テーブルに関する。さらに詳細には非接触で板材を
支持することができる板材加工機械の板材支持テーブル
に関する。
【0002】
【従来の技術】板状のワークの端部を把持して移動位置
決めして加工を行う板材加工機械、例えばパンチプレ
ス、レーザ加工機またはプラズマ切断加工機などにおい
て、被加工材である板材は板材支持テーブルに配置した
フリーベアやローラーまたはブラシなどの支持体によっ
て支持されている。
【0003】しかし、板材を移動させるときこれら支持
体との接触により、裏面に傷がついたり潤滑油が付いた
りする問題がある。また、板材と支持体との接触抵抗に
よる板材に生じる捻れで加工開始点と加工終点がずれる
という問題もある。
【0004】例えば、上述のレーザ加工機においては、
金属酸化物の粉塵等を含有するアシストガスが切断穴ま
たは切断面から下方に通過すると共に、板材下面に沿っ
て飛散し、板材支持テーブル上に堆積する。板材下面に
沿って飛散する粉塵の集塵は困難であり、この飛散する
粉塵または堆積した粉塵が支持体上を移動する板材の裏
面に傷を付けることもあった。
【0005】上述の如き問題に対応する板材支持テーブ
ルとして、図9に示すような空圧を利用して非接触で板
材Wを浮上支持する支持テーブル101が知られてい
る。
【0006】板材支持テーブル101は支持テーブル面
板103の下側に多数の空気噴出口105を備えた空気
室107を有し、この空気室107に高圧(数気圧)の
空気を供給し、前記空気噴出口105から上方へ空気を
噴出させて板材Wを浮上支持するように構成したもので
ある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前述の板材加工機械の
板材支持テーブル101においては、板材Wの浮上高さ
hが空気噴出量(または空気圧)と板材Wの重量
(F)の釣合で決まり、浮上高さhを安定させるのが
難かしく、板材Wに小穴109があると板材Wを支持す
る力が減少し浮上高さhが変動する原因となる。また、
板材Wの自由端111は上向きの噴流によって振動が発
生しやすい。
【0008】板材支持テーブル下面に高圧がかかるの
で、板材支持テーブルはこの圧力に耐える構造にする必
要がある。しかし、供給空気圧を低圧(1気圧より若干
高い程度)にした場合には多数の空気噴出口が必要とな
る。
【0009】本発明は上述の如き問題を解決するために
なされたものであり、本発明の課題は、板材Wの浮上高
さhの変化が少なく、かつ板材自由端での振動が発生し
にくい非接触で板材を浮上支持できる板材加工機械の板
材支持テーブルを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する手
段として請求項1に記載の板材加工機械の板材支持テー
ブルは、板材加工機械の板材支持テーブルにおいて、平
坦な板材保持面と、該板材保持面の内側に前記板材に対
向する凹部と、該凹部中央に空気噴出ノズルとを有する
吸着支持手段を前記板材支持テーブル上面と同一水準に
なるように設けたことを要旨とするものである。
【0011】請求項2に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルは、請求項1に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルにおいて、前記吸着支持手段の凹部下方に旋回
空気室を設け、該旋回空気室上部に前記凹部に連通する
空気噴出口を設けると共に、旋回空気室側部に空気流入
口を設け、前記旋回空気室に流入する空気に旋回運動を
付与することを要旨とするものである。
【0012】請求項3に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルは、請求項2に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルにおいて、前記空気噴出口の口径を空気流入口
の口径に対して大きく設けたことを要旨とするものであ
る。
【0013】請求項4に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルは、板材加工機械の板材支持テーブルにおい
て、前記板材支持テーブルと同一水準の平坦な板材保持
面と、該板材保持面の下方に設けた旋回空気室とを有す
る吸着支持手段を前記板材支持テーブルに設け、前記板
材保持面に前記板材に対向する空気噴出口を設けると共
に、前記旋回空気室側部に空気流入口を設け、前記旋回
空気室に流入する空気に旋回運動を付与することを要旨
とするものである。
【0014】請求項5に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルは、請求項4に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルにおいて、前記空気噴出口の口径を空気流入口
の口径に対して大きく設けたことを要旨とするものであ
る。
【0015】請求項6に記載の板材加工機械の板材支持
テーブルは、請求項1、2、3、4または5に記載の板
材加工機械の板材支持テーブルにおいて、前記吸着支持
手段の板材支持高さより低い板材支持高さで板材を支持
するフリーベア、ローラーまたはブラシを適宜な間隔を
おいて配置し、前記吸着支持手段による非接触支持と、
フリーベア、ローラーまたはブラシによる接触支持とを
併用または選択可能に設けたことを要旨とするものであ
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
によって説明する。
【0017】図1は第1の実施の形態を示したものであ
り、本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブル1
0には吸着支持手段3が適宜な配列で、例えば、格子状
または千鳥格子状に前記板材支持テーブル10のテーブ
ル面板5に取り付けてある。なお、図1には吸着支持手
段3の中の1個を代表して示してある。
【0018】前記吸着支持手段3は、ノズル本体7、空
気噴出部9および板材保持面11などからなっており、
前記板材保持面11はノズル本体7上面の平坦部に環状
に形成してある。この環状で平坦な板材保持面11の内
側には、すり鉢状の凹部13が形成してあり、この凹部
13の中心部に前記空気噴出部9が設けてある。
【0019】前記空気噴出部9にはノズル15が設けて
あり、このノズル15は前記凹部13内に突出した頭部
17を有し、この頭部17には前記ノズル本体7に設け
た管路19を介して供給される高圧空気を噴出する環状
の間隙21が設けてある。
【0020】また、前記吸着支持手段3は、前記板材保
持面11とテーブル面板5の上面とが同一水準になるよ
うにテーブル面板5に取り付けてある。
【0021】上記構成の板材支持テーブル10におい
て、板材支持テーブル10のテーブル面板5に板材Wを
載置し、吸着支持手段3のノズル15から高圧の空気を
噴出させれば、ノズル15から流出した空気は、前記凹
部13のすり鉢状曲面に沿って中心から放射方向に流
れ、次いでテーブル面板5と板材Wとの間を水平に流れ
て板材Wの外方へ流出する。
【0022】このとき、テーブル面板5と板材Wとの間
を水平に流れて板材Wの外方へ流出する空気の圧力によ
り板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」が作用して板材
Wが若干浮上した状態となる。
【0023】一方、テーブル面板5と板材Wとの間を空
気が流れることにより、ベルヌーイの定理により板材W
の上面と下面の流速の差によって、テーブル面板5と板
材Wとの間の圧力が上面より低下して、板材Wをテーブ
ル面板5方向へ吸引する力「F↓」が作用する。
【0024】また、前記すり鉢状の凹部13にある空気
が前記放射方向に流出する空気に巻き込まれて流出する
ため(ejector 効果)、凹部13の上方が負圧となって
板材Wを下方に吸引する力「F↓」が作用する。
【0025】さらに、板材Wに作用する重力により、板
材Wを下方向(鉛直方向)に引っ張る力「F↓」が作
用する。
【0026】その結果、板材Wは下方に作用する3種類
の力の和、「F↓」+「F↓」+「F↓」と、板
材Wを上方へ浮上させる力「J↑」とがバランスした位
置h(板材支持高さ)において浮上状態となって保持さ
れることになる。
【0027】また、テーブル面板5と板材Wとの間を空
気が流れている限り、板材Wに小穴23が在っても板材
Wを上方へ浮上させる力「J↑」は得られるので、板材
Wがテーブル面板5に接触することはない。
【0028】上述の力のバランスは、板材Wと吸着支持
手段3との間の距離h(板材支持高さ)が変化すると急
激に崩れるものである。逆に言うと、板材Wは吸着支持
手段3の間で安定距離hに留まろうとする作用が大き
く、これが板材Wの自由端の振動の抑制作用と浮上位置
h(板材支持高さ)の安定化作用として働き、板材Wの
浮上位置が安定する。
【0029】図2は本発明に係わる板材支持テーブルの
第2の実施形態を示すものである。なお図2において、
第1の実施の形態における部材と共通の部材には同一の
符号を付し説明を省略する。
【0030】板材支持テーブル20を構成する吸着支持
手段4(前記吸着支持手段3相当)は、ノズル本体7の
上部に第1の実施の形態と同様な凹部14(前記凹部1
3相当)が設けてあり、この凹部14の下方には円筒形
の旋回空気室25が設けてある。
【0031】旋回空気室25の上部には前記凹部14に
連通する空気噴出口29が設けてあり、また、旋回空気
室25の側部には空気流入口27が設けてある。空気流
入口27は旋回空気室25に流入した空気に旋回運動Vm
を与えるために前記旋回空気室25の内周に接する接線
方向に設けてある。
【0032】したがって、旋回空気室25に流入した空
気は旋回空気室25の円形の内壁に沿って流れ、図3に
示すような旋回運動を行うようになっている。なお、前
記空気噴出口29の口径は、前記空気流入口27の口径
に対して大きく設定してあり、このような設定にするこ
とにより、空気噴出口29から流出する空気は上方向に
は行かずに前記凹部14のすり鉢状曲面に沿って中心か
ら放射方向へ流れるようになる。
【0033】その結果、板材支持テーブル20において
も前記第1の実施形態の板材支持テーブル10と同一の
作用効果を得ることができる。
【0034】図4は、第3の実施形態の板材支持テーブ
ル30であって、前記第2の実施形態のノズル本体7に
形成した凹部14と同一形状の凹部16をテーブル面板
5に形成し、この凹部16の下方に旋回空気室31を一
体的に設けて、前記第2の実施形態における吸着支持手
段4に相当する吸着支持手段33を構成したものであ
る。
【0035】なお、前記旋回空気室31のほぼ中央上部
には前記凹部16に連通する空気噴出口29を設けると
共に、旋回空気室31の内周の接線方向に空気流入口2
7が設けてある。また、第2の実施形態と同様に空気噴
出口29の口径は空気流入口27の口径に対して大きく
設定してある。
【0036】したがって、第3の実施形態における板材
支持テーブル30においても前記第2の実施形態の板材
支持テーブル20と同一の作用効果を得ることができ
る。
【0037】図5は、第4の実施形態の板材支持テーブ
ル40であって、前記第3の実施形態の板材支持テーブ
ル30において、テーブル面板5に設けた凹部16の部
分をテーブル面板5上面と同一水準の平坦面としたもの
である。なお、空気流入口27および空気噴出口29の
口径の設定は第3の実施形態と同一である。
【0038】上記構成の第4の実施形態の板材支持テー
ブル40においては、板材Wに作用する下方向の3種類
の力、「F↓」、「F↓」および「F↓」の内、
前述のエジェクタ(ejector) 効果による吸引力「F
↓」はなくなり、「F↓」+「F↓」に対して空気
圧によって板材Wを上方へ浮上させる力「J↑」とがバ
ランスする位置に安定することになる。
【0039】図6は、第5の実施の形態であり、前記旋
回空気室31の上部も旋回空気室31で一体的に構成
し、第4の実施形態と同様に旋回空気室31の上面とテ
ーブル面板5の上面を同一水準に設けた構成となってい
る。なお、空気流入口27および空気噴出口29の口径
の設定は第4の実施形態と同一である。したがって、第
5の実施の形態における板材支持テーブル50も第4の
実施形態の板材支持テーブル40と同一の作用効果が得
られる。
【0040】図7および図8は、第4の実施の形態をよ
り詳細に示した板材支持テーブルの実施例である。
【0041】板材支持テーブル60は、非接触で板材W
を支持するためのテーブル面板61を備えており、この
テーブル面板61には複数の吸着支持手段63が適宜な
配列で、例えば、格子状または千鳥格子状に取り付けて
ある。なお、図7および図8には複数の吸着支持手段6
3の中の1個を代表して示してある。
【0042】前記吸着支持手段63は、空気室本体65
と旋回ノズル67およびシール69(a,b)などで構成し
てある。空気室本体65には上方に開口した円形有底の
旋回ノズル装着穴68が設けてあり、この旋回ノズル装
着穴68に前記旋回ノズル67が装着してある。
【0043】上述の旋回ノズル67は中空円筒状をなし
ており、外径を旋回ノズル装着穴の内径より小径に設け
ると共に、上端部には前記旋回ノズル装着穴に嵌合する
フランジ部67fが設けてある。
【0044】また、旋回ノズル67の上端面は前記空気
室本体65の上端面と同一水準に設けてあって、空気室
本体65の上端面に前記テーブル面板61を密着させて
当接させると共に、空気室本体65とテーブル61とを
ボルト71などの締結手段で固着してある。
【0045】前記旋回ノズルの中空円筒部外径と空気室
本体65の旋回ノズル装着穴との間には円筒形の環状空
間73が形成されている。また、前記旋回ノズル67の
中空円筒内部は旋回空気室75となる空間である。前記
環状空間73と旋回空気室75との間を連通する4個の
空気流入口77(a,b,c,d)が旋回ノズルに設けてある。
【0046】前記4個の空気流入口77(a,b,c,d)は、
前記旋回ノズル67の中空円筒下端にあって、中空円筒
形の旋回空気室75の内径に接する接線方向に中心に対
して方位角90度間隔で設けてある。
【0047】また、旋回ノズル67の軸心上方の前記テ
ーブル面板61には空気噴出口79が設けてある。な
お、前記空気噴出口79の断面積は前記空気流入口77
の断面積より大きく設定してある。
【0048】前記空気室本体65には、空圧源(図示省
略)に接続されたコネクタ81から前記環状空間73へ
連通する空気供給穴83が設けてある。
【0049】なお、空気室本体65とテーブル61との
間には、前記旋回空気室75内の空気が外部へ流出する
のを遮断するためのシール部材69bが設けてある。ま
た、前記環状空間73のフランジ部67f下には、環状
空間73内の空気が外部へ流出するのを遮断するための
シール部材69aが設けてある。
【0050】上記構成において、コネクタ81、空気供
給穴83を介して環状空間73へ空圧源からの空気を供
給すれば、環状空間73内に入った空気は、4個の空気
流入口77から旋回空気室75内に流入し、旋回空気室
75内で旋回運動Vmを行うことになる。そして、空気噴
出口79から流出する空気は真っ直ぐ上には行かずに板
材Wとテーブル上面の間をほぼ水平方向へ流出する。
【0051】その結果、本実施例においても、前記第4
の実施形態の板材支持テーブル40と同様に、「F
↓」+「F↓」に対して空気圧によって板材Wを上
方へ浮上させる力「J↑」とがバランスする位置に安定
することになる。
【0052】なお、上述の第1の実施形態〜第5の実施
形態および実施例において、前記テーブル面板(5、6
1)に、前記吸着支持手段(3,4,33)の板材支持高さhよ
り低い支持高さで板材Wを支持するフリーベアまたはロ
ーラーまたはブラシを適宜な間隔をおいて配置し、前記
吸着支持手段(3,4,33)による非接触支持と、フリーベア
またはローラーまたはブラシなどの支持体による接触支
持とを選択して使用するようにすることもできる。
【0053】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、テーブル面板
と板材との間を流れる空気圧により板材Wを上方へ浮上
させる力「J↑」と、板材Wの上面と下面の流速の差に
よって生ずる、板材Wをテーブル面板方向へ吸引する力
「F↓」と、吸着支持手段の凹部から排出される空気
により生ずる吸引力「F↓」(ejector 効果)とのバ
ランスにより、板材は板材に小穴が存在しても一定の板
材支持高さhに非接触状態で安定保持することができ
る。
【0054】また、上述の力のバランスは、板材と吸着
支持手段との間の距離hが変化すると急激に崩れるもの
である。逆に言うと、板材は吸着支持手段の間で安定距
離hに留まろうとする作用が大きく、これが板材の自由
端の振動の抑制作用と浮上位置hの安定化作用として働
き浮上位置が安定する。
【0055】請求項2または請求項3の発明によれば、
旋回空気室による旋回流と空気噴出口の口径を空気流入
口の口径に対して大きく設定したことによって、空気噴
出口から流出する空気は上方向には行かずに前記凹部1
4の曲面に沿って中心から放射方向へ流れるようになる
ため、請求項1の発明と同様な効果を得ることができ
る。
【0056】請求項4または請求項5の発明によれば、
エジェクタ(ejector) 効果による吸引力「F↓」は
ないが、「F↓」+「F↓」に対して空気圧によっ
て板材を上方へ浮上させる力「J↑」とがバランスする
位置に安定保持することができる。
【0057】請求項6の発明によれば、状況に応じて吸
着支持手段による板材の非接触支持と、フリーベアまた
はローラーまたはブラシによる接触支持とを併用または
選択して使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブ
ルの第1の実施の形態を示した図。
【図2】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブ
ルの第2の実施の形態を示した図。
【図3】図2におけるI-I断面図。
【図4】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブ
ルの第3の実施の形態を示した図。
【図5】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブ
ルの第4の実施の形態を示した図。
【図6】本発明に係わる板材加工機械の板材支持テーブ
ルの第5の実施の形態を示した図。
【図7】第4の実施の形態をより詳細に示した板材支持
テーブルの実施例である(平面図)。
【図8】図7におけるII-II断面図。
【図9】非接触で板材を浮上支持する従来の板材加工機
の支持テーブルの例。
【符号の説明】
3 吸着支持手段 5 テーブル面板 7 ノズル本体 9 空気噴出部 10、20、30、40、60 板材支持テーブル 11 板材保持面 13、14、16 凹部 15 ノズル 17 頭部 19 管路 21 環状の間隙 23 小穴 25、31 旋回空気室 27 空気流入口 29 空気噴出口 33、63 吸着支持手段 65 空気室本体 67 旋回ノズル 68 旋回ノズル装着穴 69(a,b) シール 71 ボルト 73 円筒形の環状空間 75 旋回空気室 77(a,b,c,d) 空気流入口 79 空気噴出口 81 コネクタ 83 空気供給穴 W 板材

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 板材加工機械の板材支持テーブルにおい
    て、平坦な板材保持面と、該板材保持面の内側に前記板
    材に対向する凹部と、該凹部中央に空気噴出ノズルとを
    有する吸着支持手段を前記板材支持テーブル上面と同一
    水準になるように設けたことを特徴とする板材加工機械
    の板材支持テーブル。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の板材加工機械の板材支
    持テーブルにおいて、前記吸着支持手段の凹部下方に旋
    回空気室を設け、該旋回空気室上部に前記凹部に連通す
    る空気噴出口を設けると共に、旋回空気室側部に空気流
    入口を設け、前記旋回空気室に流入する空気に旋回運動
    を付与することを特徴とする板材加工機械の板材支持テ
    ーブル。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の板材加工機械の板材支
    持テーブルにおいて、前記空気噴出口の口径を空気流入
    口の口径に対して大きく設けたことを特徴とする板材加
    工機械の板材支持テーブル。
  4. 【請求項4】 板材加工機械の板材支持テーブルにおい
    て、前記板材支持テーブルと同一水準の平坦な板材保持
    面と、該板材保持面の下方に設けた旋回空気室とを有す
    る吸着支持手段を前記板材支持テーブルに設け、前記板
    材保持面に前記板材に対向する空気噴出口を設けると共
    に、前記旋回空気室側部に空気流入口を設け、前記旋回
    空気室に流入する空気に旋回運動を付与することを特徴
    とする板材加工機械の板材支持テーブル。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の板材加工機械の板材支
    持テーブルにおいて、前記空気噴出口の口径を空気流入
    口の口径に対して大きく設けたことを特徴とする板材加
    工機械の板材支持テーブル。
  6. 【請求項6】 請求項1、2、3、4または5に記載の
    板材加工機械の板材支持テーブルにおいて、前記吸着支
    持手段の板材支持高さより低い板材支持高さで板材を支
    持するフリーベア、ローラーまたはブラシを適宜な間隔
    をおいて配置し、前記吸着支持手段による非接触支持
    と、フリーベア、ローラーまたはブラシによる接触支持
    とを併用または選択可能に設けたことを特徴とする板材
    加工機械の板材支持テーブル。
JP2002137374A 2002-05-13 2002-05-13 板材加工機械の板材支持テーブル Expired - Fee Related JP4025116B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002137374A JP4025116B2 (ja) 2002-05-13 2002-05-13 板材加工機械の板材支持テーブル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002137374A JP4025116B2 (ja) 2002-05-13 2002-05-13 板材加工機械の板材支持テーブル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003334730A true JP2003334730A (ja) 2003-11-25
JP4025116B2 JP4025116B2 (ja) 2007-12-19

Family

ID=29699147

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002137374A Expired - Fee Related JP4025116B2 (ja) 2002-05-13 2002-05-13 板材加工機械の板材支持テーブル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4025116B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102717283A (zh) * 2012-06-26 2012-10-10 江苏汤臣汽车零部件有限公司 一种减速器壳装配平面铣削工装

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102717283A (zh) * 2012-06-26 2012-10-10 江苏汤臣汽车零部件有限公司 一种减速器壳装配平面铣削工装

Also Published As

Publication number Publication date
JP4025116B2 (ja) 2007-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102311007A (zh) 非接触式运送设备
JP5465595B2 (ja) 非接触搬送装置
JP5406852B2 (ja) 非接触搬送装置
KR102196077B1 (ko) 기포 발생 장치
JP4538849B2 (ja) 非接触保持装置
KR20130126466A (ko) 반송 보유지지구 및 반송 보유지지 장치
US10643881B2 (en) Baffle plate
TWI683390B (zh) 吸引裝置
JP2003334730A (ja) 板材加工機械の板材支持テーブル
JPH0446864B2 (ja)
KR20220003437A (ko) 클리너
JP2010254453A (ja) 浮上装置
JP2619436B2 (ja) 板状体の保持装置
JP5740394B2 (ja) 旋回流形成体及び非接触搬送装置
JP2007024421A (ja) ミスト発生方法及びその装置
JPH0512113B2 (ja)
JPH0640560A (ja) 無接触保持装置
JPH05335404A (ja) 無接触保持装置
JP4723009B2 (ja) ワークの吸着パッド装置
JP5913131B2 (ja) 上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置
JP3933123B2 (ja) エア搬送装置
JPS63225026A (ja) 保持装置
JP2515914B2 (ja) 吸着保持装置
TW201906671A (zh) 基板處理裝置
JPH02138044A (ja) 板状体の保持装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050509

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070313

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070508

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070925

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071004

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101012

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111012

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121012

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131012

Year of fee payment: 6

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees