CN102311007A - 非接触式运送设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种非接触式运送设备(10)。非接触式运送设备(10)包括外壳(12)，和适配进形成在外壳(12)的下表面(12b)中的中心部分上的圆形凹部(34)的板(14)。外壳(12)被形成与要被运送的工件(S)的形状相对应的形状，例如，八边形形状。在板(14)中，多个喷嘴(46)以相等角度间隔径向地排列。喷嘴(46)包括第一喷嘴槽(48)和第二喷嘴槽(50)，第一喷嘴槽(48)和第二喷嘴槽(50)的横截面积取决于外壳(12)的主侧(18)和喷嘴(46)之间的距离与外壳(12)的倾斜侧(20)和喷嘴(46)之间的距离的比例，用于使通过第一喷嘴槽(48)和第二喷嘴槽(50)的压力流体的流速不同。

Description

非接触式运送设备
技术领域
本发明涉及一种非接触式运送设备，该非接触式运送设备能够通过在吸力作用下吸引工件来在非接触的状态下保持和运送薄板状的工件。
背景技术
迄今为止，例如，当运送诸如用于液晶显示设备中的液晶玻璃基板、半导体晶片等的薄板状工件时，会使用一种能够通过利用流体而浮置和保持工件的非接触式运送设备。
例如，日本开平专利公报第10-181879所公开的这种非接触式运送设备，其包括具有多个竖直延伸通过其的通道的运送垫。供给到通道的压力流体从运送垫的下端部形成的开口处吹出，并且压力流体沿运送垫的下表面流动。利用机械手等，运送垫结合在其中的非接触式运送设备在工件的上方并且靠近工件的位置上运动。结果，压力流体在运送垫的下表面和工件之间高速流动，从而通过伯努利效应(Bernoulli effect)会产生负压，因而工件在非接触的状态下在吸力作用下被吸引向运送垫并且被运送垫保持。
同样，日本开平专利公报第2006-346783公开了一种非接触式运送设备，该非接触式运送设备包括具有流体供应端口的供应柱和固定到供应柱的下部分上的排出垫。排出垫包括沿着圆周方向开口的流体排出通道。流体排出通道由沿着排出垫的圆周方向连续形成的间隔组成。从流体供应端口供应的压力流体沿着排出垫的圆周方向从流体流出通道流出。结果，会产生负压，工件在吸力作用下被吸引。
通常，这种非接触式运送设备运送诸如半导体晶片等的圆盘状的工件。为了保持这种工件，该设备使压力流体通过其开口从运送垫的中心径向流动。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种非接触式运送设备，该非接触式运送设备能够通过根据工件的形状所供给的量的压力流体来可靠且稳定地保持和运送非圆形工件。
根据本发明，提供一种用于通过供应压力流体而在吸力作用下吸引工件并且在非接触状态下保持和运送工件的非接触式运送设备，所述非接触式运送设备包括：
本体，所述本体形成为与工件的形状相对应的外形；和
流体排出部，所述流体排出部被设置在本体面向工件的端面上，该流体排出部包括多个用于沿着端面排出压力流体的排出孔，
其中，本体包括多个外边缘部，排出孔和外边缘部之间的距离不同；并且
其中，排出孔面向外边缘部，并且具有与排出孔和外边缘部之间的距离成比例的横截面积。
根据本发明，本体形成为具有多个外边缘部且与工件的形状对应的外形，本体包括在其端面上并且面向工件的流体排出部。流体排出部包括多个用于沿着本体的端面排出压力流体的排出孔。排出孔的横截面积被确定成与排出孔和外边缘部之间的距离成比例。
因而，压力流体通过排出孔排出，该排出孔的横截面积的确定取决于排出孔和外边缘部之间的距离，从而压力流体能够以基本相同的流速沿着本体的端面被供应直到外边缘部的附近。因此，压力流体以足够的流速流到面向非圆形工件的各个部分的位置，然后在这个位置产生负压。因而，由于负压，工件能够被可靠且稳定地保持和运送。
通过下面的说明，并结合以示意性实例的方式显示的本发明的优选实施例的附图，本发明的上述和其他的目的、特点和优点变得更加地清楚。
附图说明
图1是根据本发明的第一实施例的非接触式运送设备的分解立体图；
图2是在不同于图1中的方向的方向上看时非接触式运送设备的分解立体图；
图3是图1的非接触式运送设备的整体截面图；
图4是从图1的非接触式运送设备的下表面看时该非接触式运送设备的俯视图；
图5是板的俯视图；
图6是图3的放大截面图；
图7A是沿着图4的线VIIA-VIIA的截面图；
图7B是沿着图4的线VIIB-VIIB的截面图；
图8A是展示当利用图1所示的非接触式运送设备保持工件时，非圆形工件在其角部附近振动中所产生的变化的特征曲线的图表；
图8B是展示当利用常规的非接触式运送设备保持工件时，非圆形工件在其角部附近振动中所产生的变化的特征曲线的图表；
图9是根据本发明的第二实施例的非接触式运送设备的分解立体图；
图10是在不同于图9的方向的方向上看时非接触式运送设备的分解立体图；
图11是图9所示的板的俯视图；
图12是在图11的箭头X所示的方向上看时板的侧视图；和
图13是在图11的箭头Y所示的方向上看时板的侧视图。
具体实施方式
以下将结合参考附图展示并具体说明根据本发明的优选实施例的非接触式运送设备。在图1中，参考标号10表示根据本发明的第一实施例的非接触式运送设备。
如图1至6所示，非接触式运送设备10包括外壳(本体)12，设置在外壳12的中心部分上的圆盘形板(流体排出部)14，和设置在外壳12和板14之间的密封环16。
外壳12形成为金属块，例如，形成为以特定角度切割正方形的四个角而获得的八边形。更具体地，外壳12被形成为与将被非接触式运送设备10运送的工件S的形状相对应的形状。例如，在工件S是太阳能电池的情况下，为了将外壳12和工件S的形状相匹配，外壳12的形状被形成为具有相互垂直设置的四个主侧(第一侧)18，和每个都连接邻近的主侧并且相对于主侧18倾斜45度的四个倾斜侧(第二侧)20。主侧18和倾斜侧20共同形成外壳12的外形的外边缘部。
如图3和4所示，外壳12的尺寸基本等于或稍微小于要被非接触式运送设备10运送的工件S的尺寸。
在外壳12的上表面12a上，形成有多个(例如，4个)螺栓孔24，固定螺栓22插入通过该螺栓孔24以用于固定板14。在螺栓孔24附近，形成有多个(例如，4个)附件孔26(见图1)。
螺栓孔24以等角度间隔形成在圆周上，该圆周具有绕着外壳12的中心的特定半径。螺栓孔24在厚度方向上延伸通过外壳12。螺栓孔24中的每一个都具有用于在上表面12a侧上(在箭头A所示的方向上)接收固定螺栓22的头部22a的大直径部分和固定螺栓22的螺丝22b在下表面(端面)12b侧上(在箭头B所示的方向上)被插入而经过的小直径部分。
附接孔26设置在螺栓孔24的径向外部。通过将未图示的螺栓螺合到附接孔26内，外壳12被联结到机械手等的端部。
在外壳12的上表面12a上，形成有邻近其中一个螺栓孔24的供应端口32。供应端口32在外壳12的上表面12a上开口，并且被连接到配管(未显示)，压力流体被从未图示的压力流体供应源供给到该配管。
另一方面，在外壳12的下表面12b上，在大致中心的位置上形成圆形凹部34，该凹部34起到以非接触状态保持工件S的工件保持表面的作用。
凹部34被形成使得稍后所述的板14能够被适配进凹部34。凹部34包括第一孔36，第二孔38，和第三孔40。第一孔36最靠近外壳12的上表面12a(在箭头A所示的方向上)。第二孔38邻近第一孔36，并且与第一孔36的直径相比其直径径向向外增大。第三孔40最靠近外壳12的下表面12b(在箭头B所示的方向上)，并且与第二孔38的直径相比其直径进一步径向向外增大。
更具体地，如图2和3所示，在凹部34中，第一孔36，第二孔38，和第三孔40以这样的顺序从外壳12的上表面12a(在箭头A的方向上)向着外壳12的下表面12b(在箭头B的方向上)排列。凹部34的直径向着下表面12b(在箭头B的方向上)逐渐增大。换句话说，凹部34在最深的位置上具有第一孔36。
第一孔36具有基本平坦的底壁表面36a和垂直于底壁表面36a的内周表面。螺栓孔24贯穿外壳12从外壳12的上表面12a(箭头A的方向)延伸到第一孔36的底壁表面36a。
与第一孔36相似，第二孔38具有基本平坦的底壁表面38a和垂直于底壁表面38a的内周表面38b。第二孔38的内周表面38b邻近供应端口32并且与供应端口32连通。
与第一孔36和第二孔38相似，第三孔40具有基本平坦的底壁表面40a。另外，第三孔40具有内周表面40b，该内周表面40b呈锥形，从而第三孔40的直径从底壁表面40a和内周表面40b的接合部分径向向外逐渐增大。内周表面40b相对于底壁表面40a的倾斜角度例如是30度。
在以上的实施例中，供应端口32在外壳12的上表面12a(箭头A方向)上是开口的。然而，本发明不限于此方面。例如，供应端口32可以在外壳12的侧表面上开口以与第二孔38连通。
正如外壳12，板14例如是由金属材料制成。板14包括圆形基部42，和凸部44，该凸部44的直径小于基部42的直径，并且该凸部44在基部42上凸出特定高度。凸部44的外直径大致等于第一孔36的内直径。
如图1、4和5所示，在基部42位于凸部44侧的端面上，多个喷嘴(排出孔)46被径向地设置，用于向外喷射压力流体。在本实施例中，例如，设置八个喷嘴46，并且该八个喷嘴46以等角度间隔沿基部42的圆周方向排列。每一个喷嘴46都由相对于基部42的端面具有特定深度且在基部42的径向方向上延伸的凹槽组成。
喷嘴46包括第一喷嘴槽(第一通道)48，和位于第一喷嘴槽48之间的第二喷嘴槽(第二通道)50。如图7A所示，每个第一喷嘴槽48都形成具有特定宽度W1和特定深度H1的矩形横截面。第一喷嘴槽48从基部42的外周表面径向向内延伸特定长度，且第一喷嘴槽48的端部被形成为半圆形。第一喷嘴槽48的端部与板14的凸部44的外周表面分开特定距离。换句话说，每个第一喷嘴槽48都从基部42的外周表面径向地延伸到凸部44的外周表面的附近。
如图5所示，第一喷嘴槽48绕着板14的中心以90度的相等角度间隔排列。
正如第一喷嘴槽48，每一个第二喷嘴槽50都形成为矩形的横截面。第二喷嘴槽50从基部42的外周表面径向向内延伸特定长度，且第二喷嘴槽50的端部被形成为半圆形。第二喷嘴槽50的端部与板14的凸部44的外周表面分开特定距离。每个第一喷嘴槽48的端部和每个第二喷嘴槽50的端部与凸部44的外周表面分开相同的距离。
每一个第二喷嘴槽50都被设置在一个第一喷嘴槽48和邻近该第一喷嘴槽48的另一个第一喷嘴槽48之间，第二喷嘴槽50绕着板14的中心以90度的相等角度间隔排列。
更具体地，第一和第二喷嘴槽48，50绕着板14的中心以45度的相等角度间隔交替排列，而第一喷嘴槽48以90度的相等角度间隔排列，第二喷嘴槽50同样以90度的相等角度间隔排列。
当板14适配进外壳12的凹部34时，第一喷嘴槽48基本垂直地面向主侧18，而第二喷嘴槽50基本垂直地面向倾斜侧20。
如图7B所示，每个第二喷嘴槽50的宽度W2都大于每个第一喷嘴槽48的宽度W1(W1＜W2)。每个第二喷嘴槽50的深度(高度)H2都等于每个第一喷嘴槽48的深度(高度)H1(H1＝H2)。因而，由于第二喷嘴槽50比第一喷嘴槽48更宽，所以每个第二喷嘴槽50的横截面积D2(W2×H2)都大于每一个第一喷嘴槽48的横截面积D1(W1×H1)(D2＞D1)。
相对于第一喷嘴槽48的横截面积D1的第二喷嘴槽50的横截面积D2的确定取决于第二距离L2与第一距离L1的比率(L2∶L1)，其中第一距离是第一喷嘴槽48的开口端与主侧18之间的距离，第二距离L2是第二喷嘴槽50的开口端与倾斜侧20之间的距离。例如，在第二距离L2与第一距离L1的比率是1.5的情况下，由于第二距离L2是第一距离L1的1.5倍，所以第二喷嘴槽50的横截面积D2被设定为是第一喷嘴槽48的横截面积D1的1.5倍。
更具体地，由于喷嘴46和倾斜侧20之间的第二距离L2比喷嘴46和主侧18之间的第一距离L1更长(L1＜L2)，如果压力流体以相同的流速通过设置在相同的圆周上的喷嘴46的开口端流出，则主侧18附近的压力流体的流速将会不同于倾斜侧20附近的压力流体的流速。换句话说，由于第一和第二距离L1、L2，倾斜侧20附近的压力流体的流速小于主侧18附近的压力流体的流速。
为了防止出现这种差别，根据第二距离L2与第一个距离L1的比率，第二喷嘴槽50的横截面积D2被设定为大于第一喷嘴槽48的横截面积D1，从而在第二喷嘴槽50上的压力流体的流速增大。结果，倾斜侧20附近的压力流体的流速能够等于主侧18附近的压力流体的流速。
相反，在第二距离L2小于第一距离L1(L1＞L2)的情况下，第二喷嘴槽50的横截面积D2被设定为小于第一喷嘴槽48的横截面积D1(D1＞D2)。
在凸部44的端面上，在凸部44的外周表面内侧径向定位的位置上形成环形槽。密封环16安装在环形槽内，密封环16例如由塑料材料制成，且从凸部44的端面稍微突出。
同样，在凸部44的端面上，在环形槽内侧径向定位的位置、在圆周上形成多个螺丝孔52。板14首先被适配进外壳12的凹部34。之后，固定螺栓22被插入穿过螺栓孔24，然后固定螺栓22的螺丝22b被螺纹接合进螺丝孔52。因而，板14相对于外壳12被固定。
如图4所示，板14被适配进外壳12的凹部34，使得基部42位于外壳12的下表面12b侧(箭头B的方向)的位置上，而凸部44位于外壳12的上表面12a侧(箭头A的方向)的位置上。基部42插入第三孔40内，凸部44插入第一和第二孔36、38，使得密封环16抵靠第一孔36的底壁表面36a。结果，可以防止从供应端口32供给到第二孔38的压力流体流到第一孔36中的底壁表面36a的中心部分。
同样，形成有环形空间54，该环形空间54具有在凸部44和第二孔38的内周表面38b之间的特定间隙。空间54与供应端口32和喷嘴46连通。
另外，在凸部44侧上的基部42的端面抵靠第三孔40的底壁表面40a，然后用于压力流体的通道被限定在喷嘴46的第一和第二喷嘴槽48、50和底壁表面40a之间，该通道与内周表面40b侧上的第三孔40连通。板14被适配进外壳12的凹部34，使得其基部42不会从凹部34突出，并且板14的端面基本与外壳12的下表面12b齐平，或者稍微从下表面12b缩进凹部34内。
由于基部42和外壳12在除了喷嘴46的位置上彼此抵靠，所以压力流体不会到处流动，而仅仅通过喷嘴46流动。也就是说，压力流体仅仅通过喷嘴46径向向外流动，进一步沿着第三孔40的内周表面40b流动经过空间54。
根据本发明的第一实施例的非接触式运送设备10基本如上述所述被构造。其次，以下将说明其的操作和效果。在以下说明中，将阐述以特定角度切割正方形块而获得的八边形工件S(例如，太阳能电池)被运送的情况。
首先，压力流体通过连接到未图示的压力流体供应源的配管被供应到供应端口32。压力流体从供应端口32流到板14的凸部44和外壳12的第二孔38之间的空间54，之后通过喷嘴46的第一和第二喷嘴槽48、50径向向外流动。更具体地，压力流体通过八个第一和第二喷嘴槽48、50从环形空间54流出，然后在八个方向径向地排出。
在这种情况下，由于第一喷嘴槽48的横截面积D1不同于第二喷嘴槽50的横截面积D2，所以通过具有较大横截面积的第二喷嘴槽50的压力流体的流速大于通过具有较小横截面积的第一喷嘴槽48的压力流体的流速。
其次，从喷嘴46排出的压力流体沿着第三孔40的内周表面40b径向向外流动，并且被向着外壳12的下表面12b引导。之后，压力流体流到下表面12b，然后沿着下表面12b高速流动。因而，由于伯努利效应，外壳12的下表面12b上产生负压。
其中包含外壳12的非接触式运送设备10例如通过机械手等运动。此时，外壳12与八边形工件S平行地运动更靠近八边形工件S，使得外壳12的主侧18和倾斜侧20与工件S的形状相对应。然后，通过产生的负压，在吸力作用下工件S被吸引朝向下表面12b。在这种情况下，由于在工件S和外壳12之间存在压力流体在其中流动的空气层，所以工件S不会接触外壳12。因而，工件S被保持在非接触状态。
压力流体经过具有不同横截面积的第一和第二喷嘴槽48、50以不同的流速被径向排出，并且沿着外壳12的下表面12b流动。在这种情况下，从第二喷嘴槽50流到四个倾斜侧20的压力流体的流速被设定为大于从第一喷嘴槽48流到四个主侧18的压力流体的流速。因而，在外壳12中，即使在与喷嘴46分开较大距离的倾斜侧20的附近，压力流体仍然能够以足够的流速流动，正如在主侧18的附近。结果，能够在主侧18附近和倾斜侧20附近产生足以保持工件S的负压，从而可靠且稳定地保持工件S。
换句话说，整个工件S被基本平行于外壳12地稳定保持。
其次，参考图8A和8B，阐述工件S的角部Sa附近的振动变化。图8A是展示在利用根据本发明的非接触式运送设备10保持八边形工件S的情况下，振动变化和时间之间关系的特征曲线。图8B是展示在利用常规的非接触式运送设备保持八边形工件S的情况下，振动变化和时间之间关系的特征曲线。
从图8A可见，在工件S被根据本发明的非接触式运送设备10保持的情况下，工件S相对于表示工件S未移动的位移0的参考值C向上移动(+)和向下移动(-)，其的位移上下振动。然而，振动的振幅小于图8B中所示的常规的非接触式运送设备中的振动的振幅。
因而，可从图8A和8B可知，与常规的非接触式运送设备保持非圆形工件S的情况相比，最容易受到这样的振动影响的工件S的角部Sa附近的振动能够被有效地防止。因而，根据本实施例的非接触式运送设备10能够可靠且稳定地保持工件S，而且能够可靠地避免由于振动而对工件S造成的损坏等。
如上所述，当根据第一实施例的非接触式运送设备10保持并且运送诸如八边形工件S等的非圆形工件时，外壳12形成八边形的横截面，使得外壳12的形状与工件S的形状相对应。另外，多个喷嘴46被设置用来将压力流体排出到外壳12的下表面12b，并且喷嘴46被分别地设置，从而面向并且垂直于形成外壳12的外边缘部的主侧18和倾斜侧20。同样，相对于面向主侧18的第一喷嘴槽48的横截面积D1的面向倾斜侧20的第二喷嘴槽50的横截面积D2的确定取决于倾斜侧20和第二喷嘴槽50的开口端之间的第二距离L2与主侧18和第一喷嘴槽48的开口端之间的第一距离L1的比率。
因而，与倾斜侧20分开较大距离的第二喷嘴槽50的横截面积D2被设定为大于第一喷嘴槽48的横截面积D1。因而，即使在与喷嘴46分开较大距离的倾斜侧20的附近，压力流体仍然能够以足够的流速流动。
结果，当压力流体被沿着外壳12的下表面12b从喷嘴46排出时，该压力流体的流速在主侧18附近和倾斜侧20附近之间不会变化，从而能够彼此基本相等。因此，在外壳12的下表面12b上产生的吸收能量在整个下表面12b上基本一致。因而，八边形工件S能够在吸力作用下被可靠且稳定地吸引向外壳12并且被运送。
同样，外壳12的形状的确定取决于工件S的形状，并且形成为具有多个外边缘部的外形。第一和第二喷嘴槽48、50的数量的确定取决于外边缘部的数量。截面面积D1、D2的确定取决于外边缘部和第一喷嘴槽48之间的距离和外边缘部和第二喷嘴槽50之间的距离。因而，具有各种形状的工件S能够被可靠且稳定地运送。
在以上实施例中，外壳12的形状包括距喷嘴46不同距离的两种类型的外边缘部(主侧18，倾斜侧20)。然而，本发明不限于此方面。例如，外壳12的形状可以包括距喷嘴46不同距离的三种类型的外边缘部。在这种情况下，非接触式运送设备可以包括具有根据喷嘴和外边缘部之间的距离的三种类型的横截面积的喷嘴槽。结果，其外形与具有三种类型的外边缘部的形状相对应的工件能够被稳定地运送。
另外，在根据以上实施例的非接触式运送设备10中，外壳12和板14由金属材料制成。然而，本发明不限于此方面。例如，外壳12和板14可由树脂材料制成。
进一步，在以上的非接触式运送设备10中，喷嘴46被设置在板14的基部42上。然而，喷嘴16可以被设置在面对基座42的第三孔40的底壁表面40a上，而不是板14侧上。
同样，在以上实施例中，第一和第二喷嘴槽48、50具有宽度为W1、W2，在尺寸上小于宽度W1、W2的深度H1、H2的矩形横截面。然而，本发明不限于此方面。例如，除非第一喷嘴槽48的横截面积D1和第二喷嘴槽50的横截面积D2之间的大小关系改变，深度H1、H2可以被设定为大于宽度W1、W2，或者替代地，第一和第二喷嘴槽48、50可以具有圆形横截面。
换句话说，只要第一喷嘴槽48的横截面积D1和第二喷嘴槽50的横截面积D2的确定是取决于第一距离L1和第二距离L2之间的比率，第一和第二喷嘴槽48、50的横截面形状就不限于此。
其次，参考图9至13，说明根据第二实施例的非接触式运送设备100。利用相同的参考标号来表示与根据第一实施例的非接触式运送设备10的组成元件相同的非接触式运送设备100的组成元件，并且省略对这些元件的说明。
根据第二实施例的非接触式运送设备100与根据第一实施例的非接触式运送设备10的不同之处在于具有锯齿形的流体排出部102被设置在板104上，而不是喷嘴46，凸部和凹部沿着该板104的圆周方向连续地形成在板104上。
如图9和10所示，流体排出部102被设置在板104的基部42的端面的凸出侧上(在箭头A的方向)。流体排出部102由多个(例如8个)顶部分106和凹部分(排出孔)108组成。顶部分106在远离端面的方向上突出。凹部分108被形成在顶部分106之间，并且凹陷进基部42内。
如图11至13所示，顶部分106以相等角度间隔沿着基部42的圆周方向排列。每一个顶部分106都形成大致三角形的横截面，其横截面在远离基部42的方向上(在箭头A的方向)呈锥形。当板104被适配进外壳12时，顶部分106面向第三孔40的底壁表面40a，并且与底壁表面40a分开特定距离。也就是说，在流体排出部102的顶部分106和第三孔40的底壁表面40a之间存在特定间隙(见图12和13)。
每一个凹部分108都具有由两个倾斜表面限定的三角形的横截面。两个倾斜表面在两个倾斜表面朝彼此靠近的方向上从相邻的顶部分106延伸，并且在靠近基部42的方向上(在箭头B的方向上)以特定角度倾斜。凹部分108的数量等于顶部分106的数量(例如，8个)。每个凹部分108都在两个倾斜表面相交部分的最深处。
凹部分108具有两种类型，例如，第一凹部112和第二凹部114，第一凹部112和第二凹部114在它们各自的最深点上距顶部分106的深度彼此不同。更具体地，每个第一凹部112都具有最深点110a，而每个第二凹部114都具有最深点110b。在最深点110b上距顶部分106的深度大于在最深点110a上距顶部分106的深度。换句话说，在凹部分108中，第二凹部114的最深点110b比第一凹部112的最深点110a更靠近基部42端(在箭头B的方向)。
相对于第一凹部112的开口横截面积D3的第二凹部114的开口横截面积D4的确定取决于第二凹部114的开口端和倾斜侧20之间的距离与第一凹部112的开口端和主侧18之间的距离的比率。
当板104被适配进外壳12的凹部34时，第一凹部112基本垂直地面向主侧18，而第二凹部114基本垂直地面向倾斜侧20。
在以上阐述中，板104的顶部分106与外壳12的第三孔40的底壁表面40a分开。然而，本发明不限于此方面。例如，顶部分106可以抵靠底壁表面40a。
根据如上述构造的非接触式运送设备，压力流体被从供应端口32供给到外壳12内，然后压力流体通过流体排出部102的第一和第二凹部112、114径向地向外排出。在这种情况下，由于第一和第二凹部112、114的开口横截面积D3、D4彼此不同，所以通过具有较大开口横截面积的第二凹部114排出的压力流体的流速大于通过具有较小开口横截面积的第一凹部112排出的压力流体的流速。
然后，通过第一和第二凹部112、114排出的压力流体被引导到外壳12的下表面12b，并且沿着下表面12b高速流动。因而，由于伯努利效应，外壳12的下表面12b上产生负压，然后工件S在吸力作用下被吸引向下表面12b。结果，工件S相对外壳12被保持在非接触状态。
本发明的非接触式运送设备并不限于上述实施例，而在不背离附加权利所述的本发明的实质和范围的情况下，可以采用各种替代的或者另外的特征和构造。

Claims (8)

1.一种用于通过供给压力流体而在吸力作用下吸引工件，并且在非接触的状态下保持和运送工件的非接触式运送设备，其特征在于，所述非接触式运送设备包括：
本体(12)，所述本体被形成与工件的形状相对应的外形；和
流体排出部(14)，所述流体排出部(14)设置在面向工件的所述本体(12)的端面上，所述流体排出部(14)包括多个用于沿着所述端面排出压力流体的排出孔(46)，
其中，所述本体(12)包括多个外边缘部(18，20)，所述排出孔(46)和所述外边缘部(18，20)之间的距离不同；并且
其中，所述排出孔(46)面向外边缘部(18，20)，并且具有与所述排出孔(46)和所述外边缘部(18，20)之间的距离成比例的横截面积。
2.如权利要求1所述的非接触式运送设备，其特征在于，其中，所述排出孔(46)的数量等于所述外边缘部(18，20)的数量，并且所述排出孔(46)垂直于所述外边缘部(18，20)的侧壁。
3.如权利要求1所述的非接触式运送设备，其特征在于，其中，每一个所述排出孔(46)都形成为在平行于所述本体(12)的端面的宽度方向上较大，且在垂直于所述宽度方向的所述本体(12)的厚度方向上较小的扁平形状。
4.如权利要求1所述的非接触式运送设备，其特征在于，其中，所述本体(12)的所述外边缘部(18，20)包括四个第一侧，和每一个都位于所述第一侧之间且相对于所述第一侧倾斜特定角度的四个第二侧，并且所述本体(12)形成由所述第一侧和所述第二侧限定的八边形形状；并且
其中，所述排出孔(46)包括面向所述第一侧的四个第一通道，和每一个都被设置在所述第一通道之间并且面向所述第二侧的四个第二通道。
5.如权利要求1所述的非接触式运送设备，其特征在于，其中，每一个所述排出孔(46)包括形成在所述流体排出部(14)中的凹槽。
6.如权利要求1所述的非接触式运送设备，其特征在于，其中，所述排出孔(46)包括：
第一喷嘴槽(48)，所述第一喷嘴槽(48)具有较小的横截面积；和
第二喷嘴槽(50)，所述第二喷嘴槽(50)具有比所述第一喷嘴槽(48)的横截面积更大的横截面积；并且
其中，所述第一喷嘴槽(48)面向所述外边缘部(18)中的一个外边缘部(18)，所述第一喷嘴槽(48)和所述外边缘部(18)中的一个外边缘部(18)之间的距离较小，而所述第二喷嘴槽(50)面向另一个所述外边缘部(20)，所述第二喷嘴槽(50)和所述另一个外边缘部(20)之间的距离较大。
7.一种用于通过供给压力流体而在吸力作用下吸引工件，并且在非接触的状态下保持和运送工件的非接触式运送设备，其特征在于，所述非接触式运送设备包括：
本体(12)，所述本体被形成与工件的形状相对应的外形；和
流体排出部(102)，所述流体排出部(102)被设置在面向工件的所述本体(12)的端面上，所述流体排出部(102)包括用于沿着所述端面排出压力流体的排出孔(108)，所述排出孔(108)与所述端面分开，
其中，所述本体(12)包括多个外边缘部(18，20)，所述流体排出部(102)和所述外边缘部(18，20)之间的距离不同；并且
其中，所述排出孔(108)面向外边缘部，并且所述排出孔(108)被连续地形成，使得所述排出孔(108)与所述排出孔(108)和所述外边缘部(18，20)之间的距离成比例地与所述端部分开。
8.如权利要求7所述的非接触式运送设备，其中，每一个所述排出孔(108)都被形成为具有三角形横截面的凹部；并且
其中，每一个所述排出孔(108)包括：
第一凹部(112)，在所述第一凹部(112)中，从所述流体排出部(102)的顶部分(106)的深度较小；并且
第二凹部(114)，在所述第二凹部(114)中，从所述顶部分(106)的深度大于所述第一凹部(112)的从所述顶部分(106)的深度。
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