KR102428108B1 - 이송 장치 및 흡인 장치 - Google Patents

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Abstract

선회류 형성체(3)는 본체(31), 본체(31)에 형성된 피흡입물과 대향하는 제1 단면(33), 제 1 단면(33)에 개구하는 구멍(32), 구멍(32)에 면하는 본체(31)의 내주면(311)에 형성된 분출구(35) 및 분출구(35)로부터 구멍(32)에 유체를 분출시켜 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 피흡입물을 흡입하는 유체 통로(37)를 구비하고, 내주면(311)은 분출구(35)로부터 분출된 유체를 피흡입물에서 먼쪽으로 안내하여 구멍(32)에서 배출시키도록 형성되어 있다.

Description

이송 장치 및 흡인 장치{TRANSFER DEVICE AND SUCKING DEVICE}
본 발명은, 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 이송 장치에 관한 것이다.
최근 몇 년간, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판 모양 부재를 비접촉으로 이송하기 위한 장치가 개발되고 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에서, 베르누이 효과를 이용해 판 모양 부재를 비접촉으로 이송하는 장치가 기재되어 있다. 이 장치는, 장치 아래쪽 면에 개구하는 원통형 실내를 포함한다. 유체는 판 모양 부재 상에 흡인을 가하는, 중심부 부압을 갖는 선회류를 생성하도록 상기 실내로 공급된다. 원통형 실내 밖으로 흐르는 유체는 상기 장치와 상기 판 모양 부재 사이에서 주어진 거리가 유지되게 하여 판 모양 부재의 장치에 의한 비접촉 이송을 가능하게 한다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
(특허문헌 1) 일본국 특허 공개 2005-51260호 공보
본 발명은 분출구에서 구멍에 유체를 분사시켜 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 피흡입물을 흡입하는 이송 장치로서, 분출구에서 분출된 유체를 피흡인물의 방향으로 안내하는 경우와 비교하여 피흡입물을 안정적으로 흡입하는 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 피이송물을 흡인 유지하여 이송하기 위한 이송 장치로서, 본체와, 상기 본체에 형성되고 상기 피이송물과 대향하는 제1 단면과, 상기 제1 단면에 개구하는 동시에 상기 제1 단면의 반대측의 제2 단면에도 개구하는 관통공과, 상기 제2 단면에 대향하도록 유지되며, 상기 관통공에의 외부 유체의 유입을 제한하는 판체와, 상기 제2 단면과 상기 판체의 사이에 형성되며, 상기 관통공으로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로와, 상기 관통공에 면하는 상기 본체의 내주면에 형성된 분출구와, 상기 분출구로부터 상기 관통공 내에 유체를 분출시켜 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜서 상기 피이송물을 흡인하는 유체 통로를 구비하며, 상기 내주면은, 적어도 일부에 있어서 상기 관통공의 단면적이 상기 피이송물로부터 멀어질수록 확대되도록 형성된 테이퍼 형상 부분을 포함하며, 상기 분출구는 상기 테이퍼 형상 부분 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 이송 장치를 제공한다.
바람직한 실시예에서, 상기 내주면의 적어도 일부는, 상기 구멍의 단면적이 상기 피흡인물로부터의 멀어질수록 확대되도록 형성된다.
더 바람직한 실시예에서, 상기 구멍은, 상기 제1 단면에 개구함과 더불어 상기 제1 단면의 반대측의 제2 단면에 개구하는 관통공이며; 상기 내주면은, 상기 분출구를 통해 분출된 유체를 상기 제 2 단면의 개구로 안내하도록 형성된다.
더 바람직한 실시예에서, 상기 내주면은, 상기 구멍의 단면적이, 상기 제1 단면의 개구로부터 상기 제2 단면의 개구까지 상기 피흡인물로부터의 멀어질수록 점차 확대되도록 형성된다.
더 바람직한 실시예에서, 상기 제2 단면은 모따기된 개구 가장자리를 포함한다.
더 바람직한 실시예에서, 판체; 및 상기 판체를 상기 제2 단면에 대향하도록 유지함과 더불어, 상기 제2 단면과 상기 판체의 사이에, 상기 구멍으로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 위한 유로를 형성하는 유지 부재를 더 구비한다.
더 바람직한 실시예에서, 상기 유지 부재는, 상기 판체를 상기 관통공의 관통 방향으로 요동가능하도록 유지시킨다.
더 바람직한 실시예에서, 상기 내주면의, 상기 분출구보다 상기 피흡인물로부터 더욱 먼 위치에 형성되는 유출구; 상기 본체의 외측면에 형성된 배출구; 및 상기 유출구에 유입한 유체가 상기 배출구로부터 배출되도록 하는 제2 유체 통로를 더 구비하고, 상기 내주면은, 분출구를 통해 분출된 유체를 상기 유출구로 안내하도록 형성된다.
더 바람직한 실시예에서, 상기 제1 유체 통로는 상기 분출구를 통해 분출된 유체가 상기 피흡인물로부터 멀어지는 방향으로 흐르도록 형성된다.
또한, 본 발명은 본체; 상기 본체에 형성되며 피흡인물과 대향하는 제1 단면; 상기 제1 단면에 개구하는 구멍; 상기 구멍에 면하는 상기 본체의 내주면에 형성되는 분출구; 및 상기 분출구를 통해 상기 구멍 내로 유체가 분출되도록 하여 부압을 발생시켜 상기 피흡인물을 흡인하도록 하는 선회류를 형성하는 제1 유체 통로를 구비하고, 상기 제1 유체 통로는, 상기 분출구를 통해 분출된 유체가 상기 피흡인물로부터 멀어지는 방향으로 흘러 상기 구멍으로부터 배출되도록 형성되는, 선회류 형성체를 제공한다.
또한 본 발명은 기체(base body); 및 상기 기체에 설치되는, 상기 어느 하나에 기재된 하나 이상의 선회류 형성체를 구비하는 흡인 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 분출구에서 구멍에 유체를 분사시켜 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 피흡입물을 흡입하는 선회류 형성체로서, 분출구에서 분출된 유체를 피흡인물의 방향으로 안내하는 경우와 비교하여 피흡입물을 안정적으로 흡입하는 선회류 형성체를 제공할 수 있다.
도 1은 흡인 장치(1)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 흡인 장치(1)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 흡인 장치(10)의 I－I 선단면도이다.
도 4는 선회류 형성체(3)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 5는 선회류 형성체(3)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 선회류 형성체(3)의 II－II 선단면도이다.
도 7은 선회류 형성체(3A)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 8은 선회류 형성체(3B)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 9는 선회류 형성체(3C)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 10은 선회류 형성체(3D)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 11은 선회류 형성체(3E)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 12는 선회류 형성체(3F)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 13은 선회류 형성체(3G)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 14는 도 13에 도시된 선회류 형성체(3G)의 III－III 선단면도이다.
도 15는 선회류 형성체(3H)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 16은 선회류 형성체(3I)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 17은 선회류 형성체(3J)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 18은 선회류 형성체(3K)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 19는 흡인 장치(1A)의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 20은 흡인 장치(1B)의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 21은 흡인 장치(1B)의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 22는 도 21에 도시된 흡인 장치(1B)의 IV－IV 선단면도이다.
도 23은 흡인 장치(1C)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 24는 흡인 장치(1D)의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 25는 흡인 장치(1E)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 26은 흡인 장치(1E)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 27은 흡인 장치(1F)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 28은 흡인 장치(1G)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 29는 흡인 장치(1G)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 30은 흡인 장치(1H)의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 31은 흡인 장치(1I)의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 32는 방해판(8)을 부착한 선회류 형성체(3G)의 일례를 나타내는 사시도이다.
본 발명의 실시예들이 도면을 참조하여 이하에서 기재된다.
1. 실시예
도 1은, 본 발명의 일 실시예와 관련되는 흡인 장치(1)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 2는, 흡인 장치(1)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 3은, 도 1에 도시된 흡인 장치(1)의 I－I 선단면도이다. 흡인 장치(1)는, 식재 등의 판 모양의 부재를 흡인하여 유지하고 이송하기 위한 장치이다. 흡인 장치(1)는, 원 판 모양의(disk-shaped) 기체인 베이스판(2)과 베이스판(2)에 설치되어 유체의 선회류를 형성하는 6개의 선회류 형성체(3) 및 유체 공급 펌프(미도시)로부터 연장하는 튜브를 선회류 형성체(3)에 연결하는 복수의 유체 커플링(4)을 포함한다.
베이스판(2)은 상기 베이스판의 외부 가장자리에 따라서 등간격으로 형성된 실질적으로 원형인 단면을 갖는 6개의 관통공을 포함한다. 각 관통공에 선회류 형성체(3)가 끼워넣어져서, 베이스판(2)의 상면 측에서 본체(31)가 노출되고 베이스판(2)의 아래쪽 면 측에서 커버(38)가 노출된다. 선회류 형성체(3)가 베이스판(2)에 제공되어서, 시계방향 선회류를 형성하는 형성체 및 반시계방향 선회류를 형성하는 형성체가 교번하여 배치된다. 또한 여기서 유체란, 압축 공기 등의 기체나, 순수나 탄산수등의 액체이다.
도 4는 선회류 형성체(3)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 5는 선회류 형성체(3)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 6은 도 5의 선회류 형성체(3)의 II－II 선단면도이다. 선회류 형성체(3)는, 베르누이 효과를 이용해 판 모양 부재를 흡인하여 유지할 수 있는 장치이다. 선회류 형성체(3)는, 원통형 바디(cylindrical body)의 중심에 형성되고 원형 단면을 갖는 관통공(32)을 포함하는 실질적으로 원통형 바디인 본체(31), 제1 단면(33)이 판 모양 부재와 대향하도록 본체(31)의 아래쪽 면에 형성되는 평탄상의 제1 단면(33); 본체(31)의 상면에 형성된 평탄상의 제2 단면(34); 관통공(32)에 면하는 본체(31)의 내주면(311)에 형성된 2개의 분출구(35); 본체(31)의 외주면(312)에 형성된 2개의 공급구(36); 분출구(35) 및 공급구(36)를 연결하는 2개의 직선 모양의 유체 통로(37); 대략 원 판 모양의 커버(38); 및 커버(38)가 대향하고 제2 단면(34)에 대해서 평행하도록 커버(38)를 유지하기 위한 부재인 4개의 스페이서(39)를 포함한다.
본체(31)의 중심축에 거의 수직인 단면의 외주는 대향하는 외주의 일부를 각각 직선으로 잘라 결여된 원형의 형상을 갖는다. 본체(31)의 내주면(311)은 분출구(35)로부터 분출된 유체를 피흡입물에서 먼쪽으로 안내하여 관통공(32)으로부터 배출시키도록 형성된다. 보다 구체적으로는 제2 단면(34)의 개구로 안내되고 관통공(32)에서 배출되도록 형성된다. 더 구체적으로는, 본체(31)의 내주면(311)의 중심축에 거의 수직인 단면의 면적이 제1 단면(33)의 개구에서 제2 단면(34)의 개구에 걸쳐 점차 확경하도록 형성된다. 즉 테이퍼 형상으로 형성된다.
관통공(32)은 본체(31)의 중심축 방향으로 직선으로 연장하도록 형성된다. 관통공(32)은 제1 단면(33) 및 제2 단면(34)에 개구한다.
제1 단면(33) 및 제2 단면(34)은 본체(31)의 중심축에 실질적으로 수직이 되도록 형성된다.
2개의 분출구(35)는 본체(31)의 중심축 방향으로 내주면(311)의 중앙에 형성된다. 분출구(35)는 본체(31)의 중심축을 기준으로 점대칭으로 배치된다. 2개의 공급구(36)는 본체(31)의 중심축 방향으로 외주면(312)의 중앙에 형성된다. 공급구(36)는 본체(31)의 중심축을 기준으로 점대칭으로 배치된다. 각각의 공급구(36)는 유체 커플링(4)에 연결된다.
2개의 유체 통로(37)는 본체(31)의 중심축에 실질적으로 수직으로 연장하고 본체(31)의 내주에 대해 접선 방향으로 연장하도록 형성된다. 유체 통로(37)들은 서로에 대해 평행하게 연장한다. 유체 통로(37)들의 직경은 분출구(35) 직전에 감소한다. 2개의 유체 통로(37)는 분출구(35)로부터 관통공(32) 내에 유체를 분출하게 한다. 관통공(32)내로 분출된 유체는 코안다 효과에 의해 본체(31)의 내주면을 따라서 흘러 관통공(32)내에서 선회류를 형성한다. 선회류에 포함된 유체 분자의 대부분은, 관통공(32) 밖으로 흐른 뒤, 유체 분자가 배출된 유체 통로(37)가 연장하는 방향으로 대략 45도의 각도로 제2 단면(34)을 따라 흐른다. 관통공(32)내에 형성된 선회류는 관통공(32)의 중앙에서 정지해있는 유체를 동반하여(엔트레인먼트), 관통공(32)의 중앙에 부압을 발생시킨다. 생성된 부압은 제1 단면(33)에 대향하는 부재에 흡인을 가한다. 대략 45도의 상기 각도는 단순히 일례이다. 유체 분자가 관통공(32)밖으로 흐르고 제2 단면(34)에 따라 흐르는 각도는 관통공(32)의 직경이나 깊이 및 유체의 유속에 의해서 결정된다.
커버(38)는, 중심축에 실질적으로 수직인 본체(31)의 단면의 외주면과 같은 형상을 가진다. 커버(38)는 관통공(32)을 가려서, 관통공(32)에 외부 유체(구체적으로는 기체나 액체)의 유입을 조정한다.
4개의 스페이서(39)는 각각 원 기둥의 형상을 가진다. 4개의 스페이서(39)는 제2 단면(34)의 외부 가장자리에 따라서 등간격으로 제공되어서 스페이서들(39)은 본체(31)와 커버(38)를 커플링하도록 실질적으로 수직 방향으로 커버(38)를 향하여 연장한다. 스페이서(39)들은 본체(31) 및 커버(38) 상에서, 예를 들면 나사 고정에 의해 고정된다. 4개의 스페이서(39)는 제2 단면(34)과 커버(38) 사이에, 관통공(32)으로부터 유출하는 유체가 흘러서 선회류 형성체(3)의 외부로 배출되도록 유로를 형성한다. 4개의 스페이서(39)의 높이(즉, 제2 단면(34)으로 커버(38)와의 사이의 갭)는, 유체 공급 펌프로부터 선회류 형성체(3)까지 공급되는 유체의 유량에 따라 설정된다. 4개의 스페이서(39)는 제2 단면(34) 상에서, 관통공(32)으로부터 유출하는 유체의 유로를 저해하지 않도록 제공되는 것이 바람직하다. 이것은, 관통공(32)으로부터 유출하는 유체가 스페이서(39)에 충돌해 난류가 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 관통공(32)으로부터 유출하는 유체의 유로는 관통공(32)의 직경이나 깊이 및 유체의 유속에 의해서 결정된다. 4개의 스페이서(39)는 예를 들면, 유체 통로(37)가 연장할 방향으로 대략 45도의 각도의 선상에 제공되지 않는 것이 바람직하다.
상기 기재된 흡인 장치(1)의 선회류 형성체(3)에 유체 커플링(4)을 통해 유체가 공급되면, 유체는 공급구(36) 및 유체 통로(37)를 통과하여 분출구(35)로부터 관통공(32)내로 배출된다. 관통공(32)내로 배출된 유체는 관통공(32)내에서 선회류를 생성한다. 선회류에 포함된 유체 분자의 대부분은 내주면(311)에 의해 안내되어 관통공(32) 밖으로 흘러서 제2 단면(34)에 따라 흐른다. 그때, 판 모양 부재가 제1 단면(33)에 대향하는 위치에 존재하는 경우, 관통공(32)으로의 외부 유체(구체적으로는, 기체나 액체)의 유입이 제한되고, 선회류의 중심의 단위 체적당 유체 분자의 밀도는 선회류의 원심력 및 인트레인먼트 효과로 인해 작아지고; 즉 선회류의 중심부에 부압이 발생한다. 그 결과, 압력이 주변의 유체에 의해 판 모양 부재에 가해지며 제1 단면(33)을 향해 가라앉혀진다(gravitate).
상기 기재된 바와 같이, 선회류 형성체(3)에서, 관통공(32)으로부터 흐르는 유체 분자의 대부분이 제2 단면(34)을 따라 흘러서 배출되며, 존재할 경우 유체 분자의 적은 양이 제1 단면(33)을 따라 흘러서 배출하여, 유체와 판모양 부재가 충돌하는 것을 방지한다. 그 때문에, 판 모양 부재의 진동(undulation) 및 회전은, 유체가 제2 단면(34)의 측에서 배출되지 않는 경우에 비해 조정되고; 즉, 판 모양 부재는 안정적인 방식으로 유지 및 이송될 수 있다. 또한, 파동으로 인한 판 모양 부재에서의 금(crease), 변형 또는 손상이 조정된다. 흡인 장치(1)는, 선회류 형성체(3) 내에서 고립되어 형성되는 선회류의 흡인력을 사용하는 것을 가능하게 한다.
2. 변형예
상기의 실시예는 하기와 같이 변형될 수 있다. 하기의 변형예는 서로 조합될 수 있다.
2－1. 변형예 1
선회류 형성체(3)의 내주면(311)의 형상은 도 6에 나타내는 예에 한정되지 않는다. 도 7은, 제2 단면(34)이 모따기된 개구 가장자리를 갖는 선회류 형성체(3A)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3A)는 내주면(311)의 단부에 형성된 경사면(313)을 포함한다. 경사면(313)은 부재로부터 멀어지는 방향으로, 더 구체적으로 제2 단면(34)의 개구로 분출구(35)로부터 배출되는 유체를 안내한다.
도 8은, 제2 단면(34)이 원형 개구 가장자리를 포함하는 선회류 형성체(3B)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3B)는 내주면(311)의 단부에 형성된 곡면(314)을 포함한다. 곡면(314)은 부재로부터 멀어지는 방향으로, 더 구체적으로 제2 단면(34)의 개구로 분출구(35)로부터 배출되는 유체를 안내한다.
도 9는, 내주면(311)의 일부를 비테이퍼 형상의(not tapered) 선회류 형성체(3C)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3C)는, 분출구(35)와 제2 단면(34)의 개구 사이의 중앙으로부터 제2 단면(34)의 개구로 형성된 비테이퍼 형상의 내주면(315)을 포함한다. 내주면(315)은 본체(31)의 중심축과 대략 평행하게 형성된다.
도 10은, 테이퍼 형상의 내주면(311) 대신 비테이퍼 형상의 내주면(316)을 포함하고, 모따기된 개구 가장자리를 포함하는 제2 단면(34)을 포함하는 선회류 형성체(3D)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3D)의 내주면(316)은 본체(31)의 중심축과 대략적으로 평행하게 형성된다. 선회류 형성체(3D)는 내주면(316)의 단부에 형성된 경사면(313)을 포함한다. 경사면(313)의 작용은 상기 기재된 바와 같다.
도 11은, 테이퍼 형상의 내주면(311) 대신 비테이퍼 형상의 내주면(316)을 포함하고, 원형 개구 가장자리를 포함하는 제2 단면(34)을 포함하는 선회류 형성체(3E)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3E)의 내주면(316)은 본체(31)의 중심축과 대략적으로 평행하게 형성된다. 선회류 형성체(3E)는 내주면(316)의 단부에 형성된 곡면(314)을 포함한다. 곡면(314)의 작용은 상기 기재된 바와 같다.
2－2. 변형예 2
유체 통로(37)는, 본체(31)의 중심축으로 대략 수직인 방향으로 경사질 수 있다. 도 12는, 테이퍼 형상의 내주면(311) 대신 비테이퍼 형상의 내주면(316)을 포함하고, 본체(31)의 중심축에 대략 수직인 방향에서 경사진 유체 통로(37A)를 포함하는 선회류 형성체(3F)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3F)의 내주면(316)은 본체(31)의 중심축과 대략적으로 평행하게 형성된다. 유체 통로(37A)는, 공급구(36)로부터 분출구(35)까지 연장하여 제2 단면(34)을 향해 경사진다. 유체 통로(37A)는, 분출구(35)로부터 배출된 유체를 부재로부터 멀어지는 방향으로(보다 구체적으로는 제2 단면(34)의 개구로) 안내하여 관통공(32)으로부터 배출되게 한다. 또한, 선회류 형성체(3F)가 내주면(316) 대신 테이퍼 형상의 내주면(311)을 포함할 수 있다. 또한, 선회류 형성체(3F)는 제2 단면(34)의 개구 가장자리를 모따기하여 형성된 경사면(313)을 포함할 수 있고, 또는 제2 단면(34)의 개구 가장자리를 둥글게 하여 형성된 곡면(314)를 형성할 수 있다.
2－3. 변형예 3
스페이서(39)가 생략될 수 있고, 유체를 배출하기 위한 홈이 커버(38)의 아래쪽 면에 형성될 수 있다. 도 13은, 스페이서(39)가 없고 그 하부 표면상에 형성된 홈(381)을 포함하는 커버(38A)를 포함하는 선회류 형성체(3G)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 14는, 도 13에 도시된 선회류 형성체(3G)의 III－III선단면도이다. 선회류 형성체(3G)의 커버(38A)는, 커버(38A)의 하부 표면 중앙에 형성된 U 형상 단면을 갖는 직선 홈(381)을 포함하는 것에 있어서 커버(38)와 상이하다. 홈(381)은 커버(38A)가 부착되는 본체(31)의 유체 통로(37)에 대략적으로 평행하게 연장하도록 형성된다. 예를 들어, 커버(38A)는 나사 고정에 의해 본체(31)에 고정된다. 커버(38A)가 본체(31)에 고정되면, 홈(381) 및 제2 단면(34)의 조합은, 관통공(32)으로 연통하는 2개의 유출구(51), 선회류 형성체(3G)의 외측으로 향하여 면하는 2개의 배출구(52) 및 유출구(51)로부터 배출구(52)로 유체가 흐르는 것을 허용하는 2개의 직선 유체 통로(53)를 형성한다. 2개의 유출구(51)는 분출구(35)들 보다 부재로부터 먼 위치에 형성된다. 2개의 배출구(52)는 공급구(36)들 보다 부재로부터 먼 위치에 형성된다. 2개의 유체 통로(53)는 본체(31)의 내주의 지름 방향에서 연장하도록 형성된다. 상기 유체 통로(53)는 일직선상에 형성된다. 상기 유체 통로(53)는 본체(31)의 중심축으로 대략 수직으로 연장하도록 형성된다. 선회류 형성체(3G)에서, 본체(31)의 내주면(311)은 분출구(35)로부터 배출된 유체를 유출구(51)로 안내한다.
선회류 형성체(3G)에는, 배출구(52)로부터 배출될 유체의 양을 조정하기 위한 부재가 제공된다. 도 15는, 배출구(52)에 배출 유량 조정 커버(54)를 포함하는 선회류 형성체(3H)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 배출 유량 조정 커버(54)는 배출구(52)를 개폐할 수 있도록 커버(38A)의 외부 가장자리에 부착되는 직사각형 판체이다. 배출 유량 조정 커버(54)가 횡방향으로 슬라이드되어서, 배출 유량 조정 커버(54)의 배출에 의해 덮이는 배출구(52)의 면적(즉, 배출구(52)로부터 배출될 유체의 양)을 조정할 수 있다.
도 16은, 유체 통로(53)에 배출 유량 조정 밸브(55)가 제공된 선회류 형성체(3I)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 배출 유량 조정 밸브(55)는 유체 통로(53)를 개폐할 수 있도록 유체 통로(53)에 부착된 직사각형의 판체이다. 배출 유량 조정 밸브(55)의 개도를 조정하는 것으로, 배출구(52)로부터 배출되는 유체의 양을 조정할 수 있다.
유출구(51) 및 배출구(52)의 형상은 원형에 한정되지 않고 직사각형 또는 타원형일 수 있다. 유출구(51) 및 배출구(52)의 수는 2개에 한정되지 않고 1개일 수 있고 또는 3개 이상일 수 있다. 유체 통로(53)의 단면 형상은 직사각형에 한정되지 않고 원형 또는 타원형일 수 있다. 유체 통로(53)의 수는 2개에 한정되지 않고, 1개일 수 있고 또는 3개 이상일 수 있다. 유체 통로(53)는 곡선 형상에 형성될 수 있다. 또한, 유체 통로(53)는, 본체(31)의 중심축에 대략 수직인 방향에서 경사질 수 있다. 구체적으로는, 유체 통로(53)는 배출구(52)로부터 유출구(51)까지 연장할 수 있어서 제2 단면(34)을 향하여 경사지게 된다.
본 변형예에서 설명한 것처럼 스페이서(39)를 생략하는 경우, 본체(31) 및 커버(38)가 일체형으로 형성될 수 있다. 그 경우, 2개의 유출구(51)는, 커버(38)와 일체 성형된 본체(31A)의 내주면에 형성되며 2개의 배출구(52)는 본체(31A)의 외주면에 형성된다. 유출구(51) 및 배출구(52)는 본체(31)의 중심축 방향에서 본체(31A)의 중앙에 형성될 수 있다. 관통공(32)의 일단은 커버(38)에 의해 덮여서 오목부가 제공된다. 본체(31) 및 커버(38)가 일체 형성되지 않는 경우에도, 이들의 조합은 단일 본체로서 간주될 수 있다. 즉 본 발명에 따른 "본체"는, 본체(31) 및 커버(38)의 조합을 포함할 수 있다.
2－4. 변형예 4
4개의 스페이서(39)는 커버(38)를 고정적으로 유지하지 않고 요동 가능하게 커버(38)를 유지할 수 있다. 도 17은, 커버(38)를 요동 가능하게 유지하는 부재인 4개의 가이드 샤프트(9)를 포함하는 선회류 형성체(3J)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 선회류 형성체(3J)의 4개의 가이드 샤프트(9)는, 커버(38)에 형성된 구멍보다 지름의 큰 머리부(head part) 및 커버(38)가 요동 가능하도록 구멍의 지름보다 작은 지름을 갖는 체부(body part)를 포함한다. 4개의 가이드 샤프트(9)는 관통공(32)의 관통 방향으로 이동할 수 있다. 커버(38)가 요동 가능하게 됨으로써, 관통공(32)을 통과하는 부재가 커버(38)와 제2 단면(34) 사이에서 막히는(trapped) 것이 방지된다.
2－5. 변형예 5
2개의 선회류 형성체(3)가 조합되어 사용될 수 있다. 도 18은, 형성체들의 제2 단면(34)들이 서로를 면하도록 2개의 선회류 형성체(3)의 적층된 조합인 선회류 형성체(3K)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 선회류 형성체(3K)는 2개의 선회류 형성체(3)에 의해 공유되는 커버(38)를 포함한다. 2개의 선회류 형성체(3)의 본체(31)의 중심축은 대략 일치한다. 선회류 형성체(3K)는 2매의 판 모양 부재를 동시에 흡인 유지할 수 있다.
도 19는, 복수의 선회류 형성체(3)의 통합된 조합인 흡인 장치(1A)의 일례를 나타내는 사시도이다. 흡인 장치(1A)에서는, 5개의 선회류 형성체(3)의 본체(31)의 통합된 조합인 직방체 형상의 기체(6), 및 5개의 선회류 형성체(3)의 커버(38)의 통합된 조합인 직사각형의 판체 형상인 커버(7)를 포함한다. 기체(6)는 일직선상에서 등간격으로 배치되는 관통공(32)을 포함한다. 흡인이 가해지는 부재가 막대형인 것으로 하면, 각 관통공(32)은 상기 부재의 길이 방향에 따라 배치된다. 유체 통로(37)들은 기체(6)의 길이 방향에 대략 수직으로 연장하도록 배치된다. 흡인 장치(1A)는 막대형 부재에 흡인을 가할 수 있으므로, 복수의 관통공(32)내에서 발생하는 부압을 사용하여 유지될 수 있다. 예를 들면 흡인 장치(1A)는 샤프 펜슬의 심이나 주사 바늘에 대한 흡인을 가하여 이를 유지할 수 있다. 또한, 도 19에서, 기체(6)로 커버(7)를 연결하는 스페이서(39)는 도시되지 않는다. 기체(6) 및 커버(7)의 형상 및 관통공(32)의 개수 및 배치는 도 19에 나타내는 예에 한정되지 않는다.
도 20은, 복수의 선회류 형성체(3)의 통합된 조합인 흡인 장치(1B)의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 21은, 흡인 장치(1B)의 평면도이다. 도 22는, 도 21에 도시된 흡인 장치(1B)의 IV－IV 선단면도이다. 흡인 장치(1B)는, 3개의 선회류 형성체(3)의 본체(31)의 통합된 조합인 두꺼운(thick-walled) 실질적으로 반구의 껍질 형상의(shell-shaped) 기체(6A), 및 3개의 선회류 형성체(3)의 커버(38)의 통합된 조합인 얇은(thin-walled) 실질적으로 반구의 껍질 형상의 커버(7A)를 포함한다. 기체(6A)는, 실질적으로 반구의 내주면(61)과 외주면(62) 및 환형 가장자리 단면(63)을 포함한다. 내주면(61)은 흡인이 가해지는 부재의 곡면에 따라 형성된다. 관통공(32)들은 내주면(61)과 외주면(62)에 개구한다. 관통공(32)들은 내주면(61)의 가장자리를 따라 등간격으로 배치되며 기체(6A)의 지름 방향에 선형으로 연장하도록 형성된다. 공급구(36)는 가장자리 단면(63)에 개구한다. 커버(7A)는 외주면(62)을 덮도록 기체(6A)에 장착된다. 또한, 도 20 내지 도 22에서, 커버(7A)를 기체(6A)에 연결하는 스페이서(39)들은 도시되지 않는다. 흡인 장치(1B)는 구체 부재에 흡인을 가하여 복수의 관통공(32)내에서 발생하는 부압에 의해 유지될 수 있다. 또한, 기체(6A) 및 커버(7A)의 형상 및 관통공(32)의 개수 및 배치는 도 20 내지 도 22에 도시되는 예시에 한정되지 않는다.
2－6. 변형예 6
흡인 장치(1)의 베이스판(2)은 관통공을 포함할 수 있다. 도 23은, 복수의 관통공(21)을 형성한 베이스판(2A)을 포함하는 흡인 장치(1C)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 흡인 장치(1C)의 베이스판(2A)은 선회류 형성체(3)가 배치되는 원주 상에서 등간격으로 형성되는 6개의 관통공(21)을 포함한다. 베이스판(2A)은 선회류 형성체(3)들이 배치된 원주보다 작은 지름을 갖는 원주 주변에 등간격으로 형성되고 그리고 상기 원주의 중심을 공유하는 6개의 관통공(21)을 포함한다. 또한, 관통공(21)의 형상, 개수 및 배치는 도 23에 도시된 예시에 한정되지 않는다.
2－7. 변형예 7
선회류 형성체(3)의 커버(38)는 베이스판(2)과 일체화될 수 있다. 도 24는, 베이스판(2)이 선회류 형성체(3)의 커버(38)로서 대용되는 흡인 장치(1D)의 일례를 나타내는 종단면도이다. 흡인 장치(1D)의 선회류 형성체(3)는 실질적으로 직선 방향에서 제2 단면(34)으로부터 베이스판(2)을 향해 연장하여 본체(31)와 베이스판(2)을 연결하는 4개의 스페이서(39)를 포함한다. 4개의 스페이서(39)는 제2 단면(34)과 베이스판(2) 사이에서, 관통공(32)으로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로를 형성한다. 흡인 장치(1D)의 베이스판(2)은, 베이스판(2A)의 경우와 같이, 복수의 관통공(21)을 포함할 수 있다.
2－8. 변형예 8
선회류 형성체(3)의 제1 단면(33) 및 제2 단면(34)은 베이스판(2)과 일체화될 수 있다. 도 25는, 베이스판(2B)이 선회류 형성체(3)들의 제1 단면(33)의 역할을 하고 베이스판(2C)이 선회류 형성체(3)들의 제2 단면(34)의 역할을 하는 흡인 장치(1E)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 26은, 흡인 장치(1E)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 흡인 장치(1E)의 베이스판(2B 및 2C)은 서로의 중심축이 대략 일치하는 방식으로 적층된다. 베이스판(2B)은 그 외부 가장자리에 따라 등간격으로 형성되는 20개의 관통공(32)을 포함한다. 베이스판(2B)은 상기 기재된 관통공(32)들이 배치된 원주보다 작은 지름을 갖는 원주 주변에 등간격으로 형성되고 그리고 상기 원주의 중심을 공유하는 6개의 관통공(32)을 포함한다. 베이스판(2C)은 관통공(32)을 덮도록 스페이서(39)들에 의해 장착되는 커버(38)를 포함한다. 또한, 흡인 장치(1E)의 가장자리 부분이 봉해질 수 있다. 또한, 베이스판(2B 및 2C)의 형상 및 관통공(32)의 개수 및 배치는 도 25 및 도 26에 도시되는 예시에 한정되지 않는다.
2-9. 변형예 9
선회류 형성체(3)의 제1 단면(33) 및 커버(38)는 베이스판(2)과 일체화될 수 있다. 도 27은, 베이스판(2B)이 선회류 형성체(3)들의 제1 단면(33)의 역할을 하고 베이스판(2D)이 선회류 형성체(3)들의 커버(38)의 역할을 하는 흡인 장치(1F)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 25에서, 흡인 장치(1F)의 상면이 도시된다. 흡인 장치(1F)의 베이스판(2B 및 2D)은 서로의 중심축이 대략 일치하는 방식으로 적층된다. 베이스판(2B)은 그 외부 가장자리에 따라 등간격으로 형성되는 20개의 관통공(32)을 포함한다. 베이스판(2B)은 상기 기재된 관통공(32)들이 배치된 원주보다 작은 지름을 갖는 원주 주변에 등간격으로 형성되고 그리고 상기 원주의 중심을 공유하는 6개의 관통공(32)을 포함한다. 흡인 장치(1F) 밖으로 유체를 배출하려는 목적으로, 베이스판(2D)은 관통공(22) 주변에 등각으로 형성되는 6개의 원형 관통공(23)이 그 중앙에 형성된 원형 관통공(22) 및 관통공(23) 주변에 등각으로 형성된 4개의 아치형 관통공(24)을 포함한다. 또한, 흡인 장치(1F)의 가장자리 부분이 봉해질 수 있다. 또한, 베이스판(2B 및 2D)의 형상 및 관통공(22 내지 24)의 개수 및 배치는 도 25 내지 도 27에 도시되는 예시에 한정되지 않는다.
도 28은, 베이스판(2E)이 선회류 형성체(3)들의 제1 단면(33)의 역할을 하고 베이스판(2F)이 선회류 형성체(3)들의 커버(38)의 역할을 하는 흡인 장치(1G)의 상면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 29는, 흡인 장치(1G)의 아래쪽 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 흡인 장치(1G)의 베이스판(2E 및 2F)은 서로의 중심축이 대략 일치하는 방식으로 적층된다. 흡인 장치(1G)의 가장자리 부분은 봉해진다. 베이스판(2E)은 그 외부 가장자리에 따라 등간격으로 형성되는 20개의 관통공(32)을 포함한다. 흡인 장치(1G) 밖으로 유체를 배출하려는 목적으로, 베이스판(2E)은 관통공(32)들이 배치된 원주보다 작은 지름을 갖는 원주 주변에 형성되고 그리고 상기 원주의 중심을 공유하는 18개의 관통공(25)을 포함한다. 베이스판(2E)은 또한 관통공(25)들이 배치된 원주보다 작은 지름을 갖는 원주 상에 형성되고 그리고 상기 원주의 중심을 공유하는 6개의 관통공(25)을 포함한다. 흡인 장치(1G)의 밖으로 유체를 배출하기 위하여, 베이스판(2E)은 또한 관통공(32)들이 배치된 원주보다 작은 지름을 갖는 원주 상에 형성되고 그리고 상기 원주의 중심을 공유하는 18개의 관통공(25)을 포함한다. 베이스판(2F)은 유체를 공급하기 위한 부재(미도시)가 피트되는 그 중심에 형성되는 관통공(26)을 포함한다. 관통공(26)에 피트된 부재는 동일한 관통공을 봉한다. 봉해진 흡인 장치(1G)의 가장자리 부분 및 관통공(26)에 의해, 관통공(32)으로부터 나오는 유체가 베이스판(2E) 상에 형성된 관통공(25)을 통해 밖으로 흐른다. 관통공(32)들의 개수 및 배치는 도 28에 한정되지 않는다. 또한, 베이스판(2E 및 2F)의 형상 및 관통공(25 및 26)들의 형상, 갯수 및 배치는 도 28 및 도 29에 도시된 예시에 한정되지 않는다.
2－10. 변형예 10
베이스판(2)의 형상은 원 형태에 한정되지 않으며, 타원형이나 직사각형이나 분기형(bifurcated) 포크 형상(일본국 특허공개 2005－51260호 공보 참조)일 수 있다. 도 30은, 베이스판(2G)을 포함하는 흡인 장치(1H)의 일례를 나타내는 사시도이다. 흡인 장치(1H)는, 베이스판(2G)의 상면 상에 부착된 3개의 선회류 형성체(3) 및 직사각형 베이스판(2G)을 포함한다. 선회류 형성체(3)는, 그 커버(38)의 상면이 베이스판(2G)의 상면에 예를 들면 나사 고정에 의해 고정되는 커버(38)를 포함한다. 선회류 형성체(3)들은 베이스판(2G)상에 있어서 일직선상으로 한편 등간격에 배치된다. 흡인이 가해지는 부재가 막대형이면, 선회류 형성체(3)들은 부재의 길이 방향에 따라서 배치된다. 유체 통로(37)들은 베이스판(2G)의 길이 방향에 대해서 대략 수직으로 연장하도록 배치된다. 흡인 장치(1H)는 막대형의 부재에 흡인을 가하여 복수의 관통공(32)내에서 발생하는 부압에 의해 유지될 수 있다. 예를 들면, 흡인 장치(1H)는 샤프 펜슬의 심이나 주사 바늘에 대한 흡인을 가하여 이를 유지할 수 있다. 도 30에서, 선회류 형성체(3)의 본체(31)를 커버(38)에 연결하는 스페이서(39)들은 도시되지 않는다. 또한, 베이스판(2G)의 형상 및 선회류 형성체(3)의 갯수 및 배치는 도 30에 도시된 예시에 한정되지 않는다.
도 31은, 베이스판(2H)을 포함하는 흡인 장치(1I)의 일례를 나타내는 사시도이다. 흡인 장치(1I)는 절두 육각추 형상(truncated hexagonal pyramid shape)이며 육각형 단면을 갖는 오목부를 갖는 베이스판(2H) 및 베이스판(2H)의 내측면(27)에 고정된 3개의 선회류 형성체(3)를 포함한다. 선회류 형성체(3)들은, 그 커버(38)의 상면이 베이스판(2H)의 내측면(27)에 대해서 예를 들면 나사 고정에 의해 고정되는 커버(38)를 포함한다. 선회류 형성체(3)들은 내측면(27)상에 고정되어, 제1 단면(33)의 개구가 흡인이 가해질 부재의 곡면에 따른다. 또, 선회류 형성체(3)들은 내측면(27)상에서 등간격으로 배치된다. 흡인 장치(1I)는 구체의 부재에 흡인이 가해져서 복수의 관통공(32)내에서 발생하는 부압에 의해 유지할 수 있다. 도 31에서, 선회류 형성체(3)의 본체(31)를 커버(38)에 연결하는 스페이서(39)는 도시되지 않는다. 베이스판(2H)의 형상 및 선회류 형성체(3)의 개수 및 배치는 도 31에 도시된 예시에 한정되지 않는다.
상기 실시예에 있어서, 베이스판(2)에 제공되는 선회류 형성체(3)의 개수는 6개에 한정되지 않으며 6개 미만일 수도 또는 7개 이상일 수 있다. 베이스판(2)에 있어서의 선회류 형성체(3)의 배치는 도 1 내지 도 3에 도시되는 예시에 한정되지 않는다. 예를 들면, 선회류 형성체(3)들은 베이스판(2)에 제공되지 않을 수 있으므로, 시계방향 선회류를 형성하는 형성체 및 반시계방향 선회류를 형성하는 형성체가 교번하여 배치된다.
2－11. 변형예 11
흡인 장치(1)의 흡인 부재는 식재에 한정되지 않으며, 예를 들면 식품 또는 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 공산품(industrical product)일 수 있다. 흡인될 부재의 형상은 판 모양에 한정되지 않으며 관통공(32)내에 발생하는 부압을 유지 가능한 구형을 포함하는 임의의 형상일 수 있다. 판 모양이 아닌 부재는 진동과 회전이 억제될 수 있다. 흡인될 부재의 재료는, 관통공(32)내에 발생하는 부압을 유지할 수 있는 한 특정 수준의 환기성(air permeability)을 가질 수 있다.
2－12. 변형예 12
선회류 형성체(3)의 본체(31)의 외주 형상은 원형태에 한정되지 않으며 타원형이나 직사각형일 수 있다. 내주면(311)에 형성되는 테이퍼는 선형 테이퍼에 한정되지 않으며 포물선형 테이퍼나 지수형 테이퍼(exponential taper)일 수 있다. 대안적으로, 내주면(311)은, 관통공(32)의 단면적이, 부재로부터의 멀어질수록 확장되는 방식으로 계단형 벽(stepped wall)을 포함할 수 있다. 대안적으로, 내주면(311)은, 분출구로부터 흐른 유체를 제2 단면(34)의 개구로 안내하기 위한 나사형 홈(spiral groove)을 포함할 수 있다.
관통공(32)의 단면 형상은 원 형태에 한정되지 않으며 타원형이나 직사각형일 수 있다.
제1 단면(33) 및 제2 단면(34)은 평탄하지 않을 수 있다.
분출구(35)의 개수는 2개에 한정되지 않으며 1개일 수도 있고 또는 3개 이상일 수도 있다. 분출구(35)는 본체(31)의 축방향으로 중앙에서 내주면(311) 상에 배치되지 않을 수 있고 제1 단면(33) 또는 제2 단면(34)에 더 가깝게 배치될 수 있다.
유체 통로(37)의 개수는 2개에 한정되지 않으며 1개일 수 있거나 또는 3개 이상일 수 있다. 유체 통로(37)는 곡선일 수 있다. 유체 통로(37)의 지름은 일정할 수 있다.
커버(38)의 형상은 원형에 한정되지 않으며 타원형이나 직사각형일 수 있다. 커버(38)는 커버(38)가 관통공(32)을 덮는 한 더 작은 사이즈일 수 있다.
스페이서(39)의 형상은 원 기둥 형상에 한정되지 않으며 타원기둥이나 각주일 수 있다. 스페이서(39)의 개수는 4개에 한정되지 않으며 4개 미만일 수 있거나 또는 5개 이상일 수 있다. 스페이서(39)들의 배치는 도 5 및 도 6에 도시되는 예시에 한정되지 않는다. 예를 들면, 스페이서(39)들은 본체(31)의 외주면(312)로부터 연장할 수 있다. 스페이서(39)는 제2 단면(34)상에 제공되어서 관통공(32)으로부터 유출하는 유체의 유로를 저해할 수 있다.
2－13. 변형예 13
선회류 형성체(3)의 제1 단면(33)에, 관통공(32)에 부재가 진입하는 것을 저해하는 방해판(예를 들면 일본 특허 5908136호 공보 참조)이 부착될 수 있다. 도 32는 방해판(8)이 부착된 선회류 형성체(3G)의 일례를 나타내는 사시도이다. 방해판(8)은 커버(38)의 형상과 같은 형상을 갖는다. 방해판(8)은 중앙에 슬릿(81)을 포함하므로 상기 슬릿(81)은, 커버(38A)에 형성된 홈(381)(미도시)으로 대략 수직으로 연장한다. 흡인될 부재가 막대형이면, 슬릿(81)의 길이 방향의 길이는 부재의 길이 방향의 길이보다 짧게 설정되고, 또는, 슬릿(81)의 폭은, 부재의 폭보다 더 작게 설정된다. 이 방해판(8)이 부착된 선회류 형성체(3G)는 세장형(elongated) 막대형 부재를 흡인하여 1개씩 유지할 수 있다. 예를 들면, 선회류 형성체(3G)는 샤프 펜슬의 심이나 주사 바늘을 흡인하여 유지될 수 있다. 또한, 슬릿(81)의 형상은 도 32에 도시되는 예시에 한정되지 않으며 흡인될 부재의 형상에 따라 결정될 수 있다.
2－14. 변형예 14
방해판이 스페이서(예를 들면 특허 5908136호 공보 참조)를 통해 선회류 형성체(3)의 제1 단면(33)에 부착될 수 있다.
2－15. 변형예 15
선회류 형성체(3)의 제1 단면(33)에, 부재의 파동 또는 회전을 방지하는, 그 사이에서 마찰력을 발생시키기 위하여 부재와 접촉하기 위한 마찰 부재(예를 들면 일본국 특허공개 2005-142462호 공보 참조)가 부착될 수 있다.
2－16. 변형예 16
선회류 형성체(3)의 2개의 유체 통로(37)에 대신해, 전동 팬(예를 들면 일본국 특허 2011－138948호 공보 참조)을 사용할 수 있다.
2－17. 변형예 17
유체가 관통공(32)으로부터 흐르고 제2 단면(34)에 따라서 흐르는 방향은, 본체(31)의 중심축으로 대략 수직인 방향으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 단면(34) 및 커버(38)는, 관통공(32)으로부터 흘러나온 유체가, 본체(31)의 중심축으로 평행한 방향(구체적으로는 본체(31)에 대해 상방향)으로 배출되도록 형성될 수 있다.
1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1I...흡인 장치, 2, 2A, 2B, 2C, 2D, 2E, 2F, 2G, 2H...베이스판, 3, 3A, 3B, 3C, 3D, 3E, 3F, 3G, 3H, 3I, 3J, 3K...선회류 형성체, 4...유체 커플링, 6, 6A...기체, 7, 7A...커버, 8...방해판, 9...가이드 샤프트, 21...관통공, 22...관통공, 23...관통공, 24...관통공, 25...관통공, 26...관통공, 31...본체, 32...관통공, 33...제1 단면, 34...제2 단면, 35...분출구, 36...공급구, 37, 37A...유체 통로, 38, 38A...커버, 39, 39A...스페이서, 51...유출구, 52...배출구, 53...유체 통로, 54...배출 유량 조정 커버, 55...배출 유량 조정 밸브, 61...내주면, 62...외주면, 63...가장자리 단면, 81...슬릿, 311...내주면, 312...외주면, 313...경사면, 314...곡면, 315...내주면, 316...내주면, 381...홈

Claims (8)

  1. 피이송물을 흡인 유지하여 이송하기 위한 이송 장치로서,
    본체와,
    상기 본체에 형성되고 상기 피이송물과 대향하는 제1 단면과,
    상기 제1 단면에 개구하는 동시에 상기 제1 단면의 반대측의 제2 단면에도 개구하는 관통공과,
    상기 제2 단면에 대향하도록 유지되며, 상기 관통공에의 외부 유체의 유입을 제한하는 판체와,
    상기 제2 단면과 상기 판체의 사이에 형성되며, 상기 관통공으로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로와,
    상기 관통공에 면하는 상기 본체의 내주면에 형성된 분출구와,
    상기 분출구로부터 상기 관통공 내에 유체를 분출시켜 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜서 상기 피이송물을 흡인하는 유체 통로를 구비하며,
    상기 내주면은, 적어도 일부에 있어서 상기 관통공의 단면적이 상기 피이송물로부터 멀어질수록 확대되도록 형성된 테이퍼 형상 부분을 포함하며,
    상기 분출구는 상기 테이퍼 형상 부분 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 이송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 내주면은, 상기 제1 단면의 개구로부터 상기 제2 단면의 개구까지 상기 관통공의 단면적이, 상기 피이송물로부터 멀어질수록 점차 확대되도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 이송 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 제2 단면의 개구의 가장자리부는 모따기되어 있는 것을 특징으로 하는, 이송 장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 판체를 상기 제2 단면에 대향하도록 유지함과 더불어, 상기 제2 단면과 상기 판체의 사이에 상기 유로를 형성하는 유지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는, 이송 장치.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 유지 부재는, 상기 판체를 상기 관통공의 관통 방향으로 요동가능하도록 유지시키는 것을 특징으로 하는, 이송 장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 유체 통로는, 상기 분출구로부터 분출된 유체가 상기 피이송물로부터 멀어지는 방향으로 흐르도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 이송 장치.
  7. 기체(base body)와,
    상기 기체에 설치되는, 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 하나 이상의 이송 장치를 구비하는, 장치.
  8. 삭제
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