KR101737300B1 - 흡인 장치 - Google Patents

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Abstract

흡인 장치(10)에는 선회류 형성체(1), 방해판(2) 및 선회류 형성체(1)와 방해판(2)을 연결하는 연결 부재들(3)이 제공된다. 방해판(2)은 흡인되는 부재(W)가 선회류 형성체(1)에 제공되는 오목부(12)에 들어가는 것을 저해한다. 연결 부재들(3)은 단면(13)과 방해판(2) 사이에, 유체가 오목부(12) 밖으로 흐르게 하는 유로를 형성한다.

Description

흡인 장치{SUCTION EQUIPMENT}
본 발명은 흡인하기 어려운 재료를 흡인하는 장치에 관한 것이다.
최근 수년간, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 판형 부재를 비접촉식으로 전달하기 위한 장치가 개발되어 왔다. 예컨대, 특허 문헌 1에서, 장치는 베르누이 원리(Bernoulli's principle)를 적용함으로써 판형 부재를 비접촉식으로 전달하는 것을 제안한다. 이 장치는, 장치의 아랫면 상에서 개방되는 원통형 챔버를 포함하고, 선회류를 생성하기 위하여 이 챔버 내로 유체가 공급된다. 선회류는 중앙에서 부압을 생성하고, 이것은 판형 부재 상에 흡인을 가한다. 반대로, 원통형 챔버 밖으로 흐르는 유체는 장치와 판형 부재 사이에서 주어진 거리가 유지되게 한다. 결과적으로, 이 장치는 비접촉식으로 판형 부재를 전달한다.
(특허문헌 1) 특허 문헌 1: JP 2005-51260 A1
본 발명의 목적은, 오목부에 선회류 또는 방사류를 형성하고 부압을 생성함으로써 부재를 흡인하면서 상기 부재가 오목부에 들어가는 것을 방지하는 흡인 장치가 안정적인 방식으로 부재를 흡인할 수 있게 하는 것이다.
상기 기재된 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 흡인 장치를 제공하고, 상기 흡인 장치는, 기둥형 본체; 본체에 형성되는 평탄형상 단면; 단면에 형성되는 오목부; 오목부 내에 유체 선회류를 형성하기 위한 또는 오목부 내로 유체를 토출함으로써 방사류를 형성하기 위한 유체 흐름 형성 수단 - 유체 선회류 또는 방사류는 부재를 흡인하는 부압을 생성함 - ; 부재가 오목부에 들어가는 것은 방지하면서 부압으로 인해 흡인되는 유체가 통과하는 것은 허용하는 방해판; 및 방해판이 오목부와 대향하도록 방해판을 지지하며 유체가 오목부의 밖으로 흐르게 하는 유로를 단면과 방해판 사이에 형성하는 하나 이상의 지지 부재를 포함한다.
본 발명의 선호되는 모드에서, 하나 이상의 지지 부재는 단면으로부터 돌출하여 본체와 방해판을 연결할 수 있고; 하나 이상의 지지 부재는, 하나 이상의 지지 부재가 유로를 저해하지(obstruct) 않도록 배열될 수 있다.
본 발명의 다른 선호되는 모드에서, 하나 이상의 지지 부재는 오목부의 바닥면과 방해판을 연결할 수 있다.
본 발명의 추가 선호되는 모드에서, 방해판은, 부재의 위치가 결정되도록 부재의 일부가 들어가는 오목부 또는 개구를 포함할 수 있다.
본 발명의 추가 선호되는 모드에서, 하나 이상의 지지 부재는, 방해판이 오목부와 단면과 대향하도록 방해판을 지지하며, 단면과 방해판 사이의 공간에 유로를 형성할 수 있다.
본 발명의 추가 선호되는 모드에서, 흡인 장치에 구비되는 하나 이상의 지지 부재 모두는 하나 이상의 지지 부재 중 어떤 것도 유로를 저해하지 않도록 위치들에 배열될 수 있다.
본 발명의 추가 선호되는 모드에서, 방해판은 중앙에 오목부를 갖는 메쉬부(mesh part)를 포함할 수 있다.
본 발명은 오목부에 선회류 또는 방사류를 형성하고 부압을 생성함으로써 부재를 흡인하면서 상기 부재가 오목부에 들어가는 것을 방지하는 흡인 장치가 안정적인 방식으로 부재를 흡인할 수 있게 한다.
도 1은 흡인 장치(10)의 구조의 일 예시를 도시한다.
도 2는 선회류 형성체(1)의 구조의 일 예시를 도시한다.
도 3은 방해판(2)의 평면도이다.
도 4는 흡인 장치(10)의 효과의 예시도이다.
도 5는 방해판(2A)의 평면도이다.
도 6은 방해판(2B 내지 2D)의 평면도이다.
도 7은 방해판(2E)의 구조를 도시한다.
도 8은 방해판(2F)의 구조를 도시한다.
도 9는 방해판(2G)의 구조를 도시한다.
도 10은 이송 장치(20)의 구조의 일 예시를 도시한다.
도 11은 이송 장치(30)의 구조의 일 예시를 도시한다.
도 12는 방사 방향 흐름 형성체(4)의 구조의 일 예시를 도시한다.
도 13은 선회류 형성체(1A)의 구조의 일 예시를 도시한다.
도 14는 흡인 장치(10A)의 구조의 일 예시를 도시한다.
본 발명을 수행하기 위한 모드는 도면을 참조하여 이하에서 설명된다.
1. 실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에서 흡인 장치(10)의 구조의 일 예시를 도시한다. 도 1a는 흡인 장치(10)의 사시도이고, 도 1b는 흡인 장치(10)의 측면도이며, 도 1c는 선(A-A)을 따르는 도 1b의 단면도이다. 도 1에 도시된 흡인 장치(10)는 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 판형 부재를 흡인하거나 홀드하고 상기 판형 부재를 전달하기 위한 장치이다. 흡인 장치(10)는 또한 물체를 운반하기 위하여 흡인하기 어려운 물체를 흡인하고 이를 홀드하기 위한 장치이다. 여기서, 흡인하기 어려운 물체는 소프트하고, 투수성을 갖거나 무거운 물체다. 구체적으로, 물체는 티슈 페이퍼, 음식 포장용 필름 또는 금속 포일과 같은 필름형 물체이다. 물체는 또한 시트형 김(nori) 또는 시트형 얇은 오믈렛(커팅 전)과 같은 시트형 음식이 될 수 있다. 물체는 또한 쉽게 파손가능하고 연약한 극박(ultrathin) 반도체 웨이퍼 또는 극박 유리 기판이 될 수 있다. 흡인하기 어려운 물체는 자성(magnetic) 또는 비자성이 될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같은 흡인 장치(10)에는 선회류 형성체(1), 방해판(2) 및 선회류 형성체(1)와 방해판(2)을 연결하는 4개의 연결 부재들(3)이 제공된다. 선회류 형성체(1)는 부재(W)를 흡인하는 장치이다. 방해판(2)은, 선회류 형성체(1)에 의해 흡인되는 부재(W)가 이하에 기재되는 오목부(12)에 들어가는 것을 방지하면서 오목부(12) 내에서 생성되는 부압으로 인해 흡인되는 유체가 통과하는 것을 허용하는 부재이다.
도 2는 선회류 형성체(1)의 구조의 일 예시를 도시한다. 도 2a는 선회류 형성체(1)의 사시도이며, 도 2b는 선(B-B)을 따르는 도 2a의 단면도이며, 도 2c는 선(C-C)을 따르는 도 2a의 단면도이다. 선회류 형성체(1)는 베르누이 원리를 사용하여 비접촉식으로 부재를 흡인하고 이를 홀드하며 부재를 전달한다. 구체적으로, 선회류 형성체(1)는 오목부 내로 유체를 토출함으로써 오목부(12) 내에 부압을 생성하고, 이러한 부압은 부재(W)를 흡인하고 이를 홀드한다. 여기서, 유체는 압축 공기와 같은 가스 또는 순수한 물이나 탄산수와 같은 액체이다. 선회류 형성체(1)의 물체는 예컨대 알루미늄 합금이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 선회류 형성체(1)에는 본체(11), 오목부(12), 단면(13), 2개의 분출구(14) 및 경사면(15)이 제공된다. 본체(11)는 기둥(column) 형상을 갖는다. 단면(13)은 본체(11)의 표면(구체적으로 부재(W)를 다루는 표면)(이하에서 "바닥면"으로 지칭됨)들 중 하나 상에서 평평한 형상으로 형성된다. 오목부(12)는 기둥 형상을 가지며 단면(13) 상에 형성된다. 오목부(12)는 본체(11)와 동일한 축 상에서 형성된다.
2개의 분출구(14)는 본체(11)의 오목부(12)를 면하는 내부 주변 측면(inner-peripheral side surface) 상에 형성된다. 2개의 분출구(14)는 축방향으로 내부 주변 측면의 중앙에 배열된다. 2개의 분출구(14)는 서로 대향하도록 배열된다. 구체적으로, 분출구들(14)은 본체(11) 또는 오목부(12)의 중심축의 축방향 중심에 대하여 점 대칭으로 배열된다. 선회류 형성체(1)에 공급되는 유체는 분출구들(14) 각각을 통해 오목부(12) 내로 토출된다. 경사면(15)은 본체(11)의 개구단(opening end) 상에서 형성된다.
도 2에 도시되는 바와 같이, 선회류 형성체(1)에는 또한 공급구(16), 환형 통로(17), 연통 통로(18) 및 2개의 공급 경로(19)가 제공된다. 공급구(16)는 원판 형상을 갖고 본체(11)의 상면(즉, 바닥면에 반대편인 표면)의 중앙에 제공된다. 공급구(16)는 예컨대 튜브를 통해 도시되지 않은 유체 공급 펌프에 연결된다. 본체(11)에는 이러한 공급구(16)를 통해 그 안에 유체가 공급된다. 환형 통로(17)는 원통형 형상을 가지며 오목부(12)를 둘러싸도록 본체(11) 내에 형성된다. 환형 통로(17)는 오목부(12)와 동일한 축으로 형성된다. 환형 통로(17)는 연통 통로(18)로부터 공급된 유체를 공급 경로(19)에 공급한다. 연통 통로(18)는 본체(11) 내에 제공되며 직선으로 본체(11)의 바닥면 또는 상면의 방사방향으로 연장한다.
연통 통로(18)는 그의 양쪽 단부에서 환형 통로(17)와 통한다. 연통 통로(18)는 공급구(16)를 통해 본체(11) 내로 공급되는 유체를 환형 통로(17)에 공급한다. 2개의 공급 경로(19)는 단면(13)에 대략 수직이 되고 오목부(12)의 외부 주변에 접선 방향으로 연장하도록 형성된다. 2개의 공급 경로(19)는 서로 평행하게 연장한다. 공급 경로들(19) 각각은 그의 일 단부에서 환형 통로(17)와 통하며 그의 다른 단부에서 분출구(14)와 통한다. 공급 경로들(19) 각각은 오목부(12) 내의 유체의 선회류를 형성한다. 공급 경로들(19) 각각은 본 발명에서 "유체 흐름 형성 수단"의 일 예시이다.
다음으로, 도 3은 방해판(2)의 평면도이다. 도 3에 도시된 바와 같이 방해판(2)은 원판 형상을 갖는 레진 평판(resin flat plate)이다. 방해판(2)은 단면(13)과 동일한 중심을 갖고 단면(13)에 평행하도록 연결 부재들(3)을 통해 선회류 형성체(1)에 부착된다. 예컨대, 방해판(2)은 나사결합(screwing)에 의해 선회류 형성체(1)에 부착된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 방해판(2)은, 원판형 개구를 갖는 원판부(21), 원판부(21)의 개구 위에서 펴지는(stretch over) 복수의 막대형 부재(22a, 22b)(이하에서 전체적으로 "막대형 부재(22)"로 지칭됨) 및 막대형 부재들(22a, 22b) 사이에서 펴지는 복수의 환형 부재(23a, 23b)(이하에서 전체적으로 "환형 부재(23)"로 지칭됨)을 포함한다.
방해판(2)이 선회류 형성체(1)에 부착될 때, 원판부(21)의 하나의 표면은 선회류 형성체(1)의 단면(13)에 대향한다. 막대형 부재들(22a 및 22b)은 원판부(21)의 개구의 중앙에서 교차하도록 연장한다. 막대형 부재들(22a 및 22b)은 방해판(2)이 선회류 형성체(1)에 부착될 때 오목부(12)의 개구를 가로질러 연장한다. 막대형 부재들(22a 및 22b)은 예컨대 십자형을 형성하도록 연장한다. 환형 부재들(23a 및 23b)은 막대형 부재들(22a 및 22b)이 가로지르는 지점이 중심인 동심의 원형들을 형성한다.
최내측 환형 부재(23a)와 막대형 부재들(22a 및 22b)의 교차점 사이에 갭이 제공된다. 즉, 환형 부재(23a)는 방해판(2)이 선회류 형성체(1)에 부착될 때 오목부(12)의 개구의 중심부를 덮도록 제공된다. 그러므로, 환형 부재(23a)는 이하에서 기재된 이유로 인해, 오목부(12) 내로 빨려들어가는 유체의 유입을 저해(obstruct)하지 않는다.
다음으로, 연결 부재들(3)은 기둥형 스페이서들이다. 연결 부재들(3)의 일 표면은 단면(13)에 고정되고, 다른 표면은 방해판(2)의 하나의 표면(구체적으로, 단면(13)에 대향하는 측 상의 표면)에 고정된다. 결과적으로, 본체(11) 및 방해판(2)은 연결 부재들(3)을 통해 연결된다. 연결 부재들(3)은 단면(13)으로부터 돌출되며 방해판(2)을 향해 수직으로 연장한다. 이러한 연결 부재들(3)은 방해판은 오목부(12)에 대향하도록 방해판(2)을 지지하는 지지 부재의 일 예시이다.
*연결 부재(3)는 단면(13)과 방해판(2) 사이에서, 유체가 오목부(12)의 밖으로 흐르게 하는 유로를 형성한다. 이러한 유로는 단면(13)과 방해판(2)에 평행하게 형성되며, 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체는 흡인 장치(10) 외부로 흐르기 전에 이러한 유로를 따라 흐른다(즉, 단면(13)과 원판부(21)의 표면에 평행하게 흐름). 이러한 유로를 통과하는 유체는 방해판(2)의 개구 밖으로 흐르지 않는다.
연결 부재들(3)의 높이(즉, 단면(13)과 방해판(2) 사이의 갭)는 유체 공급 펌프로부터 흡인 장치(10)로 공급된 유체의 흐름 양에 따라 설정된다. 예컨대, 높이는, 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체가 방해판(2)의 개구를 통과하지 않고 연결 부재들(3)에 의해 단면(13)과 방해판(2) 사이에 형성된 유로를 통과하도록 설정된다. 이때, 흡인 장치(10)의 흡인력이 감소하지 않도록 연결 부재들(3)의 높이는 가능한 낮은 것이 바람직하다.
연결 부재들(3)은 부재들에 의해 단면(13)과 방해판(2) 사이에 형성되는 유로를 저해하지 않도록 위치들에서 배열된다. 다시 말해서, 연결 부재들(3)은 유로들이 형성되지 않는 위치들(또는 유체 양이 다른 위치들보다 더 작은 위치들)에 배열된다. 구체적으로, 도 1(c)에 도시되는 바와 같이, 연결 부재들(3)은 화살표(A1 또는 A2)에 의해 표시되는 유로를 가로지르지 않고 위치들에 배열된다. 이것은 오목부(12)와 연결 부재들(3) 밖으로 흐르는 유체의 충돌로 인하여 난류가 발생하는 것을 방지하기 위한 것이다. 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체의 유로는 오목부(12)의 직경 또는 깊이 그리고 유체의 흐름 속도에 의해 결정된다. 여기서, 유로는 예컨대 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체의 합성 벡터(synthetic vector)로 표시된다.
선회류 형성체(1)에 상기 설명된 바와 같이 공급구(16)를 통해 유체가 공급될 경우, 유체는 연통 통로(18), 환형 통로(17) 및 공급 경로들(19)을 통과하여 분출구들(14)로부터 오목부(12)로 토출된다. 오목부(12)로부터 토출된 유체는 오목부(12) 내의 선회류으로 정류(rectify)되어 계속해서 오목부(12)의 개구 밖으로 흐른다. 이때, 부재(W)가 방해판(2)에 대향하는 위치에 존재할 경우, 오목부(12)로의 외부 유체(예컨대 공기 또는 물)의 유입이 제한되며 선회류의 중심에서의 단위 체적당 유체분자의 밀도는 선회류의 엔트레인먼트 효과(entrainment effect)와 원심력으로 인해 감소되면서 오목부(12)의 부압을 생성한다. 결과적으로, 유체를 둘러싸면서 부재(W)에 압력이 가해지며 부재(W)는 흡인 장치(10)를 향해 당겨진다(gravitate).
부재(W)가 흡인하기 어려운 물체일 경우, 물체에 대한 흡인력을 증가시키는 것 외에 다른 옵션이 없으므로, 물체는 흡인 장치(10)와 접촉하게 된다. 이런 경우에, 도 4b에 도시된 바와 같이, 방해판(2)이 존재하지 않을 경우, 부재(W)는 오목부(12) 내로 빨려들어간다. 결과적으로, 부재(W) 및 오목부(12)의 개방 에지(특히, 경사면(15))는 서로 접촉하게 되어서(점선 영역(S1) 참조) 부재(W)가 뻗어나가거나 마킹되게 한다(marked). 반면에, 본 실시예의 흡인 장치(10)에서, 방해판(2)이 존재하므로, 도 4a에 도시된 바와 같이, 부재(W)는 오목부(12) 내로 빨려들어가지 않는다.
예컨대, 방해판(2)이 존재하더라도, 방해판(2)이 선회류 형성체(1)에 직접 부착될 경우, 흡인 장치(10)에 의해 흡인되는 부재(W)는 물결모양이 된다(undulate). 이는, 도 4c에 도시된 바와 같이, 방해판(2)이 선회류 형성체(1)에 직접 부착될 때, 오목부(12)의 밖으로 흐르는 유체가 방해판(2)에서의 개구를 떠나야 하고 결과적으로 유체가 부재(W)(점선 영역(S2)을 참조)와 충돌하기 때문이다. 부재(W)가 물결모양이 될 경우, 안정적인 흡인, 홀딩 및 전달이 저해되며, 종종 부재(W)는 주름지고, 변형되거나 손상된다. 반대로 본 발명의 흡인 장치(10)에 있어서, 유로는 연결 부재들(3)에 의해 단면(13)과 방해판(2) 사이에 형성되므로, 도 4a에 도시된 바와 같이, 오목부(12)의 밖으로 흐르는 유체는 방해판(2)의 개구를 통과하지 않고 이러한 유로를 통해 흡인 장치 밖으로 흐른다. 따라서, 이러한 흡인 장치(10)에서, 오목부(12)와 부재(W) 밖으로 흐르는 유체의 충돌이 조절되며 결과적으로 부재(W)의 언듈레이션(undulation)이 제어된다. 유출 유체와 부재(W)의 충돌의 제어의 결과로, 유출 유체에 의해 유도되는 부재(W)의 회전이 제어된다. 이처럼, 연결 부재들(3)은 고립된 선회류 형성체(1)내에서 발생하는 선회류의 흡인력의 사용을 가능하게 한다.
2. 변형 예시
상기 기재된 실시예는 이하와 같이 변형될 수 있다. 또한 이하에서 변형된 예시들은 결합될 수 있다.
2-1. 변형 예시 1
방해판(2)의 형상은 상기 기재된 실시예에 채택된 형상에 한정되지 않는다.예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 막대형 부재들(22a 및 22b)이 상기 기재된 실시예에서 방해판(2)의 최내측 상에 배열되는 환형 부재(23a)의 내의 영역에서 컷아웃되는 형상이 채택될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 이러한 형상을 갖는 방해판(2a)은 원판부(21), 막대형 부재들(22c, 22d, 22e 및 22f) 및 환형 부재들(23a 및 23b)을 갖는다.
막대형 부재들(22c, 22d, 22e 및 22f)은 동일한 길이이며, 각각은 원판부(21)의 개구의 에지로부터 그의 개구의 중심을 향해 연장한다. 막대형 부재들(22c, 22d, 22e 및 22f) 각각은 인접한 막대형 부재들에 관하여 수직으로 연장한다. 환형 부재(23a)는 그의 외부 주변 에지 막대형 부재들(22c, 22d, 22e 및 22f) 각각의 팁과 접촉하게 되도록 배열된다. 환형 부재(23b)는 환형 부재(23a)와 동심이 되도록 막대형 부재들(22c, 22d, 22e 및 22f) 각각의 사이에서 펴진다.
2-2. 변형 예시 2
도 6은 다른 형상을 갖는 방해판(2)의 평면도이다. 도 6a에 도시된 방해판(2B)은 원판부(21)의 개구 상에서 원형의 느슨하게 짜여진(loosely woven) 메쉬부(24)를 갖는다. 방해판(2B)이 선회류 형성체(1)에 부착될 때, 메쉬부(24)는 선회류 형성체(1)의 오목부(12)를 덮는다. 도 6b에 도시된 방해판(2C)은 원판부(21)의 개구 상에서 원형의 촘촘히 짜여진 메쉬부(25)를 갖는다. 방해판(2C)이 선회류 형성체(1)에 부착될 때, 메쉬부(25)는 선회류 형성체(1)의 오목부(12)를 덮는다. 도 6c에 도시된 방해판(2D)은 원판부(21)를 대신해 그의 중앙에 복수의 원형 구멍을 갖는 원판부(21A)를 갖는다.
방해판(2B)에서, 다공성 물체는 메쉬부(24)를 대신하여 채택될 수 있다.
2-3. 변형 예시 3
도 7은 상이한 형상을 갖는 방해판(2)의 구조를 도시한다. 도 7a는 방해판(2E)의 평면도이며, 도 7b는 선(D-D)을 따르는 도 7a의 단면도이다. 도 7에 도시된 방해판(2E)은 원판부(21)의 개구 상에 원형의 조밀하게 짜여진 메쉬부(25A)를 갖는다. 이러한 메쉬부(25A)는 그의 중심에 원뿔형 오목부(251)를 갖는다. 방해판(2E)은 오목부(251)는 선회류 형성체(1)의 오목부(12) 측 상에서 리세스되도록 선회류 형성체(1)에 부착된다. 부재(W)의 일부 또는 전체가 이러한 오목부(251) 내로 들어가거나 가라앉을(sink) 경우, 부재(W)의 움직임은 오목부(251)를 형성하는 메쉬부(25A)의 경사면에 의해 조절되게 되며 부재(W)의 위치가 결정된다. 오목부(251)의 바닥은 메쉬부(25A)의 다른 부분보다 선회류 형성체(1)의 오목부(12)에 가깝기 때문에, 오목부(251) 내로 들어가거나 가라앉는 부재(W)의 부분에는 기타 부분들보다 더 강하게 흡인된다. 오목부(251)의 직경 또는 깊이는 부재(W)의 형상 및 크기에 따라 결정된다. 방해판(2E)에 대한 사용에 있어서, 차례로 볼트 또는 너트와 같은 기계적 부품을 흡인하고, 이것들을 홀드하고 전달하는 것이 고려될 수 있다.
오목부(251)의 형상은 또한 부재(W)의 형상에 따라 또한 결정될 수 있다. 도 8은 상이한 형상을 갖는 오목부(251)를 갖는 방해판(2E)의 구조를 도시한다. 도 8a은 방해판(2F)의 평면도이며, 도 8b는 선(E-E)을 따르는 도 8a의 단면도이다. 도 8에 도시되는 방해판(2F)은 원판부(21)의 개구 상에 원형의 조밀하게 짜여진 메쉬부(25B)를 가지며, 이러한 메쉬부(25B)는 그의 중앙에 반구의 오목부(251A)를 갖는다.
대안으로, 오목부(251)의 형상은 그루브(groove)형이 될 수 있으며, 얇고 긴 부재(W)의 방향의 배열이 가능해진다.
2-4. 변형 예시 4
도 9는 상이한 형상을 갖는 방해판(2)의 구조를 도시한다. 도 9a는 방해판(2G)의 사시도이며 도 9b는 선(F-F)을 따르는 도 9a의 단면도이다. 방해판(2G)은 원판부(21)의 대신 그의 중심에 개구(211)를 갖는 원판부(21B)를 갖는다. 개구(211)는 스루 홀(through hole)이다. 원판부(21B)는 그의 개방 단부에 4개의 규제부(212)를 갖는다. 규제부(212)는 예컨대 원판부(21B)의 개방 단부를 반경 밴딩의 대상이 되게 함으로써 형성된다. 규제부(212)는 스프링과 유사한 탄성을 갖는다. 방해판(2G)은 이러한 규제부(212)는 선회류 형성체(1)의 오목부(12) 측으로 돌출하도록 선회류 형성체(1)에 부착된다. 부재(W)의 일부가 방해판(2G)의 개구(211) 내로 들어가고 또는 가라앉을 경우, 부재(W)의 움직임(방해판(2G)에 관한 수평방향 그리고 수직 방향으로의 움직임)은 개구(211)를 둘러싸는 규제부(212)에 의해 조절되게 되며 부재(W)의 위치가 결정된다. 이때, 개구(211)로 들어가거나 가라앉은 부분은 다른 부분들보다 선회류 형성체(1)의 오목부(12)에 가까우므로 이러한 흡인은 더 많은 힘을 이 부분에 가한다. 본 변형 예시에서, 도 9b에서 파선으로 도시되는 바와 같이, 부재(W)는 예컨대 달걀 또는 딸기와 같이 구면의 또는 타원형의 물체로 구성되는 것으로 가정된다. 개구(211)의 형상 및 크기는 부재(W)의 형상 및 크기에 따라 결정된다.
2-5. 변형 예시 5
상기 기재된 실시예의 흡인 장치(10)에 관하여, 흡인 장치(10)의 복수의 항목이 부재(W)의 크기에 따라 판형 프레임에 부착될 수 있다. 도 10은 본 변형 예시와 같은 이송 장치(20)의 구조의 예시이다. 구체적으로, 도 10a은 이송 장치(20)의 배면도이며 도 10b은 이송 장치(20)의 저면도이다. 도 10에 도시된 바와 같이 이송 장치(20)에는 기판(201), 흡인 장치(10)의 12개의 항목, 12개의 마찰 부재(202) 및 6개의 구멍(203)이 제공된다.
기판(201)은 원판 형상을 갖는다. 기판(201)의 물체는 예컨대 알루미늄 합금이다. 흡인 장치(10)의 12개의 항목은 기판(201)의 표면들 중 하나 상에 제공된다(구체적으로, 부재(W)에 대향하는 표면)(이하에서 "바닥면"으로 지칭). 흡인 장치(10)의 12개의 항목은 바닥면 상에서 동일한 원형의 원주 상에 배열된다. 흡인 장치(10)의 12개의 항목은 기판(201)의 외부 주변을 따라 동일한 인터벌로 배열된다. 본 변형 예시에서, 흡인 장치(10)에 제공되는 방해판(2)은, 방해판이 오목부(12)에 대향하도록, 연결 부재들(3)이 아닌, 기판(201)의 표면으로부터 수직으로 연장되는 지지 부재들에 의해 지지될 수 있다.
12개의 마찰 부재(202) 각각은 기둥형 형상을 가지며 기판(201)의 바닥면 상에 제공된다. 12개의 마찰 부재(202)는 흡인 장치(10)의 항목이 배열되는 원형과 동일한 원형의 원주 상에서 동일한 간격으로 바닥면 상에 배열된다. 하나의 마찰 부재(202)는 흡인 장치(10)의 2개의 항목 사이에 배열된다. 마찰 부재들(202) 각각은 부재(W)의 표면과 접촉하게 되며 표면에 의해 발생하는 마찰로 인한 부재(W)의 움직임을 방지한다. 마찰 부재들(202)의 물체는 예컨대, 플루오로고무이다. 6개의 구멍(203)은 기판(201) 상에 제공되며 원형 단부들을 갖는 세장형 형상을 갖는다. 6개의 구멍(203)은 기판(201) 상에서 동일한 원형의 원주 상에서 동일한 간격으로 배열된다. 그 원주 구멍(203)이 배열되는 원형은 원형과 동심이며, 그 위에서, 흡인 장치(10)의 항목들은 그의 원주 상에 배열된다. 구멍(203)은 흡인 장치(10)보다 기판(201)의 표면의 중앙을 향하여 추가로 배열된다.
2-6. 변형 예시 6
상기 기재된 변형 예시(5)에서, 이송 장치(20)의 형상이 변형될 수 있다. 도 1은 본 변형 예시의 이송 장치(30)의 구조의 일 예시이다. 구체적으로, 도 11a은 이송 장치(30)의 저면도이며, 도 11b는 이송 장치(30)의 측면도이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 이송 장치(30)에는 기판(301), 흡인 장치(10)의 10개의 항목 및 12개의 마찰 부재(202A)가 제공된다.
기판(301)은 2개의 갈고리형 포크의 형상의 판형 부재이며 직사각형 파지부(3011) 및 파지부(3011)로부터 뻗어나온(branch out) 2개의 아암부(3012)로 구성된다. 기판(301)의 물체는 예컨대, 알루미늄 합금이다. 흡인 장치(10)의 10개의 항목은 2개의 아암부(3012)의 하나의 표면(구체적으로 부재(W)에 대향하는 표면)(이하에서 "바닥면"으로 지칭됨) 상에 제공된다. 흡인 장치(10)의 10개의 항목은 2개의 아암부(3012) 상의 동일한 원형의 원주 상에 배열된다. 아암부(3012) 각각에 있어서, 흡인 장치(10)의 5개의 항목은 동일한 간격으로 배열된다. 본 변형 예시에서, 흡인 장치(10)에 제공되는 방해판(2)은, 방해판이 오목부(12)에 대향하도록, 연결 부재들(3)이 아닌 기판(301)의 표면으로부터 수직으로 연장되는 지지 부재들에 의해 지지될 수 있다.
12개의 마찰 부재(202A)는 판형 부재이며 2개의 아암부(3012)의 바닥면 상에 제공된다. 12개의 마찰 부재(202A)는 흡인 장치(10)의 항목이 배열되는 원형과 동일한 원형의 원주 상에서 동일한 간격으로 바닥면 상에 배열된다. 아암부들(3012)의 각각에서, 흡인 장치(10)의 하나의 항목이 2개의 마찰 부재(202A) 사이에 끼이도록 (sandwiched) 배열된다. 마찰 부재들(202A) 각각은 부재(W)의 표면과 접촉하게 되며 표면에 의해 발생하는 마찰로 인한 부재(W)의 움직임을 방지한다. 마찰 부재들(202A)의 물체는 예컨대 플루오르고무(fluororubber)이다.
2-7. 변형 예시 7
상기 기재된 실시예에서, 선회류를 형성하는 선회류 형성체(1)가 채택되되 방사류를 형성하는 방사 방향 흐름 형성체가 그의 대신에 채택될 수 있다. 도 12는 본 변형 예시의 방사 방향 흐름 형성체(4)의 구조의 일 예시를 도시한다. 도 12a는 방사 방향 흐름 형성체(4)의 사시도이며, 도 12b는 방사 방향 흐름 형성체(4)의 배면도이며 도 12c는 선(G-G)을 따르는 도 12b의 단면도이다. 도 12에 도시되는 방사 방향 흐름 형성체(4)는 유체를 토출함으로써 방사 방향 흐름 형성체(4)와 부재(W) 사이에 부압을 생성하는 장치이며, 이러한 부압은 부재를 흡인하고 이를 홀딩한다.
도 12에 도시된 방사 방향 흐름 형성체(4)에는, 본체(41), 환형 오목부(42), 단면(43), 대향면(44) 및 경사면(45)이 제공된다. 본체(41)는 기둥형 형상을 갖는다. 단면(43)은 본체(41)의 표면들 중 하나 상에서 평평한 형상으로 형성된다(구체적으로, 부재(W)를 면하는 표면)(이하에서 "바닥면"으로 지칭됨). 환형 오목부(42)는 단면(43) 상에 형성된다. 환형 오목부(42)는 본체(41)의 외부 주변과 동심인 원형에 형성된다. 대향면(44)은 본체(41)의 바닥면 상에서 평평한 형상으로 형성된다. 대향면(44)은 환형 오목부(42)에 의해 둘러싸이고 부재(W)에 대향하며, 이는 전달될 아티클(article)이다. 대향면(44)은 단면(43)에 관하여 오목해지도록 본체(41)의 바닥면 상에 형성된다. 경사면(45)은 환형 오목부(42)의 개구에(구체적으로, 그의 외부 주변 에지에) 형성된다.
방사 방향 흐름 형성체(4)는 6개의 노즐 구멍(46), 도입구(47), 도입 경로(48), 환형 통로(49) 및 연통 통로(50)가 더 제공된다. 도입구(47)는 원형이며 본체(41)의 상면(즉, 바닥면의 반대 표면)의 중앙에 제공된다. 도입구(47)는 튜브를 통해 예컨대, 도시되지 않은 유체 공급 펌프에 연결된다. 도입 경로(48)는 본체(41) 내에 제공되며, 본체(41)의 중심축을 따라 직선으로 연장한다. 도입 경로(48)는 그의 일 단부에서 도입구(47)와 통하며 그의 다른 단부에서 연통 통로(50)와 통한다. 도입 경로(48)는 도입구(47)를 통해 본체(41) 내로 공급되는 유체를 연통 통로(50)에 공급한다.
연통 통로(50)는 본체(41) 내에 제공되며 환형 통로(49)의 방사 방향에서 직선으로 연장한다. 연통 통로(50)는 축 방향에서 그의 중심부에서 도입 경로(48)와 통하며 그의 양쪽 단부에서 환형 통로(49)와 통한다. 연통 통로(50)는 도입 경로(48)로부터 공급되는 유체를 환형 통로(49)에 공급한다. 환형 통로(49)는 원통형이며 본체(41) 내에 제공된다. 환형 통로(49)는 본체(41)와 동일한 축 상에 형성된다. 환형 통로(49)는 연통 통로(50)로부터 공급되는 유체를 노즐 구멍(46)에 공급한다.
6개의 노즐 구멍(46) 각각은 단면(43) 또는 대향면(44)에 대략 평행하도록 형성되며 본체(41)의 바닥면 또는 상면의 방사 방향에서 직선으로 연장하고, 그의 일 단부는 환형 통로(49)와 통하며 다른 하나의 단부는 환형 오목부(42)와 통한다. 6개의 노즐 구멍(46)은, 인접한 노즐 구멍들(46)을 통해 방사 방향 흐름 형성체(4)의 중심으로부터 방사 방향으로 연장하는 선이 서로 대략 45°각도를 형성하도록 동일한 평면상에 배열된다. 노즐 구멍들(46) 각각은 환형 오목부(42) 내로 가스와 같은 유체를 토출하며 방사 방향 흐름을 형성한다. 노즐 구멍들(35) 각각은 본 발명에서의 "유체 흐름 형성 수단"의 예시이다.
*상기 기재된 방사 방향 흐름 형성체(4)에 도입구(47)를 통해 유체가 공급될 경우, 유체는 노즐 구멍들(46)로부터 환형 오목부들(42)로 토출되기 전에 도입 경로(48), 연통 통로(50) 및 환형 통로(49)를 통과한다. 환형 오목부들(42)로부터 토출된 유체는 환형 오목부들(42)의 개구 밖으로 흐른다. 이때, 부재(W)가 방해판(2)의 반대편에 존재할 경우, 방해판(2)과 부재(W) 사이의 공간에 대한 외부 유체(예컨대 공기 또는 물)의 유입이 제한되며, 공간의 단위 체적당 유체분자의 밀도는 방사류의 엔트레인먼트 효과로 인해 감소되면서 부압을 생성한다. 결과적으로, 유체를 둘러싸면서 부재(W)에 압력이 가해지며 부재(W)는 방해판(2)을 향해 당겨진다.
방사 방향 흐름 형성체(4)의 구조(특히, 노즐 구멍들(46)의 수 및 본체(41) 내의 유체 유로의 구조)는 본 변형 예시에서 표시되는 예시에서의 구조에 한정되지 않는다. 이 구조는 방사 방향 흐름 형성체(4)에 의해 전달된 부재(W)의 크기, 형상 및 물체에 따라 결정될 수 있다.
2-8. 변형 예시 8
상기 기재된 실시예의 선회류 형성체(1)의 형상이 변형될 수 있다. 도 13은 본 변형 예시의 선회류 형성체(1A)의 구조의 일 예시이다. 도 13a는 선회류 형성체(1A)의 배면도이며, 도 13b는 도 13에 도시된 바와 같이 선(H-H)을 따르는 도 13a의 단면도이다. 도 13에 도시되는 바와 같이, 선회류 형성체(1A)에는 선회류 형성체(1)에 비해 볼록부(111)가 추가로 제공된다. 볼록부(111)는 기둥형 형상을 가지며 오목부(12)의 바닥으로부터 연장하도록 형성된다. 볼록부(111)는 본체(11) 또는 오목부(12)와 동일한 축 상에서 형성된다. 볼록부(111)의 상면(구체적으로 부재(W)에 대향하는 표면)은 단면(13)에 관하여 오목하도록 형성된다. 볼록부(111)는 본체(11)의 그의 외부 주변 측면과 내부 주변 측면 사이에 유체 유로를 형성하며 오목부(12) 내로 토출되는 유체는 이러한 유체 유로를 통해 흐름으로써 선회류를 형성한다.
볼록부(111)의 상면은 단면(13)과 동일한 평면상에 형성될 수 있다. 볼록부(111)의 상면의 단부는 챔퍼(chamfer)될 수 있다.
2-9. 변형 예시 9
상기 기재된 실시예의 흡인 장치(10)에 제공되는 연결 부재들(3)의 형상은 기둥형 형상에 한정되지 않으며 사각 기둥(pillar) 형상 또는 타원형 기둥형 형상이 될 수 있다. 연결 부재들(3)의 수는 4개에 한정되지 않으며 그보다 많거나 적을 수 있다. 연결 부재들(3)은 선회류 형성체(1)의 단면(13)보다 방해판(2)과 오목부(12)의 바닥면을 연결할 수 있다. 도 14는 이러한 구조를 갖는 흡인 장치(10A)의 구조의 일 예시를 도시한다. 도 14a는 흡인 장치(10A)의 측면도이며, 도 14b는 선(I-I)을 따르는 도 14a의 단면도이며 도 14c는 선(J-J)을 따르는 도 14b의 단면도이다.
도 14에 도시되는 흡인 장치(10A)는 연결 부재들(3) 대신 연결 부재들(3A)을 갖는다는 특징에 있어서 흡인 장치(1)와 상이하다. 흡인 장치(10A)에서, 연결 부재들(3A)은 기둥형 스페이서들이다. 연결 부재들(3A) 각각의 표면 중 하나는 오목부(12)의 바닥면에 고정되며 다른 표면은 방해판(2)의 표면들 중 하나(구체적으로, 단면(13)에 대향하는 측 상의 표면)의 중앙에 고정된다. 결과적으로, 본체(11) 및 방해판(2)은 연결 부재들(3A)을 통해 연결된다. 연결 부재들(3)은 오목부(12)의 바닥면의 중심으로부터 방해판(2)을 향하여 연장하며 선회류가 연결 부재들(3A) 주변에서 형성된다. 연결 부재들(3A)은 오목부(12)의 중심에 배열되므로 오목부(12)의 밖으로 흐르는 유체의 흐름을 저해하지 않는다(즉, 유로는 단면(13)과 방해판(2) 사이에 형성됨).
연결 부재들(3)과 유사하게, 연결 부재들(3A)은 단면(13)과 방해판(2) 사이에 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체를 위한 유로를 형성한다. 이러한 유로는 단면(13)과 방해판(2)에 평행하게 형성되므로 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체는 흡인 장치(10A)의 밖으로 흐르기 전에 이러한 유로를 따라 흐른다(즉, 원판부(21)의 단면(13)과 표면에 평행하게 흐름). 이러한 유로를 통과하는 유체는 방해판(2)의 구멍 밖으로 흐르지 않는다.
연결 부재들(3A)의 높이(즉, 오목부(12)의 깊이 및 단면(13)과 방해판(2) 사이의 갭의 합)은 유체 공급 펌프로부터 흡인 장치(10a)로 공급되는 유체의 양에 따라 설정된다. 예컨대, 높이는, 오목부(12) 밖으로 흐르는 유체가 연결 부재들(3A)에 의해 방해판(2)의 개구를 통하지 않고 단면(13)과 방해판(2) 사이에 형성되는 유로를 통과하도록 설정된다. 이때, 연결 부재들(3A)의 높이는, 흡인 장치(10A)의 흡인력이 감소하지 않도록 가능한 낮은 것이 바람직하다.
2-10. 변형 예시 10
상기 기재된 실시예에서, 잘 알려진 전기 팬(electric fan)은 선회류 형성체(1) 대신 채택될 수 있다(예컨대, 공개되고 심사되지 않은 특허 출원 번호 2011-138948 참조). 구체적으로, 구성은 선회류 형성체(1)의 본체(11)에 유입 포트가 제공되며 유입 포트로부터 오목부(12) 내로의 가스를 흡인하고 오목부(12)에서 선회류를 생성하도록 회전하는 팬이 오목부(12) 내에 제공되는 구성을 채택할 수 있다. 이러한 팬은 본 발명에서 "유체 흐름 형성 수단"의 일 예시이다.
2-11. 변형 예시 11
상기 기재된 실시예의 선회류 형성체(1)의 본체(11)의 형상은 기둥형이 되는 것으로 한정되지 않으며 정사각형 또는 타원형 기둥형 형상이 될 수 있다. 선회류 형성체(1)에 제공된 공급 경로들(19)의 수는 2개에 한정되지 않으며 그보다 더 적거나 더 많을 수 있다. 경사면(15)은 필수적으로 제공되지 않을 수 있다(즉, 단면(13)의 단부는 필수적으로 챔퍼되지 않을 수 있음). 또한, 선회류 형성체(1), 방해판(2) 및 연결 부재들(3)이 일체로(integrally) 형성될 수 있다. 방해판(2)의 막대형 부재들(22) 및 환형 부재들(23)의 수는 하나가 될 수 있고 또는 3개 이상이 될 수 있다. 방해판(2)의 반경은 본체(11)의 횡단면 반경과 필수적으로 동일하지 않을 수 있다.
2-12. 변형 예시 12
상기 기재된 이송 장치(20)의 기판(201)의 구조는 상기 기재된 변형 예시(5)에 표시된 예시의 구조에 한정되지 않는다. 이송 장치(20)의 기판(201) 상에 제공되는 마찰 부재들(202) 및 구멍들(203)의 수, 형상 및 배열은 상기 기재된 변형 예시(5)에 표시된 예시에 한정되지 않는다. 이러한 요소들은 이송 장치(20)에 의해 전달되는 부재(W)의 크기, 형상 및 물체에 따라 결정될 수 있다. 마찰 부재들(202) 및 구멍들(203)은 이송 장치(20)의 기판(201)상에 필수적으로 제공되지 않을 수 있다. 마찰 부재들(202)이 이송 장치(20)의 기판(201) 상에 제공되지 않을 경우, 잘 알려진 센터링 가이드는 부재(W)의 위치를 결정하기 위하여 기판(201) 상에 배열될 수 있다(예컨대, 공개되고 심사되지 않은 특허 출원 번호 2005-51260 참조). 유사하게, 상기 기재된 이송 장치(30)의 기판(301)의 구조는 상기 기재된 변형 예시(6)에 표시된 구조에 한정되지 않는다.
2-13. 변형 예시 13
이송 장치(20)의 기판(201) 상에 제공되는 흡인 장치(10)의 항목들의 수, 구조 및 배열은 상기 기재된 변형 예시(5)에 표시된 예시에 한정되지 않는다. 이러한 요소들은 이송 장치(20)에 의해 전달되는 부재(W)의 크기, 형상 및 물체에 따라 결정될 수 있다. 예컨대, 흡인 장치(10)의 항목들의 수는 12보다 더 작을수도 클수도 있다. 흡인 장치(10)의 항목들은 기판(201)의 외부 둘레를 따라 2개 이상의 열(row)에 배열될 수 있다. 마찬가지로, 상기 기재된 이송 장치(30)의 기판(301)에 제공되는 흡인 장치(10)의 항목들의 수, 구조 및 배열은 상기 기재된 변형 예시 6에 표시된 예시에 한정되지 않는다.
1… 선회류 형성체, 2… 방해판, 3… 연결 부재, 4… 방사류 형성체, 10… 흡인 장치, 11… 본체, 12… 오목부, 13… 단면, 14… 분출구, 15… 경사면, 16… 공급구, 17… 환형 통로, 18… 연통 통로, 19… 공급 경로, 20… 이송 장치, 21… 원판부, 22… 막대형 부재, 23… 환형 부재, 24… 메쉬부, 25… 메쉬부, 30… 이송 장치, 41… 본체, 42… 환형 오목부, 43… 단면, 44… 대향면, 45… 경사면, 46… 노즐 구멍, 47… 도입구, 48… 도입 경로, 49… 환형 통로, 50… 연통 통로, 111… 볼록부, 201… 기판, 202… 마찰 부재, 203… 구멍, 211… 개구, 212… 규제부, 251… 오목부, 301… 기판, 3011… 파지부, 3012… 아암부.

Claims (7)

  1. 기둥형상의 본체와,
    상기 본체에 형성되는 평탄형상의 단면과,
    상기 단면에 형성되는 오목부와,
    상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성함으로써 상기 오목부 내에 부압을 발생시켜 피흡인 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단과,
    상기 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과시키면서, 상기 오목부 내로의 상기 피흡인 부재의 진입을 저해하는 방해판과,
    상기 방해판을 상기 오목부에 대향하도록 지지함과 더불어, 상기 단면과 상기 방해판 사이에, 상기 오목부로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로를 형성하는 지지 부재를 구비하고,
    상기 지지 부재는, 상기 단면으로부터 돌출하여 상기 본체와 상기 방해판을 연결하는 것을 특징으로 하는 흡인 장치.
  2. 기둥형상의 본체와,
    상기 본체에 형성되는 평탄형상의 단면과,
    상기 단면에 형성되는 오목부와,
    상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성함으로써 상기 오목부 내에 부압을 발생시켜 피흡인 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단과,
    상기 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과시키면서, 상기 오목부 내로의 상기 피흡인 부재의 진입을 저해하는 방해판과,
    상기 방해판을 상기 오목부와 상기 단면에 대향하도록 지지함과 더불어, 상기 단면과 상기 방해판의 대향 공간에, 상기 오목부로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로를 형성하는 지지 부재를 구비하며,
    상기 방해판은 중앙부에 오목부를 갖는 메쉬부를 구비하는 것을 특징으로 하는,
    흡인 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 방해판은 중앙부에 오목부를 갖는 메쉬부를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인 장치.
  4. 기둥형상의 본체와,
    상기 본체에 형성되는 평탄형상의 단면과,
    상기 단면에 형성되는 오목부와,
    상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성함으로써 상기 오목부 내에 부압을 발생시켜 피흡인 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단과,
    상기 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과시키면서, 상기 오목부 내로의 상기 피흡인 부재의 진입을 저해하는 방해판과,
    상기 방해판을 상기 오목부에 대향하도록 지지함과 더불어, 상기 단면과 상기 방해판 사이에, 상기 오목부로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로를 형성하는 지지 부재를 구비하고,
    상기 방해판은, 상기 피흡인 부재의 일부가 함입(陷入)함으로써 상기 피흡인 부재의 위치 결정이 이루어지는 개구부를 중앙부에 갖는 것을 특징으로 하는 흡인 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 지지 부재는 상기 오목부의 바닥면과 상기 방해판을 연결하는 것을 특징으로 하는 흡인 장치.
  6. 기둥형상의 본체와,
    상기 본체에 형성되는 평탄형상의 단면과,
    상기 단면에 형성되는 오목부와,
    상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성함으로써 상기 오목부 내에 부압을 발생시켜 피흡인 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단과,
    상기 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과시키면서, 상기 오목부 내로의 상기 피흡인 부재의 진입을 저해하는 방해판과,
    상기 방해판을 상기 오목부 및 상기 단면에 대향하도록 지지함과 더불어, 상기 단면과 상기 방해판의 대향 공간에, 상기 오목부로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로를 형성하는 지지 부재를 구비하고,
    상기 지지 부재는, 상기 오목부의 바닥면과 상기 방해판을 연결하는 것을 특징으로 하는 흡인 장치.
  7. 판상의 기판과,
    상기 기판의 평탄형상의 단면에 설치된 하나 이상의 흡인 장치를 구비하는 이송 장치로서,
    상기 하나 이상의 흡인 장치 각각은,
    기둥형상의 본체와,
    상기 본체에 형성되는 평탄형상의 단면과,
    상기 단면에 형성되는 오목부와,
    상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성함으로써 상기 오목부 내에 부압을 발생시켜 피흡인 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단을 구비하며,
    상기 기판은,
    상기 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과시키면서, 상기 오목부 내로의 상기 피흡인 부재의 진입을 저해하는 방해판과,
    상기 방해판을 상기 오목부 및 상기 기판의 단면에 대향하도록 지지함과 더불어, 상기 기판의 단면과 상기 방해판의 대향 공간에, 상기 오목부로부터 유출하는 유체가 흐르기 위한 유로를 형성하는 지지 부재를 구비하는 이송 장치.
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