JP2006341346A - 非接触型搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 椀状体12の開口部12a中央に邪魔板部材15を設け、開口部12aを被搬送物20に対面させて邪魔板部材15の背部から気体aを椀状体12内に供給し、該気体が被搬送物20の表面に沿って流れることで邪魔板部材15と被搬送物20との間の空間Xに発生する相対負圧を利用して被搬送物20を椀状体12に非接触で保持させる非接触型搬送装置において、邪魔板部材15を椀状体12内部に設けると共に開口部12aを被搬送物20より大面積とし、椀状体12の周壁部に前記表面に沿う気体流を排出する排気孔12bを設ける。
【選択図】 図4
Description
11 真空発生器(柱状体)
12 筒状ガイド部
12a 開口
12b 排気孔(貫通孔)
13 空気供給通路
13a 開口(空気吹き出し孔)
14 支杆
15 邪魔板部材
20 CCD型固体撮像素子
a,b,c 空気流
Claims (5)
- 椀状体の開口部中央に邪魔板部材を設け、前記開口部を被搬送物に対面させて前記邪魔板部材の背部から気体を前記椀状体内に供給し、該気体が前記被搬送物の表面に沿って流れることで前記邪魔板部材と前記被搬送物との間の空間に発生する相対負圧を利用して前記被搬送物を前記椀状体に非接触で保持させる非接触型搬送装置において、前記邪魔板部材を前記椀状体内部に設けると共に前記開口部を前記被搬送物より大面積とし、前記椀状体の周壁部に前記表面に沿う気体流を排出する排気孔を設けたことを特徴とする非接触型搬送装置。
- 前記開口部と前記邪魔板部材との距離が前記被搬送物の厚さ以上であることを特徴とする請求項1に記載の非接触型搬送装置。
- 前記椀状体は、内部に気体供給通路が形成されると共に軸心部分に前記邪魔板部材が形成された柱状体と、一端面が前記開口部となり他端面側が前記柱状体の周囲に気密に嵌合される筒状部材とでなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の非接触型搬送装置。
- 前記排気孔は、排気される気体流が前記被搬送物と反対方向且つ斜め方向に向く形状としたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の非接触型搬送装置。
- 前記気体は、空気または窒素であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の非接触型搬送装置。
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2005
- 2005-06-09 JP JP2005169771A patent/JP2006341346A/ja active Pending
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