JP3464990B2 - 微小物体検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばコンデンサ
チップのような微小物体の外観や寸法等を検査し、検査
結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】微小物体の外観を検査する検査装置は、
フィーダから搬送される微小物体を整列させて１個ずつ
に分離しつつ下流側に吸引し、気流搬送によって微小物
体を浮遊させて搬送する途中、カメラにより微小物体を
撮像し、この撮像データから微小物体の外観上の疵、寸
法などを検査したうえで、検査の結果に基づいて分別装
置により、良品の微小物体を良品貯蔵部へ、不良品の微
小物体を不良品貯蔵部へ各々分別するように構成されて
いる。

【０００３】上記した検査装置は、良品と判定された微
小物体と不良品と判定された微小物体とを分別するため
に、フィーダの微小物体の排出部となる先端から１本の
気流搬送道が導設され、この気流搬送道における良品貯
蔵部と不良品貯蔵部との分岐位置に、良品貯蔵部と不良
品貯蔵部との分岐を切り替える閉塞板を設けている。

【０００４】従って、検査装置は、良品貯蔵部及び不良
品貯蔵部から空気を吸引して、良品と判定された微小物
体が吸引されてきたときは、不良品貯蔵部へ分岐する気
流搬送道を閉塞板で閉じ、不良品と判定された微小物体
が吸引されてきたときは、良品貯蔵部へ分岐する気流搬
送道を閉塞板で閉じるのである。

【０００５】しかし、上記した従来の検査装置は、良品
貯蔵部と不良品貯蔵部とに分岐した各々の気流搬送道を
閉塞板で閉じるようにしていたので、検査自体が非常に
短時間で行え、また空気の吸引能力を高くすることがで
きるにも拘わらず、順次気流搬送されてくる検査を終了
した微小物体に対応してタイミング良く閉塞板の開閉操
作を行うためには気流搬送速度を比較的低速とする必要
が生じ、結果として大量の微小物体を短時間で効率よく
処理することができないといった不具合があった。

【０００６】そこで、本出願人は、先に、特開平１２−
２１３９２２号、特願平１１−３５１４２９号、特願平
１２−３７１１４３号で、微小物体の１個ずつの搬送に
同期して回転し、１個ずつ微小物体を収納するポケット
が形成された回転テーブルを用いた微小物体検査装置を
提案している。この回転テーブルを用いた微小物体検査
装置であれば、高速で効率良く良品と不良品の分別を行
うことができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】さて、上記した本出願
人が先に出願した特願平１２−２１３９２２号、及び特
願平１１−３５４４２９号に記載の微小物体検査装置
は、現状で使用するに際して特段不具合は生じないが、
将来的に以下の問題が生じる可能性がある。

【０００８】すなわち、特願平１２−２１３９２２号、
及び特願平１１−３５４４２９号に記載の微小物体検査
装置は、検査速度を将来的により高速化すると、回転テ
ーブルへ空中移動する微小物体がぶれた（空中姿勢が安
定していない）ときに、所定の面を正しく撮像できず、
高精度な検査が実施できない可能性がある。

【０００９】また、特願平１２−３７１１４３号に記載
の微小物体検査装置は、空中撮像に代えて回転テーブル
を微小物体の搬送方向に２個並列配置して一方の回転テ
ーブルに搬送されるときに微小物体の３面を、一方の回
転テーブルから他方の回転テーブルに微小物体が搬送さ
れるときに上記と異なる３面を撮像するようにしてい
る。

【００１０】従って、特願平１２−３７１１４３号に記
載の微小物体検査装置は、上記した特願平１２−２１３
９２２号、及び特願平１１−３５４４２９号で将来的に
生じ得る問題はないが、近年のダウンサイジング傾向に
おいて将来的に装置の小型化を考慮した場合、回転テー
ブルを２個用いる点でコスト的にもスペース的にも不利
である。

【００１１】本発明は、上記した従来の問題点に鑑みて
なされたものであり、１枚の回転テーブルを用いて、か
つ微小物体の姿勢を安定させて撮像可能で、しかも高速
で検査精度をより一層向上させることができる微小物体
検査装置を提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の微小物体検査装置は、フィーダの先端に
対向配置した１枚の回転テーブルを用い、フィーダの搬
送経路に微小物体の姿勢を安定させる溝を形成し、回転
テーブルのポケットをＶ字状として、このＶ字状の両谷
面に適宜吸気と排気が弁によって切り替えられ、吸排気
装置に接続した吸排気口を設け、そして、撮像手段によ
って微小物体を撮像するようにした。このようにするこ
とで、回転テーブルを用いたことによる従来からの長所
を損なうことなく、微小物体の姿勢を安定させて撮像可
能で、しかも高速で検査精度をより一層向上させること
ができると共に装置の小型化を図ることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の微小物体検査装置は、微
小物体を搬送するフィーダと、このフィーダの先端に対
向して設けられると共に回転可能とされ、その側周面か
ら中心部に向けて複数のポケットが回転方向に間隔を存
して形成された円形の回転テーブルと、この回転テーブ
ルの裏面側に固定配置され、フィーダ先端部と対向する
位置に吸引装置と接続した吸引開口が形成された固定テ
ーブルと、微小物体の外観を撮像する撮像手段と、この
撮像手段により撮像されて外観検査された微小物体を良
品又は不良品に分別するために、回転テーブルの回転方
向の下流側外周位置に設けられた良品収納部及び不良品
収納部とを備え、フィーダの搬送経路に微小物体の搬送
姿勢を整列させる溝を形成し、また、回転テーブルのポ
ケットを、回転中心に向けて谷面を形成したＶ字状とす
ると共に、該ポケットのＶ字状の両谷面に、適宜吸気と
排気が弁によって切り替えられ、吸排気装置に接続した
吸排気口が設けられ、さらに、撮像手段を、回転テーブ
ルに至るまでに微小物体の上面と一方側面が撮像され、
回転テーブルでの回転中に微小物体の下面、他方側面、
前面、及び後面が撮像されるように配置したものであ
る。

【００１４】上記構成によれば、フィーダは溝が形成さ
れているから、微小物体をその溝に沿った状態にして安
定して搬送することができる。そして、例えばフィーダ
で搬送される途中の微小物体について個別に上面と一方
側面を撮像する。その後、フィーダの先端から回転テー
ブルに微小物体が移動すると、この微小物体の移動に合
わせて回転テーブルの複数のポケットの一つがフィーダ
の先端に臨むように回転し、このとき、フィーダの先端
部に搬送された微小物体が固定テーブルの吸引開口から
吸引装置によって該ポケット内に吸引される。

【００１５】回転テーブルのポケットに吸引された微小
物体は、ポケットのＶ字状の谷面の一方の吸排気口から
吸排気装置によって撮像済みの上面が吸引され、また、
ポケットのＶ字状の谷面の他方の吸排気口から吸排気装
置によって撮像済みの一方側面が吸引される。これによ
って、微小物体は、撮像済みの面がポケットのＶ字状の
谷面に沿って安定した姿勢で保持されることとなり、回
転テーブルを高速に移動させても微小物体の姿勢が崩れ
ることがなく、後の微小物体の他面の撮像が安定して行
えることとなり、検査精度も向上する。

【００１６】上記した状態で、回転テーブルが回転する
と、その下流側に設けた撮像手段によって、いまポケッ
トのＶ字状の谷面に吸引されていない、例えば、微小物
体の他方側面と下面を撮像し、その後、微小物体の前面
と後面を撮像する。これによって微小物体の６面全てが
撮像され、外観検査の判断に供されることとなる。

【００１７】微小物体の外観検査は、１個の微小物体の
各々の面を撮像した画像データの全てを判断して、１面
でも外観異常があれば、不良品とする。不良品と判断さ
れた微小物体は、回転テーブルが所定の角度まで回転し
たときに、その位置に設けられた不良品収納部に排出さ
れ、また、良品と判断された微小物体は、回転テーブル
が所定の角度まで回転したときに、その位置に設けられ
た良品収納部に排出される。

【００１８】微小物体が良品又は不良品収納部に排出さ
れるときには、Ｖ字状のポケットの谷面の一方及び他方
における吸排気口から吸排気装置によって排気して、ポ
ケット内から良品又は不良品収納部に微小物体を排出す
る。なお、微小物体の良品又は不良品収納部への排出
は、上記手法によらず、例えば、固定テーブルにおいて
良品及び不良品収納部の位置に排出開口を設け、この排
出開口を該固定テーブルの裏面側に設けた排気装置に接
続し、良品又は不良品の微小物体が回転テーブルの回転
によって固定テーブルの該排出開口に位置したときに排
気して微小物体を良品又は不良品収納部に排出する構成
としてもよい。

【００１９】このように、本発明の微小物体検査装置
は、１枚の回転テーブルを用いて装置全体を小型化する
ことができ、また、回転テーブルを高速に回転させても
微小物体の姿勢が崩れることがなく、高速で精度の高い
外観検査を行うことができるようになる。

【００２０】また、本発明の微小物体検査装置は、上記
構成において、回転テーブルの側周外側にガイドプレー
トを設け、このガイドプレートから該回転テーブルのポ
ケットにおけるＶ字状の谷面と平行に出退する案内板を
設けたものである。

【００２１】上記構成によれば、ガイドプレートは、回
転テーブルがフィーダと対向する位置から若干回転した
位置に、該回転テーブルの中心方向に向けて案内板が出
退する開口が設けられている。そして、案内板は、ガイ
ドプレートの上記開口から、ポケット内に例えばソレノ
イドなどによって出退する。

【００２２】回転テーブルがフィーダと対向する位置か
ら若干移動したときには、すでにフィーダからポケット
内に微小物体が移動しており、ポケット内では、上記し
たようにポケットのＶ字状の両谷面における吸排気開口
から空気を吸引して、微小物体を安定した姿勢に保持し
ている。しかし、何らかの原因で微小物体の姿勢が崩れ
る可能性もあり、そのような可能性に対応して本発明で
は、以下のようにして微小物体の姿勢を矯正する。

【００２３】回転テーブルが回転してポケットがガイド
プレートの開口位置まで移動すると、この移動したポケ
ット内に案内板が突出し、このとき、例えば案内板と平
行するＶ字状の谷面における一方の吸排気口から空気を
排出して、微小物体を一旦案内板に押し当て、案内板が
出退する位置における回転テーブルの中心方向に位置す
る他方の吸排気口はそのまま空気を吸引して微小物体を
保持し続ける。

【００２４】微小物体を案内板に押し当てた後に、排気
した上記一方の吸排気口をすぐさま吸気に切り替えて微
小物体を吸引して、以後、良品又は不良品収納部まで一
方及び他方の吸排気口から吸気を続ける。そして、案内
板をガイドプレートの開口へ退出させ、回転テーブルを
回転させる。このようにすることで、フィーダから回転
テーブルに移動した直後の微小物体の姿勢が何らかの原
因で崩れていても、正しくＶ字状のポケットに沿った状
態に矯正することができ、上記より一層検査精度を向上
させることができる。

【００２５】また、本発明の微小物体検査装置は、上記
したいずれかの構成に、固定テーブルに設けたガイドノ
ズルを介してフィーダの先端部と回転テーブルとを接触
させたものである。このようにすることで、フィーダ先
端部の微小物体がガイドノズルに入ったときに、該ガイ
ドノズル内で微小物体が急激に吸引されて後続の微小物
体に対して移動速度差が生じ、後続の微小物体とガイド
ノズル内の微小物体とが分離され、微小物体１つずつを
適正に回転テーブルへ送ることができ、また、フィーダ
から回転テーブルへ移動するときに微小物体の姿勢が崩
れることがなくなり、結果として、より一層検査精度を
向上させることができるようになる。

【００２６】また、本発明の微小物体検査装置は、上記
したいずれかの構成に、固定テーブルに設けたガイドノ
ズルを介してフィーダの先端部と回転テーブルとを接触
させることに代えて、フィーダの先端と回転テーブル及
び固定テーブルとの間に搬送コンベアを設けてもよい。
このようにすることで、大きさの不揃いの微小物体や、
衝撃に弱い微小物体を、より一層高精度に検査すること
が可能となる。

【００２７】

【実施例】以下に、本発明の微小物体検査装置の実施例
について図面を参照して説明する。図１は本発明の微小
物体検査装置の概略構成を示す。図２は本発明の微小物
体検査装置における回転テーブルを示す。図３は本発明
の微小物体検査装置における固定テーブルを示す。図４
は本発明の微小物体検査装置におけるフィーダを示す。
図５は本発明の微小物体検査装置における回転テーブル
のポケットを示す。図６は本発明の微小物体検査装置に
おける案内板を示す。図７は本発明の微小物体検査装置
における案内板の動作を示す。図８は、本発明の微小物
体検査装置の他の構成を示すフィーダと回転テーブル周
辺を示す。

【００２８】本発明の微小物体検査装置は、例えばコン
デンサチップのような微小な物体（以下、ワークＷと示
す）の外観や寸法等を検査し、検査結果に基づいて良品
と不良品とに分別するものであり、以下のように構成さ
れている。

【００２９】１は、ワークＷを搬送するフィーダであ
る。このフィーダ１は、未検査のワークＷが収納された
箇所 (不図示）から、振動を与えて整列させる振動部１
Ａと、先端部に設けられ、搬送方向の移動以外の振動を
静止させてワークＷの姿勢を安定させる無振動部１Ｂを
備える。

【００３０】フィーダ１は、ワークＷの搬送経路におい
て、ワークＷの搬送姿勢を整列させるためのＶ字状の溝
１ａが形成されている。この溝１ａは、図４に示すよう
に、ワークＷの下面と他方側面の２面が接触してワーク
Ｗを保持し、ワークＷを予め斜めに位置させ、結果とし
てワークＷの上面と一方側面が外側に向くようにしてい
る。

【００３１】２は、フィーダ１の先端に、本実施例では
後述する固定テーブル３に設けたガイドノズル３ａを介
して接触した回転テーブルである。この回転テーブル２
は、図２及び図５に示すように、その側周面から中心部
に向けて谷状とされたＶ字状のポケット２Ａが回転方向
に間隔を存して複数形成されている。このポケット２Ａ
におけるＶ字状の両谷面には、適宜吸気と排気を弁Ｖに
よって切り替えると共に吸排気装置２Ｐに接続した吸排
気口２ａ，２ａが設けられている。

【００３２】また、吸排気装置２Ｐは、図２に示すよう
に、ポケット２Ａの吸排気口２ａ，２ａから弁Ｖを設け
たパイプ（参照番号無）が設けられている。これらパイ
プは、ポケット２Ａ毎でかつパイプ毎に空気の吸気と排
気が吸排気装置２Ｐによって制御されるようになってい
る。なお、図１（ｂ）では、吸排気口２ａ，２ａ、パイ
プ、及び吸排気装置２Ｐの図示を省略している。

【００３３】回転テーブル２の側周外側において、本実
施例では、図６に示すように、フィーダ１の箇所から該
回転テーブル２が若干回転した位置に、後述する固定テ
ーブル３に固定されたガイドプレート２Ｃが設けられて
いる。このガイドプレート２Ｃは、ポケット２Ａに後述
する案内板２Ｄを出退移動させるための開口２Ｃａが設
けられている。そして、この開口２Ｃａから、Ｖ字状ポ
ケット２Ａにおける谷面と平行に出退する案内板２Ｄが
例えばソレノイドによって出退する。

【００３４】案内板２Ｄは、例えば図６（ａ）に示すよ
うに、平板状としてポケット２ＡのＶ字状の谷面の一方
に平行に出退させるようにしてもよいし、図６（ｂ）に
示すように、Ｖ字状のポケット２Ａの谷部分と対向する
谷部分が形成されたＶ字状として出退させるようにして
もよい。

【００３５】３は、回転テーブル２の裏面側に固定配置
され、フィーダ１の先端部と対向する位置に吸引装置３
Ｖと接続した吸引開口３Ａが形成された固定テーブルで
ある。なお、本実施例では、図３に示すように、例えば
吸引開口３Ａが形成された位置から回転方向下流側に、
後述する検査の結果良品であったワークＷを良品収納部
４へ排出するための良品開口３Ｂ、及び良品開口３Ｂの
回転方向下流位置に隣接して設けられ、検査の結果不良
品であったワークＷを不良品収納部５へ排出するための
不良品開口３Ｃが各々形成されている。

【００３６】本実施例では、この固定テーブル３に、フ
ィーダ１の先端部と回転テーブル２の表面とを接続する
ガイドノズル３ａが設けられている。このガイドノズル
３ａを設けることで、フィーダ１の先端部のワークＷが
該ガイドノズル３ａに入ったときに、該ガイドノズル３
ａ内でワークＷが急激に吸引されて後続のワークＷに対
して移動速度差が生じ、後続のワークＷとガイドノズル
３ａ内のワークＷとが分離され、ワークＷ１つずつを適
正に回転テーブル２へ送ることができ、また、フィーダ
１から回転テーブル２へ移動するときにワークＷの姿勢
が崩れることがなくなる。

【００３７】なお、良品開口３Ｂ及び不良品開口３Ｃが
形成された位置まで回転テーブル２が回転して、良品又
は不良品に該当するワークＷがポケット２Ａに収納され
て移動されてきたとき、本実施例では、不図示の排出機
構によって、該回転テーブル２のフィーダ１配置側から
空気を吹き出して良品収納部４又は不良品収納部５へ当
該ワークＷを排出するようにしている。

【００３８】４は、上記した良品収納部であり、５は、
上記した不良品収納部である。なお、不良品収納部５
は、ワークＷの６面のうち１面でも不良であった場合に
収納するが、例えば不良品収納部５を６個設けて、不良
品のワークをさらに不良のあった面毎に分別して収納す
るようにしてもよい。その場合は、当然に固定テーブル
３における不良品開口３Ｃは６個設ける。

【００３９】６Ａ〜６Ｆは、ワークＷを撮像するための
撮像手段としての６台のカメラである。カメラ６Ａ，６
Ｂは、ワークＷの上面と一方側面をそれぞれ撮像するた
めに、例えばフィーダ１の無振動部１Ｂ上方に設けられ
ている。また、カメラ６Ｃ，６Ｄは、例えばワークＷの
他方側面と下面をそれぞれ撮像するために回転テーブル
３の外周に設けられている。カメラ６Ｅ，６Ｆは、例え
ばワークＷの前面と後面をそれぞれ撮像するために回転
テーブル３の表面と裏面に各々設けられている。なお、
図１（ａ）においてはカメラ６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを
（図８も同様）、図１（ｂ）においてはカメラ６Ｅ，６
Ｆをそれぞれ省略して示している。

【００４０】次に、上記構成の微小物体検査装置の動作
について説明する。ワークＷがフィーダ１によって搬送
される際、振動部１ＡによってワークＷの姿勢が整えら
れ、また、溝１ａが形成されているから、ワークＷは溝
１ａに沿って安定した姿勢で搬送される。フィーダ１の
振動部１Ａで搬送され、無振動部１Ｂまで到達すると、
ワークＷは振動せず、順次送られるワークＷによって搬
送方向、つまり回転テーブル２の方向にのみ移動する。

【００４１】そして、無振動部１Ｂまで到達したワーク
Ｗは、カメラ６Ａによって上面が、カメラ６Ｂによって
一方側面が、撮像される。無振動部１Ｂを通過したワー
クＷは、このフィーダ１の無振動部１ＢからのワークＷ
の送り出しに同期して、回転テーブル２が回転してフィ
ーダ１の先端部にポケット２Ａが位置するようになって
いる。

【００４２】フィーダ１の無振動部１Ｂの最前部にワー
クＷが送り出され、吸引装置３Ｖによって常時吸気状態
とされた固定テーブル３の吸引開口３Ａとポケット２Ａ
とが同位置になると、ガイドノズル３ａを介してフィー
ダ１の先端部のワークＷが、後続のワークＷと分離さ
れ、ポケット２Ａに吸引される。このように、ガイドノ
ズル３ａを介してフィーダ１から回転テーブル２へとワ
ークＷを移動させるようにすることで、フィーダ１から
回転テーブル２へ移動するときにワークＷが１つずつ分
離され、また、姿勢が崩れることが抑制され、結果とし
て、より一層検査精度を向上させることができるように
なる。

【００４３】そして、ポケット２ＡのＶ字状の両谷面と
フィーダ１の溝１ａの形状が同じ状態とされていること
から、ワークＷはフィーダ１で整えられた姿勢のまま回
転テーブル２のポケット２Ａに移動することとなる。

【００４４】フィーダ１と対向する箇所に位置したポケ
ット２Ａでは、吸排気口２ａ，２ａから吸排気装置２Ｐ
によって吸気されており、ワークＷは先にカメラ６Ａ，
６Ｂによって撮像されたワークＷの上面と一方側面がポ
ケット２ＡのＶ字状の両谷面に接することとなる。よっ
て、ポケット２Ａに位置するワークＷは、下面と他方側
面が外側に向いている。

【００４５】このようにすることで、ワークＷは、撮像
済みの面がポケット２ＡのＶ字状の両谷面に沿って安定
した姿勢で保持されることとなり、回転テーブル２を高
速に移動させてもワークＷの姿勢が崩れることがなく、
後に行うワークＷの未撮像面の撮像が安定して行えるこ
ととなり、検査精度が向上する。

【００４６】ここで、本発明の上記構成によればほとん
ど発生することはないが、図７（ａ）に示すように、可
能性として仮に何らかの原因でポケット２Ａに移動した
ワークＷの姿勢がポケット２ＡのＶ字状の両谷面に沿っ
た状態でない場合も起こり得る。このような場合には、
後に行われるワークＷの未撮像面の撮像が正しく行われ
ず、検査精度が低下することとなる。

【００４７】そこで、本実施例構成では、回転テーブル
２の側周外側にガイドプレート２Ｃを設け、このガイド
プレート２Ｃから該回転テーブル２のポケット２Ａにお
ける谷面と平行に出退する案内板２Ｄを設けている。本
実施例では、図６（ａ）の案内板２Ｄを採用した場合で
図７を参照して説明する。図７（ａ）に示す状態で、回
転テーブル２がフィーダ１と対向する位置から若干回転
すると、図７（ｂ）に示すように、該回転テーブル２の
中心方向に向けて案内板２Ｄがガイドプレート２Ｃの開
口２Ｃａから突出する。

【００４８】その後又は同時に、例えば案内板２Ｄと平
行するポケット２ＡのＶ字状の谷面における案内板２Ｄ
と平行な谷面に形成された一方の吸排気口２ａから空気
を排出して、ワークＷを一旦案内板２Ｄに押し当てつ
つ、案内板２Ｄと直交する谷面に形成された他方の吸排
気口２ａはそのまま空気を吸引してワークＷを保持し続
ける。

【００４９】ワークＷを案内板２Ｄに押し当てた後に、
図７（ｃ）に示すように、排気した上記一方の吸排気口
２ａをすぐさま吸気に切り替えてワークＷを吸引する。
なお、これら一方及び他方の吸排気口２ａ，２ａは、良
品収納部３Ｂ又は不良品収納部３Ｃに回転テーブル２の
当該ポケット２Ａが回転するまで吸気を続ける。このよ
うにすることで、フィーダ１から回転テーブル２に移動
したワークＷ姿勢が何らかの原因で崩れていたとして
も、正しくポケット２ＡのＶ字状の両谷面に沿った状態
に矯正することができ、一層検査精度を向上させること
ができる。

【００５０】その後、さらに回転テーブル２が回転する
と、その下流側に設けたカメラ６Ｃによってポケット２
ＡのＶ字状の谷面と接していない、ワークＷの他方側面
が、続いてカメラ６ＤによってワークＷの下面が撮像さ
れる。そして、回転テーブル２がさらに回転すると、カ
メラ６Ｅ，６ＦによってワークＷの前面と後面が撮像さ
れる。このようにして撮像されたワークＷの６面の画像
が、外観検査の判断に供される。

【００５１】回転テーブル２が回転して固定テーブル３
の良品開口３Ｂ又は不良品開口３Ｃの位置に回転する間
に、ワークＷの各々の面について撮像した画像の全てが
判断され、１面でも外観異常があれば不良品とする。不
良品と判断された微小物体は、回転テーブル２が不良品
開口３Ｃの位置に回転したときに、不良品収納部５に排
出され、また、良品と判断されたワークＷは、回転テー
ブル２が良品開口３Ｂの位置に回転したときに良品収納
部４に排出される。

【００５２】このとき、ワークＷが良品収納部４又は不
良品収納部５に排出されるときには、Ｖ字状のポケット
２Ａの谷面の一方及び他方の吸排気口２ａ，２ａから吸
排気装置２Ｐによって排気すると共に、本実施例では不
図示の排出機構によって排気してワークＷを良品収納部
４又は不良品収納部５へ排出する。

【００５３】上記では、本発明の請求項１に請求項２及
び請求項３を採用した態様を示した。もちろん請求項１
のみを採用した場合、請求項１に請求項２を採用した場
合、のいずれにおいても従来よりは格段に高速で高精度
にてワークＷの外観検査を行うことが可能である。

【００５４】次に、上記した構成において、請求項３に
代えて請求項４を採用した態様について説明する。上記
したガイドノズル３ａを備えた場合、該ガイドノズル３
ａをワークＷが通過するには、ガイドノズル３ａの内径
を当然にワークＷより大きくする必要がある。したがっ
てワークＷの外形寸法が不揃いのときは、ガイドノズル
３ａが詰まらないように、最大外形寸法のワークＷにガ
イドノズル３ａの内径を設定しておく必要がある。

【００５５】ところが、ガイドノズル３ａの内径を最大
外形寸法のワークＷに設定した場合、それより小さい外
形寸法のワークＷは、ガイドノズル３ａ内で姿勢が崩れ
易く、回転テーブル２のポケット２Ａに正しく納まらず
に噛み込みが発生する可能性がある。

【００５６】また、正しく回転テーブル２のポケット２
Ａに納まったとしても、ガイドノズル３ａ内でワークＷ
が急速に加速されるため、ポケット２Ａにおいて固定テ
ーブル３に衝突する可能性がある。したがって強度の低
いワークＷを扱う場合には、上記衝突の衝撃で破損して
しまう可能性がある。なお、この可能性は、ワークＷを
回転テーブル２へ移動させる吸引装置３Ｖの吸引力を高
くするほど顕著となるので、今後の検査速度の高速化を
行うための大きな障害となる。

【００５７】さらに、現状よりさらに微小なワークＷを
検査する場合には、吸引速度を上げるとワークＷを一つ
に分離することが困難になる可能性がある。以上のこと
から、現状では上記構成で構わないが、寸法の異なるワ
ークＷ、衝撃に弱いワークＷ、より微小なワークＷのい
ずれかについて外観検査を行う場合には、図８に示す以
下の構成とすればよい。

【００５８】図８に示す微小物体検査装置は、フィーダ
１の先端部から、回転テーブル２及び固定テーブル３と
の間に、搬送コンベア１１を設けている。そして、固定
テーブル３において、回転テーブル２のポケット２Ａの
直前にワーク通過センサ１１Ａを設ける。さらに、固定
テーブル３の吸引開口３Ａの背面にワークストッパ１１
Ｂを設ける。

【００５９】上記構成では、フィーダ１から送られるワ
ークＷを搬送コンベア１１にて１個分離して回転テーブ
ル２へと送る。そして、ワーク通過センサ１１Ａにてワ
ークＷの通過が検知され、その後、吸引装置３Ｖによっ
てワークＷがポケット２Ａ内に吸引され、ワークストッ
パ１１Ｂに当接することでワークＷがポケット２Ａ内で
停止する。続いて、ワーク通過センサ１１Ａにてワーク
Ｗの到着を検知した一定時間後に、回転テーブル２を次
のポケット２ＡがワークＷを受け入れる位置となるよう
に回転する。以下、上記と同様の検査動作を行う。

【００６０】このように、ワークＷを搬送コンベア１１
にて搬送することで外形寸法が異なるワークＷについて
良好に検査することができると共に、搬送コンベア１１
の搬送速度を高速化すれば、上記した気流搬送と同等の
高速化を図ることができ、また、ワークＷをポケット内
に高速に吸引しつつも衝撃を与えないようにすることが
でき、さらに、搬送コンベア１１上で姿勢が安定し、ま
た１個に分離されて搬送されるので、微小なワークＷで
あっても高精度でかつ高速に外観検査を行うことができ
る。

【００６１】なお、上記した実施例では、いずれもフィ
ーダ１の先端部にてワークＷの上面と一方側面をカメラ
６Ａ，６Ｂにて撮像するようにしていたが、搬送コンベ
ア１１を設ける場合には、この搬送コンベア１１の搬送
経路上にカメラ６Ａ，６Ｂを設けてワークＷの上面と一
方側面とを撮像するようにしてもよい。

【００６２】また、カメラ６Ｃ，６Ｄとカメラ６Ｅ，６
Ｆの配置順序は、特に限定されず、先にカメラ６Ｅ，６
ＦでワークＷの先後端面を撮像して、その後カメラ６
Ｃ，６ＤでワークＷの下面と他方側面とを撮像するよう
にしてもよい。

【００６３】このように、本発明の微小物体検査装置に
よれば、１枚の回転テーブル２を用いて装置全体を小型
にでき、また、回転テーブル２を高速に回転させてもワ
ークＷの姿勢が崩れることがなく、高速で精度の高い外
観検査を行うことができるようになる。

【００６４】

【発明の効果】以上のように、本発明の微小物体検査装
置は、フィーダに対向配置した１枚の回転テーブルを用
い、フィーダには微小物体の姿勢を安定させる溝を、ま
た、回転テーブルのポケットをＶ字状とし、このＶ字状
の両谷面に、適宜吸気と排気が弁によって切り替えら
れ、吸排気装置に接続した吸排気口を設け、撮像手段に
よって微小物体を撮像するようにしたので、回転テーブ
ルを高速回転させても微小物体の姿勢を安定させること
ができ、従って、高速で検査精度をより一層向上させる
ことができる。

【００６５】また、本発明の微小物体検査装置は、上記
構成において、回転テーブルの側周外側にガイドプレー
トを設け、このガイドプレートから該回転テーブルのポ
ケットにおけるＶ字状の谷面と平行に出退する案内板を
設けたので、フィーダから回転テーブルに移動した直後
の微小物体の姿勢が崩れていても、正しくＶ字状のポケ
ットに沿った状態に微小物体の姿勢を矯正することがで
き、上記より一層検査精度を向上させることができる。

【００６６】また、本発明の微小物体検査装置は、上記
したいずれかの構成に、固定テーブルに設けたガイドノ
ズルを介してフィーダの先端部と回転テーブルとを接触
させたので、後続の微小物体とガイドノズル内の微小物
体とが分離され、微小物体１つずつを適正に回転テーブ
ルへ送ることができ、また、フィーダから回転テーブル
へ移動するときに微小物体の姿勢が崩れることがなくな
り、結果として、より一層検査精度を向上させることが
できるようになる。

【００６７】また、本発明の微小物体検査装置は、上記
したいずれかの構成において、ガイドノズルを設けるこ
とに代えて、フィーダの先端と回転テーブル及び固定テ
ーブルとの間に搬送コンベアを設ければ、大きさの不揃
いの微小物体や、衝撃に弱い微小物体を、より一層高精
度に検査することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の微小物体検査装置の概略構成を示し、
（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ矢視図である。

【図２】本発明の微小物体検査装置における回転テーブ
ルを示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。

【図３】本発明の微小物体検査装置における固定テーブ
ルを示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。

【図４】本発明の微小物体検査装置におけるフィーダを
示す図である。

【図５】本発明の微小物体検査装置における回転テーブ
ルのポケットを示す図である。

【図６】本発明の微小物体検査装置における案内板を示
し、（ａ）は実施例で採用したもの、（ｂ）は変形例構
成を、それぞれ示す図である。

【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明の微小物体検査
装置における案内板の動作を順に示す図である。

【図８】本発明の微小物体検査装置における他の構成を
示し、フィーダと回転テーブル及び固定テーブル周辺を
示す図である。

【符号の説明】

１ フィーダ １ａ 溝 ２ 回転テーブル ２Ａ ポケット ２ａ 吸排気口 ２Ｃ ガイドプレート ２Ｃａ 開口 ２Ｄ 案内板 ３ 固定テーブル ３Ａ 吸引開口 ３ａ ガイドノズル ６Ａ〜６Ｆ カメラ １１ 搬送コンベア １１Ａ ワーク通過センサ １１Ｂ ワークストッパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B07C 1/00 - 9/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 微小物体を搬送するフィーダと、このフ
   ィーダの先端にその端面が対向して設けられると共に回
   転可能とされ、その側周面から中心部に向けて複数のポ
   ケットが回転方向に間隔を存して形成された円形の回転
   テーブルと、この回転テーブルの裏面側に固定配置さ
   れ、前記フィーダ先端部と対向する位置に吸引装置と接
   続した吸引開口が形成された固定テーブルと、微小物体
   の外観を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像
   されて外観検査された微小物体を良品又は不良品に分別
   するために、回転テーブルの回転方向の下流側外周位置
   に設けられた良品収納部及び不良品収納部とを備え、前
   記フィーダの搬送経路に微小物体の搬送姿勢を整列させ
   る溝を形成し、また、前記回転テーブルの前記ポケット
   を、回転中心に向けて谷面を形成したＶ字状とすると共
   に、該ポケットのＶ字状の両谷面に、適宜吸気と排気が
   弁によって切り替えられ、吸排気装置に接続した吸排気
   口が設けられ、さらに、前記撮像手段を、前記回転テー
   ブルに至るまでに微小物体の上面と一方側面が撮像さ
   れ、前記回転テーブルでの回転中に微小物体の下面、他
   方側面、前面、及び後面が撮像されるように配置したこ
   とを特徴とする微小物体検査装置。
2. 【請求項２】 回転テーブルの側周外側にガイドプレー
   トを設け、このガイドプレートから該回転テーブルのポ
   ケットにおけるＶ字状の谷面と平行に出退する案内板を
   有したことを特徴とする請求項１記載の微小物体検査装
   置。
3. 【請求項３】 固定テーブルに設けたガイドノズルを介
   してフィーダの先端部と回転テーブルとを接触させたこ
   とを特徴とする請求項１又は２記載の微小物体検査装
   置。
4. 【請求項４】 フィーダの先端と回転テーブル及び固定
   テーブルとの間に搬送コンベアを設けたことを特徴とす
   る請求項１又は２記載の微小物体検査装置。