JP2003341832A

JP2003341832A - チップ分離搬送装置

Info

Publication number: JP2003341832A
Application number: JP2002147213A
Authority: JP
Inventors: Yasuhito Kumai; 康仁熊井
Original assignee: Far East Engineering Co Ltd
Current assignee: Far East Engineering Co Ltd
Priority date: 2002-05-22
Filing date: 2002-05-22
Publication date: 2003-12-03

Abstract

(57)【要約】【課題】保持部におけるチップ保持に関する不具合を解
消し、第１回転テーブル及び第２回転テーブルを一時的
に停止させなくても確実に移乗させることができるよう
にし、チップを２面で保持することでチップ外観の観察
や検査が色々な角度から行うことができるようにし、良
チップ及び不良チップの分離精度、検査精度を向上さ
せ、低コスト化及び搬送の高速化を図ることを目的とす
る。【解決手段】長さが異なりかつ挾角が直角となる２辺に
よって各々の保持部１１ａ，１２ａを形成した第１回転
テーブル１１と、該第１回転テーブルと同様の保持部１
２ａを有し該第１回転テーブル１１と同一平面内でかつ
逆方向に回転するように構成された第２回転テーブル１
２とを備え、第１回転テーブル１１によるチップ３の搬
送中に該チップが保持部１１ａから飛び、保持部１２ａ
に直接移乗するようにした構成を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ分離搬送装
置に係り、特に第１回転テーブル及び第２回転テーブル
の保持部におけるチップの踊りにより該チップの検査結
果が変化してしまうことを防止でき、第１回転テーブル
及び第２回転テーブルを一時的に停止させなくても第１
回転テーブルから第２回転テーブルへチップを飛ばすこ
とで確実に移乗させることができ、チップを２面で保持
することでチップ外観の観察や検査を色々な角度から行
うことができ、良チップ及び不良チップの分離精度、検
査精度の向上が可能で高速かつ低コストなチップ分離搬
送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】チップ部品の品質を保証する手段とし
て、その表面に傷を有して電子部品としての機能が損な
われている瑕疵のあるものや、電極が欠けたもの等をそ
の外観から検査し、不良品を良品と分別することが行わ
れている。この外観検査装置は、従来一般的には小型形
状の電子部品の外観をその６面( 上面、下面、右側面、
左側面、前端面、後端面) に沿って検査する方式、又は
主な４面( 上面、下面、右側面左側面) を検査する方式
で行われ、例えばカメラの前に導かれた電子部品をハン
ドリング機構にて把持し、或いは真空チャックにて吸引
保持してその姿勢を縦横に変換しながら、各姿勢におい
て電子部品の各面を順次撮像するようにしている。

【０００３】しかしながら「０６０３」と称される微小
電子部品にあっては、ハンドリング機構や真空チャック
にて把持することが困難になっている。かかる問題点の
解決として特願平１１−６９６６４において、１８０°
反転機構又は９０°反転機構を有する搬送機構からなる
外観検査装置が考案されているが、電子部品を反転機構
内で詰まることなく搬送反転するには、反転機構内にか
かる電子部品の全長の２０倍乃至数十倍という非常に長
くかつ緩やかな円弧形状に形成された通路が必要であ
り、その移動時間自体が装置速度の向上の妨げになって
いた。具体的には、空力を利用した９０°反転機構を有
する搬送機構の場合、例えば「１６０８」サイズの電子
部品では９０°反転機構部に３５乃至５０ｍｍの長さの
通路を必要とし、かかる距離の移動時間に１０乃至１５
ｍｓ費やしているのが現状である。

【０００４】電子部品の断面形状が長方形であると、断
面形状が正方形である電子部品よりさらに緩やかな円弧
形状の通路を具備する反転機構を配置せねばならず、ひ
いては更に長い移動距離を有する反転機構を装置に配設
していた。

【０００５】また電子部品の造込み品質向上に伴い、従
来丸みを帯びていた電子部品の稜線形状が鋭利なエッジ
に形状変化しており、従来の真空チャックにおける矩形
の凹形状からなる保持部では、電子部品が踊ってしま
い、チャック時における各種の検査時に測定値がばらつ
いたり、検査が行いにくくなる等の問題があり、また通
常の電子部品が反転機構部でスムーズな反転が出来ずに
詰まるトラブルが増えている。

【０００６】この他反転機構部直後に、電子部品搬送の
バッファ機構を配置していたため、装置が複雑かつ高価
になると共に、多部品の機構部品が増加するため、電子
部品が詰まるトラブル発生確率も増加していた。

【０００７】そして従来の装置では、電子部品を保持し
ながら間欠回転する回転テーブルの停止時でなければ、
保持していた電子部品を反転機構部に移乗させることが
できなかったため、これが従来の装置による生産性の向
上の限界であると考えられていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、各々の保持部が回転方向側の第１
辺と該第１辺より長い第２辺とからなり該第１辺と該第
２辺との挾角が直角に形成された第１回転テーブルと、
該第１回転テーブルと同様の保持部を有し該第１回転テ
ーブルと同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成
された第２回転テーブルとを備え、第１回転テーブルに
よるチップの搬送中に該チップが該第１回転テーブルの
保持部から離れ、第２回転テーブルの保持部に直接移乗
するように構成することによって、第１回転テーブル及
び第２回転テーブルが停止していなくても、チップの移
乗ができるようにして、第１回転テーブルから第２回転
テーブルへのチップの移乗速度の向上を図ると共に、チ
ップが保持部の２面に密着して確実に保持されるように
して、移乗精度の向上を図ることであり、チップの外観
の観察を種々の方向から行うことを可能にする等、各種
の検査を容易かつ正確に行うことができるようにして、
生産性の高いチップ分離搬送装置を提供することであ
る。

【０００９】また他の目的は、上記構成において、第１
回転テーブルによるチップの搬送中に保持部の状態が、
吸着力のある真空状態、真空引きが止められて未だ吸着
力が残っている残真空状態、大気圧に開放され吸着力が
なくなった非吸着状態と変化して、第１回転テーブルの
遠心力若しくはチップの慣性力又はこれらの相乗作用に
よりチップが該第１回転テーブルの保持部から離れて空
を飛び、真空引き状態の第２回転テーブルの保持部に直
接吸着されて移乗するように構成することによって、圧
縮空気を用いてチップを押し出さなくてもチップを第１
回転テーブルから第２回転テーブルへ飛ばすことができ
るようにすることであり、またこれによって第１回転テ
ーブル及び第２回転テーブルの停止時でなくても、チッ
プの移乗ができるようにすることである。

【００１０】更に他の目的は、第１回転テーブルよりも
第２回転テーブルにおける真空吸引力を強め、該真空吸
引力の差をも用いてチップを移乗させることによって、
チップが第１回転テーブルから第２回転テーブルへ、落
下することなく、より確実に移乗するようにして、歩留
まりの向上を図ることである。

【００１１】また他の目的は、上記構成において、第２
回転テーブルによる搬送によってチップが収納手段への
収納位置に到達する前に保持部の状態が吸着力のある真
空状態から真空引きが止められて未だ吸着力が残ってい
る残真空状態に変化し、収納位置まで搬送されたときに
チップを保持部から取り外し易くなるように構成するこ
とによって、第２回転テーブルを停止させることなく、
搬送中に上方から圧縮空気を吹きかける等するだけで、
チップが保持部から落ち、収納手段に収納されるように
することである。

【００１２】更に他の目的は、上記構成に加えて、第１
回転テーブルから第２回転テーブルへのチップの移乗確
認用の移乗センサを配設することによって、ある保持部
においてチップ移乗が適切になされなかった場合に、そ
れを検知して各種検査時等における装置の誤作動を防止
することである。

【００１３】また他の目的は、上記構成に加えて、第２
回転テーブルに保持されたチップが収納位置に来たこと
を到着センサにより検知するように構成することによっ
て、第２回転テーブルの保持部に吸着搬送されて来るチ
ップを、第２回転テーブルが回転中であっても、一時停
止させることなく収納位置において収納手段に収納でき
るようにすることであり、またこれによって検査により
判別された良チップと不良チップとを各々の収納位置
で、短時間に各々の収納手段、例えば収納箱やテープに
分離選別して収納できるようにすることである。

【００１４】更に他の目的は、上記構成において、第１
回転テーブル及び第２回転テーブルの保持部における短
辺である第１辺を半径方向に対して略２５°傾斜させて
形成することによって、遠心力等の作用によってチップ
が第１回転テーブルの保持部から確実に飛び、かつ第２
回転テーブルの保持部により確実に受け止められて保持
されるようにすることである。

【００１５】また他の目的は、円周部にチップ支持用の
保持部が等間隔に形成され下面から各々の保持部まで通
じた吸気路が形成された回転テーブルと、該回転テーブ
ルが上端の円盤部に取り付けられ各々の吸気路の位置に
対応して該吸気路と通じるように円盤部の外周面から上
面まで通じる空気穴が円周方向に配列して形成された回
転軸と、該回転軸を回転させるモータと、外部から空気
を吸引するための空気口が形成され空気穴に通じると共
に円盤部の吸気路と通じ保持部において真空引き状態を
作ることが可能な捕空部と空気穴を閉じ保持部において
吸着力が残った残真空状態を作ることが可能な遮断部と
空気穴を大気圧に開放して保持部における吸着を解除可
能な開放部とが円周方向の所定の範囲に夫々形成された
エアジョイント板とを備えることによって、チップの搬
送状態を目視によっても観察可能なオープン形にすると
共に、保持部によるチップの保持、搬送及び脱却を、回
転テーブルの回転時でも行うことができる効率的なチッ
プ搬送装置を提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】要するに本発明チップ分
離搬送装置（請求項１）は、回転する円板からなる回転
テーブルの円周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形
成され、フィーダで１列搬送されて来る前記チップを真
空吸引により１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チッ
プ搬送の過程中に前記チップの各種の接触測定検査及び
非接触測定検査、不良チップの脱却又は良品チップの収
納手段への収納を行うように構成されたチップ分離搬送
装置において、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺
と該第１辺より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２
辺との挾角が直角に形成された第１回転テーブルと、該
第１回転テーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転
テーブルと同一平面内でかつ逆方向に回転するように構
成された第２回転テーブルとを備え、前記第１回転テー
ブルによる前記チップの搬送中に該チップが該第１回転
テーブルの前記保持部から離れ、前記第２回転テーブル
の前記保持部に直接移乗するように構成したことを特徴
とするものである。

【００１７】また本発明チップ分離搬送装置（請求項
２）は、回転する円板からなる回転テーブルの円周部に
チップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィーダで
１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により１個ず
つ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程中に前
記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検査、不
良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収納を行
うように構成されたチップ分離搬送装置において、各々
の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺より長い
第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角が直角に
形成された第１回転テーブルと、該第１回転テーブルと
同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと同一平面
内でかつ逆方向に回転するように構成された第２回転テ
ーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる前記チッ
プの搬送中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状
態、真空引きが止められて未だ吸着力が残っている残真
空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状
態と変化して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは
前記チップの慣性力又はこれらの相乗作用により前記チ
ップが該第１回転テーブルの前記保持部から離れて空を
飛び、真空引き状態の前記第２回転テーブルの前記保持
部に直接吸着されて移乗するように構成したことを特徴
とするものである。

【００１８】また本発明チップ分離搬送装置（請求項
３）は、回転する円板からなる回転テーブルの円周部に
チップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィーダで
１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により１個ず
つ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程中に前
記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検査、不
良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収納を行
うように構成されたチップ分離搬送装置において、各々
の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺より長い
第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角が直角に
形成された第１回転テーブルと、該第１回転テーブルと
同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと同一平面
内でかつ逆方向に回転するように構成され前記第１回転
テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テーブルと
を備え、前記第１回転テーブルによる前記チップの搬送
中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状態、真空
引きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態、
大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状態と変化
して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは前記チッ
プの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び前記第２
回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相乗作用に
より前記チップが該第１回転テーブルの前記保持部から
離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転テーブル
の前記保持部に直接吸着されて移乗するように構成した
ことを特徴とするものである。

【００１９】また本発明チップ分離搬送装置（請求項
４）は、回転する円板からなる回転テーブルの円周部に
チップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィーダで
１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により１個ず
つ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程中に前
記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検査、不
良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収納を行
うように構成されたチップ分離搬送装置において、各々
の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺より長い
第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角が直角に
形成された第１回転テーブルと、該第１回転テーブルと
同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと同一平面
内でかつ逆方向に回転するように構成され前記第１回転
テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テーブルと
を備え、前記第１回転テーブルによる前記チップの搬送
中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状態、真空
引きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態、
大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状態と変化
して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは前記チッ
プの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び前記第２
回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相乗作用に
より前記チップが該第１回転テーブルの前記保持部から
離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転テーブル
の前記保持部に直接吸着されて移乗するように構成する
と共に、該第２回転テーブルによる搬送によって前記チ
ップが前記収納手段への収納位置に到達する前に前記保
持部の状態が吸着力のある真空状態から真空引きが止め
られて未だ吸着力が残っている残真空状態がに変化前記
収納位置まで搬送されたたときに前記チップを前記保持
部から取り外し易くなるように構成したことを特徴とす
るものである。

【００２０】また本発明チップ分離搬送装置（請求項
５）は、回転する円板からなる回転テーブルの円周部に
チップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィーダで
１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により１個ず
つ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程中に前
記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検査、不
良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収納を行
うように構成されたチップ分離搬送装置において、各々
の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺より長い
第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角が直角に
形成された第１回転テーブルと、該第１回転テーブルと
同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと同一平面
内でかつ逆方向に回転するように構成され前記第１回転
テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テーブルと
を備え、前記第１回転テーブルによる前記チップの搬送
中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状態、真空
引きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態、
大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状態と変化
して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは前記チッ
プの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び前記第２
回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相乗作用に
より前記チップが該第１回転テーブルの前記保持部から
離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転テーブル
の前記保持部に直接吸着されて移乗するように構成する
と共に、該第２回転テーブルによる搬送によって前記チ
ップが前記収納手段への収納位置に到達する前に前記保
持部の状態が吸着力のある真空状態から真空引きが止め
られて未だ吸着力が残っている残真空状態に変化し前記
収納位置まで搬送されたときに前記チップを前記保持部
から取り外し易くなるように構成し、前記第１回転テー
ブルから前記第２回転テーブルへの前記チップの移乗確
認用の移乗センサを配設したことを特徴とするものであ
る。

【００２１】また本発明チップ分離搬送装置（請求項
６）は、回転する円板からなる回転テーブルの円周部に
チップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィーダで
１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により１個ず
つ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程中に前
記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検査、不
良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収納を行
うように構成されたチップ分離搬送装置において、各々
の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺より長い
第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角が直角に
形成された第１回転テーブルと、該第１回転テーブルと
同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと同一平面
内でかつ逆方向に回転するように構成され前記第１回転
テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テーブルと
を備え、前記第１回転テーブルによる前記チップの搬送
中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状態、真空
引きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態、
大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状態と変化
して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは前記チッ
プの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び前記第２
回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相乗作用に
より前記チップが該第１回転テーブルの前記保持部から
離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転テーブル
の前記保持部に直接吸着されて移乗するように構成する
と共に、該第２回転テーブルによる搬送によって前記チ
ップが前記収納手段への収納位置に到達する前に前記保
持部の状態が吸着力のある真空状態から真空引きが止め
られて未だ吸着力が残っている残真空状態に変化し前記
収納位置まで搬送されたときに前記チップを前記保持部
から取り外し易くなるように構成し、前記第１回転テー
ブルから前記第２回転テーブルへの前記チップの移乗を
移乗センサにより検知し、前記第２回転テーブルに保持
された前記チップが前記収納位置に来たことを到着セン
サにより検知するように構成したことを特徴とするもの
である。

【００２２】また本発明チップ分離搬送装置（請求項
７）は、上記構成において、第１回転テーブル及び第２
回転テーブルの保持部における短辺である第１辺を半径
方向に対して略２５°傾斜させて形成したことを特徴と
するものである。

【００２３】更に本発明チップ搬送装置（請求項８）
は、円周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され
下面から各々の保持部まで通じた吸気路が形成された回
転テーブルと、該回転テーブルが上端の円盤部に取り付
けられ各々の前記吸気路の位置に対応して該吸気路と通
じるように前記円盤部の外周面から上面まで通じる空気
穴が円周方向に配列して形成された回転軸と、該回転軸
を回転させるモータと、外部から空気を吸引するための
空気口が形成され前記空気穴に通じると共に前記回転テ
ーブルの前記吸気路と通じ前記保持部において真空引き
状態を作ることが可能な捕空部と前記空気穴を閉じ前記
保持部において吸着力が残った残真空状態を作ることが
可能な遮断部と前記空気穴を大気圧に開放して前記保持
部における吸着を解除可能な開放部とが円周方向の所定
の範囲に夫々形成されたエアジョイント板とを備えたこ
とを特徴とするものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示す実施例に
基いて説明する。本発明に係るチップ分離搬送装置１
は、図１において、第１回転テーブル１１と、第２回転
テーブル１２とを備えており、フィーダ２で１列搬送さ
れて来るチップ３を真空吸引により１個ずつ保持部１１
ａ，１２ａに移乗搬送し、該チップ搬送の過程中にチッ
プ３の各種の接触測定検査及び非接触測定検査、不良チ
ップ（図示せず）の脱却又は良品チップ３Ａの収納手段
の一例たる収納箱４への収納を行うように構成されてい
る。

【００２５】第１回転テーブル１１は、図１から図３に
示すように、円周部に等間隔に形成された各々の保持部
１１ａが回転方向側の第１辺１１ｂと該第１辺より長い
第２辺１１ｃとからなり、該第１辺１１ｂと該第２辺１
１ｃとの挾角が直角に形成されたものであって、下面１
１ｄから各々の保持部１１ａまで通じた吸気路１１ｅが
形成されている。

【００２６】短辺である第１辺１１ｂは、第１回転テー
ブル１１の半径方向に対して、略２５°傾斜して形成さ
れている。なお、この角度は一般公差（例えば±１°）
はもちろんのこと、チップ３を第１回転テーブル１１か
ら飛ばして第２回転テーブル１２に移乗させるために適
した角度を含むものであり、その範囲は例えば±５°程
度である。

【００２７】吸気路１１ｅは、図２から図５に示すよう
に、例えば第１回転テーブル１１の中央付近で下面１１
ｄに通じ各保持部１１ａまで放射状に形成された溝１１
ｆに、カバー１３を被せてねじ１４で固定することによ
って形成されている。また吸気路１１ｅは、各保持部１
１ａにおいて、第１辺１１ｂ及び第２辺１１ｃが交わる
点に対して通じており、第１辺１１ｂ及び第２辺１１ｃ
に対して均等に真空吸引力を作用させることができるよ
うになっている。

【００２８】第２回転テーブル１２は、図１において、
第１回転テーブル１１と同様の保持部１２ａを有し、該
第１回転テーブル１１と同期して同一平面内でかつ逆方
向に回転するように構成され、第１回転テーブル１１よ
りも真空吸引力を強めたものであって、長さの異なる第
１辺１２ｂ及び第２辺１２ｃ及び吸気路１２ｅが形成さ
れている。第２回転テーブル１２の回転方向は、第１回
転テーブル１１の逆方向であるため、長さの長い第２辺
１２ｃが回転方向側となっている。

【００２９】第１回転テーブル１１及び第２回転テーブ
ル１２は、チップ３を保持した状態でも互いに干渉せ
ず、かつチップ３を飛ばして移乗させることができる程
度に近接して配設されている。

【００３０】第１回転テーブル１１及び第２回転テーブ
ル１２は、チップ搬送装置５の一部であり、該チップ搬
送装置５，６によって、例えば夫々間欠回転するように
構成されている。このうち第１回転テーブル１１が取り
付けられているチップ搬送装置５について説明すると、
図１、図４及び図５に示すように、チップ搬送装置５
は、第１回転テーブル１１を回転軸１５に取り付け、該
回転軸１５をモータ１６により駆動し、エアジョイント
板１８により保持部１１ａにおける真空吸引力を切り換
えるように構成されている。

【００３１】回転軸１５は、第１回転テーブル１１が上
端の円盤部１５ａに取り付けられ、各々の吸気路１１ｅ
の位置に対応して該吸気路１１ｅと通じるように円盤部
１５ａの外周面１５ｂから上面１５ｃまで通じる空気穴
１５ｄが円周方向に配列して形成されたものであって、
軸受箱１９に、例えば上下２個の軸受２０を介して回動
自在に軸支されている。２個の軸受２０の間には、スペ
ーサ２１が取り付けられ、下側の軸受２０は、ワッシャ
２２を介してナット２３により固定されている。回転軸
１５の上側には、ねじ３６によって第１回転テーブル１
１及びカバー１３が取り付けられている。

【００３２】モータ１６は、ねじ２４によりモータ箱２
５に取り付けられ、モータ軸１６ａはカップリング２６
を介して回転軸１５と同軸上に連結されている。モータ
箱２５は、軸受箱１９に対してねじ２８により固定され
ている。

【００３３】エアジョイント板１８は、図４から図７に
示すように、外部から空気を吸引するための空気口１８
ａが形成され、空気穴１５ｄに通じると共に第１回転テ
ーブル１１の吸気路１１ｅと通じ、保持部１１ａにおい
て真空引き状態を作ることが可能な捕空部１８ｂと、空
気穴１５ｄを閉じ保持部１１ａにおいて吸着力が残った
残真空状態を作ることが可能な遮断部１８ｃ，１８ｄ
と、空気穴１５ｄを大気圧に開放して保持部１１ａにお
ける吸着を解除可能な開放部１８ｅとが円周方向の所定
の範囲に夫々形成されたものであり、ねじ２８によって
軸受箱１９に取り付けられている。

【００３４】エアジョイント板１８の内では、回転軸１
５の円盤部１５ａが回転するようになっており、捕空部
１８ｂにおいては、円盤部１５ａの外周面１５ｂとの間
には、空気穴１５ｄを通じて真空吸引ができるように十
分な隙間が形成されているが、遮断部１８ｃ，１８ｄに
おいては回転クリアランスとして、例えば０．００５乃
至０．０１ｍｍ程度の極くわずかな隙間があるのみであ
り、遮断部１８ｃ，１８ｄに位置している空気穴１５ｄ
に対応する保持部１１ａには、真空吸引の効果が及ぶこ
とはなく、一方残真空状態は維持されるようになってい
る。

【００３５】遮断部１８ｃは、図６に示すように、捕空
部１８ｂと開放部１８ｅとの間に位置し、その範囲は、
円盤部１５ａにおける空気穴１５ｄの配列角度よりも狭
く形成され、最大でも１箇所の空気穴１５ｄのみが該遮
断部１８ｃにより遮断されるようになっている。遮断部
１８ｄは、開放部１８ｅと捕空部１８ｂとの間に位置
し、遮断する空気穴１５ｄの数は１箇所に限られない。

【００３６】開放部１８ｄは、外部へ連通し、円盤部１
５ａにおける１つの空気穴１５ｄのみが通じる程度の範
囲に形成されている。なお、開放部１８ｄにおいては、
大気圧に開放するだけでなく、真空引き等を行うように
してもよい。

【００３７】捕空部１８ｂの空気口１８ａには、継手９
を介してホース１０が接続されている。ホース１０は、
図示しない真空ポンプ等に接続されている。

【００３８】エアジョイント板１８の上側には、遮断板
２９がねじ３０により取り付けられ、捕空部１８ｂにお
ける真空引きの際に空気が上方から入り込むことがない
ように構成されている。

【００３９】フィーダ２は、第１回転テーブル１１に対
してチップ３を１列に直進搬送し、空気口２ａから矢印
Ａ方向に真空吸引すると共に、空気口２ｂから矢印Ｂ方
向に圧縮空気を吹き込んで先頭から２番目以降のチップ
３を後退させ、先頭のチップ３のみを第１回転テーブル
１１の保持部１１ａに吸着移乗させ、この際例えば３つ
のセンサ３８によってチップ３の長短による良チップ３
Ａと不良チップとの判別ができるように構成されてい
る。

【００４０】このほか、第１回転テーブル１１から第２
回転テーブル１２へのチップ３の移乗を移乗センサ６に
より検知し、第２回転テーブル１２に保持されたチップ
３が収納位置、例えば収納箱４の位置まで来たことを到
着センサ８により検知するように構成されている。収納
箱４は、例えば良チップ３Ａを収納するためのものであ
るが、異なる位置に不良チップを収納するための収納箱
（図示せず）を取り付けてもよい。また到着センサ８の
位置や、その他チップ３を保持部１２ａから取外しす位
置に、該チップ３を取り外すための圧縮空気吹出し口
（図示せず）を設けてもよい。

【００４１】またチップの外観検査用に、例えば第１カ
メラ３１、第２カメラ３２、第３カメラ３３、第４カメ
ラ３４及び第５カメラ３５が取り付けられている。なお
カメラの数はこれに限定されるものではない。

【００４２】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。図１において、チップ
搬送装置５によって第１回転テーブル１１は矢印Ｃ方向
に、自動機としてはかなり高速で間欠回転し、第２回転
テーブル１２はその逆方向である矢印Ｄ方向に、同様に
自動機としてはかなり高速で間欠回転する。

【００４３】各回転テーブルにおける真空吸引について
は、図７から図１０に示すように、図示しない真空ポン
プによってホース１０及び継手９を通じて、矢印Ｅ方向
に真空引きが行われると、捕空部１８ｂに位置している
回転軸１５の空気穴１５ｄから矢印Ｆ方向に夫々空気が
吸引され、該空気穴１５ｄと通じている第１回転テーブ
ル１１の吸気路１１ｅから矢印Ｉ方向に真空吸引が行わ
れ、保持部１１ａにおいて、第１辺１１ｂ及び第２辺１
１ｃに均等に吸着力が発生する。第２回転テーブル１２
においても同様であるが、第１回転テーブル１１よりも
真空吸引力が大きい。

【００４４】開放部１８ｅでは、空気穴１５ｄが大気圧
に開放されるので、矢印Ｇ方向に空気が空気穴１５ｄに
流入し、保持部１１ａにおける吸着が解除される。また
遮断部１１ｃでは、真空吸引力は作用しないが、保持部
１１ａにおける吸着力が残っている残真空状態となる。
遮断部１１ｄでは、既に開放部１１ｅを通過しているの
で、吸着力は残っていない。

【００４５】チップ３は、フィーダ２によって矢印Ｌ方
向に１列に直進搬送され、先頭のチップ３のみが第１回
転テーブル１１の保持部１１ａに吸着され、フィーダ２
から移乗する。このとき保持部１１ａは、エアジョイン
ト板１８における捕空部１８ｂに位置しており、真空吸
引力が作用している。

【００４６】また空気口２ａから矢印Ａ方向に真空吸引
力が作用するので、先頭のチップ３のみが加速し、フィ
ーダ２上のチップ３の進行速度よりも移動速度が速くな
るので、先頭のチップ３のみが分離して保持部１１ａに
吸着される。また先頭から２番目以降のチップ３に空気
口２ｂから矢印Ｂ方向に圧縮空気を吹きかけて後退させ
ることも同時に行われる。

【００４７】また先頭のチップ３を３つのセンサ３８に
よって検知し、チップ３の長短による良チップ３Ａと不
良チップとの判別を行うと共に、該チップ３の検知に連
動して第１回転テーブル１１及び第２回転テーブル１２
が間欠回転する。間欠回転は、例えば７．２°ずつのス
テップ回転である。

【００４８】保持部１１ａに吸着されたチップ３は第１
回転テーブル１２の間欠回転に伴って搬送されて行き、
例えば第１カメラ３１によって矢印Ｈ方向に外観観察を
行って、「良」、「不良」の判定が行われる。

【００４９】保持部１１ａに保持されたチップ３は、第
２回転テーブル１２への移乗位置に接近し、該保持部１
１ａに連通している円盤部１５ａの空気穴１５ｄは、遮
断部１８ｃに到達して真空吸引が止められ、残真空状態
となる。次に該空気穴１５ｄは開放部１８ｅに到達し、
チップ３の吸着力がなくなるが、このとき保持部１１ａ
は第２回転テーブル１２の保持部１２ａに接近してお
り、またチップ３には遠心力及び間欠回転に伴う慣性力
が作用している。更に第２回転テーブル１２の保持部１
２ａは、エアジョイント板１８の捕空部１８ｂに位置し
ており、真空吸引力が作用している。しかもこの真空吸
引力は第１回転テーブル１１よりも大きく設定されてい
る。

【００５０】つまり、チップ３の遠心力、慣性力及び真
空吸引力の差の相乗効果によって、チップ３は第１回転
テーブルから第２回転テーブルへと、矢印Ｊ方向に空を
飛び、該第２回転テーブル１２の保持部１２ａにタイミ
ングよく吸着保持される。保持部１２ａにチップ３が移
乗したことは、移乗センサ６によって検知される。

【００５１】チップ３は、第２回転テーブル１２により
搬送されるうちに、第２カメラ３２による矢印Ｋ方向の
検査、第３カメラ３３による矢印Ｍ方向の検査、第４カ
メラ３４による矢印Ｎ方向の検査及び第５カメラ３５に
よる矢印Ｐ方向の検査が順次行われ、夫々チップ３の
「良」、「不良」が判定される。なお、チップ３の検査
は外観検査に限られず、電気的特性の検査等でもよい。

【００５２】検査行程を通過すると、空気穴１５ｄは遮
断部１５ｃに到達し、残真空状態となる。この状態にお
いては吸着力が弱いので、例えば上方から圧縮空気を吹
きかける等により保持部１２ａからチップ３を取り外す
ことができ、不良チップをまず回収して、収納位置に取
り付けられている到着センサ８のところまで搬送されて
来た良チップ３Ａのみを収納箱４に収納する。

【００５３】このときのチップ３Ａの吸着状態は残真空
状態でもよいし、また図８に示すように、収納位置を開
放部１８ｅと一致させてチップ３Ａが自重により保持部
１２ａから例えば矢印Ｑ方向に外れ、収納箱４内に落ち
るようにしてもよい。残真空状態の場合には、上から圧
縮空気を吹きかける等のことをすればよい。収納手段
は、収納箱４に限らず、テープ（図示せず）であっても
よい。

【００５４】なお、上記構成においては、第１回転テー
ブル１１及び第２回転テーブル１２を同一水平面内に配
設するようにしたが、これに限定されるものではなく、
第１回転テーブル１１及び第２回転テーブル１２を同一
傾斜平面に配設しても、同様に搬送及び検査を行うこと
が可能である。

【００５５】また図２においては、保持部１１ａにチッ
プ３が収まるように図示されているが、これに限定され
るものではなく、保持部１１ａからチップ３が大きくは
み出していてもよい。第１辺１１ｂ，１２ｂと第２辺１
１ｃ，１２ｃとの挾角は直角であるものとしたが、これ
に限定されるものではなく、保持部１１ａ，１２ａがチ
ップ３の２辺を吸着保持でき、かつ第１回転テーブル１
１から第２回転テーブル１２へチップ３を飛ばして移乗
させることができる形状であればよい。

【００５６】第１回転テーブル１１から第２回転テーブ
ル１２への移乗搬送において、高速性が要求されない場
合には、第１回転テーブル１１及び第２回転テーブル１
２を停止させた状態で、電磁弁（図示せず）の切換えに
より保持部１１ａ，１２ａに加圧又は真空引きを行って
真空圧差を生じさせ、第１回転テーブル１１から第２回
転テーブル１２へチップ３を移乗させるようにしてもよ
い。

【００５７】また第１回転テーブル１１のみで検査及び
分別収納を行うことができるならば、第２回転テーブル
１２を使用する必要はない。第１回転テーブル１１及び
第２回転テーブル１２のみで足りない場合には、更に多
くの回転テーブルを増設し、順次移乗搬送しながら、所
望の検査を行うようにすればよい。

【００５８】

【発明の効果】本発明は、上記のように各々の保持部が
回転方向側の第１辺と該第１辺より長い第２辺とからな
り該第１辺と該第２辺との挾角が直角に形成された第１
回転テーブルと、該第１回転テーブルと同様の保持部を
有し該第１回転テーブルと同一平面内でかつ逆方向に回
転するように構成された第２回転テーブルとを備え、第
１回転テーブルによるチップの搬送中に該チップが該第
１回転テーブルの保持部から離れ、第２回転テーブルの
保持部に直接移乗するように構成したので、第１回転テ
ーブル及び第２回転テーブルが停止していなくても、チ
ップの移乗ができ、第１回転テーブルから第２回転テー
ブルへのチップの移乗速度の向上を図ることができる効
果があると共に、チップが保持部の２面に密着して確実
に保持される効果があり、移乗精度の向上を図ることが
可能であり、チップの外観の観察を種々の方向から行う
ことを可能にし得る等、各種の検査を容易かつ正確に行
うことができるようになり、生産性の高いチップ分離搬
送装置を提供することができる効果がある。

【００５９】また上記構成において、第１回転テーブル
によるチップの搬送中に保持部の状態が、吸着力のある
真空状態、真空引きが止められて未だ吸着力が残ってい
る残真空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった非
吸着状態と変化して、第１回転テーブルの遠心力若しく
はチップの慣性力又はこれらの相乗作用によりチップが
該第１回転テーブルの保持部から離れて空を飛び、真空
引き状態の第２回転テーブルの保持部に直接吸着されて
移乗するように構成したので、圧縮空気を用いてチップ
を押し出さなくてもチップを第１回転テーブルから第２
回転テーブルへ飛ばすことができるという効果があり、
またこの結果第１回転テーブル及び第２回転テーブルの
停止時でなくても、チップの移乗ができるという効果が
得られる。

【００６０】更には、第１回転テーブルよりも第２回転
テーブルにおける真空吸引力を強め、該真空吸引力の差
をも用いてチップを移乗させるようにしたので、チップ
が第１回転テーブルから第２回転テーブルへ、落下する
ことなく、より確実に移乗するようになるため、歩留ま
りの向上を図ることができる効果がある。

【００６１】また上記構成において、第２回転テーブル
による搬送によってチップが収納手段への収納位置に到
達する前に保持部の状態が吸着力のある真空状態から真
空引きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態
に変化し、収納位置まで搬送されたときにチップを保持
部から取り外し易くなるように構成したので、第２回転
テーブルを停止させることなく、搬送中に上方から圧縮
空気を吹きかける等のことをするだけで、チップが保持
部から落ち、収納手段に収納されるようにすることがで
きる効果がある。

【００６２】更には、上記構成に加えて、第１回転テー
ブルから第２回転テーブルへのチップの移乗確認用の移
乗センサを配設したので、ある保持部においてチップ移
乗が適切になされなかった場合に、それを検知して各種
検査時等における装置の誤作動を防止することができる
効果がある。

【００６３】また上記構成に加えて、第２回転テーブル
に保持されたチップが収納位置に来たことを到着センサ
により検知するように構成したので、第２回転テーブル
の保持部に吸着搬送されて来るチップを、第２回転テー
ブルが回転中であっても、一時停止させることなく収納
位置において収納手段に収納できる効果があり、またこ
の結果検査により判別された良チップと不良チップとを
各々の収納位置で、短時間に各々の収納手段、例えば収
納箱やテープに分離選別して収納できるという効果が得
られる。

【００６４】更には、上記構成において、第１回転テー
ブル及び第２回転テーブルの保持部における短辺である
第１辺を半径方向に対して略２５°傾斜させて形成した
ので、遠心力等の作用によってチップが第１回転テーブ
ルの保持部から確実に飛び、かつ第２回転テーブルの保
持部により確実に受け止められて保持される効果があ
る。

【００６５】また円周部にチップ支持用の保持部が等間
隔に形成され下面から各々の保持部まで通じた吸気路が
形成された回転テーブルと、該回転テーブルが上端の円
盤部に取り付けられ各々の吸気路の位置に対応して該吸
気路と通じるように円盤部の外周面から上面まで通じる
空気穴が円周方向に配列して形成された回転軸と、該回
転軸を回転させるモータと、外部から空気を吸引するた
めの空気口が形成され空気穴に通じると共に円盤部の吸
気路と通じ保持部において真空引き状態を作ることが可
能な捕空部と空気穴を閉じ保持部において吸着力が残っ
た残真空状態を作ることが可能な遮断部と空気穴を大気
圧に開放して保持部における吸着を解除可能な開放部と
が円周方向の所定の範囲に夫々形成されたエアジョイン
ト板とを備えたので、チップの搬送状態を目視によって
も観察可能なオープン形にできると共に、保持部による
チップの保持、搬送及び脱却を、回転テーブルの回転時
でも行うことができる効率的なチップ搬送装置を提供す
ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】チップ分離搬送装置の使用状態を示す斜視図で
ある。

【図２】第１回転テーブルの使用状態を示す平面図であ
る。

【図３】第１回転テーブルの部分破断側面図である。

【図４】チップ搬送装置の縦断面図である。

【図５】チップ搬送装置の分解斜視図である。

【図６】回転軸の円盤部及びエアジョイント板を下側か
ら見た横断面図である。

【図７】回転軸が回転し、捕空部に位置している空気穴
から真空引きが行われている状態を示し、回転軸の円盤
部及びエアジョイント板を下側から見た横断面図であ
る。

【図８】チップがフィーダから第１回転テーブルに移乗
して搬送され、更に第２回転テーブルに移乗して搬送さ
れ、収納位置で保持部から外される状態を示し、第１回
転テーブル及び第２回転テーブルの使用状態を示す平面
図である。

【図９】第１回転テーブルへのチップの移乗を示し、回
転テーブルの使用状態を示す部分拡大平面図である。

【図１０】第１回転テーブルから第２回転テーブルへの
チップの移乗を示し、第１回転テーブル及び第２回転テ
ーブルの使用状態を示す部分拡大平面図である。

【符号の説明】

１チップ分離搬送装置２フィーダ３チップ３Ａ良チップ４収納手段の一例たる収納箱５チップ搬送装置６移乗センサ８到着センサ１１第１回転テーブル１１ａ保持部１１ｂ第１辺１１ｃ第２辺１１ｄ下面１１ｅ吸気路１２第２回転テーブル１２ａ保持部１２ｂ第１辺１２ｃ第２辺１２ｅ吸気路１５回転軸１５ａ円盤部１５ｂ外周面１５ｃ上面１５ｄ空気穴１６モータ１８エアジョイント板１８ａ空気口１８ｂ捕空部１８ｃ遮断部１８ｄ遮断部１８ｅ開放部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転する円板からなる回転テーブルの円
周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィ
ーダで１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により
１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程
中に前記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検
査、不良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収
納を行うように構成されたチップ分離搬送装置におい
て、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺
より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角
が直角に形成された第１回転テーブルと、該第１回転テ
ーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと
同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成された第
２回転テーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる
前記チップの搬送中に該チップが該第１回転テーブルの
前記保持部から離れ、前記第２回転テーブルの前記保持
部に直接移乗するように構成したことを特徴とするチッ
プ分離搬送装置。
【請求項２】回転する円板からなる回転テーブルの円
周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィ
ーダで１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により
１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程
中に前記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検
査、不良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収
納を行うように構成されたチップ分離搬送装置におい
て、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺
より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角
が直角に形成された第１回転テーブルと、該第１回転テ
ーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと
同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成された第
２回転テーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる
前記チップの搬送中に前記保持部の状態が、吸着力のあ
る真空状態、真空引きが止められて未だ吸着力が残って
いる残真空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった
非吸着状態と変化して、前記第１回転テーブルの遠心力
若しくは前記チップの慣性力又はこれらの相乗作用によ
り前記チップが該第１回転テーブルの前記保持部から離
れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転テーブルの
前記保持部に直接吸着されて移乗するように構成したこ
とを特徴とするチップ分離搬送装置。
【請求項３】回転する円板からなる回転テーブルの円
周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィ
ーダで１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により
１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程
中に前記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検
査、不良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収
納を行うように構成されたチップ分離搬送装置におい
て、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺
より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角
が直角に形成された第１回転テーブルと、該第１回転テ
ーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと
同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成され前記
第１回転テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テ
ーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる前記チッ
プの搬送中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状
態、真空引きが止められて未だ吸着力が残っている残真
空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状
態と変化して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは
前記チップの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び
前記第２回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相
乗作用により前記チップが該第１回転テーブルの前記保
持部から離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転
テーブルの前記保持部に直接吸着されて移乗するように
構成したことを特徴とするチップ分離搬送装置。
【請求項４】回転する円板からなる回転テーブルの円
周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィ
ーダで１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により
１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程
中に前記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検
査、不良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収
納を行うように構成されたチップ分離搬送装置におい
て、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺
より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角
が直角に形成された第１回転テーブルと、該第１回転テ
ーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと
同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成され前記
第１回転テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テ
ーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる前記チッ
プの搬送中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状
態、真空引きが止められて未だ吸着力が残っている残真
空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状
態と変化して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは
前記チップの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び
前記第２回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相
乗作用により前記チップが該第１回転テーブルの前記保
持部から離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転
テーブルの前記保持部に直接吸着されて移乗するように
構成すると共に、該第２回転テーブルによる搬送によっ
て前記チップが前記収納手段への収納位置に到達する前
に前記保持部の状態が吸着力のある真空状態から真空引
きが止められたがまだ吸着力が残っている残真空状態に
変化し前記収納位置まで搬送されたときに前記チップを
前記保持部から取り外し易くなるように構成したことを
特徴とするチップ分離搬送装置。
【請求項５】回転する円板からなる回転テーブルの円
周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィ
ーダで１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により
１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程
中に前記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検
査、不良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収
納を行うように構成されたチップ分離搬送装置におい
て、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺
より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角
が直角に形成された第１回転テーブルと、該第１回転テ
ーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと
同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成され前記
第１回転テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テ
ーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる前記チッ
プの搬送中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状
態、真空引きが止められて未だ吸着力が残っている残真
空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状
態と変化して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは
前記チップの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び
前記第２回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相
乗作用により前記チップが該第１回転テーブルの前記保
持部から離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転
テーブルの前記保持部に直接吸着されて移乗するように
構成すると共に、該第２回転テーブルによる搬送によっ
て前記チップが前記収納手段への収納位置に到達する前
に前記保持部の状態が吸着力のある真空状態から真空引
きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態に変
化し前記収納位置まで搬送されたときに前記チップを前
記保持部から取り外し易くなるように構成し、前記第１
回転テーブルから前記第２回転テーブルへの前記チップ
の移乗確認用の移乗センサを配設したことを特徴とする
チップ分離搬送装置。
【請求項６】回転する円板からなる回転テーブルの円
周部にチップ支持用の保持部が等間隔に形成され、フィ
ーダで１列搬送されて来る前記チップを真空吸引により
１個ずつ前記保持部に移乗搬送し、該チップ搬送の過程
中に前記チップの各種の接触測定検査及び非接触測定検
査、不良チップの脱却又は良品チップの収納手段への収
納を行うように構成されたチップ分離搬送装置におい
て、各々の前記保持部が回転方向側の第１辺と該第１辺
より長い第２辺とからなり該第１辺と該第２辺との挾角
が直角に形成された第１回転テーブルと、該第１回転テ
ーブルと同様の前記保持部を有し該第１回転テーブルと
同一平面内でかつ逆方向に回転するように構成され前記
第１回転テーブルよりも真空吸引力を強めた第２回転テ
ーブルとを備え、前記第１回転テーブルによる前記チッ
プの搬送中に前記保持部の状態が、吸着力のある真空状
態、真空引きが止められて未だ吸着力が残っている残真
空状態、大気圧に開放され吸着力がなくなった非吸着状
態と変化して、前記第１回転テーブルの遠心力若しくは
前記チップの慣性力若しくは前記第１回転テーブル及び
前記第２回転テーブルの真空吸引力の差又はこれらの相
乗作用により前記チップが該第１回転テーブルの前記保
持部から離れて空を飛び、真空引き状態の前記第２回転
テーブルの前記保持部に直接吸着されて移乗するように
構成すると共に、該第２回転テーブルによる搬送によっ
て前記チップが前記収納手段への収納位置に到達する前
に前記保持部の状態が吸着力のある真空状態から真空引
きが止められて未だ吸着力が残っている残真空状態に変
化し前記収納位置まで搬送されたときに前記チップを前
記保持部から取り外し易くなるように構成し、前記第１
回転テーブルから前記第２回転テーブルへの前記チップ
の移乗を移乗センサにより検知し、前記第２回転テーブ
ルに保持された前記チップが前記収納位置に来たことを
到着センサにより検知するように構成したことを特徴と
するチップ分離搬送装置。
【請求項７】第１回転テーブル及び第２回転テーブル
の保持部における短辺である第１辺を半径方向に対して
略２５°傾斜させて形成したことを特徴とする請求項１
から請求項６に記載のチップ分離搬送装置。
【請求項８】円周部にチップ支持用の保持部が等間隔
に形成され下面から各々の保持部まで通じた吸気路が形
成された回転テーブルと、該回転テーブルが上端の円盤
部に取り付けられ各々の前記吸気路の位置に対応して該
吸気路と通じるように前記円盤部の外周面から上面まで
通じる空気穴が円周方向に配列して形成された回転軸
と、該回転軸を回転させるモータと、外部から空気を吸
引するための空気口が形成され前記空気穴に通じると共
に前記回転テーブルの前記吸気路と通じ前記保持部にお
いて真空引き状態を作ることが可能な捕空部と前記空気
穴を閉じ前記保持部において吸着力が残った残真空状態
を作ることが可能な遮断部と前記空気穴を大気圧に開放
して前記保持部における吸着を解除可能な開放部とが円
周方向の所定の範囲に夫々形成されたエアジョイント板
とを備えたことを特徴とするチップ搬送装置。