JP4887523B2 - 多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置 - Google Patents
多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4887523B2 JP4887523B2 JP2001127248A JP2001127248A JP4887523B2 JP 4887523 B2 JP4887523 B2 JP 4887523B2 JP 2001127248 A JP2001127248 A JP 2001127248A JP 2001127248 A JP2001127248 A JP 2001127248A JP 4887523 B2 JP4887523 B2 JP 4887523B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- polyhedron
- groove
- shaped
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 150
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 45
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 36
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 26
- 238000011027 product recovery Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/02—Measures preceding sorting, e.g. arranging articles in a stream orientating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/342—Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置に係り、特に、電子部品をなすチップ等の検査対象物の面精度を検査することに適した多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、検査対象物として、チップ状をなす電子部品の仕上げ面精度を検査する場合には、ルーペ等を用い、人手により各面を検査することが行われている。しかしながら、このような検査では、チップを一つずつ手に取って目視による検査となり、微細な傷や変形等の瑕疵を見落とす場合が多く、結果的に製品に不良品を混在させる原因となる。しかも、検査する人が疲労を伴って作業負担が重くなり、また、熟練度いかんによって検査精度に大きなばらつきも生じるという不都合がある。
【０００３】
そこで、例えば、実開昭５２−８３１８４号公報には、検査対象物を移動させる過程で、当該検査対象物を所定角度回転可能として自動的に検査を行うことのできる装置が提案されている。同装置は、第１のコンベヤーと第２のコンベヤーとを備え、第１のコンベヤーに載せられて移動する検査対象物を反転させて第２のコンベヤーに移載し、各コンベヤー上で検査対象物の上面側に表れる面をカメラで検査することで、表裏各面の検査が可能な構成となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置では、第１のコンベヤーと第２のコンベヤーとの間に検査対象物を反転させるための機構が必要となり、構造が複雑化するという不都合がある。また、検査対象物の反転を可能とするために、第１のコンベヤーと第２のコンベヤーとを直線的に設けることができず、コンベヤーの配置空間として上下方向に一定の空間が必要となり、これによって、装置が大型化するという不都合を招来する。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、チップ状の検査対象物の面を自動的、且つ、高精度に効率良く検出することができるとともに、装置構造を小型化することも可能な多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材を備えた多面体検査用フィーダーであって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含む、という構成を採っている。このような構成により、検査対象物を溝内に置いた状態で当該検査対象物を通路形成部材上で移動させると、例えば、螺旋の軌跡に沿うように検査対象物が回転して移動するようになり、移動初期の状態で溝内に隠れている検査面が表出するように移動させることができる。従って、検査対象物の面の傷、変形等の瑕疵を、目視によることなく所定の検査手段で自動的、且つ、高精度に効率良く検査することが可能となる。しかも、回転フィード部によって検査対象物が回転を伴いながら移動するため、通路形成部材を直線的に設けることが可能となり、小型化をも達成することが可能となる。
【０００８】
更に、本発明は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材を備えた多面体検査用フィーダーであって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含む、という構成によっても前記目的を達成することができる。
【０００９】
また、本発明は、前記溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部の上流側又は下流側に、溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を組み合わせる構成としてもよい。このような構成とすれば、単一の回転フィード部によって検査対象物を回転させることのできる角度を二倍とすることが可能となる。
【００１０】
更に、前記溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成とすることもできる。このような構成によっても、同様に検査対象物の回転角度を二倍とすることができる。
【００１１】
また、前記溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成であってもよく、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型とした回転フィード部を二つ連続して組み合わせた場合と同様の作用を得ることができる。
【００１２】
更に、本発明に係る多面体検査装置は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材と、当該通路形成部材に沿う近傍位置に配置されて前記検査対象物の各面を検査する検査手段と、前記通路形成部材の上流側に配置されて検査対象物を通路形成部材に供給する供給手段とを備えた多面体検査装置であって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成され、当該回転フィード部の上流側には前記検査対象物の離間送り部が設けられる、という構成を採っている。
また、本発明に係る多面体検査装置は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材と、当該通路形成部材に沿う近傍位置に配置されて前記検査対象物の各面を検査する検査手段と、前記通路形成部材の上流側に配置されて検査対象物を通路形成部材に供給する供給手段とを備えた多面体検査装置であって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成され、当該回転フィード部の上流側には前記検査対象物の離間送り部が設けられる、という構成を採っている。このような構成では、多面体からなる検査対象物の各面を自動的に検査することができる他、供給手段から検査対象物が密着して繋がるように連続して供給されても、離間送り部が各検査対象物間に所定の間隔を形成するようになり、一つずつ検査対象物を確実に特定して検査手段による検査が実現でき、検査ミスを未然に防止することが可能となる。
【００１３】
また、前記多面体検査装置は、前記検査手段によって良否が判定された検査対象物を良品、不良品に分別して回収する回収手段を含み、この回収手段は、検査対象物の吸引口を有する吸引装置と、前記溝内で前記検査対象物に気体を吹付けて当該検査対象物に押出力を付与する吐出装置とにより構成することが好ましい。このような構成では、検査対象物を溝から確実に押し出すことができるようになり、吸引装置による吸引力と相俟って、良品、不良品を確実に回収することができる。
【００１４】
なお、本明細書において、溝の「Ｖ字型」、「Ｕ字型」とは、文字通りの左右対称の溝形状に限定されるものではなく、非対称のものも含む概念として用いられる。また、「Ｕ字型」には、上向きに開放するコ字型も含まれる。更に、「溝の左右」とは、検査対象物が移動する上流側から下流側を見た状態を基準として用いられる。従って、以下の説明で参照する図面では、左右が反対に表れる場合があることを了解されたい。また、検査対象物は、直方体若しくは立方体等の立体が好ましい対象物となるが、その他の立体も対象とすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本発明が適用された多面体検査装置の全体概略正面図が示され、図２には、図１の要部概略平面図が示されている。これらの図において、多面体検査装置１０は、フレームＦの上部に配置された供給手段１１と、この供給手段１１から供給される検査対象物、本実施形態では、立方体形状を備えたセラミックチップコンデンサ（以下チップＷという）を移動させる多面体検査用フィーダー１２（図２参照）と、当該多面体検査用フィーダー１２の上部位置に配置された検査手段としての第１ないし第４のカメラ１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄと、検査の結果すなわち良品か不良品かに応じてチップＷを区分して回収する回収手段３０とを備えて構成されている。
【００１７】
前記供給手段１１は、フレームＦに支柱１６を介して支持されたホッパー１７と、このホッパー１７の上端部分から外部に送り出される各チップＷを多面体検査用フィーダー１２に案内する適宜な溝形状を有する整列部２０とにより構成されている。ホッパー１７の内面側は、周知のように適宜な螺旋状に形成されており、当該ホッパー１７に収容された多数個のチップＷに図示しないバイブレーターによる振動を付与することで、上方よりチップＷが順次排出可能とされている。
【００１８】
前記多面体検査用フィーダー１２は、図２及び図３に示されるように、前記整列部２０から略直線状に延びる溝状の通路形成部材２２により構成されている。この通路形成部材２２は、下流側、すなわち図１中左側が右側よりも相対的に低い位置となるよう角度調整可能に設けられ、当該通路形成部材２２は、整列部２０側に位置する供給側通路形成部材２２Ａ（図２、図３参照）と、この供給側通路形成部材２２Ａに離間送り部としてのシューター１８を介して連なるとともに、上流側検査領域を形成する上流側通路形成部材２２Ｂと、この上流側通路形成部材２２Ｂに回転フィード部２５領域を形成する上流側回転フィード部２５Ａ及び下流側回転フィード部２５Ｂと、これら上流側、下流側回転フィード部２５Ａ、２５Ｂを介して連なるとともに、下流側検査領域を形成する下流側通路形成部材２２Ｃとにより構成されている。供給側通路形成部材２２Ａ、上流側通路形成部材２２Ｂ及び下流側通路形成部材２２Ｃは、断面形状が略Ｖ字状となる溝状に設けられ、この略Ｖ字状の溝２３の底部コーナーＣにチップＷの一つのコーナーが位置する姿勢で当該チップＷを下流側に移動させることができるようになっている。
【００１９】
前記シューター１８は、図３に示されるように、供給側通路形成部材２２Ａに対して上流側通路形成部材２２Ｂの高さ位置を低くするように傾斜して連設させた断面略Ｖ字状の傾斜溝により構成されている。このシューター１８は、チップＷが供給側通路形成部材２２Ａから滑り落ちる作用を利用することで、上流側通路形成部材２２Ｂより下流側に移動する各チップＷ間に一定の間隔を形成するようになっている。
【００２０】
前記上流側及び下流側回転フィード部２５Ａ，２５Ｂは、本実施形態では同一形状のものを二つ縦列に組み合わせてなるもので、一つの回転フィード部２５Ａ又は２５ＢによってチップＷを９０°回転させることのできるものであり、これを二つ組み合わせて１８０°回転させることができるように設けられている。上流側及び下流側回転フィード部２５Ａ、２５Ｂは、図３ないし図７に示されるように、上流側から下流側に向かって溝の断面形状が略Ｖ字型の溝領域２５ａ、略Ｕ字型の溝領域２５ｂ、略Ｖ字型の溝領域２５ｃの配列順とされるとともに、これら各溝領域２５ａ〜２５ｃの左右傾斜面ＬＳ，ＲＳの傾斜角度がチップＷの移動方向に沿って変化した形状に設けられている。これを更に詳述すると、図４、図６及び図７に示されるように、上流側に位置する略Ｖ字型の溝領域２５ａの底部コーナーＣは、上流側回転フィード部２５Ａの幅方向略中央部に一定長さに亘って直線的に延び、途中から右傾斜面ＲＳ側にシフトしつつ底部コーナーＣ位置を若干上昇させるように延びる。なお、ここで、右傾斜面ＲＳ及び左傾斜面ＬＳは、コーナーＣを境として特定される説明概念であって、溝幅の中心を境として特定されるものではない。このＶ字型溝の溝領域２５ａでは、図６及び８（ａ）〜（ｅ）に示されるように、右傾斜面ＲＳは、初期の略４５°傾斜から、略９０°に近づくように変化する。この一方、左傾斜面ＬＳは、初期の４５°傾斜から僅かにチップ移動方向にずれた位置で上部が屈曲した二段の傾斜面に形成され、下段側の傾斜面が次第に傾斜角度を小さくし、これにより、前記略Ｕ字型の溝領域２５ｂに至る直前で、チップＷの一つの面、図８ではチップＷの面Ｓ３が次第に水平姿勢となるようになっている。
【００２１】
前記略Ｕ字型の溝領域２５ｂは、図８（ｆ）にも示されるように、右傾斜面ＲＳの傾斜角度が略９０°となる一方、左傾斜面ＬＳは若干傾いた状態にあり、これら傾斜面ＲＳ，ＬＳの下端間の面が略水平面ＨＳとなるＵ字型の断面形状に設けられ、この領域で、チップＷの一つの面が略水平姿勢に保たれるようになっている。
【００２２】
前記下流側のＶ字型の溝領域２５ｃ（図８（ｊ）参照）は、図４、図６及び図７に示されるように、略Ｕ字型の溝領域２５ｂの左傾斜面ＬＳの下端位置Ｐ（図４、図８（ｆ）参照）を始点として、次第にＶ字の底部コーナーＣを形成するように前記幅方向の中央部に延びる。この際、底部コーナーＣは、その高さ位置が前記始点（下端位置Ｐ）高さ位置より低位置となる方向に延びる。そして、底部コーナーＣは、途中から幅方向中央部位置にて下流側に向かって直線的に延びるように設けられている。ここで、略Ｖ字型の溝領域２５ｃまでにおける右傾斜面ＲＳは、下流端の直前位置まで屈曲した二段の傾斜面に設けられ、当該Ｖ字型の溝領域２５ｃの位置でチップＷを９０°回転した位置とするようになっている。
【００２３】
従って、前記回転フィード部２５Ａ，２５Ｂを二つ組み合わせることにより、チップＷを１８０°回転させることが可能となり、チップＷが立方体であるときに、当該チップＷの移動方向に沿う前後の端面を除く四面を全て検査することができる。
【００２４】
なお、本実施形態における回転フィード部２５は、図示構成例の他、上流側から下流側に向かって略Ｕ字型の溝領域、略Ｖ字型の溝領域、略Ｕ字型の溝領域が連なる配列順となる異タイプの回転フィード部しても、同様にチップＷを９０°回転させることができ、これを二つ組み合わせることで１８０°回転させることもできる。また、図示した二つの回転フィード部２５Ａ，２５Ｂの一方に代えて、前記異タイプの回転フィード部を組み合わせることでも同様の回転を実現することができる。また、左右の傾斜面ＬＳ，ＲＳは、チップＷの移動方向に沿って滑らかに連続するように仕上げられていることが好ましい。
【００２５】
前記検査手段としての第１ないし第４のカメラ１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄは、スタンド２６（図１参照）を介してフレームＦ上にそれぞれ支持されている。第１及び第２のカメラ１３Ａ、１３Ｂは通路形成部材２２の上流側通路形成部材２２Ｂ上に位置するとともに、前記カメラ１３Ａ，１３Ｂのレンズ部が相互にチップＷの検査面に対して対向するように配置されている。すなわち、第１のカメラ１３Ａは、チップＷの面Ｓ１（図１１参照）を検査する一方、第２のカメラ１３Ｂは、チップＷの面Ｓ２（図１０参照）を検査するようになっている。また、第３及び第４のカメラ１３Ｃ、１３Ｄは、下流側通路形成部材２２Ｃ上に位置し、同様にレンズ部が相互にチップＷの検査面に対して対向するように配置されている。そして、第３のカメラ１３Ｃは、前記回転フィード部２５Ａ，２５Ｂを通過して表出することとなるチップＷの面Ｓ３を検査する一方、第４のカメラ１３Ｄは、チップＷの面Ｓ４を検査するようになっている。これらのカメラ１３Ａ〜１３Ｄは、画像処理装置により所定の画像処理検査に付されて良否が判定される。
【００２６】
前記回収手段３０は、図１に示されるように、前記第１ないし第４のカメラ１３Ａ〜１３Ｄに対応して設けられた第１ないし第４の回収パイプ３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ及び３０Ｄと、前記通路形成部材２２の下流端に配置された残チップ回収部３２と、第１ないし第３の回収パイプ３０Ａ〜３０Ｃと、残チップ回収部３２にそれぞれ接続される不良品回収ケース３３と、第４の回収パイプ３０Ｄに接続される良品回収ケース３５と、各回収パイプ３０Ａ〜３０Ｄに対応して設けられるとともに、前記通路形成部材２２の上流側通路形成部材２２Ｂ及び下流側通路形成部材２２ＣでチップＷに気体すなわちエアーを吹付けて当該チップＷに押出力を付与する吐出装置３７（図１１参照）とにより構成されている。ここで、第１ないし第４の回収パイプ３０Ａ〜３０Ｄと、吐出装置３７は、それぞれ同一の構造とされており、従って、以下では、第１の回収パイプ３０Ａとこれに対応する吐出装置３７について説明する。
【００２７】
第１の回収パイプ３０Ａは、図１１に示されるように、先端が開放した吸引口３８を備えるとともに、当該吸引口３８が斜めに切り欠かれた形状とされて第１のカメラ１３Ａによる撮像を妨げることがないように設けられている。この第１の回収パイプ３０Ａは、図示しない減圧装置に接続されており、常時吸引された状態となっている。
【００２８】
前記吐出装置３７は、通路形成部材２２の外側面から溝２３内に貫通する送気穴４０に接続され、図示しないコンプレッサーに接続されて送気穴４０を通じてチップＷにエアーを吹付けできるように設けられている。この吐出装置３７は、前記画像処理装置により不良品と判定されたチップＷに、吐出装置３７による押出力と、第１の回収パイプ３０Ａによる吸引力との二つの作用を与えて当該チップＷを不良品回収ケース３３に回収することとなる。
【００２９】
なお、前記第４の回収パイプ３０Ｄは、良品と判定されたチップＷを良品回収ケース３５に回収するものであり、当該第４の回収パイプ３０Ｄで回収されないチップＷは、積極的に不良品とみなして残チップ回収部３２を経て不良品回収ケース３３に回収される構成となっている。
【００３０】
前記良品回収ケース３５は、第４の回収パイプ３０Ｄの下端位置でブラケット４０を介して支持され、前記第４の回収パイプ３０Ｄで回収されたチップＷを上向き開放姿勢で収納し、所定数量が良品回収ケース３５に収容されたときに、図示しない移送手段を介して後処理工程へ送り出されるように設けられている。この際、良品回収数は、回収パイプ３０Ｄの途中に設けられた光学系センサ４１によりカウントされ、また、回収パイプ３０Ｄの下端直前位置には、予め設定された良品回収数に到達するまでチップＷが良品回収ケース３５に落下するのを一時的に規制するシャッター４３が設けられている。
【００３１】
良品回収ケース３５は、ブラケット４０の下方に配置された反転アーム４５により回収位置にセットされ、当該反転アーム４５の隣接位置には、横向き姿勢でストックされた良品回収ケース３５のマガジン４６が配置されている。このマガジン４６の下端隣接位置において、前記フレームＦには、シリンダ等からなる突き出し装置４７が設けられ、この突き出し装置４７によって最下位に位置する良品回収ケース３５がマガジンの下端開放口４６Ａから突き出されて反転アーム４５に受け渡し可能となっている。
【００３２】
なお、図２及び図１２に示されるように、通路形成部材２２上に第２ないし第第４のカメラ１３Ｂ,１３Ｃ,１３Ｄの各上流側近傍にノズル５０Ａ,５０Ｂ,５０Ｃを配置するとともに、これらノズル５０Ａ,５０Ｂ,５０Ｃから空気を噴出させることでチップＷの移動を促進し、チップＷの離間状態を保持して間隔が狭まることがないようにすることが好ましい。
【００３３】
次に、本実施形態におけるチップＷの検査要領を図８及び図９を参照しながら更に詳細に説明する。ここで、図８は、上流側に位置する回転フィード部２５Ａの溝２３上を移動するチップＷの姿勢変化を経時的に示す断面図であり、図９は、下流側に位置する回転フィード部２５の溝２３上をチップＷが移動する場合の同様の断面図である。
【００３４】
検査開始指令を付与することにより、図示しないバイブレーターによってホッパー１７と通路形成部材２２が振動する。これにより、ホッパー１７の上端部から整列部２０を経て通路形成部材２２の供給側通路形成部材２２Ａ上にチップＷが次々と供給される。供給側通路形成部材２２Ａ上のチップＷは、通路形成部材２２の下流側が低位置となるように傾斜していること及び一定の振動を生じていることの作用を受けて各チップＷを下流側に移動させることとなる。この際、各チップＷの前後端面がそれぞれ密着した状態で移動していても、前記シューター１８を通過することにより、各チップＷ間に一定の間隔が形成されることとなり、上流側通路形成部材２２Ｂ上を移動するときには、チップＷが一つずつ離間して移動することとなる。
【００３５】
上流側通路形成部材２２Ｂ上では、チップＷの二つの面、図示例ではＳ１，Ｓ２が第１及び第２のカメラ１３Ａ，１３Ｂによって検査されることとなる。ここで、例えば、第１のカメラ１３ＡによってチップＷの面Ｓ１の検査結果が不良であると判定されたときには、吐出装置３７による気体吹付けと、第１のカメラ１３Ａ位置に対応する回収パイプ３０Ａの吸引により、チップＷを押し上げる方向へ吐出装置３７により押出力を瞬間的に強く吹き付けチップＷを回収パイプ３０Ａに案内することができる。
【００３６】
第１及び第２のカメラ１３Ａ，１３Ｂによって不良と判定されなかったチップＷは、回転フィード部２５Ａ，２５Ｂに移動する。そして、上流側の回転フィード部２５Ａでは、図８に示されるように、略Ｖ字の溝領域２５ａ内に位置するチップＷの面が略４５°の角度に保たれる。この時の最も高い位置となるチップＷのコーナーを図中黒印で示し、同位置を０°とする。チップＷが略Ｖ字の溝領域２５ａから略Ｕ字の溝領域２５ｂ（図８（ｆ）参照）に移動すると、チップＷは、略４５°回転し、略Ｕ字の溝領域２５ｂ（図８（ｆ）参照）から略Ｖ字の溝領域２５ｃ（図８（ｊ）参照）に移動することにより、更に４５°回転して初期の０°位置から９０°回転することとなる。そして、この状態は、下流側回転フィード部２５Ｂに連結される図９（ｋ）に示されるように、下流側の回転フィード部２５Ｂに移動した最初の位置と略一致する。下流側の回転フィード部２５Ｂにおいても、上流側の回転フィード部２５Ａと同様に９０°回転することとなり、結果として、二つの回転フィード部２５Ａ、２５Ｂの連結によって、チップＷが１８０°回転することとなる。
【００３７】
このようにしてチップＷが１８０°回転すると、初期の段階、すなわち、上流側通路形成部材２２Ｂ上では表出していなかったチップＷの二つの面Ｓ３，Ｓ４が表出することとなり、この新たに表出した二つの面Ｓ３，Ｓ４が下流側通路形成部材２２Ｃ上で、第３及び第４のカメラ１３Ｃ，１３Ｄによって検査される。
【００３８】
第３のカメラ１３Ｃ及び第４のカメラ１３Ｄの何れもがチップＷの面Ｓ３，Ｓ４を不良と判定しなかった場合には、第４のカメラ１３Ｄ位置に対応した吸引パイプ３０Ｄと吐出装置３７が作動してチップＷを良品回収ケース３５側に吸引する。
【００３９】
この一方、第４のカメラ１３ＤがチップＷの面Ｓ４の不良を判定したときは、当該第４のカメラ１３Ｄに対応した吐出装置３７は作動せずに、そのままチップＷを下流側に移動させることとなり、通路形成部材２２の下流端に設けられた残チップ回収部３２を介してチップＷが不良品回収ケース３３に回収されることとなる。
【００４０】
従って、このような実施例によれば、立方体、直方体等のチップの移動方向両端面を除くチップＷの各面Ｓ１〜Ｓ４を直線方向への移動によって自動的に全て検査することができるという効果を得る。また、各カメラ１３Ａ〜１３Ｄの画像処理により、不良品として判定されたチップＷの回収に際して、吐出装置３７による押出力と各回収パイプ３０Ａ〜３０Ｄの吸引を併用する構成であるから、不良品と判定された際の吸引不良も効果的に防止することができ、良品中に不良品が混在してしまうような虞を回避することが可能となる。しかも、供給側通路形成部材２２ＡではチップＷが密着して移動しても、シューター１８によって上流側通路形成部材２２Ｂ上で各チップＷ毎に一定の間隔が形成されるので、検査すべきチップＷを一個に特定した状態でカメラ１３Ａ〜１３Ｄによる検査が可能となり、検査ミスの発生防止と、誤った吸引とを防止することができる。
【００４１】
なお、前記実施形態における回転フィード部２５は、略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列のものを図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列としてもよい。この場合、上流側通路形成部材２２Ｂの溝形状は、その上流側を略Ｖ字型とし、下流側に向かって次第に略Ｕ字型に変化する形状となるものを採用する一方、下流側通路形成部材２２Ｃの溝形状は、その上流側を略Ｕ字型とし、下流側に向かって次第に略Ｖ字型に変化する形状となるものを採用すれば足りる。要するに、本発明は、チップＷが螺旋の軌跡に沿うような回転を伴って移動させることができる限りにおいて、種々の溝形状を採用することができる。
【００４２】
また、前記実施形態で示したチップＷの外観形状は、本発明を説明する便宜上の形状であり、実際の検査対象となるチップの形状を特定するものではない。例えば、検査面は、四面に限らず、三面或いは五面以上のものであってもよく、検査面の数に応じて、回転フィード部２５の数を増加、減少させると同時に、カメラ１３Ａ〜１３Ｄの数も変更すればよい。
【００４３】
更に、本発明に係る多面体検査装置１０の全体構成も図示構成例に限定されるものではなく、実質的に同等の作用、効果を奏する限りにおいて、種々の設計変更を行うことができる。例えば、前記実施形態では、第４のカメラ１３Ｄが良品を判定したときに、これに対応して良品回収ケース３５への吸引を行うものとしたが、良品を残チップ回収部３２で回収する構成とし、第４のカメラ１３Ｄが不良品を判定したときに、対応する吸引パイプ３０Ｄで不良品回収ケース３３に回収するようにすることもできる。
【００４４】
また、前記実施例では、チップＷを移動させるに際してバイブレーターによる振動を付与するものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、圧縮空気及び他の強制搬送方法を採用してもよい。更に、検査手段としては、カメラに限定されず、チップＷの面精度を検出できるものであれば他の手段に代替することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、多面体検査用フィーダーを構成する通路形成部材を溝状に設けるとともに、当該溝の左右傾斜角度を検査対象物の移動方向に沿って変化させて所定角度回転可能とする回転フィード部を設けたから、検査対象物を通路形成部材上で移動させたときに、螺旋の軌跡のように検査対象物を回転して移動させることができるようになる。従って、移動初期の際に溝内に隠れているチップの検査面を表出させるようにして移動させることができ、検査対象物の面の傷、変形等の瑕疵を、目視によることなく多面的に検査することができるとともに、効率良く高精度に検査することが可能となる。しかも、検査対象物が回転を伴いながら移動するため、通路形成部材を直線的に設けることが可能となり、小型化をも達成することも可能となる。
【００４６】
特に、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順としたり、或いは、略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする構成によって回転フィード部を形成することができるため、溝形状の僅かな設計変更によって検査対象物の回転を伴う移動を実現でき、製造コストが高騰するという問題も生じない。また、回転フィード部を部品として供給することで、既存設備に難なく適用することができるという汎用性をも得ることが可能となる。
【００４７】
更に、本発明は、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部の上流側又は下流側に、溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を組み合わせる構成、或いは、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成、更には、前記溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成を採用することによって検査対象物の回転角度を二倍にすることができる。しかも、異なるタイプの回転フィード部の組み合わせを可能とする等、設計上の自由度も得ることができる。
【００４８】
また、本発明に係る多面体検査装置によれば、検査対象物の各面を自動的に検査することができる他、供給手段から検査対象物が繋がるように連続して供給されても、間欠送り部が各検査対象物間に所定の間隔を形成するようになり、一つずつ検査対象物を確実に特定して検査手段による検査が実現でき、検査ミスを未然に防止することが可能となる。
【００４９】
また、検査手段によって良否が判定された検査対象物を良品、不良品に分別して回収する回収手段を、吸引装置と吐出装置とにより構成したから、検査対象物を溝から確実に押し出すことができるようになり、吸引装置による吸引力と相俟って、良品、不良品を確実に回収することができる、という従来にない優れた効果を奏する多面体検査装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】多面体検査装置の概略正面図。
【図２】図１の要部平面図。
【図３】通路形成部材及び回転フィード部の概略斜視図。
【図４】回転フィード部の拡大平面図。
【図５】回転フィード部の拡大斜視図。
【図６】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図７】図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図。
【図８】上流側回転フィード部で検査対象物が回転する状態を示す溝断面図。
【図９】下流側回転フィード部で検査対象物が回転する状態を示す溝断面図。
【図１０】検査対象物を検査する際のカメラと吸引パイプとの位置を示す概略斜視図。
【図１１】図２のＣ−Ｃ矢視拡大断面図。
【図１２】（Ａ）は、チップ間の離間状態を保つノズルを配置例を示す概略平面図、（Ｂ）は、（Ａ）の概略正面図。
【符号の説明】
１０ 多面体検査装置
１１ 供給手段
１２ 多面体検査用フィーダー
１３Ａ 第１のカメラ（検査手段）
１３Ｂ 第２のカメラ（検査手段）
１３Ｃ 第３のカメラ（検査手段）
１３Ｄ 第４のカメラ（検査手段）
１８ シューター（離間送り部）
２２ 通路形成部材
２３ 溝
２５ 回転フィード部
２５Ａ 上流側回転フィード部
２５Ｂ 下流側回転フィード部
３０ 回収手段
３０Ａ 第１の回収パイプ（回収手段）
３０Ｂ 第２の回収パイプ（回収手段）
３０Ｃ 第３の回収パイプ（回収手段）
３０Ｄ 第４の回収パイプ（回収手段）
３３ 不良品回収ケース（回収手段）
３５ 良品回収ケース（回収手段）
３７ 吐出装置
３８ 吸引口
Ｗ チップ（検査対象物）
Ｃ 溝の底部コーナー
Ｐ 下端位置
【発明の属する技術分野】
本発明は、多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置に係り、特に、電子部品をなすチップ等の検査対象物の面精度を検査することに適した多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、検査対象物として、チップ状をなす電子部品の仕上げ面精度を検査する場合には、ルーペ等を用い、人手により各面を検査することが行われている。しかしながら、このような検査では、チップを一つずつ手に取って目視による検査となり、微細な傷や変形等の瑕疵を見落とす場合が多く、結果的に製品に不良品を混在させる原因となる。しかも、検査する人が疲労を伴って作業負担が重くなり、また、熟練度いかんによって検査精度に大きなばらつきも生じるという不都合がある。
【０００３】
そこで、例えば、実開昭５２−８３１８４号公報には、検査対象物を移動させる過程で、当該検査対象物を所定角度回転可能として自動的に検査を行うことのできる装置が提案されている。同装置は、第１のコンベヤーと第２のコンベヤーとを備え、第１のコンベヤーに載せられて移動する検査対象物を反転させて第２のコンベヤーに移載し、各コンベヤー上で検査対象物の上面側に表れる面をカメラで検査することで、表裏各面の検査が可能な構成となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置では、第１のコンベヤーと第２のコンベヤーとの間に検査対象物を反転させるための機構が必要となり、構造が複雑化するという不都合がある。また、検査対象物の反転を可能とするために、第１のコンベヤーと第２のコンベヤーとを直線的に設けることができず、コンベヤーの配置空間として上下方向に一定の空間が必要となり、これによって、装置が大型化するという不都合を招来する。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、チップ状の検査対象物の面を自動的、且つ、高精度に効率良く検出することができるとともに、装置構造を小型化することも可能な多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材を備えた多面体検査用フィーダーであって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含む、という構成を採っている。このような構成により、検査対象物を溝内に置いた状態で当該検査対象物を通路形成部材上で移動させると、例えば、螺旋の軌跡に沿うように検査対象物が回転して移動するようになり、移動初期の状態で溝内に隠れている検査面が表出するように移動させることができる。従って、検査対象物の面の傷、変形等の瑕疵を、目視によることなく所定の検査手段で自動的、且つ、高精度に効率良く検査することが可能となる。しかも、回転フィード部によって検査対象物が回転を伴いながら移動するため、通路形成部材を直線的に設けることが可能となり、小型化をも達成することが可能となる。
【０００８】
更に、本発明は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材を備えた多面体検査用フィーダーであって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含む、という構成によっても前記目的を達成することができる。
【０００９】
また、本発明は、前記溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部の上流側又は下流側に、溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を組み合わせる構成としてもよい。このような構成とすれば、単一の回転フィード部によって検査対象物を回転させることのできる角度を二倍とすることが可能となる。
【００１０】
更に、前記溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成とすることもできる。このような構成によっても、同様に検査対象物の回転角度を二倍とすることができる。
【００１１】
また、前記溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成であってもよく、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型とした回転フィード部を二つ連続して組み合わせた場合と同様の作用を得ることができる。
【００１２】
更に、本発明に係る多面体検査装置は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材と、当該通路形成部材に沿う近傍位置に配置されて前記検査対象物の各面を検査する検査手段と、前記通路形成部材の上流側に配置されて検査対象物を通路形成部材に供給する供給手段とを備えた多面体検査装置であって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成され、当該回転フィード部の上流側には前記検査対象物の離間送り部が設けられる、という構成を採っている。
また、本発明に係る多面体検査装置は、多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材と、当該通路形成部材に沿う近傍位置に配置されて前記検査対象物の各面を検査する検査手段と、前記通路形成部材の上流側に配置されて検査対象物を通路形成部材に供給する供給手段とを備えた多面体検査装置であって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成され、当該回転フィード部の上流側には前記検査対象物の離間送り部が設けられる、という構成を採っている。このような構成では、多面体からなる検査対象物の各面を自動的に検査することができる他、供給手段から検査対象物が密着して繋がるように連続して供給されても、離間送り部が各検査対象物間に所定の間隔を形成するようになり、一つずつ検査対象物を確実に特定して検査手段による検査が実現でき、検査ミスを未然に防止することが可能となる。
【００１３】
また、前記多面体検査装置は、前記検査手段によって良否が判定された検査対象物を良品、不良品に分別して回収する回収手段を含み、この回収手段は、検査対象物の吸引口を有する吸引装置と、前記溝内で前記検査対象物に気体を吹付けて当該検査対象物に押出力を付与する吐出装置とにより構成することが好ましい。このような構成では、検査対象物を溝から確実に押し出すことができるようになり、吸引装置による吸引力と相俟って、良品、不良品を確実に回収することができる。
【００１４】
なお、本明細書において、溝の「Ｖ字型」、「Ｕ字型」とは、文字通りの左右対称の溝形状に限定されるものではなく、非対称のものも含む概念として用いられる。また、「Ｕ字型」には、上向きに開放するコ字型も含まれる。更に、「溝の左右」とは、検査対象物が移動する上流側から下流側を見た状態を基準として用いられる。従って、以下の説明で参照する図面では、左右が反対に表れる場合があることを了解されたい。また、検査対象物は、直方体若しくは立方体等の立体が好ましい対象物となるが、その他の立体も対象とすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本発明が適用された多面体検査装置の全体概略正面図が示され、図２には、図１の要部概略平面図が示されている。これらの図において、多面体検査装置１０は、フレームＦの上部に配置された供給手段１１と、この供給手段１１から供給される検査対象物、本実施形態では、立方体形状を備えたセラミックチップコンデンサ（以下チップＷという）を移動させる多面体検査用フィーダー１２（図２参照）と、当該多面体検査用フィーダー１２の上部位置に配置された検査手段としての第１ないし第４のカメラ１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄと、検査の結果すなわち良品か不良品かに応じてチップＷを区分して回収する回収手段３０とを備えて構成されている。
【００１７】
前記供給手段１１は、フレームＦに支柱１６を介して支持されたホッパー１７と、このホッパー１７の上端部分から外部に送り出される各チップＷを多面体検査用フィーダー１２に案内する適宜な溝形状を有する整列部２０とにより構成されている。ホッパー１７の内面側は、周知のように適宜な螺旋状に形成されており、当該ホッパー１７に収容された多数個のチップＷに図示しないバイブレーターによる振動を付与することで、上方よりチップＷが順次排出可能とされている。
【００１８】
前記多面体検査用フィーダー１２は、図２及び図３に示されるように、前記整列部２０から略直線状に延びる溝状の通路形成部材２２により構成されている。この通路形成部材２２は、下流側、すなわち図１中左側が右側よりも相対的に低い位置となるよう角度調整可能に設けられ、当該通路形成部材２２は、整列部２０側に位置する供給側通路形成部材２２Ａ（図２、図３参照）と、この供給側通路形成部材２２Ａに離間送り部としてのシューター１８を介して連なるとともに、上流側検査領域を形成する上流側通路形成部材２２Ｂと、この上流側通路形成部材２２Ｂに回転フィード部２５領域を形成する上流側回転フィード部２５Ａ及び下流側回転フィード部２５Ｂと、これら上流側、下流側回転フィード部２５Ａ、２５Ｂを介して連なるとともに、下流側検査領域を形成する下流側通路形成部材２２Ｃとにより構成されている。供給側通路形成部材２２Ａ、上流側通路形成部材２２Ｂ及び下流側通路形成部材２２Ｃは、断面形状が略Ｖ字状となる溝状に設けられ、この略Ｖ字状の溝２３の底部コーナーＣにチップＷの一つのコーナーが位置する姿勢で当該チップＷを下流側に移動させることができるようになっている。
【００１９】
前記シューター１８は、図３に示されるように、供給側通路形成部材２２Ａに対して上流側通路形成部材２２Ｂの高さ位置を低くするように傾斜して連設させた断面略Ｖ字状の傾斜溝により構成されている。このシューター１８は、チップＷが供給側通路形成部材２２Ａから滑り落ちる作用を利用することで、上流側通路形成部材２２Ｂより下流側に移動する各チップＷ間に一定の間隔を形成するようになっている。
【００２０】
前記上流側及び下流側回転フィード部２５Ａ，２５Ｂは、本実施形態では同一形状のものを二つ縦列に組み合わせてなるもので、一つの回転フィード部２５Ａ又は２５ＢによってチップＷを９０°回転させることのできるものであり、これを二つ組み合わせて１８０°回転させることができるように設けられている。上流側及び下流側回転フィード部２５Ａ、２５Ｂは、図３ないし図７に示されるように、上流側から下流側に向かって溝の断面形状が略Ｖ字型の溝領域２５ａ、略Ｕ字型の溝領域２５ｂ、略Ｖ字型の溝領域２５ｃの配列順とされるとともに、これら各溝領域２５ａ〜２５ｃの左右傾斜面ＬＳ，ＲＳの傾斜角度がチップＷの移動方向に沿って変化した形状に設けられている。これを更に詳述すると、図４、図６及び図７に示されるように、上流側に位置する略Ｖ字型の溝領域２５ａの底部コーナーＣは、上流側回転フィード部２５Ａの幅方向略中央部に一定長さに亘って直線的に延び、途中から右傾斜面ＲＳ側にシフトしつつ底部コーナーＣ位置を若干上昇させるように延びる。なお、ここで、右傾斜面ＲＳ及び左傾斜面ＬＳは、コーナーＣを境として特定される説明概念であって、溝幅の中心を境として特定されるものではない。このＶ字型溝の溝領域２５ａでは、図６及び８（ａ）〜（ｅ）に示されるように、右傾斜面ＲＳは、初期の略４５°傾斜から、略９０°に近づくように変化する。この一方、左傾斜面ＬＳは、初期の４５°傾斜から僅かにチップ移動方向にずれた位置で上部が屈曲した二段の傾斜面に形成され、下段側の傾斜面が次第に傾斜角度を小さくし、これにより、前記略Ｕ字型の溝領域２５ｂに至る直前で、チップＷの一つの面、図８ではチップＷの面Ｓ３が次第に水平姿勢となるようになっている。
【００２１】
前記略Ｕ字型の溝領域２５ｂは、図８（ｆ）にも示されるように、右傾斜面ＲＳの傾斜角度が略９０°となる一方、左傾斜面ＬＳは若干傾いた状態にあり、これら傾斜面ＲＳ，ＬＳの下端間の面が略水平面ＨＳとなるＵ字型の断面形状に設けられ、この領域で、チップＷの一つの面が略水平姿勢に保たれるようになっている。
【００２２】
前記下流側のＶ字型の溝領域２５ｃ（図８（ｊ）参照）は、図４、図６及び図７に示されるように、略Ｕ字型の溝領域２５ｂの左傾斜面ＬＳの下端位置Ｐ（図４、図８（ｆ）参照）を始点として、次第にＶ字の底部コーナーＣを形成するように前記幅方向の中央部に延びる。この際、底部コーナーＣは、その高さ位置が前記始点（下端位置Ｐ）高さ位置より低位置となる方向に延びる。そして、底部コーナーＣは、途中から幅方向中央部位置にて下流側に向かって直線的に延びるように設けられている。ここで、略Ｖ字型の溝領域２５ｃまでにおける右傾斜面ＲＳは、下流端の直前位置まで屈曲した二段の傾斜面に設けられ、当該Ｖ字型の溝領域２５ｃの位置でチップＷを９０°回転した位置とするようになっている。
【００２３】
従って、前記回転フィード部２５Ａ，２５Ｂを二つ組み合わせることにより、チップＷを１８０°回転させることが可能となり、チップＷが立方体であるときに、当該チップＷの移動方向に沿う前後の端面を除く四面を全て検査することができる。
【００２４】
なお、本実施形態における回転フィード部２５は、図示構成例の他、上流側から下流側に向かって略Ｕ字型の溝領域、略Ｖ字型の溝領域、略Ｕ字型の溝領域が連なる配列順となる異タイプの回転フィード部しても、同様にチップＷを９０°回転させることができ、これを二つ組み合わせることで１８０°回転させることもできる。また、図示した二つの回転フィード部２５Ａ，２５Ｂの一方に代えて、前記異タイプの回転フィード部を組み合わせることでも同様の回転を実現することができる。また、左右の傾斜面ＬＳ，ＲＳは、チップＷの移動方向に沿って滑らかに連続するように仕上げられていることが好ましい。
【００２５】
前記検査手段としての第１ないし第４のカメラ１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄは、スタンド２６（図１参照）を介してフレームＦ上にそれぞれ支持されている。第１及び第２のカメラ１３Ａ、１３Ｂは通路形成部材２２の上流側通路形成部材２２Ｂ上に位置するとともに、前記カメラ１３Ａ，１３Ｂのレンズ部が相互にチップＷの検査面に対して対向するように配置されている。すなわち、第１のカメラ１３Ａは、チップＷの面Ｓ１（図１１参照）を検査する一方、第２のカメラ１３Ｂは、チップＷの面Ｓ２（図１０参照）を検査するようになっている。また、第３及び第４のカメラ１３Ｃ、１３Ｄは、下流側通路形成部材２２Ｃ上に位置し、同様にレンズ部が相互にチップＷの検査面に対して対向するように配置されている。そして、第３のカメラ１３Ｃは、前記回転フィード部２５Ａ，２５Ｂを通過して表出することとなるチップＷの面Ｓ３を検査する一方、第４のカメラ１３Ｄは、チップＷの面Ｓ４を検査するようになっている。これらのカメラ１３Ａ〜１３Ｄは、画像処理装置により所定の画像処理検査に付されて良否が判定される。
【００２６】
前記回収手段３０は、図１に示されるように、前記第１ないし第４のカメラ１３Ａ〜１３Ｄに対応して設けられた第１ないし第４の回収パイプ３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ及び３０Ｄと、前記通路形成部材２２の下流端に配置された残チップ回収部３２と、第１ないし第３の回収パイプ３０Ａ〜３０Ｃと、残チップ回収部３２にそれぞれ接続される不良品回収ケース３３と、第４の回収パイプ３０Ｄに接続される良品回収ケース３５と、各回収パイプ３０Ａ〜３０Ｄに対応して設けられるとともに、前記通路形成部材２２の上流側通路形成部材２２Ｂ及び下流側通路形成部材２２ＣでチップＷに気体すなわちエアーを吹付けて当該チップＷに押出力を付与する吐出装置３７（図１１参照）とにより構成されている。ここで、第１ないし第４の回収パイプ３０Ａ〜３０Ｄと、吐出装置３７は、それぞれ同一の構造とされており、従って、以下では、第１の回収パイプ３０Ａとこれに対応する吐出装置３７について説明する。
【００２７】
第１の回収パイプ３０Ａは、図１１に示されるように、先端が開放した吸引口３８を備えるとともに、当該吸引口３８が斜めに切り欠かれた形状とされて第１のカメラ１３Ａによる撮像を妨げることがないように設けられている。この第１の回収パイプ３０Ａは、図示しない減圧装置に接続されており、常時吸引された状態となっている。
【００２８】
前記吐出装置３７は、通路形成部材２２の外側面から溝２３内に貫通する送気穴４０に接続され、図示しないコンプレッサーに接続されて送気穴４０を通じてチップＷにエアーを吹付けできるように設けられている。この吐出装置３７は、前記画像処理装置により不良品と判定されたチップＷに、吐出装置３７による押出力と、第１の回収パイプ３０Ａによる吸引力との二つの作用を与えて当該チップＷを不良品回収ケース３３に回収することとなる。
【００２９】
なお、前記第４の回収パイプ３０Ｄは、良品と判定されたチップＷを良品回収ケース３５に回収するものであり、当該第４の回収パイプ３０Ｄで回収されないチップＷは、積極的に不良品とみなして残チップ回収部３２を経て不良品回収ケース３３に回収される構成となっている。
【００３０】
前記良品回収ケース３５は、第４の回収パイプ３０Ｄの下端位置でブラケット４０を介して支持され、前記第４の回収パイプ３０Ｄで回収されたチップＷを上向き開放姿勢で収納し、所定数量が良品回収ケース３５に収容されたときに、図示しない移送手段を介して後処理工程へ送り出されるように設けられている。この際、良品回収数は、回収パイプ３０Ｄの途中に設けられた光学系センサ４１によりカウントされ、また、回収パイプ３０Ｄの下端直前位置には、予め設定された良品回収数に到達するまでチップＷが良品回収ケース３５に落下するのを一時的に規制するシャッター４３が設けられている。
【００３１】
良品回収ケース３５は、ブラケット４０の下方に配置された反転アーム４５により回収位置にセットされ、当該反転アーム４５の隣接位置には、横向き姿勢でストックされた良品回収ケース３５のマガジン４６が配置されている。このマガジン４６の下端隣接位置において、前記フレームＦには、シリンダ等からなる突き出し装置４７が設けられ、この突き出し装置４７によって最下位に位置する良品回収ケース３５がマガジンの下端開放口４６Ａから突き出されて反転アーム４５に受け渡し可能となっている。
【００３２】
なお、図２及び図１２に示されるように、通路形成部材２２上に第２ないし第第４のカメラ１３Ｂ,１３Ｃ,１３Ｄの各上流側近傍にノズル５０Ａ,５０Ｂ,５０Ｃを配置するとともに、これらノズル５０Ａ,５０Ｂ,５０Ｃから空気を噴出させることでチップＷの移動を促進し、チップＷの離間状態を保持して間隔が狭まることがないようにすることが好ましい。
【００３３】
次に、本実施形態におけるチップＷの検査要領を図８及び図９を参照しながら更に詳細に説明する。ここで、図８は、上流側に位置する回転フィード部２５Ａの溝２３上を移動するチップＷの姿勢変化を経時的に示す断面図であり、図９は、下流側に位置する回転フィード部２５の溝２３上をチップＷが移動する場合の同様の断面図である。
【００３４】
検査開始指令を付与することにより、図示しないバイブレーターによってホッパー１７と通路形成部材２２が振動する。これにより、ホッパー１７の上端部から整列部２０を経て通路形成部材２２の供給側通路形成部材２２Ａ上にチップＷが次々と供給される。供給側通路形成部材２２Ａ上のチップＷは、通路形成部材２２の下流側が低位置となるように傾斜していること及び一定の振動を生じていることの作用を受けて各チップＷを下流側に移動させることとなる。この際、各チップＷの前後端面がそれぞれ密着した状態で移動していても、前記シューター１８を通過することにより、各チップＷ間に一定の間隔が形成されることとなり、上流側通路形成部材２２Ｂ上を移動するときには、チップＷが一つずつ離間して移動することとなる。
【００３５】
上流側通路形成部材２２Ｂ上では、チップＷの二つの面、図示例ではＳ１，Ｓ２が第１及び第２のカメラ１３Ａ，１３Ｂによって検査されることとなる。ここで、例えば、第１のカメラ１３ＡによってチップＷの面Ｓ１の検査結果が不良であると判定されたときには、吐出装置３７による気体吹付けと、第１のカメラ１３Ａ位置に対応する回収パイプ３０Ａの吸引により、チップＷを押し上げる方向へ吐出装置３７により押出力を瞬間的に強く吹き付けチップＷを回収パイプ３０Ａに案内することができる。
【００３６】
第１及び第２のカメラ１３Ａ，１３Ｂによって不良と判定されなかったチップＷは、回転フィード部２５Ａ，２５Ｂに移動する。そして、上流側の回転フィード部２５Ａでは、図８に示されるように、略Ｖ字の溝領域２５ａ内に位置するチップＷの面が略４５°の角度に保たれる。この時の最も高い位置となるチップＷのコーナーを図中黒印で示し、同位置を０°とする。チップＷが略Ｖ字の溝領域２５ａから略Ｕ字の溝領域２５ｂ（図８（ｆ）参照）に移動すると、チップＷは、略４５°回転し、略Ｕ字の溝領域２５ｂ（図８（ｆ）参照）から略Ｖ字の溝領域２５ｃ（図８（ｊ）参照）に移動することにより、更に４５°回転して初期の０°位置から９０°回転することとなる。そして、この状態は、下流側回転フィード部２５Ｂに連結される図９（ｋ）に示されるように、下流側の回転フィード部２５Ｂに移動した最初の位置と略一致する。下流側の回転フィード部２５Ｂにおいても、上流側の回転フィード部２５Ａと同様に９０°回転することとなり、結果として、二つの回転フィード部２５Ａ、２５Ｂの連結によって、チップＷが１８０°回転することとなる。
【００３７】
このようにしてチップＷが１８０°回転すると、初期の段階、すなわち、上流側通路形成部材２２Ｂ上では表出していなかったチップＷの二つの面Ｓ３，Ｓ４が表出することとなり、この新たに表出した二つの面Ｓ３，Ｓ４が下流側通路形成部材２２Ｃ上で、第３及び第４のカメラ１３Ｃ，１３Ｄによって検査される。
【００３８】
第３のカメラ１３Ｃ及び第４のカメラ１３Ｄの何れもがチップＷの面Ｓ３，Ｓ４を不良と判定しなかった場合には、第４のカメラ１３Ｄ位置に対応した吸引パイプ３０Ｄと吐出装置３７が作動してチップＷを良品回収ケース３５側に吸引する。
【００３９】
この一方、第４のカメラ１３ＤがチップＷの面Ｓ４の不良を判定したときは、当該第４のカメラ１３Ｄに対応した吐出装置３７は作動せずに、そのままチップＷを下流側に移動させることとなり、通路形成部材２２の下流端に設けられた残チップ回収部３２を介してチップＷが不良品回収ケース３３に回収されることとなる。
【００４０】
従って、このような実施例によれば、立方体、直方体等のチップの移動方向両端面を除くチップＷの各面Ｓ１〜Ｓ４を直線方向への移動によって自動的に全て検査することができるという効果を得る。また、各カメラ１３Ａ〜１３Ｄの画像処理により、不良品として判定されたチップＷの回収に際して、吐出装置３７による押出力と各回収パイプ３０Ａ〜３０Ｄの吸引を併用する構成であるから、不良品と判定された際の吸引不良も効果的に防止することができ、良品中に不良品が混在してしまうような虞を回避することが可能となる。しかも、供給側通路形成部材２２ＡではチップＷが密着して移動しても、シューター１８によって上流側通路形成部材２２Ｂ上で各チップＷ毎に一定の間隔が形成されるので、検査すべきチップＷを一個に特定した状態でカメラ１３Ａ〜１３Ｄによる検査が可能となり、検査ミスの発生防止と、誤った吸引とを防止することができる。
【００４１】
なお、前記実施形態における回転フィード部２５は、略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列のものを図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列としてもよい。この場合、上流側通路形成部材２２Ｂの溝形状は、その上流側を略Ｖ字型とし、下流側に向かって次第に略Ｕ字型に変化する形状となるものを採用する一方、下流側通路形成部材２２Ｃの溝形状は、その上流側を略Ｕ字型とし、下流側に向かって次第に略Ｖ字型に変化する形状となるものを採用すれば足りる。要するに、本発明は、チップＷが螺旋の軌跡に沿うような回転を伴って移動させることができる限りにおいて、種々の溝形状を採用することができる。
【００４２】
また、前記実施形態で示したチップＷの外観形状は、本発明を説明する便宜上の形状であり、実際の検査対象となるチップの形状を特定するものではない。例えば、検査面は、四面に限らず、三面或いは五面以上のものであってもよく、検査面の数に応じて、回転フィード部２５の数を増加、減少させると同時に、カメラ１３Ａ〜１３Ｄの数も変更すればよい。
【００４３】
更に、本発明に係る多面体検査装置１０の全体構成も図示構成例に限定されるものではなく、実質的に同等の作用、効果を奏する限りにおいて、種々の設計変更を行うことができる。例えば、前記実施形態では、第４のカメラ１３Ｄが良品を判定したときに、これに対応して良品回収ケース３５への吸引を行うものとしたが、良品を残チップ回収部３２で回収する構成とし、第４のカメラ１３Ｄが不良品を判定したときに、対応する吸引パイプ３０Ｄで不良品回収ケース３３に回収するようにすることもできる。
【００４４】
また、前記実施例では、チップＷを移動させるに際してバイブレーターによる振動を付与するものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、圧縮空気及び他の強制搬送方法を採用してもよい。更に、検査手段としては、カメラに限定されず、チップＷの面精度を検出できるものであれば他の手段に代替することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、多面体検査用フィーダーを構成する通路形成部材を溝状に設けるとともに、当該溝の左右傾斜角度を検査対象物の移動方向に沿って変化させて所定角度回転可能とする回転フィード部を設けたから、検査対象物を通路形成部材上で移動させたときに、螺旋の軌跡のように検査対象物を回転して移動させることができるようになる。従って、移動初期の際に溝内に隠れているチップの検査面を表出させるようにして移動させることができ、検査対象物の面の傷、変形等の瑕疵を、目視によることなく多面的に検査することができるとともに、効率良く高精度に検査することが可能となる。しかも、検査対象物が回転を伴いながら移動するため、通路形成部材を直線的に設けることが可能となり、小型化をも達成することも可能となる。
【００４６】
特に、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順としたり、或いは、略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする構成によって回転フィード部を形成することができるため、溝形状の僅かな設計変更によって検査対象物の回転を伴う移動を実現でき、製造コストが高騰するという問題も生じない。また、回転フィード部を部品として供給することで、既存設備に難なく適用することができるという汎用性をも得ることが可能となる。
【００４７】
更に、本発明は、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部の上流側又は下流側に、溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を組み合わせる構成、或いは、溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成、更には、前記溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とする回転フィード部を二つ連続して組み合わせる構成を採用することによって検査対象物の回転角度を二倍にすることができる。しかも、異なるタイプの回転フィード部の組み合わせを可能とする等、設計上の自由度も得ることができる。
【００４８】
また、本発明に係る多面体検査装置によれば、検査対象物の各面を自動的に検査することができる他、供給手段から検査対象物が繋がるように連続して供給されても、間欠送り部が各検査対象物間に所定の間隔を形成するようになり、一つずつ検査対象物を確実に特定して検査手段による検査が実現でき、検査ミスを未然に防止することが可能となる。
【００４９】
また、検査手段によって良否が判定された検査対象物を良品、不良品に分別して回収する回収手段を、吸引装置と吐出装置とにより構成したから、検査対象物を溝から確実に押し出すことができるようになり、吸引装置による吸引力と相俟って、良品、不良品を確実に回収することができる、という従来にない優れた効果を奏する多面体検査装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】多面体検査装置の概略正面図。
【図２】図１の要部平面図。
【図３】通路形成部材及び回転フィード部の概略斜視図。
【図４】回転フィード部の拡大平面図。
【図５】回転フィード部の拡大斜視図。
【図６】図４のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図７】図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図。
【図８】上流側回転フィード部で検査対象物が回転する状態を示す溝断面図。
【図９】下流側回転フィード部で検査対象物が回転する状態を示す溝断面図。
【図１０】検査対象物を検査する際のカメラと吸引パイプとの位置を示す概略斜視図。
【図１１】図２のＣ−Ｃ矢視拡大断面図。
【図１２】（Ａ）は、チップ間の離間状態を保つノズルを配置例を示す概略平面図、（Ｂ）は、（Ａ）の概略正面図。
【符号の説明】
１０ 多面体検査装置
１１ 供給手段
１２ 多面体検査用フィーダー
１３Ａ 第１のカメラ（検査手段）
１３Ｂ 第２のカメラ（検査手段）
１３Ｃ 第３のカメラ（検査手段）
１３Ｄ 第４のカメラ（検査手段）
１８ シューター（離間送り部）
２２ 通路形成部材
２３ 溝
２５ 回転フィード部
２５Ａ 上流側回転フィード部
２５Ｂ 下流側回転フィード部
３０ 回収手段
３０Ａ 第１の回収パイプ（回収手段）
３０Ｂ 第２の回収パイプ（回収手段）
３０Ｃ 第３の回収パイプ（回収手段）
３０Ｄ 第４の回収パイプ（回収手段）
３３ 不良品回収ケース（回収手段）
３５ 良品回収ケース（回収手段）
３７ 吐出装置
３８ 吸引口
Ｗ チップ（検査対象物）
Ｃ 溝の底部コーナー
Ｐ 下端位置
Claims (8)
- 多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材を備えた多面体検査用フィーダーであって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成されていることを特徴とする多面体検査用フィーダー。 - 多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材を備えた多面体検査用フィーダーであって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成されていることを特徴とする多面体検査用フィーダー。 - 請求項１記載の回転フィード部の上流側又は下流側に請求項２記載の回転フィード部を組み合わせたことを特徴とする多面体検査用フィーダー。
- 請求項１記載の回転フィード部を二つ連続して組み合わせたことを特徴とする多面体検査用フィーダー。
- 請求項２記載の回転フィード部を二つ連続して組み合わせたことを特徴とする多面体検査用フィーダー。
- 多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材と、当該通路形成部材に沿う近傍位置に配置されて前記検査対象物の各面を検査する検査手段と、前記通路形成部材の上流側に配置されて検査対象物を通路形成部材に供給する供給手段とを備えた多面体検査装置であって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｖ字型、略Ｕ字型、略Ｖ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成され、当該回転フィード部の上流側には前記検査対象物の離間送り部が設けられていることを特徴とする多面体検査装置。 - 多面体からなる検査対象物を所定方向に移動させる通路形成部材と、当該通路形成部材に沿う近傍位置に配置されて前記検査対象物の各面を検査する検査手段と、前記通路形成部材の上流側に配置されて検査対象物を通路形成部材に供給する供給手段とを備えた多面体検査装置であって、
前記通路形成部材は溝を備えて構成され、当該溝の断面形状を略Ｕ字型、略Ｖ字型、略Ｕ字型の配列順とするとともに、前記溝の左右傾斜角度を前記移動方向に沿って変化させることで検査対象物を所定角度回転可能とする回転フィード部を含んで構成され、当該回転フィード部の上流側には前記検査対象物の離間送り部が設けられていることを特徴とする多面体検査装置。 - 前記検査手段によって良否が判定された検査対象物を良品、不良品に分別して回収する回収手段を含み、この回収手段は、検査対象物の吸引口を有する吸引装置と、前記溝内で前記検査対象物に気体を吹付けて当該検査対象物に押出力を付与する吐出装置とにより構成されていることを特徴とする請求項６又は７記載の多面体検査装置。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001127248A JP4887523B2 (ja) | 2000-12-28 | 2001-04-25 | 多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置 |
| TW090132208A TW530149B (en) | 2000-12-28 | 2001-12-25 | Feeder for polyhedron inspection, and polyhedron inspector |
| PCT/JP2001/011514 WO2002053480A1 (fr) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | Dispositif d'alimentation destine a l'inspection de polyedre |
| US10/181,374 US6823752B2 (en) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | Polyhedron inspection feeder and polyhedron inspection apparatus |
| MXPA02008160A MXPA02008160A (es) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | Alimentador para la inspeccion de poliedros y aparato para la inspeccion de poliedros. |
| KR1020027008694A KR100841262B1 (ko) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | 다면체 검사용 피더 및 다면체 검사장치 |
| CNB018036260A CN1273363C (zh) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | 多面体检验进给器和多面体检验设备 |
| IL15007101A IL150071A (en) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | Feon test feeder and Faun test device |
| MYPI20015898A MY128964A (en) | 2000-12-28 | 2001-12-27 | Polyhedron inspection feeder and polyhedron inspection apparatus |
| US10/849,228 US6892593B2 (en) | 2000-12-28 | 2004-05-20 | Polyhedron inspection feeder and polyhedron inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-404981 | 2000-12-28 | ||
| JP2000404981 | 2000-12-28 | ||
| JP2000404981 | 2000-12-28 | ||
| JP2001127248A JP4887523B2 (ja) | 2000-12-28 | 2001-04-25 | 多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002255336A JP2002255336A (ja) | 2002-09-11 |
| JP4887523B2 true JP4887523B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=26607309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001127248A Expired - Fee Related JP4887523B2 (ja) | 2000-12-28 | 2001-04-25 | 多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6823752B2 (ja) |
| JP (1) | JP4887523B2 (ja) |
| KR (1) | KR100841262B1 (ja) |
| CN (1) | CN1273363C (ja) |
| IL (1) | IL150071A (ja) |
| MX (1) | MXPA02008160A (ja) |
| MY (1) | MY128964A (ja) |
| TW (1) | TW530149B (ja) |
| WO (1) | WO2002053480A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7553110B2 (en) * | 2002-02-27 | 2009-06-30 | Daiichi Jitsugyo Viswill Co. Ltd. | Conveying equipment and inspection device |
| WO2003075027A1 (fr) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Yamaha Motor Co., Ltd. | Dispositif d'inspection de piece electronique |
| JP4121319B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2008-07-23 | リンテック株式会社 | 多面体検査用フィーダー |
| DE102004047847A1 (de) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Visicontrol Ges Fuer Elektroni | Vorrichtung zum Sortieren von Prüflingen mittels Bildverarbeitung |
| FR2876991B1 (fr) * | 2004-10-25 | 2007-02-16 | Sidel Sas | Perfectionnement au dispositif convoyeur utilise pour l'acheminement d'objets orientes du genre capsules, couvercles, bouchons...etc, entre la machine d'appret de ces objets et leur destination |
| ES2329405T3 (es) * | 2005-03-02 | 2009-11-25 | Heiko Schmidt | Unidad de abastecimiento para suministrar o proporcionar componentes y unidad clasificadora para dichos componentes. |
| JP2006320779A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Qualicaps Co Ltd | 扁平錠剤の外観検査装置 |
| US8074784B2 (en) * | 2006-12-07 | 2011-12-13 | Production Resource Group, Llc | Conventional table for testing lights along a conveyor path |
| JP5168622B2 (ja) * | 2007-11-27 | 2013-03-21 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 部品供給装置 |
| DE102012216163B4 (de) * | 2012-01-11 | 2017-03-09 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Zuführen von Kappen mit Überwachungssystem |
| CN102601061B (zh) * | 2012-03-23 | 2014-03-05 | 杭州师范大学 | 一种定时器极片不良品自动分拣装置 |
| JP6056239B2 (ja) * | 2012-07-24 | 2017-01-11 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | パーツフィーダ、及びその製造方法 |
| WO2015137182A1 (ja) | 2014-03-13 | 2015-09-17 | 株式会社 村田製作所 | 姿勢変換装置、整列装置及び姿勢変換方法、整列方法 |
| CN106132847B (zh) * | 2014-03-27 | 2018-04-17 | 株式会社村田制作所 | 姿势变换装置、对齐装置及姿势变换方法、对齐方法 |
| CN105381960A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-03-09 | 上海安添机电科技有限公司 | 一种用于电感六面体的自动化外观检查机 |
| CN107868976B (zh) * | 2016-09-23 | 2020-06-12 | 株式会社村田制作所 | 处理装置、部件输送装置以及处理方法 |
| TWI670215B (zh) * | 2017-05-25 | 2019-09-01 | 日商Ｙｋｋ股份有限公司 | 搬送裝置及搬送方法 |
| CN107907551A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-04-13 | 铭板精密科技(中山)有限公司 | 一种产品印刷检测装置 |
| CN108355980A (zh) * | 2017-12-30 | 2018-08-03 | 芜湖慧盈自动化设备有限公司 | 一种不良品分拣的电容外壳用输送装置 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3447661A (en) * | 1967-07-14 | 1969-06-03 | Lakso Co Inc | Inspection table for tablets and capsules |
| JPS5283184A (en) | 1975-12-31 | 1977-07-11 | Fujitsu Ltd | Production of integrated circuit operated at extra low temperatures |
| JPS5928353A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-15 | Nec Corp | Ｉｃ外観検査装置 |
| JPS6063523U (ja) | 1983-10-04 | 1985-05-04 | 日本ノーシヨン工業株式会社 | 釦加工装置の部品供給装置 |
| FR2563939B1 (fr) * | 1984-05-03 | 1988-03-18 | Telemecanique Electrique | Dispositif interrupteur a ecran de coupure d'arc |
| JPH01249181A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-04 | Tdk Corp | チップ部品自動外観選別機における部品仕分け方法 |
| JPH04308121A (ja) * | 1991-04-05 | 1992-10-30 | Hitachi Ltd | 外観検査被検体回転機構 |
| US5642298A (en) * | 1994-02-16 | 1997-06-24 | Ade Corporation | Wafer testing and self-calibration system |
| KR100337465B1 (ko) * | 1994-07-23 | 2002-10-31 | 아오야마 요시타카 | 진동식부품공급기의부품공급제어장치 |
| GB2299164A (en) * | 1995-03-22 | 1996-09-25 | Protos Desarrollo S A | Imaging quality comparison apparatus |
| JPH09118421A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-06 | Shinjiyou Seisakusho:Kk | 部品の整送装置 |
| DE29518639U1 (de) * | 1995-11-24 | 1997-03-27 | Heuft Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung zum Transportieren von Behältern vorbei an einer Einrichtung zum Inspizieren des Bodens der Behälter |
| US5937270A (en) * | 1996-01-24 | 1999-08-10 | Micron Electronics, Inc. | Method of efficiently laser marking singulated semiconductor devices |
| DE19605133C2 (de) * | 1996-02-13 | 2000-06-15 | Krones Ag | Inspektionsmaschine für Gefäße |
| JP3704784B2 (ja) * | 1996-02-16 | 2005-10-12 | 神鋼電機株式会社 | 部品整送装置 |
| JP3922314B2 (ja) * | 1997-04-18 | 2007-05-30 | 神鋼電機株式会社 | 振動フィーダ群 |
| JP2000157935A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-13 | Yamato Kk | 部品の検査方法及びその装置 |
-
2001
- 2001-04-25 JP JP2001127248A patent/JP4887523B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-25 TW TW090132208A patent/TW530149B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-12-27 CN CNB018036260A patent/CN1273363C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-27 WO PCT/JP2001/011514 patent/WO2002053480A1/ja active Application Filing
- 2001-12-27 MY MYPI20015898A patent/MY128964A/en unknown
- 2001-12-27 IL IL15007101A patent/IL150071A/en not_active IP Right Cessation
- 2001-12-27 MX MXPA02008160A patent/MXPA02008160A/es active IP Right Grant
- 2001-12-27 KR KR1020027008694A patent/KR100841262B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-12-27 US US10/181,374 patent/US6823752B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-20 US US10/849,228 patent/US6892593B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030089184A1 (en) | 2003-05-15 |
| KR100841262B1 (ko) | 2008-06-25 |
| JP2002255336A (ja) | 2002-09-11 |
| CN1429171A (zh) | 2003-07-09 |
| IL150071A (en) | 2005-12-18 |
| TW530149B (en) | 2003-05-01 |
| MY128964A (en) | 2007-03-30 |
| IL150071A0 (en) | 2002-12-01 |
| US20040211270A1 (en) | 2004-10-28 |
| US6823752B2 (en) | 2004-11-30 |
| CN1273363C (zh) | 2006-09-06 |
| KR20020079769A (ko) | 2002-10-19 |
| WO2002053480A1 (fr) | 2002-07-11 |
| US6892593B2 (en) | 2005-05-17 |
| MXPA02008160A (es) | 2002-11-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4887523B2 (ja) | 多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置 | |
| JP4388286B2 (ja) | 微小物体検査装置 | |
| JP3671789B2 (ja) | 部品の取扱装置および取扱方法 | |
| JP5279172B2 (ja) | 搬送装置および搬送物検査装置 | |
| JP4039505B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JP4121319B2 (ja) | 多面体検査用フィーダー | |
| JP2008105811A (ja) | ワークの外観検査装置 | |
| JP2007007608A (ja) | 微小物体検査装置 | |
| TW568872B (en) | Component appearance inspection device | |
| JP2003275688A (ja) | 部品検査方法および部品搬送装置並びに部品検査装置 | |
| JP5106139B2 (ja) | 部品の外観検査装置 | |
| JP3464990B2 (ja) | 微小物体検査装置 | |
| JP2018117949A (ja) | 錠剤印刷装置 | |
| JP4785245B2 (ja) | 微小物体検査装置 | |
| JP4176390B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JP4264155B2 (ja) | 微小物体の外観検査装置 | |
| JPH07206144A (ja) | 物品の姿勢揃え装置および検査装置 | |
| JPH10170446A (ja) | 錠剤の姿勢変換機構及び錠剤の外観検査装置 | |
| JP4152128B2 (ja) | 直方体物品の検査装置 | |
| JP2000157935A (ja) | 部品の検査方法及びその装置 | |
| TW202214512A (zh) | 輸送控制系統及輸送裝置 | |
| JP3490430B1 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH11101751A (ja) | チップの４面検査方法及び装置 | |
| JP2003315272A (ja) | 柱状部品の外観検査装置 | |
| JP4219142B2 (ja) | 微小物体検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080124 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110315 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110512 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111101 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20111122 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111122 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20111122 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |