JP4152128B2 - 直方体物品の検査装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、直方体物品を搬送しながら、当該直方体物品の外面検査を行う直方体物品の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、チップ抵抗やチップコンデンサー等の小型の電子部品が広く普及している。このような電子部品はさらに小型化の傾向にあり、例えば、「１００５」と称される０．５ｍｍ×０．５ｍｍ×１．０ｍｍの四角柱等の直方体形状をしたものが生産されるようになった。
【０００３】
これらの電子部品は、その複数面をカメラで撮像して、キズの有無、付着物の有無等の外観検査を行っている。このような電子部品の外観検査を行う検査装置として、例えば、特開２０００−３３７８４３号公報に記載のように、搬送ユニットにより搬送中の電子部品の外面をカメラで撮像するようにしたものがある。この搬送ユニットは、パーツフィーダと、このパーツフィーダから供給された電子部品を１方向に搬送するベルトコンベアと、このベルトコンベアの下流側に対峙して配置された搬送ドラムとを備えている。この搬送ドラムの外周面には、粘着材が設けられ、ベルトコンベアと搬送ドラムとの間に搬送された電子部品の上面を粘着材により貼着して受け渡しが行われる。この受け渡しにより、電子部品は、ベルトコンベア側で見えなかった下面が見えるように、その上下が変換する。
【０００４】
カメラは、電子部品の搬送路に沿って設置されており、電子部品が、コンベアベルト上を搬送される間に、電子部品の上面と両側面の３面を撮像し、搬送ドラム上を搬送される間に、電子部品の前後面と、ベルトコンベア上では下面となっていた面との３面を撮像している。
また、特公平６−８８６５６号公報には、医薬品の錠剤、キャンディなどの菓子類、ワッシャ、ボタン電池などの小物物品の欠陥検査、外観検査などの工程に用いられる搬送装置が開示されている。この搬送装置は、互いに対向する一対の回転ディスクにより構成されその周縁部に対向間隔を小物物品よりも小さな寸法で全周にわたって連続するスリットとした可動対向板と、この可動対向板の内側に同心状に貫設された回転筒軸を有しこの回転筒軸の内部に連通し前記スリットから前記可動対向板の内側に吸気する吸引手段とを備えている。
【０００５】
その作用効果として、スリットは可動対向板の端縁に形成されているので、小物物品を吸着保持すると正規の軌道からずれることが無く、また小物物品の表面のかなりの部分がスリットから浮いているので、外観検査などでは充分広い面積範囲にわたる検査が可能となり、さらに吸気に基づく吸着保持であるから、物品に対する当たりが穏やかで、衝撃が無く、詰まりの心配もなく、搬送方向も自由であり、供給ピッチに拘わらず吸着が行われるとしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の検査装置における前者の搬送ユニットにおいては、パーツフィーダからベルトコンベア上に電子部品を載置する際に、コンベアベルトの搬送面において搬送方向と直交する方向に電子部品がずれてしまうと、この電子部品をカメラで正確に撮像できないという問題がある。特に、電子部品を高速で搬送する場合には、この傾向が強くなる。
【０００７】
また、後者の搬送ユニットにおいては、電子部品などの直方体物品からなりその搬送方向における方向性が問題となる被検査体については言及されておらず、各面の検査が必要であって各面を確実に撮像検査できる搬送方法としては採用することができない方式である。しかも、本搬送ユニットにおいては、小物物品はスリットを介して可動対向板の端縁に吸着されているだけで、搬送方向と直交する方向には位置決めされておらず、この小物物品の外観をカメラで正確に撮像できない。
【０００８】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、直方体物品を高速で搬送しても直方体物品を正確に検査できる検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る検査装置は、複数の回転体を備え、各回転体の外周面に直方体物品をその検査面を解放状態にして吸着し搬送する搬送手段と、搬送中の前記直方体物品の解放面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記直方体物品の外面検査を行う判定手段とを備えた直方体物品の検査装置であって、前記各回転体は、その外周面に周方向に連続する断面略Ｖ字型の溝と、当該溝に連通する吸引隙間及び／又は吸引孔とを有し、当該吸引隙間内及び／又は吸引孔内を吸引することにより、前記直方体物品が、その１個の角部を前記Ｖ字型の溝に嵌め込んだ状態で吸着される。そして、前記複数の回転体は、その外周面を互いに近接させて配置され、前記直方体物品は、その吸着面が受け渡し時に上下に反転しながら、第１から第２、第３の回転体へと順次Ｓ字状に搬送されると共に、前記第１から第３までの３個の回転体の内、１つの回転体は、他の２個の回転体よりも小さい寸法の外径とし、前記撮像手段は、前記他の２個の回転体のそれぞれにより搬送されている直方体物品の搬送方向に平行な側面となる第１面と第２面、または第３面と第４面を撮像すると共に、前記１つの回転体により搬送されている直方体物品の搬送方向に直交する前後面となる第５面と第６面を撮像することを特徴としている。
【００１０】
この構成によれば、直方体物品は、断面略Ｖ字型の溝を有する搬送手段で嵌め込み状に吸着されて直方体物品の方向性を規制しつつ搬送されるので位置ずれし難くなると共に検査面（解放面）を特定して搬送できる。このため撮像手段は、搬送中の直方体物品の外観を焦点の合った状態で撮像することができ、正確な検査を行うことができる。
【００１１】
ここで、「直方体物品」の中には、立方体物品も含んだ概念であり、「解放面」とは、溝に吸着保持されている直方体物品において、溝に吸着されていない面をいう。
【００１２】
また、本発明に係る検査装置では、高速で直方体物品を搬送しても、直方体物品を溝で位置決めした状態で搬送することができる。このため、撮像手段は、搬送中の直方体物品の６面の外観を焦点の合った状態で撮像することができ、正確な検査を行うことができる。このため、撮像手段は、直方体物品の搬送方向に平行な側面４面を容易に撮像することができると共に、直方体物品の搬送方向の前後面となる第５、第６面も容易に撮像することができる。ここで、上下変換とは、直方体物品において、回転体の溝に吸着される面側を下側とし、この下側の面に対向する面側を上側としている。
【００１３】
さらに、前記複数の回転体のうち下流側の回転体ほど、前記直方体物品を吸着保持する吸引力が、当該回転体の上流にある回転体における前記直方体物品を吸着保持する吸引力よりも強いことを特徴とし、しかも、前記複数の回転体は、前記直方体物品の受け渡し位置において前記直方体物品の吸引力を調整する調整手段を備えていることを特徴としている。このため、上流の回転体から下流の回転体へ、直方体物品の搬送受け渡しがスムーズ且確実に行うことができる。
【００１４】
しかも、第１の回転体の上流側に前記直方体物品を整列搬送するパーツフィーダを備え、当該パーツフィーダから前記直方体物品を前記第１の回転体に供給し、当該第１の回転体の回転速度を調節することにより、前記直方体物品を吸着保持するピッチを調節していることを特徴としている。このため、直方体物品の吸着保持するピッチを、第１の回転体の回転速度を調整することで容易に変更でき、直方体物品の撮像を容易にすることができる。
【００１５】
また、前記直方体物品をサイクロン方式で回収する回収手段を備えることを特徴としている。このため、回収時に、直方体物品に与える衝撃を少なくすることができる。
さらに、前記第１及び前記第３の回転体、又は前記第２の回転体は回転可能に所定位置に固定配置され、前記第２の回転体、又は前記第１及び前記第３の回転体は、当該軸方向に移動自在であると共に、前記第２の回転体と前記第１の回転体との軸間距離及び前記第２の回転体と前記第３の回転体との軸間距離、又は前記第１の回転体及び前記第３の回転体と前記第２の回転体との軸間距離も移動自在であり、前記搬送手段は、前記第２の回転体、又は前記第１及び第３の回転体における前記軸方向の位置及び前記軸間距離の調整により、直方体物品の寸法変更に対応することを特徴としている。
【００１６】
この構成によれば、寸法の異なる直方体物品でも容易に検査できる。この際、第１及び第３の回転体とのグループと、第２の回転体とのどちらを固定配置し、どちらを軸方向に、又は軸間距離も移動自在とするかは、特に特定されるものでは無く、供給される直方体物品を受け取り回転搬送する方向が上回りか、下回りか等各回転体の配置上の条件に合わせて適宜設定すれば良い。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る検査装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（構成について）
図１は、本実施の形態における検査装置の概略を示す正面図であり、図２は、本実施の形態における検査装置の概略を示す側面図である。
【００１８】
検査装置は、両図に示すように、例えば、「１００５」と称されるチップ抵抗（以下、「電子部品」という。）を搬送しながらその外観を検査する装置である。この電子部品は四角柱形状をしており、その外観検査は、電子部品の全面、つまり６面について行うものとし、検査内容は、外面のキズの有無、電子部品のサイズや形状についての異常の有無である。なお、今回の実施の形態では、検査項目が電子部品６面の各面６個であるが、特に６個に限定するものではない。
【００１９】
検査装置１は、電子部品を搬送する搬送ユニット１００と、この搬送ユニット１００に電子部品を供給する供給ユニット２００と、搬送されている電子部品の外観を撮像する撮像ユニット３００と、この撮像ユニット３００で撮像された撮像結果により電子部品を検査して管理する管理ユニットと、この管理結果に基づいて電子部品を回収する回収ユニット４００とを備え、搬送ユニット１００、供給ユニット２００及び回収ユニット４００は基台２の上面に配置されている。
【００２０】
また、撮像ユニット３００は、カメラフレーム３０１に位置調整可能に取り付けられている。なお、管理ユニットは、基台２から離れた位置に設置されている。
基台２は、図１及び図２に実線又は破線で示すように、四角柱形状に枠組みされたフレーム３の上下方向の中間に水平板を架設することにより構成され、上側の第１ベース部４と下側の第２ベース部５とを段差状に備えている。なお、基台２は、左右方向、前後方向の補強部材６により補強されている。
【００２１】
ここで、検査装置１の動作について簡単に説明する。
搬送ユニット１００は、電子部品が供給ユニット２００から供給されると、電子部品の上下を変換しながら下流へと搬送する。電子部品は、下流へ搬送される間に、撮像ユニット３００によりその６面が撮像される。管理ユニットは、撮像されたアナログ信号をデジタル信号（以下、「デジタルデータ」という。）に変換した後、このデータを処理して、寸法、キズの有無等について検査することで評価される。この評価結果は、例えば、「良品」、「不良品」、「再検査品」の３種類である。電子部品がさらに下流へと搬送されると、回収ユニット４００が、評価結果に基づいて結果別に電子部品を回収する。
【００２２】
次に各ユニットの構成について説明する。
１．供給ユニットについて
供給ユニット２００は、図１に示すように、第１ベース部４上に配置された支持台２１０と、この支持台２１０上を左右方向（図１においてＸ方向）に移動可能に支持された可動テーブル２２０と、この可動テーブル２２０上に載設されたパーツフィーダ２３０とを備えている。
【００２３】
支持台２１０の上面には、左右方向に延びる前後一対のガイドレール２１１が敷設されており、このガイドレール２１１と平行に左右方向にエアシリンダー２１２が取り付けられている。可動テーブル２２０は、ガイドレール２１１上に移動可能に載置されていると共に、エアシリンダー２１２のロッド２１３の先端に設けられた連結具２１４を介して連結されている。このため、可動テーブル２２０は、エアシリンダー２１２のロッド２１３の挿抜により左右方向に移動可能になる。
【００２４】
パーツフィーダ２３０は、すり鉢状の容器内に供給された複数の電子部品を、振動を利用して容器の周壁に沿って整列させて１個づつ送り出すボールフィーダ２３１と、このボールフィーダ２３１から送り出される電子部品を搬送ユニット１００まで直進させるリニアフィーダ２３２とを備えている。なお、ボールフィーダ２３１には、例えば、図外のホッパから定量の電子部品が自動的に供給される。また、リニアフィーダ２３２には、その電子部品の搬送路に略Ｖ字型の溝が形成されており、直方体物品（電子部品）の一個の角部を同溝に嵌め込み状態で整列搬送する。
【００２５】
２．搬送ユニットについて
図３は、搬送ユニット１００の概略を示す斜視図であり、図４は、搬送ユニット１００を周辺の正面図である。
搬送ユニット１００は、図１から図３に示すように、第２ベ−ス部５上に配置されており、また図４に示すように、４個のディスク１０１〜１０４を有している。このディスク１０１〜１０４は、その外周面に電子部品を吸着保持して回転することにより、電子部品を回転搬送し、隣接するディスク間で、下流のディスクが上流のディスクから電子部品をＳ字状に搬送受け渡しして、より下流へと電子部品を搬送する。
【００２６】
ここで、４個のディスク１０１〜１０４を、上流側（リニアフィーダ２３２）から第１ディスク１０１、第２ディスク１０２、第３ディスク１０３、第４ディスク１０４とそれぞれいう。
これら４つのディスク１０１〜１０４は、図４に示すように、上下にジグザグしながら左右方向に配置されており、図３に示すように、上側の２個、つまり第１ディスク１０１と第３ディスク１０３とが第１支持部１２０により、また、下流の２個、つまり、第２ディスク１０２と第４ディスク１０４とが第２支持部１３０によりそれぞれ回転自在に支持されている。
【００２７】
そして、第１支持部１２０は、第２ベース部５上の固定テーブル１０５に、また第２支持部１３０は第２ベース部５上の移動テーブル１０６にそれぞれ載設されている。
移動テーブル１０６は、図１において前後方向（図２においてＺ方向）と上下方向（図１及び図２ともＹ方向）に移動可能に構成されている。移動テーブル１０６は、図３に示すように、第２ベース部５の支持板１０７上を前後に移動する前後移動台１０８と、この前後移動台１０８上の四角柱体１０９の外壁に沿って上下に移動する上下移動台１１０と、上下移動台１１０の上端部に取り付けられた天板１１１とを備えている。
【００２８】
前後移動台１０８は、図２及び図３に示すように、その内部に、支持板１０７上に敷設された左右方向に延びるネジ軸１１２に螺合するネジ部１１３を備え、このネジ部１１３が駆動装置（図示省略）により回転することにより、前後方向に移動するように構成されている。なお、ネジ軸１１２の左右両側には、前後移動台１０８を前後方向に案内する一対のガイドレール１１４が支持板１０７上に敷設されている。
【００２９】
また上下移動台１１０も、前後移動台１０８と同様に、図２に示すように、上下移動用のネジ部１１５が、前後移動台１０８の四角柱体１０９内に設けられた上下方向のネジ軸１１６に螺合することにより、上下に移動するようになっている。なお、上下移動台１１０は、前後移動台１０８上に垂設された四角柱体１０９に外嵌することで上下方向に案内される。
【００３０】
第１支持部１２０は、図３に示すように、立設板１２１、１２２を前後に有している。この立設板の内、前側のものを前立設板１２１、後側のものを後立設板１２２という。後立設板１２２には、第１ディスク１０１及び第３ディスク１０３を回転させるための駆動装置（図示省略）が取り付けられている。
なお、第１ディスク１０１及び第３ディスク１０３は、回転軸１４４、１４５を介して駆動装置に連結されている。また、前後の立設板１２１、１２２は、前後方向の連結棒１４６により互に連結され、また後立設板１２２の左右両側が、固定テーブル１０５の左右両側の逆Ｌ字板１４７の前端部に取り付けられている。なお、後立設板１２２及び逆Ｌ字板１４７の上端には、天板１４８が取り付けられている。
【００３１】
第２支持部１３０は、立設板１３１〜１３３を前後方向に３枚有している。これら立設板の内、前側のものを前立設板１３１、中間のものを中立設板１３２、後側のものを後立設板１３３とそれぞれいう。後立設板１３３には、第２ディスク１０２及び第４ディスク１０４を回転させるための駆動装置（図示省略）が取り付けられている。
【００３２】
なお、第２ディスク１０２及び第４ディスク１０４は、回転軸１５１、１５２を介して駆動装置に連結されている。また、各立設板１３１〜１３３同士は、前後方向の連結棒１５３により前後にそれぞれ連結されている。
各ディスク１０１〜１０４は、電子部品１０を外周面に吸着保持して回転することにより下流へと回転搬送しており、電子部品１０を吸着保持するための吸引装置１５０が基台２内に固定されている（図１及び図２参照）。なお、各駆動装置の配線、吸引装置１５０の配線及び配管等の図示は省略している。また、各ディスク１０１〜１０４の回転速度は、各ディスク１０１〜１０４を回転駆動させる駆動装置の設定により、自由に調節できるようになっている。
【００３３】
なお、各回転軸１４４、１４５、１５１、１５２の軸心方向（図２においてＺ方向）を、以下、単に「軸方向」ということもある。
（１）ディスクの構成について
各ディスク１０１〜１０４の構成について説明する。第１〜第４ディスク１０１〜１０４は、寸法に差があるものの略同じ構造をしているので、第１ディスク１０１について説明する。
【００３４】
図５は、第１ディスク１０１の一部を切り欠いた正面図であり、図６は、図５のＸＯＸ線における断面図である。また、図７は、第１ディスク１０１の外周縁を拡大した拡大図である。
第１ディスク１０１は、図５及び図６に示すように、回転軸１４４の軸端に形成された回転部１６１の外周面の全周にわたって連続する吸引隙間１６９（深溝）を有し、この吸引隙間１６９の開口部に、断面形状が略Ｖ字型の吸着溝１６４が回転部１６１の外周面の全周にわたって連続して形成されている。
【００３５】
回転軸１４４は、ベアリング１７０を介して前立設板１２１に回転自在に支持されている。一方、回転部１６１における回転軸１４４と反対側の端面１６２には、吸引隙間１６９に連通する連通孔１６５が、図５に示すように周方向に複数個形成されると共に、シール部材１７１を介してチャンバー１６６が当接している。
【００３６】
チャンバー１６６は、図６に示すように、その内部が中空状で、回転体１６１の端面１６２とにより吸引空間１６３を形成している。つまり、チャンバー１６６の開口側の端面が、回転部１６１に形成されている連通孔１６５の外周側で、回転体１６１の端面１６２に全周にわたって当接しており、この吸引空間１６３は、連通孔１６５によって吸引隙間１６９、吸着溝１６４と連通する。
【００３７】
チャンバー１６６は、回転部１６１と反対側の端面における中心部に吸引装置１５０に接続された吸引パイプ（図示省略）を接続するためのジョイント部１６８を有し、また、回転部１６１側の端面における中心部に、回転体１６１の端面１６２の中心部に取り付けられたベアリング１７２に連結される筒部１７６を有している。
【００３８】
ジョイント部１６８及び筒部１７６は、中空筒状で、互いにその内部が連通し、ジョイント部１６８の内部は、筒部１７６の連通孔１７３を介して吸引空間１６３に連通する。なお、チャンバー１６６は、前立設板１２１に支持具１７４、１６７により固定されている。
第１ディスク１０１の電子部品１０を吸着して搬送する吸着搬送区域（搬送始めと搬送終わり）を決定するには、チャンバー１６６に形成されている閉止部１７５により連通孔１６５を塞ぐことで、電子部品１０を吸着する吸引力を加減できる。
【００３９】
この閉止部１７５は、必要に応じて連通孔１６５を塞ぐ数（範囲）を決定すれば良く、各ディスク１０１〜１０４における電子部品１０を吸引する吸引力の差、電子部品１０の重量、搬送速度（回転速度）など各要因との兼ね合わせで決定される。
なお、本実施の形態では、断面略Ｖ字型の吸着溝１６４の底部に連通するように半径方向の深溝状に吸引隙間１６９を形成しているが、この吸引隙間１６９を、例えば、回転部１６１を割型方式で構成し、吸引隙間１６９は吸着溝１６４の底部ではなく、吸着溝１６４の側壁に通じる連通孔（吸引孔）により構成しても、吸着溝１６４に電子部品１０を吸着することができる。
【００４０】
回転部１６１の外周には、図７に示すように、略４５度内側下がりに傾斜した２面が対向して形成されることになり、第１ディスク１０１の外周面に略Ｖ字型の吸着溝１６４が形成される。
このため、電子部品１０は、４５度傾斜した姿勢でその1個の角部が吸着溝１６４に嵌め込み状で第１ディスク１０１に吸着保持されるため（図７における仮想線）、搬送方向と直交する方向に位置決めされる。ここでは、Ｖ字型はその角度が略９０°となるように形成しているが、この吸着溝に電子部品１０を吸着できれば、９０°でなくてもよい。
【００４１】
なお、第２〜第４ディスク１０２〜１０４に対応する各チャンバーの固定については、図４に示すように、第２ディスク１０２は支持具１７７により、第４ディスク１０４は支持具１７９によりそれぞれ前立設板１３１に固定され、また、第３ディスク１０３は支持具１７８により前立設板１２１に固定されている。
また、回転軸１４４と回転部１６１とを一体として構成しているが、別体で構成しても良く、更にこの場合、回転軸は中空軸でも良い。
【００４２】
（２）ディスクの位置関係について
図８は、第１ディスク１０１から第２ディスク１０２に電子部品１０の受け渡しを説明する説明図である。なお、第２ディスク１０２から第３ディスク１０３へ、また第３ディスク１０３から第４ディスク１０４への電子部品１０の受け渡しは、第１ディスク１０１から第２ディスク１０２への受け渡しと同じであるため、説明は省略する。
【００４３】
第２ディスク１０２は、第１ディスク１０１の下流の位置であって（図４参照）、第１ディスク１０１の吸着溝１６４と、第２ディスク１０２の吸着溝１９０とが互いに対向するように配置されている。つまり、本実施の形態では、電子部品１０における搬送方向に対して直交する断面形状が正方形状をしているので、第１ディスク１０１の吸着溝１６４の底部と第２ディスク１０２の吸着溝１９０の底部とが略同一平面内に存在するように、第１ディスク１０１に対して第２ディスク１０２の位置を決定している。
【００４４】
第１ディスク１０１と第２ディスク１０２との間隔は、搬送する電子部品１０の寸法、第１ディスク１０１及び第２ディスク１０２における電子部品１０を吸着保持するための吸引力等により決定される。
各ディスク１０１〜１０４を上記のような位置関係で配置するために、第２ディスク１０２と第４ディスク１０４とを支持する第２支持部１３０が、第１支持部１２０に対して上下方向に移動できるようになっている。
【００４５】
（３）電子部品の受け渡しについて
次に電子部品１０の受け渡しについて説明する。
ここで、電子部品１０の６面を説明の便宜上以下のように決める（図８参照）。電子部品１０の搬送方向下流（Ｃ方向）に向かって左側の面であって、第１ディスク１０１の吸着溝１６４に吸着されている面を左下面１１、吸着されていない面（解放面）を左上面１４といい、同じく搬送方向下流に向かって右側の面であって、吸着溝１６４に吸着されている面を右下面１２、吸着されていない面（解放面）を右上面１３という（図８参照）。また、搬送方向の前後の面で、下流側を前面、上流側を後面という。
【００４６】
まず電子部品１０は、パーツフィーダ２３０から電子部品１０が供給されるＡ位置では、左下面１１と右下面１２とが吸着溝１６４に嵌め込まれた状態で吸着されて保持されている。この電子部品１０は、第１ディスク１０１のＣ方向への回転により、第２ディスク１０２に受け渡されるＢ位置近傍にまで回転搬送されると、第２ディスク１０２の吸引隙間から吸引されて、電子部品１０の左上面１４と右上面１３とが、第２ディスク１０２の吸着溝１９０に吸着保持される。
【００４７】
これにより、電子部品１０の上下が変換されることになる。なお、第２ディスク１０２と第３ディスク１０３間、第３ディスク１０３と第４ディスク１０４間の受け渡しにおいても、同様に電子部品１０の上下が変換される。
このとき、第１ディスク１０１及び第２ディスク１０２において、電子部品１０の受け渡し位置間の吸着搬送区域以外の範囲（電子部品１０を吸着しない範囲）については、チャンバーの閉止部により回転部の連通孔が塞がれている。このため、受け渡し位置において、第１ディスク１０１では搬送されている電子部品１０の吸引が終了し、逆に第２ディスク１０２では、第１ディスク１０１により搬送されている電子部品１０の吸引が開始される。従って、電子部品１０の受け渡しがスムーズに行えるのである。
【００４８】
（４）吸引力について
電子部品１０の受け渡しは、上述したように、下流のディスクが上流のディスクの吸着溝に吸着保持された電子部品１０を、その吸着面と反対側から吸引して行われる。このため、下流のディスクの電子部品１０の吸引力は、上流のディスクの吸引力より強いことが好ましい。
【００４９】
ただし、電子部品１０の受け渡し位置で、上流のディスクにおける電子部品１０を吸着保持するための吸引力を減少させる上記のような閉止部１７５を設け、さらに上流のディスクと下流のディスクとの間隔を狭くすることで、上流のディスクと下流のディスクの吸引力を略同等にしても、電子部品１０を受け渡しすることもできる。
【００５０】
また、本実施の形態では１台の吸引装置１５０を用いて、各ディスク１０１〜１０４の吸引空間内の空気を吸引している。従って、各ディスク１０１〜１０４のチャンバーの内部と吸引装置１５０とは吸引パイプを介して連通できる状態で連結されており、各吸引パイプに圧力制御弁が取り付けられている。これにより、各ディスク１０１〜１０４における電子部品１０を吸着保持するための吸引力をそれぞれ異なるように制御できるのである。
【００５１】
（５）ディスク径及び回転速度について
各ディスク１０１〜１０４の外径及び回転速度は、電子部品１０の搬送量、電子部品１０の検査内容や回収処理能力等により決定される。すなわち、電子部品１０の搬送量を増やしても検査処理できる場合は、各ディスク１０１〜１０４の回転速度を高めて搬送量を増やせば良い。また、電子部品１０の前後面を撮像する場合には、ディスク径の小さなものを使用すると、電子部品１０の前後面を見えやすくできる。
【００５２】
特に、第３ディスク１０３の径を（第１ディスク１０１又は第２ディスク１０２に対して）充分に小さくすることにより、また、第３ディスク１０３の回転速度を第１ディスク１０１又は第２ディスク１０２の回転速度に対して高くすることにより、搬送されている電子部品１０の吸着保持ピッチをより大きくすることができる。
【００５３】
このため、前後して搬送される電子部品１０の対向面が、互いに重なり合わないようになり、電子部品１０の前後面を撮像するカメラの視野を取りやすくし、六面撮像を高速に行えることを可能にしている。なお、電子部品１０の前後面を、電子部品１０が第３ディスク１０３により搬送されているときに撮像しているが、撮像する時期は、第３ディスク１０３により搬送されている時に限定する必要はなく、例えば、第１ディスク１０１でも良いし、第２ディスクでも良いし、更に第４ディスク１０４でも良い。但し、搬送されている電子部品１０の前後のピッチは、下流側に配されたディスクの方が調整しやすい。
【００５４】
各ディスク１０１〜１０４の回転速度は、第２ディスク１０２により搬送されている電子部品１０の吸着保持ピッチが、第１ディスク１０１での吸着保持ピッチの約２倍に、また、第３ディスク１０３上の吸着保持ピッチが第２ディスク１０２での吸着保持ピッチの約２倍に、そして第３ディスク１０３の吸着保持ピッチと第４ディスク１０４の吸着保持ピッチとが略同じになるように設定されている。なお、本検査装置１により搬送できる電子部品１０の搬送速度は、上記条件では略１５００個／分に設定している。
【００５５】
吸着保持ピッチを下流に移るに従って大きくしているのは、前後の電子部品１０の吸着保持ピッチを拡げて、前後の電子部品１０の対向面を撮像しやすくし、また電子部品１０の回収の際に間違って他の電子部品１０を回収しないようにするためである。
また、各ディスク１０１〜１０４は、その回転速度を調節可能としているので、例えば、第１ディスク１０１に電子部品１が定速度で供給されても、各ディスク１０１〜１０４の回転速度を調節することで、各ディスク１０１〜１０４により搬送される電子部品１の吸着保持ピッチを自在に設定できる。
【００５６】
３．撮像ユニットについて
撮像ユニット３００は、図１、図２及び図４に示すように、電子部品１０の６面を撮像するために６個のカメラが設けられている。このカメラは、具体的には、ＣＣＤカメラが用いられている。カメラフレーム３０１は、図１及び図２に示すように、４本の縦枠と、この４本の縦枠間を前後方向及び左右方向に連結する横枠とから組まれている。
【００５７】
第１カメラ３１０及び第２カメラ３２０は、第１ディスク１０１上の所定位置を搬送されている電子部品１０の左上面１４及び右上面１３に焦点を予め合わせて固定されており、第１検出センサ３７１が電子部品１０を検出すると、電子部品１０の左上面１４と右上面１３とを撮像する。
第１カメラ３１０及び第２カメラ３２０は、カメラフレーム３０１の左右方向の横枠３８１に固定具を介して、カメラの向きを調整できるように取り付けられている。また、第１検出センサ３７１は、第１支持部１２０の前立設板１２１の前面に取り付け具を介して取り付けられている。
【００５８】
第３カメラ３３０及び第４カメラ３４０は、第２ディスク１０２上の所定位置を搬送されている電子部品１０の左上面及び右上面に焦点を予め合わせて固定されており、第２検出センサ３７２が電子部品１０を検出すると、電子部品１０の左上面と右上面とを撮像する。
第３カメラ３３０及び第４カメラ３４０は、図２に示すように、移動テーブル１０６の前後端の受け具３８５により吊持された前後棒３８２に固定具を介して、カメラの向きを調整できるように取り付けられている。また、第２検出センサ３７２は、第２支持部１３０の前立設板１３１の前面に取り付け具を介して取り付けられている。
【００５９】
第５カメラ３５０及び第６カメラ３６０は、第３ディスク１０３上の所定位置を搬送されている電子部品１０の前後面に焦点を予め合わせて固定されており、第３検出センサ３７３が電子部品１０を検出すると、第５カメラ３５０が電子部品１０の前面を撮像し、第４検出センサ３７４が電子部品１０を検出すると、第６カメラ３６０が電子部品１０の後面を撮像する。
【００６０】
第５カメラ３５０及び第６カメラ３６０は、カメラフレーム３０１の前後方向の横棒３８３、３８４に固定具を介して、カメラの向きを調整できるように取り付けられている。また、第３検出センサ３７３及び第４検出センサ３７４は、第１支持部１２０の前立設板１２１の前面に取り付け具を介して取り付けられている。
【００６１】
なお、第１ディスク１０１により搬送されている電子部品１０において左下面１１及び右下面１２であった面は、第１ディスク１０１から第２ディスク１０２に受け渡される際にその上下が変換され、第２ディスク１０２では左上面及び右上面となり、電子部品１０の側面の４面すべてが撮像されることになる。
また、第１〜第４検出センサ３７１〜３７４は、例えば、透過形の光電センサが使用されている。この透過形の光電センサは、図３にも示すように、レーザや赤外線を投光する投光器と、投光されたレーザや赤外線を受光する受光器を備え、投光器と受光器との間を電子部品１０が通過して受光器の受光を遮ることにより、電子部品１０を検出している。なお、検出センサは、反射形のものを使用しても良い。
【００６２】
４．回収ユニットについて
回収ユニット４００は、各電子部品１０の外観検査等に基づいた評価結果に従って、第４ディスク１０４により搬送されている電子部品１０を回収するためのもので、図４に示すように、良品を回収する良品回収ユニット４０１と、再検査品を回収する再検査品回収ユニット４０２と、不良用品を回収する不良品回収ユニット４０３とがある。これらの各回収ユニット４０１〜４０３は、第５検出センサ３７５が電子部品１０を検出すると、その電子部品１０を回収するようになっている。
【００６３】
さらに、必要に応じて第１ディスク１０１の第１検出センサ３７１、第２ディスク１０２の第２検出センサ３７２、第３ディスク１０３の第３検出センサ３７３の下流側に規格外回収ユニット４０４、４０５、４０６が設けられる。
この規格外回収ユニット４０４〜４０６は、各ディスク１０１、１０２、１０３に吸着保持された電子部品１０の姿勢が正規の姿勢と異なるときに、その電子部品１０を回収する。なお、第１ディスク１０１の下流に設けられている規格外回収ユニット４０４は、電子部品１０の姿勢が異なるときだけでなく、吸着保持された電子部品が規格（寸法違い）の異なる電子部品のときも、その電子部品１０を回収するようになっている。
【００６４】
これら回収ユニット４０１〜４０６の構成は、回収する電子部品１０の評価結果が異なるだけで同じである。このため、以下、良品回収ユニット４０１について説明する。
各回収ユニット４０１〜４０６は、搬送ユニット１００の前側に、６個左右方向に並べて設けられているのだが、図１においては、搬送ユニット１００が見えるように５個の回収ユニットを図示を省略している。
【００６５】
図９は、良品回収ユニット４０１の概略図を示し、その内部がわかるように一部を切り欠いた概略図である。良品回収ユニット４０１は、同図に示すように、第４ディスク１０４により搬送されている電子部品１０に対して軸方向からエアを吹き付けるエアノズル４１０と、このエアノズル４１０に対向して配置され且つエアノズル４１０から吹き飛ばされた電子部品１０を回収する回収部４２０とを備えている。
【００６６】
回収部４２０は、同図にも示すように、円筒状の筒４２１と、この筒４２１に連通可能に接続され且つ吹き飛ばされた電子部品１０を筒４２１内に案内する案内ノズル４２２と、筒４２１の下端部に配置され且つ案内された電子部品１０を集める漏斗４２３とを備え、案内ノズル４２２から吸い込まれた電子部品１０は、筒４２１の内部のサイクロン気流により、筒４２１の周壁に沿って旋回しながら落下し、漏斗４２３で集められて回収される。
【００６７】
なお、エアノズル４１０は、図外の空気圧縮機に接続されて圧縮空気が供給される。エアノズル４１０と空気圧縮機の間には電磁弁が設けられており、管理ユニットから電子部品１０の回収指示があると、電磁弁が開くようになっている。
５．管理ユニット
管理ユニットは、各ディスク１０１〜１０４間で電子部品１０が紛失することなく受け渡ししているかを管理したり、第１〜第４検出センサ３７１〜３７４が電子部品１０を検出すると、対応する第１〜第６カメラ３１０〜３６０に撮像を指示したり、各カメラ３１０〜３６０により撮像された結果から外観の検査をしたり、これらの検査結果からその電子部品１０について総合的に評価を行って、その回収を回収ユニット４００に指示したりしている。
【００６８】
ここで、電子部品１０の受け渡しの管理は、各ディスク１０１〜１０４により搬送されている電子部品１０の搬送順序、つまり、各検出センサ３７１、３７２、３７３、３７５の検出順で管理している。第１検出センサ３７１で検出される（第１ディスク１０１による搬送中の）電子部品１０のＩＤ、つまりこの検出の順番を第１ワークＩＤといい、第２検出センサ３７２で検出される（第２ディスク１０２による搬送中の）電子部品１０のＩＤ、つまりこの検出の順番を第２ワークＩＤといい、第３検出センサ３７３で検出される（第３ディスク１０３により搬送中の）電子部品１０のＩＤ、つまりこの検出の順番を第３ワークＩＤといい、第５検出センサ３７５で検出される（第４ディスク１０４により搬送中の）電子部品１０のＩＤ、つまりこの検出の順番を第４ワークＩＤという。
【００６９】
また、各カメラ３１０〜３６０により撮像された検査結果は、例えば、表面にキズがない場合やサイズ、形状に異常がない場合は「ＯＫ」と、逆にキズがある場合やサイズ、形状に異常がある場合には「ＮＧ」となる。第１カメラ３１０の信号に基づいた検査を第１検査といい、その検査結果を第１検査結果という。
以下、第２カメラ３２０から第６カメラ３６０までの検査を、同様に、第２検査、第３検査、第４検査、第５検査、第６検査といい、またそれらの検査結果を、第２検査結果、第３検査結果、第４検査結果、第５検査結果、第６検査結果という。
【００７０】
第１検出センサ３７１が電子部品１０を検出する位置を第１検出位置といい、以下同様に、各検出センサ３７２〜３７５が検出する位置を、第２検出位置、第３検出位置、第４検出位置、第５検出位置という。
さらに、電子部品１０を総合的に評価するとは、例えば、第１から第６検査結果と受け渡しの管理結果とから、その電子部品１０を、「良品」、「不良品」、「再検査品」の何れかと評価することをいう。つまり、「良品」は、搬送時にも問題なくしかも各検査結果の「ＯＫ」が所定数以上の場合であり、「不良品」は、第１〜第６の検査結果がすべて「ＮＧ」の場合であり、「再検査品」は、搬送時に問題がある場合や、各検査結果の「ＯＫ」が所定数より少ない場合である。また、この判断のレベルや検査項目は適宜設定可能である。
【００７１】
（１）構成について
図１０は、管理ユニットの構成を示す機能ブロック図である。
管理ユニット６００は、同図に示すように、第１制御部６１０、第２制御部６２０、第３制御部６３０、第４制御部６４０、第１画像処理判定部６１１、第２画像処理判定部６１２、第３画像処理判定部６２１、第４画像処理判定部６２２、第５画像処理判定部６３１、第６画像処理判定部６３２、記憶部６５０、搬送管理部６６０及び総合評価部６７０を備えている。
【００７２】
ア．第１制御部について
第１制御部６１０は、第１及び第２検査に関連する各種処理を制御するためのもので、第１検出センサ３７１、第１カメラ３１０、第２カメラ３２０及び第１エンコーダ６５１に接続されている。なお、第１エンコーダ６５１は、第２ディスク１０２の回転軸１５１に取り付けられており、回転軸１５１の回転角度の変化量をカウントしている。
【００７３】
第１制御部６１０は、第１検出センサ３７１から電子部品１０を検出した検出信号が入力されると、第１カメラ３１０及び第２カメラ３２０に撮像を指示すると共に、第１エンコーダ６５１から第２ディスク１０２の回転位置を示すカウント値を取得する。
第１制御部６１０は、第１エンコーダ６５１からカウント値を取得すると、第１検出センサ３７１に検出された電子部品１０が、第２検出位置に達するであろう時の第１エンコーダ６５１が測定するカウント値を予測し、その予測値を後述の第１搬送テーブル（図１１参照）に登録する。
【００７４】
この予測値は、例えば、次のようにして算出する。
予測値＝第１カウント値＋第１基準増加値
ここで、第１カウント値は、第１検出位置通過時における第１エンコーダ６５１のカウント値であり、また、第１基準増加値は、電子部品１０が第１検出位置から第２検出位置にトラブル等が無く予定通りに到達する間に第１エンコーダ６５１がカウントするカウント量である。つまり、電子部品１０が搬送中にトラブル無く、第１検出位置から第２検出位置に搬送されたときの、第２検出位置の到達時に取得した第１エンコーダ６５１のカウント値から第１検出位置の通過時に取得した第１エンコーダ６５１のカウント値を差し引いた値である。
【００７５】
なお、この第１基準増加値は、予め試験等により複数計測したその平均値を用いたり、搬送ユニット１００を稼動してから暫く時間を置いて、運転状況が安定した時に測定した値を用いたりしている。
イ．第１画像処理判定部について
第１画像処理判定部６１１は、第１カメラ３１０で撮像されたアナログ信号をデジタルデータに変換し、このデータを処理して外観にキズ等がないかを検査する。ここで行う処理方法は、例えば、２値化処理からキズを検出する公知の方法である。第１画像処理判定部６１１は、上記の処理によりキズの有無、サイズ、形状の異常を検査し、キズやサイズ等の異常が有れば「ＮＧ」と、無ければ「ＯＫ」と判定し、その第１検査結果を記憶部６５０に格納する。なお、この第１検査結果は、第１カメラ３１０が撮像した順番を示した第１ワークＩＤに関連付けられて記憶部６５０に格納される。
【００７６】
ウ．第２画像処理判定部について
第２画像処理判定部６１２は、第２カメラで撮像されたアナログ信号をデジタルデータに変換し、このデータを処理して外観にキズ等がないかを検査する。ここで行う処理方法は、第１画像処理判定部６１１で行う処理と同じであり、得られた第２検査結果も、第１検査結果と同様に、第１ワークＩＤに関連付けられて記憶部６５０に格納される。
【００７７】
エ．第２制御部について
第２制御部６２０は、第３及び第４検査に関連する各種処理を制御するためのもので、第２検出センサ３７２、第３カメラ３３０、第４カメラ３４０、第１エンコーダ６５１及び第２エンコーダ６５２に接続されている。なお、第２エンコーダ６５２は、第３ディスク１０３の回転軸１４５に取り付けられており、回転軸１４５の回転角度の変化量をカウントしている。
【００７８】
第２制御部６２０は、第２検出センサ３７２から電子部品１０を検出した検出信号が入力されると、第３カメラ３３０及び第４カメラ３４０に撮像を指示すると共に、第１エンコーダ６５１から第２ディスク１０２のカウント値と第２エンコーダ６５２から第３ディスク１０３のカウント値とを取得する。
第２制御部６２０は、第１エンコーダ６５１からカウント値を取得すると、第１搬送テーブルの実測値に登録すると共に、第２エンコーダ６５２からカウント値を取得すると、第２検出センサ３７２に検出された電子部品１０が第３検出位置に達するであろう時の第３エンコーダ６５３が測定するカウント値を予測し、その予測値を後述の第２搬送テーブル（図１２参照）に登録する。
【００７９】
なお、予測値は、第１制御部６１０と同様の方法で予測する。すなわち、第１基準増加値に対応する第２基準増加値は、電子部品１０が第２検出位置から第３検出位置にトラブル等が無く予定通りに到達する間に第２エンコーダ６５２がカウントするカウント量である。つまり、電子部品１０が搬送中にトラブル無く、第２検出位置から第３検出位置に搬送されたときの、第３検出位置の到達時に取得した第２エンコーダ６５２のカウント値から第２検出位置の通過時に取得した第２エンコーダ６５２のカウント値を差し引いた値である。
【００８０】
オ．第３画像処理判定部について
第３画像処理判定部６２１は、第３カメラ３３０で撮像されたアナログ信号をデジタルデータに変換し、このデータを処理して外観にキズ等がないかを検査する。ここで行う処理方法は、第１画像処理判定部６１１で行う処理と同じであり、得られた第３検査結果も、第１検査結果と同様に、第２ワークＩＤに関連付けられて記憶部６５０に格納される。
【００８１】
カ．第４画像処理判定部について
第４画像処理判定部６２２は、第４カメラ３４０で撮像されたアナログ信号をデジタルデータに変換し、このデータを処理して外観にキズ等がないかを検査する。ここで行う処理方法は、第１画像処理判定部６１１で行う処理と同じであり、得られた第４検査結果も、第１検査結果と同様に、第２ワークＩＤに関連付けられて記憶部６５０に格納される。
【００８２】
キ．第３制御部について
第３制御部６３０は、第５及び第６検査に関連する各種処理を制御するためのもので、第３検出センサ３７３、第４検出センサ３７４、第５カメラ３５０、第６カメラ３６０、第２エンコーダ６５２及び第３エンコーダ６５３に接続されている。エンコーダ６５３は、第４ディスク１０４の回転軸１５２に取り付けられており、回転軸１５２の回転角度の変化量をカウントしている。
【００８３】
第３制御部６３０は、第３検出センサ３７３から電子部品１０を検出した検出信号が入力されると、第５カメラ３５０に撮像を指示する。また、第４検出センサ３７４から電子部品１０を検出した検出信号が入力されると、第６カメラ３６０に撮像を指示すると共に、第２エンコーダ６５２から第３ディスク１０３のカウント値、第３エンコーダ６５３から第４ディスク１０４のカウント値を取得する。
【００８４】
第３制御部６３０は、第２エンコーダ６５２からカウント値を取得すると、第２搬送テーブルの実測値に登録すると共に、第３エンコーダ６５３からカウント値を取得すると、第３検出センサ３７３に検出された電子部品１０が、第５検出位置に達するであろう時の第３エンコーダ６５３が測定するカウント値を予測し、その予測値を後述の第３搬送テーブル（図１３参照）に登録する。
【００８５】
なお、予測値は、第１制御部６１０と同様の方法で予測する。すなわち、第１基準増加値に対応する第３基準増加値は、電子部品１０が第３検出位置から第５検出位置にトラブル等が無く予定通りに到達する間に第３エンコーダ６５３がカウントするカウント量である。つまり、電子部品１０が搬送中にトラブル無く、第３検出位置から第５検出位置に搬送されたときの、第５検出位置の到達時に取得した第３エンコーダ６５３のカウント値から第３検出位置の通過時に取得した第３エンコーダ６５３のカウント値を差し引いた値である。
【００８６】
ク．第５画像処理判定部について
第５画像処理判定部６３１は、第５カメラ３５０で撮像されたアナログ信号をデジタルデータに変換し、このデータを処理して外観にキズ等がないかを検査する。ここで行う処理方法は、第１画像処理判定部６１１で行う処理と同じであり、得られた第５検査結果も、第１検査結果と同様に、第３ワークＩＤに関連付けられて記憶部６５０に格納される。
【００８７】
ケ．第６画像処理判定部について
第６画像処理判定部６３２は、第６カメラ３６０で撮像されたアナログ信号をデジタルデータに変換し、このデータを処理して外観にキズ等がないかを検査する。ここで行う処理方法は、第１画像処理判定部６１１で行う処理と同じであり、得られた第６検査結果も、第１検査結果と同様に、第３ワークＩＤに関連付けられて記憶部６５０に格納される。
【００８８】
コ．第４制御部について
第４制御部６４０は、第３ディスク１０３から第４ディスク１０４への電子部品１０の管理を行うためのもので、第５検出センサ３７５及び第３エンコーダ６５３に接続されている。第４制御部６４０は、第５検出センサ３７５から電子部品１０を検出した検出信号が入力されると、第３エンコーダ６５３から第４ディスク１０４のカウント値を取得して、第３搬送テーブルの実測値に登録する。
【００８９】
サ．記憶部について
記憶部６５０は、第１〜第６検査結果を各ワークＩＤに対応して記憶すると共に、第１搬送テーブル、第２搬送テーブル、第３搬送テーブル、管理テーブルとを記憶している。ここで、これらのテーブルについて説明する。
図１１は、第１搬送テーブルＴ１の内容を示す図である。
【００９０】
第１搬送テーブルＴ１は、第１ディスク１０１から第２ディスク１０２に電子部品１０が欠品することなく受け渡しできたかを管理するためのものである。つまり、第１ディスク１０１をｎ番目（第１ワークＩＤがｎのもの）に搬送された電子部品１０が第２ディスク１０２でもｎ番目に搬送されたか否かの判定が、このテーブルに格納されている内容に基づいて行われる。
【００９１】
第１搬送テーブルＴ１は、同図に示すように、「第１ワークＩＤ」、「予測値」、「実測値」、「差」、「ワーク認識」及び「第２ワークＩＤ」の欄を有している。「第１ワークＩＤ」は、第１ディスク１０１により搬送される電子部品１０の識別番号で、具体的には、搬送されている電子部品１０が第１検査位置で検出された順番を表す数値を用いている。「予測値」は、第１制御部６１０から電子部品１０の搬送順に格納され、また「実測値」は、第２制御部６２０から第２ディスク１０２により搬送された電子部品１０の搬送順で格納される。
【００９２】
「差」は、「予測値」と「実測値」との差であり、後述の搬送管理部６６０により算出されて格納される。「ワーク認識」には、同じく搬送管理部６６０により判定された搬送結果が格納され、この結果に基づいて「第２ワークＩＤ」が格納される。この搬送結果は、電子部品１０が、予定通り搬送されると「ＯＫ」、予定に対して遅れたり早かったりすると「ＮＧ」、紛失すると「欠品」がそれぞれ格納される。
【００９３】
例えば、第１搬送テーブルＴ１において、第１ワークＩＤが「４」に対応するワーク認識が「欠品」となっているため、第１ワークＩＤが５以降と第２ワークＩＤが４以降とが対応している。つまり、電子部品１０を特定している。
図１２は、第２搬送テーブルＴ２の内容を示す図である。
第２搬送テーブルＴ２は、第２ディスク１０２から第３ディスク１０３に電子部品１０が欠品することなく受け渡しできたかを第３検出位置の通過順で管理するためのものである。つまり、第２ディスク１０２をｎ番目に搬送された電子部品１０が第３ディスク１０３による搬送中においてもｎ番目に搬送されたか否かの判定が、このテーブルに格納されている内容に基づいて行われる。
【００９４】
第２搬送テーブルＴ２は、第１搬送テーブルＴ１と略同様に、「第２ワークＩＤ」、「予測値」、「実測値」、「差」、「ワーク認識」及び「第３ワークＩＤ」の欄を有し、各欄の格納される内容は第１搬送テーブルＴ１の各欄に格納される内容と同じである。
「予測値」は第２制御部６２０から、「実測値」は第３制御部６３０から電子部品１０の通過順にそれぞれ格納される。「差」、「ワーク認識」及び「第３ワークＩＤ」は、搬送管理部６６０により格納される。
【００９５】
図１３は、第３搬送テーブルＴ３の内容を示す図である。
第３搬送テーブルＴ３は、第３ディスク１０３から第４ディスク１０４に電子部品１０が欠品することなく受け渡しできたかを第５検出位置の通過順で管理するためのものである。つまり、第３ディスク１０３をｎ番目に搬送された電子部品１０が第４ディスク１０４による搬送中においてもｎ番目に搬送されたか否かの判定が、このテーブルに格納されている内容に基づいて行われる。
【００９６】
第３搬送テーブルＴ３は、第１搬送テーブルＴ１と略同様に、「第３ワークＩＤ」、「予測値」、「実測値」、「差」、「ワーク認識」及び「第４ワークＩＤ」の欄を有し、各欄の格納される内容は第１搬送テーブルＴ１の各欄に格納される内容と同じである。
「予測値」は第３制御部６３０から、「実測値」は第４制御部６４０から電子部品１０の通過順に格納される。「差」、「ワーク認識」及び「第４ワークＩＤ」は、搬送管理部６６０により格納される。
【００９７】
なお、各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３の「ワークＩＤ」の欄の最大値Ｎは、搬送ユニット１００で搬送される電子部品１０の最大数より大きく設定されている。各ワークＩＤは、自然数が使用され、最大値Ｎを超えると、再び１から始まるようになっている。
図１４は、管理テーブルＴ４の内容を示す図である。管理テーブルＴ４は、同図に示すように、「第１ワークＩＤ」、「第２ワークＩＤ」、「第３ワークＩＤ」、「第４ワークＩＤ」、「ワーク認識」、「結果１」、「結果２」、「結果３」、「結果４」、「結果５」、「結果６」及び「総合評価」の計１２個の欄を備え、これらの内容は、後述の総合評価部６７０により格納される。
【００９８】
シ．搬送管理部について
搬送管理部６６０は、各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３のｎ番目の実測値と予測値との差を算出して、その差が所定範囲内であれば、上流のディスク上をｎ番目に通過した電子部品１０と、下流のディスク上をｎ番目に通過した電子部品１０とが同じ物であるとして、これらに対応する各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３の「ワーク認識」の欄に「ＯＫ」を、また、範囲外であれば、さらに、電子部品１０が欠品しているか否かを判定し、欠品の場合に「ワーク認識」の欄に「欠品」を、それ以外の場合に「ワーク認識」の欄に「ＮＧ」をそれぞれ格納する。
【００９９】
電子部品１０が欠品しているか否かの判定については、後述するが、各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３の「ワークＩＤ」の欄が「ｎ」の実測値と、「ｎ＋ｊ」の予測値との差が所定範囲内の場合に、ｎ番目に上流のディスクを通過した電子部品１０が欠品したと判定する。
ス．総合評価部について
総合評価部６７０は、上記の第１〜第３搬送テーブルＴ１〜Ｔ３から、各ディスク１０１〜１０４上をｎ番目に通過した電子部品１０について特定を行った（この処理を、以下、「ＩＤ特定処理」という。）り、各検出位置で検査された結果（検査結果１から検査結果６）に基づいて、搬送されている電子部品１０について総合的な評価を行った（この処理を、以下、「評価処理」という。）りする。この評価内容は、上述したが、「良品」、「不良品」及び「再検査品」の３種類である。なお、この評価結果は管理テーブルＴ４に格納される。又、必要に応じ、「良品」、「不良品」との評価の間に「グレー品」の評価を入れることも可能である。
【０１００】
（２）管理ユニットの処理内容について
ア．第１制御部について
図１５は、第１制御部６１０の処理内容を示すフローチャートである。第１制御部６１０は、同図に示すように、まず、第１ワークＩＤを示す変数ｎを「１」にし、第１検出センサ３７１から電子部品１０を検出した検出信号があると、第１カメラ３１０及び第２カメラ３２０に撮像するよう指示すると共に、第１エンコーダ６５１から現在のカウント値を取得する（ステップＳ１１０、Ｓ１２０；ＹＥＳ、Ｓ１３０、Ｓ１４０）。
【０１０１】
次に、取得したカウント値に第１基準増加値を加算して、第１検出センサ３７１に検出された電子部品１０が、第２ディスク１０２の第２検査位置に到達する予測値を算出した後、この予測値を第１搬送テーブルＴ１における第１ワークＩＤがｎの「予測値」の欄に格納する（ステップＳ１５０、Ｓ１６０）。
そして、変数ｎに１を加算し（ステップＳ１７０）、加算後の変数ｎが最大値Ｎより小さい場合はステップＳ１２０に移り（ステップＳ１８０；ＹＥＳ）、また加算後の変数ｎが最大値Ｎと等しい場合には、ステップＳ１１０に移る（ステップＳ１８０；ＮＯ）。
【０１０２】
イ．第２制御部について
図１６は、第２制御部６２０の処理内容を示すフローチャートである。第２制御部６２０は、同図に示すように、まず、第２ワークＩＤを示す変数ｎを「１」にし、第２検出センサ３７２から電子部品１０を検出した検出信号があると、第３カメラ３３０及び第４カメラ３４０に撮像するよう指示すると共に、第１エンコーダ６５１と第２エンコーダ６５２とから現在のカウント値を取得する（ステップＳ２１０、Ｓ２２０；ＹＥＳ、Ｓ２３０、Ｓ２４０）。
【０１０３】
次に、第１エンコーダ６５１から取得したカウント値を実測値として第１搬送テーブルＴ１における第１ワークＩＤがｎの「実測値」の欄に格納する（ステップＳ２５０）。また、第２エンコーダ６５２から取得したカウント値に第２基準増加値を加算して、第２検出センサ３７２に検出された電子部品１０が、第３ディスク１０３の第３検査位置に到達する予測値を算出した後、この予測値を第２搬送テーブルＴ２における第２ワークＩＤがｎの「予測値」の欄に格納する（ステップＳ２６０、Ｓ２７０）。
【０１０４】
そして、第２ワークＩＤを示す変数ｎに１を加算して、加算後の変数ｎが最大値Ｎより小さい場合はステップＳ２２０に移り（ステップＳ２９０；ＹＥＳ）、また加算後の変数ｎが最大値Ｎと等しい場合はステップＳ２１０に移る（ステップＳ２９０；ＮＯ）。なお、第３制御部６３０は、第２制御部６２０と同じように、第３ワークＩＤについて処理を行い、第２搬送テーブルに実測値を、第３搬送テーブルに予測値を格納する（詳細な説明は省略）。
【０１０５】
ウ．第４制御部について
図１７は、第４制御部６４０の処理内容を示すフローチャートである。第４制御部６４０は、同図に示すように、まず、第４ワークＩＤを示す変数ｎを「１」にし、第５検出センサ３７５から電子部品１０を検出した検出信号があると、第３エンコーダ６５３から現在のカウント値を取得する（ステップＳ３１０、Ｓ３２０；ＹＥＳ、Ｓ３３０）。次に、第３エンコーダ６５３から取得したカウント値を実測値として第３搬送テーブルＴ３における第３ワークＩＤがｎの「実測値」の欄に格納する（ステップＳ３４０）。
【０１０６】
そして、第４ワークＩＤを示す変数ｎに１を加算して、加算後の変数ｎが最大値Ｎより小さい場合はステップＳ３２０に移り（ステップＳ３５０、Ｓ３６０；ＹＥＳ）、また加算後の変数ｎが最大値Ｎと等しい場合はステップＳ３１０に移る（ステップＳ３６０；ＮＯ）。
エ．搬送管理部について
図１８は、搬送管理部６６０の処理内容を示すフローチャートである。
【０１０７】
搬送管理部６６０は、同図に示すように、まず、第１ワークＩＤを示す変数ｎを、また第２ワークＩＤを示す変数ｋをそれぞれ「１」にし、第１ワークＩＤがｎ＋Ｌ（自然数）に対応する実測値が第１搬送テーブルＴ１に格納されているか否かを判定する（ステップＳ４０１、Ｓ４０２）。
ここで、第１ワークＩＤがｎ＋Ｌに対応する実測値が格納されているかを判定しているのは、後述の第１ワークＩＤがｎの電子部品１０が欠品しているかを判定する際に、その判定精度を高めるために、第１ワークＩＤがｎ＋Ｌに対応する実測値を利用するからである（詳細はステップＳ４３１で説明）。
【０１０８】
第１ワークＩＤがｎ＋Ｌに対応する実測値が第１搬送テーブルＴ１に格納されていない場合には、第１ワークＩＤがｎ＋Ｌの電子部品１０の実測値が格納されるまで待機する（ステップＳ４０２；ＮＯ）。
一方、第１ワークＩＤがｎ＋Ｌに対応する実測値が格納されている場合には、第１ワークＩＤがｎの予測値と実測値との差を算出し、第１搬送テーブルＴ１における第１ワークＩＤがｎの「差」の欄に登録する（ステップＳ４０２；ＹＥＳ、Ｓ４０３）。
【０１０９】
次に、算出した差が許容範囲内か否かを判定する（ステップＳ４０４）。この許容範囲は搬送速度のムラ、第１検出位置と第２検出位置との間の搬送距離、エンコーダの精度等に基づいて決定される。実際は、予備運転を行って統計的な値を採用して決定する。なお、本実施の形態では、この許容範囲は、−１０より大きく１０より小さい範囲としている。
【０１１０】
ａ）電子部品１０が第１検出位置から第２検出位置に予定通り搬送された場合について説明する。つまり、上記の差が許容範囲内の場合は、第１ディスク１０１上の第１検出位置をｎ番目に通過した電子部品１０が、順調に第２ディスク１０２上の第２検出位置に達した場合であり、第１搬送テーブルＴ１の第１ワークＩＤがｎの「ワーク認識」の欄に「ＯＫ」を格納して、「第２ワークＩＤ」のｎ番目に変数ｋの値を格納する（ステップＳ４０４；ＹＥＳ、Ｓ４２０、Ｓ４２１）。そして、変数ｋに１を加算する（ステップＳ４２２）。その後、変数ｎに１を加算してこの変数ｎが最大値Ｎより小の場合はステップＳ４０２に移り（ステップＳ４１３、Ｓ４１２；ＹＥＳ）、逆に変数ｎが最大値Ｎと等しい場合はステップＳ４０１に移る（ステップＳ４１２；ＮＯ）。
【０１１１】
ｂ）第１ディスク１０１の第１検出位置を通過した電子部品１０が、予定通りに第２ディスク１０２の第２検出位置に到達しなかった場合について説明する。ここで、第１検出位置を４番目（第１ワークＩＤが４）に通過した電子部品１０が欠品したとして、図１９を用いて以下説明する。図１９は、欠品時の搬送管理部６６０の処理を説明するための第１搬送テーブルＴ１の内容を示す図である。
【０１１２】
図１８のステップＳ４０４において、前ステップで算出された差（第１ワークＩＤが４の差が「−１０１」）が許容範囲外の場合は、電子部品１０の欠品を判定するのに使用する変数ｊ（自然数）を１とし、第１ワークＩＤがｎ＋ｊの予測値と第１ワークＩＤがｎの実測値との差が許容範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ４０４；ＮＯ、Ｓ４０５、Ｓ４０６）。
【０１１３】
その差が許容範囲内でない場合は、変数ｊに１を加算しこの加算後の変数ｊが最大値Ｊより小さいか否かを判定して、小さい場合にはステップＳ４０６に移る（ステップＳ４０６；ＮＯ、Ｓ４０７、Ｓ４０８；ＹＥＳ）。ここで、ｎ＋ｊの予測値とｎの実測値との差を用いているのは、例えば、第１検出位置をｎ番目からｎ＋ｊ番目に通過したｊ個の電子部品１０が何らかの原因により欠品した場合を考慮しているためである。なお、最大値Ｊは、予め設定された数値であり、予備試験等により、欠品がどの程度連続するかを把握した上で設定される。
【０１１４】
ステップＳ４０８で変数ｊが最大値Ｊと等しい場合は、第１搬送テーブルＴ１の第１ワークＩＤがｎの「ワーク認識」の欄に「ＮＧ」を格納し、また、ｎ番目の「第２ワークＩＤ」の欄に変数ｋの値を格納する（ステップＳ４０８；ＮＯ、Ｓ４０９、Ｓ４１０）。そして変数ｋに１を加算してステップＳ４１３に進む（ステップＳ４１１）。
【０１１５】
一方、ステップＳ４０６において、第１ワークＩＤがｎ＋ｊの予測値とｎ（図１９ではｊが１となる）の実測値との差（ここでは２となる）が許容範囲内である場合は、欠品の判定精度を高める変数ｌ（自然数）を１にして、第１ワークＩＤがｎ＋ｊ＋ｌ（６）の予測値と、第１ワークＩＤがｎ＋ｌ（５）の実測値との差（−１１）が第２の許容範囲内（ここでは−２０から２０の範囲）であるか否かを判定する（ステップＳ４０６；ＹＥＳ、Ｓ４３０、Ｓ４３１）。
【０１１６】
ここで、これまでの許容範囲より広い第２の許容範囲を設定しているのは、搬送路上で欠品が生じた場合、その後続の電子部品１０にも搬送の遅れなどが生じる可能性があるからである。
ステップＳ４３１において、差が第２の許容範囲内の場合は、変数ｌが最大値Ｌより小さいと、変数ｌに１を加算してステップＳ４３１に移る（ステップＳ４３１；ＹＥＳ、Ｓ４３２；ＹＥＳ、Ｓ４３５）。これは、第１ワークＩＤがｎ＋ｊの予測値と、第１ワークＩＤがｎの実測値とが偶然一致する可能性があり、これ以降のＬ個について実測値と予測値との差が第２の許容範囲内かを調べて、偶然性を排除している。
【０１１７】
逆に、ステップＳ４３２において、変数ｌが最大値Ｌと等しい場合は、第１ワークＩＤがｎからｎ＋ｊ−１までのｊ個が欠品と判定され、この第１ワークＩＤがｎの「ワーク認識」の欄に「欠品」を、また、「第２ワークＩＤ」の欄に「−」をそれぞれ格納し（図１１参照）、第１ワークＩＤがｎ以降の各実測値をワークＩＤがｎ＋１以降の各実測値へ格納し直して（ステップＳ４３２；ＮＯ、Ｓ４３３、Ｓ４３４）、ステップＳ４１２に進む。
【０１１８】
なお、ステップＳ４３１において、差が第２の許容範囲外の場合（ＮＯ）は、実際の運転において起こり難い現象であるが、ワークＩＤがｎの電子部品１０が良品にならないように、ステップＳ４０９に進む。
搬送管理部６６０は、以上のような処理を第２搬送テーブルＴ２及び第３搬送テーブルＴ３について行うことで、第１ディスク１０１から第４ディスク１０４により搬送される電子部品１０を特定している。なお、第２搬送テーブルＴ２及び第３搬送テーブルＴ３についての説明は省略する。
【０１１９】
オ．総合評価部について
図２０は、総合評価部６７０のＩＤ特定処理の内容を示すフローチャートである。
総合評価部６７０は、同図に示すように、まず、第１ワークＩＤを示す変数ｎを１にし、第１搬送テーブルＴ１において、第１ワークＩＤが変数ｎに対応する「第２ワークＩＤ」の欄が「−」であるか否かを判定する（ステップＳ５０１、Ｓ５０２）。
【０１２０】
「第２ワークＩＤ」の欄が「−」（例えば第１ワークＩＤが４のとき）である場合は、管理テーブルＴ４の「第２ワークＩＤ」、「第３ワークＩＤ」及び「第４ワークＩＤ」の欄に「−」を格納し、さらに管理テーブルＴ４の「ワーク認識」の欄に「欠品」を格納する（ステップＳ５０２；ＹＥＳ、Ｓ５２０、Ｓ５２１）。
【０１２１】
そして、変数ｎに１を加算してこの変数ｎが最大値Ｎより小の場合は、ステップＳ５０２に移り（ステップＳ５１１、Ｓ５１０；ＹＥＳ）、逆に変数ｎが最大値Ｎと等しい場合には、ステップＳ５０１に移る（ステップＳ５１０；ＮＯ）。ステップＳ５０２において、「第２ワークＩＤ」の欄が「−」でない場合は、第１搬送テーブルＴ１から第１ワークＩＤがｎに対応する「第２ワークＩＤ」の欄に格納されている数値ｎ２を取得し、このｎ２を管理テーブルＴ４における第１ワークＩＤがｎに対応する「第２ワークＩＤ」の欄に格納すると共に、第１ワークＩＤがｎの第１検査結果と第２検査結果とを「結果１」、「結果２」の欄にそれぞれ格納する（ステップＳ５０２；ＮＯ、Ｓ５０３）。
【０１２２】
次に、第２搬送テーブルＴ２において、ｎ２の第２ワークＩＤに対応する「第３ワークＩＤ」の欄が「−」であるか否かを判定する（ステップＳ５０４）。
「第３ワークＩＤ」の欄が「−」である場合は、管理テーブルＴ４の「第３ワークＩＤ」及び「第４ワークＩＤ」の欄に「−」を格納し、さらに管理テーブルＴ４の「ワーク認識」の欄に「欠品」を格納して（ステップＳ５０４；ＹＥＳ、Ｓ５２３、Ｓ５２１）、ステップＳ５１１に進む。
【０１２３】
ステップＳ５０４において、「第３ワークＩＤ」の欄が「−」でない場合は、第２搬送テーブルＴ２から第２ワークＩＤがｎに対応する「第３ワークＩＤ」の欄に格納されている数値ｎ３を取得し、このｎ３を管理テーブルＴ４における第２ワークＩＤがｎ２に対応する「第３ワークＩＤ」の欄に格納すると共に、第２ワークＩＤがｎ２の第３検査結果と第４検査結果とを「結果３」、「結果４」の欄にそれぞれ格納する（ステップＳ５０４；ＮＯ、Ｓ５０５）。
【０１２４】
そして、第３搬送テーブルＴ３において、ｎ３の第３ワークＩＤに対応する「第４ワークＩＤ」の欄が「−」であるか否かを判定する（ステップＳ５０６）。「第４ワークＩＤ」の欄が「−」である場合は、管理テーブルＴ４の「第４ワークＩＤ」の欄に「−」を格納し、さらに管理テーブルＴ４の「ワーク認識」の欄に「欠品」を格納して（ステップＳ５０６；ＹＥＳ、Ｓ５２４、Ｓ５２１）、ステップＳ５１１に進む。
【０１２５】
ステップＳ５０６において、「第４ワークＩＤ」の欄が「−」でない場合は、第３搬送テーブルＴ３から第３ワークＩＤがｎ３に対応する「第４ワークＩＤ」の欄に格納されている数値ｎ４を取得し、このｎ４を管理テーブルＴ４における第３ワークＩＤがｎ３に対応する「第４ワークＩＤ」の欄に格納すると共に、第３ワークＩＤがｎ３の第５検査結果と第６検査結果とを「結果５」、「結果６」の欄にそれぞれ格納する（ステップＳ５０６；ＮＯ、Ｓ５０７）。
【０１２６】
各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３における第３ワークＩＤがｎ３に対応する「ワーク認識」がすべて「ＯＫ」であるか否かを判定する（ステップＳ５０８）。「ワーク認識」が「ＯＫ」でない場合は、管理テーブルＴ４における第４ワークＩＤがｎ４に対応する「ワーク認識」の欄に「ＮＧ」を格納してステップＳ５１１に進む（ステップＳ５０８；ＮＯ、Ｓ５３０）。
【０１２７】
一方、各「ワーク認識」がすべて「ＯＫ」である場合は、管理テーブルＴ４における第４ワークＩＤがｎ４に対応する「ワーク認識」の欄に「ＯＫ」を格納してステップＳ５１１に進む（ステップＳ５０８；ＹＥＳ、Ｓ５０９）。
図２１は、総合評価部６７０の評価処理の内容を示すフローチャートである。総合評価部６７０は、同図に示すように、まず、第４ワークＩＤを示す変数ｎを１にし、管理テーブルＴ４において第４ワークＩＤがｎに対応する「ワーク認識」の欄に「ＯＫ」が格納されている否かを判定する（ステップＳ６０１、Ｓ６０２）。
【０１２８】
「ワーク認識」に「ＯＫ」が格納されている場合は、管理テーブルＴ４における「結果１」から「結果６」までの欄に格納されている「ＯＫ」の数と「ＮＧ」の数とを計数し、「ＯＫ」の数が所定数Ｍ以上であるか否かを判定する（ステップＳ６０２；ＹＥＳ、Ｓ６０３、Ｓ６０４）。なお、所定数Ｍは予め設定されている。
【０１２９】
「ＯＫ」の数が所定数Ｍより小の場合は、「ＮＧ」の数が６であるか否かを判定し、「ＮＧ」の数が６でない場合は、管理テーブルＴ４の「総合評価」の欄に「再検査品」を格納し（ステップＳ６０４；ＮＯ、Ｓ６０５；ＮＯ、Ｓ６０６）、また「ＮＧ」の数が６である場合は、「総合評価」の欄に「不良品」を格納する（ステップＳ６０５；ＹＥＳ、Ｓ６１１）。
【０１３０】
そして、これらの総合評価に対応する回収ユニット４００に、第４検出位置をｎ番目に通過した電子部品１０（つまり、第４ワークＩＤがｎの電子部品１０）の回収を指示し、変数ｎに１を加算してこの変数ｎが最大値Ｎより小であるかを判定する（ステップＳ６０７、Ｓ６０９、Ｓ６０８）。
変数ｎが最大値Ｎより小の場合は、ステップＳ６０２に移り（ステップＳ６０８；ＹＥＳ）、逆に変数ｎが最大値Ｎと等しい場合には、ステップＳ６０１に移る（ステップＳ６０８；ＮＯ）。
【０１３１】
一方、ステップＳ６０４において、「ＯＫ」の数が所定数Ｍ以上である場合に、管理テーブルＴ４の「総合評価」の欄に「良品」を格納してステップＳ６０７に進む（ステップＳ６０４；ＹＥＳ、Ｓ６１０）。なお、ステップＳ６０２において、ワーク認識に「ＯＫ」が格納されていない場合は、電子部品１０が予定通りに搬送されなかった場合で、ステップＳ６０６に進んで、管理テーブルＴ４の「総合評価」の欄に「再検査品」が格納される。
【０１３２】
（検査装置の動作について）
上記構成の検査装置１の動作について、図４を主に用いて説明する。
まず、パーツフィーダ２３０内の電子部品１０は、ボールフィーダ２３１からリニアフィーダ２３２へと定速度で送り出され、搬送ユニット１００の第１ディスク１０１に供給される。第１ディスク１０１上に供給された電子部品１０は、図７に示すように、第１ディスク１０１の外周の吸着溝１６４に吸着保持される。
【０１３３】
このとき、第１ディスク１０１の外周面には、断面Ｖ字型の吸着溝１６４が全周に連続して形成されているので、電子部品１０が４５度傾斜して、その一角がちょうど吸着溝１６４に嵌るように吸引保持される。従って、電子部品１０は、一旦吸着溝１６４に吸着保持されると、その位置が搬送方向と直交する方向に変わりにくく、下流の第２ディスク１０２への受け渡しが容易になる。
【０１３４】
さらに、吸着溝１６４は、外周に連続した１本の溝となっているので、電子部品１０がリニアフィーダ２３２からランダムに供給されても、供給のタイミングに関係なく確実に電子部品１０を吸着保持することができる。
次に、吸着溝１６４に吸着保持された電子部品１０は、第１ディスク１０１の回転により下流側へと搬送され、その途中で、第１検出センサ３７１が電子部品１０を検出すると、第１カメラ３１０及び第２カメラ３２０が電子部品１０の解放面、つまり左上面１４と右上面１３とを撮像すると共に、第１制御部６１０が第１エンコーダ６５１から現在のカウント値を取得し、第２検出位置に到達する予測値を算出して第１搬送テーブルＴ１の「予測値」の欄に格納する。
【０１３５】
この撮像されたアナログ信号は管理ユニット６００に送られる。そして、アナログ信号からデジタルデータに変換し、変換後のデジタルデータを処理して電子部品１０の外観について異常の有無について検査される。
このとき、第１カメラ３１０及び第２カメラ３２０は、電子部品１０が吸着溝１６４に嵌った状態で、吸着溝１６４から張り出した開放面に焦点をあわせているので、常に焦点の合った画像を撮像することができる。
【０１３６】
第１ディスク１０１上で２面を撮像された電子部品１０は、図８に示すように、さらに第１ディスク１０１の回転により下流へと搬送され、Ｂ位置で第１ディスク１０１から第２ディスク１０２に渡される。このとき、第１ディスク１０１は、図６に示すように、回転部１６１の吸引隙間１６９に連通する連通孔１６５を塞ぐ閉止部１７５をチャンバー１６に有しているので、第１ディスク１０１では電子部品１０を吸着保持するための吸引力が弱くなり、また、第２ディスク１０２も、第１ディスク１０１と同様に、チャンバーに閉止部を有しているので、Ｂ位置手前では電子部品１０を吸引せずにＢ位置から吸引を始めるので、電子部品１０の受け渡しが非常にスムーズに行える。
【０１３７】
さらには、第２ディスク１０２における電子部品１０を吸着保持するための吸引力は第１ディスク１０１に比べて強く設定されているので、電子部品１０の受け渡しが正確に行える。また、吸着溝１６４、１９０の断面は、電子部品１０の断面と略同様な形状にしているので、電子部品１０は搬送方向以外に位置ずれし難い。従って、両ディスク１０１、１０２間の距離を接近させることができる。このため、電子部品１０の受け渡しがスムーズに行えると共に、弱い吸引力で受け渡しが可能となる。
【０１３８】
また、各ディスク１０１〜１０４において、吸着搬送区域以外は、チャンバーの閉止部で回転部の連通孔が塞がれ、しかも、チャンバーを前立設板１２１、１３１に固定しているので、吸着搬送区域を簡単な構造で容易に形成できる上、チャンバーの閉止部で貫通孔を塞ぐ範囲を変えることによりその吸着搬送区域を容易に変更することができる。
【０１３９】
図４に戻って、第２ディスク１０２の吸着溝１９０に吸着保持された電子部品１０は、第２ディスク１０２の回転により下流側へと搬送され、第２検出センサ３７２がその電子部品１０を検出すると、第３カメラ３３０及び第４カメラ３４０が電子部品１０の開放面、つまり右上面及び左上面を撮像すると共に、第２制御部６２０は、第１エンコーダ６５１と第２エンコーダ６５２からカウント値を取得して、第１エンコーダ６５１のカウント値を第１搬送テーブルＴ１の「実測値」の欄に、また第２エンコーダ６５２のカウント値から第４検出位置に到達する予測値を算出して第２搬送テーブルＴ２の「予測値」の欄にそれぞれ格納する。この撮像された信号は管理ユニット６００に送られ、外観の異常の有無について検査される。
【０１４０】
右上面及び左上面を撮像された電子部品１０は、さらに下流へと搬送され、第３ディスク１０３へと渡される。この際の電子部品１０の受け渡しも、第３ディスク１０３の周面に吸着溝が形成されているので、上述した通り、電子部品１０の受け渡しがスムーズに行える。
第３ディスク１０３に渡された電子部品１０は、第３ディスク１０３の回転により下流へと搬送され、第３検出センサ３７３が電子部品１０を検出すると、第５カメラ３５０が電子部品１０の前面を撮像すると共に、第３制御部６２０は、第２エンコーダ６５２と第３エンコーダ６５３からカウント値を取得して、第２エンコーダ６５２のカウント値を第２搬送テーブルＴ２の「実測値」の欄に、また第３エンコーダ６５３のカウント値から第５検出位置に到達する予測値を算出して第３搬送テーブルＴ３の「予測値」の欄に格納する。この撮像された信号は管理ユニット６００へ送られる。そして、電子部品１０はさらに下流へと搬送され、第４検出センサ３７４が電子部品１０を検出すると、第６カメラ３６０が電子部品１０の後面を撮像する。
【０１４１】
前後面を撮像された電子部品１０は、さらに下流へと搬送され、第４ディスク１０４へと渡される。この際の電子部品１０の受け渡しも、第４ディスク１０４の外周面に吸着溝が形成されているので、上述した通り、電子部品１０の受け渡しがスムーズに行える。
第４ディスク１０４に渡された電子部品１０は、第４ディスク１０４の回転により下流へと搬送され、第５検出センサ３７５が電子部品１０を検出すると、第４制御部６４０は、第３エンコーダ６５３からカウント値を取得して、このカウント値を第３搬送テーブルＴ３の「実測値」の欄に格納する。
【０１４２】
なお、搬送管理部６６０は、各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３に予測値及び実測値が格納されると、実測値と予測値の差を算出し、各ディスク１０１〜１０４上の電子部品１０が予定通り搬送されたか等を判定すると共に、電子部品１０の特定を行って、各搬送テーブルＴ１〜Ｔ３内に格納する。
そして、電子部品１０がさらに下流へと搬送される間に、管理ユニット６００では、第１から第６カメラ３６０で撮像された信号を基に検査を行ったり、各ディスク１０１〜１０４により搬送された電子部品１０の特定を行ったりする。そして、これらの結果から電子部品１０について、「良品」、「不良品」及び「再検査品」の何れかに評価を行う。この評価結果に基づいて、つまり、良品の場合には良品回収ユニット４０１により、不良品の場合には不良品回収ユニット４０３により、また、再検査品の場合には再検査品回収ユニット４０２により、評価別に回収される。
【０１４３】
このとき、電子部品１０を回収する回収ユニット４００は、筒４２１内のサイクロン気流を利用して、電子部品１０を筒４２１内で旋回させるため、回収時における電子部品１０に作用する衝撃力等を和らげることができ、破損を未然に防ぐことができる。
（変形例）
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明の内容が、上記各実施形態に示された具体例に限定されないことは勿論であり、例えば以下のような変形例を実施することができる。
【０１４４】
１．隣接する回転体の位置関係について
上記の実施の形態では、図８に示すように、上流の回転体の溝とその下流の回転体の溝とが同一平面内となるように両回転体が配置されている。これは、実施の形態の説明に使用した直方体物品の形状が、搬送方向に対して直交する面の形状が正方形（０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）をしているためである。
【０１４５】
しかしながら、本搬送手段が検査できる直方体物品における搬送方向に直交する断面形状は正方形に限定するものではない。例えば、直方体物品の搬送方向に直交する面の形状が長方形の場合等における直方体物品の寸法変更の際には、図２２に示すように、第１ディスク１０１の吸着溝１６４と第２ディスク１０２の吸着溝１９０とを、軸方向にＬだけずらすと共に、上下移動させることにより対応することができる。
【０１４６】
なお、本搬送ユニット１００における第２ディスク１０２は、上記実施の形態においても記述したように、第１ディスク１０１に対して遠近する方向及び軸方向にそれぞれ移動できる機構を有している。また、第１の実施の形態では、第１ディスク１０１及び第３ディスク１０３を回転可能に固定配置し、第２ディスク１０２及び第４ディスク１０４を軸方向及び軸間方向に移動自在に設けているが、例えば、第１ディスク１０１及び第３ディスク１０３を軸方向及び軸間方向に移動可能に設け、第２ディスク１０２及び第４ディスク１０４を固定配置しても良い。この場合も同様の効果を得ることができる。
【０１４７】
２．回転体の数について
上記の実施の形態において、搬送ユニットは、回転体を第１の回転体から第４の回転体の４個備えているが、５個以上備えても良い。勿論回転体が３個でも同様に実施できると共に同様な効果が得られる。また、回転体の多数個にすると、直方体物品の吸着保持ピッチを容易且つ複数設定することができる。
【０１４８】
さらに、直方体物品を２回搬送させて６面全てを検査しても良い。この場合、搬送中の直方体物品に方向性があるので、例えば、１回目の搬送で直方体物品の側面の４面を、２回目の搬送で前後面の２面を検査することもできる。この場合は、直方体物品を搬送手段により２回搬送することで、例えば、画像処理判定部は第１〜第４まであれば良く、上記の実施の形態のように第１〜第６まで備える必要はない。
【０１４９】
３．吸引隙間について
上記の実施の形態において、吸引隙間は、溝の底部に全周にわたって連続状に形成されているが、回転体の溝に直方体物品を確実に吸引できれば連続状にしなくても良い。このような例としては、回転体の溝の底部に、回転部の連通孔と連通する吸引孔を周方向に間隔をおいて設けるような場合が考えられる。但し、周方向に形成された吸引孔のピッチは、直方体物品の搬送方向の寸法より小である必要があり、さらには直方体物品における搬送方向の寸法の１／２以下であることが好ましい。
【０１５０】
４．調整手段について
上記の実施の形態では、回転部の連通孔をチャンバーの閉止部により塞いで、直方体物品を吸着溝に吸着して搬送する吸着搬送区域を形成しているが、他の方法で吸着搬送区域を形成しても良い。
このような方法としては、回転部の吸引隙間に規制板を挿入する方法が考えられる。図２３は、上記の実施の形態に規制板を適用させたときの、図８におけるＢ位置を正面から見た拡大図である。同図に示すように、第１ディスク１０１には、第２ディスク１０２に最も近接する位置（以下、単に「最近接位置」という。）付近に、電子部品１０を吸着溝１６４に吸着保持するための吸引力を規制するための規制板１８８が回転部１６１の吸引隙間１６９に第１ディスク１０１の外側から挿入され、電子部品１０を吸引するための吸引通路を塞いでいる。これにより、第１ディスク１０１に電子部品１０を吸引保持するための吸引力を弱めて、電子部品１０が第２ディスク１０２側に吸引され易いようにしている。
【０１５１】
また、第２ディスク１０２にも同様に、第１ディスク１０１に最も近づく最近接位置付近に、電子部品１０を吸引溝１９０に吸着保持するための吸引力を規制するための規制板１８９が回転部の吸引隙間に外側から挿入されている。これにより、第２ディスク１０２に電子部品１０を吸着保持するための吸引力を弱めて、第１ディスク１０１により回転搬送されている電子部品１０が第２ディスク１０２に近接する前に第１ディスク１０１に吸着保持されている電子部品１０を吸着しないようになっている。
【０１５２】
これらの規制板１８８、１８９により、第１ディスク１０１に吸着保持された電子部品１０は、最近接位置に近づくと、第１ディスク１０１の吸着溝１６４に吸着される吸引力が弱められる。そしてこの吸引力が弱められたときに、電子部品１０が第２ディスク１０２の吸引隙間から吸引されるので、電子部品１０の受け渡しがスムーズにできるのである。なお、上記のような規制板１８８、１８９を第３ディスク１０３、第４ディスク１０４にも同様に使用することで、第１ディスク１０１から第４ディスク１０４まで全体を通して電子部品１０の受け渡しがスムーズにできる。
【０１５３】
この規制板は、隣接する回転体において、その上流及び下流の回転体に挿入されているが、例えば、隣接する回転体の上流又は下流だけでも良い。すなわち、隣接する回転体において、上流の回転体に規制板を挿入して、上流側の回転体から直方体物品が離れ易くしたり、下流側の回転体における吸引力を高め、下流の回転体に規制板を挿入して、最近接位置付近から下流の回転体に直方体物品を吸引したりすることで、本実施の形態と略同様の効果を得ることができると考えられる。
【０１５４】
なお、直方体部品が、上記の実施の形態のようにその大きさが小さい場合には、当然回転体の外周に形成される吸着溝及び吸引隙間も小さくなる。従って、その吸引隙間に規制板を挿入するのが難しく、さらに、吸引隙間と規制板との摩耗の対策等が必要となる。これに対して実施の形態で説明したチャンバーの閉止部では、前述のような問題は生じない。
【０１５５】
５．吸引力について
上記の実施の形態では、各回転体において、上流から下流へと移るに従って、直方体物品を吸引保持するための吸引力を強くしている。しかし、隣接する回転体において、下流の回転体における吸引保持するための吸引力が上流の回転体におけるその吸引力より高くすることが望ましい。つまり、直方体物品が上流の回転体から下流の回転体へとＳ字状にスムーズに移るには、ある程度の吸引力の差があることが望ましい。
【０１５６】
なお、下流の回転体における直方体物品を吸着保持するための吸引力が強すぎると、直方体物品が下流の回転体に充分接近する前に受け渡される可能性があり、直方体物品の受け渡し時の移動量が大きく受け渡しの失敗につながる。従って、各回転体の吸引力は予備試験等により決定するのが好ましい。
６．管理ユニットについて
上記の実施の形態において、隣接する各ディスク１０１〜１０４間で行われる直方体物品の受け渡しを、第２ディスク１０２、第３ディスク１０３及び第４ディスク１０４の各回転軸１４５、１５１、１５２に取り付けたエンコーダ６５１〜６５３のカウント値を用いて管理しているが、エンコーダ６５１〜６５３のカウント値以外の値を用いても同様に実施できる。このような値としては、搬送の送りに従って変化する変化量を測定する測定値であれば良く、例えば時間がある。この場合、検出位置を通過した時間と、次の検出位置を通過する時間とを計時カウンタから取得し、また、基準増加値として、直方体物品が検出位置から次の検出位置まで搬送される時間を用いれば良い。
【０１５７】
７．直方体物品の特定について
上記の実施の形態では、所定の検出位置をｎ番目に通過した直方体物品が次の検出位置に至るまでに紛失した場合について説明したが、例えば、第１検出位置と第２検出位置の間で異物が混入した場合（以下、単に「混入」といい、混入した物品を「混入品」という。）でも、第１検出位置をｎ番目に通過した直方体物品を第２検出位置に到達時に特定できる。この場合、ｎ番目の予測値と前記ｎ番目の実測値との差が所定範囲外のときに、ｎ＋ｋ番目（ｋは、自然数）の直方体物品の実測値と、ｎ番目の直方体物品の予測値との差が前記所定範囲内の場合に、ｎ番目に第１検出位置を通過した直方体物品が、ｎ＋ｋ番目に第２検出位置を通過したと特定するようにすれば良い。
【０１５８】
より具体的には、図１８において以下の４つのステップを変更すればできる。（１）ステップＳ４０６で、欠品の場合は、ワークＩＤがｎの実測値と、ワークＩＤがｎ＋ｊの予測値との差を算出しているが、混入の場合は、ワークＩＤがｎ＋ｊの実測値と、ワークＩＤがｎの予測値との差を算出するように変更する。（２）ステップＳ４３１で、欠品の場合は、ワークＩＤがｎ＋ｌの実測値と、ワークＩＤがｎ＋ｌ＋ｊの予測値との差を算出しているが、混入の場合は、ワークＩＤがｎ＋ｌ＋ｊの実測値と、ワークＩＤがｎ＋ｌの予測値との差を算出するように変更する。
【０１５９】
（３）ステップＳ４３３で、欠品の場合は、ワークＩＤがｎのワーク認識に「欠品」を格納しているが、混入の場合は、ワークＩＤがｎのワーク認識に「混入品」を格納するように変更する。
（４）ステップＳ４３４で、欠品の場合は、ワークＩＤがｎ以降の実測値をワークＩＤがｎ＋１にずらしているが、混入の場合は、ワークＩＤがｎ以降の予測値をワークＩＤがｎ＋１にずらすように変更する。
【０１６０】
上記のように構成することで、所定の検出位置をｎ番目に通過した直方体物品が、次の検出位置に到達する前に、ｎ番目の直方体物品の前に異物が混入した場合でも、所定の検出位置をｎ番目に通過した直方体物品を特定できる。
【０１６１】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る検査装置は、複数の回転体を備え、各回転体の外周面に直方体物品をその検査面を解放状態にして吸着し搬送する搬送手段と、搬送中の前記直方体物品の解放面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記直方体物品の外面検査を行う判定手段とを備えた直方体物品の検査装置であって、前記各回転体は、その外周面に周方向に連続する断面略Ｖ字型の溝と、当該溝に連通する吸引隙間及び／又は吸引孔とを有し、当該吸引隙間内及び／又は吸引孔内を吸引することにより、前記直方体物品が、その１個の角部を前記Ｖ字型の溝に嵌め込んだ状態で吸着されているので、直方体物品は、搬送手段で吸着されているので位置ずれし難くなる。このため、例えば、搬送中の直方体物品の外観を撮像手段で撮像する際にも、確実且つ正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における検査装置の概略を示す正面図である。
【図２】本発明の実施の形態における検査装置の概略を示す右側面図である。
【図３】本発明の実施の形態における搬送ユニットの斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態における搬送ユニットの正面図である。
【図５】本発明の実施の形態における第１ディスクの一部を切り欠いた正面図である。
【図６】図５のＸＯＸ線における第１ディスクの断面図である。
【図７】本発明の実施の形態における吸着溝の拡大断面図である。
【図８】本発明の実施の形態における電子部品の受け渡しを説明するための説明図である。
【図９】本発明の実施の形態における回収ユニットの一部を切り欠いた概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態における管理ユニットの構成を示す機能ブロック図である。
【図１１】本発明の実施の形態における第１搬送テーブルの内容を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態における第２搬送テーブルの内容を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態における第３搬送テーブルの内容を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態における管理テーブルの内容を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態における第１制御部の処理内容を示すフローチャート図である。
【図１６】本発明の実施の形態における第２制御部の処理内容を示すフローチャート図である。
【図１７】本発明の実施の形態における第４制御部の処理内容を示すフローチャート図である。
【図１８】本発明の実施の形態における搬送管理部の処理内容を示すフローチャート図である。
【図１９】本発明の実施の形態における欠品時の搬送管理部の処理を行うときの管理テーブルの内容を示す図である。
【図２０】本発明の実施の形態における総合評価部のＩＤ特定処理内容を示すフローチャート図である。
【図２１】本発明の実施の形態における総合評価部の評価処理内容を示すフローチャート図である。
【図２２】本発明の変形例における電子部品の受け渡しを説明するための説明図である。
【図２３】本発明の変形例における電子部品の受け渡し位置周辺の拡大図である。
【符号の説明】
１ 検査装置
１０ 電子部品
１００ 搬送ユニット
１０１ 第１ディスク
１０２ 第２ディスク
１０３ 第３ディスク
１０４ 第４ディスク
１５０ 吸引装置
１６４、１９０ 吸着溝
１６５ 連通孔
１６９ 吸引隙間
１７５ 閉止部
１８８、１８９ 規制板
３００ 撮像ユニット
３１０ 第１カメラ
３２０ 第２カメラ
３３０ 第３カメラ
３４０ 第４カメラ
３５０ 第５カメラ
３６０ 第６カメラ
６００ 管理ユニット

Claims (6)

1. 複数の回転体を備え、各回転体の外周面に直方体物品をその検査面を解放状態にして吸着し搬送する搬送手段と、搬送中の前記直方体物品の解放面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記直方体物品の外面検査を行う判定手段とを備えた直方体物品の検査装置であって、
   前記各回転体は、その外周面に周方向に連続する断面略Ｖ字型の溝と、当該溝に連通する吸引隙間及び／又は吸引孔とを有し、
   当該吸引隙間内及び／又は吸引孔内を吸引することにより、前記直方体物品が、その１個の角部を前記Ｖ字型の溝に嵌め込んだ状態で吸着され、
   前記複数の回転体は、その外周面を互いに近接させて配置され、前記直方体物品は、その吸着面が受け渡し時に上下に反転しながら、第１から第２、第３の回転体へと順次Ｓ字状に搬送されると共に、前記第１から第３までの３個の回転体の内、１つの回転体は、他の２個の回転体よりも小さい寸法の外径とし、
   前記撮像手段は、前記他の２個の回転体のそれぞれにより搬送されている直方体物品の搬送方向に平行な側面となる第１面と第２面、または第３面と第４面を撮像すると共に、前記１つの回転体により搬送されている直方体物品の搬送方向に直交する前後面となる第５面と第６面を撮像する
   ことを特徴とする直方体物品の検査装置。
2. 前記複数の回転体のうち下流側の回転体ほど、前記直方体物品を吸着保持する吸引力が、当該回転体の上流にある回転体における前記直方体物品を吸着保持する吸引力よりも強い
   ことを特徴とする請求項１に記載の直方体物品の検査装置。
3. 前記複数の回転体は、前記直方体物品の受け渡し位置において前記直方体物品の吸引力を調整する調整手段を備えている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の直方体物品の検査装置。
4. 第１の回転体の上流側に前記直方体物品を整列搬送するパーツフィーダを備え、当該パーツフィーダから前記直方体物品を前記第１の回転体に供給し、当該第１の回転体の回転速度を調節することにより、前記直方体物品を吸着保持するピッチを調節している
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の直方体物品の検査装置。
5. 前記直方体物品をサイクロン方式で回収する回収手段を備える
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の直方体物品の検査装置。
6. 前記第１及び前記第３の回転体、又は前記第２の回転体は回転可能に所定位置に固定配置され、前記第２の回転体、又は前記第１及び前記第３の回転体は、当該軸方向に移動自在であると共に、前記第２の回転体と前記第１の回転体との軸間距離及び前記第２の回転体と前記第３の回転体との軸間距離、又は前記第１の回転体及び前記第３の回転体と前記第２の回転体との軸間距離も移動自在であり、
   前記搬送手段は、前記第２の回転体、又は前記第１及び第３の回転体における前記軸方向の位置及び前記軸間距離の調整により、直方体物品の寸法変更に対応する
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の直方体物品の検査装置。

Images