JP2000157935A

JP2000157935A - 部品の検査方法及びその装置

Info

Publication number: JP2000157935A
Application number: JP10336239A
Authority: JP
Inventors: Goushiyo Nagata; 剛将永田
Original assignee: Yamato Co Ltd
Current assignee: Yamato Co Ltd
Priority date: 1998-11-26
Filing date: 1998-11-26
Publication date: 2000-06-13

Abstract

(57)【要約】【課題】部品の切出し制御を必要とせず部品を個別に
且つ高速で外観検査し、検査の良否に従って部品を高速
選別することができる部品検査方法及びその装置を提供
する。【解決手段】チップ部品1を直列に搬送するリニアパー
ツフィーダ4と、そのリニアパーツフィーダ4の終端部に
対向して設けられる吸引ノズル7と、その吸引ノズルの
下流側に分岐して形成される２つの吸引通路12a,12b
と、吸引ノズル7に向けて個別に飛走するチップ部品1を
撮像するＣＣＤカメラ6と、そのＣＣＤカメラ6によって
撮像された画像を高速処理して良否判定信号を出力する
画像検査部17と、その画像検査部17から出力される良否
判定信号に基づいてチップ部品1を、２つの吸引通路12a
または12bに振り分ける振分ユニット13とを備えてなる
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検査部品を外観検
査装置に搬送し、外観検査の判定結果に応じてその検査
部品を選別する処理を、高速且つ正確に行うことのでき
る部品検査方法及びその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、情報通信やデジタルＡＶ分野にお
ける電子機器については電子部品が高密度で実装されて
おり、特に抵抗器、コンデンサ、インダクタ等のチップ
部品については極小化が進んでいる。現在、この種のチ
ップ部品は1×0.5mmサイズのものが定着しているが、今
後は、0.6×0.3mmサイズのものが主流になると予想され
ている。

【０００３】上記チップ部品は、月産数千万個で量産さ
れることが予想されているため、そのような生産ペース
に対応して高速でチップ部品の外観検査を行うことので
きる検査装置が要望されている。

【０００４】チップ部品の外観検査は、通常、ＣＣＤカ
メラを用いた画像処理によって行われており、例えば特
開平8−75667号公報に記載のチップ部品外観検査装置や
特開平7−88442号公報に記載のワークの外観検査装置が
知られている。

【０００５】前者の検査装置は、チップ部品を収納する
インデックスを円周部に有する２つの円盤状のインデッ
クステーブルを並べて設け、チップ部品を第１のインデ
ックステーブルから第二のインデックステーブルに移載
することによってチップ部品の表面と裏面について外観
検査を行うことができるようになっている。

【０００６】後者の検査装置は、電子部品を１個ずつ落
下させる部品切出機を備えており、落下する電子部品の
側面を４台のＣＣＤカメラで撮像し、各カメラを通じて
得られた画像データを標準パターンと比較することによ
り外観の良否を判定し、良否に応じて電子部品を振り分
けることができるようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
検査装置ではチップ部品をインデックステーブルのイン
デックスに収納する工程とテーブル間で移載する工程が
必要であるため、高速処理に適さないという問題があ
る。

【０００８】また、後者の検査装置では、電子部品を１
個ずつ分離させて撮像するために部品切出機３を備える
必要があり、その部品切出機３は、図６に示されている
ように、複数の押付ピン２２，２３や蓋板２４から構成
され、判定処理部９からの制御信号でそれらの動作タイ
ミングを制御しなければならないものであるため、構造
が複雑になるという欠点がある。また、この検査装置に
おいても、電子部品を１個ずつ分離する際に押付ピンで
電子部品を止めているため、高速処理に適さないという
問題がある。

【０００９】本発明は以上のような従来の検査装置にお
ける課題を考慮してなされたものであり、部品の切出し
制御を必要とせず検査部品を個別に搬送することがで
き、外観検査を行なった後、良否に応じて検査部品を選
別するまでを高速且つ正確に処理することができる部品
検査方法及びその装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の部品検査方法
は、検査部品を直列に搬送し、搬送される検査部品の先
頭から吸引ノズルで吸引することにより検査部品を個別
に飛走させ、飛走中にその検査部品を撮像することによ
り外観検査を行い、検査結果に応じて良品と不良品を吸
引ノズルの下流側で分岐する２つの吸引通路に振り分け
る部品検査方法である。

【００１１】本発明の部品検査装置は、検査部品を直列
に搬送する搬送手段と、その搬送手段の終端部に対向し
て設けられ、吸引することにより検査部品を個別に飛走
させる吸引手段と、その吸引手段の下流側に分岐して形
成される２つの吸引通路と、搬送手段の終端部と吸引手
段との間で飛走される検査部品を撮像するカメラと、そ
のカメラによって撮像された画像を高速処理することに
より外観検査を行い、良否を判定する画像検査手段と、
その画像検査手段による判定結果に応じて吸引手段から
吸引された検査部品を２つの吸引通路に振り分ける振分
手段と、を備えてなることを特徴とする部品検査装置。

【００１２】上記搬送手段は、Ｖ字溝からなる搬送路を
備えた振動フィーダから構成することが好ましく、搬送
路の先端部は無振動構造に構成することが好ましい。

【００１３】本発明において、吸引手段による吸引力を
調整する吸引力調整手段を備えることが好ましく、２つ
の吸引通路にはそれぞれ第二の吸引手段を備えることが
好ましい。また、吸引手段による気流を整流して第二の
吸引手段による気流と連絡させる整流手段を備えること
が好ましい。

【００１４】上記振分手段の一具体例としては、２つの
吸引通路の一方を遮断する遮断弁及びその遮断弁を作動
させるアクチュエータが示される。

【００１５】本発明において、２つの吸引通路における
良品吸引側の吸引通路の吸引力は、不良品を吸引する吸
引通路の吸引力よりも高い値に設定することが好まし
い。

【００１６】本発明の部品検査方法に従えば、吸引ノズ
ルで吸引すると、搬送されてくる検査部品がその先頭か
ら個別に飛走されて外観検査され、良否が判定された検
査部品は、２つの吸引通路に振り分けられて吸引され
る。それにより外観検査の処理を高速で行うことが可能
になる。

【００１７】本発明の部品検査装置に従えば、搬送手段
によって検査部品が直列に搬送され、搬送手段の終端部
に到達した検査部品は吸引手段によって吸引され、先頭
から個別に飛走する。カメラは飛走中の検査部品を撮像
し、画像検査手段は撮像した画像を高速処理して検査部
品の良否を判定する。良否が判定された検査部品は、振
分手段により、吸引手段の下流側に設けられている２つ
の吸引通路に振り分けられる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面に示した実施形態に基
づいて本発明を詳細に説明する。

【００１９】図１は、本発明の検査装置によって検査さ
れる角形チップ抵抗器（検査部品）１の外観を示したも
のである。この角形チップ抵抗器（以下、チップ部品と
呼ぶ）１は、長辺0.6mm×短辺0.3mm×高さ0.3mmからな
るブロック状に形成されており、上面１ａの両縁部には
電極１ｂ，１ｂが形成されている。なお、本実施形態に
おいてチップ部品１は矢印Ａ方向に搬送される。

【００２０】図２は本発明の検査装置の全体構成を平面
から示したものである。同図において、チップ部品１
は、内面に螺旋溝２ａが形成されている円筒状ホッパー
２内に一旦蓄えられ、その円筒状ホッパー２を矢印Ｂ方
向に回転させることにより、高周波振動機に支持された
ボウル３上に所定量ずつ投入される。

【００２１】ボウル３にはその周壁に沿ってスパイラル
状に上昇するトラック３ａが形成されており、そのトラ
ック３ａは外周側に向けて若干傾斜している。従って、
ボウル３を支持している高周波振動機を駆動させると、
ボウル３上にあるチップ部品１は、トラック３ａ上を矢
印Ｃ方向に周回しながら移動し、その間にチップ部品１
の移送量が調節されるとともにその姿勢が整えられるよ
うになっている。

【００２２】上記トラック３ａの終端３ｂは、リニアパ
ーツフィーダ（振動フィーダ）４のトラフ４ａに連絡し
ており、姿勢が整えられた各チップ部品１は、そのトラ
フ４ａ上を直列に連なった状態で矢印Ｄ方向に移動す
る。

【００２３】図３は図２のＥ−Ｅ矢視断面図を示してい
る。同図において、トラフ４ａは、階段状に形成された
段付き面４ｂを有し、その段付き面４ｂを約４５°傾斜
させることによってＶ字状の溝４ｃを構成している。そ
して、そのＶ字状溝４ｃに沿ってチップ部品１を滑動さ
せるようになっている。それにより、Ｖ字状溝４ｃを搬
送する各チップ部品１の中心位置１ｃが揃えられる。な
お、５はトラフ４ａに沿って配置される帯板状の脱落防
止プレートであり、ねじ５ａを介してトラフ４ａに取り
付けられ、チップ部品１が移動中に脱落しないようにし
ている。

【００２４】また、トラフ４ａの先端にはトラフ４ａと
同じ断面形状を有しているが、トラフ４ａとは縁が切れ
た状態で近接配置される無振動トラフ４ｄ（図２参照）
が設けられており、Ｖ字状溝４ｃを滑動することによっ
て中心位置が揃えられたチップ部品１をさらに安定姿勢
で飛走させることができるようになっている。

【００２５】図２において、無振動トラフ４ｄの先端か
ら所定距離ｓ離れた位置には吸引ノズル７のノズル孔が
対向配置されており、無振動トラフ４ｄ上を移動するチ
ップ部品１の先頭から吸引を行うようになっている。上
記トラフ４ａ及び無振動トラフ４ｄは搬送手段とみなす
ことができる。

【００２６】上記吸引ノズル７はジェットポンプ８に接
続されており、そのジェットポンプ８は第一の架台９に
支持されている。第一の架台９は矢印Ｆ方向に移動でき
るようになっており、上記した所定距離ｓを伸縮させる
ことができるようになっている。上記吸引ノズル７及び
ジェットノズル８は吸引手段と、第一の架台９は吸引力
調整手段とみなすことができる。

【００２７】上記ジェットポンプ８は、図４に示すよう
に、圧縮空気を空気導入口８ａから導入し、吐出パイプ
８ｂから高速で噴射させ、それによって吸引ノズル７の
吸引口７ａから空気を同伴させて吸引する構成のもので
ある。従って、吸引ノズル７から吸引が行われると、ト
ラフ４ａ上を移動するチップ部品１が、順次、その先頭
から吸引され、吸引ノズル７の吸引口に向けて個別に飛
走する。チップ部品１が飛走する、無振動トラフ４ｄの
先端と吸引ノズルの吸引口７ａとの間には、チップ部品
１の飛走中にその４側面を撮像するためのＣＣＤカメラ
６（図２参照）が４基配置されている。

【００２８】図２において、ジェットポンプ８の吐出パ
イプ８ｂはその下流側に配置される透明チューブ１０の
先端に取り付けられた接続用パイプ１０ａと連絡してい
る。ただし、吐出パイプ８ｂと接続用パイプ１０ａとは
間隙を設けて同軸に配置されており、ジェットポンプ８
による吸引力過剰分をその間隙から放出することによ
り、下流側のジェットポンプ２０，２２による吸引を円
滑に行えるようになっている。

【００２９】接続用パイプ１０ａは第二の架台１１によ
って支持されており、この第二の架台１１は上記した第
一の架台９と連動するようになっている。

【００３０】透明チューブ１０の後端部１０ｂには２つ
の吸引通路を備えた通路ユニット１２が接続されてお
り、その通路ユニット１２に振分手段としての振分ユニ
ット１３が備えられている。

【００３１】図５において、通路ユニット１２は透明の
樹脂製ブロックからなり、その内部に直線通路１２ａ
と、その直線通路１２ａの略中間位置で直線通路１２ａ
に対して略３０°の角度に分岐する分岐通路１２ｂが穿
設されている。また、両通路の分岐部Ｇには直線通路１
２ａと直交する方向に通路１２ｃが穿設されている。上
記直線通路１２ａと分岐通路１２ｂは２つの吸引通路と
みなすことができる。

【００３２】振分ユニット１３は、高速動作する電磁ソ
レノイド（アクチュエータ）１３ａと、電磁ソレノイド
１３ａの可動軸１３ｂに接続片１３ｃを介して接続され
ており往復移動する軸１３ｄと、その軸１３ｄの先端に
形成された遮断弁１３ｅとから構成されている。

【００３３】電磁ソレノイド１３ａは後述する画像検査
部１７によって制御されるものであり、励磁されるとス
プリング１３ｆに抗して可動軸１３ｂが縮小され、可動
軸１３ｂと連動して軸１３ｄが矢印Ｈ方向に移動し、遮
断弁１３ｅが分岐部Ｇに向けて移動することにより直線
通路１２ａを遮断するようになっている。

【００３４】また、振分ユニット１２の前寄りには光電
センサ１４ａ，１４ｂが、直線通１２ａの出口寄りには
光電センサ１５ａ，１５ｂが、分岐通路１２ｂの出口寄
りには光電センサ１６ａ，１６ｂがそれぞれ配置されて
いる。これらの各光電センサは後述する画像検査部（画
像検査手段）１７に接続されている。

【００３５】図６において、画像検査部１７は、無振動
トラフ４ｄの先端と吸引ノズル７の吸引口との間を飛走
するチップ部品１を撮像した画像を高速処理して良否を
判定するとともに、判定結果に応じて振分ユニット１３
を制御するようになっている。また、画像検査部１７は
搬送制御部１９と協働して振分ユニット１３の制御のタ
イミングを取るようになっている。

【００３６】詳しくは、チップ部品１がＣＣＤカメラ６
の視野内に進むと、カメラ位置に配置された光電センサ
１８ａ，１８ｂから搬送制御部１９の通過監視部１９ａ
に対して信号が出力される。通過監視部１９ａは、ＣＣ
Ｄカメラ制御部１７ａに対してトリガ信号Ｓ₀を出力
し、ＣＣＤカメラ制御部１７ａは、第１〜第４のＣＣＤ
カメラ６に対して撮像指令を出力する。

【００３７】第１〜第４のＣＣＤカメラ６は例えば１秒
間に２０個ずつ飛走するチップ部品１の４側面について
撮像を行う。なお、このとき、撮像のタイミングに合わ
せて発光ダイオードからなる照明装置（図示しない）が
発光する。

【００３８】各ＣＣＤカメラ６によって撮像された画像
データＳ₁〜Ｓ₄は、画像メモリ１７ｂに蓄えられた後、
判定部１７ｃに送られる。判定部１７ｃは画像データＳ
₁〜Ｓ₄を、基準画像メモリ１７ｄに予め記憶されている
良品チップ部品の４面の画像データと対比することによ
り、チップ部品１の外観について良否の判定を行ない、
判定の結果、不良が認められた場合には振分ユニット１
３に対して電磁ソレノイド１３ａを励磁させる信号Ｓ₅
を出力するようになっている。

【００３９】また、上記した通路ユニット１２に配置さ
れた光電センサ１４ａ，１４ｂ、１５ａ，１５ｂ、１６
ａ，１６ｂも通過監視部１９ａに接続されており、チッ
プ部品１が通路ユニット１２内のどちらの通路を通過し
たか、また、各通路について通過を完了したかどうかを
認識できるようになっている。

【００４０】すなわち、通過監視部１９ａは、チップ部
品１が通路ユニット１２の光電センサ１４ａ，１４ｂを
通過した際に出力される信号を受けて判定部１７ｃにト
リガ信号Ｓ₆を出力し、振分ユニット１３の電磁ソレノ
イド１３ａを励磁するタイミングを与えている。

【００４１】そして、判定結果が良品である場合、光電
センサ１４ａ，１４ｂ→１５ａ，１５ｂの順に信号が出
力されると、通過監視部１９ａは正常に通過完了したと
みなし、図示しない表示ランプのうち、緑ランプを点灯
させる。経時的に光電センサから出力信号が得られない
場合には、通過監視部１９ａはチップ部品１の閉塞トラ
ブルがあったとみなして検査装置を停止させる停止信号
を出力するとともに、赤ランプを点滅させる。なお、判
定結果が不良品である場合には、光電センサ１４ａ，１
４ｂ→１６ａ，１６ｂの順に信号が出力されると正常に
通過完了したとみなす。また、判定結果が不良品である
にも拘わらず、光電センサ１４ａ，１４ｂ→１５ａ，１
５ｂの順に信号が出力された場合についても通過監視部
１９ａは停止信号を出力する。

【００４２】図２において、通路ユニット１２の各通路
１２ａ，１２ｂの出口部には第２の吸引手段としてのジ
ェットポンプ２０，２１がそれぞれ配設されており、ジ
ェットポンプ２０の吐出側は透明チューブ２２を介して
良品回収箱２３に、ジェットポンプ２１の吐出側は同じ
く透明チューブ２２を介して不良品回収箱２４にそれぞ
れ接続されている。

【００４３】ジェットポンプ２０及び２１は同じ構成か
らなり、ジェットポンプ２０を代表して説明すると、図
７に示すように、ジェットポンプ８と同様に、圧縮空気
導入部２０ａから導入した圧縮空気を吐出パイプ２０か
ら噴射させ、吸引パイプ２０ｃから空気を随伴させて吸
引を行うようになっている。また、ローレット２０ｄを
回転させることにより吸引力の調整ができるようになっ
ている。

【００４４】図２において、上記良品回収箱２３及び不
良品回収箱２４は同じ構成からなり、箱状容器の上蓋２
３ａに透明チューブ２２が取り付けられ、箱状容器の下
部に設けられた複数の開口（図示しない）から空気を逃
がすようになっている。また、回収箱内には通気性を有
するフィルタ、例えば連続気泡の軟質ウレタンを袋状に
形成したフィルタ（図示しない）が内蔵されており、こ
のフィルタ内にチップ部品１を回収するようになってい
る。

【００４５】次に、上記構成を有する検査装置の動作に
ついて説明する。

【００４６】円筒状ホッパー２からパーツフィーダのボ
ウル３上に定量ずつ投入されたチップ部品１はボウル３
上を周回する間にその姿勢が整えられてリニアパーツフ
ィーダ４に移送され、リニアパーツフィーダ４のＶ字状
溝４ｃ上を移動する際に、各チップ部品１の中心位置が
揃えられ、直列に連なった状態で整列される。

【００４７】先頭のチップ部品１が無振動トラフ４ｄの
先端から突出すると、光電センサ１８ａ，１８ｂから画
像検査部１７のＣＣＤカメラ制御部１７ａにトリガ信号
Ｓ₀が出力され、吸引ノズル７の吸引によって飛走する
１つのチップ部品１の４面が第１〜第４ＣＣＤカメラ６
によって撮像される。

【００４８】吸引ノズル７に吸引されたチップ部品１
は、透明チューブ１０を通過して通路ユニット１２に送
られるが、上記したチップ部品１の撮像によって画像検
査部１７はチップ部品１の外観検査を行い良否の判定を
行っているため、撮像したチップ部品１が不良品である
場合、判定部１７ｃは通過監視部１９ａからトリガ信号
Ｓ₆が出力されるのを待って振分ユニット１３の電磁ソ
レノイド１３ａを励磁する。電磁ソレノイド１３ａが励
磁されると、直線通路１２ａが遮断されるため、通路ユ
ニット１２内の空気は分岐通路１２ａ側に流れ、それに
より、不良品のチップ部品１はジェットポンプ２１を通
じて不良品回収箱２４に回収される。

【００４９】一方、チップ部品１が良品である場合に
は、画像検査部１７の判定部１７ｃは振分ユニット１３
に対して励磁信号を出力せず、従って、チップ部品１は
直線通路１２ａを直進し、ジェットポンプ２０を介して
良品回収箱２３に回収される。なお、ジェットポンプ２
０の吸引力はジェットポンプ２１のそれよりも高い値に
設定されているため、良品が誤って分岐通路１２ｂ側に
吸引されることがない。

【００５０】なお、本発明における検査部品は上記実施
形態では角形チップ抵抗器であっあ、これに限らず、角
形チップコンデンサ、角形チップインダクタ等の電子部
品に適用することができ、また、電子部品に限らず、吸
引ノズルによって吸引することができる形態のものであ
れば、任意の部品の外観検査に適用することができる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明の検査方法及び検査装置によれば、検査部品を直
列に搬送しつつその先頭から個別に吸引し、検査部品が
飛走する間に外観検査を行い、検査結果に応じて良品と
不良品を高速に振り分けるため、検査部品の切出し制御
を必要とせず高速且つ正確に外観検査を行うことができ
る。

【００５２】また、搬送手段が、Ｖ字溝からなる搬送路
を備えた振動フィーダで構成された本発明によれば、検
査部品の中心を揃えることができ、検査精度を向上させ
ることができる。搬送路の先端部が無振動構造からなる
本発明によれば、飛走する被検査部品の姿勢を安定させ
ることができる。

【００５３】吸引力調整手段を備えた本発明によれば、
検査部品のサイズに応じて吸引力を調整することができ
る。

【００５４】整流手段を備えた本発明によれば、吸引ノ
ズルから回収箱に至る空気の流れを安定させ、吸引力を
一定にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査方法に適用される被検査部品の形
態を示す斜視図である。

【図２】本発明に係る部品検査装置の構成を示す全体外
観平面図である。

【図３】図２に示すトラフの構成を示す縦断面図であ
る。

【図４】図２に示すジェットポンプ８の構成を示す要部
拡大図である。

【図５】図２に示す通路ユニット及び振分ユニットの構
成を示す平面図である。

【図６】図２に示す画像検査部及び搬送制御部の構成を
示すブロック図である。

【図７】図２に示すジェットポンプ２０の構成を示す要
部拡大図である。

【符号の説明】

１チップ部品２円筒状ホッパー３ボウル４リニアパーツフィーダ４ａトラフ６ＣＣＤカメラ７吸引ノズル８ジェットポンプ１０透明チューブ１２通路ユニット１３振分ユニット１７画像検査部１９搬送制御部２０，２１ジェットポンプ２３良品回収箱２４不良品回収箱

フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA49 AA67 BB05 BB15 CC25 DD06 FF02 FF04 FF42 GG07 GG08 GG13 HH15 JJ01 JJ03 JJ05 JJ09 JJ26 NN11 NN20 PP11 RR00 SS04 SS12 TT01 TT03 3F079 AD06 BA06 BA13 CA23 CB30 CB35 CC03 DA06 DA21 EA01 EA16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査部品を直列に搬送し、搬送される前
記検査部品の先頭から吸引ノズルで吸引することにより
前記検査部品を個別に飛走させ、飛走中にその検査部品
を撮像することにより外観検査を行い、検査結果に応じ
て良品と不良品を前記吸引ノズルの下流側で分岐する２
つの吸引通路に振り分けることを特徴とする部品検査方
法。
【請求項２】検査部品を直列に搬送する搬送手段と、その搬送手段の終端部に対向して設けられ、吸引するこ
とにより前記検査部品を個別に飛走させる吸引手段と、その吸引手段の下流側に分岐して形成される２つの吸引
通路と、前記搬送手段の終端部と前記吸引手段との間で飛走され
る前記検査部品を撮像するカメラと、そのカメラによって撮像された画像を高速処理すること
により外観検査を行い、良否を判定する画像検査手段
と、その画像検査手段による判定結果に応じて前記吸引手段
から吸引された前記検査部品を前記２つの吸引通路に振
り分ける振分手段と、を備えてなることを特徴とする部
品検査装置。
【請求項３】前記搬送手段が、Ｖ字溝からなる搬送路
を備えた振動フィーダからなる請求項２記載の部品検査
装置。
【請求項４】前記搬送路の先端部が無振動構造に構成
されている請求項３記載の部品検査装置。
【請求項５】前記吸引手段による吸引力を調整する吸
引力調整手段が備えられている請求項２〜４のいずれか
に記載の部品検査装置。
【請求項６】前記２つの吸引通路にそれぞれ第二の吸
引手段が備えられている請求項２〜５のいずれかに記載
の部品検査装置。
【請求項７】前記吸引手段による気流を整流して前記
第二の吸引手段による気流と連絡させる整流手段を備え
てなる請求項６記載の部品検査装置。
【請求項８】前記振分手段が、前記２つの吸引通路の
一方を遮断する遮断弁及びその遮断弁を作動させるアク
チュエータから構成されている請求項２〜７のいずれか
に記載の部品検査装置。
【請求項９】前記２つの吸引通路における良品吸引側
の吸引通路の吸引力が、不良品を吸引する吸引通路の吸
引力よりも高い値に設定されている請求項２〜８のいず
れかに記載の部品検査装置。