JP3973116B2 - チップの４面検査装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ（各種小形電子部品、例えば、コンデンサ、レジスタ、その他）の内、６面体のチップの製造工程の最終工程において、該チップの４面ＡＢＣＤをＣＣＤカメラ等で撮像しモニターによる目視その他の検査手段で傷、欠損、汚れその他の欠陥を検査して、良、不良チップに分別するために用いる、チップの４面検査装置に係る。
【０００２】
【従来技術とその課題】
従来、チップの傷、欠損、汚れ等の欠陥を目視で検査して、チップを良品、不良品に分別することが広く行われ、最初は１面（Ａ面）だけ、次で２面（Ａ面とＣ面）の検査を行っていたが、チップの極小化（例、０６０３型は長さ０．６ｍｍ、幅０．３ｍｍの長方形）が進行するに従って目視検査が困難となり、また最終製品（例、テレビ、ビデオ等）になってからチップを原因とするトラブルが発生した場合の重大性から、チップの検査精度の向上が希求されてきて、近時はカメラを使用してチップの４面ＡＢＣＤ（左右側面を除く４面）を検査することが行われている。
【０００３】
然して、従来のカメラを使用したチップの４面検査装置は、図７に示すように、まず、チップのＡＣ面を、Ａ面は直接、Ｃ面はプリズム２５を通してカメラ２６、２７で検査したのち、その２面ＡＣ検査済みチップｔを、移動の過程で９０°回転し乍ら別のステージ（図示せず）に移動し、該ステージで他の２面ＢＤを前記と同じく２台のカメラで検査するようにしたものであったが、前記従来装置は、極めて高価なカメラ及びその付属設備を４台必要としてコスト高である上に、２面宛２回の検査を別々のステージで行うため、チップ１個当りの検査スピードが遅く、また広いスペースを要して装置が極めて大形になってしまう課題があった。
【０００４】
【発明が解決した課題】
そこで、本発明は、高価なカメラの使用台数を２台に削減して装置のコスト低下を企り、また２台のカメラを使用し、同一ステージで４面検査を行えるようにして装置の小形化と検査スピードの高速化を実現した装置を提供することによって、従来の課題を有効に解決したものである。
【０００５】
【課題を解決する手段】
即ち、本発明は、
６面体のチップの４面ＡＢＣＤを検査するチップの４面検査装置であり、
【０００６】
１個のチップを装填するチップ装填凹部を形成すると共に１８０°宛回転するように備えた短軸状のスピンドルと、検査するチップを載置するＶ形凹部を備えた検査台と、チップをスピンドルのチップ装填凹部と検査台のＶ形凹部の間を往復移動するように備えた移動手段と、検査台のＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置に備えたカメラからなり、
【０００７】
移動手段は、チップ装填凹部の前端部とＶ形凹部の後端部を相対して位置し、チップ装填凹部の後端部にエアーを噴気及び吸気する噴吸気口をあけ、検査台のＶ形凹部の前端部にエアーを吸気及び噴気する吸噴気口をあけると共に底部に吸気口をあけて備えたものであり、
【０００８】
スピンドルのチップ装填凹部のチップを、上記移動手段により、チップ装填凹部後端部の噴吸気口からエアーを噴出してＶ形凹部方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口のエアーの吸気でＶ形凹部前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部底面の吸気口の吸気で吸着して、該チップを上記検査台のＶ形凹部に保持し、
【０００９】
該チップのＡＢ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラで撮像して検査し、
【００１０】
２面検査済みチップを、同移動手段により、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口の噴気でチップ装填凹部方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部後端部の噴吸気口の吸気でチップ装填凹部の後端に衝突するまで移動して、スピンドルのチップ装填凹部へ戻し、
【００１１】
スピンドルを１８０°回転してチップ装填凹部のチップを反転し、
【００１２】
反転チップを、同移動手段により、チップ装填凹部後端部の噴吸気口からエアーを噴出してＶ形凹部方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口のエアーの吸気でＶ形凹部前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部底面の吸気口の吸気で吸着して、該チップを上記検査台のＶ形凹部に保持し、
【００１３】
該チップのＣＤ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラで撮像して検査し、
【００１４】
４面検査済みチップを、同移動手段により、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口の噴気でチップ装填凹部方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部後端部の噴吸気口の吸気でチップ装填凹部の後端に衝突するまで移動して、スピンドルのチップ装填凹部へ戻すように備えたものであり、
【００１５】
該４面検査済みチップをチップ装填凹部に装填したスピンドルを移動して、検査結果に基づき良、不良チップに分別するように備えたものである、チップの４面検査装置によって課題を解決したものである。
【００１６】
【実施例】
次に、本発明の実施例につき説明する。（図１〜図６）
本発明チップの４面検査装置は、垂直に備えたローター７の外円周上にスピンドル１を等円弧角度毎に回転自在に備えて該ローター７を前記角度毎にモーター８等でステップ回転するように備え、
【００１７】
該ローター７の設定位置を検査位置９として該位置９にスピンドル１と相対してチップｔの検査台３及びカメラ５、６を備え、また、スピンドル１を１８０°宛回転するための回転手段１０とチップｔをスピンドル１のチップ装填凹部２と検査台３のＶ形凹部４間を往復移動するための移動手段を備え、
【００１８】
ローター７の前記検査位置９の前段の位置をチップｔの供給位置１１として該位置１１にスピンドル１と相対してチップｔを１列整列搬送するフィダー１２とその先頭のチップｔから１個宛に分離してスピンドル１のチップ装填凹部２に装填するためのチップ分離装填手段１３を備え、
【００１９】
また、ローター７の前記検査位置９の後段の位置をチップｔの分別位置１４として該位置１４に４面検査済みチップｔを検査結果に基づいてスピンドル外へ排出する不良チップ排出手段１５と良品チップ排出手段１６を備えたものである。
符号２４は照明ファイバーを示す。
【００２０】
上記の移動手段、即ち、スピンドル１のチップ装填凹部２と検査台３のＶ形凹部４の間でチップｔを往復移動する手段は、スピンドル１のチップ装填凹部２の前端部と検査台３のＶ形凹部４の後端部を相対して、チップｔをチップ装填凹部２とＶ形凹部４間を往復移動するように備えたものであり、
【００２１】
チップ装填凹部２の後端部にエアーを噴気及び吸気する噴吸気口１９をあける一方、検査台３のＶ形凹部４の前端部にエアーを吸気及び噴気する吸噴気口２０をあけると共に底部に吸気口２１ａ（常時吸気）をあけて備え、
【００２２】
（往動１）スピンドル１のチップ装填凹部２のチップｔを、上記移動手段により、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９からエアーを噴出してＶ形凹部４方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０のエアーの吸気でＶ形凹部４の前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部４の底面の吸気口２１ａの吸気で吸着して、該チップｔを上記検査台３のＶ形凹部４に保持し、
【００２３】
（検査１）該チップｔのＡＢ２面をＶ形凹部４の各斜面に相対した上方位置の各カメラ５、６で撮像して検査し、
【００２４】
（復動１）２面検査済みチップｔを、同移動手段により、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の噴気でチップ装填凹部２の方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９の吸気でチップ装填凹部２の後端に衝突するまで移動して、スピンドル１のチップ装填凹部２へ戻し、
【００２５】
スピンドル１を１８０°回転してチップを反転し、
【００２６】
（往動２）反転チップｔを、同移動手段により、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９からエアーを噴出してＶ形凹部４の方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０のエアーの吸気でＶ形凹部４の前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部４の底面の吸気口２１ａの吸気で吸着して、該チップｔを上記検査台３のＶ形凹部４に保持し、
【００２７】
（検査２）チップｔのＣＤ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラ５、６で撮像して検査し、
【００２８】
（復動２）４面検査済みチップｔを、同移動手段により、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の噴気でチップ装填凹部２方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９の吸気でチップ装填凹部２の後端に衝突するまで移動して、スピンドル１のチップ装填凹部２へ戻すように備えたものであり、
【００２９】
上記４面検査済みチップｔをチップ装填凹部２に装填したスピンドル１を移動して、検査結果に基づき、不良チップ排出手段１５と良品チップ排出手段１６によってスピンドル外へ排出して、良、不良チップに分別するように備えたものである、チップの４面検査装置
である。（図１〜４参照）
【００３０】
スピンドル１を１８０°宛回転する手段１０は、例えば、モーター１７で回転する軸１８の先端とスピンドル１の後端をクラッチ１８等で係脱自在に備え、スピンドル１を１８０°宛回転してチップ装填凹部２のチップｔを反転するように備える。（図１、図４参照）
【００３１】
図３に示すような縦断面が正方形、長方形であるチップｔの４面ＡＢＣＤを検査する場合は、検査台３のＶ形凹部４の各斜面４ａ、４ｂの開角度を９０°に形成すると共に各斜面４ａ、４ｂの直角方向上方位置にカメラ５、６を備える。（図５参照）
【００３２】
また近時は上記の一般的な長方形立方体や直方体のチップの他に、縦断面が菱形等の平行四辺形であるチップｔが使用されてきているが、そのようなチップｔの４面ＡＢＣＤを検査する場合は、検査台３のＶ形凹部４の各斜面４ａ、４ｂの開角度を９０°以上に形成すると共に各斜面４ａ、４ｂの直角方向上方位置にカメラ５、６を備え、また、各斜面４ａ、４ｂに吸気口２１ｂ、２１ｃをあけ、
【００３３】
チップｔのＣ面を斜面４ａの吸気口２１ｂの吸気で吸着した状態でＡ面をカメラ５で検査し、Ｄ面を斜面４ｂの吸気口２１ｃの吸気で吸着した状態でＢ面をカメラで検査し、チップｔを反転したのちＣ面とＤ面を前記と同様にして検査するように備える。
【００３４】
【作用】
次に、本発明の作用を図示実施例につき説明する。
フィダー１２で１列整列搬送してきたチップｔの先頭のチップｔをチップ分離装填手段１３でローター７の外円周上に等間隔に備えたスピンドル１の内の供給位置１１に位置したスピンドル１のチップ装填凹部２へ供給する。
【００３５】
ローター７がステップ回転して前記スピンドル１が検査位置９に到達すると、スピンドル１のチップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９から噴気してチップｔをスピンドル１と相対位置の検査台３のＶ形凹部４の方向へ吹送し、同時にＶ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の吸気で吸引して該Ｖ形凹部４の前端に衝突停止し、底部の吸気口２１ａの吸気でチップｔを停止位置に保持し、その状態でチップｔのＡ面をカメラ５で、Ｂ面をカメラ６で検査する。
【００３６】
ＡＢ２面の検査が終了するとＶ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の噴気でチップｔをチップ装填凹部２の方向へ吹送し、同時にチップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９の吸気で吸引して該チップ装填凹部２の後端に衝突停止して、チップｔを装填する。
【００３７】
次いで、スピンドル回転手段１０でスピンドル１を１８０°回転してチップｔを反転する。
【００３８】
前記と同様に、反転したチップｔを、チップ装填凹部２の噴吸気口１９の噴気で吹き送ると同時にＶ形凹部４の吸噴気口２０の吸気で吸引してチップ装填凹部２の前端に衝突停止し、吸気口２１ａの吸気で停止位置に保持し、
【００３９】
その状態でチップｔのＣ面をカメラ５で、Ｄ面をカメラ６で検査し、
【００４０】
４面検査終了のチップｔをＶ形凹部４の吸噴気口２０の噴気でチップ装填凹部２の方向へ吹き送ると同時にチップ装填凹部２の噴吸気口１９の吸気で吸引してチップ装填凹部２の後端に衝突停止して、チップｔを装填する。
【００４１】
続いて、ローター７がステップ回転して前記４面検査済みチップｔを装填したスピンドル１が次位へ回転すると共に、供給手段１１で新規チップｔを装填したスピンドル１が検査位置に到達して、前記と同様にして４面検査を続行する。
【００４２】
４面検査済みチップｔを装填したスピンドル１がローター７の回転でチップｔの分別位置１４にくると、検査結果に基づき不良チップ排出手段１５で不良チップｔを収納ケース２２へ、良品チップ排出手段１６で良品チップｔを収納ケース２３へ分別して排出し、収納ケース２３の良品チップｔを次工程、例えばチップテープ装置へ送るものである。
【００４３】
【効果】
チップを、移動手段により、スピンドルのチップ装填凹部と検査台のＶ形凹部の間を往復移動し、その間にチップを反転するようにしたことによって、１台の検査台上で、２台のカメラで、チップの４面を検査することができ、よって、高価なカメラ及び付属設備が２台で済むと共に４面検査を検査台だけの同一ステージで行うことができて、装置のコスト低下及び小形化を実現できる。
また、上記の移動手段によるチップ往復移動、反転等は極めて高速に行うことができると共に、チップをローターの回転で供給→検査→分別排出の順に連続して高速に行うことができるので、チップの４面検査スピードの高速化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例装置の構成概略を示す正面図。
【図２】 図１の左側面図（フィダー、モーター等の図示を省く）。
【図３】 チップの１例の斜視図及び縦断面図。
【図４】 図１の検査位置の拡大断面図。
【図５】 図４のＧ−Ｇ線断面図で、（イ）はチップのＡＢ面をカメラで検査する図、（ロ）はチップのＣＤ面をカメラで検査する図。
【図６】 縦断面が平行四辺形のチップを検査する図で、（イ）はチップのＡ面（若しくはＣ面）をカメラで検査する図、（ロ）はチップのＢ面（若しくはＤ面）をカメラで検査する図。
【図７】 従来のチップの検査装置の図。
【符号の説明】
ｔ チップ
１ スピンドル
２ チップ装填凹部
３ 検査台
４ Ｖ形凹部
４ａ 斜面
４ｂ 斜面
５ カメラ
６ カメラ
７ ローター
８ モーター
９ 検査位置
１０ スピンドルの回転手段
１１ チップの供給位置
１２ フィダー
１３ チップ分離装填手段
１４ チップの分別位置
１５ 不良チップ排出手段
１６ 良品チップ排出手段
１７ モーター
１８ クラッチ
１９ 噴吸気口(チップ装填凹部)
２０ 吸噴気口(Ｖ形凹部)
２１ａ 吸気口(Ｖ形凹部)
２１ｂ 吸気口(Ｖ形凹部)
２１ｃ 吸気口(Ｖ形凹部)
２２ 収納ケース
２３ 収納ケース
２４ 照明ファイバー
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ（各種小形電子部品、例えば、コンデンサ、レジスタ、その他）の内、６面体のチップの製造工程の最終工程において、該チップの４面ＡＢＣＤをＣＣＤカメラ等で撮像しモニターによる目視その他の検査手段で傷、欠損、汚れその他の欠陥を検査して、良、不良チップに分別するために用いる、チップの４面検査装置に係る。
【０００２】
【従来技術とその課題】
従来、チップの傷、欠損、汚れ等の欠陥を目視で検査して、チップを良品、不良品に分別することが広く行われ、最初は１面（Ａ面）だけ、次で２面（Ａ面とＣ面）の検査を行っていたが、チップの極小化（例、０６０３型は長さ０．６ｍｍ、幅０．３ｍｍの長方形）が進行するに従って目視検査が困難となり、また最終製品（例、テレビ、ビデオ等）になってからチップを原因とするトラブルが発生した場合の重大性から、チップの検査精度の向上が希求されてきて、近時はカメラを使用してチップの４面ＡＢＣＤ（左右側面を除く４面）を検査することが行われている。
【０００３】
然して、従来のカメラを使用したチップの４面検査装置は、図７に示すように、まず、チップのＡＣ面を、Ａ面は直接、Ｃ面はプリズム２５を通してカメラ２６、２７で検査したのち、その２面ＡＣ検査済みチップｔを、移動の過程で９０°回転し乍ら別のステージ（図示せず）に移動し、該ステージで他の２面ＢＤを前記と同じく２台のカメラで検査するようにしたものであったが、前記従来装置は、極めて高価なカメラ及びその付属設備を４台必要としてコスト高である上に、２面宛２回の検査を別々のステージで行うため、チップ１個当りの検査スピードが遅く、また広いスペースを要して装置が極めて大形になってしまう課題があった。
【０００４】
【発明が解決した課題】
そこで、本発明は、高価なカメラの使用台数を２台に削減して装置のコスト低下を企り、また２台のカメラを使用し、同一ステージで４面検査を行えるようにして装置の小形化と検査スピードの高速化を実現した装置を提供することによって、従来の課題を有効に解決したものである。
【０００５】
【課題を解決する手段】
即ち、本発明は、
６面体のチップの４面ＡＢＣＤを検査するチップの４面検査装置であり、
【０００６】
１個のチップを装填するチップ装填凹部を形成すると共に１８０°宛回転するように備えた短軸状のスピンドルと、検査するチップを載置するＶ形凹部を備えた検査台と、チップをスピンドルのチップ装填凹部と検査台のＶ形凹部の間を往復移動するように備えた移動手段と、検査台のＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置に備えたカメラからなり、
【０００７】
移動手段は、チップ装填凹部の前端部とＶ形凹部の後端部を相対して位置し、チップ装填凹部の後端部にエアーを噴気及び吸気する噴吸気口をあけ、検査台のＶ形凹部の前端部にエアーを吸気及び噴気する吸噴気口をあけると共に底部に吸気口をあけて備えたものであり、
【０００８】
スピンドルのチップ装填凹部のチップを、上記移動手段により、チップ装填凹部後端部の噴吸気口からエアーを噴出してＶ形凹部方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口のエアーの吸気でＶ形凹部前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部底面の吸気口の吸気で吸着して、該チップを上記検査台のＶ形凹部に保持し、
【０００９】
該チップのＡＢ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラで撮像して検査し、
【００１０】
２面検査済みチップを、同移動手段により、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口の噴気でチップ装填凹部方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部後端部の噴吸気口の吸気でチップ装填凹部の後端に衝突するまで移動して、スピンドルのチップ装填凹部へ戻し、
【００１１】
スピンドルを１８０°回転してチップ装填凹部のチップを反転し、
【００１２】
反転チップを、同移動手段により、チップ装填凹部後端部の噴吸気口からエアーを噴出してＶ形凹部方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口のエアーの吸気でＶ形凹部前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部底面の吸気口の吸気で吸着して、該チップを上記検査台のＶ形凹部に保持し、
【００１３】
該チップのＣＤ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラで撮像して検査し、
【００１４】
４面検査済みチップを、同移動手段により、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口の噴気でチップ装填凹部方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部後端部の噴吸気口の吸気でチップ装填凹部の後端に衝突するまで移動して、スピンドルのチップ装填凹部へ戻すように備えたものであり、
【００１５】
該４面検査済みチップをチップ装填凹部に装填したスピンドルを移動して、検査結果に基づき良、不良チップに分別するように備えたものである、チップの４面検査装置によって課題を解決したものである。
【００１６】
【実施例】
次に、本発明の実施例につき説明する。（図１〜図６）
本発明チップの４面検査装置は、垂直に備えたローター７の外円周上にスピンドル１を等円弧角度毎に回転自在に備えて該ローター７を前記角度毎にモーター８等でステップ回転するように備え、
【００１７】
該ローター７の設定位置を検査位置９として該位置９にスピンドル１と相対してチップｔの検査台３及びカメラ５、６を備え、また、スピンドル１を１８０°宛回転するための回転手段１０とチップｔをスピンドル１のチップ装填凹部２と検査台３のＶ形凹部４間を往復移動するための移動手段を備え、
【００１８】
ローター７の前記検査位置９の前段の位置をチップｔの供給位置１１として該位置１１にスピンドル１と相対してチップｔを１列整列搬送するフィダー１２とその先頭のチップｔから１個宛に分離してスピンドル１のチップ装填凹部２に装填するためのチップ分離装填手段１３を備え、
【００１９】
また、ローター７の前記検査位置９の後段の位置をチップｔの分別位置１４として該位置１４に４面検査済みチップｔを検査結果に基づいてスピンドル外へ排出する不良チップ排出手段１５と良品チップ排出手段１６を備えたものである。
符号２４は照明ファイバーを示す。
【００２０】
上記の移動手段、即ち、スピンドル１のチップ装填凹部２と検査台３のＶ形凹部４の間でチップｔを往復移動する手段は、スピンドル１のチップ装填凹部２の前端部と検査台３のＶ形凹部４の後端部を相対して、チップｔをチップ装填凹部２とＶ形凹部４間を往復移動するように備えたものであり、
【００２１】
チップ装填凹部２の後端部にエアーを噴気及び吸気する噴吸気口１９をあける一方、検査台３のＶ形凹部４の前端部にエアーを吸気及び噴気する吸噴気口２０をあけると共に底部に吸気口２１ａ（常時吸気）をあけて備え、
【００２２】
（往動１）スピンドル１のチップ装填凹部２のチップｔを、上記移動手段により、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９からエアーを噴出してＶ形凹部４方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０のエアーの吸気でＶ形凹部４の前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部４の底面の吸気口２１ａの吸気で吸着して、該チップｔを上記検査台３のＶ形凹部４に保持し、
【００２３】
（検査１）該チップｔのＡＢ２面をＶ形凹部４の各斜面に相対した上方位置の各カメラ５、６で撮像して検査し、
【００２４】
（復動１）２面検査済みチップｔを、同移動手段により、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の噴気でチップ装填凹部２の方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９の吸気でチップ装填凹部２の後端に衝突するまで移動して、スピンドル１のチップ装填凹部２へ戻し、
【００２５】
スピンドル１を１８０°回転してチップを反転し、
【００２６】
（往動２）反転チップｔを、同移動手段により、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９からエアーを噴出してＶ形凹部４の方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０のエアーの吸気でＶ形凹部４の前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部４の底面の吸気口２１ａの吸気で吸着して、該チップｔを上記検査台３のＶ形凹部４に保持し、
【００２７】
（検査２）チップｔのＣＤ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラ５、６で撮像して検査し、
【００２８】
（復動２）４面検査済みチップｔを、同移動手段により、Ｖ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の噴気でチップ装填凹部２方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９の吸気でチップ装填凹部２の後端に衝突するまで移動して、スピンドル１のチップ装填凹部２へ戻すように備えたものであり、
【００２９】
上記４面検査済みチップｔをチップ装填凹部２に装填したスピンドル１を移動して、検査結果に基づき、不良チップ排出手段１５と良品チップ排出手段１６によってスピンドル外へ排出して、良、不良チップに分別するように備えたものである、チップの４面検査装置
である。（図１〜４参照）
【００３０】
スピンドル１を１８０°宛回転する手段１０は、例えば、モーター１７で回転する軸１８の先端とスピンドル１の後端をクラッチ１８等で係脱自在に備え、スピンドル１を１８０°宛回転してチップ装填凹部２のチップｔを反転するように備える。（図１、図４参照）
【００３１】
図３に示すような縦断面が正方形、長方形であるチップｔの４面ＡＢＣＤを検査する場合は、検査台３のＶ形凹部４の各斜面４ａ、４ｂの開角度を９０°に形成すると共に各斜面４ａ、４ｂの直角方向上方位置にカメラ５、６を備える。（図５参照）
【００３２】
また近時は上記の一般的な長方形立方体や直方体のチップの他に、縦断面が菱形等の平行四辺形であるチップｔが使用されてきているが、そのようなチップｔの４面ＡＢＣＤを検査する場合は、検査台３のＶ形凹部４の各斜面４ａ、４ｂの開角度を９０°以上に形成すると共に各斜面４ａ、４ｂの直角方向上方位置にカメラ５、６を備え、また、各斜面４ａ、４ｂに吸気口２１ｂ、２１ｃをあけ、
【００３３】
チップｔのＣ面を斜面４ａの吸気口２１ｂの吸気で吸着した状態でＡ面をカメラ５で検査し、Ｄ面を斜面４ｂの吸気口２１ｃの吸気で吸着した状態でＢ面をカメラで検査し、チップｔを反転したのちＣ面とＤ面を前記と同様にして検査するように備える。
【００３４】
【作用】
次に、本発明の作用を図示実施例につき説明する。
フィダー１２で１列整列搬送してきたチップｔの先頭のチップｔをチップ分離装填手段１３でローター７の外円周上に等間隔に備えたスピンドル１の内の供給位置１１に位置したスピンドル１のチップ装填凹部２へ供給する。
【００３５】
ローター７がステップ回転して前記スピンドル１が検査位置９に到達すると、スピンドル１のチップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９から噴気してチップｔをスピンドル１と相対位置の検査台３のＶ形凹部４の方向へ吹送し、同時にＶ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の吸気で吸引して該Ｖ形凹部４の前端に衝突停止し、底部の吸気口２１ａの吸気でチップｔを停止位置に保持し、その状態でチップｔのＡ面をカメラ５で、Ｂ面をカメラ６で検査する。
【００３６】
ＡＢ２面の検査が終了するとＶ形凹部４の前端部の吸噴気口２０の噴気でチップｔをチップ装填凹部２の方向へ吹送し、同時にチップ装填凹部２の後端部の噴吸気口１９の吸気で吸引して該チップ装填凹部２の後端に衝突停止して、チップｔを装填する。
【００３７】
次いで、スピンドル回転手段１０でスピンドル１を１８０°回転してチップｔを反転する。
【００３８】
前記と同様に、反転したチップｔを、チップ装填凹部２の噴吸気口１９の噴気で吹き送ると同時にＶ形凹部４の吸噴気口２０の吸気で吸引してチップ装填凹部２の前端に衝突停止し、吸気口２１ａの吸気で停止位置に保持し、
【００３９】
その状態でチップｔのＣ面をカメラ５で、Ｄ面をカメラ６で検査し、
【００４０】
４面検査終了のチップｔをＶ形凹部４の吸噴気口２０の噴気でチップ装填凹部２の方向へ吹き送ると同時にチップ装填凹部２の噴吸気口１９の吸気で吸引してチップ装填凹部２の後端に衝突停止して、チップｔを装填する。
【００４１】
続いて、ローター７がステップ回転して前記４面検査済みチップｔを装填したスピンドル１が次位へ回転すると共に、供給手段１１で新規チップｔを装填したスピンドル１が検査位置に到達して、前記と同様にして４面検査を続行する。
【００４２】
４面検査済みチップｔを装填したスピンドル１がローター７の回転でチップｔの分別位置１４にくると、検査結果に基づき不良チップ排出手段１５で不良チップｔを収納ケース２２へ、良品チップ排出手段１６で良品チップｔを収納ケース２３へ分別して排出し、収納ケース２３の良品チップｔを次工程、例えばチップテープ装置へ送るものである。
【００４３】
【効果】
チップを、移動手段により、スピンドルのチップ装填凹部と検査台のＶ形凹部の間を往復移動し、その間にチップを反転するようにしたことによって、１台の検査台上で、２台のカメラで、チップの４面を検査することができ、よって、高価なカメラ及び付属設備が２台で済むと共に４面検査を検査台だけの同一ステージで行うことができて、装置のコスト低下及び小形化を実現できる。
また、上記の移動手段によるチップ往復移動、反転等は極めて高速に行うことができると共に、チップをローターの回転で供給→検査→分別排出の順に連続して高速に行うことができるので、チップの４面検査スピードの高速化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例装置の構成概略を示す正面図。
【図２】 図１の左側面図（フィダー、モーター等の図示を省く）。
【図３】 チップの１例の斜視図及び縦断面図。
【図４】 図１の検査位置の拡大断面図。
【図５】 図４のＧ−Ｇ線断面図で、（イ）はチップのＡＢ面をカメラで検査する図、（ロ）はチップのＣＤ面をカメラで検査する図。
【図６】 縦断面が平行四辺形のチップを検査する図で、（イ）はチップのＡ面（若しくはＣ面）をカメラで検査する図、（ロ）はチップのＢ面（若しくはＤ面）をカメラで検査する図。
【図７】 従来のチップの検査装置の図。
【符号の説明】
ｔ チップ
１ スピンドル
２ チップ装填凹部
３ 検査台
４ Ｖ形凹部
４ａ 斜面
４ｂ 斜面
５ カメラ
６ カメラ
７ ローター
８ モーター
９ 検査位置
１０ スピンドルの回転手段
１１ チップの供給位置
１２ フィダー
１３ チップ分離装填手段
１４ チップの分別位置
１５ 不良チップ排出手段
１６ 良品チップ排出手段
１７ モーター
１８ クラッチ
１９ 噴吸気口(チップ装填凹部)
２０ 吸噴気口(Ｖ形凹部)
２１ａ 吸気口(Ｖ形凹部)
２１ｂ 吸気口(Ｖ形凹部)
２１ｃ 吸気口(Ｖ形凹部)
２２ 収納ケース
２３ 収納ケース
２４ 照明ファイバー
Claims (3)
- ６面体のチップの４面ＡＢＣＤを検査するチップの４面検査装置であり、
１個のチップを装填するチップ装填凹部を形成すると共に１８０°宛回転するように備えた短軸状のスピンドルと、検査するチップを載置するＶ形凹部を備えた検査台と、チップをスピンドルのチップ装填凹部と検査台のＶ形凹部の間を往復移動するように備えた移動手段と、検査台のＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置に備えたカメラからなり、
移動手段は、チップ装填凹部の前端部とＶ形凹部の後端部を相対して位置し、チップ装填凹部の後端部にエアーを噴気及び吸気する噴吸気口をあけ、検査台のＶ形凹部の前端部にエアーを吸気及び噴気する吸噴気口をあけると共に底部に吸気口をあけて備えたものであり、
スピンドルのチップ装填凹部のチップを、上記移動手段により、チップ装填凹部後端部の噴吸気口からエアーを噴出してＶ形凹部方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口のエアーの吸気でＶ形凹部前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部底面の吸気口の吸気で吸着して、該チップを上記検査台のＶ形凹部に保持し、
該チップのＡＢ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラで撮像して検査し、
２面検査済みチップを、同移動手段により、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口の噴気でチップ装填凹部方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部後端部の噴吸気口の吸気でチップ装填凹部の後端に衝突するまで移動して、スピンドルのチップ装填凹部へ戻し、
スピンドルを１８０°回転してチップ装填凹部のチップを反転し、
反転チップを、同移動手段により、チップ装填凹部後端部の噴吸気口からエアーを噴出してＶ形凹部方向へ吹送すると共に、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口のエアーの吸気でＶ形凹部前端部に衝突するまで移動し、同時にＶ形凹部底面の吸気口の吸気で吸着して、該チップを上記検査台のＶ形凹部に保持し、
該チップのＣＤ２面をＶ形凹部の各斜面に相対した上方位置の各カメラで撮像して検査し、
４面検査済みチップを、同移動手段により、Ｖ形凹部前端部の吸噴気口の噴気でチップ装填凹部方向へ吹送すると共に、チップ装填凹部後端部の噴吸気口の吸気でチップ装填凹部の後端に衝突するまで移動して、スピンドルのチップ装填凹部へ戻すように備えたものであり、
該４面検査済みチップをチップ装填凹部に装填したスピンドルを移動して、検査結果に基づき良、不良チップに分別するように備えたものである、
チップの４面検査装置。 - 垂直に備えたローターの外円周上にスピンドルを等円弧角度毎に回転自在に備えて該ローターを前記角度毎にモーター等でステップ回転するように備え、
該モーターの設定位置を検査位置として該位置にスピンドルと相対してチップの検査台及びカメラを備え、また、スピンドルを１８０°回転するための回転手段とチップをスピンドルのチップ装填凹部と検査台のＶ形凹部間を往復移動するための移動手段を備え、
ローターの前記検査位置の前段の位置をチップの供給位置として該位置にスピンドルと相対してチップを１列整列搬送するフィダーとその先頭のチップから１個宛に分離してスピンドルのチップ装填凹部に装填するためのチップ分離装填手段を備え、
また、ローターの前記検査位置の後段の位置をチップの分別位置として該位置に４面検査済みチップを検査結果に基づいてスピンドル外へ排出する不良チップ排出手段と良品チップ排出手段を備えたものである、
請求項１のチップの４面検査装置。 - スピンドルの１８０°回転手段は、モーター等の回転手段で回転する軸の先端とスピンドルの後端をクラッチ式に係脱自在に備え、スピンドルを１８０°回転してチップ装填凹部のチップを反転する手段である、
請求項１のチップの４面検査装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP27828597A JP3973116B2 (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | チップの４面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP27828597A JP3973116B2 (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | チップの４面検査装置 |
Publications (2)
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| JPH11101751A JPH11101751A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3973116B2 true JP3973116B2 (ja) | 2007-09-12 |
Family
ID=17595225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27828597A Expired - Lifetime JP3973116B2 (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | チップの４面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3973116B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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| KR101032721B1 (ko) * | 2008-01-03 | 2011-05-06 | (주)제이티 | 반도체칩검사장치 및 그 방법 |
-
1997
- 1997-09-25 JP JP27828597A patent/JP3973116B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| JPH11101751A (ja) | 1999-04-13 |
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