JP3668192B2 - 受動部品の視覚的検査器 - Google Patents
受動部品の視覚的検査器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3668192B2 JP3668192B2 JP2001585954A JP2001585954A JP3668192B2 JP 3668192 B2 JP3668192 B2 JP 3668192B2 JP 2001585954 A JP2001585954 A JP 2001585954A JP 2001585954 A JP2001585954 A JP 2001585954A JP 3668192 B2 JP3668192 B2 JP 3668192B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- visual inspection
- inspection machine
- electronic component
- transport vehicle
- vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/363—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution by means of air
- B07C5/365—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution by means of air using a single separation means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
- B07C5/344—Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S209/00—Classifying, separating, and assorting solids
- Y10S209/919—Rotary feed conveyor
Description
【産業上の利用分野】
この発明は1999年6月2日付で出願の出願番号09/324273の米国特許出願の一部継続出願の特許出願である。
本発明は自動制御装置の分野に属する。より詳細には、極めて丁寧に、かつ、正確に、受動部品(小さな電子部品)を供給し、視覚的に検査し、かつ選別する高速機に属する。
【0002】
【従来の技術】
社会が成熟するにつれ、電子工業も新しい多様化した製品やサービスを厖大に提供するようになっている。コンピュータおよびコンピュータコンポーネントの新しい利用法が次々と生み出される。こうした利用法の発展はコンピュータおよびコンポーネントならびに付属機器の小型化の要請をもたらす。例えば古いタイプのコンデンサは導線が端部から伸びるシガレット大のものから金属端子をもつ米粒より微小なMLCC(多層チップコンデンサ)や直付受動部品と呼ばれるセラミックデバイスに変わってきている。現在、こうしたチップはその全体でも0.040×0.020×0.020インチという微小なセラミックデバイスにされている。1インチに50個ものそうしたデバイスがぎっしり設置される。こうしたチップは図1に記載のサイズにされている。
【0003】
このような小型化の要請に加えて、より迅速な生産の要請が同様にある。チップ生産においては無数の電子テストが、それらチップの特性に合わせて1個1個につき行われなければならない。こうしたテストの具体例については米国特許第5673799号に詳しく記載されているが、消失ファクターテスト、キャパシタンステスト、フラッシュテスト、絶縁抵抗テストなどに大別することができる。このほかにも新しいテストが次々に考案され、一連のテストがこうした微小チップに対してさらに行われるようになっている。
【0004】
チップをより効率的に生産するためには全体の生産時間を短くして、回路に対するあらゆる要請を満足させられるチップだけをテスト対象にするように、テストの場から視覚的に傷があるチップは排除しておくことが求められている。こうした視覚的に判別できる傷としては、絶縁体の層崩[delamination]、チップ表面のひび割れ、角部や端部の削り取り片、端子糊の汚れや流出あるいは無視できない波立ちなど金属端子の疵がある。こうした傷はチップに要求される電子特性の変化をもたらすから、それほど厳格な使用環境でないところで使用するしかできなくなる。
【0005】
【発明が解決しょうとする課題】
したがって損傷を受けているチップは使用環境の緩い所で限定的に使うように、予備テストでチップを視覚的に検査して、厳格な条件が課される使用環境以外の環境で使用するよう選別する動きが出ている。そうすればその後の電子テストが効率化され高速化および経費節約、さらに高品質化を図ることができるのである。効率的に視覚的検査を行うにはチップの高速処理が要求されるが同時にチップを損傷しないよう注意する必要もある。1時間に7万5千個の迫る高速が達成されなければならない。これは1台のマシンが1秒間に20〜21個の微小なセラミックチップを視覚的検査することを意味する。しかしそうするにはマシンが膨大な数量のチップを効率的に処理できなければならない。狭い空間に山に積み上げたり、平板面にある高さから落とし込むなどチップに加えられる明白な力は、ひび割れなどの傷をチップに負わせる因になる。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は微小な多層コンデンサチップなどのチップを視覚的に検査するマシンに関する。このマシンは、立体的なチップを先端に受け止められるだけの厚さの外縁をもつ回転可能な供給車と、該供給車近傍に設置される第1の検査機と、該供給車と連動するように同一平面上に並列される周縁のある回転可能な運搬車であって、チップが供給車に乗って回転移動している間にチップの1外表面を視覚的に検査するため、上記第1視覚的検査機の通路を超える通路でチップを供給車の外縁から運搬車の周縁へ移動させるように回転する運搬車と、該運搬車近傍に設置されるテレビカメラ、鏡、LED、閃光灯、プリズムなどのチップが運搬車へ移動する間にチップの上記1外表面以外の各面を視覚的に検査する第2の検査機と、供給車上にあった出発位置から運搬車へと移動するまでのチップの所在を監視し続け、剥がれ、欠損、端子の汚れなどの視覚的検査における合格、落第を識別するコンピュータと、運搬車の周縁から落第したチップを排除して1または2以上の容器に送り出す第1の圧縮空気送出機と、視覚的検査に合格したチップを運搬車の周縁から外して1または2以上の他の容器に送り出す第2の圧縮空気送出機と、を有することを特徴とする。
【0007】
本発明のもう一つの特徴は、0.040×0.020×0.020インチという「0402」チップと呼ばれる微小なチップを視覚的検査する能力をもつこと、及びこうした微小なチップをデリケートに移動させてマシン処理がチップを損傷させないで、チップをたった2つの場にもってくるだけでチップの1面および全面を視覚的に検査可能にし、チップをマシンからデリケートに外して選別容器に入れ込み、安全かつ効率的に視覚的に合格したチップだけを合格容器に入れ込むことを確保することにある。さらに、これら容器は特殊な構成にされ、チップが落し込まれる底は傾斜面をなして運搬車から選別容器に入れられる途中でチップに損傷を負わせないように工夫されている。
【0008】
したがって本発明の主目的は、チップが処理過程で損傷しないようにデリケートな処理技術でありながら高速に、微小なセラミックチップを安全に視覚的検査するマシンを提供することである。さらにもう一つの目的は、たった2つの場にチップをもってくるだけで、チップの6面全部を検査でき、検査中ならびに検査後の選別中にチップの表面に損傷を負わせない、検査を終えたチップが間違えようのないほど簡明に選別され1カ所に集積されるようにした、そして視覚的検査段階で時間当たり7万個まで処理できるマシンを提供することである。
【0009】
【実施例】
以下、本発明の1実施例を示す図面を参照して詳細に説明する。
【0010】
図2、図3及び図4は、微小なセラミックチップ3を取り扱うマシン1に係る本発明の構成要素の概略を示すもので、好ましくは円形をなす上面7と外縁9のある供給車5を備える。供給車5は好ましくは45度に傾斜された傾斜盤15に取り付けられたモータ(図示せず)で駆動されるよう中心軸13に取り付けられる。この供給車5は一定方向に向けてチップを外縁9に受け止める。
【0011】
図4、図5及び図6に示すように、供給車5の上面7には外縁9に向けて放射状に多数の細溝17が形成され、チップ3の山19中を移動して少なくとも1個のチップ3を一定の方向に向けさせて受け止めるようにされている。ここで「一定の方向に向けさせて」とは、細溝17の形がチップ3の入る幅(側壁もしくは前後壁のいずれか一つの)にされ、かつ、チップ3が放射状の細溝17の軸方向に(チップ3の上面と下面を通る方向に)、つまり横切る方向でない方向に、入る込むようにされていることを言う。細溝17は外縁9が下方に回転していくと、チップ3は斜めに面取りした角部21から供給車5の細溝17の底部に形成された穴23に落ち内壁25に当たる。大きめのチップ3を扱えるように細溝17はおおまかに形成されている。
【0012】
チップの山19は振動シュート29経由でホッパ27から送り出され、供給車5の上面7の6時ないし5時位置にデリケートに排出される。多数の外方に伸びる指が形成され、それら指間にポケット33が形成されたリング31が供給車5の上面7に設けられ、チップ3を外縁9に向けてデリケートに移動させる補助をする。
【0013】
図7に示すように、小さめのチップ3のために穴23は供給車5の上面7から直接に形成されていて、細溝17なしでも済ますことができる。この実施例によれば図7に示すように、穴23は間隔をあけた側壁37と、内壁25とで囲まれ、供給車5の回転方向に側壁37に角部39が設けられる。好ましい実施例によれば、角部39は斜めに面取りされる。穴23は外縁9の外方には何も壁形成されておらず開放されているから、図6に鎖線で示したようにチップ3が穴23中に収まると外縁9の外側にチップ3はその側面または前面または後面を露出することになる。
【0014】
図6及び図7に示すように、第1の静止の真空板41が、供給車5の下側に例えば0.002インチという僅かな間隙をあけ、供給車5の外縁9の先端にみずからの先端43をそろえて配置され、チップ3を受容できるように穴23の床面45を形成している。同図に示すように、第1の真空室49が第1静止真空板41の上面と供給車5の下面間に形成され、穴23から吸い込むように真空源(図示せず)に接続されている。細通孔51が供給車5の穴23の内壁25に穿設され、供給車5の壁面中を貫通して真空室49に到達している。細通孔51は穴23中にあるチップ3を真空吸引して保持する。前記の第1静止真空板41の上面と供給車5の下面間の僅かな間隙は、図6に示すように穴23中にチップ3を保持する追加的な保持力を提供する真空通路となる。
【0015】
図3に示すように、テレビカメラ57のような第1の検査機55が供給車5から間隔をあけて設定され、一時的に穴23中に入ったチップ3が検査機55のそばを通過するとき、その露出面を見せて検査を受ける。外縁9に当たり穴23中にあるチップ3を保持するのを補助するため、約6時から約2時半の位置に周壁59が供給車5の外縁9に隣接して形成される。回転する供給車5の外縁9の穴23中にあるチップ3の露出面を第1検査機55が見ることができるように、この周壁59には2時の位置に窓61が形成される。マシン1にはコンピュータプロセッサ63(図2)が接続され、チップ3が第1検査機55の視野内を通過するとき各チップ3を追跡できるように第1検査機55が接続される。
【0016】
図3、図8及び図9に示すように、周縁67のある好ましくは円形の運搬車65が中心軸69に回転可能に取り付けられる。運搬車65は供給車5と同一の傾斜面に取り付けられ、モータ(図示せず)で駆動される。これら運搬車65と供給車5は互いに並列に連動してチップ3を供給車5の外縁9の穴23から同一平面上にある運搬車65の周縁67に移動させる。ここに「互いに並列に連動して」とは、運搬車65と供給車5とが接線的に接触し合って、同一の周縁速度を保持しつつチップ3が外縁9の穴23から直接、放射状に外方へ移動させられて運搬車65の周縁67へ穏やかに移動させられることを言う。また図9に示したように、運搬車65の周縁67は検査されるチップ3の高さより薄く形成され、チップ3の上面と下面、両側面及び前面が露出するようにされている。このように構成されているので、図3に示すようにチップ3の上面と下面、両側面及び前面が、カメラその他の視覚機器並びに鏡と光源71の焦点を5方向より少ない方向から受けるから5台以下のカメラで検査を受けることができる。
【0017】
図9に示すように第2の静止真空板73を有する第2の真空装置が運搬車65の下側に、例えば0.002インチという僅かな間隙をあけ、運搬車65の周縁67より短い外縁75まで張り出している。同図に示すように、第2の真空室77が第2の静止真空板73の上面と運搬車65の下面間に形成され、真空源(図示せず)に接続されている。図9に示すように、一対の平行する細通孔79が運搬車65の内壁中に穿設され、周縁67から運搬車65の壁面中を貫通して第2真空室77に到達している。この実施例では細通孔79は図9に示すような2本でなく1本でも可である。細通孔79と運搬車65の下面及び第2真空板73の上面間の間隙とはチップ3を吸引保持するように周縁67に真空圧を通す道となる。チップ3は第1真空室49によって供給車5の穴23中に真空吸引されているが、運搬車65の周縁67に移動させられて第2真空室77に連なる前記一対の細通孔79及び運搬車65の下面・静止真空板73の上面間の間隙からの真空圧で吸引され保持されることになる。第1真空室49中の真空圧を例えば1としたとき第2真空室77中の真空圧を3倍にすればチップ3を容易に移動させることができ、移動中にチップ3をあまり落さなくて済むことが分かっている。
【0018】
図8及び図10に示すように、チップ3の移動中にチップ3がかたまってしまわないように供給車5と運搬車65間の近地点83に塊化防止手段81を設ける。塊化防止手段81はロックダウンネジ87が取り付けられたベース85と、好ましくは供給車5の外縁9の曲率に一致する曲率の曲面をもつ第1の曲壁89とを備え、近地点83の直前に配置される。曲壁89には曲壁89が近地点83に近づくにつれ上方に昇っていく傾斜路91が形成される。普通なら供給車5と運搬車65との間にかたまってしまうおそれがある穴23の外縁9の外側に重なるチップ3(「重ね」と呼ばれる)は、傾斜路91を上方に昇って供給車5から離されマシン1を傷めるおそれを予防することができる。
【0019】
図3に示すように運搬車65近傍のおよそ9時の位置に運搬車65の周縁67に吸引保持されて回転通過するチップ3の外側を見て検査する1台または2台以上のテレビカメラ95のような第2の検査機93が据え付けられる。このようにチップ3の5面を同時に見る構成は、1台以上の視覚手段と鏡99のような反射手段をチップ3がその後面を周縁67に吸引保持されているときチップ3の上面、下面、前面、両側面に焦点合わせをすることによって可能となる。チップ3の後面もしくはその他の面は、チップ3が供給車5の穴23に吸引保持されているとき第1検査機55によって既に検査済みである。1個または2個以上の鏡99はチップ3の一定の面を映して一定のカメラその他の視覚手段に姿を映すようにマシン1のさまざまな箇所に設置される。
【0020】
図8、図11及び特に図15に示すように、運搬車65の周縁67から弾き出されたチップ3を排出する第1送出装置101が設けられ、チップ3を図12に示すような容器103に収納する。第1送出装置101は運搬車65の周縁67周り(その上下)に捕獲管105を設置し、その下方に好ましくは漏斗状でポリエチレンチューブのようなフレキシブルチューブ109を備えてこれに連なり、その先はさらに前記の容器103に連なる、周縁67の下方に多数の排出口107を備えている。第1の圧縮空気吹出管111が弁115経由で通路113から圧縮空気をエアノズル117から供給する。弁115はコンピュータプロセッサ63で適時制御されている。視覚検査を看過されてしまったチップ3は、運搬車65で排出口107へ運ばれるが、コンピュータプロセッサ63が運搬車65を一時的に停止させ弁115を開けてエアノズル117から下方に向け圧縮空気を瞬間的に一吹きしてチップ3を運搬車65の周縁67から下方に動かして排出口107に落し入れ容器103へ入れる。排出口107と同一サイズ同一形状の安全口121が各排出口107に隣接して設けられフレキシブルチューブ109によって別容器123に接続されている。
【0021】
コンピュータプロセッサ63は、一定の視覚的に検出可能な傷があるとして拒絶されたチップ3とそれらチップ3の運搬車65上の一定位置をコンピュータプロセッサ63の一時的メモリー(図示せず)に記憶させるようプログラムすることができるから、視覚的検査に合格したチップ3から不合格のチップ3だけを区別するだけでなく、違った視覚的傷のある不合格チップ3を識別し排出口107経由で別の容器へ区別して入れるよう第1圧縮空気吹出管111を作動させることも可能である。
【0022】
図8及び図13に示すように、第2の送出装置125は、図12に示した別容器127のような別箇所へと運搬車65の周縁67から視覚的検査に合格したチップ3を弾き出す構造となっている。第2送出装置125は運搬車65の周縁67の上方に配置された捕獲管105中に排出口129を開口し、上方に向けられたポリエチレンチューブのようなフレキシブルチューブ131が接続され、さらに容器127に接続されている。第2の圧縮空気吹出管135が弁139経由で通路137から圧縮空気をエアノズル141から供給する。この弁139はコンピュータプロセッサ63で適時制御されている。視覚検査を通ったチップ3は、運搬車65で排出口129へ運ばれるが、コンピュータプロセッサ63は運搬車65を一時的に停止させ弁139を開けてエアノズル141から上方に向け圧縮空気を瞬間的に一吹きしてチップ3の下面に当てて運搬車65の周縁67から上方に浮き上がらせ、排出口129に入れ容器127へ入れられる。
【0023】
図14に示すように容器103と容器127は、各々多角形形状にされ、例えば一対の対向する前後壁143と、別の一対の対向する側壁145と、底壁すなわち床147とで一体に形成された長方形にされる。容器103も127も上面は開放され、床147は各室の中心点153に向かって盛り上がり、各壁面に隣接する辺は低く低辺155をなす。このように傾斜する床147はチップ3が平面に直接落下して損傷を受けることを防止している。傾斜面に落下することでチップ3は運搬車65から落下中に増進された運動エネルギーの多くを消散させるのである。
【0024】
図15及び図16に示すように、チップ3が視覚的検査を確実に受けていることを保証するため、位置決手段157が設けられている。好ましい実施例によれば、位置決手段157は図16に示すように、一対の細通孔79からの真空吸引で保持されているチップ3がある周縁67を照射するLED159のような光源であるのがよい。受光体161は周縁67に対向してある捕獲管105中に配置されて、光源159からの光を受ける。コンピュータプロセッサ63は全チップ3の所在を監視して運搬車65の回転中常に全チップ3の位置を追跡するようにプログラムしておく。視覚的検査を通ったけれど合格品とは認められない位置にチップ3が現れたときは、警告灯が点滅して保全手段が作動し、例えば供給車5と運搬車65の回転を止めるなどして、問題のチップ3を除去できるようにしておく。
【0025】
他の実施例では、問題のチップ3は第2送出装置125をそのまま通過させて、スクレーパ163(図15)で捕獲し、別容器にそのチップ3を方向づける。
【0026】
さらに別の実施例では、特に例えば0.040×0.020×0.020インチの「0402」チップなど非常に小さいチップ3を取り扱う場合の実施例として、図17に示すように供給車5はリング31も細溝17も除去する改良を加える。供給車5は供給車165にされ、堅牢で硬直な皿状の第1の上平面169を中心軸171の外方に張り出してネジ172その他の締結手段で固定し、縁を下方への傾斜面173にして、この傾斜面173を周端177まで外方に張り出し、第2の上平面175と融合させている。チップ3を立てて受容するのに適した大きさと形状にされた多数の穴181が周端177箇所で第2上平面175に形成されている。各穴181は周縁177に向けて外側に開放され、面取りされた角部183によって図面上矢印で示したように供給車165の回転方向に穴181の側面で導かれるようにされている。この面取りした角部183は、ちょうど靴べらが足を靴に入り込み易くするようにチップ3を正しい姿勢で入り込みやすくするものである。図4に示したと同様に、チップ3はチップの山19となり、供給車165は前述したと同様の傾斜を保持しながら矢印方向に回転する。リング31はこの実施例では不要である。穴181はチップ3より僅かに大きく形成し、面取りした角部183で補助して各チップ3を第2上平面175から面取りした角部183経由で穴181へ100%の確実性で入り込ませるようにしている。
【0027】
供給車165は図17、図18及び図19に示すように、2枚の車165a、165bを重ね合わせて構成され、車165a、165bは、それぞれ半径を異にし、周縁177a,177bを有している。供給車165の下側の165bは上側の165aより僅かに短い半径にされ、その周縁177aより短い滑らかな周縁177bを有している。穴181は上側165aだけに周縁177aに入り込んで形成される。この構成だと穴181中のチップ3は僅かに周縁177bからはみ出すことになる。さらに図17および図18に示すように、静止真空板41と細通孔51は、細通孔179を静止真空板41から上方に形成し下側の供給車165bから上側の供給車165aへ通し、面取りされた角部183から穴181の反対側の穴の後壁182と穴の側壁185a、185b間に形成される穴181の角へと外側に導くことによって省かれる。この構成では図17、図18および図19に示すように、第1の真空手段は面取り角部183と反対側の穴181の側壁185bの角下方へと導かれ、この穴181の後壁182の下部へと導かれる。穴181は周円177aへ向けて開放されチップ3より僅かに大きめにされているから、チップ3は第2上平面から容易に面取りされた角部183経由で滑り落ちて、図17に示すように穴181に対して真空吸引される。この構成は各穴181にチップ3を正しい上下位置にして全部の穴181に保持するのに極めて有効である。これは又、チップ3の露出している上下端に光照射して測定基準像と比較対照するという測定方法にとって都合がよい。正しい測定値はチップ3の重要な特徴でもある。供給車165a,165bはネジ172でしっかりと固定される。
【0028】
この実施例ではチップ3の各面を見るのに多数のカメラを使うこともできる。また、運搬車65は周縁67を本体部分より肉厚に構成して、運搬車65の製造自体を簡単にし、かつ、チップ3の6面全部の検査ではなく1ないし4面の検査にとって検査がやりやすいようにしてある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 現在ある大型(CC1825型)から小型(CC0402型)の、また最も立体的(CC0603型)から最も平面的(CC1825型)のチップのサイズを示す仕様書である。
【図2】 本発明マシンおよび本発明要素の斜視図である。
【図3】 図2に記載の本発明要素の位置関係を示す概念図である。
【図4】 本発明にかかる供給車の1実施例を示す平面図である。
【図5】 図4に示した供給車の1部分の詳細図である。
【図6】 本発明にかかる供給車の1実施例の上面、細溝、穴および外縁の部分図で、穴にチップを吸引保持するのに使われる真空路の入口と穴の後壁を示す。
【図7】 本発明にかかる供給車の他の実施例の上面、穴および外縁の部分図で、穴にチップを吸引保持するのに使われる穴の後壁に形成された真空路の入口を示す。
【図8】 供給車と運搬車間の近地点(移動域)ならびに運搬車からチップを送り出す捕獲管を示す斜視図である。
【図9】 チップがいかにして移動させられるかを示す、図8の9−9線から見た供給車と運搬車間の移動域の断面図である。
【図10】 本発明にかかる塊化防止手段の斜視図である。
【図11】 視覚的検査に落第したチップを取り上げる第1の送出装置の概念図である。
【図12】 拒絶されて通過してきたチップを取り上げるのに使われる本発明の容器の概念図である。
【図13】 視覚的検査を通ったチップを取り上げる第2の送出装置の概念図である。
【図14】 チップをデリケートに扱う床の傾斜面を示す容器および容器の各壁ならびに床の斜視図である。
【図15】 チップが向かう口と捕獲管の下部を示す斜視図である。
【図16】 チップが運搬車の一定位置にあることを確保する位置決手段の部分断面図である。
【図17】 供給車の外縁の1部分の破断図を含む本発明の供給車の別の実施例を示す斜視図である。
【図18】 図17に示した実施例で形成される穴の1つを示す部分図である。
【図19】 図17の19−19線から見た供給車の1実施例の断面図である。
【図20】 供給車の外縁部分の部分図を含む図17の供給車の実施例の平面図である。
【図21】 穴と真空系図を示す図17の実施例の供給車と静止真空板の断面図である。
Claims (47)
- a)視覚的検査を受ける少なくとも1個の電子部品を乗せる外縁で囲まれた回転する供給車と、
b)該供給車の外側に設置され、該供給車に乗って移動する電子部品の第1側面を見る第1の視覚検査機と、
c)上記供給車と同平面上に並列に連動された周縁のある運搬車であって、供給車の外縁から運搬車の周縁へと電子部品を移し替えるものと、
d)上記運搬車の近傍に設置され、運搬車に乗って移動する電子部品の少なくも第2側面を見る第2の視覚検査機と、
e)上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機の検査を看過して通過してしまった電子部品の所在、及び/又は、上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機により検査を失敗した電子部品の所在を追跡するコンピュータプロセッサと、
f)第1の位置で上記運搬車の周縁に捕獲され損なって視覚的検査を受けていない電子部品を一定の容器に吹き出す第1の送出装置と、
g)上記第1の位置とは異なる第2の位置で上記運搬車の周縁に捕獲されて視覚的検査に合格した電子部品を別の容器に吹き出す第2の送出装置と
を有する受動部品の視覚的検査機。 - 上記供給車は水平面に対して傾斜され、かつ、
a)供給される電子部品の山を乗せる供給車の上面と、
b)間隔をあけた一対の側壁を有する、供給中に電子部品が入り込む少なくとも1個の穴であって、上記供給車の上面の外縁に形成される角部を有するものと、
c)該穴中に電子部品を検査のため保持する真空吸引力を供給する上記供給車に接続された真空装置とを有する請求項1に記載の視覚的検査機。 - a)供給される電子部品の山を乗せる供給車の上面と、
b)該上面中に形成される少なくとも1個の細溝であって、上記外縁に向け外方に向けられ、かつ、角部が形成されたものと、
c)上記外縁における細溝中に形成される少なくとも1個の穴であって、供給中にその中に電子部品が入り込む、間隔をあけた一対の側壁を有するものと、
d)該穴は、電子部品の山中を通過するように配置され、該電子部品の山から少なくとも1個の電子部品を特定の運動向きで受け取るようにされ、
e)該穴は、上記第1の視覚検査機による検査を受けた電子部品を穴から外方の上記外縁へ移動させる窓が貫通形成されている、
請求項1に記載の視覚的検査機。 - 上記角部が面取りを形成するように傾斜されている、請求項2に記載の視覚的検査機。
- 上記角部が面取りを形成するように傾斜されている、請求項3に記載の視覚的検査機。
- 第1の静止真空板を上記供給車に隣接してその下面に供給車の外縁の下側に周縁がくるように配置し、それが電子部品が乗る上記穴の床となる第1の静止真空板を含む、請求項2に記載の視覚的検査機。
- 第1の静止真空板を上記供給車に隣接してその下面に供給車の外縁の下側に周縁がくるように配置し、それが電子部品が乗る上記穴の床となる第1の静止真空板を含む、請求項3に記載の視覚的検査機。
- 第2の静止真空板を上記運搬車に隣接してその下面に運搬車の周縁の下側に周縁がくるがそれより短くて真空吸引力が電子部品を該周縁上に保持するように配置した第2の静止真空板を含む、請求項1に記載の視覚的検査機。
- a)上記運搬車に隣接してその下面に運搬車の周縁の下側に周縁がくるがそれより短いようにした第2の静止真空板と、
b)真空吸引力が電子部品を上記周縁上に保持するようにされた第2の真空装置とを含む、請求項2に記載の視覚的検査機。 - a)上記運搬車に隣接してその下面に運搬車の周縁の下側に周縁がくるがそれより短いようにした第2の静止真空板と、
b)真空吸引力が電子部品を上記周縁上に保持するようにされた第2の真空装置とを含む、請求項3に記載の視覚的検査機。 - 電子部品を保持するため穴中に終端がくるように上記供給車中に形成される少なくとも1本の細通孔を含む、請求項6に記載の視覚的検査機。
- 電子部品を保持するため穴中に終端がくるように上記供給車中に形成される少なくとも1本の細通孔を含む、請求項7に記載の視覚的検査機。
- 電子部品が乗る周縁に終端するように運搬車中に形成された少なくとも2本の細通孔を含む、請求項6に記載の視覚的検査機。
- 電子部品が乗る周縁に終端するように運搬車中に形成された少なくとも2本の細通孔を含む、請求項7に記載の視覚的検査機。
- 上記運搬車の周縁が電子部品の高さより薄くされ電子部品が上記外縁に当接して上記第1側面及び第2側面が露出するように上面より下に下面より上になるように保持されて上面、下面、前面が上記第2の視覚検査機の視覚的検査を同時に受けられるようにされている、請求項1に記載の視覚的検査機。
- a)上記供給車の穴中の外縁に電子部品を当接して保持することを補助する供給車の外縁に隣接する1壁面と、
b)該1壁面に開けた窓であって、電子部品が上記外縁上を回転通過するとき電子部品の最も外側の面を第1の視覚検査機が見えるようにしたものとを含む、請求項1に記載の視覚的検査機。 - 上記供給車に乗って移動する間電子部品の第1側面を見る供給車の近傍に配置される第1の視覚検査機がチャージドカップルデバイスカメラである、請求項1に記載の視覚的検査機。
- 上記供給車に乗って移動する間電子部品の第2から第6の面を見る供給車の近傍に配置される第2の視覚検査機がチャージドカップルデバイスカメラである、請求項1に記載の視覚的検査機。
- 上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の5つの面を5つより少ない装置によって見ることができる、請求項1に記載の視覚的検査機。
- a)上記供給車と上記運搬車間の近地点近傍の上流に配置されるガイドと、
b)該ガイドに形成される、上記供給車の曲線の半径と同じ曲線半径の曲壁であって、供給車近傍に配置されるものと、
c)上記供給車の回転方向に上方にカーブする上記曲壁中に設けられ、上記穴の外側に出っ張る電子部品にさわると電子部品を上方に押し上げ同時に上記供給車の外縁から離すように構成された傾斜路とを有する、請求項1に記載の視覚的検査機。 - 上記運搬車の周縁から拒絶された電子部品を送り出して1箇所に捕獲させる第1の送出装置が、
a)上記運搬車の周縁の一部の上側及び下側に隣接して取り付けられる管と、
b)落第つまり拒絶された電子部品の入口となる上記運搬車の周縁下の上記管中に設けられる少なくとも1個の排出口と、
c)上記供給車の外縁より上方で上記排出口の反対側に設置される少なくとも1個のエアノズルに圧縮空気を制御弁経由で送る第1の圧縮空気吹出管であって、上記コンピュータに接続され、上記制御弁を開き落第した電子部品を瞬間的に圧縮空気を一吹きして上記外縁から電子部品を外し収集容器に接続された口中へと落し込むものとを有する、請求項1に記載の視覚的検査機。 - 上記排出口から導かれ電子部品を収集容器へと運び入れる少なくとも1本のチューブを含む、請求項21に記載の視覚的検査機。
- 上記運搬車の周縁から合格した電子部品を送り出して1箇所に捕獲させる第2の送出装置が、
a)上記運搬車の周縁の一部の上側及び下側に隣接して取り付けられる管と、
b)合格した電子部品の入口となる上記運搬車の周縁の上方の上記管中に設けられる少なくとも1個の排出口と、
c)上記供給車の外縁より下方で上記排出口の反対側に設置される少なくとも1個のエアノズルに圧縮空気を制御弁経由で送る第2の圧縮空気吹出管であって、上記コンピュータに接続され、上記制御弁を開き合格した電子部品を瞬間的に圧縮空気を一吹きして上記外縁から電子部品を外し収集容器に接続された口中へと吹き上げるものとを有する、請求項1に記載の視覚的検査機。 - 上記排出口から導かれ電子部品を収集容器へと運び入れる少なくとも1本のチューブを含む、請求項23に記載の視覚的検査機。
- 視覚的検査機から電子部品を収集する容器が、電子部品を運搬車に移動させるとき電子部品の運動エネルギを分散させる方向にベクトルを供給する傾斜した床にされている、請求項23に記載の視覚的検査機。
- 側壁と床で囲まれてなる容器であって、床が中央で盛り上げられ電子部品が運搬車から落されるとき電子部品の運動エネルギを分散させる方向にベクトルを供給するように傾斜させてある、請求項25に記載の視覚的検査機。
- 上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の上記第1側面及び第2側面を除く他の面を見る、請求項1〜26のいずれか1項に記載の視覚的検査機。
- 上記電子部品は、上記第1側面及び第2側面に加えて上面及び下面を有し、上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の少なくとも上記上面又は下面を見る、請求項1〜27のいずれか1項に記載の視覚的検査機。
- 上記電子部品は受動部品を含む、請求項26に記載の視覚的検査機。
- 上記受動部品はコンデンサチップである、請求項29に記載の視覚的検査機。
- 上記コンピュータプロセッサは、異なる容器に分離されるべき視認できる傷をもった部品を不合格にする、請求項1に記載の視覚的検査機。
- 上記コンピュータプロセッサは、検査合格の部品を追跡し、また検査不合格の部品を追跡する、請求項1に記載の視覚的検査機。
- a)供給するための個々の電子部品の山を乗せる上面と多数の穴を穿設した外縁とを持つ供給車であって、該穴は該電子部品の山から1個の電子部品を所望の一定向きで受け取れるように統一された大きさ及び形状に間隔をあけた一対の側壁と後壁で構成され、その穴の中へ電子部品を導き落とすようにしてあるものと、
b)該穴中にある各電子部品を第1の検査に当たらせるため各穴内に電子部品を保持するため真空吸引力を出す、上記運搬車に接続されている第1の真空吸引装置と、
c)該供給車の外側に設置され、該供給車の上記穴中に位置する電子部品の少なくとも第1側面を見る第1の視覚検査機と、
d)上記供給車と並列に連動された周縁のある運搬車であって、供給車の上記穴から電子部品を受け取り運搬車の周縁に電子部品を保持して後の動きに備えるものと、
e)上記運搬車の近傍に設置され、運搬車に乗って移動する電子部品の上記以外の各面を見る第2の視覚検査機と、
f)上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機の検査を看過して通過してしまった、及び/又は、上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機の検査を失敗した電子部品の所在を追跡するコンピュータプロセッサと、
g)上記運搬車の周縁に捕獲され損なって視覚的検査を受けていない電子部品を一定の容器に吹き出す第1の送出装置と、
h)上記運搬車の周縁に捕獲されて視覚的検査に合格した電子部品を別の容器に吹き出す第2の送出装置とを有する受動部品の視覚的検査機。 - 上記供給車の外縁と上記運搬車の周縁とが連動して並列の近地点にきたとき上記第2の視覚検査機による検査のため上記運搬車の周縁上にその後に各電子部品を保持する、上記供給車の外縁の穴から電子部品を捕獲して上記運搬車の周縁上へと電子部品を移動させる真空吸引力を供給するため上記運搬車に接続された第2の真空装置を含む、請求項33に記載の視覚的検査機。
- 上記供給車が中心軸周りに回転するように設定され、電子部品の山が乗る上記上面が少なくとも一カ所で上記中心軸から下方から上記穴まで傾斜させられている、請求項33に記載の視覚的検査機。
- 電子部品を上記電子部品の山から上記穴に所望の向きで入れ込ませる補助をするように上記供給車回転方向に最も近い位置で上記穴の1側壁に形成した面取り角部を有する、請求項33に記載の視覚的検査機。
- 上記供給車と上記運搬車とが同一平面上に並べられている、請求項33に記載の視覚的検査機。
- 上記供給車と上記運搬車とが水平面に対して同一角度に傾斜させられている、請求項35に記載の視覚的検査機。
- 上記角度が45度である、請求項38に記載の視覚的検査機。
- 上記供給車が次の層で構成され、すなわち、
a)上記穴が形成される外縁を終端とする上面で限定される上側の車と、
b)上記上側の車の外縁上であって上記穴中にある電子部品が上記下側の車の外縁近傍の下側の車でほんの一部分だけサポートされて上記下側の外縁から外に張り出すように、上記上側の車の外縁から一周小さくされた外縁の下側の車であって上記穴の床の一部をなすものと、を有し、
c)上記第1の真空装置が上記穴の後壁と上記面取りされた側壁でない方の側壁間に形成される角部の下方に向けられている、請求項33に記載の視覚的検査機。 - 上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の上記第1側面及び第2側面を除く他の面を見る、請求項33〜40のいずれか1項に記載の視覚的検査機。
- 上記電子部品は、上記第1側面及び第2側面に加えて上面及び下面を有し、上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の少なくとも上面又は下面を見る、請求項41に記載の視覚的検査機。
- 上記電子部品は受動部品を含む、請求項33〜40に記載の視覚的検査機。
- a)視覚的検査を受ける少なくとも1個の電子部品を乗せる外縁で囲まれた回転する供給車に少なくとも1個の電子部品を乗せること、
b)上記供給車の外側に設置され、該供給車に乗って移動する電子部品の少なくとも第1側面を第1の視覚検査機で見ること、
c)上記運搬車の近傍に設置され、上記供給車と並列に連動された周縁のある運搬車であって、供給車の外縁から運搬車の周縁へと電子部品を移し替えること、
d)上記運搬車の近傍に設置され、運搬車に乗って移動する電子部品の他の面を第2の視覚検査機で見ること、
e)上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機の検査を看過して通過してしまった電子部品の所在、及び/又は、上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機により検査を失敗した電子部品の所在を追跡すること、
f)第1の位置で上記運搬車の周縁に捕獲され損なって視覚的検査を受けていない電子部品を一定の容器に吹き出すこと、
g)上記第1の位置とは異なる第2の位置で上記運搬車の周縁に捕獲されて視覚的検査に合格した電子部品を別の容器に吹き出すこと
を含む電子部品の視覚的検査方法。 - 請求項1〜26のいずれか1項に記載の視覚的検査機を用いて電子部品を視覚的に検査する方法であって、
a)視覚的検査を受ける少なくとも1個の電子部品を乗せる外縁で囲まれた回転する供給車に少なくとも1個の電子部品を乗せること、
b)上記供給車の外側に設置され、該供給車に乗って移動する電子部品の少なくとも第1側面を第1の視覚検査機で見ること、
c)上記運搬車の近傍に設置され、上記供給車と並列に連動された周縁のある運搬車であって、供給車の外縁から運搬車の周縁へと電子部品を移し替えること、
d)上記運搬車の近傍に設置され、運搬車に乗って移動する電子部品の他の面を第2の視覚検査機で見ること、
e)上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機の検査を看過して通過してしまった電子部品の所在、及び/又は、上記第1の視覚検査機及び/又は第2の視覚検査機により検査を失敗した電子部品の所在を追跡すること、
f)第1の位置で上記運搬車の周縁に捕獲され損なって視覚的検査を受けていない電子部品を一定の容器に吹き出すこと、
g)上記第1の位置とは異なる第2の位置で上記運搬車の周縁に捕獲されて視覚的検査に合格した電子部品を別の容器に吹き出すことを含む電子部品の視覚的検査方法。 - 上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の上記第1側面及び第2側面を除く他の面を見る、請求項45に記載の視覚的検査機。
- 上記電子部品は、上記第1側面及び第2側面に加えて上面及び下面を有し、上記第2の視覚検査機は、上記電子部品の少なくとも上面又は下面を見る、請求項45に記載の視覚的検査機。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/US2000/014235 WO2001089725A1 (en) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | Inspection machine for surface mount passive component |
US09/578,787 | 2000-05-23 | ||
US09/578,787 US6294747B1 (en) | 1999-06-02 | 2000-05-23 | Inspection machine for surface mount passive component |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003534122A JP2003534122A (ja) | 2003-11-18 |
JP3668192B2 true JP3668192B2 (ja) | 2005-07-06 |
JP2003534122A5 JP2003534122A5 (ja) | 2005-12-22 |
Family
ID=24314309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001585954A Expired - Fee Related JP3668192B2 (ja) | 2000-05-23 | 2000-05-23 | 受動部品の視覚的検査器 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6294747B1 (ja) |
EP (1) | EP1283751B1 (ja) |
JP (1) | JP3668192B2 (ja) |
KR (1) | KR100478885B1 (ja) |
CN (1) | CN1241689C (ja) |
AT (1) | ATE361792T1 (ja) |
AU (1) | AU2000251587A1 (ja) |
CZ (1) | CZ2002662A3 (ja) |
DE (1) | DE60034820T2 (ja) |
HU (1) | HUP0203331A2 (ja) |
IL (1) | IL147702A0 (ja) |
TW (1) | TW571102B (ja) |
WO (1) | WO2001089725A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100350855B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2002-09-05 | 주식회사옌트 | 표면 실장용 칩 검사 장치에서의 칩 선별기 |
TW577163B (en) * | 2001-11-27 | 2004-02-21 | Electro Scient Ind Inc | A shadow-creating apparatus |
US6756798B2 (en) | 2002-03-14 | 2004-06-29 | Ceramic Component Technologies, Inc. | Contactor assembly for testing ceramic surface mount devices and other electronic components |
US6710611B2 (en) | 2002-04-19 | 2004-03-23 | Ceramic Component Technologies, Inc. | Test plate for ceramic surface mount devices and other electronic components |
JP4243960B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2009-03-25 | ヤマハファインテック株式会社 | ワークの選別装置および選別方法 |
US7221727B2 (en) * | 2003-04-01 | 2007-05-22 | Kingston Technology Corp. | All-digital phase modulator/demodulator using multi-phase clocks and digital PLL |
US20050139450A1 (en) * | 2003-12-30 | 2005-06-30 | International Product Technology, Inc. | Electrical part processing unit |
US7364043B2 (en) * | 2003-12-30 | 2008-04-29 | Zen Voce Manufacturing Pte Ltd | Fastener inspection system |
US7161346B2 (en) * | 2005-05-23 | 2007-01-09 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method of holding an electronic component in a controlled orientation during parametric testing |
KR100713801B1 (ko) * | 2006-04-07 | 2007-05-04 | (주)알티에스 | 듀얼 전자부품 검사 방법 |
KR100713799B1 (ko) * | 2006-04-07 | 2007-05-04 | (주)알티에스 | 듀얼 전자부품 검사장치 |
KR100783595B1 (ko) * | 2006-04-14 | 2007-12-10 | (주)알티에스 | 듀얼 전자부품 검사장치에서의 전자부품 분류방법 |
US7704033B2 (en) * | 2006-04-21 | 2010-04-27 | Electro Scientific Industries, Inc. | Long axis component loader |
JP2009216698A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-24 | Camtek Ltd | 対象物の複数の側面を画像化するための装置および方法 |
WO2010059130A1 (en) * | 2008-11-19 | 2010-05-27 | Ust Technology Pte. Ltd. | An apparatus and method for inspecting an object |
CN101750417B (zh) * | 2008-12-12 | 2012-03-14 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 检测装置 |
KR101056105B1 (ko) * | 2009-01-20 | 2011-08-10 | (주)알티에스 | 전자부품 검사기의 분류장치 |
KR101056107B1 (ko) * | 2009-01-21 | 2011-08-10 | (주)알티에스 | 전자부품 검사장치의 분류장치 |
KR101112193B1 (ko) * | 2010-11-09 | 2012-02-27 | 박양수 | 회전형 엘이디 검사 장치 |
TWI418811B (zh) * | 2011-02-14 | 2013-12-11 | Youngtek Electronics Corp | 封裝晶片檢測與分類裝置 |
KR101284528B1 (ko) * | 2011-11-08 | 2013-07-16 | 대원강업주식회사 | 기어림 표면 흠 검사장치 및 검사방법 |
DE102012216163B4 (de) * | 2012-01-11 | 2017-03-09 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Zuführen von Kappen mit Überwachungssystem |
KR102015572B1 (ko) | 2013-10-02 | 2019-10-22 | 삼성전자주식회사 | 실장 장치 |
CN104375022B (zh) * | 2014-10-10 | 2017-05-03 | 苏州杰锐思自动化设备有限公司 | 一种六面测试机台 |
KR20160090553A (ko) | 2015-01-22 | 2016-08-01 | (주)프로옵틱스 | 다면 검사장치 |
TWI643800B (zh) * | 2018-06-01 | 2018-12-11 | 鴻勁精密股份有限公司 | Electronic component image capturing device and job classification device thereof |
JP2022508708A (ja) * | 2018-10-15 | 2022-01-19 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 部品を取り扱う際に使用されるシステム及び方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2583447A (en) * | 1946-08-03 | 1952-01-22 | American Wheelabrator & Equipm | Classifier |
US3750878A (en) * | 1971-11-15 | 1973-08-07 | Dixon K Corp | Electrical component testing apparatus |
US4105122A (en) * | 1976-11-26 | 1978-08-08 | Borden, Inc. | Inspecting cans for openings with light |
DE2910494A1 (de) * | 1978-03-17 | 1979-10-11 | Fuji Electric Co Ltd | Vorrichtung zur pruefung des aussehens bzw. zustands von festen medikamenten |
SU1219172A1 (ru) * | 1984-08-20 | 1986-03-23 | Производственно-Экспериментальный Завод "Санитас" Научно-Исследовательского Института По Биологическим Испытаниям Химических Соединений | Устройство дл размерной сортировки деталей |
FR2590811B1 (fr) * | 1985-12-03 | 1989-08-25 | Pont A Mousson | Machine automatique de controle et de tri de pieces, en particulier cylindriques |
JPH0654226B2 (ja) * | 1988-03-31 | 1994-07-20 | ティーディーケイ株式会社 | チップ状部品の自動外観検査機 |
JPH02193813A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の整列・反転方法 |
FR2654549A1 (fr) * | 1989-11-10 | 1991-05-17 | Europ Composants Electron | Dispositif de controle et de tri de condensateurs chips. |
US6025567A (en) * | 1997-11-10 | 2000-02-15 | Brooks; David M. | Binning wheel for testing and sorting capacitor chips |
JP4039505B2 (ja) * | 1999-03-16 | 2008-01-30 | オカノ電機株式会社 | 外観検査装置 |
-
2000
- 2000-05-23 US US09/578,787 patent/US6294747B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-23 KR KR10-2002-7000911A patent/KR100478885B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-05-23 HU HU0203331A patent/HUP0203331A2/hu unknown
- 2000-05-23 CZ CZ2002662A patent/CZ2002662A3/cs unknown
- 2000-05-23 DE DE60034820T patent/DE60034820T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-23 WO PCT/US2000/014235 patent/WO2001089725A1/en active IP Right Grant
- 2000-05-23 EP EP00936241A patent/EP1283751B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-23 AU AU2000251587A patent/AU2000251587A1/en not_active Abandoned
- 2000-05-23 AT AT00936241T patent/ATE361792T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-05-23 JP JP2001585954A patent/JP3668192B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-23 IL IL14770200A patent/IL147702A0/xx unknown
- 2000-05-23 CN CNB008106959A patent/CN1241689C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-21 TW TW089116901A patent/TW571102B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CZ2002662A3 (cs) | 2002-07-17 |
EP1283751A1 (en) | 2003-02-19 |
DE60034820T2 (de) | 2008-01-17 |
US6294747B1 (en) | 2001-09-25 |
DE60034820D1 (de) | 2007-06-21 |
EP1283751B1 (en) | 2007-05-09 |
EP1283751A4 (en) | 2004-08-11 |
ATE361792T1 (de) | 2007-06-15 |
WO2001089725A1 (en) | 2001-11-29 |
KR100478885B1 (ko) | 2005-03-28 |
CN1241689C (zh) | 2006-02-15 |
JP2003534122A (ja) | 2003-11-18 |
HUP0203331A2 (en) | 2003-02-28 |
KR20020019556A (ko) | 2002-03-12 |
CN1362896A (zh) | 2002-08-07 |
IL147702A0 (en) | 2002-08-14 |
TW571102B (en) | 2004-01-11 |
AU2000251587A1 (en) | 2001-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3668192B2 (ja) | 受動部品の視覚的検査器 | |
JP4388286B2 (ja) | 微小物体検査装置 | |
TWI402108B (zh) | 用於測試和分類電子元件的系統 | |
TWI450797B (zh) | Nozzle, nozzle unit and bead processing device | |
KR20060111590A (ko) | 패스너 검사 시스템 | |
JP2008105811A (ja) | ワークの外観検査装置 | |
CN104517877B (zh) | 组件装载设备和方法 | |
TWI724410B (zh) | 用於分類基板的設備,及用於操作此設備的方法 | |
JP2003341832A (ja) | チップ分離搬送装置 | |
JP5835244B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP5565916B2 (ja) | 検査分類装置 | |
CN106211737B (zh) | 电子零件搬运装置 | |
JP3464990B2 (ja) | 微小物体検査装置 | |
JP2004361223A (ja) | キャップの外観検査装置 | |
CN116532375B (zh) | 一种工件视觉检测上料系统及全检机 | |
KR100924575B1 (ko) | 전자부품 검사장치 | |
JP4264155B2 (ja) | 微小物体の外観検査装置 | |
JP4785245B2 (ja) | 微小物体検査装置 | |
TWI232297B (en) | Apparatus and method for screening of works in response to inspection results | |
TW202320202A (zh) | 使用斜角晶圓工作台及斜角轉台從晶圓挑揀晶粒之系統和過程 | |
JPH0758175A (ja) | ウエハ搬送方法とその装置並びにウエハ検査装置 | |
JP6182996B2 (ja) | 搬送装置及び搬送ローター | |
CN204102921U (zh) | Led封装芯片检测装置 | |
KR100987520B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP3973116B2 (ja) | チップの4面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050407 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080415 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090415 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100415 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110415 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120415 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120415 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130415 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130415 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |