JP2003534122A - 受動部品の視覚的検査器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップの品質検査を効率化する。 【解決手段】 チップの山を乗せる傾斜させた上面と上下の向きを一定に１個のチップを受け入れるように大きさ形状を統一して構成される多数の穴がされた外縁とを有する回転する供給車であって、該穴は各々間隔をあけた一対の側壁と後壁とで限定され該側壁上に位置する供給車の上面から穴へと導く供給車の回転方向に面取りした角部を備え、第１の検査を受けさせるため穴の中に各チップを保持する供給車に接続された第１の真空吸引装置と、供給車の穴の中にあるときチップの第１の側面を見る供給車の近傍に配置された第１の検査機と、上記供給車と同一平面上に設置され供給車と並列に連動して供給車の穴からチップをその後の移動に備えて周縁に受け止める運搬車と、該運搬車に載って移動する間チップの上記面以外の面を見る運搬車の近傍に設置される第２の検査機と、第１及び第２の検査機による検査を通り落第したチップの所在を追跡するコンピュータプロセッサと、落第したチップを一定個所に捕獲させるため運搬車の周縁から除去する第１の送出装置と、合格したチップを別の一定個所に捕獲させるため運搬車の周縁から除去する第２の送出装置と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この発明は１９９９年６月２日付で出願の出願番号０９／３２４２７３の米国
特許出願の一部継続出願の特許出願である。 本発明は自動制御装置の分野に属する。より詳細には、極めて丁寧に、かつ、
正確に、受動部品（小さな電子部品）を供給し、視覚的に検査し、かつ選別する
高速機に属する。

【０００２】

【従来の技術】

社会が成熟するにつれ、電子工業も新しい多様化した製品やサービスを厖大に
提供するようになっている。コンピュータおよびコンピュータコンポーネントの
新しい利用法が次々と生み出される。こうした利用法の発展はコンピュータおよ
びコンポーネントならびに付属機器の小型化の要請をもたらす。例えば古いタイ
プのコンデンサは導線が端部から伸びるシガレット大のものから金属端子をもつ
米粒より微小なＭＬＣＣ（多層チップコンデンサ）や直付受動部品と呼ばれるセ
ラミックデバイスに変わってきている。現在、こうしたチップはその全体でも0.
040×0.020×0.020インチという微小なセラミックデバイスにされている。１イ
ンチに５０個ものそうしたデバイスがぎっしり設置される。こうしたチップは図
１に記載のサイズにされている。

【０００３】 このような小型化の要請に加えて、より迅速な生産の要請が同様にある。チッ
プ生産においては無数の電子テストが、それらチップの特性に合わせて１個１個
につき行われなければならない。こうしたテストの具体例については米国特許第
5673799号に詳しく記載されているが、消失ファクターテスト、キャパシタンス
テスト、フラッシュテスト、絶縁抵抗テストなどに大別することができる。この
ほかにも新しいテストが次々に考案され、一連のテストがこうした微小チップに
対してさらに行われるようになっている。

【０００４】 チップをより効率的に生産するためには全体の生産時間を短くして、回路に対
するあらゆる要請を満足させられるチップだけをテスト対象にするように、テス
トの場から視覚的に傷があるチップは排除しておくことが求められている。こう
した視覚的に判別できる傷としては、絶縁体の層崩[delamination]、チップ表面
のひび割れ、角部や端部の削り取り片、端子糊の汚れや流出あるいは無視できな
い波立ちなど金属端子の疵がある。こうした傷はチップに要求される電子特性の
変化をもたらすから、それほど厳格な使用環境でないところで使用するしかでき
なくなる。

【０００５】

【発明が解決しょうとする課題】

したがって損傷を受けているチップは使用環境の緩い所で限定的に使うように
、予備テストでチップを視覚的に検査して、厳格な条件が課される使用環境以外
の環境で使用するよう選別する動きが出ている。そうすればその後の電子テスト
が効率化され高速化および経費節約、さらに高品質化を図ることができるのであ
る。効率的に視覚的検査を行うにはチップの高速処理が要求されるが同時にチッ
プを損傷しないよう注意する必要もある。１時間に７万５千個の迫る高速が達成
されなければならない。これは１台のマシンが１秒間に２０〜２１個の微小なセ
ラミックチップを視覚的検査することを意味する。しかしそうするにはマシンが
膨大な数量のチップを効率的に処理できなければならない。狭い空間に山に積み
上げたり、平板面にある高さから落とし込むなどチップに加えられる明白な力は
、ひび割れなどの傷をチップに負わせる因になる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本発明は微小な多層コンデンサチップなどのチップを視覚的に検査するマシン
に関する。このマシンは、立体的なチップを先端に受け止められるだけの厚さの
外縁をもつ回転可能な供給車と、該供給車近傍に設置される第１の検査機と、該
供給車と連動するように同一平面上に並列される周縁のある回転可能な運搬車で
あって、チップが供給車に乗って回転移動している間にチップの１外表面を視覚
的に検査するため、上記第１視覚的検査機の通路を超える通路でチップを供給車
の外縁から運搬車の周縁へ移動させるように回転する運搬車と、該運搬車近傍に
設置されるテレビカメラ、鏡、ＬＥＤ、閃光灯、プリズムなどのチップが運搬車
へ移動する間にチップの上記１外表面以外の各面を視覚的に検査する第２の検査
機と、供給車上にあった出発位置から運搬車へと移動するまでのチップの所在を
監視し続け、剥がれ、欠損、端子の汚れなどの視覚的検査における合格、落第を
識別するコンピュータと、運搬車の周縁から落第したチップを排除して１または
２以上の容器に送り出す第１の圧縮空気送出機と、視覚的検査に合格したチップ
を運搬車の周縁から外して１または２以上の他の容器に送り出す第２の圧縮空気
送出機と、を有することを特徴とする。

【０００７】 本発明のもう一つの特徴は、0.040×0.020×0.020インチという「０４０２」
チップと呼ばれる微小なチップを視覚的検査する能力をもつこと、及びこうした
微小なチップをデリケートに移動させてマシン処理がチップを損傷させないで、
チップをたった２つの場にもってくるだけでチップの１面および全面を視覚的に
検査可能にし、チップをマシンからデリケートに外して選別容器に入れ込み、安
全かつ効率的に視覚的に合格したチップだけを合格容器に入れ込むことを確保す
ることにある。さらに、これら容器は特殊な構成にされ、チップが落し込まれる
底は傾斜面をなして運搬車から選別容器に入れられる途中でチップに損傷を負わ
せないように工夫されている。

【０００８】 したがって本発明の主目的は、チップが処理過程で損傷しないようにデリケー
トな処理技術でありながら高速に、微小なセラミックチップを安全に視覚的検査
するマシンを提供することである。さらにもう一つの目的は、たった２つの場に
チップをもってくるだけで、チップの６面全部を検査でき、検査中ならびに検査
後の選別中にチップの表面に損傷を負わせない、検査を終えたチップが間違えよ
うのないほど簡明に選別され１カ所に集積されるようにした、そして視覚的検査
段階で時間当たり７万個まで処理できるマシンを提供することである。

【０００９】

【実施例】 以下、本発明の１実施例を示す図面を参照して詳細に説明する。

【００１０】 図２、図３及び図４は、微小なセラミックチップ３を取り扱うマシン１に係る
本発明の構成要素の概略を示すもので、好ましくは円形をなす上面７と外縁９の
ある供給車５を備える。供給車５は好ましくは４５度に傾斜された傾斜盤１５に
取り付けられたモータ（図示せず）で駆動されるよう中心軸１３に取り付けられ
る。この供給車５は一定方向に向けてチップを外縁９に受け止める。

【００１１】 図４、図５及び図６に示すように、供給車５の上面７には外縁９に向けて放射
状に多数の細溝１７が形成され、チップ３の山１９中を移動して少なくとも１個
のチップ３を一定の方向に向けさせて受け止めるようにされている。ここで「一
定の方向に向けさせて」とは、細溝１７の形がチップ３の入る幅（側壁もしくは
前後壁のいずれか一つの）にされ、かつ、チップ３が放射状の細溝１７の軸方向
に（チップ３の上面と下面を通る方向に）、つまり横切る方向でない方向に、入
る込むようにされていることを言う。細溝１７は外縁９が下方に回転していくと
、チップ３は斜めに面取りした角部２１から供給車５の細溝１７の底部に形成さ
れた穴２３に落ち内壁２５に当たる。大きめのチップ３を扱えるように細溝１７
はおおまかに形成されている。

【００１２】 チップの山１９は振動シュート２９経由でホッパ２７から送り出され、供給車
５の上面７の６時ないし５時位置にデリケートに排出される。多数の外方に伸び
る指が形成され、それら指間にポケット３３が形成されたリング３１が供給車５
の上面７に設けられ、チップ３を外縁９に向けてデリケートに移動させる補助を
する。

【００１３】 図７に示すように、小さめのチップ３のために穴２３は供給車５の上面７から
直接に形成されていて、細溝１７なしでも済ますことができる。この実施例によ
れば図７に示すように、穴２３は間隔をあけた側壁３７と、内壁２５とで囲まれ
、供給車５の回転方向に側壁３７に角部３９が設けられる。好ましい実施例によ
れば、角部３９は斜めに面取りされる。穴２３は外縁９の外方には何も壁形成さ
れておらず開放されているから、図６に鎖線で示したようにチップ３が穴２３中
に収まると外縁９の外側にチップ３はその側面または前面または後面を露出する
ことになる。

【００１４】 図６及び図７に示すように、第１の静止の真空板４１が、供給車５の下側に例
えば０.００２インチという僅かな間隙をあけ、供給車５の外縁９の先端にみず
からの先端４３をそろえて配置され、チップ３を受容できるように穴２３の床面
４５を形成している。同図に示すように、第１の真空室４９が第１静止真空板４
１の上面と供給車５の下面間に形成され、穴２３から吸い込むように真空源（図
示せず）に接続されている。細通孔５１が供給車５の穴２３の内壁２５に穿設さ
れ、供給車５の壁面中を貫通して真空室４９に到達している。細通孔５１は穴２
３中にあるチップ３を真空吸引して保持する。前記の第１静止真空板４１の上面
と供給車５の下面間の僅かな間隙は、図６に示すように穴２３中にチップ３を保
持する追加的な保持力を提供する真空通路となる。

【００１５】 図３に示すように、テレビカメラ５７のような第１の検査機５５が供給車５か
ら間隔をあけて設定され、一時的に穴２３中に入ったチップ３が検査機５５のそ
ばを通過するとき、その露出面を見せて検査を受ける。外縁９に当たり穴２３中
にあるチップ３を保持するのを補助するため、約６時から約２時半の位置に周壁
５９が供給車５の外縁９に隣接して形成される。回転する供給車５の外縁９の穴
２３中にあるチップ３の露出面を第１検査機５５が見ることができるように、こ
の周壁５９には２時の位置に窓６１が形成される。マシン１にはコンピュータプ
ロセッサ６３（図２）が接続され、チップ３が第１検査機５５の視野内を通過す
るとき各チップ３を追跡できるように第１検査機５５が接続される。

【００１６】 図３、図８及び図９に示すように、周縁６７のある好ましくは円形の運搬車６
５が中心軸６９に回転可能に取り付けられる。運搬車６５は供給車５と同一の傾
斜面に取り付けられ、モータ（図示せず）で駆動される。これら運搬車６５と供
給車５は互いに並列に連動してチップ３を供給車５の外縁９の穴２３から同一平
面上にある運搬車６５の周縁６７に移動させる。ここに「互いに並列に連動して
」とは、運搬車６５と供給車５とが接線的に接触し合って、同一の周縁速度を保
持しつつチップ３が外縁９の穴２３から直接、放射状に外方へ移動させられて運
搬車６５の周縁６７へ穏やかに移動させられることを言う。また図９に示したよ
うに、運搬車６５の周縁６７は検査されるチップ３の高さより薄く形成され、チ
ップ３の上面と下面、両側面及び前面が露出するようにされている。このように
構成されているので、図３に示すようにチップ３の上面と下面、両側面及び前面
が、カメラその他の視覚機器並びに鏡と光源７１の焦点を５方向より少ない方向
から受けるから５台以下のカメラで検査を受けることができる。

【００１７】 図９に示すように第２の静止真空板７３を有する第２の真空装置が運搬車６５
の下側に、例えば０.００２インチという僅かな間隙をあけ、運搬車６５の周縁
６７より短い外縁７５まで張り出している。同図に示すように、第２の真空室７
７が第２の静止真空板７３の上面と運搬車６５の下面間に形成され、真空源（図
示せず）に接続されている。図９に示すように、一対の平行する細通孔７９が運
搬車６５の内壁中に穿設され、周縁６７から運搬車６５の壁面中を貫通して第２
真空室７７に到達している。この実施例では細通孔７９は図９に示すような２本
でなく１本でも可である。細通孔７９と運搬車６５の下面及び第２真空板７３の
上面間の間隙とはチップ３を吸引保持するように周縁６７に真空圧を通す道とな
る。チップ３は第１真空室４９によって供給車５の穴２３中に真空吸引されてい
るが、運搬車６５の周縁６７に移動させられて第２真空室７７に連なる前記一対
の細通孔７９及び運搬車６５の下面・静止真空板７３の上面間の間隙からの真空
圧で吸引され保持されることになる。第１真空室４９中の真空圧を例えば１とし
たとき第２真空室７７中の真空圧を３倍にすればチップ３を容易に移動させるこ
とができ、移動中にチップ３をあまり落さなくて済むことが分かっている。

【００１８】 図８及び図１０に示すように、チップ３の移動中にチップ３がかたまってしま
わないように供給車５と運搬車６５間の近地点８３に塊化防止手段８１を設ける
。塊化防止手段８１はロックダウンネジ８７が取り付けられたベース８５と、好
ましくは供給車５の外縁９の曲率に一致する曲率の曲面をもつ第１の曲壁８９と
を備え、近地点８３の直前に配置される。曲壁８９には曲壁８９が近地点８３に
近づくにつれ上方に昇っていく傾斜路９１が形成される。普通なら供給車５と運
搬車６５との間にかたまってしまうおそれがある穴２３の外縁９の外側に重なる
チップ３（「重ね」と呼ばれる）は、傾斜路９１を上方に昇って供給車５から離
されマシン１を傷めるおそれを予防することができる。

【００１９】 図３に示すように運搬車６５近傍のおよそ９時の位置に運搬車６５の周縁６７
に吸引保持されて回転通過するチップ３の外側を見て検査する１台または２台以
上のテレビカメラ９５のような第２の検査機９３が据え付けられる。このように
チップ３の５面を同時に見る構成は、１台以上の視覚手段と鏡９９のような反射
手段をチップ３がその後面を周縁６７に吸引保持されているときチップ３の上面
、下面、前面、両側面に焦点合わせをすることによって可能となる。チップ３の
後面もしくはその他の面は、チップ３が供給車５の穴２３に吸引保持されている
とき第１検査機５５によって既に検査済みである。１個または２個以上の鏡９９
はチップ３の一定の面を映して一定のカメラその他の視覚手段に姿を映すように
マシン１のさまざまな箇所に設置される。

【００２０】 図８、図１１及び特に図１５に示すように、運搬車６５の周縁６７から弾き出
されたチップ３を排出する第１送出装置１０１が設けられ、チップ３を図１２に
示すような容器１０３に収納する。第１送出装置１０１は運搬車６５の周縁６７
周り（その上下）に捕獲管１０５を設置し、その下方に好ましくは漏斗状でポリ
エチレンチューブのようなフレキシブルチューブ１０９を備えてこれに連なり、
その先はさらに前記の容器１０３に連なる、周縁６７の下方に多数の排出口１０
７を備えている。第１の圧縮空気吹出管１１１が弁１１５経由で通路１１３から
圧縮空気をエアノズル１１７から供給する。弁１１５はコンピュータプロセッサ
６３で適時制御されている。視覚検査を看過されてしまったチップ３は、運搬車
６５で排出口１０７へ運ばれるが、コンピュータプロセッサ６３が運搬車６５を
一時的に停止させ弁１１５を開けてエアノズル１１７から下方に向け圧縮空気を
瞬間的に一吹きしてチップ３を運搬車６５の周縁６７から下方に動かして排出口
１０７に落し入れ容器１０３へ入れる。排出口１０７と同一サイズ同一形状の安
全口１２１が各排出口１０７に隣接して設けられフレキシブルチューブ１０９に
よって別容器１２３に接続されている。

【００２１】 コンピュータプロセッサ６３は、一定の視覚的に検出可能な傷があるとして拒
絶されたチップ３とそれらチップ３の運搬車６５上の一定位置をコンピュータプ
ロセッサ６３の一時的メモリー（図示せず）に記憶させるようプログラムするこ
とができるから、視覚的検査に合格したチップ３から不合格のチップ３だけを区
別するだけでなく、違った視覚的傷のある不合格チップ３を識別し排出口１０７
経由で別の容器へ区別して入れるよう第１圧縮空気吹出管１１１を作動させるこ
とも可能である。

【００２２】 図８及び図１３に示すように、第２の送出装置１２５は、図１２に示した別容
器１２７のような別箇所へと運搬車６５の周縁６７から視覚的検査に合格したチ
ップ３を弾き出す構造となっている。第２送出装置１２５は運搬車６５の周縁６
７の上方に配置された捕獲管１０５中に排出口１２９を開口し、上方に向けられ
たポリエチレンチューブのようなフレキシブルチューブ１３１が接続され、さら
に容器１２７に接続されている。第２の圧縮空気吹出管１３５が弁１３９経由で
通路１３７から圧縮空気をエアノズル１４１から供給する。この弁１３９はコン
ピュータプロセッサ６３で適時制御されている。視覚検査を通ったチップ３は、
運搬車６５で排出口１２９へ運ばれるが、コンピュータプロセッサ６３は運搬車
６５を一時的に停止させ弁１３９を開けてエアノズル１４１から上方に向け圧縮
空気を瞬間的に一吹きしてチップ３の下面に当てて運搬車６５の周縁６７から上
方に浮き上がらせ、排出口１２９に入れ容器１２７へ入れられる。

【００２３】 図１４に示すように容器１０３と容器１２７は、各々多角形形状にされ、例え
ば一対の対向する前後壁１４３と、別の一対の対向する側壁１４５と、底壁すな
わち床１４７とで一体に形成された長方形にされる。容器１０３も１２７も上面
は開放され、床１４７は各室の中心点１５３に向かって盛り上がり、各壁面に隣
接する辺は低く低辺１５５をなす。このように傾斜する床１４７はチップ３が平
面に直接落下して損傷を受けることを防止している。傾斜面に落下することでチ
ップ３は運搬車６５から落下中に増進された運動エネルギーの多くを消散させる
のである。

【００２４】 図１５及び図１６に示すように、チップ３が視覚的検査を確実に受けているこ
とを保証するため、位置決手段１５７が設けられている。好ましい実施例によれ
ば、位置決手段１５７は図１６に示すように、一対の細通孔７９からの真空吸引
で保持されているチップ３がある周縁６７を照射するＬＥＤ１５９のような光源
であるのがよい。受光体１６１は周縁６７に対向してある捕獲管１０５中に配置
されて、光源１５９からの光を受ける。コンピュータプロセッサ６３は全チップ
３の所在を監視して運搬車６５の回転中常に全チップ３の位置を追跡するように
プログラムしておく。視覚的検査を通ったけれど合格品とは認められない位置に
チップ３が現れたときは、警告灯が点滅して保全手段が作動し、例えば供給車５
と運搬車６５の回転を止めるなどして、問題のチップ３を除去できるようにして
おく。

【００２５】 他の実施例では、問題のチップ３は第２送出装置１２５をそのまま通過させて
、スクレーパ１６３（図１５）で捕獲し、別容器にそのチップ３を方向づける。

【００２６】 さらに別の実施例では、特に例えば0.040×0.020×0.020インチの「0402」チッ
プなど非常に小さいチップ３を取り扱う場合の実施例として、図１７に示すよう
に供給車５はリング３１も細溝１７も除去する改良を加える。供給車５は供給車
１６５にされ、堅牢で硬直な皿状の第１の上平面１６９を中心軸１７１の外方に
張り出してネジ１７２その他の締結手段で固定し、縁を下方への傾斜面１７３に
して、この傾斜面１７３を周端１７７まで外方に張り出し、第２の上平面１７５
と融合させている。チップ３を立てて受容するのに適した大きさと形状にされた
多数の穴１８１が周端１７７箇所で第２上平面１７５に形成されている。各穴１
８１は周縁１７７に向けて外側に開放され、面取りされた角部１８３によって図
面上矢印で示したように供給車１６５の回転方向に穴１８１の側面で導かれるよ
うにされている。この面取りした角部１８３は、ちょうど靴べらが足を靴に入り
込み易くするようにチップ３を正しい姿勢で入り込みやすくするものである。図
４に示したと同様に、チップ３はチップの山１９となり、供給車１６５は前述し
たと同様の傾斜を保持しながら矢印方向に回転する。リング３１はこの実施例で
は不要である。穴１８１はチップ３より僅かに大きく形成し、面取りした角部１
８３で補助して各チップ３を第２上平面１７５から面取りした角部１８３経由で
穴１８１へ１００％の確実性で入り込ませるようにしている。

【００２７】 供給車１６５は図１７、図１８及び図１９に示すように、２枚の車１６５ａ、
１６５ｂを重ね合わせて構成され、車１６５ａ、１６５ｂは、それぞれ半径を異
にし、周縁１７７ａ，１７７ｂを有している。供給車１６５の下側の１６５ｂは
上側の１６５ａより僅かに短い半径にされ、その周縁１７７ａより短い滑らかな
周縁１７７ｂを有している。穴１８１は上側１６５ａだけに周縁１７７ａに入り
込んで形成される。この構成だと穴１８１中のチップ３は僅かに周縁１７７ｂか
らはみ出すことになる。さらに図１７および図１８に示すように、静止真空板４
１と細通孔５１は、細通孔１７９を静止真空板４１から上方に形成し下側の供給
車１６５ｂから上側の供給車１６５ａへ通し、面取りされた角部１８３から穴１
８１の反対側の穴の後壁１８２と穴の側壁１８５ａ、１８５ｂ間に形成される穴
１８１の角へと外側に導くことによって省かれる。この構成では図１７、図１８
および図１９に示すように、第１の真空手段は面取り角部１８３と反対側の穴１
８１の側壁１８５ｂの角下方へと導かれ、この穴１８１の後壁１８２の下部へと
導かれる。穴１８１は周円１７７ａへ向けて開放されチップ３より僅かに大きめ
にされているから、チップ３は第２上平面から容易に面取りされた角部１８３経
由で滑り落ちて、図１７に示すように穴１８１に対して真空吸引される。この構
成は各穴１８１にチップ３を正しい上下位置にして全部の穴１８１に保持するの
に極めて有効である。これは又、チップ３の露出している上下端に光照射して測
定基準像と比較対照するという測定方法にとって都合がよい。正しい測定値はチ
ップ３の重要な特徴でもある。供給車１６５ａ，１６５ｂはネジ１７２でしっか
りと固定される。

【００２８】 この実施例ではチップ３の各面を見るのに多数のカメラを使うこともできる。
また、運搬車６５は周縁６７を本体部分より肉厚に構成して、運搬車６５の製造
自体を簡単にし、かつ、チップ３の６面全部の検査ではなく１ないし４面の検査
にとって検査がやりやすいようにしてある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 現在ある大型（ＣＣ１８２５型）から小型（ＣＣ０４０２型）の、
また最も立体的（ＣＣ０６０３型）から最も平面的（ＣＣ１８２５型）のチップ
のサイズを示す仕様書である。

【図２】 本発明マシンおよび本発明要素の斜視図である。

【図３】 図２に記載の本発明要素の位置関係を示す概念図である。

【図４】 本発明にかかる供給車の１実施例を示す平面図である。

【図５】 図４に示した供給車の１部分の詳細図である。

【図６】 本発明にかかる供給車の１実施例の上面、細溝、穴および外縁の部
分図で、穴にチップを吸引保持するのに使われる真空路の入口と穴の後壁を示す
。

【図７】 本発明にかかる供給車の他の実施例の上面、穴および外縁の部分図
で、穴にチップを吸引保持するのに使われる穴の後壁に形成された真空路の入口
を示す。

【図８】 供給車と運搬車間の近地点（移動域）ならびに運搬車からチップを
送り出す捕獲管を示す斜視図である。

【図９】 チップがいかにして移動させられるかを示す、図８の９−９線から
見た供給車と運搬車間の移動域の断面図である。

【図１０】 本発明にかかる塊化防止手段の斜視図である。

【図１１】 視覚的検査に落第したチップを取り上げる第１の送出装置の概念
図である。

【図１２】 拒絶されて通過してきたチップを取り上げるのに使われる本発明
の容器の概念図である。

【図１３】 視覚的検査を通ったチップを取り上げる第２の送出装置の概念図
である。

【図１４】 チップをデリケートに扱う床の傾斜面を示す容器および容器の各
壁ならびに床の斜視図である。

【図１５】 チップが向かう口と捕獲管の下部を示す斜視図である。

【図１６】 チップが運搬車の一定位置にあることを確保する位置決手段の部
分断面図である。

【図１７】 供給車の外縁の１部分の破断図を含む本発明の供給車の別の実施
例を示す斜視図である。

【図１８】 図１７に示した実施例で形成される穴の１つを示す部分図である
。

【図１９】 図１７の１９−１９線から見た供給車の１実施例の断面図である
。

【図２０】 供給車の外縁部分の部分図を含む図１７の供給車の実施例の平面
図である。

【図２１】 穴と真空系図を示す図１７の実施例の供給車と静止真空板の断面
図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ， ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，Ｃ Ｈ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ， ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，Ｋ Ｇ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ， ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，Ｓ Ｄ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ， ＺＷ (72)発明者 ブラデン、デンバー アメリカ合衆国、92069 カリフォルニア 州、サン マルコス、ジェイソン レイン 440 (72)発明者 ドゥ ベラ、ロムロ、ヴィ． アメリカ合衆国、92126 カリフォルニア 州、サンディエゴ、ジェード コースト ロード 18203 (72)発明者 ホークス、マルコム、ヴィンセント アメリカ合衆国、92017 カリフォルニア 州、エスコンディード、バックスキン グ レン 1942 (72)発明者 ネブレス、ホセ、ヴィラフランカ 台湾、タイペイ、ペイトウ、クン カン ロード、レイン 167、ナンバー 11、２ エフ Ｆターム(参考） 3F079 AD06 BA06 BA11 CA31 CB30 CC03 DA04 DA15 【要約の続き】 を別の一定個所に捕獲させるため運搬車の周縁から除去 する第２の送出装置と、を有する。

Claims (34)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ａ）視覚的検査を受ける少なくとも１個のチップを乗せる外縁で囲まれた回転す
   る供給車と、 ｂ）該供給車の外側に設置され、該供給車に乗って移動するチップの第１面を見
   る第１の検査機と、 ｃ）上記供給車と同平面上に並列に連動された周縁のある運搬車であって、供給
   車の外縁から運搬車の周縁へとチップを移し替えるものと、 ｄ）上記運搬車の近傍に設置され、運搬車に乗って移動するチップの各面ならび
   に上下の面を見る第２の視覚的検査機と、 ｅ）上記第１視覚的検査機および第２視覚的検査機の検査を看過して通過してし
   まったチップの所在を追跡するコンピュータプロセッサと、 ｆ）上記運搬車の周縁に捕獲され損なって視覚的検査を受けていないチップを一
   定の容器に吹き出す第１の送出装置と、 ｇ）上記運搬車の周縁に捕獲されて視覚的検査に合格したチップを別の容器に吹
   き出す第２の送出装置と、 を有することを特徴とする受動部品の視覚的検査機。
2. 【請求項２】 上記供給車が傾斜され、かつ、 ａ）供給されるチップの山を乗せる供給車の上面と、 ｂ）間隔をあけた一対の側壁を有する、供給中にチップが入り込む少なくとも１
   個の穴であって、上記供給車の上面の外縁に形成される角部を有するものと、 ｃ）該穴中にチップを検査のため保持する真空吸引力を供給する上記供給車に接
   続された真空装置と、 を有することを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
3. 【請求項３】 ａ）供給されるチップの山を乗せる供給車の上面と、 ｂ）該上面中に形成される少なくとも１個の細溝であって、上記外縁に向け外方
   に向けられ、かつ、角部が形成されたものと、 ｃ）上記外縁における細溝中に形成される少なくとも１個の穴であって、供給中
   にその中にチップが入り込む、間隔をあけた一対の側壁を有するものと、 ｄ）該穴は、チップの山中を通過するように配置され、該チップの山から少なく
   とも１個のチップを特定の運動向きで受け取るようにされ、 ｅ）該穴は、上記第１検査機による検査を受けたチップを穴から外方の上記外縁
   へ移動させる窓が貫通形成され、 を有することを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
4. 【請求項４】 上記角部が面取りを形成するように傾斜されていることを特
   徴とする請求項２に記載の視覚的検査機。
5. 【請求項５】 上記角部が面取りを形成するように傾斜されていることを特
   徴とする請求項３に記載の視覚的検査機。
6. 【請求項６】 第１の静止真空板を上記供給車に隣接してその下面に供給車
   の外縁の下側に周縁がくるように配置し、それがチップが乗る上記穴の床となる
   第１の静止真空板を含むことを特徴とする請求項２に記載の視覚的検査機。
7. 【請求項７】 第１の静止真空板を上記供給車に隣接してその下面に供給車
   の外縁の下側に周縁がくるように配置し、それがチップが乗る上記穴の床となる
   第１の静止真空板を含むことを特徴とする請求項３に記載の視覚的検査機。
8. 【請求項８】 第２の静止真空板を上記運搬車に隣接してその下面に運搬車
   の周縁の下側に周縁がくるがそれより短くて真空吸引力がチップを該周縁上に保
   持するように配置した第２の静止真空板を含むことを特徴とする請求項１に記載
   の視覚的検査機。
9. 【請求項９】 ａ）上記運搬車に隣接してその下面に運搬車の周縁の下側に周縁がくるがそれよ
   り短いようにした第２の静止真空板と、 ｂ） 真空吸引力がチップを上記周縁上に保持するようにされた第２の真空装置
   と、 を含むことを特徴とする請求項２に記載の視覚的検査機。
10. 【請求項１０】 ａ）上記運搬車に隣接してその下面に運搬車の周縁の下側に周縁がくるがそれよ
    り短いようにした第２の静止真空板と、 ｂ） 真空吸引力がチップを上記周縁上に保持するようにされた第２の真空装置
    と、 を含むことを特徴とする請求項３に記載の視覚的検査機。
11. 【請求項１１】 チップを保持するため穴中に終端がくるように上記供給車
    中に形成される少なくとも１本の細通孔を含むことを特徴とする請求項６に記載
    の視覚的検査機。
12. 【請求項１２】 チップを保持するため穴中に終端がくるように上記供給車
    中に形成される少なくとも１本の細通孔を含むことを特徴とする請求項７に記載
    の視覚的検査機。
13. 【請求項１３】 チップが乗る周縁に終端するように運搬車中に形成された
    少なくとも２本の細通孔を含むことを特徴とする請求項６に記載の視覚的検査機
    。
14. 【請求項１４】 チップが乗る周縁に終端するように運搬車中に形成された
    少なくとも２本の細通孔を含むことを特徴とする請求項７に記載の視覚的検査機
    。
15. 【請求項１５】 上記運搬車の周縁がチップの高さより薄くされチップが上
    記外縁に当接して両側の側面が露出するように上面より下に下面より上になるよ
    うに保持されて上面、下面、前面が上記第２の検査機の視覚的検査を同時に受け
    られるようにされていることを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
16. 【請求項１６】 ａ）上記供給車の穴中の外縁にチップを当接して保持することを補助する供給車
    の外縁に隣接する１壁面と ｂ）該１壁面に開けた窓であって、チップが上記外縁上を回転通過するときチッ
    プの最も外側の面を第１の検査機が見えるようにしたものと、 を含むことを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
17. 【請求項１７】 上記供給車に乗って移動する間チップの第１の面を見る供
    給車の近傍に配置される第１の検査機がチャージドカップルデバイスカメラであ
    ることを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
18. 【請求項１８】 上記供給車に乗って移動する間チップの第２から第６の面
    を見る供給車の近傍に配置される第２の検査機がチャージドカップルデバイスカ
    メラであることを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
19. 【請求項１９】 上記第２の検査機が であることを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
20. 【請求項２０】 ａ）上記供給車と上記運搬車間の近地点近傍の上流に配置されるガイドと、 ｂ）該ガイドに形成される、上記供給車の曲線の半径と同じ曲線半径の曲壁であ
    って、供給車近傍に配置されるものと、 ｃ）上記供給車の回転方向に上方にカーブする上記曲壁中に設けられ、上記穴の
    外側に出っ張るチップにさわるとチップを上方に押し上げ同時に上記供給車の外
    縁から離すように構成された傾斜路と、 を有することを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
21. 【請求項２１】 上記運搬車の周縁から拒絶されたチップを送り出して１箇
    所に捕獲させる第１の送出装置が、 ａ）上記運搬車の周縁の一部の上側及び下側に隣接して取り付けられる管と、 ｂ）落第つまり拒絶されたチップの入口となる上記運搬車の周縁下の上記管中に
    設けられる少なくとも１個の排出口と、 ｃ）上記供給車の外縁より上方で上記排出口の反対側に設置される少なくとも１
    個のエアノズルに圧縮空気を制御弁経由で送る第１の圧縮空気吹出管であって、
    上記コンピュータに接続され、上記制御弁を開き落第したチップを瞬間的に圧縮
    空気を一吹きして上記外縁からチップを外し収集容器に接続された口中へと落し
    込むものと、 を有することを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
22. 【請求項２２】 上記排出口から導かれチップを収集容器へと運び入れる少
    なくとも１本のチューブを含むことを特徴とする請求項２１に記載の視覚的検査
    機。
23. 【請求項２３】 上記運搬車の周縁から合格したチップを送り出して１箇所
    に捕獲させる第２の送出装置が、 ａ）上記運搬車の周縁の一部の上側及び下側に隣接して取り付けられる管と、 ｂ）合格したチップの入口となる上記運搬車の周縁の上方の上記管中に設けられ
    る少なくとも１個の排出口と、 ｃ）上記供給車の外縁より下方で上記排出口の反対側に設置される少なくとも１
    個のエアノズルに圧縮空気を制御弁経由で送る第２の圧縮空気吹出管であって、
    上記コンピュータに接続され、上記制御弁を開き合格したチップを瞬間的に圧縮
    空気を一吹きして上記外縁からチップを外し収集容器に接続された口中へと吹き
    上げるものと、 を有することを特徴とする請求項１に記載の視覚的検査機。
24. 【請求項２４】 上記排出口から導かれチップを収集容器へと運び入れる少
    なくとも１本のチューブを含むことを特徴とする請求項２３に記載の視覚的検査
    機。
25. 【請求項２５】 視覚的検査機からチップを収集する容器が、チップを運搬
    車に移動させるときチップの運動エネルギを分散させる方向にベクトルを供給す
    る傾斜した床にされていることを特徴とする請求項２３に記載の視覚的検査機。
26. 【請求項２６】 側壁と床で囲まれてなる容器であって、床が中央で盛り上
    げられチップが運搬車から落されるときチップの運動エネルギを分散させる方向
    にベクトルを供給するように傾斜させてあることを特徴とする請求項２５に記載
    のチップ収集容器。
27. 【請求項２７】 ａ）供給するための個々のチップの山を乗せる上面と多数の穴を穿設した外縁と
    を持つ供給車であって、該穴は該チップの山から１個のチップを所望の一定向き
    で受け取れるように統一された大きさ及び形状に間隔をあけた一対の側壁と後壁
    で構成され、その穴の中へチップを導き落とすようにしてあるものと、 ｂ）該穴中にある各チップを第１の検査に当たらせるため各穴内にチップを保持
    するため真空吸引力を出す、上記運搬車に接続されている第１の真空吸引装置と
    、 ｃ）該供給車の外側に設置され、該供給車の上記穴中に位置するチップの少なく
    とも第１の面を見る第１の検査機と、 ｄ）上記供給車と並列に連動された周縁のある運搬車であって、供給車の上記穴
    からチップを受け取り運搬車の周縁にチップを保持して後の動きに備えるものと
    、 ｅ）上記運搬車の近傍に設置され、運搬車に乗って移動するチップの上記以外の
    各面を見る第２の視覚的検査機と、 ｆ）上記第１視覚的検査機および第２視覚的検査機の検査を看過して通過してし
    まったチップの所在を追跡するコンピュータプロセッサと、 ｇ）上記運搬車の周縁に捕獲され損なって視覚的検査を受けていないチップを一
    定の容器に吹き出す第１の送出装置と、 ｈ）上記運搬車の周縁に捕獲されて視覚的検査に合格したチップを別の容器に吹
    き出す第２の送出装置と、 を有することを特徴とする受動部品の視覚的検査機。
28. 【請求項２８】 上記供給車の外縁と上記運搬車の周縁とが連動して並列の
    近地点にきたとき上記第２検査機による検査のため上記運搬車の周縁上にその後
    に各チップを保持する、上記供給車の外縁の穴からチップを捕獲して上記運搬車
    の周縁上へとチップを移動させる真空吸引力を供給するため上記運搬車に接続さ
    れた第２の真空装置を含むことを特徴とする請求項２７に記載の視覚的検査機。
29. 【請求項２９】 上記供給車が中心軸周りに回転するように設定され、チッ
    プの山が乗る上記上面が少なくとも一カ所で上記中心軸から下方から上記穴まで
    傾斜させられていることを特徴とする請求項２７に記載の視覚的検査機。
30. 【請求項３０】 チップを上記チップの山から上記穴に所望の向きで入れ込
    ませる補助をするように上記供給車回転方向に最も近い位置で上記穴の１側壁に
    形成した面取り角部をさらに有することを特徴とする請求項２７に記載の視覚的
    検査機。
31. 【請求項３１】 上記供給車と上記運搬車とが同一平面上に並べられている
    ことを特徴とするる請求項２７に記載の視覚的検査機。
32. 【請求項３２】 上記供給車と上記運搬車とが水平面に対して同一角度に傾
    斜させられていることを特徴とする請求項３１に記載の視覚的検査機。
33. 【請求項３３】 上記角度が４５度であることを特徴とする請求項３２に記
    載の視覚的検査機。
34. 【請求項３４】 上記供給車が次の層で構成され、すなわち、 ａ）上記穴が形成される外縁を終端とする上面で限定される上側の車と、 ｂ）上記上側の車の外縁上であって上記穴中にあるチップが上記下側の車の外縁
    近傍の下側の車でほんの一部分だけサポートされて上記下側の外縁から外に張り
    出すように、上記上側の車の外縁から一周小さくされた外縁の下側の車であって
    上記穴の床の一部をなすものと、を有し、 ｃ）上記第１の真空装置が上記穴の後壁と上記面取りされた側壁でない方の側壁
    間に形成される角部の下方に向けられている ことを特徴とする請求項２７に記載の視覚的検査機。