JP4382938B2

JP4382938B2 - 微小物体検査装置

Info

Publication number: JP4382938B2
Application number: JP35142999A
Authority: JP
Inventors: 喜彦蒲田
Original assignee: HU-BRAIN, INC.
Current assignee: HU-BRAIN, INC.
Priority date: 1999-12-10
Filing date: 1999-12-10
Publication date: 2009-12-16
Anticipated expiration: 2019-12-10
Also published as: JP2001165623A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばコンデンサチップのような微小な物体の外観や寸法等を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
微小物体の検査装置は、フィーダから搬送される微小物体を整列させて１個ずつに分離して、下流側に吸引し、気流搬送によって微小物体を浮遊させて搬送する途中で、カメラにより微小物体を撮像し、この撮像データから微小物体の外観上の疵、寸法などを検査し、検査の結果に基づいて分別装置によって、微小物体が、良品の場合は良品貯蔵部へ、不良品の場合は不良品貯蔵部へ、各々分別されれる。
【０００３】
上記した検査装置は、良品と判定された微小物体と不良品と判定された微小物体とを分別するために、フィーダの微小物体の排出部となる先端から１本の気流搬送道が導設され、この気流搬送道における良品貯蔵部と不良品貯蔵部との分岐位置に、良品貯蔵部と不良品貯蔵部との分岐を切り替える閉塞板を設けている。
【０００４】
従って、検査装置は、良品貯蔵部及び不良品貯蔵部から空気を吸引して、良品と判定された微小物体が吸引されてきたときは、不良品貯蔵部へ分岐する気流搬送道を閉塞板で閉じ、不良品と判定された微小物体が吸引されてきたときは、良品貯蔵部へ分岐する気流搬送道を閉塞板で閉じるのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の検査装置は、良品貯蔵部と不良品貯蔵部とに分岐した各々の気流搬送道を閉塞板で閉じるようにしていたので、検査自体が非常に短時間で行え、また空気の吸引能力を高くすることができるにも拘わらず、順次気流搬送されてくる検査を終了した微小物体に対応してタイミング良く閉塞板の開閉操作を行うためには気流搬送速度を比較的低速とする必要が生じ、結果として大量の微小物体を短時間で効率よく処理することができないといった不具合があった。
【０００６】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構造で、高速で効率良く良品と不良品の分別を行うことができる微小物体検査装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、フィーダから若干離間した位置に設けられ、円弧状にその表裏面を貫通するポケットが形成された回転テーブルと、吸引開口、撮像開口、及び複数の送出開口、を順次円弧状に配置した固定テーブルと、回転テーブルとフィーダの先端部との間の空間を移動する位置、及び固定テーブルの撮像開口を介して対向する位置に、微小物体の上下左右面、及び前後面を撮像するカメラとを設け、さらに固定テーブルにおける吸引開口と撮像開口との間、又は撮像開口と送出開口との間に、導通検査用の固定端子を設け、回転テーブルを介した固定端子と対向する位置に、該固定端子に対して接離自在な移動端子を設けたのである。このようにすることで、微小物体の検査を高速化することができ、確実に良品と不良品とを分別することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の微小物体検査装置は、多数の微小物体を整列させるフィーダと、このフィーダの先端部から若干の距離を存してその端面が立設配置され、該端面上において、円弧状に順次、フィーダの先端部と対向する位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置が接続された吸引開口、この吸引開口の位置から所定間隔を存した隣接位置に設けられ、微小物体前面を撮像するための撮像開口、及びこの撮像開口の位置から所定間隔を存した隣接位置に設けられ、分別した微小物体を送出する複数の送出開口、を設けた固定テーブルと、この固定テーブルにおけるフィーダ側の端面上に回転自在に設けられ、その表裏面を貫通したポケットが吸引開口、撮像開口、及び送出開口上を通過するよう複数個円弧状に配列された回転テーブルと、この回転テーブルと前記フィーダの先端部との間の空間を移動する位置、及び固定テーブルの撮像開口を介して対向する位置に、微小物体の上下左右面、及び前後面を撮像するカメラを設け、さらに、固定テーブルにおける吸引開口と撮像開口との間、又は撮像開口と送出開口との間に、導通検査用の固定端子を設け、回転テーブルを介した固定端子と対向する位置に、該固定端子に対して接離自在な移動端子を設けたものである。
【０００９】
本発明において、フィーダは先端部に至るまでの搬送経路を振動させて微小物体を整列する。フィーダの先端部は、空間移動する際に微小物体の姿勢が崩れるのを防止するために無振動状態とされている。
【００１０】
そして、フィーダの先端部と所定間隔を存して対向する位置には、固定テーブルの端面に設けられた吸引開口が位置している。フィーダの先端部まで移動した微小物体は、吸引開口に接続された吸引装置によって回転テーブルのポケットに向けて、フィーダの先端部と回転テーブルとの空間を移動する。
【００１１】
回転テーブルは、固定テーブル上に設けられ所定の角度で回転する。そして、回転テーブルの端面に円弧状に設けられた複数のポケットにより、フィーダから空間移動した微小物体を収納し、この状態で、後述する撮像開口位置や良品の送出開口位置や不良品の送出開口位置まで微小物体を搬送する。
【００１２】
固定テーブルは、その円弧状の所定位置において回転テーブルのポケットと連通し、かつ微小物体よりも小さく設計された吸引開口が設けられ、常時吸引作動している。
【００１３】
また、固定テーブルは、吸引開口が設けられた位置から回転テーブルの回転方向下流側に円弧状に撮像開口が設けられており、この撮像開口は微小物体より大きく設計され、該撮像開口における回転テーブル側に透明な例えばガラスが配置されている。
【００１４】
さらに固定テーブルは、撮像開口が設けられた位置から回転テーブルの回転方向下流側に円弧状に複数の送出開口が設けられており、ここで微小物体の良品又は不良品の判定に基づいて微小物体が、複数の送出開口のいずれかから、回転テーブルのポケットへ空気を吹き出すことで送り出されて分別される。
【００１５】
すなわち送出開口の少なくとも１つは、検査のうえ良品と判定された微小物体を良品貯蔵部へ送り出すために、その微小物体が当該送出開口に位置したとき空気を吹き出す。同様に、送出開口の少なくとも１つは、検査のうえ不良品と判定された微小物体を不良品貯蔵部へ送り出すために、その微小物体が当該送出開口に位置したとき空気を吹き出す。
【００１６】
カメラは、フィーダの先端部と回転テーブルの端面との間において微小物体が空間移動する上下左右位置に４台設けられ、これらによって微小物体の上下左右の４面が撮像される。
【００１７】
また、微小物体の前後２面は、上記した固定テーブルの撮像開口が設けられた位置にて撮像される。すなわち、微小物体の前後２面を撮像するカメラは、固定テーブルの撮像開口が設けられた位置において、この撮像開口を挟む固定（回転）テーブルの端面の表裏側に互いに対向させて配置されている。
【００１８】
微小物体の前後面は、微小物体が回転テーブルのポケットに収納されて、該回転テーブルの回転によって上記撮像開口に搬送されたときに、撮像開口を挟んで対向して設けたカメラで各々撮像されるのである。
【００１９】
上記構成において、回転テーブル及び固定テーブルを立設配置した理由は、以下の通りである。本出願人は、本願と同様の目的で先に回転テーブルの側端面にポケットを形成した装置を出願している。
【００２０】
先の出願によれば、現状の回転テーブルの回転速度や、微小物体の大きさ（重さ）には十分に対応できかつ効果があるが、将来的に、処理効率のさらなる向上と微小物体がさらに小さく（軽く）なった場合、回転テーブルの高速回転の遠心力によって微小物体がポケット外に排出される可能性があり、微小物体がさらに小さくなるとこの現象が顕著となる。
【００２１】
よって、本出願は、そうした今後に起こりうる現象にいち早く対応するために、上記構成としたのである。すなわち、微小物体を立設配置した回転テーブルの端面に設けたポケットで受けることで、回転テーブルの回転速度を高速にしても微小物体は遠心力によってポケットから排出されることはなく、一旦ポケットに入った微小物体が、何ら特別な措置を講じなくてもポケットの奥に確実に収納され、この状態のまま分別位置まで搬送することが可能となる。
【００２２】
そして、立設配置した固定テーブル上に円弧状に、吸引開口、撮像開口、複数の送出開口を設けることで、微小物体の吸引、撮像、及び良品と不良品の送出のタイミングは、全て回転テーブルの所定角度毎の回転速度のみに基づいて行うことができ、各部の同期をとる必要がなくなり、制御が容易になる。
【００２３】
また、本発明は、上記構成において、フィーダ先端部を透明な部材で形成することで、微小物体がフィーダから回転テーブルに移動する際、部屋の照明などがフィーダの先端部に反射することが防止され、４台のカメラで正確に微小物体の上下左右４面を撮像することができる。
【００２４】
また、本発明は、上記したいずれかの構成において、固定テーブルにおける吸引開口と撮像開口との間、又は撮像開口と送出開口との間に、導通検査用の固定端子を設け、回転テーブルを介した固定端子と対向する位置に接離自在な移動端子を設ければ、カメラによる外観検査のみならず、微小物体が電気素子である場合は、その導通検査をも行うことができる。
【００２５】
【実施例】
以下に本発明の微小物体検査装置の実施例について図面を参照して説明する。図１は本発明の微小物体検査装置の概略構成を示す。図２は本発明の微小物体検査装置における回転テーブルと固定テーブル周辺を示す。図３は本発明の微小物体検査装置における回転テーブルを示す。図４は本発明の微小物体検査装置における固定テーブルを示す。なお、微小物体やフィーダと回転テーブル間などは実際にはごく僅かの寸法であり、図示においては、拡大し、かつ誇張して示している。
【００２６】
図において、１は、例えばコンデンサチップのような微小物体Ｗ（以下、ワークＷという）の外観や寸法及び本実施例では導通状態をも検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置（以下、検査装置という）であり、以下のように構成されている。
【００２７】
２は、例えば高周波振動を推力として利用したフィーダであり、このフィーダ２は、ワークＷを、例えばＶ字状の溝が形成された搬送路２ａに高周波振動を与えつつ先端部の排出部２ｂに搬送することで整列する。排出部２ｂは、空間移動するワークＷの姿勢が崩れないように無振動状態とされている。
【００２８】
フィーダ２は、例えば排出部２ｂが下方に傾斜し、その勾配が例えば３０°とされている。本発明の検出装置１は、フィーダ２を、上記したように構成することで、比較的少ない振動でもってワークＷを排出部２ｂまで速やかに移動させることができる。
【００２９】
また、本実施例におけるフィーダ２の排出部２ｂは、例えばサファイアガラスを用いて無色透明状態としている。本発明の検出装置１は、フィーダ２の排出部２ｂを、上記したように構成することで、後述するカメラ５Ａ〜５Ｄの撮像時に照明などが排出部２ｂで反射することがなくなり、外観検査の精度を向上させることができる。
【００３０】
３は、フィーダ２の排出部２ｂから距離を存して、その端面をフィーダ２と同じく３０°傾斜させて立設配置し、所定角度毎に回転する回転テーブルである。この回転テーブル３は、端面表裏面を貫通するワークＷより若干大きなポケット３ａが円弧状に複数個設けられている。
【００３１】
４は、回転テーブル３においてフィーダ２から移動したワークＷをポケット３ａで受ける面とは反対側に設けられ、その端面を回転テーブル３と同角度で傾斜させて立設配置した固定テーブルである。
【００３２】
この固定テーブル４は、その端面において、回転テーブル３が所定角度ずつ回転したときに、移動した各ポケット３ａが位置するように、円弧状に順次、次に説明する構成要素が設けられている。
【００３３】
固定テーブル４の端面において、フィーダ２の排出部２ｂと対向する位置には、ワークＷを吸引する吸引開口４Ａが設けられている。この吸引開口４Ａは、ワークＷより小さく設計され、この位置で固定テーブル４における回転テーブル３が位置する側とは反対の面側に吸引装置１０が接続されている。
【００３４】
吸引開口４Ａの位置から所定間隔、例えばポケット３ａを１つ開けて隣接する位置には、ワークＷを撮像するための撮像開口４Ｂが設けられている。この撮像開口４Ｂの回転テーブル３側には無色透明なガラス４Ｂａが載置されている。また、撮像開口４Ｂが設けられた位置には、回転テーブル３及び固定テーブル４を挟む対向した状態で後述するカメラ５Ｅ，５Ｆが設けられている。
【００３５】
撮像開口４Ｂの位置から所定間隔、例えばポケット３ａを１つ開けて隣接する位置には、ワークＷの導通状態を検査するための後述する固定端子６Ａが覗く導通開口４Ｃが設けられている。また、導通開口４Ｃが設けられた位置には、回転テーブル３及び固定テーブル４を挟む対向状態で後述の移動端子６Ｂが設けられている。
【００３６】
導通開口４Ｃの位置から所定間隔、例えばポケット３ａを３つ開けて隣接する位置には、本実施例では、検査のうえ良品と判定されたワークＷを良品貯蔵部１２に送り出すための良品用送出開口４Ｄが設けられている。
【００３７】
さらに、この良品用送出開口４Ｄは、ワークＷより小さく設計され、この位置で固定テーブル４における回転テーブル３が位置する側とは反対の面側に、送出装置１１Ａが接続されている。また、良品用送出開口４Ｄの位置で、回転テーブル３における固定テーブル４が位置する側とは反対の面側に、良品貯蔵部１２が接続されている。
【００３８】
良品用送出開口４Ｄの位置から所定間隔、例えばポケット３ａを１つ開けて隣接する位置には、本実施例では、検査のうえ寸法や外観が不良品と判定されたワークＷを不良品貯蔵部１３Ａに送り出すための不良品用送出開口４Ｅが設けられている。
【００３９】
この不良品用送出開口４Ｅは、ワークＷより小さく設計され、この位置で固定テーブル４における回転テーブル３が位置する側とは反対の面側に、送出装置１１Ｂが接続されている。また、不良品用送出開口４Ｅの位置で、回転テーブル３における固定テーブル４が位置する側とは反対の面側に、不良品貯蔵部１３Ａが接続されている。
【００４０】
不良品用送出開口４Ｅの位置から所定間隔、例えばポケット３ａを１つ開けて隣接する位置には、本実施例では、検査のうえ導通状態が不良品と判定されたワークＷを不良品貯蔵部１３Ｂに送り出すための不良品用送出開口４Ｆが設けられている。
【００４１】
この不良品用送出開口４Ｆは、ワークＷより小さく設計され、この位置で固定テーブル４における回転テーブル３が位置する側とは反対の面側に、送出装置１１Ｃが接続されている。また、不良品用送出開口４Ｆの位置で、回転テーブル３における固定テーブル４が位置する側とは反対の面側に、不良品貯蔵部１３Ｂが接続されている。
【００４２】
５は、フィーダ２の排出部２ｂと回転テーブル３の間の空間を移動する位置、及び固定テーブル４の撮像開口４Ｂを介して対向する位置、に各々設けられたカメラであり、ワークＷの上下左右面、及び前後面を撮像する。カメラ５は、上下左右前後を各々５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ，５Ｅ，５Ｆと示すこととするが、図１においてはカメラ５Ｃのみは図示していない。
【００４３】
６Ａは、導通開口４Ｃに設けた導通検査用の固定端子であり、６Ｂは、回転テーブル３を介した固定端子６Ａと対向する位置に接離自在に設けられた移動端子である。
【００４４】
また、既に説明したが、図中において、１０は吸引装置、１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃは送出装置、１２は良品貯蔵部、１３Ａ，１３Ｂは不良品貯蔵部である。図２において、良品貯蔵部１２、不良品貯蔵部１３Ａ，１３Ｂは、その接続管を省略して模式的に示している。
【００４５】
次に上記構成の検査装置１の動作を説明する。
フィーダ２において、搬送路２ａを順次ワークＷが整列されつつ移動し、排出部２ｂまで搬送される。吸引装置１０は常時吸引状態とされ、回転テーブル３が回転して、吸引開口４Ａとポケット３ａとが連通状態となったとき、吸引装置１０の吸引力が吸引開口４Ａ及び回転テーブル３のポケット３ａを介してワークＷに及んで排出部２ｂに位置するワークＷが吸引される。
【００４６】
よって、本発明の検査装置１は、回転テーブル３の回転時にポケット３ａが吸引開口４Ａ上に位置しないときは、ワークＷが吸引されないから、ワークＷを１個ずつ分離するための別途の機構を要しない。
【００４７】
ワークＷがフィーダ２からポケット３ａに空間移動するときには、カメラ５Ａ〜５Ｄによって、ワークＷの前後左右が撮像され、この撮像データは不図示の画像処理部を介して判定部へ送られる。
【００４８】
判定部ではいま撮像したワークＷがどのポケット３ａに収納されたかが記憶されており、このように記憶されたワークＷの上下左右の撮像データに、続いて行われるワークＷの前後の撮像データ、及び導通データを順次加えて記憶する。
【００４９】
ポケット３ａに収納されたワークＷは、回転テーブル３の回転によって、カメラ５Ｅ，５Ｆが配置された位置へ搬送されることとなり、ここで、ワークＷの前後が撮像され、上記同様に、撮像データを画像処理部を介して判定部へ送る。
【００５０】
さらに回転テーブル３が回転すると、固定端子６Ａ及び移動端子６Ｂが配置された位置へ搬送され、ここで、移動端子５Ｂの先端をポケット３ａ内に挿入させ、ワークＷの一端に接触させて、導通するか否かを検査する。なお、ワークＷの他端は、吸引されたときに固定端子６Ａとは接触状態にある。そして、ここでの導通検査結果は、判定部へ送られる。
【００５１】
ワークＷが導通検査を終えてさらに回転する間に判定部では外観検査結果と、導通検査結果の判定が下され、その結果が不図示の制御部に送られる。制御部は、判定部の判定結果が良品である場合、良品用送出装置１１Ａを駆動して、ポケット３ａから当該ワークＷを良品貯蔵部１２へ吹き出す。
【００５２】
一方、制御部は、判定部の判定結果が外観不良品である場合、不良品送出装置１１Ｂを駆動して、ポケット３ａから当該ワークを不良品貯蔵部１３Ａへ吹き出す。さらに、制御部は、判定部の判定結果が導通不良品である場合、不良品送出装置１１Ｃを駆動して、ポケット３ａから当該ワークを不良品貯蔵部１３Ｂへ吹き出す。
【００５３】
このように本発明の検査装置１は、回転テーブル３と固定テーブル４の端面を立設配置し、ワークＷを回転テーブル３の端面に円弧状に設けたポケット３ａで収納するようにしているので、フィーダ２の搬送速度を上げることができ、また、一旦ポケット３ａで収納したワークＷが不要位置で排出されることがない。
【００５４】
また、本発明の検査装置１は、フィーダ２の排出部２ｂに透明な部材を採用することによって、照明などが排出部２ｂに反射して誤判定を招くことがなくなり、外観検査を高精度に行うことができる。
【００５５】
さらに、本発明の検査装置１は、例えばワークＷの前後の外観検査及び導通検査位置と、良品及び不良品の分別判定位置とを離す、つまり上記実施例では導通検査位置からポケット３ａを３つ分開けた位置であったところをさらに開けた位置とすることで、回転テーブル３の回転速度をさらに高速化しても、判定時間を確保することができる。
【００５６】
さらに、本発明の検査装置１は、回転テーブル３と固定テーブル４の端面でもって空間移動したワークＷを受ける構成とすることで、固定テーブル４の表裏面を使って、上記したようにカメラ５Ｅ，５Ｆを設けてワークＷの前後面の外観検査を容易に行うことが可能となり、また固定端子６Ａを固定テーブル４に、移動端子６Ｂを回転テーブル３を介して固定端子６Ａと対向する位置に配置して導通検査を容易に行うことが可能となる。
【００５７】
なお、本発明は、上記実施例に限定されず、種々の変形が可能であり、例えば上記実施例では、排出部２ｂは、ワークＷの空間移動方向から見て鉛直線を中心に左右対称となるＶ字状としていたが、このＶ字状を鉛直線から左右どちらかに例えば１５°傾けるようにしてもよい。
【００５８】
このようにすれば、排出部２ｂにおいて予めワークＷの重心を偏らせておくことができるので、ワークＷの空間移動中の姿勢が崩れることが少なくなり、カメラ５による外観検査精度は、一層向上する。
【００５９】
また、例えば回転テーブル３の径を大きくすることで、ポケット３ａの数や、吸引開口４Ａ、撮像開口４Ｂ、導通開口４Ｃ、送出開口４Ｄ〜４Ｆの間隔を適宜設定することができる。ただし、当然ではあるが、送出開口４Ｄ〜４Ｆは、吸引開口４Ａ、撮像開口４Ｂ、導通開口４Ｃの回転上流側に位置することはあり得ないが、導通開口４Ｃが撮像開口４Ｂの回転上流側に位置すること、及び送出開口４Ｅ，４Ｆ（不良品用）が送出開口４Ｄ（良品用）の回転上流側に位置してもよい。
【００６０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の微小物体検査装置は、円弧状にその表裏面を貫通するポケットが形成された回転テーブルと、吸引開口、撮像開口、及び複数の送出開口、を順次円弧状に配置した固定テーブルとの端面を立設配置し、回転テーブルとフィーダの先端部との間の空間を移動する位置、及び固定テーブルの撮像開口を介して対向する位置に、微小物体の上下左右面、及び前後面を撮像するカメラを設けたので、微小物体の検査を高速化することができ、また、確実に良品と不良品とを分別することができる。
【００６１】
また、本発明の微小物体検査装置において、フィーダ先端部を透明な部材で形成すれば、フィーダ先端部に照明が反射することがなくなり、カメラによる外観検査の誤判定を低減することができる。
【００６２】
また、本発明の微小物体検査装置において、固定テーブルにおける吸引開口と撮像開口との間、又は撮像開口と送出開口との間に、導通検査用の固定端子を設け、回転テーブルを介した前記固定端子と対向する位置に接離自在な移動端子を設ければ、外観検査のみならず、導通検査をも行うことができ、微小物体が電気素子の場合は導通検査結果も考慮して良品と不良品とを分別することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の微小物体検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の微小物体検査装置における回転テーブルと固定テーブル周辺を示す斜視図である。
【図３】本発明の微小物体検査装置における回転テーブルを示す図である。
【図４】本発明の微小物体検査装置における固定テーブルを示す図である。
【符号の説明】
１（微小物体）検査装置
２フィーダ
２ａ排出部
３回転テーブル
３ａポケット
４固定テーブル
４Ａ吸引開口
４Ｂ撮像開口
４Ｃ導通開口
４Ｄ送出開口（良品）
４Ｅ送出開口（外観不良品）
４Ｆ送出開口（導通不良品）
５Ａ〜５Ｆカメラ
６Ａ固定端子
６Ｂ移動端子

Claims

微小物体を気流搬送して外観などを検査し、検査結果に基づいて微小物体を良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であって、多数の微小物体を整列させるフィーダと、このフィーダの先端部から若干の距離を存してその端面が立設配置され、該端面上において、円弧状に順次、前記フィーダの先端部と対向する位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置が接続された吸引開口、この吸引開口の位置から所定間隔を存した隣接位置に設けられ、微小物体前面を撮像するための撮像開口、及びこの撮像開口の位置から所定間隔を存した隣接位置に設けられ、分別した微小物体を送出する複数の送出開口、を設けた固定テーブルと、この固定テーブルにおける前記フィーダ側の端面上に回転自在に設けられ、その表裏面を貫通したポケットが前記吸引開口、撮像開口、及び送出開口上を通過するよう複数個円弧状に配列された回転テーブルと、この回転テーブルと前記フィーダの先端部との間の空間を移動する位置、及び前記固定テーブルの前記撮像開口を介して対向する位置に、微小物体の上下左右面、及び前後面を撮像するカメラを設け、さらに、前記固定テーブルにおける前記吸引開口と前記撮像開口との間、又は前記撮像開口と前記送出開口との間に、導通検査用の固定端子を設け、前記回転テーブルを介した前記固定端子と対向する位置に、該固定端子に対して接離自在な移動端子を設けたことを特徴とする微小物体検査装置。
フィーダ先端部を透明な部材で形成したことを特徴とする請求項１記載の微小物体検査装置。