JP2005051260A - 非接触搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対象物9を非接触で保持し搬送する装置であり、内周面が円周状もしくは多角形状の凹部3と、その凹部3開口側に形成した、対象物9と対向する平坦状端面2bと、供給流体を凹部3の内周面に臨む噴出口4から凹部3内へその凹部3の内周方向に沿って吐出させる流体通路5を備える。
【選択図】図1
Description
請求項1に記載の発明では、凹部と平坦状端面と流体通路とを設けるだけで、対象物の非接触保持を行えるようにしたので、装置を簡単な構成のものとすることができ、したがって、装置の製造コストを大幅に低減することができる。
2…旋回流形成体
2a…閉端面
2b…平坦状端面
3…凹部
4…噴出口
5…流体通路
6…流体導入口
9…ウェハ
11…非接触搬送装置
12…支持体
13…基底部
130…外面
131…基底部内通路
132…排出通路
14…周壁
140…周壁の端面
141…ラビリンスフィン
15…流体供給口
16…流体排出口
21…非接触搬送装置
31…非接触搬送装置
32…旋回流形成体
33…凹部
34…噴出口
35…流体通路
36…流体導入口
38…旋回流通路
41…非接触搬送装置
42…旋回流形成体
42b…平坦面
43…凹部
44…噴出口
45…流体通路
46…流体導入口
49…把持部
51…非接触搬送装置
52…旋回流形成体
53…凹部
54…噴出口
55…流体通路
56…流体導入口
57…把持部
58…流体配管
61…非接触搬送装置
71…非接触搬送装置
80…ウェハカセット
81…棚
151…超音波エア用流体供給口
171…取付片
172…離脱防止ガイド
200…センタリング機構
201…支柱
202…ベース板
203…ロータリアクチュエータ
204…フランジ
205…リンクアーム
206…ガイド用溝
207…センタリングガイド
208…駆動空気挿入口
321…貫通孔
421…基部
422…腕部
571…開閉スイッチ
591…ガイドアーム
592…ガイドアーム
592a…押し込み部分
61…非接触搬送装置
600…イオン発生源
601…電極針
602…高電圧電源
603,604…通孔
610…超音波エア源
611…真空源
Claims (8)
- 内周面が円周状もしくは多角形状の凹部と、
上記凹部開口側に形成した、対象物と対向する平坦状端面と、
供給流体を凹部の内周面に臨む噴出口から凹部内へその凹部の内周方向に沿って吐出させる流体通路と、
を備えることを特徴とする非接触搬送装置。 - 上記凹部の内部に周壁を設けて旋回流通路を形成した、
請求項1に記載の非接触搬送装置。 - 内周面が円周状もしくは多角形状の凹部と、その凹部開口側に形成した、対象物と対向する平坦状端面と、供給流体を凹部の内周面に臨む噴出口から凹部内へその凹部の内周方向に沿って吐出させる流体通路とを有する旋回流形成体を複数、基底面に設けて構成した、
ことを特徴とする非接触搬送装置。 - 対象物に対向する平坦面を有する板状の基体の少なくとも一箇所に、内周面が円周状もしくは多角形状の凹部と、その凹部の内周面に臨む噴出口から凹部内へ供給流体を内周方向に沿って吐出させる流体通路とを設けて構成した、
ことを特徴とする非接触搬送装置。 - イオン供給源を設け、当該装置が非接触で保持している対象物にイオンを接触させる、請求項1から4の何れかに記載の非接触搬送装置。
- 上記イオン供給源を凹部内に臨むように設けた、請求項5に記載の非接触搬送装置。
- 上記イオン供給源を凹部外に、当該装置が非接触で保持している対象物に臨むように設けた、請求項5に記載の非接触搬送装置。
- 上記供給流体は超音波周波数の振動を有する流体である、請求項1から7の何れかに記載の非接触搬送装置。
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