WO2021235428A1 - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

搬送装置は、板状部材に相対する板状の本体と、板状部材の外周部分と対向するように本体に形成された複数の凹部と、本体の内部に形成された複数の吐出路と、板状部材に接して、板状部材の横方向の移動を規制するように本体に形成された複数の規制部とを備える。複数の凹部はそれぞれ、複数の吐出路のいずれかと連通し、当該凹部内には、連通する吐出路から供給される流体によって旋回流が形成される。また、複数の凹部はそれぞれ、その開口部の一部であって、板状部材によって覆われない一部が、複数の規制部のいずれかにより覆われている。

Description

搬送装置

　本発明は、搬送装置に関する。

　従来、半導体ウェハを非接触で搬送するための装置が利用されている。例えば、特許文献１には、ベルヌーイの法則を利用することで、半導体ウェハを非接触で搬送する装置が記載されている。この装置では、装置下面に開口する円筒室内に旋回流を発生させ、その旋回流の中心部の負圧によって半導体ウェハを吸引する。加えて、その円筒室から流出する流体によって当該装置と半導体ウェハとの間に一定の距離を保つことで、半導体ウェハの非接触搬送を可能としている。

特開２００５－５１２６０号公報

　本発明は、上記の技術に鑑みてなされたものであり、搬送対象である板状部材の表面に与えるダメージを軽減することを目的とする。

　上記の課題を解決するため、本発明に係る搬送装置は、板状部材を吸引して搬送するための搬送装置であって、前記板状部材に相対する板状の本体と、前記板状部材の外周部分と対向するように前記本体に形成された複数の凹部と、前記本体の内部に形成された複数の吐出路と、前記板状部材に接して、前記板状部材の横方向の移動を規制するように前記本体に形成された複数の規制部とを備え、前記複数の凹部はそれぞれ、前記複数の吐出路のいずれかと連通し、当該凹部内には、連通する吐出路から供給される流体によって旋回流が形成され、前記複数の凹部はそれぞれ、その開口部の一部であって、前記板状部材によって覆われない一部が、前記複数の規制部のいずれかにより覆われていることを特徴とする。

　好ましい態様において、前記複数の凹部は、前記本体の一方側と他方側に互いに対向するように形成されており、前記複数の吐出路はそれぞれ、当該吐出路が連通する凹部内から流出する流体が、前記板状部材の外側から内側に向かう方向に流れるように形成されている。

　さらに好ましい態様において、前記複数の規制部はそれぞれ、当該規制部により覆われている凹部から流出する流体を、前記板状部材の内側から外側に向かう方向に排出させるための排出路を、前記本体との間に形成する。

　本発明によれば、搬送対象である板状部材の表面に与えるダメージを軽減することができる。

ウェハ搬送ハンド１の平面図 ウェハ搬送ハンド１の底面図 ウェハ搬送ハンド１の側面図 パドル１１の平面図 パドル１１の底面図 腕部１１１Ａの先端部の上面図 シール１２を取り付けた腕部１１１Ａの先端部の底面図 図７に示す凹部１５の縦断面図 ガイド１４の平面図 ガイド１４の底面図 ガイド１４の側面図 ガイド１４の斜視図 図２に示す腕部１１１Ａの先端部の底面図 図１３に示す腕部１１１Ａの先端部を、矢印Ａ２が示す方向に沿って見た側面図 図１３に示す腕部１１１Ａの先端部を、矢印Ａ３が示す方向に沿って見た側面図 凹部１５から流出するエアの流れを示す図 ウェハ搬送ハンド２の平面図 ウェハ搬送ハンド２の底面図 ウェハ搬送ハンド２の側面図 パドル２１の平面図 パドル２１の底面図 パドル２１の先端部の上面図 シール２２を取り付けたパドル２１の先端部の底面図 図２３に示す凹部２６の縦断面図 ガイド２３の平面図 ガイド２３の底面図 ガイド２３の側面図 ガイド２３の斜視図 図１８に示すパドル２１の先端部の底面図 図２９に示すパドル２１の先端部を、矢印Ａ５が示す方向に沿って見た側面図 図１８に示すパドル２１の先端部を、矢印Ａ６が示す方向に沿って見た側面図 凹部２６から流出するエアの流れを示す図 ウェハ搬送ハンド３の平面図 ウェハ搬送ハンド３の底面図 貫通孔１１３及び２１１の変形例を示す図 貫通孔１１３及び２１１の変形例を示す図 貫通孔１１３及び２１１の変形例を示す図 クッション４１の一例の底面図 クッション４１の一例の側面図

１．第１実施形態
　本発明の第１実施形態に係るウェハ搬送ハンド１について図面を参照して説明する。
　図１は、ウェハ搬送ハンド１の平面図である。図２は、ウェハ搬送ハンド１の底面図である。図３は、ウェハ搬送ハンド１の側面図である。これらの図に示すウェハ搬送ハンド１は、ベルヌーイの法則を利用してＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェハＷを吸引して搬送するための装置である。ここで、ＴＡＩＫＯウェハＷとは、ウェハ表面を研削して薄化する際に、ウェハの外周部分（約３ｍｍ程度）を残し、その内側のみを研削したウェハである。以下の説明ではこのＴＡＩＫＯウェハＷを、単に「ウェハＷ」と呼ぶ。ウェハ搬送ハンド１は、ロボットアームの先端に固定されて使用される。

　ウェハ搬送ハンド１は、パドル１１、シール１２、センサ１３及び４枚のガイド１４を備える。以下、各構成要素について説明する。

　図４は、パドル１１の平面図である。図５は、パドル１１の底面図である。これらの図に示すパドル１１は、二股フォーク状の板状体である。このパドル１１は、一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂ（以下の説明では、特に区別する必要がない場合には、単に「腕部１１１」と呼ぶ。）と、連結部１１２からなる。

　一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂは、それぞれ略矩形形状を有し、その先端部と後端部の縁が円弧状に形成されている。また、この一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂは、それぞれ、その先端部と後端部に、その中央部を挟んで対向する円形の貫通孔１１３を有する。この一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂが有する合計４個の貫通孔１１３は、搬送対象のウェハＷの外周部分と対向するように同一円周上に配置されている。各貫通孔１１３は、その開口の一方がシール１２により塞がれることにより、後述する凹部１５を形成する。

　この一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂの上面には、貫通孔１１３に連通する一対の吐出溝１１４が形成されている。図６は、腕部１１１Ａの先端部の上面図である。同図に例示されるように、一対の吐出溝１１４は、貫通孔１１３の円周に対して接線方向に延びている。また、貫通孔１１３の中心に対して点対称となるように配置されている。この一対の吐出溝１１４は、シール１２により覆われることにより、後述する一対の吐出路１６を形成する。

　次に、連結部１１２は、図４及び図５に示すように、略Ｔ字状の形状を有し、一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂを連結する。

　この連結部１１２と一対の腕部１１１Ａ及び１１１Ｂの上面には、図４に示すように、二股フォーク状の供給溝１１５が形成されている。この供給溝１１５は、シール１２により覆われることにより、供給路１７（図示略）を形成する。この供給路１７は、後述する供給口１２１（図１参照）と各吐出路１６とを連通させ、供給口１２１を介して供給されたエアを各吐出路１６まで案内する。
　以上がパドル１１についての説明である。

　次に、シール１２について説明する。シール１２は、図１に示すように、二股フォーク状の板状体である。このシール１２は、パドル１１の上面に重ねて取り付けられている。より具体的には、パドル１１の貫通孔１１３、吐出溝１１４及び供給溝１１５を覆うように取り付けられている。このシール１２がパドル１１の貫通孔１１３、吐出溝１１４及び供給溝１１５を覆うことで、上述した凹部１５、吐出路１６及び供給路１７が形成される。このシール１２はパドル１１とともに、装置本体を形成する。

　図７は、このシール１２を取り付けた腕部１１１Ａの先端部の底面図である。図８は、図７に示す凹部１５の縦断面図である。これらの図に例示されるように、凹部１５には、一対の吐出路１６が連通している。この一対の吐出路１６は、凹部１５の円周に対して接線方向に延びている。また、凹部１５の中心に対して点対称となるように配置されている。この一対の吐出路１６は、凹部１５内にエアを吐出するための通路である。

　この一対の吐出路１６を通して凹部１５内にエアが吐出されると、その吐出されたエアは、凹部１５の内壁に案内されて旋回流を形成し、その後凹部１５から流出する。その際、凹部１５に対向する位置にウェハＷが存在すると、そのウェハＷによって凹部１５内への外部エアの流入が制限される。そのような状態において、旋回流の遠心力と巻き込みが発生することにより、旋回流の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、旋回流の中心部に負圧が発生する。その結果、ウェハＷは周囲のエアによって押圧されて凹部１５側に引き寄せられる。しかし、ウェハＷが凹部１５に近づくにつれて、凹部１５から流出するエアの量が制限される。その結果、旋回流の中心部に発生した負圧が低下する。そのため、吸引されたウェハＷは、凹部１５との間に一定の距離を空けて保持されることになる。

　一対の吐出路１６は、図７に例示されるように、凹部１５から流出したエア（矢印Ａ１参照）が、腕部１１１の長手方向に沿って流れるように配置されている。具体的には、一対の吐出路１６が延びる方向が、腕部１１１の長手方向との間で約４５度の角度を形成するように配置されている。加えて、この一対の吐出路１６のうち、一方は、腕部１１１の先端に向かって流出エアが流れるように配置され、他方は、腕部１１１の後端に向かって流出エアが流れるように配置されている。
　なお、図７に示す矢印Ａ１は、一対の吐出路１６のうちの一方から吐出されて凹部１５から流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルの方向を示している。

　また、凹部１５から流出するエアの方向は、凹部１５内に吐出されるエアの流量によって変化する。そのため、一対の吐出路１６が延びる方向は、凹部１５内に吐出される最適なエアの流量に基づいて、流出エアが腕部１１１の先端又は後端に向かって流れるように調整されている。

　シール１２の説明に戻る。シール１２は、図１に示すように、円形の供給口１２１を有する。この供給口１２１には、図示せぬエアポンプから延びるチューブが接続され、この供給口１２１を介してエアポンプからウェハ搬送ハンド１内にエアが供給される。
　以上がシール１２についての説明である。

　次に、センサ１３について説明する。センサ１３は、図２に示すように、パドル１１の底面に取り付けられている。このセンサ１３は、ウェハＷの有無を検出するための近接センサである。

　次に、４枚のガイド１４について説明する。図９は、ガイド１４の平面図である。図１０は、ガイド１４の底面図である。図１１は、ガイド１４の側面図である。図１２は、ガイド１４の斜視図である。これらの図に示すガイド１４は、円弧状に湾曲させた板状体である。このガイド１４は、ガイド本体１４１、傾斜面１４２、２つの突出部１４３及び排出溝１４４からなる。

　ガイド本体１４１は、円弧状に湾曲させた板状体である。

　傾斜面１４２は、ガイド本体１４１の内周縁に形成されている。この傾斜面１４２は、２つの突出部１４３と２段階のスロープを形成する。

　２つの突出部１４３は、それぞれ略矩形の板状体である。この２つの突出部１４３は、ガイド本体１４１の内周側面から、ガイド本体１４１の短手方向に延びるように形成されており、各突出部１４３の厚みはガイド本体１４１から離れるにつれて漸次薄くなっている。この２つの突出部１４３は、互いに一定の間隔を空けて配置されている。

　排出溝１４４は、断面コ字状の溝である。この排出溝１４４は、ガイド本体１４１の上面に、ガイド本体１４１の短手方向に沿って形成されている。

　各ガイド１４は、図２に示すように、腕部１１１の先端部底面と後端部底面に取り付けられている。図１３は、図２に示す腕部１１１Ａの先端部の底面図である。図１４は、図１３に示す腕部１１１Ａの先端部を、矢印Ａ２が示す方向に沿って見た側面図である。図１５は、図１３に示す腕部１１１Ａの先端部を、矢印Ａ３が示す方向に沿って見た側面図である。

　これらの図に例示されるように、腕部１１１に取り付けられたガイド１４のガイド本体１４１は、凹部１５の一部を覆う。具体的には、凹部１５の開口部のうち、搬送対象のウェハＷにより覆われない部分を覆う。また、ガイド１４の傾斜面１４２と２つの突出部１４３が形成するスロープは、搬送対象のウェハＷの外周部分と線接触し、ウェハＷの水平方向の移動を規制する。２つの突出部１４３は、加えて、凹部１５を挟んで対向し、凹部１５から流出するエアの一部が腕部１１１の中央に向かって流れるように案内する。また、ガイド１４の排出溝１４４は、腕部１１１の底面との間に排出路１８を形成する。この排出路１８は、断面矩形の通路であって、腕部１１１の長手方向に沿って延びている。この排出路１８は、凹部１５から流出するエアの一部を装置の外に逃がすための通路である。言い換えると、凹部１５から流出するエアの一部を、ウェハＷの内側から外側に向かう方向に排出させるための通路である。
　以上が４枚のガイド１４についての説明である。

　以上説明したウェハ搬送ハンド１では、図２に示すように、凹部１５が搬送対象のウェハＷの外周部分と対向するように配置され、ウェハＷの外周部分のみを吸引するようになっている。凹部１５により吸引されるウェハＷの外周部分は、その内側に比べて剛性が高い。そのため、凹部１５による吸引に起因するウェハＷに対するダメージを軽減することができる。

　また、このウェハ搬送ハンド１では、図２に示すように、凹部１５の開口部のうち、搬送対象のウェハＷにより覆われない部分がガイド１４により覆われている。このように、ウェハＷにより覆われない部分をガイド１４が覆うことで、凹部１５内への外部エアの流入が制限される。その結果、外部エアの流入に起因する凹部１５内の負圧の低下が抑制される。

　また、このウェハ搬送ハンド１では、図１３に例示されるように、凹部１５に対して排出路１８が形成されている。この排出路１８は、上記のように、凹部１５から流出するエアの一部を装置の外に逃がすための通路である。この排出路１８が流出エアを装置外に逃がすことで、流出エアが凹部１５付近に滞留し、負圧が低下することを抑制することができる。

　また、このウェハ搬送ハンド１では、凹部１５から流出するエアの一部が腕部１１１の長手方向中央に向かって流れる。言い換えると、凹部１５から流出するエアの一部が、ウェハＷの外側から内側に向かう方向に流れる。図１６は、凹部１５から流出するエアの流れを示す図である。同図に示す各矢印は、凹部１５から流出するエアの流れを示している。より具体的には、吐出路１６から吐出されて凹部１５から流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルの方向を示している。同図に示すように、凹部１５から流出するエアの一部は、腕部１１１の中央に向かって流れる。そして、反対方向から流れてくるエアと衝突して乱流を形成する。この乱流は、搬送対象のウェハＷを押圧して、ウェハＷが腕部１１１の底面と接触することを防止する。

２．第２実施形態
　本発明の第２実施形態に係るウェハ搬送ハンド２について図面を参照して説明する。
　図１７は、ウェハ搬送ハンド２の平面図である。図１８は、ウェハ搬送ハンド２の底面図である。図１９は、ウェハ搬送ハンド２の側面図である。これらの図に示すウェハ搬送ハンド２は、ベルヌーイの法則を利用してウェハＷを吸引して搬送するための装置である。このウェハ搬送ハンド２は、作業者によりグリップ２５が把持されて使用される。

　ウェハ搬送ハンド２は、パドル２１、シール２２、２枚のガイド２３、８枚のクッション２４及びグリップ２５を備える。以下、各構成要素について説明する。

　図２０は、パドル２１の平面図である。図２１は、パドル２１の底面図である。これらの図に示すパドル２１は、略矩形の板状体である。このパドル２１は、その先端部と後端部に、その中央部を挟んで対向する一対の円形の貫通孔２１１を有する。合計４個の貫通孔２１１は、搬送対象のウェハＷの外周部分と対向するように同一円周上に配置されている。各貫通孔２１１は、その開口の一方がシール２２により塞がれることにより、後述する凹部２６を形成する。

　このパドル２１の上面には、貫通孔２１１に連通する一対の吐出溝２１２が形成されている。図２２は、パドル２１の先端部の上面図である。同図に例示されるように、一対の吐出溝２１２は、貫通孔２１１の円周に対して接線方向に延びている。また、貫通孔２１１の中心に対して点対称となるように配置されている。この一対の吐出溝２１２は、シール２２により覆われることにより、後述する一対の吐出路２７を形成する。

　また、このパドル２１の上面には、図２０に示すように、供給溝２１３が形成されている。この供給溝２１３は、シール２２により覆われることにより、供給路２８（図示略）を形成する。この供給路２８は、後述する供給口２２１（図示略）と各吐出路２７とを連通させ、供給口２２１を介して供給されたエアを各吐出路２７まで案内する。
　以上がパドル２１についての説明である。

　次に、シール２２について説明する。シール２２は、図１７に示すように、略矩形の板状体である。このシール２２は、パドル２１の上面に重ねて取り付けられている。より具体的には、パドル２１の貫通孔２１１、吐出溝２１２及び供給溝２１３を覆うように取り付けられている。このシール２２がパドル２１の貫通孔２１１、吐出溝２１２及び供給溝２１３を覆うことで、上述した凹部２６、吐出路２７及び供給路２８が形成される。このシール２２はパドル２１とともに、装置本体を形成する。

　図２３は、このシール２２を取り付けたパドル２１の先端部の底面図である。図２４は、図２３に示す凹部２６の縦断面図である。これらの図に例示されるように、凹部２６には、一対の吐出路２７が連通している。この一対の吐出路２７は、凹部２６の円周に対して接線方向に延びている。また、凹部２６の中心に対して点対称となるように配置されている。この一対の吐出路２７は、凹部２６内にエアを吐出するための通路である。

　この一対の吐出路２７を通して凹部２６内にエアが吐出されると、その吐出されたエアは、凹部２６の内壁に案内されて旋回流を形成し、その後凹部２６から流出する。その際、凹部２６に対向する位置にウェハＷが存在すると、そのウェハＷによって凹部２６内への外部エアの流入が制限される。そのような状態において、旋回流の遠心力と巻き込みが発生することにより、旋回流の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、旋回流の中心部に負圧が発生する。その結果、ウェハＷは周囲のエアによって押圧されて凹部２６側に引き寄せられる。しかし、ウェハＷが凹部２６に近づくにつれて、凹部２６から流出するエアの量が制限される。その結果、旋回流の中心部に発生した負圧が弱まる。そのため、吸引されたウェハＷは、凹部２６との間に一定の距離を空けて保持されることになる。

　一対の吐出路２７は、図２３に例示されるように、凹部２６から流出したエア（矢印Ａ４参照）が、パドル２１の長手方向に沿って流れるように配置されている。具体的には、一対の吐出路２７が延びる方向が、パドル２１の長手方向との間で約４５度の角度を形成するように配置されている。加えて、この一対の吐出路２７のうち、一方は、パドル２１の先端に向かって流出エアが流れるように配置され、他方は、パドル２１の後端に向かって流出エアが流れるように配置されている。
　なお、図２３に示す矢印Ａ４は、一対の吐出路２７のうちの一方から吐出されて凹部２６から流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルの方向を示している。

　また、凹部２６から流出するエアの方向は、凹部２６内に吐出されるエアの流量によって変化する。そのため、一対の吐出路２７が延びる方向は、凹部２６内に吐出される最適なエアの流量に基づいて、流出エアがパドル２１の先端又は後端に向かって流れるように調整されている。

　シール２２の説明に戻る。シール２２は、その後端に、円形の供給口２２１（図示略）を有する。この供給口２２１は、グリップ２５の内部に形成されている流体通路（図示略）と連通している。
　以上がシール２２についての説明である。

　次に、２枚のガイド２３について説明する。図２５は、ガイド２３の平面図である。図２６は、ガイド２３の底面図である。図２７は、ガイド２３の側面図である。図２８は、ガイド２３の斜視図である。これらの図に示すガイド２３は、円弧状に湾曲させた板状体である。このガイド２３は、ガイド本体２３１、傾斜面２３２及び２本の排出溝２３３からなる。

　ガイド本体２３１は、円弧状に湾曲させた板状体である。

　傾斜面２３２は、ガイド本体２３１の内周縁に形成されている。

　２本の排出溝２３３は、それぞれ断面コ字状の溝である。この２本の排出溝２３３は、ガイド本体２３１の上面に、ガイド本体２３１の短手方向に沿って形成されている。

　各ガイド２３は、図１８に示すように、パドル２１の先端部底面と後端部底面に取り付けられている。図２９は、図１８に示すパドル２１の先端部の底面図である。図３０は、図２９に示すパドル２１の先端部を、矢印Ａ５が示す方向に沿って見た側面図である。図３１は、図１８に示すパドル２１の先端部を、矢印Ａ６が示す方向に沿って見た側面図である。

　これらの図に例示されるように、パドル２１に取り付けられたガイド２３のガイド本体２３１は、凹部２６の一部を覆う。具体的には、凹部２６の開口部のうち、搬送対象のウェハＷにより覆われない部分を覆う。また、ガイド本体２３１の内周側面は、搬送対象のウェハＷの外周部分と接し、ウェハＷの水平方向の移動を規制する。また、ガイド２３の２本の排出溝２３３は、パドル２１の底面との間に２本の排出路２９を形成する。この２本の排出路２９は、それぞれ断面矩形の通路であって、パドル２１の長手方向に沿って延びている。この２本の排出路２９は、凹部２６から流出するエアの一部を装置の外に逃がすための通路である。言い換えると、凹部２６から流出するエアの一部を、ウェハＷの内側から外側に向かう方向に排出させるための通路である。
　以上が２枚のガイド２３についての説明である。

　次に、８枚のクッション２４について説明する。８枚のクッション２４は、それぞれ略矩形の樹脂製の板状体である。図２９に例示されるように、１枚のガイド２３の内側面に沿って４枚のクッション２４が取り付けられている。この４枚のクッション２４は、凹部２６を挟んで２枚のクッション２４が対向するように配置されており、凹部２６から流出するエアの一部がパドル２１の中央に向かって流れるように案内する。また、この４枚のクッション２４は、図３０に例示されるように、ウェハＷの外周部分と接して、摩擦力によりウェハＷの水平方向の移動を規制する。

　次に、グリップ２５について説明する。グリップ２５は、筒状の棒材である。このグリップ２５は、その一端がパドル２１の後端部上面に接続され、その他端が、図示せぬエアポンプから延びるチューブに接続される。このグリップ２５と上記の供給口２２１を介して、エアポンプから供給路２８にエアが供給される。

　以上説明したウェハ搬送ハンド２では、図１８に示すように、凹部２６が搬送対象のウェハＷの外周部分と対向するように配置され、ウェハＷの外周部分のみを吸引するようになっている。凹部２６により吸引されるウェハＷの外周部分は、その内側に比べて剛性が高い。そのため、凹部２６による吸引に起因するウェハＷに対するダメージを軽減することができる。

　また、このウェハ搬送ハンド２では、図１８に示すように、凹部２６の開口部のうち、搬送対象のウェハＷにより覆われない部分がガイド２３により覆われている。このように、ウェハＷにより覆われない部分をガイド２３が覆うことで、凹部２６内への外部エアの流入が制限される。その結果、外部エアの流入に起因する凹部２６内の負圧の低下が抑制される。

　また、このウェハ搬送ハンド２では、図２９に例示されるように、各凹部２６に対して排出路２９が形成されている。この排出路２９は、上記のように、凹部２６から流出するエアの一部を装置の外に逃がすための通路である。この排出路２９が流出エアを装置外に逃がすことで、流出エアが凹部２６付近に滞留し、負圧が低下することを抑制することができる。

　また、このウェハ搬送ハンド２では、凹部２６から流出するエアの一部がパドル２１の長手方向中央に向かって流れる。言い換えると、凹部２６から流出するエアの一部が、ウェハＷの外側から内側に向かう方向に流れる。図３２は、凹部２６から流出するエアの流れを示す図である。同図に示す各矢印は、凹部２６から流出するエアの流れを示している。より具体的には、吐出路２７から吐出されて凹部２６から流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルの方向を示している。同図に示すように、凹部２６から流出するエアの一部は、パドル２１の中央に向かって流れる。そして、反対方向から流れてくるエアと衝突して乱流を形成する。この乱流は、搬送対象のウェハＷを押圧して、ウェハＷがパドル２１の底面と接触することを防止する。

３．変形例
　上記の実施形態は下記のように変形してもよい。なお、下記の変形例は互いに組み合わせてもよい。

３－１．変形例１
　上記の第２実施形態に係るウェハ搬送ハンド２は、Ｉ字状のパドル２１とシール２２を備えているが、これらのパドル２１及びシール２２の形状を十字形に変形してもよい。図３３は、Ｉ字状のパドル２１とシール２２に代えて、十字形のパドル３１とシール３２を備えるウェハ搬送ハンド３の平面図である。図３４は、ウェハ搬送ハンド３の底面図である。これらの図に示すように装置本体を十字形とした場合には、装置本体の端部のそれぞれに、一対の凹部２６、４本の吐出路２７（図示略）、ガイド２３及び４枚のクッション２４を備えさせる。

３－２．変形例２
　上記の実施形態に係る貫通孔１１３及び２１１の形状は、円形に限られず、図３５に示すように、長円形としてもよい。または、図３６及び図３７に示すように、菱形としてもよい。

３－３．変形例３
　上記の第１実施形態に係るウェハ搬送ハンド１が備えるガイド１４、凹部１５、吐出路１６及び排出路１８の数は、搬送対象であるウェハＷのサイズに応じて適宜変更されてよい。同様に、上記の第２実施形態に係るウェハ搬送ハンド２が備えるガイド２３、凹部２６、吐出路２７及び排出路２９の数も、搬送対象であるウェハＷのサイズに応じて適宜変更されてよい。

３－４．変形例４
　上記の第１実施形態に係るウェハ搬送ハンド１が備えるパドル１１、シール１２及び４枚のガイド１４は、一体として成形されてもよい。同様に、上記の第２実施形態に係るウェハ搬送ハンド２が備えるパドル２１、シール２２、２枚のガイド２３及び８枚のクッション２４も、一体として成形されてもよい。

３－５．変形例５
　上記の実施形態に係るウェハ搬送ハンド１及び２の搬送対象は、ＴＡＩＫＯウェハＷに限られず、その他の板状部材であってもよい。

３－６．変形例６
　上記の実施形態において、ウェハＷを搬送するために使用される流体は、気体に限られず、液体であってもよい。

３－７．変形例７
　上記の第２実施形態に係るウェハ搬送ハンド２において、８枚のクッション２４を省略し、２枚のガイド２３のみでウェハＷの水平方向の移動を規制するようにしてもよい。

３－８．変形例８
　上記の第２実施形態に係るウェハ搬送ハンド２では、ガイド２３で凹部２６の開口部の一部を覆っている。このウェハ搬送ハンド２において、ガイド２３に代えて、ウェハＷの水平方向の移動を規制するためのクッション４１で凹部２６の開口部の一部を覆うようにしてもよい。図３８は、このクッション４１の一例の底面図である。図３９は、このクッション４１の一例の側面図である。これらの図に示すクッション４１は、円弧状に湾曲させた樹脂製の板状体である。このクッション４１は、クッション本体４１１と、２つの突出部４１２と、排出溝４１３からなる。

　クッション本体４１１は、円弧状に湾曲させた板状体である。

　２つの突出部４１２は、それぞれ略矩形の板状体である。この２つの突出部４１２は、クッション本体４１１の内周側面から、クッション本体４１１の短手方向に延びるように形成されている。

　排出溝４１３は、断面コ字状の溝である。この排出溝４１３は、クッション本体４１１の上面に、クッション本体４１１の短手方向に沿って形成されている。

　パドル２１に取り付けられたクッション４１のクッション本体４１１は、凹部２６の一部を覆う。具体的には、凹部２６の開口部のうち、搬送対象のウェハＷにより覆われない部分を覆う。また、クッション４１の２つの突出部４１２は、ウェハＷの外周部分と接して、摩擦力によりウェハＷの水平方向の移動を規制する。加えて、この２つの突出部４１２は、凹部２６を挟んで対向し、凹部２６から流出するエアの一部がパドル２１の中央に向かって流れるように案内する。また、クッション４１の排出溝４１３は、パドル２１の底面との間に排出路４２を形成する。この排出路４２は、断面矩形の通路であって、パドル２１の長手方向に沿って延びている。この排出路４２は、凹部２６から流出するエアの一部を装置の外に逃がすための通路である。

３－９．変形例９
　上記のガイド本体１４１又は２３１の形状は、円弧状に湾曲した形状に限られず、搬送対象となる板状部材の形状に応じて適宜変更されてよい。

３－１０．変形例１０
　上記の第１実施形態に係る腕部１１１の底面に、凹部１５から流出するエアの一部を腕部１１１の長手方向中央に案内するための１以上の溝を形成してもよい。この１以上の溝が案内するエアは、腕部１１１とウェハＷの間を流れ、ウェハＷを腕部１１１から離間させる。
　また、上記の第２実施形態に係るパドル３１の底面に、凹部２６から流出するエアの一部をパドル３１の長手方向中央に案内するための１以上の溝を形成してもよい。この１以上の溝が案内するエアは、パドル３１とウェハＷの間を流れ、ウェハＷをパドル３１から離間させる。

１、２、３…ウェハ搬送ハンド、１１、２１、３１…パドル、１２、２２、３２…シール、１３…センサ、１４、２３…ガイド、１５、２６…凹部、１６、２７…吐出路、１７、２８…供給路、１８、２９、４２…排出路、２４、４１…クッション、２５…グリップ、１１１Ａ、１１１Ｂ…腕部、１１２…連結部、１１３、２１１…貫通孔、１１４、２１２…吐出溝、１１５、２１３…供給溝、１２１、２２１…供給口、１４１、２３１…ガイド本体、１４２、２３２…傾斜面、１４３、４１２…突出部、１４４、２３３、４１３…排出溝、４１１…クッション本体、Ｗ…ウェハ

Claims (3)

1. 　板状部材を吸引して搬送するための搬送装置であって、
   　前記板状部材に相対する板状の本体と、
   　前記板状部材の外周部分と対向するように前記本体に形成された複数の凹部と、
   　前記本体の内部に形成された複数の吐出路と、
   　前記板状部材に接して、前記板状部材の横方向の移動を規制するように前記本体に形成された複数の規制部と
   　を備え、
   　前記複数の凹部はそれぞれ、前記複数の吐出路のいずれかと連通し、当該凹部内には、連通する吐出路から供給される流体によって旋回流が形成され、
   　前記複数の凹部はそれぞれ、その開口部の一部であって、前記板状部材によって覆われない一部が、前記複数の規制部のいずれかにより覆われている
   　ことを特徴とする搬送装置。
2. 　前記複数の凹部は、前記本体の一方側と他方側に互いに対向するように形成されており、
   　前記複数の吐出路はそれぞれ、当該吐出路が連通する凹部内から流出する流体が、前記板状部材の外側から内側に向かう方向に流れるように形成されている
   　ことを特徴とする、請求項１に記載の搬送装置。
3. 　前記複数の規制部はそれぞれ、当該規制部により覆われている凹部から流出する流体を、前記板状部材の内側から外側に向かう方向に排出させるための排出路を、前記本体との間に形成することを特徴とする、請求項１又は２に記載の搬送装置。

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