JP2010247304A - ワークの吸着パッド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下向きの開口部5aを有するチャンバー5が形成された吸着パッド本体2と、吸着パッド本体に設けられ、チャンバー内に気体を噴出すると共に、開口部付近に開口部の周方向に沿って環状隙間8を形成して、環状隙間全周からチャンバーの外方へ噴出される気体によりシールフリット4を吸引する負圧領域Qを生成する気体噴出部6と、環状隙間から距離を隔ててかつ環状隙間に対し部分的に配置され、噴出する気体を衝突させて部分的に負圧の小さな低負圧領域QLを生成するバッフル9とを備えた。
【選択図】図1
Description
2 吸着パッド本体
4 シールフリット
5 チャンバー
5a 開口部
6 気体噴出部
6a 噴出孔
7 ヘッド
8 環状隙間
9 バッフル
Q 負圧領域
QL 低負圧領域
Claims (2)
- 下向きの開口部を有するチャンバーが形成された吸着パッド本体と、
該吸着パッド本体に設けられ、上記チャンバー内に気体を噴出すると共に、上記開口部付近に該開口部の周方向に沿って環状隙間を形成して、該環状隙間全周から該チャンバーの外方へ噴出される気体によりワークを吸引する負圧領域を生成する気体噴出部と、
上記環状隙間から距離を隔ててかつ該環状隙間に対し部分的に配置され、噴出する気体を衝突させて部分的に負圧の小さな低負圧領域を生成するバッフルとを備えたことを特徴とするワークの吸着パッド装置。 - 下向きの開口部を有するチャンバーが形成された吸着パッド本体と、
該吸着パッド本体に設けられ、上記チャンバー内に気体を噴出する噴出孔を有すると共に、上記開口部付近に該開口部の周方向に沿って環状隙間を形成して、該環状隙間全周から該チャンバーの外方へ噴出される気体によりワークを吸引する負圧領域を生成する気体噴出部とを備え、
該気体噴出部が、上記環状隙間の周方向に沿って当該環状隙間からの気体噴出流速を速い部分と遅い部分とに分けるために、該環状隙間の周方向に上記噴出孔の噴出孔率を異ならせたことを特徴とするワークの吸着パッド装置。
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