KR101177926B1 - 진공흡착장치 - Google Patents

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Abstract

진공흡착장치가 개시된다. 본 진공흡착장치는, 글라스 기판과 같은 제품을 진공 흡착하기 위한 장치로서, 제품의 흡착을 위한 흡착 기류 형성용 공기를 공급하기 위한 흡착공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기공기 공급부를 갖는 공기 제어블럭; 상기 공기 제어블럭과 결합되어 흡착공기와 파기공기가 각각 다른 곳으로 공급되도록 된 공기분배용 노즐; 중앙에는 상기 노즐의 일부가 삽입되는 관통공이 형성되고, 저면은 상기 관통공을 중심으로 기류형성면이 만곡지게 형성되며, 상면에는 상기 공기분배용 노즐이 결합된 상기 공기 제어블럭이 결합되는 진공발생블럭; 및 다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 중앙에는 파기공이 형성되며, 저면에는 다수개의 간격유지구가 구비되며, 상기 진공발생블럭과 소정의 간격을 유지하여 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
상기 공기분배용 노즐은, 상기 파기공기 공급부와 상기 파기공을 연결하기 위한 파기통로가 내부에 형성되고, 상단에는 나사부가 형성되어 상기 파기통로가 상기 파기공기 공급부와 연통되도록 상기 파기공기 공급부에 결합되는 지지부;
상기 흡착공기 공급부와 연통되는 공간부가 함몰 형성되도록 상기 지지부의 하부 영역에 구비되고, 둘레에는 상기 공간부로 공급된 흡착 기류 형성용 공기가 상기 진공발생블럭과 상기 흡착블럭 사이의 공간으로 분사되도록 하기 위한 다수개의 분출공이 천공되는 노즐부로 이루어지고,
제품을 흡착할 경우에는,
상기 흡착공기 공급부로 공급된 공기가 상기 노즐부의 공간부로 유입된 후 각 분출공을 통하여 분사되면서 상기 진공발생블럭과 상기 흡착블럭 사이의 공간에서 흡착기류를 형성시켜 상기 흡착블럭 저면에 제품이 흡착되도록 하고,
제품의 흡착을 파기할 경우에는,
상기 흡착공기 공급부로의 흡착을 위한 공기의 공급이 차단됨과 동시에 상기 파기공기 공급부로 공급된 흡착 파기용 공기가 상기 파기통로를 통하여 상기 파기공으로 분사되면서 제품의 흡착을 파기하도록 된 것을 특징으로 한다.

Description

진공흡착장치{VACUUM STICKING DEVICE}
본 발명은 진공흡착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 제품의 흡착을 위한 공기의 소모량을 감소시킬 수 있고, 진공흡착 및 신속한 진공 파기가 가능한 진공흡착장치에 관한 것이다.
통상적으로, TFT-LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판디스플레이 및 쏠라셀 등은 세정, 증착, 에칭, 스트립 등 반복적이고 복잡한 제조공정을 수없이 거쳐서 생산된다.
그리고, 평판디스플레이 모재인 글라스기판은 제조 공정라인에서 이송, 반송, 회전, 경사 등 운송공정을 순차적으로 거치게 된다.
이를 위해서, 글라스기판을 운반하거나 반송, 회전 등을 하기 위해서는 글라스 기판을 진공흡착장치로 흡착한 한 후 원하는 방향, 원하는 위치로 이송하게 된다. 즉, 글라스 기판용 진공흡장치를 이용하여 글라스기판을 원하는 위치, 장소, 방향으로 움직이게 되는 것이다.
이때, 진공흡착장치는 진공흡착시에 흡착 패드에 반복적인 접촉 등으로 인하여 오염물이 글라스에 전이되어 제품품질에 수율이 저하되는 문제점과, 공기 소모량이 많은 문제점 및 중앙영역에서만 진공흡착이 이루어지는 문제점 등이 있었다.
또한, 종래기술에 의한 진공흡착장치는 제품을 흡착하고 흡착 파기하기 위하여 많은 부품으로 구성되어 있었기 때문에 제조단가가 상승하였고, 조립성 및 정비성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 기술적 과제는, 진공흡착과 흡착파기가 가능하고, 흡착파기가 신속하게 이루어질 있으며, 적은 부품수로 구성되어 제조단가를 낮출 수 있고, 조립성 및 정비성을 향상시킬 수 있는 수단을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 기술적 과제를 해소하기 위해, 본 발명은, 글라스 기판과 같은 제품을 흡착하기 위한 장치로서,
제품의 흡착을 위한 흡착 기류 형성용 공기를 공급하기 위한 흡착공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기공기 공급부를 갖는 공기 제어블럭;
상기 공기 제어블럭과 결합되어 흡착공기와 파기공기가 각각 다른 곳으로 공급되도록 된 공기분배용 노즐;
중앙에는 상기 노즐의 일부가 삽입되는 관통공이 형성되고, 저면은 상기 관통공을 중심으로 기류형성면이 만곡지게 형성되며, 상면에는 상기 공기분배용 노즐이 결합된 상기 공기 제어블럭이 결합되는 진공발생블럭; 및
다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 소정의 위치에는 파기공이 형성되며, 저면에는 다수개의 간격유지구가 구비되며, 상기 진공발생블럭과 소정의 간격을 유지하여 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
상기 공기분배용 노즐은,
상기 파기공기 공급부와 상기 파기공을 연결하기 위한 파기통로가 내부에 형성되고, 상단에는 나사부가 형성되어 상기 파기통로가 상기 파기공기 공급부와 연통되도록 상기 파기공기 공급부에 결합되는 지지부;
상기 흡착공기 공급부와 연통되는 공간부가 함몰 형성되도록 상기 지지부의 하부 영역에 구비되고, 둘레에는 상기 공간부로 공급된 흡착 기류 형성용 공기가 상기 진공발생블럭과 상기 흡착블럭 사이의 공간으로 분사되도록 하기 위한 다수개의 분출공이 천공되는 노즐부로 이루어지고,
제품을 흡착할 경우에는,
상기 흡착공기 공급부로 공급된 공기가 상기 노즐부의 공간부로 유입된 후 각 분출공을 통하여 분사되면서 상기 진공발생블럭과 상기 흡착블럭 사이의 공간에서 흡착기류를 형성시켜 상기 흡착블럭 저면에 제품이 흡착되도록 하고,
제품의 흡착을 파기할 경우에는,
상기 흡착공기 공급부로의 흡착을 위한 공기의 공급이 차단됨과 동시에 상기 파기공기 공급부로 공급된 흡착 파기용 공기가 상기 파기통로를 통하여 상기 파기공으로 분사되면서 제품의 흡착을 파기하도록 된 것을 특징으로 하는 진공흡착장치를 제공한다.
상기 노즐부의 하단면에는 상기 파기공과 상기 파기통로를 연결하기 위한 연결관이 돌출 형성될 수 있는 것이다.
상기 진공발생블럭의 가장자리에는 유도곡면이 만곡지게 형성되고,
상기 유도곡면과 근접한 영역의 상기 흡착블럭 가장자리에는 상기 기류 형성면을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 상향 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면이 형성될 수 있는 것이다.
상기 공기 제어기, 상기 공기분배용 노즐, 상기 진공발생블럭 및 상기 흡착블럭은 금속재 또는 합성수지재로 형성될 수 있는 것이다.
본 발명에 의하면, 제품을 균일한 압력으로 흡착함으로써 중량물의 글라스 기판 등을 안정된 흡착력으로 흡착하여 이송할 수 있다
그리고, 파기통로와 파기공이 곧바로 연결되므로 진공의 파기가 신속하게 이루어질 수 있으며, 진공발생블럭과 흡착블럭의 가장자리에 상향으로 만곡지게 형성되므로 흡착용 기류를 형성한 공기가 상부로 배출되므로 주변장치와의 간섭이 발생되지 않게 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 진공흡착장치를 도시한 분해 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 진공흡착장치를 도시한 결합상태 사진.
도 3은 도 1에 도시된 진공흡착장치의 작동상태 단면도.
도 4는 도 1에 도시된 노즐부의 다른 실시 예를 도시한 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 진공흡착장치를 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진공흡착장치를 도시한 결합상태 사진이며, 도 3은 도 1에 도시된 진공흡착장치의 작동상태 단면도이다.
첨부된 도면 중에서 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 실시 예에 따른 진공흡착장치는 흡착을 위한 공기와 파기를 위한 공기를 각각 다른 방향으로 공급하도록 된 공기 제어블럭(10)과, 이 공기 제어블럭(10)에 결합되어 흡착공기 공급부(12)와 파기공기 공급부(14)를 구분하고, 흡착공기와 파기공기를 각각 소정의 영역으로 분사하도록 된 공기 분배노즐(20)과, 공기 분배블럭(20)으로부터 분출되는 공기에 의해 흡착기류를 형성하기 위한 진공발생블럭(30)과, 다수개의 흡입공(42)을 구비하고 파기공(44)을 구비하여 진공발생블럭(30)의 저면에 결합되는 흡착블럭(45)으로 이루어진 것이다.
이하에서는 본 발명의 실시 예에 따른 진공흡착장치의 구성을 보다 구체적을 살펴보도록 한다.
공기 제어블럭(10)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 상,하단부에 결합을 위한 플랜지가 형성되고, 외주면 일측에는 흡착공기 공급부(12)로 공기를 공급하기 위한 흡착용 에어라인이 결합되고, 타측에는 파기공기 공급부(14)로 공기를 공급하기 위한 파기용 에어라인이 결합되도록 구성된다. 그리고, 내부에는 흡착용 에어라인과 연결되는 흡착공기 공급부(12)와 파기용 에어라인과 연결되는 파기공기 공급부(14)가 각각 구분되도록 구비된다. 이러한 공기 제어블럭(10)은 공기 분배노즐(20)이 결합된 상태에서 도 3에 도시된 바와 같이 진공발생블럭(30)의 상면에 볼트들로 결합된다.
공기 분배노즐(20)은 흡착용 공기를 진공발생블럭(30)과 흡착블럭(40) 사이의 공간으로 분출시키고, 파기용 공기는 흡착블럭(40)의 파기공(44)으로 구분하여 분사하도록 구성된 것으로, 파기공기 공급부(14)와 파기공(44)을 연결하기 위한 파기통로(22)가 내부에 형성되고, 상단에는 나사부(23)가 형성되어 파기통로(22)가 파기공기 공급부(14)와 연통되도록 파기공기 공급부(14)에 결합되는 원통형의 지지부(24)와, 흡착공기 공급부(12)와 연통되는 공간부(26)가 함몰 형성되도록 지지부(24)의 하부 영역에 구비되고, 둘레에는 공간부(26)로 공급된 흡착 기류 형성용 공기가 진공발생블럭(30)과 흡착블럭(40) 사이의 공간으로 분사되도록 하기 위한 다수개의 분출공(27)이 천공되는 노즐부(28)로 이루어진 것이다.
즉, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 가는 원통형의 지지부(24)의 하부에 상부가 개방된 구조의 굵은 원통형의 노즐부(28)가 형성된 구조를 갖는다.
이러한 공기 분배노즐(20)은 나사부(23)가 흡착공기 공급부(12)의 내부에서 파기공기 공급부(14) 측에 체결됨으로써 공기 제어블럭(10)과 결합된다.
진공발생블럭(30)은 사각형상으로 형성되어 진공흡착을 위한 기류를 형성하기 위한 것으로, 중앙에는 노즐부(28)의 하부가 저면으로 노출되도록 삽입되기 위한 관통공(32)이 형성되고, 저면에는 이 관통공(32)을 중심으로 가장자리로 갈수록 그 단면적이 커지는 형태의 기류형성면(34)이 만곡지게 형성된다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 관통공(32)의 주변 두께는 얇고, 가장자리 측으로 갈수록 점차 두꺼워지면서 일정하지 않은 만곡면을 형성하게 되는 것이다. 이러한 만곡진 기류형성면(34)은 노즐부(28)의 분출공(27)으로 분사된 공기가 만곡진 기류형성면(34)을 따라 빠른 속도로 흐르도록 하기 위한 것이다. 그리고, 진공발생블럭(30)의 가장자리에는 기류형성면(34)과 연결된 유도곡면(36)이 상향으로 만곡지게 형성된다.
흡착블럭(40)은 진공발생블럭(30)의 저면에 결합되어 진공발생블럭(30)과의 사이에 진공공간(V)을 형성하기 위한 것으로, 다수개의 흡입공(42)이 균일하게 배치되고, 중앙에는 파기공(44)이 형성되며, 저면에는 다수개의 간격유지구(47)가 구비되며, 진공발생블럭(30)과 별도의 스페이서에 의해 소정의 간격을 유지하여 결합된다. 그리고, 흡착블럭(40)의 상면 가장자리는 유도곡면(36)과 같거나 큰 곡률을 갖는 배출안내곡면(46)이 상향으로 만곡지게 형성된다. 이 배출안내곡면(46)은 기류형성면(34)을 따라 가장자리로 흐른 공기가 상향으로 배출되도록 유도하여 타 장치와의 간섭이 일어나지 않도록 하기 위한 것이다.
간격유지구(47)는 정전기를 발생시키지 않는 재료로 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 노즐부(28)의 하단면에는 파기공(44)과 파기통로(22)를 연결하기 위한 연결관(50)이 돌출 형성된다. 이 연결간(50)은 진공발생블럭(30)과 흡착블럭(40)이 소정의 간격을 유지하여 결합됨으로써 발생된 간격을 보상하여 파기공(44)과 파기통로(22)를 연결하기 위한 것이다.
그러나, 이에 국한되는 것은 아니고, 도면에 도시되지 않았으나, 지지부(24)의 하단부가 파기공(44)에 직접 연결되도록 지지부(24)의 하단부가 하향으로 연장 형성될 수도 있는 것이다.
이와 같이 연결관(50)과 파기공(44) 사이에는 기밀유지용 패킹이 설치될 수 있다.
또한, 기밀을 필요로 하는 곳에는 기밀유지용 패킹이 설치될 수 있다.
한편, 위에서 언급한 공기 제어블럭(10), 공기분배 노즐(20), 진공발생블럭(30), 흡착블럭(40) 등은 금속재 또는 가공성 및 성형성, 원가절감을 위해서 경질의 합성수지재로도 형성될 수 있다.
그리고, 흡착블럭(40)에 형성되는 파기공(44)의 지름은 0.3mm이하로 미세하게 형성되는 것이 바람직하다.
전술한 바와 같은 구조의 진공흡착장치의 작용을 설명하기로 한다.
도 3에 도시된 실선의 화살표 방향으로 흡착용 에어라인으로부터 흡착용 공기가 흡착공기 공급부(12)로 공급되면, 공급된 공기는 공간부(26)로 유입된 후 노즐부(28)에 방사상으로 천공된 각 분출공(27)를 통하여 분사된다.
각 분출공(27)으로 분사된 공기는 만곡진 기류형성면(34)를 따라 빠른 속도로 흘러 유도곡면(36)과 배출안내곡면(46)에 안내되어 흡착블럭(40)의 상부로 배출된다. 이와 동시에 진공발생블럭(30) 저면의 기류형성면(34)과 흡착블럭(40)의 상면 사이에는 진공공간(V)이 형성된다. 즉, 분출공(27)으로 분사되는 공기가 만곡진 기류형성면(34)을 따라 흐르기 때문에 빠른 속도로 흘러 외부로 배출되고, 이로 인하여 기류형성면(34)의 주변에는 압력이 낮아지게 되어 진공공간(V)이 형성되는 것이다.
다시 설명하면, 도 3에 도시된 바와 같이 공기가 기류형성면(34)를 따라 빠른 속도로 흐를 때 진공공간(V)의 압력이 낮아지게 되고, 이로 인하여 흡착블럭(40) 하부의 공기는 흡입공(42)을 통하여 진공공간(V)으로 흡입되어 기류 형성용 공기와 함께 배출된다. 이 과정에서 제품은 간격유지구(47)에 지지된 상태로 흡착블럭(40)의 저면에 흡착된 상태가 되는 것이다.
즉, 제품은 압력이 낮아진 진공공간(V) 측으로 이동하여 흡착블럭(40)의 저면에 흡착되는 것이다.
이와 같이 글라스 기판과 같은 제품이 흡착블럭(40)의 저면에 직접 접촉되지 않고 미세한 크기의 간격유지구(47)들에만 지지되어 흡착되므로 흡착블럭(40)과 제품의 접촉으로 인한 손상 및 이물질로 인한 오염 등이 방지될 수 있는 것이다.
만약, 간격유지구(47)들이 없을 경우에도 제품은 흡착블럭(40)의 저면에 흡착될 수 있다. 이는 흡착블럭(40)의 저면이 사각으로 넓게 형성되고 다수의 흡입공(42)이 형성되므로 제품의 흡착이 용이하게 이루어질 수 있다.
한편, 도 3에 일점쇄선으로 도시된 화살표는 흡착된 제품을 이격시키기 위하여 진공을 파기하는 상태를 도시하고 있다.
진공흡착이 진행중인 상태에서 흡착용 공기의 공급을 차단하게 되면 흡착용 진공공간에서 기류가 형성되지 않기 때문에 진공이 발생되지 않아 제품은 흡착력을 잃어 흡착블럭(40)으로부터 이격된다. 그러나, 진공상태가 소멸되고 제품이 이격되는데 다소 시간이 걸리게 된다. 그러나, 도 3에 도시된 바와 같이 파기용 에어라인으로부터 파기용 공기가 공급되면, 제품의 흡착 파기는 신속하게 이루어진다.
즉, 흡착공기 공급부(12)로의 공기 공급이 차단됨과 동시에 파기공기 공급부(14)로 파기용 공기가 공급되면 파기용 공기는 파기통로(22)을 통하여 직접 흡착블럭(40)의 파기공(44)으로 파기용 공기를 분사하게 된다. 이와 같이 파기용 공기는 이 파기공(44)을 통하여 직접 제품에 분사되므로 제품의 흡착상태가 신속하게 파기될 수 있는 것이다.
다시 설명하면, 흡착용 기류가 소멸됨과 동시에 파기용 공기가 공기분배 노즐(20)의 파기통로(22)을 통하여 직접 파기공(44)에서 제품에 직접 분출되므로 제품의 흡착상태가 신속하게 파기될 수 있는 것이다.
이와 같이 제품의 진공흡착은 물론 제품의 흡착 파기가 하나의 장치에서 이루어지므로 신속한 흡착 및 파기 동작으로 제품의 이송이 용이하게 이루어질 수 있는 것이다. 또한, 흡착블럭(400)의 저면 전체에서 흡착기류가 형성되므로 제품의 흡착이 안정적으로 이루어질 수 있으며, 공기를 직접 흡입하여 흡착하는 구조가 아니므로 공기가 적게 소모될 수 있다.
또한, 진공 파기를 위한 파기 유로가 공기분배노즐(20)을 통하여 직접 파기공(44)과 연결되므로 부품의 수가 줄어들 수 있고, 제작이 간편하게 되며, 구조가 단순하게 되어 정비가 용이하게 된다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이 흡착블럭(40)의 중앙영역에는 보조 간격유지구(47A)가 다수개 설치될 수 있다. 본 실시 예에서 보조 간격유지구(47A)는 파기공(44) 주변에 형성된다. 이러한 보조 간격유지구(47A)는 글라스 기판 등을 진공 흡착할 때 글라스 기판을 흡착블럭(40)의 가장자리에서만 지지하게 되므로 흡착블럭(40)의 중앙영역에 해당하는 글라스 기판의 영역이 지지되지 않아 글라스 기판이 손상될 수 있는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 글라스 기판 등과 같은 부품을 흡착할 때, 흡착블럭(40)의 가장자리와 중앙영역에서 간격유지구(47) 및 보조 간격유지구(47A)가 안정되게 지지하게 되므로 글라스 기판 등의 손상이 방지된다.
다시 설명하면, 기판 등이 흡착될 때, 기판의 여러 곳을 지지하게 되므로 기판이 흡입력에 의해 휘는 등의 손상이 방지되는 것이다.
첨부된 도면 중에서 도 4는 도 1에 도시된 노즐부의 다른 실시 예를 도시한 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 다른 실시 예에 따른 노즐부(28)는 분출공(27)이 공간부(26) 측에서 진공발생블럭(30)과 흡착블럭(40) 사이의 공간(V) 측으로 갈수록 확장되는 원뿔형으로 형성되는 것을 제외하고는 전술한 실시 예와 같다.
이때, 공간부(26)의 필요에 따라 크게 하거나 작게 구성할 수 있다.
이와 같이 분출공(27)이 외측(진공발생블럭과 흡착블럭 사이의 공간 측)으로 갈수록 확장되는 원뿔형으로 형성됨으로써 흡착용 공기를 고압으로 공급하여 분사하더라도 노즐부(28)에서 진동이 발생되지 않게 된다. 즉, 분출공(27)이 일정하게 형성될 경우 흡착용 공기를 고압으로 분사할 경우 분사되는 공기가 분출공(27)의 끝단 영역에서 갑자기 확산되면서 급격한 분사압의 변화에 따라 진동을 발생시키게 되나, 분출공(27) 자체가 점차 확장되는 원뿔형으로 형성됨으로써 흡착용 공기를 고압으로 분사하더라도 고압의 공기가 안정되게 분사됨으로써 급격한 분사압의 변화로 인한 진동이 발생되지 않는 것이다.
그리고, 흡착용 공기가 안정적으로 분사됨으로써 고른 흡착력이 발생될 수 있는 것이다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10 : 공기 제어블럭 12 : 흡착공기 공급부
14 : 파기공기 공급부 20 : 공기제어블럭
22 : 파기통로 24 : 지지부
26 : 공간부 27 : 분출공
28 : 노즐부 30 : 진공발생블럭
32 : 관통공 34 : 기류형성면
36 : 유도곡면 40 : 흡착블럭
42 : 흡입공 44 : 파기공
46 : 배출안내곡면 47 : 간격유지구
50 : 연결관

Claims (7)

  1. 제품을 진공 흡착하기 위한 장치로서,
    제품의 흡착을 위한 흡착 기류 형성용 공기를 공급하기 위한 흡착공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기공기 공급부를 갖는 공기 제어블럭;
    상기 공기 제어블럭과 결합되어 흡착공기와 파기공기가 각각 다른 곳으로 공급되도록 된 공기분배용 노즐;
    중앙에는 상기 노즐의 일부가 삽입되는 관통공이 형성되고, 저면은 상기 관통공을 중심으로 기류형성면이 만곡지게 형성되며, 상면에는 상기 공기 제어블럭이 결합되는 진공발생블럭; 및
    다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 중앙에는 파기공이 형성되며, 저면에는 다수개의 간격유지구가 구비되며, 상기 진공발생블럭과 소정의 간격을 유지하여 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
    상기 공기분배용 노즐은,
    상기 파기공기 공급부와 상기 파기공을 연결하기 위한 파기통로가 내부에 형성되고, 상단에는 나사부가 형성되어 상기 파기통로가 상기 파기공기 공급부와 연통되도록 상기 파기공기 공급부에 결합되는 지지부; 및
    상기 흡착공기 공급부와 연통되는 공간부가 함몰 형성되도록 상기 지지부의 하부 영역에 구비되고, 둘레에는 상기 공간부로 공급된 흡착 기류 형성용 공기가 상기 진공발생블럭과 상기 흡착블럭 사이의 공간으로 분사되도록 하기 위한 다수개의 분출공이 천공되는 노즐부로 이루어지고,
    상기 노즐부의 하단면에는 흡착 파기용 공기가 상기 파기통로를 통하여 상기 파기공으로 직접 분사되면서 제품의 흡착을 파기하도록 상기 파기공과 상기 파기통로를 연결하기 위한 연결관이 돌출 형성되며,
    상기 진공발생블럭의 가장자리에는 유도곡면이 만곡지게 형성되고, 상기 유도곡면과 근접한 영역의 상기 흡착블럭 가장자리에는 상기 기류 형성면을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 상향 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    진공흡착장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 분출공은,
    상기 공간부 측에서 상기 진공발생블럭과 상기 흡착블럭 사이의 공간 측으로 갈수록 확장되는 원뿔형으로 형성되는 것을 특징으로 하는,
    진공흡착장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 흡착블럭의 중앙 영역에는 보조 간격유지구가 다수개 구비되는 것을 특징으로 하는,
    진공흡착장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 공기 제어기, 상기 공기분배용 노즐, 상기 진공발생블럭 및 상기 흡착블럭은 금속재 또는 합성수지재로 형성되는 것을 특징으로 하는,
    진공흡착장치.
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