JP5046009B2 - ノンコンタクト搬送パッド - Google Patents

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Description

本発明は、半導体製造装置や液晶製造装置に搭載されて、ウエハや液晶ガラスなどのワークを非接触で吊上げ搬送する搬送機器に関するものである。
 従来技術
従来、半導体製造装置や液晶製造装置など、コンタミネーション（汚染）を極度に嫌う分野では、図６に示すように、エジェクタ効果を用いて非接触で吊上げ搬送を行なうノンコンタクト搬送パッドが使用されている。エジェクタ効果について説明する。図７は一般的なエジェクタ効果を用いたエジェクタである。ノズル８から出た噴流は、渦を発生し、ディフューザ９を通り排気される。このとき負圧が発生する。効率的な負圧の発生のためには、ディフューザ９が重要である。従来のノンコンタクト搬送パッドにおいても、カップ底部に配置されたノズル８とディフューザ９により、カップ内部に負圧を発生している。
従来のノンコンタクト搬送パッドは、吊上げ力が小さい欠点があった。また、カップ状の加工やディフューザ９の加工など複雑な加工が多く、安価に製作することは不可能であった。
そこで、この発明は、吊上げ力が大きく安価なノンコンタクト搬送パッドを提供することを目的とする。
負圧発生の原理としてベルヌーイの定理を活用した。ベルヌーイの定理は、図３に示すように流速が上がると圧力は下がるという定理である。図３では、絞りで流速が上がると圧力が下がっている。このベルヌーイの定理を本発明では活用した。図１に本発明を示す。放射状流れ２を、ワーク３とノンコンタクト搬送パッドボデイ４の間隙に発生させている。この放射状流れは周辺に流れるに従って、流速が下がり圧力が上がる。従って、中心部に向かって負圧が発生していることになる。特に中心近いほど負圧の大きさが大きい。
図２に放射状流れの計算結果を示す。中心に近いほど大きな負圧が発生していることがわかる。従って、本発明ではなるべく中心近くより放射状流れを発生させている。これにより大きな吊上げ力の発生が可能となった。
放射状流れの導入部を図４と図５に示す。ノンコンタクト搬送パッドボデイテーパ部６とスタットテーパ部７で放射状流れを導入している。このようにテーパ加工のごとき簡単な加工により、精密の間隙の形成が可能となっている。
テーパの角度は、図５のようにしてもよい。
従来のノンコンタクト搬送パッドと違い、リング状ジェット６（図１）をワーク３に直接あてている。これにより、搬送時のワーク３とノンコンタクト搬送パッドボデイ４の間隙を大きくすることが期待できる。
以上説明したように、この発明によれば、安価で、高吊上げ力のノンコンタクト搬送パッドが実現できる。
図１を用いて本発明の実施例を説明する。圧縮空気が１のように導入される。圧縮空気はスタット５のテーパ部７及びノンコンタクト搬送パッドのテーパ部６とでできた間隙を通り、リング状の噴流１０となってワーク３にあたり、ワーク３とノンコンタクト搬送パッドボデイ４の空隙を放射状流れとなって流れる。この放射状流れは、中心近くほど大きな負圧を発生させながら、大気中に放出される。
上の図は実施例の断面図、下の図は実施例のワーク上の圧力分布図である。 放射状流れの計算結果である。 一般的なベルヌーイの定理の説明である。 本発明の放射状流れ導入部の断面図である。 本発明の放射状流れ導入部の断面図である。 従来のノンコンタクト搬送パッドの断面図である。下の図は、ワーク上の圧力分布である。 一般的なエジェクタにおけるエジェクタ効果の説明である。
符号の説明
１ 圧縮空気の導入
２ 放射状流れ
３ ワーク
４ ノンコンタクト搬送パッドのボデイ
５ スタット
６ ノンコンタクト搬送パッドのボデイのテーパ部
７ スタットのテーパ部
８ ノズル
９ ディフューザ

Claims (1)

  1. 正圧を用いて、ワークを非接触で吊上げ搬送するノンコンタクト搬送パッドにおいて、次に示す▲１▼〜▲５▼を特徴とするノンコンタクト搬送パッド。
    ▲１▼ワークとノンコンタクト搬送パッドの間にできる放射状流れのベルヌーイ効果を用いて、吊上げ搬送を行なう。
    ▲２▼放射状流れの導入部をノンコンタクト搬送パッドの中心部近くに配置したこと。
    ▲３▼放射状流れの導入を、ノンコンタクト搬送パッドのボディ部およびスタット部に設けられた逆テーパにより行なうこと。
    ▲４▼空気流れのリング状ジェットを直接ワークにあてること。
    ▲５▼ノンコンタクト搬送パッドがワークに対して平坦（平ら、一直線）であること。
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