JP5468142B2 - フィルム付着装置及び付着方法 - Google Patents

Description

本発明は平板表示パネル用基板にフィルムを付着する装置及び方法に関するものであって、より詳しくはフィルムの接触圧力を均一に保持しながらフィルムを基板に安定的に付着することができ、装置のコンパクトした具現が可能なフィルム付着装置及びフィルム付着法に関するものである。

最近、液晶表示装置が広範囲の産業で利用されており、このような液晶表示装置の平板表示パネル用基板には多様な用途のフィルムが製造過程において付着されている。

平板表示パネル用基板にフィルムを付着する装置の一例を察してみれば、次のとおりである。

従来のフィルム付着装置は、２つのフィルム供給ユニットが一定の間隔を置いて設けられ、その間に基板が供給されるように構成されている。上記フィルム供給ユニットにはローディングプレートが設けられて、上記ローディングプレートは一定の角度で回動する。上記ローディングプレートは回転モーターによって底面と水平または垂直で回転しながら供給されるフィルムを付着位置に移送させるようになる。そして上記各ローディングプレートの端には基板とフィルムとの付着位置において上記フィルムを基板側に圧搾する付着ローラーが設けられる。

このような従来のフィルム付着装置は、基板が直線に供給されてローディングプレートに供給されるフィルムは保護シート除去などの工程を経て９０゜間隔の水平または垂直方向に回転しながら付着位置に移送される。

ところで、上記従来のフィルム付着装置は、基板が直線に供給されつつ、供給される基板上にフィルムが接触する構成であるから装置の構成が比較的複雑でコンパクトした装置の具現が難しいという問題点がある。

本発明はこのような問題点を改善するためのものであって、基板とフィルムとの付着時、付着位置及び付着圧力を均一に保持することができて付着面に気泡などが介入されないようにし、フィルム付着のために設けられる個別部品の占有空間及び動作の範囲を減らしてコンパクトした構造が可能なフィルム付着装置及びこれを用いたフィルム付着方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するための本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、基板が吸着される基板吸着板、及び上記基板吸着板が移動可能に装着されて上記基板吸着板を付着位置に移動するために回転する基板運び用回転テーブルを有する基板吸着ユニット、上記基板に付着されるフィルムが吸着されるフィルム吸着板と、上記フィルム吸着板が装着されて上記フィルム吸着板が上記基板吸着板と対面するように上記フィルム吸着板を上記付着位置に移動するために回転するフィルム運び用回転テーブルと、上記フィルム運び用回転テーブルに装着されて上記付着位置に移動した上記フィルム吸着板を上記基板吸着板側にティルティングさせるフィルム吸着板ティルティング装置を有するフィルム吸着ユニット、上記付着位置に移動した上記フィルム吸着板がティルティングされて上記フィルム吸着板に吸着された上記フィルムの一端が上記基板吸着板に吸着された上記基板に付着される際に上記基板吸着板を移動して上記フィルムがその一端から他端まで上記基板に漸進的に付着されるようにする基板吸着板移送装置、上記基板吸着板及び上記フィルム吸着板に真空圧を提供するための一つ以上の真空ポンプを含む。上記基板吸着板移送装置は上記付着位置に一つが配置される。

上記基板吸着板移送装置は、上記基板吸着板に外力を加えて上記基板吸着板を移動させるための稼動部材及び上記稼動部材を駆動させるための稼動部材駆動装置を含む。

本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、上記基板運び用回転テーブルに装着されて上記基板吸着板をスライド移動可能に支持する支持部材をさらに含むことができる。

本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、上記基板運び用回転テーブルに設けられて上記支持部材に外力を加えて上記支持部材を上記基板運び用回転テーブルの内外側方向に移動させる支持部材移送装置をさらに含むことができる。

上記基板吸着板は複数が上記基板運び用回転テーブルに一定の間隔に配置され、上記フィルム吸着板は複数が上記フィルム運び用回転テーブルに一定の間隔に配置されることができる。

本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、上記フィルム運び用回転テーブルに装着されて上記フィルム吸着板を回転可能に支持するヒンジ装置をさらに含み、上記フィルム吸着板は上記ヒンジ装置を中心に回転してティルティングされることができる。

本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムが上記基板吸着板に吸着された基板に接する際に上記フィルムを上記基板側に加圧するために上記フィルム吸着板に設けられる加圧ローラーをさらに含むことができる。

本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、上記付着位置に配置されて上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムが上記基板吸着板に吸着された基板に接する際に、上記フィルムを上記基板側に加圧するための加圧ローラー及び上記加圧ローラーを上記フィルムを加圧する方向に前進、及び上記フィルムから離れる方向に後退させるための加圧ローラー移送装置を有するフィルム加圧装置をさらに含むことができる。

本発明の一実施例によるフィルム付着装置は、上記基板を上記基板吸着板に供給するための基板ローディング装置、上記フィルム付着が完了した上記基板を上記基板吸着板から分離するためのアンローディング装置、上記フィルムを上記フィルム吸着ユニットに供給するためのフィルム供給装置をさらに含むことができる。

上記目的を達成するための本発明の他の実施例によるフィルム付着装置は、基板が吸着される基板吸着板、及び上記基板吸着板をスライド移動可能に支持する支持部材を有する基板吸着ユニット、上記基板に付着されるフィルムが吸着されるフィルム吸着板、及び上記フィルム吸着板を上記基板吸着板側にティルティングさせるフィルム吸着板ティルティング装置を有するフィルム吸着ユニット、上記基板吸着板と上記フィルム吸着板とが対面する付着位置に配置される基板吸着板移送装置、及び上記基板吸着板並びに上記フィルム吸着板に真空圧を提供するための一つ以上の真空ポンプを含む。上記基板吸着板移送装置は、上記フィルム吸着板がティルティングされて上記フィルム吸着板に吸着された上記フィルムの一端が上記基板吸着板に吸着された上記基板に付着される際に上記基板吸着板を移動して上記フィルムがその一端から他端まで上記基板に漸進的に付着されるようにする。

上記目的を達成するための本発明の一実施例によるフィルム付着方法は、（ａ）基板吸着板に基板を吸着する段階、（ｂ）フィルム吸着板にフィルムを吸着する段階、（ｃ）上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムの一端が上記基板吸着板に吸着された基板に付着されるように上記フィルム吸着板を上記基板吸着板側にティルティングさせる段階、（ｄ）上記付着位置に配置された基板吸着板移送装置に上記基板吸着板を直線移動させて上記フィルムをその一端から他端まで上記基板に漸進的に付着する段階を含む。

上記（ｄ）段階は、加圧ローラーで上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムを上記基板吸着板に吸着された基板側に加圧する段階を含むことができる。

本発明の一実施例によるフィルム付着方法は、上記（ｃ）段階の以前に、上記基板吸着板を付着位置に移動する段階、及び上記基板吸着板に吸着された基板と上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムが対向するように上記フィルム吸着板を上記付着位置に移動する段階をさらに含むことができる。

本発明によるフィルム付着装置は、基板が吸着される基板吸着板が直線移動し、フィルムが吸着されるフィルム吸着板が基板吸着板側にティルティングされてフィルムを基板に付着させるので、基板とフィルムとの供給、運びのための部品などの占有空間及び動作範囲を減らすことができる。したがって、コンパクトした構造が可能であり、同じ空間内に多数の部品を設けることができる。また、基板やフィルムの運び時間を減らすことができて生産性を大幅に向上させることができ、構造が簡素化して装置の故障発生率を低減することができる。

また、本発明によるフィルム付着装置は、基板が吸着される基板吸着板が直線移動してフィルムが吸着されるフィルム吸着板が基板吸着板側にティルティングされてフィルムを基板に付着するので、フィルムをその一端から他端まで基板に漸進的に付着することができる。したがって、基板とフィルムとの間の付着面に気泡などが介入されることなくフィルムを基板に安定的に付着することができる。

また、本発明によるフィルム付着装置は、付着位置に配置される一つの基板吸着板移送装置を用いて付着位置に移動したすべての基板吸着板を移動させることができ、付着位置に設けられる一つのフィルム加圧装置を用いて複数のフィルム吸着板に吸着されたフィルムを順に基板吸着板側に加圧するので部品の数と設置費用とを減らすことができる。

図１は、本発明の一実施例によるフィルム付着装置を概略的に示した平面図である。 図２は、本発明の一実施例によるフィルム付着装置の基板吸着ユニット及び基板吸着板移送装置を示したものである。 図３は、本発明の一実施例によるフィルム付着装置のフィルム吸着ユニット及びフィルム供給装置を示したものである。 図４は、本発明の一実施例によるフィルム付着装置の動作を説明するためのものである。 図５は、本発明の一実施例によるフィルム付着装置の動作を説明するためのものである。 図６は、本発明の他の実施例によるフィルム付着装置を概略的に示した平面図である。 図７は、本発明の他の実施例によるフィルム付着装置の動作を説明するためのものである。 図８は、本発明の他の実施例によるフィルム付着装置の動作を説明するためのものである。

以下では添付図面を参照して、本発明の一実施例によるフィルム付着装置及び付着方法に対して詳しく説明する。

本発明を説明することにおいて、図面に図示した構成要素の大きさや形象などは説明の明瞭性と便宜上の誇張または単純化して示すことができる。また、本発明の構成及び作用を考慮して特別に定義した用語はユーザー、運用者の意図または慣例に沿って変わることができる。このような用語は本明細書の全般にわたった内容に基づいて本発明の技術的な思想に符合する意味と概念として解釈されなければならない。

図１は、本発明の一実施例によるフィルム付着装置を概略的に示した平面図である。

図１に図示のとおり、本発明の一実施例によるフィルム付着装置（１００）は、基板（Ｓ;図２参照）を一つずつ付着位置（Ｐ１）に運ぶための基板吸着ユニット（１１０）、基板（Ｓ）に付着されるフィルム（Ｆ;図３参照）を一つずつ付着位置（Ｐ１）に運ぶためのフィルム吸着ユニット（１２０）、基板吸着ユニット（１１０）に備えられる基板吸着板（１１１）を移動するための基板吸着板移送装置（１４０）及び真空圧を提供するための真空ポンプ（１５０）を含む。ここで、付着位置（Ｐ１）は基板（Ｓ）とフィルム（Ｆ）とが対面して相互接着する位置である。この外、本発明の一実施例によるフィルム付着装置（１００）は基板（Ｓ）を基板吸着板（１１１）に一つずつ供給するための基板ローディング装置（１６０）、フィルム（Ｆ）が付着された基板（Ｓ）を基板吸着板（１１１）から分離するための基板アンローディング装置（１７０）、及びフィルム（Ｆ）をフィルム吸着ユニット（１２０）に備えられるフィルム吸着板（１２１）に一つずつ供給するためのフィルム供給装置（１８０）を含む。

図１及び図２に図示のとおり、基板吸着ユニット（１１０）は、基板（Ｓ）が吸着される複数の基板吸着板（１１１）、基板吸着板（１１１）を上下方向にスライド移動可能に支持する複数の支持部材（１１２）、支持部材（１１２）を直線移動させるための複数の支持部材移送装置（１１３）、及び基板運び用回転テーブル（１１４）を含む。複数の基板吸着板（１１１）、複数の支持部材（１１２）、及び複数の支持部材移送装置（１１３）は基板運び用回転テーブル（１１４）に装着される。基板運び用回転テーブル（１１４）はモーター（未図示）などの回転力を提供するアクチュエーターによって一定の角度ずつ回転することができる。

複数の基板吸着板（１１１）は基板運び用回転テーブル（１１４）に一定の角度を成すように配置される。図面には基板吸着板（１１１）の個数が４つであり、これらが９０゜間隔に配置されたものと示しているが、基板吸着板（１１１）の個数や配置間隔は多様に変わることができる。基板吸着板（１１１）は支持部材移送装置（１１３）によって支持部材（１１２）とともに基板運び用回転テーブル（１１４）の内外側方向に移動することができ、支持部材（１１２）に結合した状態で上下移動することができる。

基板吸着板（１１１）の前面には基板（Ｓ）を真空圧で吸着することができるように多数の吸着ホール（１１５）が備えられる。基板吸着板（１１１）はチューブを通じて真空ポンプ（１５０）と連結されることができ、真空ポンプ（１５０）において発生する真空圧がチューブを通じて多数の吸着ホール（１１５）に提供されることで基板（Ｓ）が基板吸着板（１１１）の前面に吸着されることができる。基板吸着板（１１１）と真空ポンプ（１５０）とを連結するチューブには真空圧の調節のための調節バルブ（１５１）が設けられることができる。

図２に図示のとおり、支持部材（１１２）は基板吸着板（１１１）を上下方向にスライド移動可能に支持する。支持部材（１１２）には上下方向に延長されたガイドレール（１１６）が備えられ、基板吸着板（１１１）の後面にはガイドレール（１１６）が挿入されるガイド溝（１１７）が備えられる。したがって、基板吸着板（１１１）が基板吸着板移送装置（１４０）から外力を受ければ基板吸着板（１１１）はガイドレール（１１６）に沿って直線移動するようになる。もちろん、基板吸着板（１１１）と支持部材（１１２）との結合構造はこのような構造に限定されず、基板吸着板（１１１）が支持部材（１１２）においてスライド移動可能の多様な構造に変わることができる。

支持部材（１１２）は基板運び用回転テーブル（１１４）に結合する支持部材移送装置（１１３）に結合する。支持部材移送装置（１１３）は支持部材（１１２）に外力を加えて支持部材（１１２）を付着位置（Ｐ１）に位置するフィルム吸着板（１２１）側に前進させるとかその反対方向に後退させる。したがって、基板（Ｓ）が吸着される基板吸着板（１１１）も支持部材（１１２）とともに基板運び用回転テーブル（１１４）の内外側方向に移動できる。支持部材移送装置（１１３）では支持部材（１１２）に直線移動力を提供可能の多様なリニアアクチュエーターが用いられることができる。

このような、基板吸着ユニット（１１０）は基盤運び用回転テーブル（１２３）の回転によって複数の基板吸着板（１１１）に吸着された基板（Ｓ）が一つずつローディング位置（Ｐ２）、付着位置（Ｐ１）及びアンローディング位置（Ｐ３）に運ばれる。基板吸着板（１１１）がローディング位置（Ｐ２）に位置する際に基板ローディング装置（１６０）が基板吸着板（１１１）に基板（Ｓ）一つを供給して基板吸着板（１１１）に一つの基板（Ｓ）が吸着される。そして基板吸着板（１１１）が付着位置（Ｐ１）に位置する際に基板（Ｓ）にフィルム（Ｆ）が付着され、基板吸着板（１１１）がアンローディング位置（Ｐ３）に位置する際に基板アンローディング装置（１７０）がフィルム（Ｆ）が付着された基板（Ｓ）を基板吸着板（１１１）から分離する。基板ローディング装置（１６０）や基板アンローディング装置（１７０）は基板吸着板（１１１）に基板（Ｓ）を一つずつ供給するとか基板（Ｓ）を基板吸着板（１１１）から分離可能の多様な構造になることができるので、これに対する詳細な説明は省略する。

図１及び図３に図示のとおり、フィルム吸着ユニット（１２０）は、基板（Ｓ）に付着されるフィルム（Ｆ）が吸着される複数のフィルム吸着板（１２１）、フィルム吸着板（１２１）をティルティング（Tilting）させるための複数のフィルム吸着板ティルティング装置（１２２）、及びフィルム運び用回転テーブル（１２３）を含む。複数のフィルム吸着板（１２１）、及び複数のフィルム吸着板ティルティング装置（１２２）はフィルム運び用回転テーブル（１２３）に装着される。フィルム運び用回転テーブル（１２３）はモーター（未図示）などの回転力を提供するアクチュエーターによって一定の角度ずつ回転することができる。

複数のフィルム吸着板（１２１）はフィルム運び用回転テーブル（１２３）に一定の角度を成すように配置される。図面には基板吸着板（１１１）の個数が４つであり、これらが９０゜間隔に配置されたものと示しているが、フィルム吸着板（１２１）の個数や配置間隔は多様に変わることができる。フィルム吸着板（１２１）はその下端がフィルム運び用回転テーブル（１２３）に結合するヒンジ装置（１２４）に回転可能に結合する。

フィルム吸着板ティルティング装置（１２２）がフィルム吸着板（１２１）を押すとか引けばフィルム吸着板（１２１）はヒンジ装置（１２４）を中心に一定の角度回転することでティルティングされることができる。フィルム吸着板（１２１）は、その上端が付着位置（Ｐ１）に位置する基板吸着板（１１１）に近付くように傾けばフィルム吸着板（１２１）に吸着されたフィルム（Ｆ）の一端が基板吸着板（１１１）に吸着された基板（Ｓ）に付着されることができる。フィルム吸着板ティルティング装置（１２２）の端はフィルム吸着板（１２１）に結合する。フィルム吸着板ティルティング装置（１２２）はフィルム吸着板（１２１）を押すとか引くことができる多様な形態のアクチュエーターが用いられることができる。

また、上記フィルム吸着板の上部側にヒンジ装置が備えられるようにしてフィルム吸着板がフィルム吸着板ティルティング装置の動作によってフィルム吸着板上部側がティルティングされるように構成することもできる。フィルム吸着板（１２１）の前面にはフィルム（Ｆ）を真空圧で吸着することができるように多数の吸着ホール（１２５）が備えられる。フィルム吸着板（１２１）はチューブを通じて真空ポンプ（１５０）と連結されることができ、真空ポンプ（１５０）において発生する真空圧がチューブを通じて多数の吸着ホール（１２５）に提供されることでフィルム（Ｆ）がフィルム吸着板（１２１）の前面に吸着されることができる。フィルム吸着板（１２１）と真空ポンプ（１５０）とを連結するチューブには真空圧の調節のための調節バルブ（１５２）が設けられることができる。

図３及び図４に図示のとおり、フィルム吸着板（１２１）の上端には加圧ローラー（１３０）が設けられる。加圧ローラー（１３０）はフィルム吸着板（１２１）に吸着されたフィルム（Ｆ）が基板吸着板（１１１）に吸着された基板（Ｓ）に接する際にフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧してフィルム（Ｆ）が浮かないで基板（Ｓ）に円滑に付着されるようにする役目をする。加圧ローラー（１３０）はベアリングのような公知の回転補助装置によって回転できるようにフィルム吸着板（１２１）に結合されることができる。また、加圧ローラー（１３０）は密着力を良くするためにゴムやシリコーンなどの弾性を有する素材になることができる。

図３に図示のとおり、フィルム供給装置（１８０）はフィルム（Ｆ）を吸着ためのフィルム供給板（１８１）と、フィルム供給板（１８１）を回転させるためのフィルム供給板回転装置（１８２）とを含む。フィルム供給板（１８１）はヒンジ装置（１８３）に回転可能に支持され、フィルム供給板回転装置（１８２）によってヒンジ装置（１８３）を中心に一定の角度回転する。フィルム供給板（１８１）はフィルム（Ｆ）を吸着ためにその一面に多数の吸着ホール（１８４）が備えられる。フィルム供給板（１８１）はチューブを通じて真空ポンプ（１５０）と連結されることができ、フィルム供給板（１８１）と真空ポンプ（１５０）とを連結するチューブには真空圧調節のための調節バルブ（１５３）が設けられることができる。フィルム供給装置（１８０）の構造は図示のものと限定するのではない。フィルム供給装置（１８０）はフィルム吸着板（１２１）にフィルム（Ｆ）を一つずつ供給できる多様な構造で変わることができる。

上述のとおり、フィルム吸着ユニット（１２０）はフィルム運び用回転テーブル（１２３）の回転によって複数のフィルム吸着板（１２１）がフィルム供給位置（Ｐ４）及び付着位置（Ｐ１）に移動する。フィルム吸着板（１２１）がフィルム供給位置（Ｐ４）に位置する際にフィルム供給装置（１８０）がフィルム吸着板（１２１）にフィルム（Ｆ）一つを供給してフィルム吸着板（１２１）に一つのフィルム（Ｆ）が吸着される。そして、フィルム吸着板（１２１）が付着位置（Ｐ１）に位置する際にフィルム吸着板（１２１）のフィルム（Ｆ）が基板吸着板（１１１）に吸着された基板（Ｓ）に移動する。フィルム（Ｆ）に接着面が備えられる場合、フィルム（Ｆ）に付着されて接着面を覆う保護シートはフィルム（Ｆ）が付着位置（Ｐ１）に移動する前にフィルム（Ｆ）から除去される。フィルム（Ｆ）から保護シートを除去する方法は、公知の多様な方法が用いられれることができるのでこれに対する詳細な説明は省略する。

図１及び図２に図示のとおり、基板吸着板移送装置（１４０）は付着位置（Ｐ１）に配置される。基板吸着板移送装置（１４０）は付着位置（Ｐ１）に移動した基板吸着板（１１１）をガイドレール（１１６）に沿って上下方向にスライド移動させる。基板吸着板移送装置（１４０）は基板吸着板（１１１）に外力を加えて基板吸着板（１１１）を上下移動させるための稼動部材（１４１）及び稼動部材（１４１）を作動させるための稼動部材駆動装置（１４２）を含む。稼動部材（１４１）は一対のフィンガー（１４３）を含む。一対のフィンガー（１４３）は相互近くなることで基板吸着板（１１１）の上端を取ることができ、相互遠くなることで基板吸着板（１１１）から離れることができる。
稼動部材駆動装置（１４２）は稼動部材（１４１）を下部方向に押すとか稼動部材（１４１）を上部方向に引き寄せる。稼動部材（１４１）が基板吸着板（１１１）の上端を取る状態において稼動部材駆動装置（１４２）が稼動部材（１４１）を上部方向に移動させれば基板吸着板（１１１）がガイドレール（１１６）に沿って上部方向にスライド移動する。そして基板吸着板（１１１）が上昇した状態において稼動部材駆動装置（１４２）が稼動部材（１４１）を下部方向に移動させれば基板吸着板（１１１）が下部方向にスライド移動する。

もちろん、基板吸着板（１１１）がガイドレール（１１６）で易しくスライド移動可能の場合、基板吸着板移送装置（１４０）が基板吸着板（１１１）を下部方向に押さなくても基板吸着板（１１１）は自重によって下部方向にスライド移動することができる。稼動部材駆動装置（１４２）では稼動部材（１４１）に直線移動力を提供する多様なリニアアクチュエーターを用いることができる。

本発明において、稼動部材（１４１）の具体的な構造や基板吸着板移送装置（１４０）の構造は図示のものと限定されないで多様に変わることができる。例えば、基板吸着板移送装置（１４０）は基板吸着板（１１１）の下部に配置されることもできる。この場合、稼動部材（１４１）のフィンガー（１４３）は省略でき、基板吸着板移送装置（１４０）が基板吸着板（１１１）を上部方向に押す際に基板吸着板（１１１）が上部方向にスライド移動し、基板吸着板移送装置（１４０）が降りる際に基板吸着板（１１１）も下部方向にスライド移動することができる。この外にも基板吸着板移送装置（１４０）は基板吸着板（１１１）に外力を加えて基板吸着板（１１１）を直線移動できる多様な構造で変わることができる。

以下、添付図面を参照して本発明の一実施例によるフィルム付着装置（１００）の作用に対して説明する。

一つの基板吸着板（１１１）がローディング位置（Ｐ２）に移動すれば、基板ローディング装置（１６０）がローディング位置（Ｐ２）にある一つの基板吸着板（１１１）に基板（Ｓ）を供給して基板吸着板（１１１）に基板（Ｓ）が吸着される。その以後、基板運び用回転テーブル（１１４）が一定の角度回転して基板（Ｓ）が吸着された基板吸着板（１１１）が付着位置（Ｐ１）に移動する。

これとは別に、フィルム供給位置（Ｐ４）においてフィルム供給装置（１８０）によりフィルム（Ｆ）を供給受けた一つのフィルム吸着板（１２１）はフィルム運び用回転テーブル（１２３）の回転によって付着位置（Ｐ１）に移動する。

図４に図示のとおり、基板（Ｓ）が吸着された基板吸着板（１１１）と、フィルム（Ｆ）が吸着されたフィルム吸着板（１２１）とが付着位置（Ｐ１）において対向する際に支持部材移送装置（１１３）が支持部材（１１２）をフィルム吸着板（１２１）側に押し、フィルム吸着板ティルティング装置（１２２）がフィルム吸着板（１２１）をティルティングさせる。この際、フィルム吸着板（１２１）はヒンジ装置（１２４）を中心に一定の角度回転してその上端が基板吸着板（１１１）に近付い、基板吸着板（１１１）に吸着されたフィルム（Ｆ）の一端が基板吸着板（１１１）に吸着された基板（Ｓ）の一端に付着される。これと同時に、加圧ローラー（１３０）が基板（Ｓ）に接触されたフィルム（Ｆ）の一端を基板（Ｓ）側に加圧する。

その後、基板吸着板移送装置（１４０）が作動して稼動部材（１４１）が降りて基板吸着板（１１１）の上端を取る。続いて、図５に図示のとおり、稼動部材（１４１）が稼動部材駆動装置（１４２）によって上昇して基板吸着板（１１１）をガイドレール（１１６）に沿って上部方向に移動させる。この際、フィルム吸着板（１２１）に吸着されたフィルム（Ｆ）が一端から漸進的に基板（Ｓ）に付着される。この過程において加圧ローラー（１３０）は基板（Ｓ）に付着されるフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧することで、フィルム（Ｆ）が浮くとか基板（Ｓ）とフィルム（Ｆ）との間に気泡が発生することなくフィルム（Ｆ）は基板（Ｓ）に円滑に付着されることができる。

フィルム（Ｆ）が基板（Ｓ）側に漸進的に移動する過程においてフィルム吸着板（１２１）の真空吸着力はフィルム（Ｆ）が基板（Ｓ）に移動しながら漸進的に減少することができる。

このように、本発明の一実施例によるフィルム付着装置（１００）は、フィルム（Ｆ）をその一端から他端まで基板（Ｓ）に漸進的に付着することで付着面に気泡などが介入されることなくフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）に安定的に付着することができる。

また、基板（Ｓ）とフィルム（Ｆ）との供給、運びのための部品の占有空間及び動作範囲を減らしてコンパクトした構造が可能であり、付着位置（Ｐ１）に配置される一つの基板吸着板移送装置（１４０）を用いて付着位置（Ｐ１）に移動したすべての基板吸着板（１１１）を移動できるので、部品の数及び設置費用を減らすことができる。

図６ないし図８は本発明の他の実施例によるフィルム付着装置を示したものである。

本発明の他の実施例によるフィルム付着装置（２００）は、上述の本発明の一実施例によるフィルム付着装置（２００）と大部分の構成が同じであり、ただ、複数のフィルム吸着板（１２１）のそれぞれに設けられる複数の加圧ローラー（１３０）代りに一つのフィルム加圧装置（２１０）が備えられたものである。付着位置（Ｐ１）に配置される一つのフィルム加圧装置（２１０）はフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧する役目をする。以下で、上述のフィルム付着装置（１００）の構成と同じ部分に対しては同じ符号を付与してそれに対する詳細な説明は省略する。

図６及び図７に図示のとおり、フィルム加圧装置（２１０）は付着位置（Ｐ１）に一つが配置される。フィルム加圧装置（２１０）はフィルム吸着板（１２１）に吸着されたフィルム（Ｆ）が基板吸着板（１１１）に吸着された基板（Ｓ）に接する際にフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧するための加圧ローラー（２１１）、及び加圧ローラー（２１１）をフィルム（Ｆ）を加圧する方向に前進及びフィルム（Ｆ）から離れる方向に後退させるための加圧ローラー移送装置（２１２）を含む。加圧ローラー（２１１）は加圧ローラー移送装置（２１２）に備えられた支持ブラケット（２１３）に回転可能に結合される。加圧ローラー移送装置（２１２）では加圧ローラー（２１１）に直線移動力を提供できる多様なリニアアクチュエーターを用いることができる。

図８に図示のとおり、付着位置（Ｐ１）に移動したフィルム吸着板（１２１）がティルティングされてここに吸着されたフィルム（Ｆ）の一端が基板（Ｓ）に接する際に加圧ローラー（２１１）が進んでフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧する。その後、基板吸着板移送装置（１４０）が作動して基板（Ｓ）を上部方向に移動させることでフィルム（Ｆ）は一端から他端まで基板（Ｓ）に漸進的に付着される。この際、加圧ローラー（２１１）がフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧するのでフィルム（Ｆ）は基板（Ｓ）に浮かなく基板（Ｓ）に円滑に付着されることができる。

フィルム（Ｆ）の付着が完了すれば、加圧ローラー（２１１）は元々状態で後退してフィルム（Ｆ）から離れる。そして新しいフィルム（Ｆ）が吸着されたフィルム吸着板（１２１）が付着位置（Ｐ１）に移動すればまた進んでフィルム（Ｆ）を基板（Ｓ）側に加圧する。

このように、本発明の他の実施例によるフィルム付着装置（２００）は付着位置（Ｐ１）に設けられる一つのフィルム加圧装置（２１０）を用いて複数のフィルム吸着板（１２１）に吸着されたフィルム（Ｆ）を順に基板吸着板（１１１）側に加圧することができる。

本発明において、基板吸着板（１１１）が基板吸着板移送装置（１４０）によってスライド移動する方向は図示のとおり、上下方向に限定されず左右方向になることができる。この場合、フィルム吸着板（１２１）がティルティングされる方向は基板吸着板（１１１）の移動方向によって変わる。

一方、上述の実施例では、基板吸着ユニット（１１０）が基板吸着板（１１１）を移動させるための基板運び用回転テーブル（１１４）を備え、フィルム吸着ユニット（１２０）がフィルム吸着板（１２１）を移動させるためのフィルム運び用回転テーブル（１２３）を備えることと説明したが、本発明はこのような構成で限定されるものではない。すなわち、基板吸着板（１１１）は回転する基板運び用回転テーブル（１１４）に設けられず直線ライン上に一つまたは複数が設けられることができる。そして、フィルム吸着板（１２１）も回転するフィルム運び用回転テーブル（１２３）に設けられず直線ライン上に一つまたは複数が設けられることができる。この場合、基板吸着板（１１１）やフィルム吸着板（１２１）は付着位置に直線移動するように設けられることもできて、付着位置に停止しているように設けられることもできる。

また、上述の本発明の実施例によるフィルム付着装置が連続に配置されるようにして基板の両面にフィルムをすべての付着するように構成することもできる。すなわち、本発明の実施例によるフィルム付着装置を連続するように並んで配置して基板の一面にフィルムを付着し、一面にフィルムが付着された基板の他面にフィルムを付着するようにすることもできる。この場合、アンローディング装置は両面にフィルムがすべての付着された基板をアンローディングする部分に移動するようになる。

上述とともに図面に図示された本発明の実施例は、本発明の技術的な思想を限定するものとして解釈されてはいけない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に記載事項によって制限され、本発明の技術分野において通常の知識を有する者は本発明の技術的な思想を多様な形態で改良変更するのが可能である。したがって、このような改良及び変更は当該の技術分野で通常の知識を有する者に自明なことで本発明の保護範囲に属するようになる。

１００、２００: フィルム付着装置
１１０: 基板吸着ユニット
１１１: 基板吸着板
１１２: 支持部材
１１３: 支持部材移送装置
１１４: 基板運び用回転テーブル
１１６: ガイドレール
１２０: フィルム吸着ユニット
１２１: フィルム吸着板
１２２: フィルム吸着板ティルティング装置
１２３: フィルム運び用回転テーブル
１３０、２１１: 加圧ローラー
１４０: 基板吸着板移送装置
１４１: 稼動部材
１４２: 稼動部材駆動装置
１４３: フィンガー
１５０: 真空ポンプ
１６０: 基板ローディング装置
１７０: 基板アンローディング装置
１８０: フィルム供給装置
１８１: フィルム供給板

Claims (9)

1. 基板が吸着される基板吸着板、及び上記基板吸着板が移動可能に装着されて上記基板吸着板を付着位置に移動するために回転する基板運び用回転テーブルを有する基板吸着ユニット；
   上記基板に付着されるフィルムが吸着されるフィルム吸着板、上記フィルム吸着板が装着されて上記フィルム吸着板が上記基板吸着板と対面するように上記フィルム吸着板を上記付着位置に移動するために回転するフィルム運び用回転テーブル、及び上記フィルム運び用回転テーブルに装着されて上記付着位置に移動した上記フィルム吸着板を上記基板吸着板側にティルティングさせるフィルム吸着板ティルティング装置を有するフィルム吸着ユニット;
   上記付着位置に配置され、上記付着位置に移動した上記フィルム吸着板がティルティングされて上記フィルム吸着板に吸着された上記フィルムの一端が上記基板吸着板に吸着された上記基板に付着される際、上記基板吸着板を移動して上記フィルムがその一端から他端まで上記基板に漸進的に付着されるようにする基板吸着板移送装置；及び
   上記基板吸着板、及び上記フィルム吸着板に真空圧を提供するための一つ以上の真空ポンプ；
   を含むことを特徴とするフィルム付着装置。
2. 上記基板吸着板移送装置は、上記基板吸着板に外力を加えて上記基板吸着板を移動させるための稼動部材、及び上記稼動部材を駆動させるための稼動部材駆動装置を含むことを特徴とする請求項１記載のフィルム付着装置。
3. 上記基板運び用回転テーブルに装着されて上記基板吸着板をスライド移動可能に支持する支持部材をさらに含むことを特徴とする請求項２記載のフィルム付着装置。
4. 上記基板運び用回転テーブルに設けられ、上記支持部材に外力を加えて上記支持部材を上記基板運び用回転テーブルの内外側方向に移動させる支持部材移送装置をさらに含むことを特徴とする請求項３記載のフィルム付着装置。
5. 上記基板吸着板は複数が上記基板運び用回転テーブルに一定の間隔に配置され、上記フィルム吸着板は複数が上記フィルム運び用回転テーブルに一定の間隔に配置されることを特徴とする請求項１記載のフィルム付着装置。
6. 上記フィルム運び用回転テーブルに装着されて上記フィルム吸着板を回転可能に支持するヒンジ装置をさらに含み、上記フィルム吸着板は上記ヒンジ装置を中心に回転してティルティングされることを特徴とする請求項１記載のフィルム付着装置。
7. 上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムが上記基板吸着板に吸着された基板に接する際、上記フィルムを上記基板側に加圧するために上記フィルム吸着板に設けられる加圧ローラーをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のフィルム付着装置。
8. 上記付着位置に配置され、上記フィルム吸着板に吸着されたフィルムが上記基板吸着板に吸着された基板に接する際、上記フィルムを上記基板側に加圧するための加圧ローラー、及び上記加圧ローラーを上記フィルムを加圧する方向に前進、並びに上記フィルムから離れる方向に後退させるための加圧ローラー移送装置を有するフィルム加圧装置をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のフィルム付着装置。
9. 上記基板を上記基板吸着板に供給するための基板ローディング装置；
   上記フィルムの付着が完了した上記基板を上記基板吸着板から分離するための基板アンローディング装置；及び
   上記フィルムを上記フィルム吸着ユニットに供給するためのフィルム供給装置；
   をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のフィルム付着装置。

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