JP3323730B2 - ガラス基板搬出方法 - Google Patents
ガラス基板搬出方法Info
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- JP3323730B2 JP3323730B2 JP06326496A JP6326496A JP3323730B2 JP 3323730 B2 JP3323730 B2 JP 3323730B2 JP 06326496 A JP06326496 A JP 06326496A JP 6326496 A JP6326496 A JP 6326496A JP 3323730 B2 JP3323730 B2 JP 3323730B2
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- substrate
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のガラス基板
を収納保持している装置からガラス基板を吸着して搬送
工程に搬出する方法に関するものである。
を収納保持している装置からガラス基板を吸着して搬送
工程に搬出する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板は、一旦、その複数枚
を棚状のカセット（ガラス基板収納保持装置）に収納保
持しておき、その使用に際して、カセットから一枚ずつ
搬出装置（搬出用ロボット）により取り出し、搬送路に
送り出している。このような基板搬出用ロボットには、
吸着手段を備えたハンドが設けられており、該ロボット
は、この吸着ハンドでガラス基板を吸着してカセットか
らガラス基板を取り出している。このような吸着ハンド
には、真空センサが設けられており、搬出用ロボット
は、その吸着ハンドによりガラス基板を確実に吸着した
ことを、その真空センサの真空圧の上昇で認識し、その
センサ値に基づいてガラス基板のハンドリングを行って
いる。
を棚状のカセット（ガラス基板収納保持装置）に収納保
持しておき、その使用に際して、カセットから一枚ずつ
搬出装置（搬出用ロボット）により取り出し、搬送路に
送り出している。このような基板搬出用ロボットには、
吸着手段を備えたハンドが設けられており、該ロボット
は、この吸着ハンドでガラス基板を吸着してカセットか
らガラス基板を取り出している。このような吸着ハンド
には、真空センサが設けられており、搬出用ロボット
は、その吸着ハンドによりガラス基板を確実に吸着した
ことを、その真空センサの真空圧の上昇で認識し、その
センサ値に基づいてガラス基板のハンドリングを行って
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の搬出方法および装置では、ガラス基板が吸着開始位
置にない場合は、吸着ハンドによりガラス基板を吸着し
ようとした時に真空センサの真空圧が上がらないことが
検知されて、初めて判明することになる。すなわち、従
来の搬出方法および装置では、所定の搬送開始位置にガ
ラス基板があってもなくても、吸着ハンドは、所定位置
に移動してガラス基板を吸着する一連の動作を実行す
る。また、ガラス基板を吸着する動作の再実行（リトラ
イ）は、ガラス基板が所定の位置にあるにも関わらず、
吸着できない場合を想定したステップであるが、従来の
搬出方法および装置では、（ｉ）ガラス基板がなくて、
真空圧が上がらない場合と、（ii）ガラス基板はあるの
に微小な位置ずれなどの変動要因で吸着できず、真空圧
が上がらない場合との区別がつかないため、リトライを
実行すると、ガラス基板が吸着位置にない場合でも同じ
ように数回リトライ動作を繰り返してしまい、ガラス基
板の搬出、搬送工程の効率を低下させてしまう。
来の搬出方法および装置では、ガラス基板が吸着開始位
置にない場合は、吸着ハンドによりガラス基板を吸着し
ようとした時に真空センサの真空圧が上がらないことが
検知されて、初めて判明することになる。すなわち、従
来の搬出方法および装置では、所定の搬送開始位置にガ
ラス基板があってもなくても、吸着ハンドは、所定位置
に移動してガラス基板を吸着する一連の動作を実行す
る。また、ガラス基板を吸着する動作の再実行（リトラ
イ）は、ガラス基板が所定の位置にあるにも関わらず、
吸着できない場合を想定したステップであるが、従来の
搬出方法および装置では、（ｉ）ガラス基板がなくて、
真空圧が上がらない場合と、（ii）ガラス基板はあるの
に微小な位置ずれなどの変動要因で吸着できず、真空圧
が上がらない場合との区別がつかないため、リトライを
実行すると、ガラス基板が吸着位置にない場合でも同じ
ように数回リトライ動作を繰り返してしまい、ガラス基
板の搬出、搬送工程の効率を低下させてしまう。
【０００４】したがって、本発明の課題は、所定の吸着
位置にガラス基板がない場合には、ガラス基板の不在を
検知し、無駄な吸着動作や同動作のリトライを回避する
ことのできるガラス基板の搬出方法、該搬出に好適な搬
出装置および該装置を有するガラス基板供給装置を提供
することにある。
位置にガラス基板がない場合には、ガラス基板の不在を
検知し、無駄な吸着動作や同動作のリトライを回避する
ことのできるガラス基板の搬出方法、該搬出に好適な搬
出装置および該装置を有するガラス基板供給装置を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の請求項１のガラス基板搬出方法は、カセッ
ト内に積層されたガラス基板を搬出する方法であって、
前記カセット内の積層ガラス基板の間に挿入して前記積
層ガラス基板の上段位置のガラス基板を吸着する吸着ハ
ンドと、前記積層ガラス基板の次段のガラス基板の有無
を検出する近接センサとを用いて、前記近接センサから
の情報に応じて前記吸着ハンドのガラス基板取り出し操
作の位置を変更することを特徴とする。
に、本発明の請求項１のガラス基板搬出方法は、カセッ
ト内に積層されたガラス基板を搬出する方法であって、
前記カセット内の積層ガラス基板の間に挿入して前記積
層ガラス基板の上段位置のガラス基板を吸着する吸着ハ
ンドと、前記積層ガラス基板の次段のガラス基板の有無
を検出する近接センサとを用いて、前記近接センサから
の情報に応じて前記吸着ハンドのガラス基板取り出し操
作の位置を変更することを特徴とする。
【０００６】本発明の請求項２のガラス基板搬出方法
は、前記請求項１のガラス基板搬出方法において、前記
吸着ハンドに前記積層基板の前段の基板の有無を検出す
る近接センサをさらに設け、初回の基板の吸着搬出操作
における基板の有無を自動判別し、前記吸着ハンドのガ
ラス基板取り出し操作の位置を変更することを特徴とす
る。
は、前記請求項１のガラス基板搬出方法において、前記
吸着ハンドに前記積層基板の前段の基板の有無を検出す
る近接センサをさらに設け、初回の基板の吸着搬出操作
における基板の有無を自動判別し、前記吸着ハンドのガ
ラス基板取り出し操作の位置を変更することを特徴とす
る。
【０００７】本発明の請求項３のガラス基板搬出方法
は、前記請求項２のガラス基板搬出方法において、前記
吸着ハンドに前記基板の吸着の適否を検出する真空セン
サを設け、前記前段の基板を検出するセンサでガラス基
板が検出でき、かつ前記真空センサが前記基板の吸着を
検出しない時に、基板の吸着操作をリトライすることを
特徴とする。
は、前記請求項２のガラス基板搬出方法において、前記
吸着ハンドに前記基板の吸着の適否を検出する真空セン
サを設け、前記前段の基板を検出するセンサでガラス基
板が検出でき、かつ前記真空センサが前記基板の吸着を
検出しない時に、基板の吸着操作をリトライすることを
特徴とする。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】前述のように、本発明においては、複数の
ガラス基板を収納しているカセットからガラス基板を吸
着して搬出するガラス基板搬出装置の吸着ハンドに、真
空センサのみならず、ガラス基板の有無を検知する近接
センサを設けている。そして、これによって、まず、近
接センサで所定の場所にガラス基板があるかどうかを認
識してから吸着動作を開始することにしている。その結
果、ガラス基板がないのにガラス基板を取りに行く、と
いう無駄をなくすことができるのみならず、ガラス基板
がないのに何回もリトライするという無駄な動きもなく
すことが可能となる。
ガラス基板を収納しているカセットからガラス基板を吸
着して搬出するガラス基板搬出装置の吸着ハンドに、真
空センサのみならず、ガラス基板の有無を検知する近接
センサを設けている。そして、これによって、まず、近
接センサで所定の場所にガラス基板があるかどうかを認
識してから吸着動作を開始することにしている。その結
果、ガラス基板がないのにガラス基板を取りに行く、と
いう無駄をなくすことができるのみならず、ガラス基板
がないのに何回もリトライするという無駄な動きもなく
すことが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の参考形態と実施の
形態を説明する。
形態を説明する。
【００２１】（参考形態） 図１、図２および図３は、それぞれ、本発明のガラス基
板搬出方法を実行するに好適な一連の装置からなるガラ
ス基板供給装置１の平面図、正面図および側面図であ
る。このガラス基板供給装置１は、複数のガラス基板２
を収納するカセット３と、このカセット３からガラス基
板２を一枚ずつ取り出すガラス基板搬出装置（搬出用ロ
ボット）４と、このガラス基板搬出装置４が取り出した
ガラス基板２を不図示の次工程に搬送する搬送手段（コ
ンベア）５とから構成されている。
板搬出方法を実行するに好適な一連の装置からなるガラ
ス基板供給装置１の平面図、正面図および側面図であ
る。このガラス基板供給装置１は、複数のガラス基板２
を収納するカセット３と、このカセット３からガラス基
板２を一枚ずつ取り出すガラス基板搬出装置（搬出用ロ
ボット）４と、このガラス基板搬出装置４が取り出した
ガラス基板２を不図示の次工程に搬送する搬送手段（コ
ンベア）５とから構成されている。
【００２２】前記カセット３は、複数のガラス基板２を
収納後に、図に示すように、前記ロボット４の上流側に
設置されている架台６上に載置される。
収納後に、図に示すように、前記ロボット４の上流側に
設置されている架台６上に載置される。
【００２３】図４、図５および図６は、それぞれ、前記
カセット３にガラス基板２が収納された状態を表す詳細
な平面図、正面図および側面図である。これらの図に示
すように、カセット３はガラス基板２を複数収納した状
態で前記架台６上に載置される。
カセット３にガラス基板２が収納された状態を表す詳細
な平面図、正面図および側面図である。これらの図に示
すように、カセット３はガラス基板２を複数収納した状
態で前記架台６上に載置される。
【００２４】このカセット３は、そのハウジングの左右
に固定された３対の側板７を持ち、それぞれの側板７に
は上から下に向かって一定のピッチでガイド８が設けら
れている。ガラス基板２は、これらガイド８に裏面の周
辺部を支えられてカセット３内に水平に収納されてい
る。したがって、ガイド８の取り付けピッチは、ロボッ
ト４の吸着ハンド９が隣接する上下のガラス基板２，２
間に余裕を持って挿入できる寸法に設定されている。
に固定された３対の側板７を持ち、それぞれの側板７に
は上から下に向かって一定のピッチでガイド８が設けら
れている。ガラス基板２は、これらガイド８に裏面の周
辺部を支えられてカセット３内に水平に収納されてい
る。したがって、ガイド８の取り付けピッチは、ロボッ
ト４の吸着ハンド９が隣接する上下のガラス基板２，２
間に余裕を持って挿入できる寸法に設定されている。
【００２５】また、このカセット３の上端には、このカ
セット３を持ち運びするための取っ手１０が取り付けら
れており、後部には、ガラス基板２の抜け防止用ストッ
パ７′が設けられている。このようにガラス基板２を収
納したカセット３は、通常、人手で前記架台６上に載置
される。このようにして供給されたカセット３から、ロ
ボット４は、その吸着ハンド９により、ガラス基板２を
１枚ずつ取り出し、ガラス基板２を吸着した吸着ハンド
９を１８０度旋回して、ガラス基板２をコンベア５上に
載せる。
セット３を持ち運びするための取っ手１０が取り付けら
れており、後部には、ガラス基板２の抜け防止用ストッ
パ７′が設けられている。このようにガラス基板２を収
納したカセット３は、通常、人手で前記架台６上に載置
される。このようにして供給されたカセット３から、ロ
ボット４は、その吸着ハンド９により、ガラス基板２を
１枚ずつ取り出し、ガラス基板２を吸着した吸着ハンド
９を１８０度旋回して、ガラス基板２をコンベア５上に
載せる。
【００２６】ロボット４は、図１および図３に示すよう
に、本体１１と、この本体１１に上下動自在かつ水平方
向に１８０度旋回自在に取り付けられているアーム部１
２と、このアーム部１２上に水平方向にスライド自在に
取り付けられている吸着ハンド９とから構成されてい
る。前記アーム部１２の上下動は、本体１１内に収納さ
れている不図示の駆動源により駆動され、吸着ハンド９
はアーム部１２内に収納されている不図示の駆動源によ
り駆動されるようになっており、これらの制御は、外部
の制御装置（不図示）によって制御されるようになって
いる。
に、本体１１と、この本体１１に上下動自在かつ水平方
向に１８０度旋回自在に取り付けられているアーム部１
２と、このアーム部１２上に水平方向にスライド自在に
取り付けられている吸着ハンド９とから構成されてい
る。前記アーム部１２の上下動は、本体１１内に収納さ
れている不図示の駆動源により駆動され、吸着ハンド９
はアーム部１２内に収納されている不図示の駆動源によ
り駆動されるようになっており、これらの制御は、外部
の制御装置（不図示）によって制御されるようになって
いる。
【００２７】次に、図７（ａ），（ｂ），（ｃ），
（ｄ）を用いて、吸着ハンド９の構成を説明する。図７
（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、それぞれ、搬
送ロボット４の吸着ハンド９の詳細な平面図、正面図、
側面図、および図（ａ）のＤ−Ｄ’線に沿う断面図であ
る。吸着ハンド９は、図（ａ）に示すように、厚みのあ
る長板状の本体部２０に二対の翼部２１ａ，２１ｂと２
２ａ，２２ｂとが同一水平面上に一体に設けられた形状
を有する。前記本体部２０内には、図（ｄ）に示すよう
に、不図示の吸引源に接続している吸引用の流路２３が
形成されており、この流路２３は、本体部２０の表面に
ほぼ等間隔に配列した吸引孔２４に開口している。前記
翼部２１ａ，２１ｂ間の本体部２０には近接センサ２５
が設けられている。また、本体部２０の基部には流路２
３内の真空度を測定する真空センサ２６が取り付けられ
ており、ガラス基板２が完全に吸引されると、真空度が
上がり、真空センサ２６がＯＮとなる。近接センサ２５
は、吸着ハンド９がカセット３内の所定のガラス基板２
の下に入った時、その基板２の有無を検出できるように
調整されている。前記各吸引孔２４の開口外周部分、お
よび各翼部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの先端部分
には、同一高さとなるように柔軟な樹脂からなる当接突
起が取り付けられており、この７カ所でガラス基板２の
裏面を支える構成になっている。
（ｄ）を用いて、吸着ハンド９の構成を説明する。図７
（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は、それぞれ、搬
送ロボット４の吸着ハンド９の詳細な平面図、正面図、
側面図、および図（ａ）のＤ−Ｄ’線に沿う断面図であ
る。吸着ハンド９は、図（ａ）に示すように、厚みのあ
る長板状の本体部２０に二対の翼部２１ａ，２１ｂと２
２ａ，２２ｂとが同一水平面上に一体に設けられた形状
を有する。前記本体部２０内には、図（ｄ）に示すよう
に、不図示の吸引源に接続している吸引用の流路２３が
形成されており、この流路２３は、本体部２０の表面に
ほぼ等間隔に配列した吸引孔２４に開口している。前記
翼部２１ａ，２１ｂ間の本体部２０には近接センサ２５
が設けられている。また、本体部２０の基部には流路２
３内の真空度を測定する真空センサ２６が取り付けられ
ており、ガラス基板２が完全に吸引されると、真空度が
上がり、真空センサ２６がＯＮとなる。近接センサ２５
は、吸着ハンド９がカセット３内の所定のガラス基板２
の下に入った時、その基板２の有無を検出できるように
調整されている。前記各吸引孔２４の開口外周部分、お
よび各翼部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの先端部分
には、同一高さとなるように柔軟な樹脂からなる当接突
起が取り付けられており、この７カ所でガラス基板２の
裏面を支える構成になっている。
【００２８】図８〜図１１は、それぞれ、ロボット４が
前記カセット３からガラス基板２を取り出す手順の主要
過程を示す正面図である。図８に示すように、まず、ロ
ボット４は、そのアーム部１２を上動させて、架台１１
の上に載っているカセット３内に収納されている取り出
そうとするガラス基板２の幾分下方の水平位置に、その
吸着ハンド９を位置させる。次に、図９に示すように、
吸着ハンド９を、スライドさせて、取り出そうとするガ
ラス基板２とその下に位置するガラス基板２との間に、
挿入する。
前記カセット３からガラス基板２を取り出す手順の主要
過程を示す正面図である。図８に示すように、まず、ロ
ボット４は、そのアーム部１２を上動させて、架台１１
の上に載っているカセット３内に収納されている取り出
そうとするガラス基板２の幾分下方の水平位置に、その
吸着ハンド９を位置させる。次に、図９に示すように、
吸着ハンド９を、スライドさせて、取り出そうとするガ
ラス基板２とその下に位置するガラス基板２との間に、
挿入する。
【００２９】続いて、図１０に示すように、アーム部１
２を上方に微動させて、吸着ハンド９をガラス基板２の
下面に当接させる。この場合、ガラス基板２が吸着ハン
ド９上に載り、ガイド８から幾分上方に離間するよう
に、吸着ハンド９を上動させる。この時、同時に吸引を
作動させてガラス基板２を吸着ハンド９に吸着させる。
ガラス基板２を吸着ハンド９上に載置し、吸着したら、
図１１に示すように、吸着ハンド９を復帰させる。
２を上方に微動させて、吸着ハンド９をガラス基板２の
下面に当接させる。この場合、ガラス基板２が吸着ハン
ド９上に載り、ガイド８から幾分上方に離間するよう
に、吸着ハンド９を上動させる。この時、同時に吸引を
作動させてガラス基板２を吸着ハンド９に吸着させる。
ガラス基板２を吸着ハンド９上に載置し、吸着したら、
図１１に示すように、吸着ハンド９を復帰させる。
【００３０】最後に、吸着ハンド９上に基板２を吸着さ
せたまま、アーム部１２を１８０度旋回させ、吸着ハン
ド９を前方にスライドさせ、その状態で、アーム部１２
を下動させて、コンベア５上に基板２を載置する。コン
ベア５上に載置された基板２は、コンベア５によって次
工程に搬送される。
せたまま、アーム部１２を１８０度旋回させ、吸着ハン
ド９を前方にスライドさせ、その状態で、アーム部１２
を下動させて、コンベア５上に基板２を載置する。コン
ベア５上に載置された基板２は、コンベア５によって次
工程に搬送される。
【００３１】図１２〜図１８は、それぞれ、所定の場所
にガラス基板２がない場合のロボット４の動作手順の主
要過程を示す正面図である。図１２に示すように、ロボ
ット４は、架台６の上のカセット３内の一番上の段にあ
るはずのガラス基板２を取りに行くために最適な位置
に、そのアーム部１２を上動させる。次に、図１３に示
すように、吸着ハンド９を、スライドさせて、取り出そ
うとするガラス基板２とその下に位置するガラス基板２
との間に、挿入する。この時、近接センサ２５により基
板２の有無を検知する。
にガラス基板２がない場合のロボット４の動作手順の主
要過程を示す正面図である。図１２に示すように、ロボ
ット４は、架台６の上のカセット３内の一番上の段にあ
るはずのガラス基板２を取りに行くために最適な位置
に、そのアーム部１２を上動させる。次に、図１３に示
すように、吸着ハンド９を、スライドさせて、取り出そ
うとするガラス基板２とその下に位置するガラス基板２
との間に、挿入する。この時、近接センサ２５により基
板２の有無を検知する。
【００３２】ここで近接センサ２５がＯＦＦの場合、そ
の段にはガラス基板２がないということだから、図１４
に示すように、吸着ハンド９をカセット３内から後退さ
せる。
の段にはガラス基板２がないということだから、図１４
に示すように、吸着ハンド９をカセット３内から後退さ
せる。
【００３３】図１５に示すように、吸着ハンドＨを一段
分下降させて、次のガラス基板２を取り出すことのでき
る水平位置に位置させる。次に、図１６に示すように、
吸着ハンド９を、スライドさせて、取り出そうとするガ
ラス基板２とその下に位置するガラス基板２との間に、
挿入する。この時、近接センサ２５により基板２の存在
を検知する。
分下降させて、次のガラス基板２を取り出すことのでき
る水平位置に位置させる。次に、図１６に示すように、
吸着ハンド９を、スライドさせて、取り出そうとするガ
ラス基板２とその下に位置するガラス基板２との間に、
挿入する。この時、近接センサ２５により基板２の存在
を検知する。
【００３４】続いて、図１７に示すように、アーム部１
２を上方に微動させて、吸着ハンド９をガラス基板２の
下面に当接させる。この場合、ガラス基板２が吸着ハン
ド９上に載り、ガイド８から幾分上方に離間するよう
に、吸着ハンド９を上動させる。この時、同時に吸引を
作動させてガラス基板２を吸着ハンド９に吸着させる。
２を上方に微動させて、吸着ハンド９をガラス基板２の
下面に当接させる。この場合、ガラス基板２が吸着ハン
ド９上に載り、ガイド８から幾分上方に離間するよう
に、吸着ハンド９を上動させる。この時、同時に吸引を
作動させてガラス基板２を吸着ハンド９に吸着させる。
【００３５】ガラス基板２を吸着ハンド９上に載置し、
吸着を真空センサ２６により確認したら、図１８に示す
ように、吸着ハンド９を復帰させる。
吸着を真空センサ２６により確認したら、図１８に示す
ように、吸着ハンド９を復帰させる。
【００３６】最後に、吸着ハンド９上に基板２を吸着さ
せたまま、アーム部１２を１８０度旋回させ、吸着ハン
ド９を前方にスライドさせ、その状態で、アーム部１２
を下動させて、コンベア５上に基板２を載置する。コン
ベア５上に載置された基板２は、コンベア５によって次
工程に搬送される。図１９は、本発明のガラス基板搬出
方法のフローチャートである。この図１９および前記図
８〜１１、図１２〜１８を用いて、本発明の基板搬出装
置の実際の動きをに全体的に説明する。
せたまま、アーム部１２を１８０度旋回させ、吸着ハン
ド９を前方にスライドさせ、その状態で、アーム部１２
を下動させて、コンベア５上に基板２を載置する。コン
ベア５上に載置された基板２は、コンベア５によって次
工程に搬送される。図１９は、本発明のガラス基板搬出
方法のフローチャートである。この図１９および前記図
８〜１１、図１２〜１８を用いて、本発明の基板搬出装
置の実際の動きをに全体的に説明する。
【００３７】Ｓ１：ロボット４を所定の高さまで上昇さ
せて吸着ハンド９をガラス基板２の下に進入させる（図
９および図１３）。
せて吸着ハンド９をガラス基板２の下に進入させる（図
９および図１３）。
【００３８】Ｓ２：ガラス基板２の有無を近接センサ２
１のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＦＦならＳ８へ。
１のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＦＦならＳ８へ。
【００３９】Ｓ３：ガラス基板２が所定の場所にある場
合は、ガラス基板２吸着用のバキュームＯＮ。
合は、ガラス基板２吸着用のバキュームＯＮ。
【００４０】Ｓ４：吸着ハンド９が上昇し、ガラス基板
２をガイド８から持ち上げる（図１０）。
２をガイド８から持ち上げる（図１０）。
【００４１】Ｓ５：ガラス基板２が確実に吸着されてい
るかを真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＦ
ＦならＳ１０へ。
るかを真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＦ
ＦならＳ１０へ。
【００４２】Ｓ６（Ｓ７）：ガラス基板２を吸着したま
ま、吸着ハンド９を後退させ、カセット３よりガラス基
板２を取り出す（図１１）。
ま、吸着ハンド９を後退させ、カセット３よりガラス基
板２を取り出す（図１１）。
【００４３】Ｓ８：Ｓ２で近接センサ２５がＯＦＦの場
合、その段にはガラス基板２がないということだから、
吸着ハンド９をカセット３内から後退させる（図１
４）。
合、その段にはガラス基板２がないということだから、
吸着ハンド９をカセット３内から後退させる（図１
４）。
【００４４】Ｓ９：吸着ハンド９を一段分下降させて、
次のガラス基板２を取りに行く（図１５）。
次のガラス基板２を取りに行く（図１５）。
【００４５】以降の図１６から１８までは、図９から１
１までと同じである。
１までと同じである。
【００４６】Ｓ１０：本実施の形態においては、リトラ
イの回数を３回までとしたため、ここでカウンタを初期
化する。
イの回数を３回までとしたため、ここでカウンタを初期
化する。
【００４７】Ｓ１１：ガラス基板Ｇ吸着用バキュームを
ＯＦＦにする。
ＯＦＦにする。
【００４８】Ｓ１２：吸着ハンド９を下降させてガラス
基板２を元のガイド８上に戻す（図１０から図９に戻
る）。
基板２を元のガイド８上に戻す（図１０から図９に戻
る）。
【００４９】Ｓ１３：ガラス基板吸着用バキュームをＯ
Ｎにする。
Ｎにする。
【００５０】Ｓ１４：再び、吸着ハンド９を上昇させ、
ガラス基板２を取りに行く（図１０）。
ガラス基板２を取りに行く（図１０）。
【００５１】Ｓ１５：ガラス基板２が確実に吸着されて
いるかを、真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。
ＯＮならＳ６へ、ＯＦＦならＳ１６へ。
いるかを、真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。
ＯＮならＳ６へ、ＯＦＦならＳ１６へ。
【００５２】Ｓ１６：リトライ用のカウンタを＋１す
る。
る。
【００５３】Ｓ１７：リトライ回数が３以下なら再びＳ
１１に戻ってリトライする。リトライ回数が３より大き
ければＳ１８へ。
１１に戻ってリトライする。リトライ回数が３より大き
ければＳ１８へ。
【００５４】Ｓ１８：リトライを３回行っても取れない
ガラス基板２は、反り等の変形が非常に大きいと判断
し、取りに行くのを止め、ガラス基板２用のバキューム
をＯＦＦにする。
ガラス基板２は、反り等の変形が非常に大きいと判断
し、取りに行くのを止め、ガラス基板２用のバキューム
をＯＦＦにする。
【００５５】Ｓ１９：吸着ハンド９を下降させ、ガラス
基板２を元のガイド８上に戻す。
基板２を元のガイド８上に戻す。
【００５６】Ｓ２０：吸着ハンド９をカセット３内から
後退させる（Ｓ８と同じ）。
後退させる（Ｓ８と同じ）。
【００５７】Ｓ２１：吸着ハンド９を一段分下降させ
て、次のガラス基板２を取りに行く（Ｓ９と同じ）。
て、次のガラス基板２を取りに行く（Ｓ９と同じ）。
【００５８】以降は、Ｓ１に戻って、同様の動作を続け
る。
る。
【００５９】本実施の形態においてのポイントは、Ｓ２
であり、ここで、ガラス基板２の有無を判断してから、
その後の制御を決めるため、ガラス基板２がない場合
は、Ｓ３以降のステップに行くことはない。
であり、ここで、ガラス基板２の有無を判断してから、
その後の制御を決めるため、ガラス基板２がない場合
は、Ｓ３以降のステップに行くことはない。
【００６０】また、ここで言うまでもなく、リトライの
回数等は、任意に設定可能である。 （実施の形態） 本実施の形態の特徴は、吸着ハンドに設置される近接セ
ンサが吸着ハンドの吸着側表面と反対側の裏面に設けら
れていることにある。
回数等は、任意に設定可能である。 （実施の形態） 本実施の形態の特徴は、吸着ハンドに設置される近接セ
ンサが吸着ハンドの吸着側表面と反対側の裏面に設けら
れていることにある。
【００６１】図２０（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本実施
の形態の吸着ハンドを示すもので、図（ａ）は平面構成
図、図（ｂ）は裏面構成図、図（ｃ）は図（ａ）のＣ−
Ｃ′線に沿う断面構成図である。これらの図において、
前述の図７（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）と同一構成
には同一符号を付して説明を簡略化する。本実施の形態
における吸着ハンドと図７に示した吸着ハンドとの違い
は、前述のように、図７の構成では近接センサ２５が吸
着ハンド９の吸着側表面に設置されているのに対し、本
実施の形態の近接センサ３５が吸着ハンド９の吸着側と
反対側の裏面に設置されている点のみである。
の形態の吸着ハンドを示すもので、図（ａ）は平面構成
図、図（ｂ）は裏面構成図、図（ｃ）は図（ａ）のＣ−
Ｃ′線に沿う断面構成図である。これらの図において、
前述の図７（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）と同一構成
には同一符号を付して説明を簡略化する。本実施の形態
における吸着ハンドと図７に示した吸着ハンドとの違い
は、前述のように、図７の構成では近接センサ２５が吸
着ハンド９の吸着側表面に設置されているのに対し、本
実施の形態の近接センサ３５が吸着ハンド９の吸着側と
反対側の裏面に設置されている点のみである。
【００６２】次に、図２１のフローチャートを参照し
て、本実施の形態の実際の動きを説明する。なお、ロボ
ット４とカセット３との関係は、前述の図８ないし図１
８に示した関係と類似しているので、図示を省略する。
て、本実施の形態の実際の動きを説明する。なお、ロボ
ット４とカセット３との関係は、前述の図８ないし図１
８に示した関係と類似しているので、図示を省略する。
【００６３】Ｓ１：ロボット４を所定の高さまで上昇さ
せて吸着ハンド９をカセット３内のガラス基板２の下に
進入させる。
せて吸着ハンド９をカセット３内のガラス基板２の下に
進入させる。
【００６４】Ｓ２：取りに行ったガラス基板２の次の段
のガラス基板２の有無を吸着ハンド９の裏面に取り付け
られた近接センサ３５のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＮ
ならＫ＝０、ＯＦＦならＫ＝１とする（後に、このＫの
値によって動作が変わる）。
のガラス基板２の有無を吸着ハンド９の裏面に取り付け
られた近接センサ３５のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＮ
ならＫ＝０、ＯＦＦならＫ＝１とする（後に、このＫの
値によって動作が変わる）。
【００６５】Ｓ３：吸着しようとするガラス基板２が所
定の場所にある場合は、ガラス基板吸着用のバキューム
をＯＮにする。この第１番目のガラス基板２の確認は、
この初回だけ、目視にて行っても良いし、前記参考形態
と同様に吸着ハンド９の表面側にも近接センサを設け、
この表面側近接センサにより確認するようにしても良
い。この場合、表面に設けた近接センサは、初回の吸着
時にのみ使用することになる。
定の場所にある場合は、ガラス基板吸着用のバキューム
をＯＮにする。この第１番目のガラス基板２の確認は、
この初回だけ、目視にて行っても良いし、前記参考形態
と同様に吸着ハンド９の表面側にも近接センサを設け、
この表面側近接センサにより確認するようにしても良
い。この場合、表面に設けた近接センサは、初回の吸着
時にのみ使用することになる。
【００６６】Ｓ４：吸着ハンド９が上昇し、ガラス基板
２をガイド８から持ち上げる。
２をガイド８から持ち上げる。
【００６７】Ｓ５：ガラス基板２が確実に吸着されてい
るかを真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＮ
ならＳ６へ、ＯＦＦならＳ１１へ。
るかを真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。ＯＮ
ならＳ６へ、ＯＦＦならＳ１１へ。
【００６８】Ｓ６（Ｓ７）：ガラス基板２を吸着したま
ま、吸着ハンド９を後退させ、カセット３よりガラス基
板２を取り出す。
ま、吸着ハンド９を後退させ、カセット３よりガラス基
板２を取り出す。
【００６９】その後、アーム部１２を１８０度旋回させ
て下降させ、吸着ハンド９の吸引をＯＦＦにして、ガラ
ス基板２をコンベア５上に置く。
て下降させ、吸着ハンド９の吸引をＯＦＦにして、ガラ
ス基板２をコンベア５上に置く。
【００７０】Ｓ８：Ｓ２でのＫの値が１ならＳ９へ、０
ならＳ１０へ。
ならＳ１０へ。
【００７１】Ｓ９：Ｋが１と言うことは、次の段にガラ
ス基板２がないということなので、吸着ハンド９は、２
段分下降した３段目のガラス基板２を取り出せる位置ま
で移動する。
ス基板２がないということなので、吸着ハンド９は、２
段分下降した３段目のガラス基板２を取り出せる位置ま
で移動する。
【００７２】Ｓ１０：Ｋが０ということは、次の段にガ
ラス基板２があるということなので、吸着ハンド９は直
ぐ下の段のガラス基板２を取り出せる位置まで移動す
る。
ラス基板２があるということなので、吸着ハンド９は直
ぐ下の段のガラス基板２を取り出せる位置まで移動す
る。
【００７３】Ｓ１１：本実施の形態においては、リトラ
イの回数を３回までとしたため、ここでカウンタを初期
化する。
イの回数を３回までとしたため、ここでカウンタを初期
化する。
【００７４】Ｓ１２：ガラス基板吸着用バキュームをＯ
ＦＦにする。
ＦＦにする。
【００７５】Ｓ１３：吸着ハンド９を下降させてガラス
基板２を元のガイド８上に戻す。
基板２を元のガイド８上に戻す。
【００７６】Ｓ１４：ガラス基板吸着用バキュームをＯ
Ｎにする。
Ｎにする。
【００７７】Ｓ１５：再び、吸着ハンド９を上昇させ、
ガラス基板２を取りに行く。
ガラス基板２を取りに行く。
【００７８】Ｓ１６：ガラス基板２が確実に吸着されて
いるかを、真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。
ＯＮならＳ６へ、ＯＦＦならＳ１７へ。
いるかを、真空センサ２６のＯＮ、ＯＦＦでチェック。
ＯＮならＳ６へ、ＯＦＦならＳ１７へ。
【００７９】Ｓ１７：リトライ用のカウンタを＋１す
る。
る。
【００８０】Ｓ１８：リトライ回数が３以下なら再びＳ
１２に戻ってリトライする。リトライ回数が３より大き
ければＳ１９へ。
１２に戻ってリトライする。リトライ回数が３より大き
ければＳ１９へ。
【００８１】Ｓ１９：リトライを３回行っても取れない
ガラス基板２は、反り等の変形が非常に大きいと判断
し、取りに行くのを止め、ガラス基板２用のバキューム
をＯＦＦにする。
ガラス基板２は、反り等の変形が非常に大きいと判断
し、取りに行くのを止め、ガラス基板２用のバキューム
をＯＦＦにする。
【００８２】Ｓ２０：吸着ハンド９を下降させ、ガラス
基板２を元のガイド８上に戻す。
基板２を元のガイド８上に戻す。
【００８３】Ｓ２１：吸着ハンド９をカセット３内から
後退させる。
後退させる。
【００８４】Ｓ２２：Ｓ２でのＫの値が１ならＳ２３
へ、０ならＳ２４へ。
へ、０ならＳ２４へ。
【００８５】Ｓ２３：Ｋが１ということは、次の段にガ
ラス基板２がないということなので、吸着ハンド９は２
段分下降した３段目のガラス基板２を取り出せる位置ま
で移動する。
ラス基板２がないということなので、吸着ハンド９は２
段分下降した３段目のガラス基板２を取り出せる位置ま
で移動する。
【００８６】Ｓ２４：Ｋが０ということは、次の段にガ
ラス基板２があるということなので、吸着ハンド９は直
ぐ下の段のガラス基板２を取り出せる位置まで移動す
る。
ラス基板２があるということなので、吸着ハンド９は直
ぐ下の段のガラス基板２を取り出せる位置まで移動す
る。
【００８７】以降は、Ｓ１に戻って、同様の動作を続け
る。
る。
【００８８】本実施の形態においてのポイントは、Ｓ２
であり、ここで、次段のガラス基板２の有無を判断して
から、その後の制御を決めるため、次段にガラス基板２
がない場合は、次段のガラス基板２を取りに行くことは
ない。
であり、ここで、次段のガラス基板２の有無を判断して
から、その後の制御を決めるため、次段にガラス基板２
がない場合は、次段のガラス基板２を取りに行くことは
ない。
【００８９】また、ここで言うまでもなく、リトライの
回数等は、任意に設定可能である。
回数等は、任意に設定可能である。
【００９０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガラス基板を吸着して搬送するガラス基板搬送用のロボ
ットに取り付けられた吸着ハンドに真空センサと近接セ
ンサとを設け、まず、近接センサで所定の場所にガラス
基板があるかどうかを認識してから吸着を開始すること
により、ガラス基板がないのにガラス基板を取りに行
く、という無駄をなくすことができるのみならず、ガラ
ス基板がないのに何回もリトライする、という無駄な動
きもなくし、本当にリトライが必要な時にのみリトライ
をさせることが可能となる。また、本発明は、実施の形
態で述べたように、カセットに収納されたガラス基板等
の外部にガラス基板の有無を確認する近接センサをつけ
にくい、または、つけると非常にコストアップになる場
合に、特に有効である。
ガラス基板を吸着して搬送するガラス基板搬送用のロボ
ットに取り付けられた吸着ハンドに真空センサと近接セ
ンサとを設け、まず、近接センサで所定の場所にガラス
基板があるかどうかを認識してから吸着を開始すること
により、ガラス基板がないのにガラス基板を取りに行
く、という無駄をなくすことができるのみならず、ガラ
ス基板がないのに何回もリトライする、という無駄な動
きもなくし、本当にリトライが必要な時にのみリトライ
をさせることが可能となる。また、本発明は、実施の形
態で述べたように、カセットに収納されたガラス基板等
の外部にガラス基板の有無を確認する近接センサをつけ
にくい、または、つけると非常にコストアップになる場
合に、特に有効である。
【図１】本発明の参考形態を説明するためのもので、本
発明のガラス基板供給装置の平面構成図である。
発明のガラス基板供給装置の平面構成図である。
【図２】前記本発明のガラス基板供給装置の正面構成図
である。
である。
【図３】前記本発明のガラス基板供給装置の側面構成図
である。
である。
【図４】前記本発明のガラス基板供給装置を構成するカ
セットの平面図である。
セットの平面図である。
【図５】前記本発明のガラス基板供給装置を構成するカ
セットの正面図である。
セットの正面図である。
【図６】前記本発明のガラス基板供給装置を構成するカ
セットの側面図である。
セットの側面図である。
【図７】本発明の参考形態にかかるガラス基板搬出装置
を構成する吸着ハンドを示すもので、図（ａ）は平面構
成図、図（ｂ）は正面構成図、図（ｃ）は平面構成図、
図（ｄ）は図（ａ）のＤ−Ｄ′線に沿う断面構成図であ
る。
を構成する吸着ハンドを示すもので、図（ａ）は平面構
成図、図（ｂ）は正面構成図、図（ｃ）は平面構成図、
図（ｄ）は図（ａ）のＤ−Ｄ′線に沿う断面構成図であ
る。
【図８】ガラス基板がカセットの所定位置に収納されて
いるときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方法
を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス基
板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
いるときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方法
を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス基
板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図９】ガラス基板がカセットの所定位置に収納されて
いるときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方法
を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス基
板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
いるときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方法
を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス基
板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１０】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ているときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方
法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス
基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ているときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方
法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス
基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１１】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ているときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方
法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス
基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ているときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送方
法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラス
基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１２】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１３】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１４】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１５】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１６】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１７】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１８】ガラス基板がカセットの所定位置に収納され
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
ていないときの本発明の参考形態によるガラス基板搬送
方法を説明するためのもので、本発明の参考形態のガラ
ス基板搬出装置の動作過程を示す側面図である。
【図１９】本発明の参考形態のガラス基板搬出方法を実
行するための本発明の参考形態のガラス基板搬出装置の
動作フロー図である。
行するための本発明の参考形態のガラス基板搬出装置の
動作フロー図である。
【図２０】本発明の実施の形態にかかるガラス基板搬出
装置を構成する吸着ハンドを示すもので、図（ａ）は平
面構成図、図（ｂ）は裏面構成図、図（ｃ）は図（ａ）
のＣ−Ｃ′線に沿う断面構成図である。
装置を構成する吸着ハンドを示すもので、図（ａ）は平
面構成図、図（ｂ）は裏面構成図、図（ｃ）は図（ａ）
のＣ−Ｃ′線に沿う断面構成図である。
【図２１】本発明の実施の形態のガラス基板搬出方法を
実行するためのガラス基板搬出装置の動作フロー図であ
る。
実行するためのガラス基板搬出装置の動作フロー図であ
る。
１ ガラス基板供給装置 ２ ガラス基板 ３ カセット ４ ガラス基板搬出装置（搬出用ロボット） ５ 搬送手段（コンベア） ８ カセットのガイド ９ ガラス基板搬出装置の吸着ハンド １１ ガラス基板搬出装置の本体 １２ ガラス基板搬出装置のアーム部 ２０ 吸着ハンドの本体部 ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ 吸着ハンドの翼部 ２３ 吸着ハンドの吸引用流路 ２４ 吸着ハンドの吸引孔 ２５ 吸着ハンドの近接センサ ２６ 吸着ハンドの真空センサ ３５ 吸着ハンドの近接センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B66C 1/02 B65G 1/00
Claims (3)
- 【請求項１】 カセット内に積層されたガラス基板を搬
出する方法であって、 前記カセット内の積層ガラス基板の間に挿入して前記積
層ガラス基板の上段位置のガラス基板を吸着する吸着ハ
ンドと、前記積層ガラス基板の次段のガラス基板の有無
を検出する近接センサとを用いて、前記近接センサから
の情報に応じて前記吸着ハンドのガラス基板取り出し操
作の位置を変更することを特徴とするガラス基板の搬出
方法。 - 【請求項２】 前記吸着ハンドに前記積層基板の前段の
基板の有無を検出する近接センサをさらに設け、初回の
基板の吸着搬出操作における基板の有無を自動判別し、
前記吸着ハンドのガラス基板取り出し操作の位置を変更
することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板搬出
方法。 - 【請求項３】 前記吸着ハンドに前記基板の吸着の適否
を検出する真空センサを設け、前記前段の基板を検出す
るセンサでガラス基板が検出でき、かつ前記真空センサ
が前記基板の吸着を検出しない時に、基板の吸着操作を
リトライすることを特徴とする請求項２に記載のガラス
基板搬出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06326496A JP3323730B2 (ja) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | ガラス基板搬出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06326496A JP3323730B2 (ja) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | ガラス基板搬出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09255270A JPH09255270A (ja) | 1997-09-30 |
| JP3323730B2 true JP3323730B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=13224264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06326496A Expired - Fee Related JP3323730B2 (ja) | 1996-03-19 | 1996-03-19 | ガラス基板搬出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3323730B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103523538B (zh) * | 2012-07-06 | 2016-02-03 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 送料装置 |
| JP6848620B2 (ja) * | 2017-04-03 | 2021-03-24 | 日本電気硝子株式会社 | 搬送装置、加工装置、及び搬送方法 |
-
1996
- 1996-03-19 JP JP06326496A patent/JP3323730B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09255270A (ja) | 1997-09-30 |
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