JPH0692513A - 直積式基板供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 基板吸着手段による基板２枚吸着が発生して
も、次工程のトラブルと基板の破損を防止することがで
きる。 【構成】 ２枚吸着検知センサ１３からの信号により、
下側の基板１のみを通し上側の基板１を規制し保留する
基板通過規制部材１４と、下側の基板１が基板通過規制
部材１４を通過したことを検出し、基板搬送手段７を停
止させる通過検出センサ１７と、基板搬送手段７の停止
後に、基板通過規制部材１４に規制されて基板搬送手段
７上に残った上側の基板１を、基板搬送手段７から上方
に持ち上げ、先に基板通過規制部材１４を通過している
基板１を基板搬送手段７が再起動して搬送後に、前記の
持ち上げていた基板１を基板搬送手段７上に載置する基
板保留手段１５と、基板保留手段１５によって基板搬送
手段７上に再載置された基板１を、位置確認すると共
に、次回の基板搬送まで待機させる保留確認センサ１６
とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品実装設備にお
ける各種処理装置に基板を供給する直積式基板供給装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】直積式基板供給装置の従来例の構成を図
５に基づいて説明する。

【０００３】図５において、複数の基板１０１がベース
１０２上に垂直方向に直積され、ガイド１０３が上記の
直積された基板１０１に当接して、基板１０１の横ずれ
を防止し基板収納部を構成している。基板１０１を吸着
して、基板１０１を基板収納部から上方に取り出す吸着
パット１０４がアーム１０５に取り付けられており、こ
のアーム１０５はリフター１０６によって上昇・下降す
る。このリフター１０６によってアーム１０５が下降す
ると、アーム１０５に取り付けられた吸着パット１０４
が基板収納部で基板１０１を吸着する。この吸着の真空
状態は、真空検知センサ１０９によって確認される。こ
の吸着確認後に、アーム１０５はリフター１０６によっ
て上昇し、吸着パット１０４は基板１０１を吸着した状
態で上昇する。上昇して定位置に達すると、リフター１
０６の上限リミットスイッチ１０８が作動して、リフタ
ー１０６が停止し、吸着パット１０４は吸着している基
板１０１の吸着を解除して、基板１０１をコンベア（基
板搬送手段）１０７上に載置する。

【０００４】上記の従来例の動作を図６のフローチャー
トに基づいて説明する。

【０００５】図６において、従来例は、予め、基板１０
１が、人手によって基板収納部に水平に直積みされ、ガ
イド１０３によってその端面が揃えられている。

【０００６】ステップ＃１０１において、次工程から基
板要求信号が来て、ステップ＃１０２に進む。

【０００７】ステップ＃１０２において、コンベア１０
７のレールが開き、吸着パット１０４に吸着された基板
１０１がレールの間を上下に通過できる状態にして、ス
テップ＃１０３に進む。

【０００８】ステップ＃１０３において、吸着パット１
０４のエアー吸引が開始され、吸着パット１０４が吸着
作用を有する状態になって、ステップ＃１０４に進む。

【０００９】ステップ＃１０４において、リフター１０
６が、コンベア１０７のレールの間を通って下降し、吸
着パット１０４を基板１０１に接触させて基板１０１を
吸着し、ステップ＃１０５に進む。

【００１０】ステップ＃１０５において、吸着パット１
０４の真空吸着状態を確認する真空検知センサ１０９が
作動し、吸着パット１０４の基板１０１の吸着を確認し
て、ステップ＃１０６に進む。

【００１１】ステップ＃１０６において、ステップ＃１
０５における真空検知センサ１０９の前記吸着確認に基
づいてリフター１０６が停止し、ステップ＃１０７に進
む。

【００１２】ステップ＃１０７において、リフター１０
６がアーム１０５及び基板１０１を吸着した吸着パット
１０４を上昇させ、ステップ＃１０８に進む。

【００１３】ステップ＃１０８において、リフター１０
６の上限リミットスイッチ１０８が作動し、ステップ＃
１０９に進む。

【００１４】ステップ＃１０９において、リフター１０
６が上昇を停止し、ステップ＃１１０に進む。

【００１５】ステップ＃１１０において、コンベア１０
７のレールが閉じられ、ステップ＃１１１に進む。

【００１６】ステップ＃１１１において、吸着パット１
０４のエアー吸引が終了し、基板１０１がコンベア１０
７の閉じられたレール上に載置され、ステップ＃１１２
に進む。

【００１７】ステップ＃１１２において、コンベア１０
７の回転が開始され、基板１０１を次工程に搬送し、ス
テップ＃１１３に進む。

【００１８】ステップ＃１１３において、次工程から基
板受取信号を受け、ステップ＃１１４に進む。

【００１９】ステップ＃１１４において、コンベア１０
７の回転が停止し、１サイクルの動作が完了し、開始の
状態に戻る。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
の構成では、基板表面に粘着性があることや、直積み不
良による横ずれ等の原因によって、複数枚の基板が同時
に吸着され、基板供給にトラブルが発生し、生産効率が
低下したり、基板破損を引き起こして良品生産率向上の
妨げになるという問題点がある。

【００２１】本発明は、上記の問題点を解決し、吸着ミ
スの発生を防止し、吸着ミスが発生しても、吸着ミスに
よる次工程のトラブル発生と基板の破損を防止すること
ができ、生産性と良品生産率の向上とが可能である直積
式基板供給装置を提供することを課題としている。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明の直積式基板供給
装置は、上記の課題を解決するために、基板を垂直方向
に直積して保持する基板収納部と、前記基板収納部から
基板を吸着して上方に取り出す基板吸着手段と、前記基
板吸着手段を前記基板収納部に対して上下方向に移動す
る上下駆動手段と、前記基板吸着手段によって取り出さ
れた基板を載置して次工程に搬送する基板搬送手段とを
有する直積式基板供給装置において、前記基板吸着手段
によって取り出されて基板搬送手段上に載置された基板
の枚数を判断し、２枚吸着を検知した場合に、前記基板
搬送手段を起動すると共に、前記直積式基板供給装置に
組み込まれた下記の基板規制・保留システムを動作させ
る２枚吸着検知センサを有し、この基板規制・保留シス
テムにおいて、前記基板吸着手段によって２枚の基板が
重なって前記基板搬送手段上に載置された場合に、これ
らの２枚の基板の上側の基板の搬送を前記基板搬送手段
上で規制して下側の基板のみを通す基板通過規制部材
と、前記２枚の基板の下側の基板が前記基板通過規制部
材を通過したことを検出し、前記基板搬送手段を停止さ
せる通過検出センサと、この基板搬送手段の停止後に、
前記基板通過規制部材に規制されて前記基板搬送手段上
に残った前記２枚の上側の基板を、前記基板搬送手段か
ら上方に持ち上げ、先に前記基板通過規制部材を通過し
ている前記基板を前記基板搬送手段が再起動して次工程
に搬送後に、前記の持ち上げていた基板を前記基板搬送
手段上に載置する基板保留手段と、この基板保留手段に
よって前記基板搬送手段上に再載置された基板を、位置
確認すると共に、次回の基板搬送まで待機させる保留確
認センサとを有することを特徴とする。

【００２３】又、本発明の直積式基板供給装置は、上記
の課題を解決するために、基板を垂直方向に直積して保
持する基板収納部と、前記基板収納部から基板を吸着し
て上方に取り出す基板吸着手段と、前記基板吸着手段を
前記基板収納部に対して上下方向に移動する上下駆動手
段と、前記基板吸着手段によって取り出された基板を載
置して次工程に搬送する基板搬送手段とを有する直積式
基板供給装置において、基板収納部は垂直方向に直積し
た基板を水平面に対して所定角度を付けて保持する基板
傾斜載置手段を有し、基板吸着手段は前記基板と同じ角
度まで揺動する揺動手段を有することを特徴とする。

【００２４】又、本発明の直積式基板供給装置は、上記
の課題を解決するために、基板収納部は、基板収納部の
片側のガイドを垂直方向に直積した基板の片側の端面に
当接及び退避させて、直積した基板の端面位置を修正し
て垂直方向に揃える端面規制手段を有することが好適で
ある。

【００２５】

【作用】本発明の直積式基板供給装置は、基板収納部に
基板が垂直方向に直積されている。そして、正常動作に
おいては、基板吸着手段が、上下駆動手段によって基板
収納部に対して上下に駆動され、基板収納部に直積され
ている基板を上から一枚ずつ吸着して上方に取り出し、
この吸着した基板を、基板を載置して搬送する基板搬送
手段上に、一枚ずつ載置して次工程に搬送する。

【００２６】しかし、基板吸着手段が、基板収納部から
基板を吸着する際に、直積されている基板の表面に粘着
性があることや、直積不良によるずれ等の原因で、複数
枚、主として２枚の基板が同時に吸着されて、基板搬送
手段上に載置されることがある。この場合に、本発明
は、２枚吸着検知センサが、基板吸着手段が吸着し基板
搬送手段上に載置した基板の枚数を判断して、２枚吸着
を検出し、基板搬送手段を起動すると同時に、直積式基
板供給装置に組み込まれた下記の基板規制・保留システ
ムを動作させる。

【００２７】基板規制・保留システムにおいて、基板搬
送手段上に配されて、基板搬送手段との間に基板が一枚
だけ通過する空間を有する基板通過規制部材が、基板吸
着手段によって基板搬送手段上に２枚重ねて載置されて
搬送される基板の、下側の基板のみを通過させ、上側の
基板を規制して基板搬送手段上に残す。

【００２８】通過検出センサが、前記基板通過規制部材
を通過した基板が所定位置まで到達したことを検出し、
基板搬送手段を停止させる。基板搬送手段が停止した
後、基板搬送手段の下方に配された基板保留手段のヘッ
ドが、上昇して、前記の２枚吸着された基板の上側の基
板で、基板搬送手段上に残っている基板を、基板搬送手
段上から上方に持ち上げる。

【００２９】この状態で、基板搬送手段が再起動し、先
に基板通過規制部材を通過して基板搬送手段上に載置さ
れている基板を次工程に搬送する。

【００３０】この搬送が終了すると、基板搬送手段は停
止し、基板保留手段のヘッドがが下降して、持ち上げて
いた前記基板を基板搬送手段上に載置保留する。

【００３１】保留確認センサが、前記の基板の載置保留
を確認し、次回の基板搬送まで待機させる。

【００３２】又、本発明の直積式基板供給装置は、基板
収納部が、垂直方向に直積した基板を水平面に対して所
定角度を付けて保持する基板傾斜載置手段を有するの
で、直積された基板が低い方向に滑って横ずれを防止で
きるだけではなく、基板吸着手段が、基板吸着手段を前
記基板の所定角度に合わせて傾斜させる揺動手段を有し
て基板を吸着して上方に持ち上げるので、基板吸着手段
が基板を吸着して持ち上げる場合に、持ち上げる基板
と、残る基板との間に滑りが発生し、基板表面間の粘着
力によって、２枚の基板が持ち上げられることを防止で
きる。

【００３３】又、本発明の直積式基板供給装置におい
て、基板収納部が、垂直方向に直積した基板の端面を規
制するガイドを、基板端面に当接及び退避させて、直積
した基板の端面位置を修正して垂直方向に揃える端面規
制手段を有するように構成すると、基板を直積したと
き、又は、基板吸着手段が基板を吸着して持ち上げた際
に、基板の端面位置が不揃いになっても、端面規制手段
が、ガイドを基板の端面に当接及び退避させることによ
って基板を動かし位置を修正して垂直方向に揃えること
ができ、直積不良による２枚吸着を防止できる。

【００３４】

【実施例】本発明の直積式基板供給装置の一実施例を図
１〜図４に基づいて説明する。

【００３５】図１において、本実施例では、複数の基板
１がベース２上に垂直方向に直積され、直積されたこれ
らの基板１の端面を揃えるガイド３が上記の直積された
基板１の横ずれを防止すると共に基板収納部を構成し、
基板収納部から基板１を吸着して取り出す吸着パット４
がアーム５に取り付けられ、このアーム５が上下駆動手
段６によって上昇・下降し、この上下駆動手段６によっ
てアーム５が下降すると、アーム５に取り付けられた吸
着パット４が基板収納部で基板１を吸着する。

【００３６】又、アーム５には、吸着パット４の吸着作
用を確認するための真空検知センサ９が取り付けられて
おり、この真空検知センサ９が真空を確認すると、アー
ム５の下降は停止する。上下駆動手段６によってアーム
５が上昇すると、吸着パット４は基板１を吸着して上昇
する。上下駆動手段６が上限まで上昇すると、上限リミ
ットスイッチ８が作動して、上下駆動手段６の上昇が停
止する。そして、吸着パット４の基板吸着作用が解除さ
れて、基板は、搬送するコンベア（基板搬送手段）７上
に載置される。

【００３７】以上は従来例と同様であるが、本実施例で
は、上記に加えて、垂直方向に直積した基板１を水平面
に対して所定角度を付けて保持するための基板傾斜載置
手段１０と、ガイド３を基板の端面に対して当接したり
退避したするよう往復運動させ、直積した基板１の端面
の位置が揃うようにする端面規制手段１１と、アーム５
を揺動して、基板１の所定角度に傾ける揺動手段１２
と、吸着パット４によってコンベア（基板搬送手段）７
上に載置された基板１の枚数を検出する２枚吸着検知セ
ンサ１３と、吸着パット４によって２枚の基板１が重な
ってコンベア（基板搬送手段）７上に載置された場合
に、これらの２枚の基板１の上側の基板の搬送を前記コ
ンベア（基板搬送手段）７上で規制して下側の基板１の
みを通す基板通過規制部材１４と、基板通過規制部材１
４に規制された前記上側の基板１を、ヘッド１５′で、
前記コンベア（基板搬送手段）７から上方に持ち上げる
基板保留手段１５と、２枚の基板１の下側の基板１が前
記基板通過規制手段１４を通過したことを検出する通過
検出センサ１７と、前記基板保留手段１５による基板の
保留を検出する保留確認センサ１６と、直積式基板供給
装置全体を制御する制御手段１８とを有する。

【００３８】次に、本実施例の動作を図２〜図４に基づ
いて説明する。

【００３９】図２のフローチャートにおいて、本実施例
は、予め、基板１が、人手によって基板収納部に直積み
され、この基板収納部の底部にある基板傾斜載置手段１
０によって水平面に対して所定角度を付けて保持され、
ガイド３及びガイド３を往復運動させて垂直方向に直積
した基板１の端面に当接させたり退避させたりして、基
板の位置を修正する端面規制手段１１によって端面が揃
えられている。そして、正常時には、ステップ＃１で、
次工程から基板要求信号が来て、ステップ＃２に進む。

【００４０】ステップ＃２で、コンベア７のレールが開
き、吸着パット４に吸着された基板１がレールの間を上
下に通過できる状態にして、ステップ＃３に進む。

【００４１】ステップ＃３で、吸着パット４のエアー吸
引が開始され、ステップ＃４に進む。

【００４２】ステップ＃４で、吸着パット４が取り付け
られているアーム５が揺動手段１２に駆動されて揺動
し、アーム５に取り付けられている吸着パット４が、前
記基板収納部にある基板１の傾きと同じ傾きに傾き、ス
テップ＃５に進む。

【００４３】ステップ＃５で、上下駆動手段６が、アー
ム５と吸着パット４とをコンベア７のレールの間を通っ
て下降させ、吸着パット４を基板１に接触させ、基板１
を吸着させて、ステップ＃６に進む。

【００４４】ステップ＃６で、吸着パット４の吸着作用
の真空度を確認する真空検知センサ９が作動し、ステッ
プ＃７に進む。

【００４５】ステップ＃７で、上下駆動手段６が停止
し、アーム５と吸着パット４とが停止して、ステップ＃
８に進む。

【００４６】ステップ＃８で、上下駆動手段６が上昇
し、アーム５と吸着パット４とが上昇して、ステップ＃
９に進む。

【００４７】ステップ＃９で、上限リミットスイッチ８
が作動し、ステップ＃１０に進む。

【００４８】ステップ＃１０で、上下駆動手段６が停止
し、アーム５と吸着パット４とが停止して、ステップ＃
１１に進む。

【００４９】ステップ＃１１で、コンベア７のレールが
閉じられ、ステップ＃１２に進む。

【００５０】ステップ＃１２で、吸着パット４が取り付
けられているアーム６が揺動して、吸着パット４が水平
に戻り、ステップ＃１３に進む。

【００５１】ステップ＃１３で、吸着パット４のエアー
吸引が終了し、基板１がコンベア７の閉じられたレール
上に載置され、ステップ＃１４に進む。

【００５２】ステップ＃１４で、２枚吸着検知センサ１
３が、吸着パット４によってコンベア７上に載置された
基板の枚数を検出し、１枚であれば正常動作としてステ
ップ＃１５に進み、２枚であれば基板を規制・保留する
ために、ステップ＃２０に進む。

【００５３】ステップ＃１５で、コンベア７の回転が開
始され、基板１を次工程に搬送し、ステップ＃１６に進
む。

【００５４】ステップ＃１６で、次工程から基板受取信
号を受け、ステップ＃１７に進む。

【００５５】ステップ＃１７で、コンベア７の回転が停
止し、ステップ＃１８に進む。

【００５６】ステップ＃１８で、端面規制手段１１がガ
イド３を往復運動させて、直積された基板１の端面の並
びを修正して垂直方向に揃えて、１サイクルの動作が完
了し、開始の状態に戻る。

【００５７】本実施例の工程に、吸着ミスがあった場合
の基板規制・保留動作を図３、図４に基づいて説明す
る。

【００５８】図４のフローチャートにおいて、ステップ
＃１４で、図３（１）に示すように、２枚吸着検知セン
サ１３が、吸着ミスを検出し、検出信号を制御手段１８
に送り、ステップ＃２０に進み、制御手段１８が、各セ
ンサの検出信号に基づいて基板規制・保留動作を制御
し、ステップ＃２０以下の動作を制御する。

【００５９】ステップ＃２０で、コンベア７の回転が開
始され、２枚重なった基板１が、基板通過規制部材１４
の位置まで進み、ステップ＃２１に進む。

【００６０】ステップ＃２１で、図３（２）、（３）に
示すように、基板通過規制部材１４が、２枚重なった基
板１の上側の基板１の通過を規制し、下側の基板１のみ
を通し、ステップ＃２２に進む。

【００６１】ステップ＃２２で、図３（４）に示すよう
に、通過検出センサ１７が、前記の下側の基板１が基板
通過規制部材１４を通過して所定位置に到達したことを
検出し、検出信号を制御手段１８に送り、ステップ＃２
３に進む。

【００６２】ステップ＃２３で、図３（４）に示すよう
に、コンベア７の回転が停止し、ステップ＃２４に進
む。

【００６３】ステップ＃２４で、図３（４）に示すよう
に、基板保留手段１５のヘッド１５′が上昇して、基板
通過規制部材１４に通過を規制された前記の上側の基板
１をコンベア７から持ち上げ、ステップ＃２５に進む。

【００６４】ステップ＃２５で、コンベア７の回転が開
始され、ステップ＃２２で基板通過規制部材１４を通過
してコンベア７上に載置されていた基板１を次工程に搬
送し、ステップ＃２６に進む。

【００６５】ステップ＃２６で、次工程から基板受取信
号を受け、ステップ＃２７に進む。

【００６６】ステップ＃２７で、コンベア７の回転が停
止し、ステップ＃２８に進む。

【００６７】ステップ＃２８で、図３（５）に示すよう
に、基板保留手段１５が下降して、基板１をコンベア７
上に載置し、ステップ＃２９に進む。

【００６８】ステップ＃２９で、保留確認センサ１６
が、上記の保留完了を確認し、ステップ＃３０に進む。

【００６９】ステップ＃３０で、次工程から基板受取信
号を受け、ステップ＃３１に進む。

【００７０】ステップ＃３１で、コンベア７の回転が開
始され、保留中の基板１を次工程に搬送し、ステップ＃
３２に進む。

【００７１】ステップ＃３２で、次工程から基板受取信
号を受け、ステップ＃３３に進む。

【００７２】ステップ＃３３で、コンベア７の回転が停
止し、吸着ミスの修正を終了して、ステップ＃３４に進
む。

【００７３】ステップ＃３４で、端面規制手段が直積基
板の端面の位置を修正して垂直方向に揃え、正規の状態
に戻る。

【００７４】本発明の直積式基板供給装置は、上記の実
施例の限らず種々の態様が可能である。例えば、端面規
制手段は、２方向に設けることができる。各種センサの
位置と役割分担は目的に合わせて自由に設計できる。基
板通過規制部材は目的に合わせて自由に設計できる。基
板保留手段は目的に合わせて自由に設計できる。端面規
制手段や基板傾斜載置手段も目的に合わせて自由に設計
できる。

【００７５】

【発明の効果】本発明の直積式基板供給装置は、２枚吸
着検知センサが、吸着ミスによる２枚吸着を検出し、基
板規制・保留システムを動作させ、基板規制・保留シス
テムが、同時に吸着された２枚の基板を規制して、１枚
を搬送し他の１枚を保留して、正常の場合と同様に、別
々に、次工程に搬送するので、２枚吸着ミスが発生して
も、次工程でのトラブル発生を防止できるという効果を
奏する。

【００７６】又、本発明の直積式基板供給装置は、基板
収納部が、基板を水平面に対して所定角度を付けて直積
する基板傾斜載置手段を有するので、直積された各基板
が低い方向に滑って基板の端面が揃い、横ずれを防止で
きるだけではなく、基板吸着手段が、前記基板の所定角
度に合わせて傾斜して基板を吸着し持ち上げる揺動手段
を有するので、持ち上げる基板と、残る基板との間に滑
りが発生し、基板表面間の粘着力によって、２枚の基板
が持ち上げられることを防止できるという効果を奏す
る。

【００７７】又、本発明の直積式基板供給装置におい
て、基板収納部の端面規制手段が、ガイドを、垂直に直
積した基板の端面に当接及び退避させることによって基
板を動かし基板の端面の位置を修正して垂直方向に揃え
ることができるので、基板を直積したとき、又は、基板
吸着手段が基板を吸着して持ち上げた際に、基板の端面
位置が不揃いになっても、基板を動かし位置を修正して
垂直方向に揃えることができ、直積不良による２枚吸着
を防止できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の全体構成を示す正面図であ
る。

【図２】図１のフローチャートである。

【図３】図１の基板通過規制部材の動作図である。

【図４】図３のフローチャートである。

【図５】従来例の全体構成を示す正面図である。

【図６】図５のフローチャートである。

【符号の説明】

３ ガイド ４ 吸着パット ６ 上下駆動手段 ７ コンベア（基板搬送手段） １０ 基板傾斜載置板 １１ 端面規制手段 １２ 揺動手段 １３ ２枚吸着検知センサ １４ 基板通過規制部材 １５ 基板保留手段 １６ 保留確認センサ １７ 通過検出センサ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を垂直方向に直積して保持する基板
   収納部と、前記基板収納部から基板を吸着して上方に取
   り出す基板吸着手段と、前記基板吸着手段を前記基板収
   納部に対して上下方向に移動する上下駆動手段と、前記
   基板吸着手段によって取り出された基板を載置して次工
   程に搬送する基板搬送手段とを有する直積式基板供給装
   置において、前記基板吸着手段によって取り出されて基
   板搬送手段上に載置された基板の枚数を判断し、２枚吸
   着を検知した場合に、前記基板搬送手段を起動すると共
   に、前記直積式基板供給装置に組み込まれた下記の基板
   規制・保留システムを動作させる２枚吸着検知センサを
   有し、この基板規制・保留システムにおいて、前記基板
   吸着手段によって２枚の基板が重なって前記基板搬送手
   段上に載置された場合に、これらの２枚の基板の上側の
   基板の搬送を前記基板搬送手段上で規制して下側の基板
   のみを通す基板通過規制部材と、前記２枚の基板の下側
   の基板が前記基板通過規制部材を通過したことを検出
   し、前記基板搬送手段を停止させる通過検出センサと、
   この基板搬送手段の停止後に、前記基板通過規制部材に
   規制されて前記基板搬送手段上に残った前記２枚の上側
   の基板を、前記基板搬送手段から上方に持ち上げ、先に
   前記基板通過規制部材を通過している前記基板を前記基
   板搬送手段が再起動して次工程に搬送後に、前記の持ち
   上げていた基板を前記基板搬送手段上に載置する基板保
   留手段と、この基板保留手段によって前記基板搬送手段
   上に再載置された基板を、位置確認すると共に、次回の
   基板搬送まで待機させる保留確認センサとを有すること
   を特徴とする直積式基板供給装置。
2. 【請求項２】 基板を垂直方向に直積して保持する基板
   収納部と、前記基板収納部から基板を吸着して上方に取
   り出す基板吸着手段と、前記基板吸着手段を前記基板収
   納部に対して上下方向に移動する上下駆動手段と、前記
   基板吸着手段によって取り出された基板を載置して次工
   程に搬送する基板搬送手段とを有する直積式基板供給装
   置において、基板収納部は垂直方向に直積した基板を水
   平面に対して所定角度を付けて保持する基板傾斜載置手
   段を有し、基板吸着手段は前記基板と同じ角度まで揺動
   する揺動手段を有することを特徴とする直積式基板供給
   装置。
3. 【請求項３】 基板収納部は、基板収納部の片側のガイ
   ドを垂直方向に直積した基板の片側の端面に当接及び退
   避させて、直積した基板の端面位置を修正して垂直方向
   に揃える端面規制手段を有する請求項１又は２に記載の
   直積式基板供給装置。