JPH05304199A - 吸着ヘッドの位置決め機構 - Google Patents
吸着ヘッドの位置決め機構Info
- Publication number
- JPH05304199A JPH05304199A JP4134297A JP13429792A JPH05304199A JP H05304199 A JPH05304199 A JP H05304199A JP 4134297 A JP4134297 A JP 4134297A JP 13429792 A JP13429792 A JP 13429792A JP H05304199 A JPH05304199 A JP H05304199A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- pallet
- suction
- uppermost
- suction head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 セラミック・グリーンシートの検査システム
のローディング機構において、パレットに収容された複
数のグリーンシートの最上部のものを検出し、これに対
して非接触エア式の吸着ヘッドの噴射面を、適正な間隔
の吸着位置に位置決めして停止させる位置決め機構を提
供する。 【構成】 載置台５に対して上昇または下降し、パレッ
ト３に収容された最上部のグリーンシート１を検出する
光センサ部９を有し、この検出位置に停止する昇降機構
７と、昇降機構７に固定され、下降する吸着部６を最上
部のグリーンシートに対する適正な間隔の吸着位置に位
置決めして停止するストッパ81,82 を配設して構成され
る。 【効果】 パレットに収容された未検査のグリーンシー
トが非接触で、確実に検査システムにローディングされ
る。
のローディング機構において、パレットに収容された複
数のグリーンシートの最上部のものを検出し、これに対
して非接触エア式の吸着ヘッドの噴射面を、適正な間隔
の吸着位置に位置決めして停止させる位置決め機構を提
供する。 【構成】 載置台５に対して上昇または下降し、パレッ
ト３に収容された最上部のグリーンシート１を検出する
光センサ部９を有し、この検出位置に停止する昇降機構
７と、昇降機構７に固定され、下降する吸着部６を最上
部のグリーンシートに対する適正な間隔の吸着位置に位
置決めして停止するストッパ81,82 を配設して構成され
る。 【効果】 パレットに収容された未検査のグリーンシー
トが非接触で、確実に検査システムにローディングされ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体部品に使用さ
れるセラミック・グリーンシートに対する、非接触式の
エア吸着ヘッドの位置決め機構に関する。
れるセラミック・グリーンシートに対する、非接触式の
エア吸着ヘッドの位置決め機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、マイクロ・キャリヤー・チップ
（ＭＣＣ）とよばれる、ミニサイズの半導体配線部品が
開発されている。図３(a) によりＭＣＣの製作方法の大
略を説明すると、適当な大きさ、例えば一辺の長さｗが
約２０ｃｍで、厚さｄが約０．２ｍｍのセラミック・シ
ート１をベースとし、これに複数のＭＣＣ１a のパター
ンがプリントされる。これを適当な高温度で燒結した
後、個々のＭＣＣに切断される。ＭＣＣに欠陥があると
品質が低下するので、まず、未燒結のグリーンシートの
段階で検査され、さらに切断された個々のＭＣＣに対し
て検査される。グリーンシートは、柔軟なために塵埃や
擦り傷などの欠陥が生じやすいので、取り扱いには細心
の注意が必要である。
（ＭＣＣ）とよばれる、ミニサイズの半導体配線部品が
開発されている。図３(a) によりＭＣＣの製作方法の大
略を説明すると、適当な大きさ、例えば一辺の長さｗが
約２０ｃｍで、厚さｄが約０．２ｍｍのセラミック・シ
ート１をベースとし、これに複数のＭＣＣ１a のパター
ンがプリントされる。これを適当な高温度で燒結した
後、個々のＭＣＣに切断される。ＭＣＣに欠陥があると
品質が低下するので、まず、未燒結のグリーンシートの
段階で検査され、さらに切断された個々のＭＣＣに対し
て検査される。グリーンシートは、柔軟なために塵埃や
擦り傷などの欠陥が生じやすいので、取り扱いには細心
の注意が必要である。
【０００３】図３(b) は、グリーンシートに対する検査
システム２のアウトラインを示し、複数の未検査のグリ
ーンシートを収容したパレットが、ロード部21に設けら
れたローディング機構の載置台に装着され、グリーンシ
ートは上側より順次に１枚づつ吸着ヘッドにより吸着さ
れて表面検査部22に搬送される。ここで表面側が検査さ
れ、これが終了すると、表裏反転部23に搬送されて反転
され、ついで裏面検査部24において裏面側が検査され、
検査結果の良否に従って良品アンロード部25、または不
良品アンロード部26に搬送されて良品パレットまたは不
良品パレットに収容される。上記の各搬送においては、
接触による欠陥の発生を防止するために、ベルヌイの原
理による非接触でエア吸着する吸着ヘッドが使用されて
いる。
システム２のアウトラインを示し、複数の未検査のグリ
ーンシートを収容したパレットが、ロード部21に設けら
れたローディング機構の載置台に装着され、グリーンシ
ートは上側より順次に１枚づつ吸着ヘッドにより吸着さ
れて表面検査部22に搬送される。ここで表面側が検査さ
れ、これが終了すると、表裏反転部23に搬送されて反転
され、ついで裏面検査部24において裏面側が検査され、
検査結果の良否に従って良品アンロード部25、または不
良品アンロード部26に搬送されて良品パレットまたは不
良品パレットに収容される。上記の各搬送においては、
接触による欠陥の発生を防止するために、ベルヌイの原
理による非接触でエア吸着する吸着ヘッドが使用されて
いる。
【０００４】図４において、(a) は上記したパレット３
と、これをロード部21の載置台に装着するための共通装
着板４を示す。パレット３は方形のベース盤31の周辺
の、対向する２辺にそれぞれ２個の仕切り板32,32 を、
また他の２辺にハンドリング兼用の仕切り板33,33 をそ
れぞれ設けて構成され、各仕切り板の内側に、一点鎖線
で示すようにグリーンシート１が積み重ねて収容され
る。(b) は載置台５の載置板51に対して、共通装着板４
により装着されたパレット３と、これに収容されたグリ
ーンシート１に対する吸着部６を示す。吸着部６にはグ
リーンシート１の周辺に対応する複数の非接触式の吸着
ヘッド61を配列して構成され、吸入孔62より圧入された
エアＡを各吸着ヘッド61の噴射面611 より噴射し、吸着
部６を下降して噴射面611 をグリーンシート１に接近さ
せると、最上部のものが非接触でエア吸着される。
と、これをロード部21の載置台に装着するための共通装
着板４を示す。パレット３は方形のベース盤31の周辺
の、対向する２辺にそれぞれ２個の仕切り板32,32 を、
また他の２辺にハンドリング兼用の仕切り板33,33 をそ
れぞれ設けて構成され、各仕切り板の内側に、一点鎖線
で示すようにグリーンシート１が積み重ねて収容され
る。(b) は載置台５の載置板51に対して、共通装着板４
により装着されたパレット３と、これに収容されたグリ
ーンシート１に対する吸着部６を示す。吸着部６にはグ
リーンシート１の周辺に対応する複数の非接触式の吸着
ヘッド61を配列して構成され、吸入孔62より圧入された
エアＡを各吸着ヘッド61の噴射面611 より噴射し、吸着
部６を下降して噴射面611 をグリーンシート１に接近さ
せると、最上部のものが非接触でエア吸着される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の吸着ヘッド61に
より最上部のグリーンシート１を吸着するには、これに
対して噴射面611 を適正な間隔に位置決めすることが必
要である。もし、間隔が過大のときは、むしろ反発力が
生じて吸着できない。また、間隔がなくて接触したとき
はエアＡが噴射されないので、やはり吸着できない。一
方、パレット３に収容されているグリーンシート１は検
査に伴って漸次に減少し、従って最上部の高さが漸次低
下する。そこでこの高さを検出し、これに対して噴射面
611 を適正な間隔の位置に位置決めして停止する手段が
必要である。この発明は以上に鑑みてなされたもので、
パレット３に収容された複数のグリーンシート１の最上
部のものを検出し、吸着ヘッド61の噴射面611 を適正な
間隔の吸着位置に停止させる位置決め機構を提供するこ
とを目的とする。
より最上部のグリーンシート１を吸着するには、これに
対して噴射面611 を適正な間隔に位置決めすることが必
要である。もし、間隔が過大のときは、むしろ反発力が
生じて吸着できない。また、間隔がなくて接触したとき
はエアＡが噴射されないので、やはり吸着できない。一
方、パレット３に収容されているグリーンシート１は検
査に伴って漸次に減少し、従って最上部の高さが漸次低
下する。そこでこの高さを検出し、これに対して噴射面
611 を適正な間隔の位置に位置決めして停止する手段が
必要である。この発明は以上に鑑みてなされたもので、
パレット３に収容された複数のグリーンシート１の最上
部のものを検出し、吸着ヘッド61の噴射面611 を適正な
間隔の吸着位置に停止させる位置決め機構を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成する吸着ヘッドの位置決め機構であって、グリーン
シート検査システムのローディング機構において、載置
台に対して上昇または下降し、パレットに収容された最
上部のグリーンシートを検出する光センサ部を有し、こ
の検出位置に停止する昇降機構と、昇降機構に固定さ
れ、下降する吸着ヘッドを最上部のグリーンシートに対
する適正な間隔の吸着位置に位置決めして停止するスト
ッパを配設して構成される。上記の光センサ部は、グリ
ーンシートの厚さの程度の高低差を有する上側と下側の
２組の光センサよりなり、昇降機構を上昇または下降し
て、上側の光センサがＯＮで、かつ下側の光センサがＯ
ＦＦとなる条件により、最上部のグリーンシートを検出
する。
達成する吸着ヘッドの位置決め機構であって、グリーン
シート検査システムのローディング機構において、載置
台に対して上昇または下降し、パレットに収容された最
上部のグリーンシートを検出する光センサ部を有し、こ
の検出位置に停止する昇降機構と、昇降機構に固定さ
れ、下降する吸着ヘッドを最上部のグリーンシートに対
する適正な間隔の吸着位置に位置決めして停止するスト
ッパを配設して構成される。上記の光センサ部は、グリ
ーンシートの厚さの程度の高低差を有する上側と下側の
２組の光センサよりなり、昇降機構を上昇または下降し
て、上側の光センサがＯＮで、かつ下側の光センサがＯ
ＦＦとなる条件により、最上部のグリーンシートを検出
する。
【０００７】
【作用】上記の位置決め機構においては、載置台に対し
て昇降機構の上昇または下降により、昇降機構に設けら
れた光センサ部が、パレットに収容された複数のグリー
ンシートの最上部のものを検出して停止する。昇降機構
に固定されたストッパも同時に停止し、これに対して下
降する吸着ヘッドは、ストッパにより適正な間隔の吸着
位置に位置決めされて停止し、最上部のグリーンシート
を非接触で吸着する。上記の光センサ部においては、昇
降機構の上昇または下降により、上側と下側の両光セン
サがともにＯＮであれば、両センサとも最上部のグリー
ンシートより高い位置にあり、この反対に両センサがと
もにＯＦＦであれば、低い位置にある。従って上側の光
センサがＯＮで、下側の光センサをＯＦＦとする条件に
より、最上部のグリーンシートが両センサの高低差の分
解能で検出される。
て昇降機構の上昇または下降により、昇降機構に設けら
れた光センサ部が、パレットに収容された複数のグリー
ンシートの最上部のものを検出して停止する。昇降機構
に固定されたストッパも同時に停止し、これに対して下
降する吸着ヘッドは、ストッパにより適正な間隔の吸着
位置に位置決めされて停止し、最上部のグリーンシート
を非接触で吸着する。上記の光センサ部においては、昇
降機構の上昇または下降により、上側と下側の両光セン
サがともにＯＮであれば、両センサとも最上部のグリー
ンシートより高い位置にあり、この反対に両センサがと
もにＯＦＦであれば、低い位置にある。従って上側の光
センサがＯＮで、下側の光センサをＯＦＦとする条件に
より、最上部のグリーンシートが両センサの高低差の分
解能で検出される。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示し、(a) は平
面図、(b) は垂直断面図である。図１において、ローデ
ィング機構の載置台５は、基礎ベース52に固定された２
本のスライド棒53,54 に載置板51を固定して構成され
る。複数のグリーンシート１が収容されたパレット３
は、共通装着板４に載置されて載置板51に装着される。
装着されたパレット３は一定の高さに保持され、その上
方には吸着部６が待機する。載置台５に対して上昇また
は下降する昇降機構７を設ける。昇降機構７は、２本の
スライド棒53,54 に嵌合する２個のスライドパイプ71,7
2 と、両スライドパイプを固定し、両端に支持板731,73
2 が固定され、中心部がボールねじ74に係合した昇降板
73、およびボールねじを回転するモータ75とにより構成
される。各支持板731,732 の上面と上部に、吸着ヘッド
６に対するストッパ81,82 と、光センサ部９をそれぞれ
固定して設ける。なお、各支持板731,732 の上面には、
グリーンシート１の平面方向に対する吸着部６の位置合
わせ用の突起761,762 が設けられ、吸着部６にはこれに
嵌入する位置合わせ孔が設けられている。図２は光セン
サ部９の構成と、これに対するストッパ81,82 の位置関
係の詳細を示す。光センサ部９は、投光器911 と受光器
912 よりなる上側の光センサ91と、投光器921 と受光器
922 よりなる下側の光センサ92よりなり、両光センサ9
1,92 はグリーンシートの厚さの程度の微小な高低差に
設定される。両光センサが最上部のグリーンシート１を
検出した高さ位置において、ストッパ81,82 に吸着部６
が当接したとき、吸着ヘッド61の噴射面611 が適正な吸
着位置となるように各ストッパ81,82 の上端面の高さを
設定する。
面図、(b) は垂直断面図である。図１において、ローデ
ィング機構の載置台５は、基礎ベース52に固定された２
本のスライド棒53,54 に載置板51を固定して構成され
る。複数のグリーンシート１が収容されたパレット３
は、共通装着板４に載置されて載置板51に装着される。
装着されたパレット３は一定の高さに保持され、その上
方には吸着部６が待機する。載置台５に対して上昇また
は下降する昇降機構７を設ける。昇降機構７は、２本の
スライド棒53,54 に嵌合する２個のスライドパイプ71,7
2 と、両スライドパイプを固定し、両端に支持板731,73
2 が固定され、中心部がボールねじ74に係合した昇降板
73、およびボールねじを回転するモータ75とにより構成
される。各支持板731,732 の上面と上部に、吸着ヘッド
６に対するストッパ81,82 と、光センサ部９をそれぞれ
固定して設ける。なお、各支持板731,732 の上面には、
グリーンシート１の平面方向に対する吸着部６の位置合
わせ用の突起761,762 が設けられ、吸着部６にはこれに
嵌入する位置合わせ孔が設けられている。図２は光セン
サ部９の構成と、これに対するストッパ81,82 の位置関
係の詳細を示す。光センサ部９は、投光器911 と受光器
912 よりなる上側の光センサ91と、投光器921 と受光器
922 よりなる下側の光センサ92よりなり、両光センサ9
1,92 はグリーンシートの厚さの程度の微小な高低差に
設定される。両光センサが最上部のグリーンシート１を
検出した高さ位置において、ストッパ81,82 に吸着部６
が当接したとき、吸着ヘッド61の噴射面611 が適正な吸
着位置となるように各ストッパ81,82 の上端面の高さを
設定する。
【０００９】吸着部６によるグリーンシート１の吸着方
法を説明すると、まずモータ75によりボールねじ74を回
転して昇降板73を上昇または下降し、前記した上側の光
センサ91がＯＮ、下側の光センサ92がＯＦＦとなる検出
条件により、パレット３に収容された最上部のグリーン
シート１を検出する。このグリーンシートが検出された
位置で、モータ75の回転を制御して昇降機構７の昇降を
停止する。パネル３に対して吸着部６を下降すると、位
置合わせ孔に突起761,762 が嵌入して平面方向の位置合
わせがなされた後、吸着部６は各ストッパ81,82 に当接
して各吸着ヘッド61の噴射面611 が適切な間隔の吸着位
置に位置決めされて停止し、噴射されたエアにより最上
部のグリーンシート１が非接触で吸着される。以上によ
り吸着部６に吸着されたグリーンシート１は、検査部に
搬送されてローディングされ、空となった吸着部６は再
びパレット３の上部に戻り、次のグリーンシートに対し
て上記同様に位置決め吸着と搬送が、パネル３が空とな
るまで繰り返される。
法を説明すると、まずモータ75によりボールねじ74を回
転して昇降板73を上昇または下降し、前記した上側の光
センサ91がＯＮ、下側の光センサ92がＯＦＦとなる検出
条件により、パレット３に収容された最上部のグリーン
シート１を検出する。このグリーンシートが検出された
位置で、モータ75の回転を制御して昇降機構７の昇降を
停止する。パネル３に対して吸着部６を下降すると、位
置合わせ孔に突起761,762 が嵌入して平面方向の位置合
わせがなされた後、吸着部６は各ストッパ81,82 に当接
して各吸着ヘッド61の噴射面611 が適切な間隔の吸着位
置に位置決めされて停止し、噴射されたエアにより最上
部のグリーンシート１が非接触で吸着される。以上によ
り吸着部６に吸着されたグリーンシート１は、検査部に
搬送されてローディングされ、空となった吸着部６は再
びパレット３の上部に戻り、次のグリーンシートに対し
て上記同様に位置決め吸着と搬送が、パネル３が空とな
るまで繰り返される。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置決め機構においては、昇降機構に設けられた光センサ
部が、パレットに収容された複数のグリーンシートの最
上部のものを正確に検出し、昇降機構と、これに固定さ
れたストッパとをこの検出位置に停止し、これに対して
下降する吸着ヘッドは、ストッパにより最上部のグリー
ンシートを非接触で吸着するに適正な吸着位置に位置決
めされて停止するもので、セラミック・グリーンシート
の検査システムに対して、パレットに収容された未検査
のグリーンシートが非接触で、確実にローディングされ
る効果には大きいものがある。
置決め機構においては、昇降機構に設けられた光センサ
部が、パレットに収容された複数のグリーンシートの最
上部のものを正確に検出し、昇降機構と、これに固定さ
れたストッパとをこの検出位置に停止し、これに対して
下降する吸着ヘッドは、ストッパにより最上部のグリー
ンシートを非接触で吸着するに適正な吸着位置に位置決
めされて停止するもので、セラミック・グリーンシート
の検査システムに対して、パレットに収容された未検査
のグリーンシートが非接触で、確実にローディングされ
る効果には大きいものがある。
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a) は平面図、
(b) は垂直断面図である。
(b) は垂直断面図である。
【図２】 図１に対する部分詳細図である。
【図３】 (a) はセラミック・グリーンシートに形成さ
れるマイクロ・キャリャー・チップ（ＭＣＣ）の説明
図、(b) はグリーンシートに対する検査システムのアウ
トラインの構成図である。
れるマイクロ・キャリャー・チップ（ＭＣＣ）の説明
図、(b) はグリーンシートに対する検査システムのアウ
トラインの構成図である。
【図４】 (a) はグリーンシートを収容するパレットの
外観図、(b) はグリーンシートに対する非接触エア方式
の吸着部の説明図である。
外観図、(b) はグリーンシートに対する非接触エア方式
の吸着部の説明図である。
１…セラミック・シート、またはグリーンシート、１a
…マイクロ・キャリヤー・チップ（ＭＣＣ）、２…グリ
ーンシートの検査システム、３…パレット、31…ベース
盤、32,33 …仕切り板、４…共通装着板、５…載置台、
51…載置板、52…基礎ベース、53,54 …スライド棒、６
…吸着部、61…吸着ヘッド、611 …噴射面、７…昇降機
構、71,72 …スライドパイプ、73…昇降板、731,732 …
支持板、74…ボールねじ、75…モータ、81,82 …ストッ
パ、９…光センサ部、91…上側光センサ、911 …投光
器、912 …受光器、92…下側光センサ、921 …投光器、
922 …受光器。
…マイクロ・キャリヤー・チップ（ＭＣＣ）、２…グリ
ーンシートの検査システム、３…パレット、31…ベース
盤、32,33 …仕切り板、４…共通装着板、５…載置台、
51…載置板、52…基礎ベース、53,54 …スライド棒、６
…吸着部、61…吸着ヘッド、611 …噴射面、７…昇降機
構、71,72 …スライドパイプ、73…昇降板、731,732 …
支持板、74…ボールねじ、75…モータ、81,82 …ストッ
パ、９…光センサ部、91…上側光センサ、911 …投光
器、912 …受光器、92…下側光センサ、921 …投光器、
922 …受光器。
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体部品に使用されるセラミックのグ
リーンシートを対象とし、複数の未検査の該グリーンシ
ートを収容するパレットと、該パレットを載置する載置
台、および該パレットの上部に設けられ、該収容された
前記グリーンシートを非接触でエア吸着する吸着ヘッド
とを具備した検査システムのローディング機構におい
て、前記載置台に対して上昇または下降し、前記パレッ
トに収容された最上部のグリーンシートを検出する光セ
ンサ部を有し、該検出された最上部のグリーンシートの
位置に停止する昇降機構と、昇降機構に固定され、前記
下降する吸着ヘッドを、前記最上部のグリーンシートに
対する適正な間隔の吸着位置に位置決めして停止するス
トッパを配設して構成されたことを特徴とする、吸着ヘ
ッドの位置決め機構。 - 【請求項２】 前記光センサ部は、前記グリーンシート
の厚さの程度の高低差を有する上側と下側の２組の光セ
ンサよりなり、前記昇降機構を上昇または下降して、該
上側の光センサがＯＮで、かつ下側の光センサがＯＦＦ
となる条件により、前記最上部のグリーンシートを検出
する、請求項１記載の吸着ヘッドの位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4134297A JPH05304199A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 吸着ヘッドの位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4134297A JPH05304199A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 吸着ヘッドの位置決め機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05304199A true JPH05304199A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=15124993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4134297A Pending JPH05304199A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 吸着ヘッドの位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05304199A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001301969A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-31 | Komatsu Denshi Kk | 板状部材の供給方法及び供給装置 |
| JP2007109748A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の搬送方法および搬送装置 |
| JP2009028863A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
| JP2009028862A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
-
1992
- 1992-04-27 JP JP4134297A patent/JPH05304199A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001301969A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-31 | Komatsu Denshi Kk | 板状部材の供給方法及び供給装置 |
| JP2007109748A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の搬送方法および搬送装置 |
| JP2009028863A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
| JP2009028862A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100936903B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
| KR101139371B1 (ko) | 기판 클램핑 장치, 이송장치 및 그 검사장치 | |
| KR100849003B1 (ko) | 칩 부품 반송 방법 및 장치, 및 외관 검사 방법 및 장치 | |
| JP2002068471A (ja) | チップ部品の搬送装置 | |
| KR20060019572A (ko) | 반송장치, 전자부품 핸들링 장치 및 전자부품 핸들링장치에서의 반송방법 | |
| JPH03782B2 (ja) | ||
| JP3925337B2 (ja) | チップ部品の搬送保持装置 | |
| JPH07237751A (ja) | 板体移動装置 | |
| JPH05304199A (ja) | 吸着ヘッドの位置決め機構 | |
| KR101138727B1 (ko) | 기판 클램핑 장치, 이송장치 및 그 검사장치 | |
| JP2820898B2 (ja) | ワーク体の整列積層装置 | |
| JPH07335718A (ja) | ウエハキャリア装置 | |
| JP4704365B2 (ja) | 物品載置装置 | |
| JPH0332220B2 (ja) | ||
| JP4849744B2 (ja) | 表示用基板の検査装置 | |
| JPH10308436A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH09272095A (ja) | 板状物搬送用ロボット | |
| JP3607207B2 (ja) | 収納容器からの半導体ウエーハ取り出し方法と装置 | |
| JP2003002430A (ja) | 物品検査方法とその装置 | |
| KR100938492B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
| CN221078431U (zh) | 一种晶圆检测设备 | |
| JPH09226987A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH10160631A (ja) | 液晶パネルのアライメント装置 | |
| JP2002261144A (ja) | 基板の受け渡し方法及び装置 | |
| JPS63306134A (ja) | 板状物の搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |