JP4704365B2 - 物品載置装置 - Google Patents
物品載置装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4704365B2 JP4704365B2 JP2007004991A JP2007004991A JP4704365B2 JP 4704365 B2 JP4704365 B2 JP 4704365B2 JP 2007004991 A JP2007004991 A JP 2007004991A JP 2007004991 A JP2007004991 A JP 2007004991A JP 4704365 B2 JP4704365 B2 JP 4704365B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article
- thin plate
- transfer head
- positioning
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Description
図1ないし図6によって本発明に係る物品載置装置の実施形態1について説明する。図1はこの物品載置装置の一部分を示す図であり、図1(A)はその平面図であり、図1(B)は側面図である。図2はこの物品載置装置の物品位置決め部材を説明するための図であり、図2(A)は物品位置決め部材の一部断面を示し、図2(B)は図2(A)を図面の左側から見た図である。図3はこの物品載置装置に用いられる物品位置決め部材の他の例を示す図である。図4はこの物品載置装置から薄板状物品を取り出す一例を説明するための図である。図5、図6はこの物品載置装置の一部分の構成及び動作を説明するための図である。
実施形態2の物品載置装置の構成は実施形態1とほぼ同じであり、薄板状物品Pの取り出し動作が異なるので、図1ないし図6によって主に薄板状物品Pの取り出し動作について説明する。実施形態1では、全ての物品位置決め部材2が拡がっていない元の位置にある状態で、昇降装置4が作動し、薄板状物品Pを上昇又は下降させていた。位置決め精度が粗い場合でも積載された薄板状物品Pの外周辺の2辺は対応する物品位置決め部材2に接触しており、厳しい位置決め精度が要求される場合には、積載された薄板状物品Pの4辺がそれぞれ対応する物品位置決め部材2に接触している。薄板状物品Pが損傷し易い材料からなる場合には、薄板状物品Pが物品位置決め部材2に接触しながら上下動するときに外周辺が摺れて傷が付くことがある。実施形態2はこのような傷などが薄板状物品Pの外周辺などに着くことのない物品載置装置を提案する。
実施形態3の物品載置装置の構成は実施形態1、実施形態2とほぼ同じであり、薄板状物品Pの取り出し動作が異なるので、図1ないし図6によって主に薄板状物品Pの取り出し動作について説明する。先ず、図4に示すような物品移載ヘッド5が下降動作を行う。物品移載ヘッド5が降下する途中で、それぞれの当接部材52がそれぞれの物品位置決め部材2の傾斜面2Aに当接し、更に傾斜面2Aに鉛直方向の外力を加えながら第1の所定位置まで降下する。その下降動作の停止は、図示していないヘッド検出用センサによって検出され、そのヘッド検出用センサは物品移載ヘッド5を昇降させる不図示の昇降機構に信号を送り、その昇降機構は物品移載ヘッド5を停止させる。その物品移載ヘッド5の停止は、薄板状物品Pが物品位置決め部材2に接触することがない程度まで、当接部材52が物品位置決め部材2を外側に変位させる位置で行われる。
2・・・物品位置決め部材
2A・・・物品位置決め部材2の傾斜面
3・・・物品載置台
4・・・昇降装置
5・・・物品移載ヘッド
6・・・気体噴出機構
7・・・センサ
8・・・駆動制御回路
11・・・ベース部材1の上面
12・・・ベース部材1に設けられた丸孔
21・・・物品位置決め部材2の固定ブロック部
22・・・位置決めガイド部
23・・・弾性部材
24・・・支点部材
25・・・固定部材
41・・・昇降装置4の昇降部
51・・・物品移載ヘッド5の支持部材
52・・・当接部材
53・・・係止部材
61、62・・・気体噴出機構6の気体噴出ノズル
71・・・センサ7の発光側部材
72・・・受光側部材
531・・・蛇腹式の吸着パッド
532・・・蛇腹式の吸着パッド
Claims (9)
- 物品載置台に薄板状物品を載置する物品載置装置において、
前記薄板状物品を1枚ずつ前記物品載置台に移載する、又は前記物品載置台に載置されている前記薄板状物品を1枚ずつ他所に移載する物品移載ヘッドと、
前記物品載置台の周りに配置されて、前記物品載置台に積み重ねられる前記薄板状物品の外周辺に接触して位置決めを行う複数の物品位置決め部材と、
を備え、
前記物品移載ヘッドが前記薄板状物品を前記物品載置台に移載する、又は前記物品載置台に載置されている前記薄板状物品を他所に移載するときには、前記複数の物品位置決め部材の上部側を外側に押し広げ、前記薄板状物品が前記複数の物品位置決め部材に接触していない状態で前記薄板状物品の移載が行われることを特徴とする物品載置装置。 - 請求項1において、
前記物品位置決め部材は、前記物品載置台上の前記薄板状物品を位置決めすることができる位置に配置され、かつ前記物品載置台側に向いている内側面の上側部がその上側から下側へ前記物品載置台に向かって傾斜する傾斜面となっており、
前記物品移載ヘッドは前記物品位置決め部材の前記傾斜面に当接する当接部を有し、
前記物品移載ヘッドの下降動作に伴い前記当接部が前記傾斜面を押しながら鉛直方向に下降するときに、前記物品位置決め部材を前記物品載置台側とは反対側である外側に徐々に拡げ、前記物品移載ヘッドが1枚の前記薄板状物品を前記物品載置台上に載置した後に、前記物品移載ヘッドの上昇動作によって前記当接部が前記傾斜面に接触しながら上昇するのに伴い前記物品位置決め部材が徐々に元に戻って、前記物品載置台に載置された前記薄板状物品の位置決めを行うことを特徴とする物品載置装置。 - 請求項2において、
前記位置決め部材は、固定ブロック部と、支点部材と、該支点部材を支点として前記固定ブロック部に対して変位可能に結合されている位置決めガイド部と、前記固定ブロック部と前記位置決めガイド部との間に配置された弾性部材とからなり、
前記傾斜面は前記位置決めガイド部に備えられていることを特徴とする物品載置装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記物品位置決め部材は、外力によって変位し、かつ外力が除去されると元に戻る弾性材料で一部又はほとんどが構成されていることを特徴とする物品載置装置。 - 請求項2ないし請求項4のいずれかにおいて、
前記物品移載ヘッドの前記当接部は転がり部材を備え、
該転がり部材は前記傾斜面を転がることを特徴とする物品載置装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかにおいて、
前記物品載置台は所定位置まで上昇して停止し、
前記物品移載ヘッドは、下降動作を行って前記物品位置決め部材の上部側を外側に押し広げると共に、最上部に位置する前記薄板状物品を1枚係止して保持し、又は保持している前記薄板状物品を最上部に位置する前記薄板状物品の上に積載することを特徴とする物品載置装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかにおいて、
前記物品移載ヘッドが下降動作を行って前記複数の物品位置決め部材の上部側を外側に押し広げた状態になったとき、前記物品載置台が所定位置まで上昇して停止し、
しかる後に、前記物品移載ヘッドが最上部に位置する前記薄板状物品を1枚係止して保持し、又は係止・保持していた前記薄板状物品を前記物品載置台に積載することを特徴とする物品載置装置。 - 請求項1ないし請求項7のいずれかにおいて、
前記物品移載ヘッドは、最上部に位置する前記薄板状物品の外周辺の近傍を複数個所係止し、その係止箇所を持ち上げてその下に位置する前記薄板状物品との間に空隙を形成し、
前記薄板状物品の周囲に備えられた気体噴出手段が前記空隙に気体を噴出することを特徴とする物品載置装置。 - 請求項5ないし請求項8のいずれかにおいて、
前記物品移載ヘッドは蛇腹状の吸着パッドを備え、該蛇腹状の吸着パッドが最上部に位置する前記薄板状物品の外周辺の近傍を複数個所吸着するとき、前記蛇腹状の吸着パッドが収縮して前記薄板状物品の吸着される前記複数箇所を持ち上げることを特徴とする物品載置装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007004991A JP4704365B2 (ja) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | 物品載置装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007004991A JP4704365B2 (ja) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | 物品載置装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008172098A JP2008172098A (ja) | 2008-07-24 |
JP4704365B2 true JP4704365B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=39699899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007004991A Expired - Fee Related JP4704365B2 (ja) | 2007-01-12 | 2007-01-12 | 物品載置装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4704365B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101048621B1 (ko) * | 2009-11-11 | 2011-07-12 | 상신이엔지 주식회사 | 자동차 브레이크 패드용 소음방지판 공급장치 |
JP5556419B2 (ja) * | 2010-06-22 | 2014-07-23 | マツダ株式会社 | 成形用ブランク枚数判別装置及び同判別方法 |
JP6271312B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2018-01-31 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06227692A (ja) * | 1993-02-03 | 1994-08-16 | Hitachi Ltd | 積層板状物分離搬送装置 |
JPH07206162A (ja) * | 1994-01-18 | 1995-08-08 | Hitachi Ltd | フレーム収納ラックおよびリードフレームの付着防止方法 |
JPH1035889A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-10 | Juki Corp | 基板供給装置 |
WO2004102654A1 (ja) * | 2003-05-13 | 2004-11-25 | Mimasu Semiconductor Industry Co.,Ltd. | ウェハ単離方法、ウェハ単離装置及びウェハ単離移載機 |
-
2007
- 2007-01-12 JP JP2007004991A patent/JP4704365B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06227692A (ja) * | 1993-02-03 | 1994-08-16 | Hitachi Ltd | 積層板状物分離搬送装置 |
JPH07206162A (ja) * | 1994-01-18 | 1995-08-08 | Hitachi Ltd | フレーム収納ラックおよびリードフレームの付着防止方法 |
JPH1035889A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-10 | Juki Corp | 基板供給装置 |
WO2004102654A1 (ja) * | 2003-05-13 | 2004-11-25 | Mimasu Semiconductor Industry Co.,Ltd. | ウェハ単離方法、ウェハ単離装置及びウェハ単離移載機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008172098A (ja) | 2008-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI732253B (zh) | 搬送系統 | |
TWI661505B (zh) | Transfer device, transfer method, exposure device, and component manufacturing method | |
TWI512877B (zh) | 工件搬運方法及工件搬運裝置 | |
US8167521B2 (en) | Substrate transfer apparatus and vertical heat processing apparatus | |
JP6188123B2 (ja) | 貼合装置および貼合処理方法 | |
JP2011063408A (ja) | ガラス基板の取り出し方法 | |
US20040109751A1 (en) | Substrate processing system | |
JP2010168138A (ja) | 板取得装置及び板取得方法 | |
JP2014201437A (ja) | プレートの割れ検出方法 | |
JP2010001049A (ja) | ガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法 | |
JP5928698B2 (ja) | 枠体搬送装置および枠体搬送装置を用いた吸着方法と吸着解除方法 | |
JP2016207947A (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板検出方法 | |
JP4704365B2 (ja) | 物品載置装置 | |
JP5728770B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、ならびに、プログラム | |
JP5628549B2 (ja) | 基板貼合装置 | |
JPH07237751A (ja) | 板体移動装置 | |
JP2016063057A (ja) | ダイボンダ並びにボンディング方法及びピックアップ装置 | |
JP2014239135A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5758993B2 (ja) | アライメント装置およびアライメント方法 | |
JPH0332220B2 (ja) | ||
JP2014219427A (ja) | 光学素子の移載方法 | |
JP2020066514A (ja) | ワーク分離機構、ワーク供給装置およびワーク分離方法 | |
JPH05304199A (ja) | 吸着ヘッドの位置決め機構 | |
JP6275304B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送ヘッド | |
JP2019099339A (ja) | カード取出装置およびカード取出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090518 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110309 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140318 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |