JPH07237751A - 板体移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】面積が大きく板厚の薄い板体や変形した板体で
も、確実かつ安定して一枚ずつ分離し、移動すること。 【構成】略同じ肉厚を有し、複数枚積載された板体１４
の内、最上段の板体１４ａを吸着する吸着手段１５と、
この吸着手段１５にて吸着された少なくとも最上段の板
体１４ａを吸着方向に対して直交する方向に相対移動さ
せる移動手段１１と、吸着手段１５にて吸着された最上
段の板体１４ａの移動方向に設けられ、上記吸着された
最上段の板体１４ａの下面から板体１４の肉厚分の距離
の間に仕切端１８ａを配置した分離手段１８とを備え
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えばガラス基板、プリ
ント基板、その他板状のワークなどの板体を複数枚積載
された状態から一枚ずつ分離し、移動する板体移動装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、板体移動装置の第１の従来例とし
ては、図５に示すものがある。図５に示す移動装置は、
板体としての基板１を真空吸着するバキュームパッド２
と、積載された複数枚の基板１を昇降可能とするリフタ
３と、複数枚積載された基板１を規制するプレート４
と、最上段に位置する基板１を検出するセンサ５と、最
上段の基板と次段の基板を分離させるため両基板間に真
空破壊を起こさせるエアーブロー用ノズル６とを備えて
いる。

【０００３】上記のような構成の移動装置では、リフタ
３に複数枚の基板１を積載し、これらの基板１をプレー
ト４に沿ってリフタ３により上昇させ、最上段の基板１
をセンサ５が検出すると、リフタ３の上昇が停止し、そ
の後バキュームパッド２により最上段の基板１を吸着す
る。この時、エアーブロー用ノズル６からのエアーブロ
ーにより最上段の基板と次段の基板間に真空破壊を起こ
させ、両基板同士を分離させて最上段の基板一枚のみを
取り出している。

【０００４】また、板体移動装置の第２の従来例として
は、図６（Ａ），（Ｂ）に示すものがある。図６
（Ａ），（Ｂ）に示す移動装置は、積載された複数枚の
基板１を昇降可能とするリフタ３と、複数枚積載された
基板１を規制するプレート４と、最上段に位置する基板
を検出するセンサ５と、最上段の基板と次段の基板を分
離させる仕切板７と、最上段の基板を水平方向から押し
出すプッシャ８とを備えている。

【０００５】上記のような構成の移動装置では、リフタ
３に複数枚の基板１を積載し、これらの基板１をプレー
ト４に沿ってリフタ３により上昇させ、最上段の基板の
下面が仕切板７より高くなったことを高精度のセンサ５
が検出すると、リフタ３の上昇を停止させ、プッシャ８
で水平方向に押し出して最上段の基板一枚のみを取り出
している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、複数枚積載
された基板、いわゆる「べた積」状態で載置された基板
の内、最上段の基板をバキュームパッドなどの吸着パッ
ドで吸着し、持ち上げた場合には、最上段の基板だけで
なく、その下の次段の基板も共に接着してくる場合があ
る。これは、基板同士の接触面が真空状態または大気圧
より低い状態になっていることが主要因となっている。

【０００７】上記第１の従来例は、基板１の接触面の真
空状態を破壊させるために、エアーブロー用ノズル６か
らエアーを噴射しているものの、面積が大きく板厚の薄
い基板では基板同士を確実に分離させることができず、
信頼性に欠ける課題がある。また、上記第２の従来例
は、基板１自体が変形していたり、平行度が得られない
まま基板１を複数枚積載した場合、その累積高さは図７
に示すようになる。すなわち、複数枚の基板１は高さ方
向に対して斜めに積載されるため、最上段の基板をセン
サ５で検出したとき、プッシャ８で最上段の基板一枚の
みを取り出すことが不可能な場合があり、信頼性に欠け
る課題がある。なお、この場合、板厚の薄い基板ほど顕
著に現れる。

【０００８】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、面積が大きく板厚の薄い板体や変形した板体で
も、確実かつ安定して一枚ずつ分離し、移動することの
できる板体移動装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の請求項１は、略同じ肉厚を有し、複数
枚積載された板体の内、最上段の板体を吸着する吸着手
段と、この吸着手段にて吸着された少なくとも最上段の
板体を吸着方向に対して直交する方向に相対移動させる
移動手段と、上記吸着手段にて吸着された最上段の板体
の移動方向に設けられ、上記吸着された最上段の板体の
下面から板体の肉厚分の距離の間に仕切端を配置した分
離手段とを備えたことを特徴とする。

【００１０】請求項２は、請求項１記載の移動手段が吸
着手段にて吸着された最上段の板体を吸着方向に対して
直交する方向に移動させつつ、上記分離手段にて次段の
板体と分離することを特徴とする。

【００１１】請求項３は、請求項１または２記載の複数
枚積載された板体内の最上段の板体が、移動手段にて水
平方向および垂直方向のいずれかに移動されることを特
徴とする。

【００１２】請求項４は、請求項１または２記載の分離
手段にエアブロー用ノズルを配設したことを特徴とす
る。

【００１３】請求項５は、請求項１記載の吸着手段に板
体の吸着面が当接するストッパーピンを複数近接して配
置したことを特徴とする。

【００１４】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１におい
て、分離手段は吸着手段にて吸着された最上段の板体の
移動方向に設けられ、その吸着された最上段の板体の下
面から板体の肉厚分の距離の間に仕切端を配置したこと
により、最上段の板体と分離手段との相対移動時、一枚
あるいは一枚以上の次段の板体が移動しようとしても、
分離手段の仕切端に遮られ移動できない。その結果、板
体を確実かつ安定して一枚ずつ分離し、移動することが
できる。

【００１５】請求項２においては、請求項１記載の移動
手段が吸着手段にて吸着された最上段の板体を吸着方向
に対して直交する方向に移動させつつ、分離手段にて次
段の板体と分離することが望ましい。

【００１６】請求項３においては、請求項１または２記
載の複数枚積載された板体内の最上段の板体が、移動手
段にて水平方向および垂直方向のいずれかに移動される
ことが望ましい。

【００１７】請求項４においては、請求項１または２記
載の分離手段にエアブロー用ノズルを配設したことによ
り、最上段の板体が分離手段の仕切端を通過する時、エ
アブローを行うことができ、真空破壊を助長させること
ができる。

【００１８】請求項５においては、請求項１記載の吸着
手段に板体の吸着面が当接するストッパーピンを複数近
接して配置したことにより、ストッパーピンに最上段の
板体の吸着面が当接し、吸着手段に吸着された最上段の
板体の高さ方向の位置決めを確実に行うことができる。
また、ストッパーピンを複数配置することにより、いわ
ゆる「そり」のある変形した板体も矯正しながら移動さ
せることができる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００２０】図１は本発明に係る板体移動装置の第１実
施例を示す構成図、図２は図１のＡ部拡大図である。本
実施例では、印刷や電子部品を搭載することにより電気
回路を形成する回路形成用基板（以下、単に基板とい
う。）の移動装置に適用した例を示している。

【００２１】図１および図２において、スライダボデイ
１０に沿って移動する移動手段としてのスライダ１１に
は、ブラケット１２が取り付けられ、このブラケット１
２上にはエアーシリンダ１３が配設されている。このエ
アーシリンダ１３の下端には板体としての基板１４を吸
着する吸着手段としての吸着パッド１５が複数設けら
れ、エアーシリンダ１３を駆動させることで、吸着パッ
ド１５が上下に移動する。そして、この吸着パッド１５
の近傍のブラケット１２下面にはストッパーピン１６が
複数固定されている。

【００２２】一方、基板１４はリフタ１７上に複数枚積
載され昇降可能とされ、分離手段としての仕切板１８お
よびプレート１９により位置が規制されている。仕切板
１８の上端１８ａは図２に示すように複数枚積載された
基板１４の内、最上段の基板１４ａを分離するための仕
切端としての機能を有し、上端１８ａにエアーブロー用
ノズル２０が設けられ、このエアーブロー用ノズル２０
からエアーを噴射させることで、最上段の基板１４ａと
次段の基板１４ｂとの間の真空破壊を助長させる。

【００２３】また、プレート１９の上端にはスリット１
９ａが形成され、このスリット１９ａと同一の高さにセ
ンサ２１が配置され、このセンサ２１はスリット１９ａ
を通して最上段の基板１４ａを検出するようになってい
る。

【００２４】ところで、吸着パッド１５は複数枚積載さ
れた基板１４の内、最上段の基板１４ａを吸着しつつ、
スライダ１１をスライダボデイ１０に沿って移動させる
ことで、吸着方向に対して直交する方向、すなわち水平
方向に移動する。この移動時、仕切板１８の上端１８ａ
は次段の基板１４ｂの移動を阻止し、最上段の基板１４
ａのみを移動させて次段の基板１４ｂと移動する。

【００２５】この時、最上段の基板１４ａの下面と仕切
板１８の上端１８ａとの隙間ｔは、基板１４の厚さより
小さく設定されている。すなわち、吸着パッド１５によ
り吸着された最上段の基板１４ａの下面から基板１４の
肉厚分の距離の間に仕切板１８の上端１８ａが配置され
ている。

【００２６】次に、本実施例の作用について説明する。

【００２７】まず、作業者がリフタ１７上に基板１４を
複数枚積載した後、図示しないスタートスイッチを押す
と、リフタ１７が上昇し、センサ２１がプレート１９の
スリット１９ａを通して最上段の基板１４ａを検出する
と、リフタ１７の上昇動作が停止する。

【００２８】次いで、エアーシリンダ１３を駆動させる
ことで、吸着パッド１５が下降し、最上段の基板１４ａ
を吸着した後、上昇する。この時、吸着された最上段の
基板１４ａの吸着面が複数のストッパーピン１６に当接
することにより高さ方向の位置決めがなされる。

【００２９】この時、最上段の基板１４ａの下面と仕切
板１８の上端１８ａとの隙間ｔは、基板１４の厚さより
小さく設定されており、スライダ１１をスライダボデイ
１０に沿って移動させることで、吸着された最上段の基
板１４ａは水平方向に移動する。

【００３０】その際、最上段の基板１４ａの他に、一枚
あるいは一枚以上の基板１４が水平方向に移動しようと
しても、仕切板１８の上端１８ａに遮られ、移動するこ
とができない。さらに、水平方向に移動する最上段の基
板１４ａは、吸着パッド１５による吸着を解除すること
で、図示しない収納マガジンに収納される。

【００３１】また、最上段の基板１４ａが仕切板１８の
上端１８ａを通過する時に、エアーブロー用ノズル２０
から最上段の基板１４ａの下面にエアーを噴射させるこ
とにより、最上段の基板１４ａと次段の基板１４ｂとの
間の真空破壊を起こさせ、互いに容易に分離される。

【００３２】このように本実施例によれば、吸着パッド
１５およびストッパーピン１６を複数個設けたことによ
り、いわゆる「そり」のある変形した基板１４も矯正し
ながら、仕切板１８と相対移動するので、基板１４の吸
着面と反対の面が仕切板１８を擦ることなく、確実に分
離することができる。

【００３３】図３は本発明に係る板体移動装置の第２実
施例を示す構成図である。なお、前記第１実施例と同一
または対応する部分には同一の符号を用いて説明する。
以下の実施例についても同様である。前記第１実施例で
は、基板１４を床面に対して水平に複数枚積載し、基板
１４を上下方向に吸着したが、本実施例では基板１４を
床面に対して垂直方向に複数枚積載し、基板１４を水平
方向に吸着している。したがって、本実施例によれば、
前記第１実施例と比較して装置の設置スペースが狭くて
済むことになる。その他の構成および作用は前記第１実
施例と同様であるのでその説明を省略する。

【００３４】図４は本発明に係る板体移動装置の第３実
施例を示す構成図である。前記第１実施例では、吸着さ
れた最上段の基板１４ａが移動して仕切板１８の上端１
８ａを通過するが、本実施例では基板１４を複数枚積載
するリフタ１７、リフタ１７の駆動機構２２，仕切板１
８，およびプレート１９をスライダ１１に固定し、この
スライダ１１をスライダボデイ１０に沿って矢印の方向
に移動させることにより、吸着パッド１５に吸着された
最上段の基板１４ａの水平方向の位置を変化させず、最
上段の基板１４ａのみを分離し、移動させることができ
る。その他の構成および作用は前記第１実施例と同様で
あるのでその説明を省略する。

【００３５】このように、本発明では吸着パッド１５に
て吸着された最上段の基板１４ａと次段の基板１４ｂと
を仕切板１８により分離させ、この仕切板１８と吸着パ
ッド１５にて吸着された最上段の基板１４ａとを吸着方
向に対して直交する方向に相対移動させるようにすれば
よい。

【００３６】なお、本発明は上記各実施例に限定される
ことなく、種々の変更が可能である。例えば、前記第１
実施例では、エアーブロー用ノズル２０を仕切板１８の
みに設けたが、設置場所およびその個数はこの限りでな
く、任意の場所に任意の個数設置してもよい。

【００３７】また、前記第１実施例では、基板１４の位
置決めをストッパーピン１６により行っているが、基板
１４の吸着面に当接して位置決め可能であるものであれ
ば、他のものでもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、分離手段は吸着手段にて吸着された最上段の
板体の移動方向に設けられ、その吸着された最上段の板
体の下面から板体の肉厚分の距離の間に仕切端を配置し
たことにより、最上段の板体と分離手段との相対移動
時、一枚あるいは一枚以上の次段の板体が移動しようと
しても、分離手段の仕切端に遮られ移動できない。その
結果、板体を確実かつ安定して一枚ずつ分離し、移動す
ることができ、信頼性を大幅に向上させることができ
る。

【００３９】請求項２によれば、請求項１記載の移動手
段が吸着手段にて吸着された最上段の板体を吸着方向に
対して直交する方向に移動させつつ、分離手段にて次段
の板体と分離することにより、請求項１と同様の効果が
得られる。

【００４０】請求項３によれば、請求項１または２記載
の複数枚積載された板体内の最上段の板体が、移動手段
にて水平方向および垂直方向のいずれかに移動されるこ
とにより、請求項１と同様の効果が得られる。

【００４１】請求項４によれば、請求項１または２記載
の分離手段にエアブロー用ノズルを配設したことによ
り、最上段の板体が分離手段の仕切端を通過する時、エ
アブローを行うことができ、真空破壊を助長させ、板体
を一段と容易に分離することができる。

【００４２】請求項５によれば、請求項１記載の吸着手
段に板体の吸着面が当接するストッパーピンを複数近接
して配置したことにより、ストッパーピンに最上段の板
体の吸着面が当接し、吸着手段に吸着された最上段の板
体の高さ方向の位置決めを確実に行うことができる。こ
れにより、板体を確実かつ安定して一枚ずつ移動するこ
とができる。

【００４３】また、ストッパーピンを複数配置すること
により、いわゆる「そり」のある変形した板体も矯正し
ながら、分離手段と相対移動するので、板体の吸着面の
裏面が上記分離手段を擦ることなく、確実に分離させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る板体移動装置の第１実施例を示す
構成図。

【図２】図１におけるＡ部拡大断面図。

【図３】本発明に係る板体移動装置の第２実施例を示す
構成図。

【図４】本発明に係る板体移動装置の第３実施例を示す
構成図。

【図５】板体移動装置の第１の従来例を示す概略構成
図。

【図６】（Ａ），（Ｂ）は板体移動装置の第２の従来例
を示す概略構成図。

【図７】第２の従来例において基板自体が変形または平
行度が得られない基板を複数枚積載した場合を示す概略
構成図。

【符号の説明】

１０ スライダボデイ １１ スライダ（移動手段） １２ ブラケット １３ エアーシリンダ １４ 基板（板体） １４ａ 最上段の基板 １４ｂ 次段の基板 １５ 吸着パッド（吸着手段） １６ ストッパーピン １７ リフタ １８ 仕切板（分離手段） １８ａ 上端（仕切端） １９ プレート １９ａ スリット ２０ エアーブロー用ノズル ２１ センサ ｔ 隙間

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 略同じ肉厚を有し、複数枚積載された板
   体の内、最上段の板体を吸着する吸着手段と、この吸着
   手段にて吸着された少なくとも最上段の板体を吸着方向
   に対して直交する方向に相対移動させる移動手段と、上
   記吸着手段にて吸着された最上段の板体の移動方向に設
   けられ、上記吸着された最上段の板体の下面から板体の
   肉厚分の距離の間に仕切端を配置した分離手段とを備え
   たことを特徴とする板体移動装置。
2. 【請求項２】 上記移動手段は、上記吸着手段にて吸着
   された最上段の板体を吸着方向に対して直交する方向に
   移動させつつ、上記分離手段にて次段の板体と分離する
   ことを特徴とする請求項１記載の板体移動装置。
3. 【請求項３】 複数枚積載された板体内の最上段の板体
   は、移動手段にて水平方向および垂直方向のいずれかに
   移動されることを特徴とする請求項１または２記載の板
   体移動装置。
4. 【請求項４】 上記分離手段にエアブロー用ノズルを配
   設したことを特徴とする請求項１または２記載の板体移
   動装置。
5. 【請求項５】 上記吸着手段に板体の吸着面が当接する
   ストッパーピンを複数近接して配置したことを特徴とす
   る請求項１記載の板体移動装置。