JP3266075B2 - 基板積載装置 - Google Patents
基板積載装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板の
製造に用いられる銅張り積層板等の、基板を搬送して積
載する、基板積載装置に関するものである。
製造に用いられる銅張り積層板等の、基板を搬送して積
載する、基板積載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】銅張り積層板等の有機系の基板は、プリ
ント配線板の製造工程において、端面から基板の破片が
生ずると、その破片によって形成しようとする回路が断
線不良となる場合があるため、一般に端面を研磨した
後、使用されている。この端面を研磨する方法として
は、１枚毎に端面を研磨する方法が従来より行われてい
るが、この方法の場合、研磨の生産性が低いため、複数
の基板を重ねた状態で、端面を研磨する方法が検討され
ている。
ント配線板の製造工程において、端面から基板の破片が
生ずると、その破片によって形成しようとする回路が断
線不良となる場合があるため、一般に端面を研磨した
後、使用されている。この端面を研磨する方法として
は、１枚毎に端面を研磨する方法が従来より行われてい
るが、この方法の場合、研磨の生産性が低いため、複数
の基板を重ねた状態で、端面を研磨する方法が検討され
ている。
【０００３】この複数の基板を重ねる方法としては、人
力で行う方法や、特開昭６１−１７４０４１号や特開平
４−１４２９８号等に記載されたような、準備された基
板を１枚毎吸着した後、その吸着した基板を水平方向に
移動させて、所定の位置に搬送するよう形成された基板
積載装置を用いて重ねる方法が一般的に行われている。
力で行う方法や、特開昭６１−１７４０４１号や特開平
４−１４２９８号等に記載されたような、準備された基
板を１枚毎吸着した後、その吸着した基板を水平方向に
移動させて、所定の位置に搬送するよう形成された基板
積載装置を用いて重ねる方法が一般的に行われている。
【０００４】なお、複数の基板を重ねて端面を研磨する
場合、複数重ねた基板のうち一部の基板が側方に突出し
ていると、その突出した基板が多く研磨され、他の基板
の研磨が十分に行われなくなる場合があるという問題
や、突出した基板は大きさが他の基板と比べて小さくな
るという問題があった。また、複数重ねた基板のうち一
部の基板が側方に凹んでいると、その基板は端面研磨さ
れない場合があるという問題があった。
場合、複数重ねた基板のうち一部の基板が側方に突出し
ていると、その突出した基板が多く研磨され、他の基板
の研磨が十分に行われなくなる場合があるという問題
や、突出した基板は大きさが他の基板と比べて小さくな
るという問題があった。また、複数重ねた基板のうち一
部の基板が側方に凹んでいると、その基板は端面研磨さ
れない場合があるという問題があった。
【０００５】そのため、基板を１枚毎吸着して所定の位
置に搬送し、積載する基板積載装置であって、基板揃え
性が優れた積載が可能な基板積載装置が望まれている。
置に搬送し、積載する基板積載装置であって、基板揃え
性が優れた積載が可能な基板積載装置が望まれている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を改善するために成されたもので、その目的とするとこ
ろは、基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供することにある。
を改善するために成されたもので、その目的とするとこ
ろは、基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
基板積載装置は、基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬
送する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設
けられた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送さ
れた基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面
揃え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃
え部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする。
基板積載装置は、基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬
送する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設
けられた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送さ
れた基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面
揃え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃
え部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】本発明の請求項２に係る基板積載装置は、
請求項１記載の基板積載装置において、基板積載手段に
積載された基板の端部を、その基板の上方から撮像する
撮像手段と、その撮像手段で撮像した画像を画像処理し
て画像のずれの大きさを検出する画像処理手段と、その
画像処理手段が求めたずれの大きさが所定の基準値を越
えた場合に、基板積載手段の積載部及び端面揃え部を傾
斜させることにより、基板を端面揃え部側に移動させ
て、基板の端面を端面揃え部に当接させ、次いで積載部
を略水平に戻す動作を行うよう基板積載手段の動作を制
御する制御手段をも備えることを特徴とする。
請求項１記載の基板積載装置において、基板積載手段に
積載された基板の端部を、その基板の上方から撮像する
撮像手段と、その撮像手段で撮像した画像を画像処理し
て画像のずれの大きさを検出する画像処理手段と、その
画像処理手段が求めたずれの大きさが所定の基準値を越
えた場合に、基板積載手段の積載部及び端面揃え部を傾
斜させることにより、基板を端面揃え部側に移動させ
て、基板の端面を端面揃え部に当接させ、次いで積載部
を略水平に戻す動作を行うよう基板積載手段の動作を制
御する制御手段をも備えることを特徴とする。
【０００９】本発明の請求項３に係る基板積載装置は、
請求項１又は請求項２記載の基板積載装置において、画
像処理手段で画像処理して画像のずれの大きさを検出す
る方法が、画像を微分処理して基板の端面位置を検出
し、その端面位置の差を求める方法であることを特徴と
する。
請求項１又は請求項２記載の基板積載装置において、画
像処理手段で画像処理して画像のずれの大きさを検出す
る方法が、画像を微分処理して基板の端面位置を検出
し、その端面位置の差を求める方法であることを特徴と
する。
【００１０】本発明の請求項４に係る基板積載装置は、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板積載手段に積載された基板の端部に側方
から空気を吹き出す給気手段をも備えることを特徴とす
る。
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板積載手段に積載された基板の端部に側方
から空気を吹き出す給気手段をも備えることを特徴とす
る。
【００１１】本発明の請求項５に係る基板積載装置は、
請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板積載手段の積載部が、振動するよう形成
されていることを特徴とする。
請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板積載手段の積載部が、振動するよう形成
されていることを特徴とする。
【００１２】本発明によると、基板搬送手段により搬送
された基板を、基板積載手段の積載部の上側に積載した
後、積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、積
載した基板を端面揃え部側に移動させて、基板の端面を
端面揃え部に当接させるため、基板積載手段の上側に積
載した複数の基板の端面を、端面揃え部と当接した位置
に揃えることができ、基板揃え性が優れた積載が可能と
なる。
された基板を、基板積載手段の積載部の上側に積載した
後、積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、積
載した基板を端面揃え部側に移動させて、基板の端面を
端面揃え部に当接させるため、基板積載手段の上側に積
載した複数の基板の端面を、端面揃え部と当接した位置
に揃えることができ、基板揃え性が優れた積載が可能と
なる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明に係る基板積載装置を図面
に基づいて説明する。図１は本発明に係る基板積載装置
の一実施の形態を説明する正面図であり、図２は本発明
に係る基板積載装置の一実施の形態を説明する平面図で
あり、図３は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
を説明する側面図である。また、図４は本発明に係る基
板積載装置の一実施の形態の、動作を説明する工程図で
あり、図５は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
の、画像処理を説明する図である。
に基づいて説明する。図１は本発明に係る基板積載装置
の一実施の形態を説明する正面図であり、図２は本発明
に係る基板積載装置の一実施の形態を説明する平面図で
あり、図３は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
を説明する側面図である。また、図４は本発明に係る基
板積載装置の一実施の形態の、動作を説明する工程図で
あり、図５は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
の、画像処理を説明する図である。
【００１４】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
は、図１，図２及び図３に示すように、基板準備手段１
０に準備された基板１を、１枚毎吸着して所定の位置に
搬送する基板搬送手段２０と、基板搬送手段２０により
搬送された基板１を積載する基板積載手段４０と、基板
積載手段４０に積載された基板１の端部を、その基板１
の上方から撮像する撮像手段６０と、その撮像手段６０
で撮像した画像を画像処理する画像処理手段７０と、そ
の画像処理手段７０が求めたずれの大きさに応じて基板
積載手段４０の動作を制御する制御手段８０と、を備え
る基板積載装置である。
は、図１，図２及び図３に示すように、基板準備手段１
０に準備された基板１を、１枚毎吸着して所定の位置に
搬送する基板搬送手段２０と、基板搬送手段２０により
搬送された基板１を積載する基板積載手段４０と、基板
積載手段４０に積載された基板１の端部を、その基板１
の上方から撮像する撮像手段６０と、その撮像手段６０
で撮像した画像を画像処理する画像処理手段７０と、そ
の画像処理手段７０が求めたずれの大きさに応じて基板
積載手段４０の動作を制御する制御手段８０と、を備え
る基板積載装置である。
【００１５】なお、本発明で積載する基板１としては、
吸着して搬送可能なシート状のものであれば特に限定す
るものではなく、例えば、銅張り積層板や、樹脂板や、
セラミック板や、金属板等が挙げられる。
吸着して搬送可能なシート状のものであれば特に限定す
るものではなく、例えば、銅張り積層板や、樹脂板や、
セラミック板や、金属板等が挙げられる。
【００１６】基板搬送手段２０は、基板準備手段１０に
積載された基板１を１枚毎吸着して、上下方向に移動す
る吸着部２２と、その吸着部２２を水平方向に移動させ
て、吸着部２２に吸着されている基板１を、基板積載手
段４０の上部に搬送する搬送部２８とを有しており、吸
着部２２が下方向に移動して基板準備手段１０に積載さ
れた基板１のうち一番上側の基板１を吸着した後、吸着
部２２が上方向に移動して、吸着した基板１を基板準備
手段１０から分離し、次いで、搬送部２８が水平方向に
移動して、吸着部２２に吸着されている基板１を、基板
積載手段４０の上部に搬送した後、吸着部２２が下方向
に移動して基板積載手段４０に基板１０積載し、次いで
吸着部２２の吸着を解除した後、吸着部２２が上方向に
移動し、次いで、搬送部２８が水平方向に移動して、基
板準備手段１０の上部に戻るサイクルを繰り返し行うこ
とによって、基板１を１枚毎吸着して搬送するようにな
っている。なお、吸着部２２に吸着されている基板１
が、基板積載手段４０の上部やや放れた場所に位置して
いるときに吸着部２２の吸着を解除することにより、基
板１を落下させて基板積載手段４０に基板１０を積載す
るようにしても良い。
積載された基板１を１枚毎吸着して、上下方向に移動す
る吸着部２２と、その吸着部２２を水平方向に移動させ
て、吸着部２２に吸着されている基板１を、基板積載手
段４０の上部に搬送する搬送部２８とを有しており、吸
着部２２が下方向に移動して基板準備手段１０に積載さ
れた基板１のうち一番上側の基板１を吸着した後、吸着
部２２が上方向に移動して、吸着した基板１を基板準備
手段１０から分離し、次いで、搬送部２８が水平方向に
移動して、吸着部２２に吸着されている基板１を、基板
積載手段４０の上部に搬送した後、吸着部２２が下方向
に移動して基板積載手段４０に基板１０積載し、次いで
吸着部２２の吸着を解除した後、吸着部２２が上方向に
移動し、次いで、搬送部２８が水平方向に移動して、基
板準備手段１０の上部に戻るサイクルを繰り返し行うこ
とによって、基板１を１枚毎吸着して搬送するようにな
っている。なお、吸着部２２に吸着されている基板１
が、基板積載手段４０の上部やや放れた場所に位置して
いるときに吸着部２２の吸着を解除することにより、基
板１を落下させて基板積載手段４０に基板１０を積載す
るようにしても良い。
【００１７】なお、吸着部２２がやや上昇して、吸着し
た基板１を基板準備手段１０から分離した後、その位置
で多少の時間待機するように設定しておくと、基板準備
手段１０に積載された基板１が静電気等でくっついてい
て２枚以上の基板１が吸着して持ち上げられた場合であ
っても、静電気等でくっついている基板１は自重で落下
するため、基板１を１枚毎に分離することができ好まし
い。
た基板１を基板準備手段１０から分離した後、その位置
で多少の時間待機するように設定しておくと、基板準備
手段１０に積載された基板１が静電気等でくっついてい
て２枚以上の基板１が吸着して持ち上げられた場合であ
っても、静電気等でくっついている基板１は自重で落下
するため、基板１を１枚毎に分離することができ好まし
い。
【００１８】また、吸着部２２には、減圧機２３との接
続を開閉可能な減圧開閉弁２４と、外気を導入可能な外
気導入弁２５とが接続されており、減圧開閉弁２４を開
にして吸着部２２を減圧機２３と接続した場合には、外
気導入弁２５の外気導入を停止して吸着部２２を減圧化
して基板１を吸着し、減圧開閉弁２４を閉にして吸着部
２２と減圧機２３の接続を閉じた場合には、外気導入弁
２５から外気を導入して吸着を解除するようになってい
る。なお、減圧機２３としては、リングブロアー等が挙
げられる。
続を開閉可能な減圧開閉弁２４と、外気を導入可能な外
気導入弁２５とが接続されており、減圧開閉弁２４を開
にして吸着部２２を減圧機２３と接続した場合には、外
気導入弁２５の外気導入を停止して吸着部２２を減圧化
して基板１を吸着し、減圧開閉弁２４を閉にして吸着部
２２と減圧機２３の接続を閉じた場合には、外気導入弁
２５から外気を導入して吸着を解除するようになってい
る。なお、減圧機２３としては、リングブロアー等が挙
げられる。
【００１９】また、搬送部２８に固定されたシリンダー
２６が、吸着部２２と接続して設けられており、シリン
ダー２６を伸縮すると、垂直ガイドレール２７にガイド
されながら吸着部２２が上下方向に移動するようになっ
ている。また、搬送部２８に固定されたモーター（図示
せず）が設けられており、モーターが回転すると、水平
ガイドレール２９にガイドされながら搬送部２８が水平
方向に移動するようになっている。
２６が、吸着部２２と接続して設けられており、シリン
ダー２６を伸縮すると、垂直ガイドレール２７にガイド
されながら吸着部２２が上下方向に移動するようになっ
ている。また、搬送部２８に固定されたモーター（図示
せず）が設けられており、モーターが回転すると、水平
ガイドレール２９にガイドされながら搬送部２８が水平
方向に移動するようになっている。
【００２０】また、基板積載手段４０は、基板１を積載
する積載部４２と、上方向に突出して設けられた端面揃
え部４４とを有しており、図４（ａ）に示すように、基
板搬送手段２０により搬送された基板１を、図４（ｂ）
に示すように、端面揃え部４４からやや離れた位置の、
積載部４２の上側に積載した後、図４（ｃ）に示すよう
に、積載部４２と接続したシリンダー４６を縮めて、積
載部４２及び端面揃え部４４を傾斜させることにより、
積載した基板１を端面揃え部４４側に移動させて、基板
１の端面を端面揃え部４４に当接させ、次いで図４
（ｄ）に示すように、シリンダー４６を伸ばして、積載
部４２の上面を略水平状態に戻すことにより、基板積載
手段４０の上側に積載した複数の基板１の端面を、端面
揃え部４４と当接した位置に揃えるようになっている。
そのため、基板揃え性が優れた積載が可能となってい
る。
する積載部４２と、上方向に突出して設けられた端面揃
え部４４とを有しており、図４（ａ）に示すように、基
板搬送手段２０により搬送された基板１を、図４（ｂ）
に示すように、端面揃え部４４からやや離れた位置の、
積載部４２の上側に積載した後、図４（ｃ）に示すよう
に、積載部４２と接続したシリンダー４６を縮めて、積
載部４２及び端面揃え部４４を傾斜させることにより、
積載した基板１を端面揃え部４４側に移動させて、基板
１の端面を端面揃え部４４に当接させ、次いで図４
（ｄ）に示すように、シリンダー４６を伸ばして、積載
部４２の上面を略水平状態に戻すことにより、基板積載
手段４０の上側に積載した複数の基板１の端面を、端面
揃え部４４と当接した位置に揃えるようになっている。
そのため、基板揃え性が優れた積載が可能となってい
る。
【００２１】なお、この基板積載装置には、図１に示す
ように、基板積載手段４０に積載された基板１の端部に
側方から空気を吹き出す給気手段５０と、基板積載手段
４０の積載部４２を略水平方向に振動させる偏心モータ
ー５５が設けられている。そのため、積載部４２及び端
面揃え部４４を傾斜させたときに基板１が端面揃え部４
４側に移動しやすくなっており、基板１の端面を端面揃
え部４４に確実に当接させることが可能になっている。
このような給気手段５０や偏心モーター５５等を設ける
と、特に基板揃え性が優れた積載が可能となり好まし
い。
ように、基板積載手段４０に積載された基板１の端部に
側方から空気を吹き出す給気手段５０と、基板積載手段
４０の積載部４２を略水平方向に振動させる偏心モータ
ー５５が設けられている。そのため、積載部４２及び端
面揃え部４４を傾斜させたときに基板１が端面揃え部４
４側に移動しやすくなっており、基板１の端面を端面揃
え部４４に確実に当接させることが可能になっている。
このような給気手段５０や偏心モーター５５等を設ける
と、特に基板揃え性が優れた積載が可能となり好まし
い。
【００２２】また、撮像手段６０は、上記の基板揃えが
終了した後、基板積載手段４０に積載されている基板１
の端部を、その基板１の上方から撮像するようになって
いる。そして、その撮像手段６０で撮像した画像を、画
像処理手段７０で画像処理することにより、最上部に積
載した基板１の端面に対応する画像と、その下側に積載
した基板１の端面に対応する画像のずれの大きさを検出
した後、制御手段８０がそのずれの大きさを入力して所
定の基準値と比較し、ずれの大きさが所定の基準値を越
えた場合に、基板積載手段４０の積載部４２及び端面揃
え部４４を傾斜させることにより、基板１を端面揃え部
４４側に移動させて、基板１の端面を端面揃え部４４に
当接させ、次いで積載部４２を略水平に戻す動作を行う
よう基板積載手段４０の動作を制御するようになってい
る。そのため、基板搬送手段２０が基板１を搬送した直
後の基板揃え動作で基板揃えが十分に行えなかった場合
であっても、基板揃えが繰り返して行われるため、特に
基板揃え性が優れた積載が可能となっている。なお、撮
像手段６０としては、ＣＣＤカメラ等が挙げられる。
終了した後、基板積載手段４０に積載されている基板１
の端部を、その基板１の上方から撮像するようになって
いる。そして、その撮像手段６０で撮像した画像を、画
像処理手段７０で画像処理することにより、最上部に積
載した基板１の端面に対応する画像と、その下側に積載
した基板１の端面に対応する画像のずれの大きさを検出
した後、制御手段８０がそのずれの大きさを入力して所
定の基準値と比較し、ずれの大きさが所定の基準値を越
えた場合に、基板積載手段４０の積載部４２及び端面揃
え部４４を傾斜させることにより、基板１を端面揃え部
４４側に移動させて、基板１の端面を端面揃え部４４に
当接させ、次いで積載部４２を略水平に戻す動作を行う
よう基板積載手段４０の動作を制御するようになってい
る。そのため、基板搬送手段２０が基板１を搬送した直
後の基板揃え動作で基板揃えが十分に行えなかった場合
であっても、基板揃えが繰り返して行われるため、特に
基板揃え性が優れた積載が可能となっている。なお、撮
像手段６０としては、ＣＣＤカメラ等が挙げられる。
【００２３】なお、画像処理手段７０で画像処理して画
像のずれの大きさを検出する方法としては、特に限定す
るものではないが、画像を微分処理して基板１の端面に
対応する位置を検出し、その端面に対応する位置の差を
求める方法であると、ずれの大きさを検出する精度が優
れ好ましい。この画像を微分処理して基板１の端面に対
応する位置を検出し、その端面に対応する位置の差を求
める方法としては、例えば図５（ａ）に示すように、基
板１ｄの上に積載した基板１ｕがずれている場合、この
画像を微分処理すると、図５（ｂ）に示すように、基板
１ｄ及び基板１ｕの端面に対応する部分が顕著に検出さ
れ、ずれの大きさが測定可能となる。なお、この微分処
理した画像を更に、図５（ｃ）に示すように、積分処理
してずれの大きさを測定するようにしても良い。
像のずれの大きさを検出する方法としては、特に限定す
るものではないが、画像を微分処理して基板１の端面に
対応する位置を検出し、その端面に対応する位置の差を
求める方法であると、ずれの大きさを検出する精度が優
れ好ましい。この画像を微分処理して基板１の端面に対
応する位置を検出し、その端面に対応する位置の差を求
める方法としては、例えば図５（ａ）に示すように、基
板１ｄの上に積載した基板１ｕがずれている場合、この
画像を微分処理すると、図５（ｂ）に示すように、基板
１ｄ及び基板１ｕの端面に対応する部分が顕著に検出さ
れ、ずれの大きさが測定可能となる。なお、この微分処
理した画像を更に、図５（ｃ）に示すように、積分処理
してずれの大きさを測定するようにしても良い。
【００２４】なお、撮像手段６０が撮像する基板１の端
部にインバーター照明等で光を照射するようにしている
と、基板１ｄ及び基板１ｕの端面に対応する部分が特に
顕著に検出されるため、ずれの大きさの測定の精度が特
に高くなって好ましい。
部にインバーター照明等で光を照射するようにしている
と、基板１ｄ及び基板１ｕの端面に対応する部分が特に
顕著に検出されるため、ずれの大きさの測定の精度が特
に高くなって好ましい。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係る基板積載装置は、上記のよ
うな動作を行うよう形成された基板積載手段を備えるた
め、基板積載手段の上側に積載した複数の基板の端面
を、端面揃え部と当接した位置に揃えることができ、基
板揃え性が優れた積載が可能となる。
うな動作を行うよう形成された基板積載手段を備えるた
め、基板積載手段の上側に積載した複数の基板の端面
を、端面揃え部と当接した位置に揃えることができ、基
板揃え性が優れた積載が可能となる。
【００２６】本発明の請求項２に係る基板積載装置は、
基板を搬送した直後の基板揃え動作で基板揃えが十分に
行えなかった場合であっても、基板揃えが繰り返して行
われるため、特に基板揃え性が優れた積載が可能とな
る。
基板を搬送した直後の基板揃え動作で基板揃えが十分に
行えなかった場合であっても、基板揃えが繰り返して行
われるため、特に基板揃え性が優れた積載が可能とな
る。
【図１】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する正面図である。
明する正面図である。
【図２】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する平面図である。
明する平面図である。
【図３】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する側面図である。
明する側面図である。
【図４】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態の、
動作を説明する工程図である。
動作を説明する工程図である。
【図５】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態の、
画像処理を説明する図である。
画像処理を説明する図である。
１ 基板 １０ 基板準備手段 ２０ 基板搬送手段 ２２ 吸着部 ２３ 減圧機 ２４ 減圧開閉弁 ２５ 外気導入弁 ２６ シリンダー ２７ 垂直ガイドレール ２８ 搬送部 ２９ 水平ガイドレール ４０ 基板積載手段 ４２ 積載部 ４４ 端面揃え部 ４６ シリンダー ５０ 給気手段 ５５ 偏心モーター ６０ 撮像手段 ７０ 画像処理手段 ８０ 制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 帆足 順一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−174041（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−14298（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−142631（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−132972（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−191086（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−130261（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−127130（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−187633（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−65337（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−137662（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−126365（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 57/04 B65H 31/38
Claims (5)
- 【請求項１】 基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬送
する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設け
られた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送され
た基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面揃
え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃え
部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする基板積
載装置。 - 【請求項２】 基板積載手段に積載された基板の端部
を、その基板の上方から撮像する撮像手段と、その撮像
手段で撮像した画像を画像処理して画像のずれの大きさ
を検出する画像処理手段と、その画像処理手段が求めた
ずれの大きさが所定の基準値を越えた場合に、基板積載
手段の積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、
基板を端面揃え部側に移動させて、基板の端面を端面揃
え部に当接させ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行
うよう基板積載手段の動作を制御する制御手段をも備え
ることを特徴とする請求項１記載の基板積載装置。 - 【請求項３】 画像処理手段で画像処理して画像のずれ
の大きさを検出する方法が、画像を微分処理して基板の
端面位置を検出し、その端面位置の差を求める方法であ
ることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板積
載装置。 - 【請求項４】 基板積載手段に積載された基板の端部に
側方から空気を吹き出す給気手段をも備えることを特徴
とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板積
載装置。 - 【請求項５】 基板積載手段の積載部が、振動するよう
形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４
のいずれかに記載の基板積載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29453197A JP3266075B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 基板積載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29453197A JP3266075B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 基板積載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11130259A JPH11130259A (ja) | 1999-05-18 |
| JP3266075B2 true JP3266075B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=17808995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29453197A Expired - Lifetime JP3266075B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 基板積載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3266075B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105773277B (zh) * | 2016-04-13 | 2019-06-07 | 昆山巨闳机械科技有限公司 | 带暂存机构的pp剪片堆叠机 |
| CN107879175A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-06 | 株洲三新包装技术有限公司 | 一种堆码机堆垛用前置拍纸装置 |
-
1997
- 1997-10-27 JP JP29453197A patent/JP3266075B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11130259A (ja) | 1999-05-18 |
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