JP3409664B2 - 基板積載装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板の
製造に用いられる銅張り積層板等の、基板を搬送して積
載する、基板積載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】銅張り積層板等の有機系の基板は、プリ
ント配線板の製造工程において、端面から基板の破片が
生ずると、その破片によって形成しようとする回路が断
線不良となる場合があるため、一般に端面を研磨した
後、使用されている。この端面を研磨する方法として
は、１枚毎に端面を研磨する方法が従来より行われてい
るが、この方法の場合、研磨の生産性が低いため、複数
の基板を重ねた状態で、端面を研磨する方法が検討され
ている。

【０００３】なおこの複数の基板を重ねた状態で研磨す
る方法の場合、最外部に重ねた基板には銅箔等のかえり
が発生しやすいため、複数の基板を重ねたものを当て板
に挟んで研磨することにより、基板にかえりを発生させ
ずに研磨を行う方法が検討されている。

【０００４】この複数の基板と当て板を重ねる方法とし
ては、人力で行う方法や、特開昭６１−１７４０４１号
や特開平４−１４２９８号等に記載されたような、基板
準備手段に積載された基板を１枚毎吸着した後、その吸
着した基板を水平方向に移動させて、所定の位置に搬送
するよう形成された基板積載装置を、基板側と当て板側
に準備して重ねる方法が一般的に行われている。

【０００５】しかしこのような基板積載装置を、基板側
と当て板側に準備して重ねる方法の場合、基板を所定枚
数重ねる間、当て板側の基板積載装置は待機する必要が
あり、積載の効率が低いという問題があった。そのた
め、基板準備手段に積載された基板を１枚毎吸着して所
定の位置に搬送し、積載する基板積載装置であって、積
載効率が優れた積載が可能な基板積載装置が望まれてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を改善するために成されたもので、その目的とするとこ
ろは、基板準備手段に積載された基板を１枚毎吸着して
所定の位置に搬送し、積載する基板積載装置であって、
積載効率が優れた積載が可能な基板積載装置を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
基板積載装置は、基板準備手段に積載された基板を１枚
毎吸着して、積載しようとする所定の位置の上部に搬送
する第一基板搬送手段と、上記基板準備手段に積載され
た基板を１枚毎吸着して、上記所定の位置と同じ位置
の、上部に搬送する第二基板搬送手段と、第一基板搬送
手段及び第一基板搬送手段に吸着されている基板に対し
て、第二基板搬送手段及び第二基板搬送手段に吸着され
ている基板が、非接触な状態を保持するように、第一基
板搬送手段及び第二基板搬送手段の基板を搬送する動作
を制御する基板搬送制御手段と、を備える基板積載装置
であって、第一基板搬送手段に、基板準備手段に積載さ
れた基板を１枚毎吸着して、上下方向に移動する第一吸
着部と、その第一吸着部を水平方向に移動させて、第一
吸着部に吸着されている基板を、積載しようとする所定
の位置の上部に搬送する第一搬送部と、を有すると共
に、第二基板搬送手段に、上記基板準備手段に積載され
た基板を１枚毎吸着して、上下方向に移動する第二吸着
部と、その第二吸着部を水平方向に移動させて、第二吸
着部に吸着されている基板を、上記所定の位置と同じ位
置の、上部に搬送する第二搬送部と、を有する基板積載
装置であって、第一搬送部に固定され、第一吸着部と接
続して設けられたシリンダーを伸縮するとことにより、
第一吸着部が垂直ガイドレールにガイドされながら、上
下方向に移動し、第二搬送部に固定され、第二吸着部と
接続して設けられたシリンダーを伸縮することにより、
第二吸着部が垂直ガイドレールにガイドされながら、上
下方向に移動し、さらに、第一搬送部が水平ガイドレー
ルにガイドされながら水平方向に移動し、第二搬送部が
水平ガイドレールにガイドされながら水平方向に移動す
るようにしていて、さらに、第一吸着部及び第二吸着部
に各々、減圧機と接続可能に形成した吸着穴をそれぞれ
に形成した複数の吸引筒を、吸引筒の長さと、吸引筒か
ら減圧機までの間の配管の長さとの合計がそれぞれ同じ
長さになるように、複数並べて形成した連合吸引筒を有
することを特徴とする。

【０００８】そのため、本発明の請求項１に係る基板積
載装置によると、第一基板搬送手段が往復する１つのサ
イクルで２枚の基板の搬送・積載ができ、積載効率が優
れた積載が可能となる。

【０００９】

【００１０】

【００１１】本発明の請求項２に係る基板積載装置は、
請求項１記載の基板積載装置において、基板を吸着する
方法が、第一基板搬送手段と接続可能に配設すると共に
第二基板搬送手段と接続可能に配設した減圧機と、第一
基板搬送手段と接続可能に配設すると共に外気を導入可
能な第一外気導入弁と、第二基板搬送手段と接続可能に
配設すると共に外気を導入可能な第二外気導入弁と、を
設け、第一基板搬送手段を減圧機と接続した場合には、
第一外気導入弁の外気導入を停止して第一基板搬送手段
を減圧化し、第二基板搬送手段を減圧機と接続した場合
には、第二外気導入弁の外気導入を停止して第二基板搬
送手段を減圧化するよう、第一外気導入弁と第二外気導
入弁を制御して吸着する方法であることを特徴とする。

【００１２】本発明の請求項３に係る基板積載装置は、
請求項１又は請求項２記載の基板積載装置において、当
て板準備手段に積載された当て板を１枚毎吸着して、上
下方向に移動する当て板吸着手段と、その当て板吸着手
段を水平方向に移動させて、当て板吸着手段に吸着され
ている当て板を、上記所定の位置と同じ位置の、上部に
搬送する当て板搬送手段と、第一基板搬送手段及び第一
基板搬送手段に吸着されている基板、並びに、第二基板
搬送手段及び第二基板搬送手段に吸着されている基板に
対して、当て板吸着手段及び当て板吸着手段に吸着され
ている当て板が、非接触な状態を保持するように、当て
板搬送手段の当て板を搬送する動作を制御する当て板搬
送制御手段をも備えることを特徴とする。

【００１３】本発明の請求項４に係る基板積載装置は、
それぞれに開口部を形成した減圧可能な減圧箱を、基板
を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧手段と、
その連合減圧手段の開口部を形成した面に接して、基板
を搬送する方向に移動する穴あき搬送手段とを備え、減
圧箱のうち、穴あき搬送手段を挟んで基板と対向する位
置の減圧箱を順に減圧にすることにより、基板準備手段
に積載された基板を１枚毎吸着して積載しようとする所
定の位置の上部に搬送するよう形成されている基板積載
装置であって、かつ、基板準備手段は、その上部に積載
した基板を上下に動かすことができるように形成されて
おり、上昇して、穴あき搬送手段に基板を接触させて、
穴あき搬送手段に基板を吸着させた後、下降して、吸着
した基板と、その下の基板を分離するようになっている
ことを特徴とする。

【００１４】そのため、本発明の請求項４に係る基板積
載装置によると、穴あき搬送手段に複数の基板を同時に
吸着して搬送することが可能となり、積載効率が優れた
積載が可能となる。

【００１５】本発明の請求項５に係る基板積載装置は、
請求項４記載の基板積載装置において、当て板準備手段
に積載された当て板を１枚毎吸着して、上下方向に移動
する当て板吸着手段と、その当て板吸着手段を水平方向
に移動させて、当て板吸着手段に吸着されている当て板
を、上記所定の位置と同じ位置の、上部に搬送する当て
板搬送手段と、穴あき搬送手段及び穴あき搬送手段に吸
着されている基板に対して、当て板吸着手段及び当て板
吸着手段に吸着されている当て板が、非接触な状態を保
持するように、当て板搬送手段の当て板を搬送する動作
を制御する当て板搬送制御手段をも備えることを特徴と
する。

【００１６】本発明の請求項６に係る基板積載装置は、
請求項１から請求項５のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板準備手段に積載された基板の端部に側面
方向から空気を吹き出す給気手段をも備えることを特徴
とする。

【００１７】本発明の請求項７に係る基板積載装置は、
請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板準備手段に積載された基板の端部を吸着
して持ち上げるめくり手段をも備えることを特徴とす
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明に係る基板積載装置を図面
に基づいて説明する。図１は本発明の請求項１に係る基
板積載装置の一実施の形態を説明する平面図であり、図
２は本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施の形
態を説明する、一部を破断して示した正面図であり、図
３は本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施の形
態を説明する側面図であり、図４は本発明の請求項１に
係る基板積載装置の一実施の形態の、動作を説明する工
程図である。図５は本発明の請求項１に係る基板積載装
置の一実施の形態の、連合吸引筒を一部を破断して示し
た図である。また、図６は本発明の請求項１に係る基板
積載装置の、他の実施の形態を説明する正面図であり、
図７は本発明の請求項１に係る基板積載装置の、更に他
の実施の形態を説明する平面図である。

【００１９】また、図８は本発明の請求項４に係る基板
積載装置の一実施の形態を説明する正面図であり、図９
は本発明の請求項４に係る基板積載装置の一実施の形態
を説明する、一部を破断して示した底面図であり、図１
０は本発明の請求項４に係る基板積載装置の一実施の形
態を説明する側面図である。

【００２０】［本発明の請求項１に係る基板積載装置］
本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施の形態
は、図１，図２及び図３に示すように、搬送しようとす
る基板１を複数積載する基板準備手段１０と、基板準備
手段１０に積載された基板１を１枚毎吸着して、その吸
着した基板１を、積載しようとする所定の位置の上部に
搬送する第一基板搬送手段２０と、上記基板準備手段１
０に積載された基板１を１枚毎吸着して、その吸着した
基板１を、上記所定の位置と同じ位置の、上部に搬送す
る第二基板搬送手段３０と、搬送された基板１を積載す
る基板積載手段４０と、第一基板搬送手段２０及び第二
基板搬送手段３０の基板１を搬送する動作を制御する基
板搬送制御手段５０と、を備える基板積載装置である。
なお、図２は、第二基板搬送手段３０の部分を破断して
示した図である。

【００２１】第一基板搬送手段２０は、基板準備手段１
０に積載された基板１を１枚毎吸着して、上下方向に移
動する第一吸着部２２と、その第一吸着部２２を水平方
向に移動させて、第一吸着部２２に吸着されている基板
１を、基板積載手段４０の上部に搬送する第一搬送部２
８とを有しており、第一吸着部２２が下降して基板準備
手段１０に積載された基板１のうち一番上側の基板１を
吸着した後、第一吸着部２２が上昇して、吸着した基板
１を基板準備手段１０から分離し、次いで、第一搬送部
２８が水平方向に移動して、第一吸着部２２に吸着され
ている基板１を、基板積載手段４０の上部に搬送した
後、第一吸着部２２が下降して基板積載手段４０に基板
１０を積載し、次いで第一吸着部２２の吸着を解除した
後、第一吸着部２２が上昇し、次いで、第一搬送部２８
が水平方向に移動して、基板準備手段１０の上部に戻る
サイクルを繰り返し行うことによって、基板１を１枚毎
吸着して搬送するようになっている。

【００２２】また、第二基板搬送手段３０は、基板準備
手段１０に積載された基板１を１枚毎吸着して、上下方
向に移動する第二吸着部３２と、その第二吸着部３２を
水平方向に移動させて、第二吸着部３２に吸着されてい
る基板１を、基板積載手段４０の上部に搬送する第二搬
送部３８とを有しており、第二吸着部３２が下降して基
板準備手段１０に積載された基板１のうち一番上側の基
板１を吸着した後、第二吸着部３２が上昇して、吸着し
た基板１を基板準備手段１０から分離し、次いで、第二
搬送部３８が水平方向に移動して、第二吸着部３２に吸
着されている基板１を、基板積載手段４０の上部に搬送
した後、第二吸着部３２が下降して基板積載手段４０に
基板１０を積載し、次いで第二吸着部３２の吸着を解除
した後、第二吸着部３２が上昇し、次いで、第二搬送部
３８が水平方向に移動して、基板準備手段１０の上部に
戻るサイクルを繰り返し行うことによって、基板１を１
枚毎吸着して搬送するようになっている。

【００２３】なお、第一吸着部２２や第二吸着部３２が
やや上昇して、吸着した基板１を基板準備手段１０から
分離した後、その位置で多少の時間待機するように設定
しておくと、基板準備手段１０に積載された基板１が静
電気等でくっついていて２枚以上の基板１が吸着して持
ち上げられた場合であっても、静電気等でくっついてい
る基板１は自重で落下するため、基板１を１枚毎に分離
することができ好ましい。

【００２４】また、第一吸着部２２及び第二吸着部３２
には、減圧機２３，３３との接続を開閉可能な減圧開閉
弁２４，３４と、外気を導入可能な外気導入弁２５，３
５とが、それぞれ接続されており、減圧開閉弁２４，３
４を開にして第一吸着部２２又は第二吸着部３２を減圧
機２３，３３と接続した場合には、外気導入弁２５，３
５の外気導入を停止して第一吸着部２２又は第二吸着部
３２を減圧化して基板１を吸着し、減圧開閉弁２４，３
４を閉にして第一吸着部２２又は第二吸着部３２と減圧
機２３，３３の接続を閉じた場合には、外気導入弁２
５，３５から外気を導入して吸着を解除するようになっ
ている。なお、減圧機２３，３３としては、リングブロ
アー等が挙げられる。

【００２５】なお、第一吸着部２２の基板１を吸着する
部分には、図５に示すような、吸着穴２６２をそれぞれ
に形成した複数の吸引筒２６１を複数並べて形成した連
合吸引筒２６が備えられており、吸着穴２６２は減圧機
（２３）と接続可能に形成されている。なおこの連合吸
引筒２６は、吸引筒２６１の長さと、吸引筒２６１から
減圧機までの間の配管２６３の長さとの合計がそれぞれ
同じ長さになるように、複数並べて形成されており、そ
れぞれの吸引筒２６１が吸引する力がほぼ均一になるよ
うになっている。また、配管２６３の接続部付近の角部
は丸くなっており、配管２６３内の空気の流れが乱れて
吸引する力が低下することを防止するようになってい
る。また、第二吸着部３２の基板１を吸着する部分に
も、同様な連合吸引筒２６が備えられている。なお、連
合吸引筒２６の基板１を吸着する面に、ウレタンゴム等
の柔軟性が高いものを張り付けておくと、基板１に傷が
つきにくくなり好ましい。

【００２６】また、第一搬送部２８に固定されたシリン
ダー２２２が、第一吸着部２２と接続して設けられると
共に、第二搬送部３８に固定されたシリンダー２２２
が、第二吸着部３２と接続して設けられている。そし
て、シリンダー２２２を伸縮すると、垂直ガイドレール
２２４にガイドされながら第一吸着部２２や第二吸着部
３２が、上下方向に移動するようになっている。また、
第一搬送部２８に固定されたモーター（図示せず）と、
第二搬送部３８に固定されたモーター（図示せず）が、
それぞれ設けられており、モーターが回転すると、水平
ガイドレール２９，３９にガイドされながら、第一搬送
部２８や第二搬送部３８が水平方向に移動するようにな
っている。

【００２７】なお、上記第一基板搬送手段２０及び第二
基板搬送手段３０が基板１を搬送する動作は、基板搬送
制御手段５０で制御されており、第一基板搬送手段２０
及び第一基板搬送手段２０に吸着されている基板１に対
して、第二基板搬送手段３０及び第二基板搬送手段３０
に吸着されている基板１が、非接触な状態を保持したま
ま、基板１の搬送が繰り返されるようになっている。そ
のため、第一基板搬送手段２０及び第二基板搬送手段３
０が交互に基板１を吸着して搬送することができ、積載
効率が優れた積載が可能となっている。

【００２８】この基板搬送制御手段５０で行う制御とし
ては、例えば、図４に示すように、第一基板搬送手段２
０及び第二基板搬送手段３０を、基板準備手段１０及び
基板積載手段４０の上部・上限位置（以下、Ｈ位置と記
す）と、基板準備手段１０上の基板１や基板積載手段４
０上の基板１と接触する位置（以下、Ｌ位置と記す）
と、Ｈ位置及びＬ位置の中間位置（以下、Ｍ位置と記
す）と、に配置可能に形成しておき、図４（ａ）に示す
ように、第一基板搬送手段２０を基板準備手段１０のＨ
位置に配置すると共に、第二基板搬送手段３０を基板積
載手段４０のＭ位置に配置する。

【００２９】次いで、第一基板搬送手段２０が下降して
基板準備手段１０に積載された基板１を吸着した後、上
昇する間に、第二基板搬送手段３０は上昇して、図４
（ｂ）に示すように、基板１を吸着した第一基板搬送手
段２０を基板準備手段１０のＭ位置に配置すると共に、
第二基板搬送手段３０を基板積載手段４０のＨ位置に配
置する。次いで、第一基板搬送手段２０及び第二基板搬
送手段３０を水平方向に移動させることにより、図４
（ｃ）に示すように、基板１を吸着した第一基板搬送手
段２０を基板積載手段４０のＭ位置に配置すると共に、
第二基板搬送手段３０を基板準備手段１０のＨ位置に配
置する。

【００３０】次いで、第一基板搬送手段２０が下降して
基板積載手段４０に基板１０を積載した後、上昇する間
に、第二基板搬送手段３０は基板準備手段１０に積載さ
れた基板１を吸着した後、上昇して、図４（ｄ）に示す
ように、第一基板搬送手段２０を基板積載手段４０のＨ
位置に配置すると共に、基板１を吸着した第二基板搬送
手段３０を基板準備手段１０のＭ位置に配置する。次い
で、第一基板搬送手段２０及び第二基板搬送手段３０を
水平方向に移動させた後、第二基板搬送手段３０が下降
して基板積載手段４０に基板１０を積載した後、基板積
載手段４０のＭ位置に上昇させ、図４（ａ）に示す状態
に戻るサイクルを繰り返すように制御する。そのため、
第一基板搬送手段２０が往復するこの１サイクルで２枚
の基板１０の搬送・積載ができ、積載効率が優れた積載
が可能となっている。

【００３１】また、基板積載手段４０は、図２に示すよ
うに、基板１を積載する積載部４２と、上方向に突出し
て設けられた端面揃え部４４とを有しており、第一基板
搬送手段２０及び第二基板搬送手段３０により搬送され
た基板１を、端面揃え部４４からやや離れた位置の、積
載部４２の上側に積載した後、積載部４２と接続したシ
リンダー４６を縮めて、積載部４２及び端面揃え部４４
を傾斜させることにより、積載した基板１を端面揃え部
４４側に移動させて、基板１の端面を端面揃え部４４に
当接させ、次いでシリンダー４６を伸ばして、積載部４
２の上面を略水平状態に戻すことにより、基板積載手段
４０の上側に積載した複数の基板１の端面を、端面揃え
部４４と当接した位置に揃えるようになっている。その
ため、基板揃え性が優れた積載が可能となっている。

【００３２】なお、この基板積載装置には、基板準備手
段１０に積載された基板１の端部や、基板積載手段４０
に積載された基板１の端部に側方から空気を吹き出す空
気吹出手段６０が設けられている。そのため、第一吸着
部２２や第二吸着部３２が基板準備手段１０に積載され
た基板１を吸着しようとするときに、基板１が静電気等
でくっついている場合であっても、基板１を１枚毎に分
離することが可能となっていると共に、積載部４２及び
端面揃え部４４を傾斜させたときに、基板１が端面揃え
部４４側に移動しやすくなっており、基板１の端面を端
面揃え部４４に確実に当接させるようになっている。

【００３３】なお、図６に示すような、基板準備手段１
０に積載された基板１の端部を吸着して持ち上げるめく
り手段６５をも備えていると、基板準備手段１０に積載
された基板１が静電気等でくっついている場合であって
も、基板１を１枚毎に吸着して分離することができ好ま
しい。なお、めくり手段６５は、基板準備手段１０に固
着して設けても良く、第一基板搬送手段２０や第二基板
搬送手段３０に固着して設けても良い。

【００３４】このめくり手段６５でめくる方法として
は、例えば、基板１を吸着可能なめくり吸着部６６と、
そのめくり吸着部６６をＬ字型接続部６７を介して上方
向に動かすことを可能に形成した、めくりシリンダー６
８とをめくり手段６５に備え、基板１をめくり吸着部６
６で吸着した後、そのめくり吸着部６６を上方向に動か
すことにより、基板１の端部を斜め方向に持ち上がて行
う。

【００３５】また、この基板積載装置には、図１及び図
２に示すように、搬送しようとする当て板５を複数積載
する当て板準備手段７０と、当て板準備手段７０に積載
された当て板５を１枚毎吸着して、上下方向に移動する
当て板吸着手段７２と、その当て板吸着手段７２を水平
方向に移動させて、当て板吸着手段７２に吸着されてい
る当て板５を、基板積載手段４０の上部に搬送する当て
板搬送手段７４と、当て板搬送手段７４の当て板５を搬
送する動作を制御する当て板搬送制御手段７６をも備え
ており、基板積載手段４０の上部に、基板１と当て板５
を、所定の順番で積載するようになっている。そのた
め、別の基板積載装置を準備することなしに、基板１と
当て板５を、所定の順番で積載することが可能になって
いる。

【００３６】なお、当て板吸着手段７２は、当て板搬送
手段７４に固定された当て板シリンダー７３と接続して
設けられており、当て板シリンダー７３が伸縮すること
によって上下方向に移動するようになっている。また、
当て板搬送手段７４に固定された当て板搬送用モーター
（図示せず）が設けられており、当て板搬送用モーター
が回転すると、水平ガイドレール２９にガイドされなが
ら、当て板搬送手段７４及び当て板吸着手段７２が水平
方向に移動するようになっている。

【００３７】また、当て板搬送手段７４が当て板５を搬
送する動作は、基板搬送制御手段５０と連動した当て板
搬送制御手段７６で制御されており、第一基板搬送手段
２０及び第二基板搬送手段３０が、基板積載手段４０の
上部に存在しないときに、当て板搬送手段７４が基板積
載手段４０の上部に移動して当て板５を搬送するように
なっており、第一基板搬送手段２０及び第一基板搬送手
段２０に吸着されている基板１、並びに、第二基板搬送
手段３０及び第二基板搬送手段３０に吸着されている基
板１に対して、当て板吸着手段７２及び当て板吸着手段
７２に吸着されている当て板５が、非接触な状態を保持
するようになっている。

【００３８】なお、上記の実施の形態は、第一吸着部２
２及び第二吸着部３２に、それぞれ別の減圧機２３，３
３を接続した実施の形態を説明したが、それぞれに配設
しなくても良く、例えば、図７に示すように、１台の減
圧機２３を固定して設けておき、第一吸着部２２及び第
二吸着部３２の両方に接続して吸着するようにしても良
い。

【００３９】この第一吸着部２２及び第二吸着部３２を
１台の減圧機２３と接続して吸着する方法としては、例
えば、パッキンを間に挟んで外気が浸入しないように形
成した二重管等の伸縮可能な伸縮接続管２３１，２３２
と、接続を開閉可能な減圧開閉弁２４，３４とを、それ
ぞれ間に介して、減圧機２３を第一吸着部２２と接続可
能に配設すると共に第二吸着部３２と接続可能に配設
し、更に、第一吸着部２２と接続可能に配設すると共に
外気を導入可能な第一外気導入弁２５と、第二吸着部３
２と接続可能に配設すると共に外気を導入可能な第二外
気導入弁３５とを設る。

【００４０】そして、第一吸着部２２側の減圧開閉弁２
４を開にして第一吸着部２２を減圧機２３と接続した場
合には、第一外気導入弁２５の外気導入を停止して第二
吸着部３２を減圧化し、第二吸着部３２側の減圧開閉弁
３４を開にして第二吸着部３２を減圧機２３と接続した
場合には、第二外気導入弁３５の外気導入を停止して第
二吸着部３２を減圧化するよう、第一外気導入弁２５と
第二外気導入弁３５を制御して、第一吸着部２２及び第
二吸着部３２に基板１を吸着する。この方法の場合、減
圧機２３を基板準備手段１０側に配設しておくと、第一
搬送部２８や第二搬送部３８が基板積載手段４０の方向
に水平移動したときに、伸縮接続管２３１，２３２の内
部体積が増加して、伸縮接続管２３１，２３２の内部の
減圧度が低下するため、基板１を吸着する吸着力が増加
し、搬送途中で基板１を落下することが起きにくくなり
好ましい。

【００４１】なお、本発明で積載する基板１や当て板５
としては、吸着して搬送可能なシート状のものであれば
特に限定するものではなく、例えば、銅張り積層板や、
樹脂板や、セラミック板や、金属板等が挙げられる。

【００４２】［本発明の請求項４に係る基板積載装置］ 本発明の請求項４に係る基板積載装置の一実施の形態
は、図８，図９及び図１０に示すように、搬送しようと
する基板１を複数積載する基板準備手段１０と、基板準
備手段１０に積載された基板１を１枚毎吸着して、その
吸着した基板１を、積載しようとする所定の位置の上部
に搬送する、貫通穴９２を複数形成した穴あき搬送手段
９０と、搬送された基板１を積載する基板積載手段４０
と、搬送しようとする当て板５を複数積載する当て板準
備手段７０と、当て板準備手段７０に積載された当て板
５を１枚毎吸着して、上下方向に移動する当て板吸着手
段７２と、その当て板吸着手段７２を水平方向に移動さ
せて、当て板吸着手段７２に吸着されている当て板５
を、基板積載手段４０の上部に搬送する当て板搬送手段
７４と、当て板搬送手段７４の当て板５を搬送する動作
を制御する当て板搬送制御手段７６とを備える基板積載
装置である。なお、図９は、穴あき搬送手段９０の部分
を底面側から見た図である。

【００４３】なお、穴あき搬送手段９０は、それぞれに
開口部８１を形成すると共に、減圧開閉弁８６を介して
減圧機８４と接続した減圧可能な減圧箱８２，８２・・
を、それぞれの開口部８１が同じ面になるように基板１
を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧手段８０
の、上記開口部８１を形成した面に接して、基板１を搬
送する方向に移動するように形成されており、減圧箱８
２のうち、穴あき搬送手段９０を挟んで基板１と対向す
る位置の減圧箱８２を順に減圧にすることにより、基板
準備手段１０に積載された基板１を１枚毎吸着して基板
積載手段４０の上部に搬送するよう形成されている。そ
のため、穴あき搬送手段９０に複数の基板１を同時に吸
着して搬送することが可能となり、積載効率が優れた積
載が可能となっている。

【００４４】なお、基板準備手段１０は、その上部に積
載した基板１を上下に動かすことができるように形成さ
れており、上昇して、穴あき搬送手段９０に基板１を接
触させて、穴あき搬送手段９０に基板１を吸着させた
後、下降して、吸着した基板１と、その下の基板を分離
するようになっている。また、穴あき搬送手段９０と基
板１の間に少しの隙間が生じる程度まで基板準備手段１
０が上昇した状態で、基板準備手段１０に積載された基
板１の端部に側方から空気を吹き出す空気吹出手段６０
から空気を吹き出して基板１を浮き上がらせ、穴あき搬
送手段９０に基板１を吸着させるようにしても良い。こ
の場合、基板１の表裏面に、動いている穴あき搬送手段
９０と、基板準備手段１０が、同時に接触することがな
くなるため、基板１の表面に傷が付きにくくなり好まし
い。

【００４５】また、基板積載手段４０も、その上部に積
載した基板１を上下に動かすことができるように形成さ
れている。なお、本発明の請求項１に係る基板積載装置
の一実施の形態と同様に、基板１を積載する積載部と、
上方向に突出して設けられた端面揃え部とを形成してお
き、積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、基
板積載手段４０の上側に積載した複数の基板１の端面
を、端面揃え部と当接した位置に揃えるようにしても良
い。

【００４６】なお、当て板吸着手段７２は、当て板搬送
手段７４に固定された当て板シリンダー７３と接続して
設けられており、当て板シリンダー７３が伸縮すること
によって上下方向に移動するようになっている。また、
当て板搬送手段７４に固定された当て板搬送用モーター
（図示せず）が設けられており、当て板搬送用モーター
が回転すると、水平ガイドレール２９にガイドされなが
ら、当て板搬送手段７４及び当て板吸着手段７２が水平
方向に移動するようになっている。

【００４７】また、当て板搬送手段７４が当て板５を搬
送する動作は、基板積載手段４０と連動した当て板搬送
制御手段７６で制御されており、基板積載手段４０の上
に当て板５を積載する前に基板積載手段４０が下降し
て、基板積載手段４０と穴あき搬送手段９０の間に大き
な間隔を開けた後、当て板搬送手段７４が基板積載手段
４０側に移動して、基板積載手段４０の上に当て板５を
積載し、次いで、当て板搬送手段７４が当て板準備手段
７０の方向に移動した後、基板積載手段４０が上昇する
ようになっている。そのため、穴あき搬送手段９０及び
穴あき搬送手段９０に吸着されている基板１に対して、
当て板吸着手段７２及び当て板吸着手段７２に吸着され
ている当て板５が非接触な状態を保持するようになって
いる。

【００４８】

【発明の効果】本発明の請求項１に係る基板積載装置
は、上記のような第一基板搬送手段、第二基板搬送手段
及び基板搬送制御手段を備えているため、積載効率が優
れた積載が可能となる。

【００４９】本発明の請求項４に係る基板積載装置は、
上記のような連合減圧手段及び穴あき搬送手段を備えて
いるため、積載効率が優れた積載が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施
の形態を説明する平面図である。

【図２】本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施
の形態を説明する、一部を破断して示した正面図であ
る。

【図３】本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施
の形態を説明する側面図である。

【図４】本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施
の形態の、動作を説明する工程図である。

【図５】本発明の請求項１に係る基板積載装置の一実施
の形態の、連合吸引筒を一部を破断して示した図であ
る。

【図６】本発明の請求項１に係る基板積載装置の、他の
実施の形態を説明する正面図である。

【図７】本発明の請求項１に係る基板積載装置の、更に
他の実施の形態を説明する平面図である。

【図８】本発明の請求項４に係る基板積載装置の一実施
の形態を説明する正面図である。

【図９】本発明の請求項４に係る基板積載装置の一実施
の形態を説明する、一部を破断して示した底面図であ
る。

【図１０】本発明の請求項４に係る基板積載装置の一実
施の形態を説明する側面図である。

【符号の説明】

１ 基板 ５ 当て板 １０ 基板準備手段 ２０ 第一基板搬送手段 ２２ 第一吸着部 ２３，３３ 減圧機 ２４，３４ 減圧開閉弁 ２５，３５ 外気導入弁 ２６ 連合吸引筒 ２８ 第一搬送部 ２９，３９ 水平ガイドレール ３０ 第二基板搬送手段 ３２ 第二吸着部 ３８ 第二搬送部 ４０ 基板積載手段 ４２ 積載部 ４４ 端面揃え部 ４６ シリンダー ５０ 基板搬送制御手段 ６０ 給気手段 ６５ めくり手段 ６６ めくり吸着部 ６７ Ｌ字型接続部 ６８ めくりシリンダー ７０ 当て板準備手段 ７２ 当て板吸着手段 ７３ 当て板シリンダー ７４ 当て板搬送手段 ７６ 当て板搬送制御手段 ８０ 連合減圧手段 ８１ 開口部 ８２ 減圧箱 ８４ 減圧機 ８６ 減圧開閉弁 ９０ 穴あき搬送手段 ９２ 貫通穴 ２２２ シリンダー ２２４ 垂直ガイドレール ２３１，２３２ 伸縮接続管 ２６１ 吸引筒 ２６２ 吸着穴 ２６３ 配管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 帆足 順一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 特開 平９−100030（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−48076（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−169553（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−77947（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−40581（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−2712（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−165736（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 57/04 B65G 59/04 H05K 13/02

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板準備手段に積載された基板を１枚毎
   吸着して、積載しようとする所定の位置の上部に搬送す
   る第一基板搬送手段と、上記基板準備手段に積載された
   基板を１枚毎吸着して、上記所定の位置と同じ位置の、
   上部に搬送する第二基板搬送手段と、第一基板搬送手段
   及び第一基板搬送手段に吸着されている基板に対して、
   第二基板搬送手段及び第二基板搬送手段に吸着されてい
   る基板が、非接触な状態を保持するように、第一基板搬
   送手段及び第二基板搬送手段の基板を搬送する動作を制
   御する基板搬送制御手段と、を備える基板積載装置であ
   って、第一基板搬送手段に、基板準備手段に積載された
   基板を１枚毎吸着して、上下方向に移動する第一吸着部
   と、その第一吸着部を水平方向に移動させて、第一吸着
   部に吸着されている基板を、積載しようとする所定の位
   置の上部に搬送する第一搬送部と、を有すると共に、第
   二基板搬送手段に、上記基板準備手段に積載された基板
   を１枚毎吸着して、上下方向に移動する第二吸着部と、
   その第二吸着部を水平方向に移動させて、第二吸着部に
   吸着されている基板を、上記所定の位置と同じ位置の、
   上部に搬送する第二搬送部と、を有する基板積載装置で
   あって、第一搬送部に固定され、第一吸着部と接続して
   設けられたシリンダーを伸縮することにより、第一吸着
   部が垂直ガイドレールにガイドされながら、上下方向に
   移動し、第二搬送部に固定され、第二吸着部と接続して
   設けられたシリンダーを伸縮することにより、第二吸着
   部が垂直ガイドレールにガイドされながら、上下方向に
   移動し、さらに、第一搬送部は水平ガイドレールにガイ
   ドされながら水平方向に移動し、第二搬送部は水平ガイ
   ドレールにガイドされながら水平方向に移動するように
   していて、 さらに、 第一吸着部及び第二吸着部に各々、減圧機と接
   続可能に形成した吸着穴をそれぞれに形成した複数の吸
   引筒を、吸引筒の長さと、吸引筒から減圧機までの間の
   配管の長さとの合計がそれぞれ同じ長さになるように、
   複数並べて形成した連合吸引筒を有することを特徴とす
   る基板積載装置。
2. 【請求項２】 基板を吸着する方法が、第一基板搬送手
   段と接続可能に配設すると共に第二基板搬送手段と接続
   可能に配設した減圧機と、第一基板搬送手段と接続可能
   に配設すると共に外気を導入可能な第一外気導入弁と、
   第二基板搬送手段と接続可能に配設すると共に外気を導
   入可能な第二外気導入弁と、を設け、第一基板搬送手段
   を減圧機と接続した場合には、第一外気導入弁の外気導
   入を停止して第一基板搬送手段を減圧化し、第二基板搬
   送手段を減圧機と接続した場合には、第二外気導入弁の
   外気導入を停止して第二基板搬送手段を減圧化するよ
   う、第一外気導入弁と第二外気導入弁を制御して吸着す
   る方法であることを特徴とする請求項１記載の基板積載
   装置。
3. 【請求項３】 当て板準備手段に積載された当て板を１
   枚毎吸着して、上下方向に移動する当て板吸着手段と、
   その当て板吸着手段を水平方向に移動させて、当て板吸
   着手段に吸着されている当て板を、上記所定の位置と同
   じ位置の、上部に搬送する当て板搬送手段と、第一基板
   搬送手段及び第一基板搬送手段に吸着されている基板、
   並びに、第二基板搬送手段及び第二基板搬送手段に吸着
   されている基板に対して、当て板吸着手段及び当て板吸
   着手段に吸着されている当て板が、非接触な状態を保持
   するように、当て板搬送手段の当て板を搬送する動作を
   制御する当て板搬送制御手段をも備えることを特徴とす
   る請求項１又は請求項２記載の基板積載装置。
4. 【請求項４】 それぞれに開口部を形成した減圧可能な
   減圧箱を、基板を搬送する方向に複数並べて形成した連
   合減圧手段と、その連合減圧手段の開口部を形成した面
   に接して、基板を搬送する方向に移動する穴あき搬送手
   段とを備え、減圧箱のうち、穴あき搬送手段を挟んで基
   板と対向する位置の減圧箱を順に減圧にすることによ
   り、基板準備手段に積載された基板を１枚毎吸着して積
   載しようとする所定の位置の上部に搬送するよう形成さ
   れている基板積載装置であって、かつ、基板準備手段
   は、その上部に積載した基板を上下に動かすことができ
   るように形成されており、上昇して、穴あき搬送手段に
   基板を接触させて、穴あき搬送手段に基板を吸着させた
   後、下降して、吸着した基板と、その下の基板を分離す
   るようにしていることを特徴とする基板積載装置。
5. 【請求項５】 当て板準備手段に積載された当て板を１
   枚毎吸着して、上下方向に移動する当て板吸着手段と、
   その当て板吸着手段を水平方向に移動させて、当て板吸
   着手段に吸着されている当て板を、上記所定の位置と同
   じ位置の、上部に搬送する当て板搬送手段と、穴あき搬
   送手段及び穴あき搬送手段に吸着されている基板に対し
   て、当て板吸着手段及び当て板吸着手段に吸着されてい
   る当て板が、非接触な状態を保持するように、当て板搬
   送手段の当て板を搬送する動作を制御する当て板搬送制
   御手段をも備えることを特徴とする請求項４記載の基板
   積載装置。
6. 【請求項６】 基板準備手段に積載された基板の端部に
   側面方向から空気を吹き出す給気手段をも備えることを
   特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の基
   板積載装置。
7. 【請求項７】 基板準備手段に積載された基板の端部を
   吸着して持ち上げるめくり手段をも備えることを特徴と
   する請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板積載
   装置。