KR20190036582A - 시트 이송 장치 및 이를 이용한 시트 이송 방법 - Google Patents

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Abstract

시트 이송 장치는 연속적으로 적층된 둘 이상의 시트들이 안착되는 테이블, 상기 테이블 상에 배치되고, 소정의 압력을 통해 상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 흡착하는 시트 흡착 장치, 및 상기 테이블 상에 배치되고, 상기 시트 흡착 장치에 인접하여 배치되는 공기 배출 장치를 포함한다. 상기 공기 배출 장치는 상기 시트 흡착 장치에 흡착된 상기 제1 시트의 표면에 공기를 배출하여, 상기 제1 시트와 함께 상승된 제2 시트를 분리한다.

Description

시트 이송 장치 및 이를 이용한 시트 이송 방법{SHEET TRANSFERRING APPARATUS AND TRANSFERRING METHOD FOR SHEET USING THE APPARATUS}
본 발명은 시트 이송 장치 및 이를 이용한 시트 이송 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 다층으로 적층된 시트가 연속적으로 이송될 수 있는 시트 이송 장치 및 이를 이용한 시트 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 전자장치를 제조함에 있어서 다양한 패턴을 형성하기 위해 다양한 형태의 개구를 갖는 마스크를 이용한다. 예컨대 유기발광 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는 유기물을 사전설정된 영역에만 증착하는 것이 필요하다. 이를 위해서 해당 사전설정된 영역에 대응하는 개구들을 갖는 마스크를 이용해 증착하게 된다. 따라서 그와 같은 개구들을 갖는 마스크를 제조할 필요가 있다. 마스크는 예컨대 금속 박판의 사전설정된 영역에 레이저빔을 조사하여 개구들을 형성하는 방식으로 제조하게 된다. 마스크를 제조하는 공정 전에는 마스크 원자재인 금속 박판에 대한 사전 품질 검사가 진행될 수 있다.
마스크의 사전 품질 검사 및 제작 공정 전에는 마스크의 원자재인 금속 스틱을 검사하고, 제작 공정 라인까지 이동시키는 공정이 진행된다. 이 때, 금속 스틱의 보호를 위해 금속 스틱 상에는 여러 장의 보호 시트가 적층되고, 검사 공정 및 이동 공정 간 보호 시트와 금속 스틱을 다양한 장치로 이송하는 것이 필요하다.
본 발명의 목적은 다층으로 적층된 시트가 연속적으로 이송될 수 있는 시트 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 이송 공정 간 피이송물의 불량 발생이 억제되고 연속적으로 이송 공정이 진행될 수 있어 공정 시간 및 비용이 절감된 시트 이송 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치는 연속적으로 적층된 둘 이상의 시트들이 안착되는 테이블, 상기 테이블 상에 배치되고, 소정의 압력을 통해 상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 흡착하는 시트 흡착 장치, 및 상기 테이블 상에 배치되고, 상기 시트 흡착 장치에 인접하여 배치되는 공기 배출 장치를 포함한다. 상기 공기 배출 장치는 상기 시트 흡착 장치에 흡착된 상기 제1 시트의 표면에 공기를 배출한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치는 상기 시트 흡착 장치 및 상기 공기 배출 장치를 상하로 이동시키는 승강 유닛을 더 포함할 수 있다. 상기 승강 유닛은 제1 방향으로 연장된 장축 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장된 단축을 포함하는 지지부, 및 상기 지지부를 상하로 이동시키는 승강부를 포함할 수 있다.
상기 시트 흡착 장치는 상기 지지부에 연결되어 상기 제1 방향으로 서로 이격되어 배치되고, 상기 지지부의 장축 방향 외측에 각각 배치되는 제1 시트 흡착 장치 및 제2 시트 흡착 장치를 포함할 수 있다.
상기 공기 배출 장치는 상기 제1 시트 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제1 공기 배출 장치 및 제2 공기 배출 장치, 및 상기 제2 시트 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제3 공기 배출 장치 및 제4 공기 배출 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에서 상기 테이블 상에는 금속 스틱이 더 안착될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에서 상기 테이블 상에 배치된 상기 금속 스틱, 상기 금속 스틱 상에 배치되는 제2 시트, 및 상기 제2 시트 상에 배치되는 상기 제1 시트가 순차적으로 적층될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치는 상기 금속 스틱을 흡착하고, 상기 시트 흡착 장치에 비해 상기 지지부의 장축 방향 내측에 배치되는 스틱 흡착 장치를 더 포함할 수 있다.
상기 스틱 흡착 장치는 상기 제1 방향으로 이격되어 배치되는 제1 스틱 흡착 장치 및 제2 스틱 흡착 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치는 상기 스틱 흡착 장치에 인접하게 배치되는 보조 공기 배출 장치를 더 포함할 수 있다. 상기 보조 공기 배출 장치는 상기 제1 스틱 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제5 공기 배출 장치 및 제6 공기 배출 장치, 및 상기 제2 스틱 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제7 공기 배출 장치 및 제8 공기 배출 장치를 포함할 수 있다.
상기 시트 흡착 장치 및 상기 스틱 흡착 장치는 25 cm 이상 30 cm 이하로 이격되어 배치될 수 있다.
상기 시트 흡착 장치 및 상기 공기 배출 장치는 40 mm 이상 60 mm 이하로 이격되어 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법은 테이블 상에 둘 이상의 시트들이 연속적으로 적층되는 단계, 및 상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 이송하는 단계를 포함한다. 상기 제1 시트를 이송하는 단계는 시트 흡착 장치에서 제1 압력으로 흡착하여 상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 흡착하는 단계, 상기 제1 시트를 소정의 높이로 상승시키는 단계, 및 상기 시트 흡착 장치에 인접한 공기 배출 장치에서 공기를 배출하여, 상기 흡착된 제1 시트와 함께 상승된 제2 시트를 분리하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법은 상기 시트들이 적층되는 단계 이전에 상기 테이블 상에 금속 스틱이 안착되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 테이블 상에는 상기 금속 스틱, 상기 제2 시트, 및 상기 제1 시트가 순차적으로 적층될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법은 상기 제1 시트를 분리하는 단계 이후에, 상기 시트 흡착 장치에서 상기 제2 시트를 상기 제1 압력으로 흡착하고 상승시켜 상기 제2 시트를 이송하는 단계, 및 상기 시트 흡착 장치와 이격된 스틱 흡착 장치에서 상기 금속 스틱을 상기 제1 압력보다 작은 제2 압력으로 흡착하고 상승시켜 상기 금속 스틱을 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 시트 흡착 장치는 제1 방향으로 이격된 제1 시트 흡착 장치 및 제2 시트 흡착 장치를 포함할 수 있다. 상기 스틱 흡착 장치는 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 시트 흡착 장치 및 상기 제2 시트 흡착 장치 사이에 배치되는 제1 스틱 흡착 장치 및 제2 스틱 흡착 장치를 포함할 수 있다.
상기 공기 배출 장치는 상기 제1 시트 흡착 장치 및 상기 제1 스틱 흡착 장치에 인접한 제1 공기 배출부, 상기 제1 시트 흡착 장치 및 상기 제1 스틱 흡착 장치에 인접하고, 상기 제1 공기 배출부와 상기 제2 방향으로 나란한 제2 공기 배출부, 상기 제2 시트 흡착 장치 및 상기 제2 스틱 흡착 장치에 인접하고, 상기 제1 공기 배출부와 상기 제1 방향으로 나란한 제3 공기 배출부, 및 상기 제2 시트 흡착 장치 및 상기 제2 스틱 흡착 장치에 인접하고, 상기 제2 공기 배출부와 상기 제1 방향으로 나란한 제4 공기 배출부를 포함할 수 있다.
상기 제2 시트를 분리하는 단계는 상기 제1 공기 배출부 및 상기 제4 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계, 및 상기 제2 공기 배출부 및 상기 제3 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제1 공기 배출부 및 상기 제4 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계 및 상기 제2 공기 배출부 및 상기 제3 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계는 서로 교번하여 반복적으로 수행될 수 있다.
상기 제1 공기 배출부 및 상기 제4 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계 및 상기 제2 공기 배출부 및 상기 제3 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계는 10회 이상 20회 이하 교번하여 반복적으로 수행될 수 있다.
상기 제2 시트를 분리하는 단계는 상기 제1 시트가 20 mm 이상 35 mm 이하로 상승되었을 때 수행되기 시작할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에 따르면, 피이송물인 시트의 불량 발생 없이 연속적으로 시트가 이송될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에 따르면, 이송 공정 간 피이송물의 불량 및 손상 발생 없이 연속 공정을 통해 시트가 이송될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시트 이송 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치를 아래에서 본 평면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치의 일부 구성을 도시한 사시도이다.
도 4b는 도 4a에 도시된 일부 구성의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치의 피이송물의 적층 구조를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 일부 단계를 도시한 사시도들이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 일부 단계를 아래에서 본 평면도들이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합 된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시트 이송 장치의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치의 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치를 아래에서 본 평면도이다. 이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에 대해 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치(10)는 테이블(100), 및 흡착 및 방출 유닛(201, 202)을 포함한다.
테이블(100) 상에는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치(10)에 의해 이송되는 피이송물(400)이 안착된다. 테이블(100) 상에는 연속적으로 적층된 둘 이상의 시트가 안착된다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이 테이블(100) 상에는 제1 시트(411) 및 제2 시트(412)가 연속적으로 적층되어 안착될 수 있다. 다만 이에 한정되지 않고, 테이블(100) 상에는 셋 이상의 시트가 연속적으로 적층되어 안착될 수 있다.
테이블(100) 상에는 금속 스틱(420)이 더 안착될 수 있다. 금속 스틱(420)은 테이블(100) 상에서, 연속적으로 적층된 시트들(411, 412) 하부에 배치될 수 있다. 테이블(100) 상에는 금속 스틱(420), 제2 시트(412), 및 제1 시트(411)가 순차적으로 적층된 것일 수 있다.
테이블(100) 상에 배치된 시트들(411, 412)은 얇은 두께를 가져 플렉서블(flexible)한 성질을 가지는 종이일 수 있다. 보다 구체적으로, 테이블(100) 상에 배치된 시트들(411, 412)은 하부에 배치되는 금속 스틱(420)을 보호하기 위해 배치되는 보호용 간지(間紙)일 수 있다. 테이블(100) 상에 배치된 시트들(411, 412)은 화학 물질로 코팅된 보호용 간지일 수 있다.
테이블(100) 상에 안착된 피이송물(400)은 평면상에서 직사각형 형상일 수 있다. 피이송물(400)은 평면상에서 제1 방향(DR1)으로 장변을 가지고, 제1 방향(DR1)에 교차하는 제2 방향(DR2)으로 단변을 가진 직사각형 형상을 가질 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 테이블(100) 상에 안착된 제1 시트(411), 제2 시트(412), 및 금속 스틱(420)은 평면상에서 제1 방향(DR1)으로 장변, 제2 방향(DR2)으로 단변을 가지는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 피이송물(400)은 다양한 형상을 가질 수 있다.
흡착 및 방출 유닛(201, 202)은 테이블(100) 상에 배치된다. 흡착 및 방출 유닛(201, 202)은 복수 개일 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 흡착 및 방출 유닛은 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)을 포함할 수 있다. 피이송물(400)이 직사각형 형상을 가질 경우, 다시 말해서, 테이블(100) 상에 안착된 제1 시트(411)가 직사각형 형상을 가질 경우, 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 제1 시트(411)의 장변 방향 끝단에 배치될 수 있다. 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 제1 시트(411)의 장변의 연장 방향인 제1 방향(DR1)을 따라 이격되어, 제1 시트(411)의 단변에 인접하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치(10)는 흡착 및 방출 유닛(201, 202)이 연결된 승강 유닛(300)을 더 포함할 수 있다. 승강 유닛(300)은 지지부(301) 및 승강부(302)를 포함할 수 있다. 승강 유닛(300)은 흡착 및 방출 유닛(201, 202)을 상하로 이동시키는 장치일 수 있다.
지지부(301)는 평면상에서 테이블(100) 상에 안착된 피이송물(400)의 평면상 형상에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 지지부(301)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 장축 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단축을 가지는 직사각형 형상일 수 있다. 지지부(301)에는 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)이 연결될 수 있다. 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 지지부(301)의 장축 방향 끝단에 각각 연결될 수 있다. 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 지지부(301)의 단축에 인접하도록 각각 연결될 수 있다.
승강부(302)는 지지부(301) 상부에 배치되어, 지지부(301)를 상하로 이동시키는 장치일 수 있다. 승강부(302)는 지지부(301)에 연결된 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202)을 상하로 이동시키는 장치일 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202) 각각은 시트 흡착 장치 및 공기 배출 장치를 포함한다. 제1 흡착 및 방출 유닛(201)은 제1 시트 흡착 장치(211)를 포함할 수 있다. 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 제2 시트 흡착 장치(212)를 포함할 수 있다.
제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 제1 방향(DR1)으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 지지부(301)에 연결되어, 지지부(301)의 장축 방향 외측에 각각 배치될 수 있다. 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 지지부(301)의 장축 방향 최외측에 각각 배치될 수 있다.
제1 흡착 및 방출 유닛(201)은 제1 공기 배출 장치(221) 및 제2 공기 배출 장치(222)를 포함할 수 있다. 제1 공기 배출 장치(221) 및 제2 공기 배출 장치(222)는 제1 시트 흡착 장치(211)를 사이에 두고, 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다. 제1 시트 흡착 장치(211), 제1 공기 배출 장치(221) 및 제2 공기 배출 장치(222)는 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다.
제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 제3 공기 배출 장치(223) 및 제4 공기 배출 장치(224)를 포함할 수 있다. 제3 공기 배출 장치(223) 및 제4 공기 배출 장치(224)는 제2 시트 흡착 장치(212)를 사이에 두고, 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다. 제2 시트 흡착 장치(212), 제3 공기 배출 장치(223) 및 제4 공기 배출 장치(224)는 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다.
복수의 공기 배출 장치들은 시트 흡착 장치에 인접하여 배치된다. 구체적으로, 제1 공기 배출 장치(221) 및 제2 공기 배출 장치(222)는 제1 시트 흡착 장치(211)에 인접하게 배치되고, 제3 공기 배출 장치(223) 및 제4 공기 배출 장치(224)는 제2 시트 흡착 장치(212)에 인접하게 배치될 수 있다.
제1 흡착 및 방출 유닛(201)과 제2 흡착 및 방출 유닛(202) 각각은 스틱 흡착 장치를 더 포함할 수 있다. 제1 흡착 및 방출 유닛(201)은 제1 스틱 흡착 장치(231)를 포함할 수 있다. 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 제2 스틱 흡착 장치(232)를 포함할 수 있다.
제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)는 제1 방향(DR1)으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)는 지지부(301)에 연결되어, 시트 흡착 장치에 비해 지지부(301)의 장축 방향 내측에 각각 배치될 수 있다. 제1 스틱 흡착 장치(231)는 제1 시트 흡착 장치(211)에 비해 지지부(301)의 장축 방향 내측에 배치되고, 제2 스틱 흡착 장치(232)는 제2 시트 흡착 장치(212)에 비해 지지부(301)의 장축 방향 내측에 배치될 수 있다. 즉, 제1 방향(DR1)을 따라서, 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212) 사이의 거리가 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232) 사이의 거리에 비해 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치(10)에서는, 스틱 흡착 장치에 인접한 보조 공기 배출 장치가 더 포함될 수 있다. 구체적으로, 제1 흡착 및 방출 유닛(201)은 제1 스틱 흡착 장치(231)에 인접하여 배치되는 제5 공기 배출 장치(225) 및 제6 공기 배출 장치(226)을 포함하고, 제2 흡착 및 방출 유닛(202)은 제2 스틱 흡착 장치(232)에 인접하여 배치되는 제7 공기 배출 장치(227) 및 제8 공기 배출 장치(228)을 포함할 수 있다.
제5 공기 배출 장치(225) 및 제6 공기 배출 장치(226)는 제1 스틱 흡착 장치(231)를 사이에 두고, 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다. 제1 스틱 흡착 장치(231), 제5 공기 배출 장치(225) 및 제6 공기 배출 장치(226)는 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다.
제7 공기 배출 장치(227) 및 제8 공기 배출 장치(228)는 제2 스틱 흡착 장치(232)를 사이에 두고, 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다. 제2 스틱 흡착 장치(232), 제7 공기 배출 장치(227) 및 제8 공기 배출 장치(228)는 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치(10)에서, 시트 흡착 장치에는 공기 배출 장치가 인접하게 배치되고, 스틱 흡착 장치에는 보조 공기 배출 장치가 인접하게 배치될 수 있다. 본 명세서에서 "인접하게 배치" 된다는 것은 두 구성의 간격이 약 70mm 이하로 작게 배치되는 것을 의미할 수 있다. 시트 흡착 장치에는 공기 배출 장치가 약 40 mm 이상 약 60 mm 이하로 이격되어 배치될 수 있고, 스틱 흡착 장치에는 보조 공기 배출 장치가 약 40 mm 이상 약 60 mm 이하로 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 3을 참조하면, 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제1 공기 배출 장치(221)의 간격(d1)이 약 40 mm 이상 약 60 mm 이하인 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치(10)에서, 시트 흡착 장치와 스틱 흡착 장치는 서로 이격되어 배치될 수 있다. 스틱 흡착 장치는 시트 흡착 장치로부터 이격되어, 지지부(301)의 장축 방향에서 시트 흡착 장치보다 내측에 연결될 수 있다. 시트 흡착 장치와 스틱 흡착 장치는 약 20cm 이상으로 이격되어 배치될 수 있다. 시트 흡착 장치와 스틱 흡착 장치는 약 25cm 이상 약 30 cm 이하로 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 3을 참조하면, 제1 시트 흡착 장치(221) 및 제1 스틱 흡착 장치(231)의 간격(d2)이 약 25cm 이상 약 30 cm 이하로 이격되어 배치될 수 있다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치의 일부 구성을 도시한 사시도이다. 도 4b는 도 4a에 도시된 일부 구성의 측면도이다. 도 4a 및 도 4b에서는 본 발명의 일 실시에에 따른 시트 이송 장치에 포함되는 제1 흡착 및 방출 유닛(201)을 도시하였다. 이하에서는 도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 흡착 및 방출 유닛(201)에 대해 설명한다. 도 4a 및 도 4b에서는 제1 흡착 및 방출 유닛(201)만을 예시적으로 도시하였으나, 제2 흡착 및 방출 유닛의 경우에도 도 4a 및 도 4b에 관련된 설명이 동일하게 적용될 수 있다. 한편, 도 1 내지 3에서 설명한 바와 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제1 흡착 및 방출 유닛(201)은 시트 흡착 장치, 스틱 흡착 장치, 및 복수의 공기 배출 장치들과 복수의 보조 공기 배출 장치들을 포함한다. 제1 흡착 및 방출 유닛(201)은 제1 시트 흡착 장치(211), 제1 스틱 흡착 장치(231), 제1 공기 배출 장치(221), 제2 공기 배출 장치(222), 제5 공기 배출 장치(225), 및 제6 공기 배출 장치(226)을 포함할 수 있다.
공기 배출 장치 및 보조 공기 배출 장치는 시트 흡착 장치 및 스틱 흡착 장치에 비해, 테이블(100: 도 1 참조)을 향해 연장된 길이가 짧을 수 있다. 구체적으로, 공기 배출 장치 및 보조 공기 배출 장치는 시트 흡착 장치 및 스틱 흡착 장치에 비해 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 교차하는 제3 방향(DR3)으로 연장되는 길이가 짧은 것일 수 있다. 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제1 공기 배출 장치(221), 제2 공기 배출 장치(222), 제5 공기 배출 장치(225), 및 제6 공기 배출 장치(226)는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제1 스틱 흡착 장치(231)에 비해 제3 방향(DR3)으로 연장되는 길이가 짧을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에서는, 공기 배출 장치 및 보조 공기 배출 장치가 시트 흡착 장치에 비해 테이블 방향으로 연장된 길이가 짧을 수 있다. 이에 따라, 시트 흡착 장치에 의해 피이송물인 최상단의 시트가 흡착되었을 때, 공기 배출 장치 및 보조 공기 배출 장치는 시트에 접촉하지 않고 소정의 간격을 두고 이격되어 있을 수 있다. 이에 따라, 공기 배출 장치 및 보조 공기 배출 장치에 의해 흡착된 시트의 표면에 공기가 배출될 때, 흡착된 시트에 물리적인 손상을 가하지 않고 공기를 가하여 시트에 진동을 발생시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치의 피이송물의 적층 구조를 도시한 사시도이다. 이하에서는 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치가 이송하는 피이송물의 적층 구조에 대해 살펴본다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치가 이송하는 피이송물은 복수의 시트들 및 금속 스틱들이 적층된 것일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치가 이송하는 피이송물은 두 장의 시트들 및 금속 스틱이 적층된 시트-금속 스틱 적층체가 복수 개로 적층된 구조일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치가 이송하는 피이송물은 제1 시트(411-1), 제2 시트(412-1), 및 금속 스틱(420-1)이 순차적으로 적층된 시트-금속 스틱 적층체(400-1)를 포함할 수 있다. 도 1 및 도 2 등에서는 테이블(100: 도 1 참조) 상에 시트-금속 스틱 적층체가 한 단위 포함되는 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 시트-금속 스틱 적층체는 복수개로 포함될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 시트-금속 스틱 적층체(400-1, 400-n)는 복수개의 단위가 순차적으로 적층된 것일 수 있다. 시트-금속 스틱 적층체(400-1, 400-n)는 2개 이상 10개 이하의 단위가 순차적으로 적층된 것일 수 있다(n은 2 이상 10 이하의 정수).
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치를 이용한 시트 이송 방법에 대해서 설명한다. 한편, 앞서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 설명과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여하고 중복된 설명은 생략한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다. 도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법은 테이블 상에 둘 이상의 시트들이 연속적으로 적층되는 단계(S100), 및 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 이송하는 단계(S200)를 포함한다. 제1 시트를 이송하는 단계(S200)는 시트 흡착 장치를 통해 제1 시트를 흡착하는 단계(S210), 제1 시트를 소정의 높이로 상승시키는 단계(S220), 및 제1 시트와 함께 상승된 제2 시트를 분리하는 단계(S230)를 포함한다.
도 6 및 도 7a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 테이블(100) 상에 둘 이상의 시트들이 연속적으로 적층되는 단계(S100)를 포함한다. 테이블(100) 상에는 제1 시트(411) 및 제2 시트(412)가 적층될 수 있다. 제1 시트(411) 및 제2 시트(412)는 연속적으로 적층되어, 서로 접촉하도록 적층될 수 있다. 도 7a에서는 제1 시트(411) 및 제2 시트(412)가 연속적으로 적층된 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 테이블(100) 상에는 셋 이상의 시트가 연속적으로 적층될 수 있다.
도 7a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 시트들이 적층되는 단계 이전에, 테이블(100) 상에 금속 스틱(420)이 안착되는 단계를 포함할 수 있다. 금속 스틱(420)은 테이블(100) 상에 안착되어, 연속적으로 적층된 제1 시트(411) 및 제2 시트(412) 하부에 안착될 수 있다. 이에 따라, 테이블(100) 상에는 금속 스틱(420), 제2 시트(412), 및 제1 시트(411)가 순차적으로 적층된 것일 수 있다.
도 6, 및 도 7b 내지 도 7d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트(411)를 이송하는 단계(S200)를 포함한다.
도 6 및 도 7b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트(411)를 흡착하는 단계(S210)를 포함한다. 제1 시트(411)는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서 소정의 압력을 통해 흡착된다. 제1 시트(411)는 제1 압력을 통해 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에 흡착된다. 제1 압력은 약 35kpa 이상 약 40 kpa 이하일 수 있다.
도 6 및 도 7c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 제1 시트(411)를 소정의 높이(h)로 상승시키는 단계(S220)를 포함한다. 제1 시트(411)는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서 제1 압력을 통해 흡착된 상태에서, 승강 유닛(300)의 승강부(302)의 동작에 따라 소정의 높이(h)까지 상승할 수 있다.
도 7c에 도시된 바와 같이, 제1 시트(411)가 소정의 높이(h)까지 상승할 때, 제2 시트(412)가 상승하는 제1 시트(411)와 함께 상승될 수 있다(A). 제2 시트(412)는 제1 시트(411)와 동일한 종이 재질을 가질 수 있어, 연속적으로 적층된 제1 시트(411)와 제2 시트(412) 사이에 정전기적 인력이 작용할 수 있다. 이에 따라, 제1 시트(411)가 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서 제1 압력을 통해 흡착된 상태에서 승강부(302)의 동작에 따라 상승될 경우, 정전기적 인력에 의해 제2 시트(412)의 일부가 제1 시트(411)의 하면에 함께 상승되어, 제2 시트(412)가 휘어진 형상을 가지게 될 수 있다(A).
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 제1 시트(411)와 함께 상승된 제2 시트(412)를 분리하기 위해, 시트 흡착 장치에 인접한 공기 배출 장치에서 공기를 배출하는 단계(S230)를 포함한다. 공기 배출 장치에서 공기를 배출함에 따라, 제1 시트(411)의 표면에 공기 방출에 따른 외력이 작용하고, 이에 따라 제1 시트(411) 및 제2 시트(412) 사이에서 작용되는 정전기적 인력이 제거되고, 함께 상승된 제2 시트(412)가 분리되어 하강할 수 있다. 공기 배출 장치에서 공기를 배출하여 제2 시트(412)를 분리하는 단계는 제1 시트(411)가 소정의 높이(h)까지 상승되었을 때 수행되기 시작할 수 있다. 구체적으로, 공기 배출 장치에서 공기를 배출하여 제2 시트(412)를 분리하는 단계는 제1 시트(411)가 약 20 mm 이상 약 35 mm 이하로 상승되었을 때 수행되기 시작할 수 있다. 제2 시트(412)를 분리하는 단계(S230)에 대해서는, 후술하는 도 8a 내지 도 9b에 대한 설명에서 보다 상세히 설명한다.
도 7d를 참조하면, 제1 시트(411)와 함께 상승된 제2 시트(412)가 분리된 후, 제1 시트(411)는 승강 유닛(300)의 승강부(302)에 의해 추가적으로 상승될 수 있다. 제1 시트(411)는 승강부(302)의 동작에 의해 상승되어 다른 위치로 이송될 수 있다.
도 7e 및 도 7f를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법은 제1 시트를 이송하는 단계 이후에, 제2 시트(412)를 이송하는 단계 및 금속 스틱(420)을 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
도 7e에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 제1 시트가 이송된 후, 제1 시트를 이송하는 단계에서 동작한 시트 흡착 장치를 이용하여, 제2 시트(412)를 이송하는 단계를 포함할 수 있다. 제2 시트(412)는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서 소정의 압력을 통해 흡착되어 이송될 수 있다. 제2 시트(412)는 제1 시트를 흡착하는데 적용된 제1 압력을 통해 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에 흡착될 수 있다. 제1 압력은 약 35kpa 이상 약 40 kpa 이하일 수 있다.
도 7f에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 제2 시트가 이송된 후, 금속 스틱(420)을 이송하는 단계를 포함할 수 있다. 금속 스틱(420)은 제1 시트를 이송하는 단계 및 제2 시트를 이송하는 단계에서 동작한 시트 흡착 장치에 의해 흡착되지 않고, 스틱 흡착 장치에 의해 흡착되어 이송될 수 있다. 금속 스틱(420)은 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에 비해 지지부(301)의 내측에 각각 배치된 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)에 의해 흡착되어 이송될 수 있다. 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)는 제2 압력을 통해 금속 스틱(420)을 흡착할 수 있다. 제2 압력은 약 15kpa 이상 약 25kpa 이하일 수 있다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 일부 단계를 도시한 사시도들이다. 도 8a 내지 도 8c에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법 중 시트 흡착 장치 또는 스틱 흡착 장치를 통해 피이송물을 흡착하고, 공기 배출 장치를 통해 피이송물의 표면에 공기를 배출하는 단계를 도시하였다. 이하에서는 도 8a 내지 도 8c를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서 제1 시트(411)를 이송하는 단계 및 금속 스틱(420)을 이송하는 단계 중 일부 단계에 대해서 보다 자세히 설명한다.
도 8a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 제1 시트(411)를 이송하는 단계에서, 시트 흡착 장치에 의해 제1 시트(411)가 흡착된다. 시트 흡착 장치는 제1 시트 흡착 장치(211), 및 제2 시트 흡착 장치(212)를 포함할 수 있다.
제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 각각 독립적으로 제1 압력을 통해 제1 시트(411)를 흡착할 수 있다. 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 동일한 압력으로 제1 시트(411)를 흡착할 수 있다. 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 약 35kpa 이상 약 40 kpa 이하의 압력으로 제1 시트(411)를 흡착할 수 있다.
제1 시트(411)를 흡착하는 단계에서, 스틱 흡착 장치는 동작하지 않을 수 있다. 구체적으로, 제1 시트(411)를 흡착하는 단계에서는 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)에서는 별도의 압력을 통한 흡착이 수행되지 않고, 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서만 제1 압력을 통해 제1 시트(411)를 흡착하는 것일 수 있다.
한편, 도 8a에서는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)를 통해 제1 시트(411)가 흡착되는 것을 예시적으로 도시하였으나, 제2 시트(412: 도 7e 참조)가 흡착되는 경우에도 동일한 설명이 적용될 수 있다. 다시 말해서, 제2 시트를 이송하는 단계의 경우에도, 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서 동일한 제1 압력을 통해 제2 시트를 흡착할 수 있다. 제2 시트를 흡착하는 단계에서 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)는 약 35kpa 이상 약 40 kpa 이하의 압력으로 제2 시트를 흡착할 수 있다.
도 8b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 제1 시트(411)를 이송하는 단계에서, 공기 배출 장치에 의해 제1 시트(411)의 표면에 공기가 배출된다. 제1 시트(411)의 표면에 공기가 배출됨으로써, 제1 시트(411)와 함께 상승된 다른 피이송물이 분리될 수 있다. 구체적으로, 제1 시트(411)가 시트 흡착 장치에 의해 흡착되어 상승됨에 따라, 제1 시트(411)의 하부에 배치된 제2 시트가 정전기적 인력 등에 의해 함께 상승될 경우, 제1 시트(411)의 표면에 공기가 배출됨으로써 제1 시트(411)에 진동을 가하고, 이에 따라 제1 시트(411)의 하부에서 함께 상승된 제2 시트와의 정전기적 인력이 제거되어 제2 시트가 분리될 수 있다. 공기 배출 장치에 의해 배출되는 공기는 압축 공기일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 제1 시트(411)를 이송하는 단계에서, 제1 공기 배출 장치(221), 제2 공기 배출 장치(222), 제3 공기 배출 장치(223), 및 제4 공기 배출 장치(224)에 의해 제1 시트(411)의 표면에 공기가 배출될 수 있다. 또한, 제1 시트(411)를 이송하는 단계에서는 스틱 흡착 장치에 인접하게 배치된 보조 공기 배출 장치에서 제1 시트(411)의 표면에 공기가 배출될 수 있다. 보조 공기 배출 장치는 제5 공기 배출 장치(215), 제6 공기 배출 장치(216), 제7 공기 배출 장치(217), 및 제8 공기 배출 장치(218)를 포함할 수 있다.
공기 배출 장치 및 보조 공기 배출 장치는 제1 시트(411)를 이송하는 단계에서만 작동하여 제1 시트(411)의 표면에 공기를 배출하고, 제2 시트를 이송하는 단계 및 금속 스틱을 이송하는 단계에서는 작동하지 않을 수 있다. 제1 공기 배출 장치(221) 내지 제8 공기 배출 장치(228)는 제2 시트를 이송하는 단계 및 금속 스틱을 이송하는 단계에서, 제2 시트 및 금속 스틱의 표면에 공기를 배출하지 않는 것일 수 있다.
도 8c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 금속 스틱(420)을 이송하는 단계에서, 스틱 흡착 장치에 의해 금속 스틱(420)이 흡착된다. 스틱 흡착 장치는 제1 스틱 흡착 장치(231), 및 제2 스틱 흡착 장치(232)를 포함할 수 있다.
제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)는 각각 독립적으로 제2 압력을 통해 금속 스틱(420)를 흡착할 수 있다. 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)는 동일한 압력으로 금속 스틱(420)을 흡착할 수 있다. 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)는 약 15kpa 이상 약 25 kpa 이하의 압력으로 금속 스틱(420)을 흡착할 수 있다.
금속 스틱(420)을 흡착하는 단계에서, 시트 흡착 장치는 동작하지 않을 수 있다. 구체적으로, 금속 스틱(420)을 흡착하는 단계에서는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제2 시트 흡착 장치(212)에서는 별도의 압력을 통한 흡착이 수행되지 않고, 제1 스틱 흡착 장치(231) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)에서만 제2 압력을 통해 금속 스틱(420)을 흡착하는 것일 수 있다.
둘 이상의 시트가 연속적으로 적층된 시트의 이송 방법에 있어서, 시트 흡착 장치에 의해 최상단의 시트가 흡착되어 상승될 경우, 최상단 시트의 하부에 배치된 시트가 정전기적 인력 등에 의해 함께 상승되는 문제가 발생할 수 있다(도 7c 참조). 구체적으로, 둘 이상의 시트가 연속적으로 적층된 시트의 이송 방법에서는 금속 스틱을 보호하기 위해 둘 이상의 시트들이 금속 스틱 상에 연속적으로 적층됨에 따라, 최상단 시트가 흡착되어 상승될 경우 동일한 재질로 형성된 하부 시트의 일부가 정전기적 인력에 의해 함께 상승되어, 하부 시트가 휘어지는 문제가 발생할 수 있다. 하부 시트가 휘어지는 문제가 발생할 경우, 정렬이 어긋난 시트를 재정렬하기 위한 추가적인 단계가 요구되어, 연속적으로 시트를 이송하는 공정이 불가하고, 하부 시트가 휘어짐에 따라 하부 시트의 하부에 배치된 금속 스틱에 외력을 가하여, 금속 스틱이 휘어지거나 파손되는 불량이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는, 최상단에 배치된 시트가 흡착되어 상승되는 단계에서, 상승되는 시트의 표면에 공기 배출 장치를 통해 공기를 배출하여, 함께 상승된 하부 시트를 분리하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 하부 시트가 최상단 시트와 함께 상승되어 발생되는 문제를 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 공기 배출 장치가 시트에 홀(Hole) 등의 물리적인 손상을 발생시키지 않고, 공기 배출 장치에 의해 흡착된 시트의 표면에 공기를 배출하여 시트에 진동을 가함으로써 하부 시트가 분리될 수 있다. 따라서, 이송되는 시트에는 홀 등의 물리적인 손상이 발생하지 않으므로, 시트가 이송된 후에 다시 재이송되어 금속 스틱을 보호하는 적층 시트로 재활용 될 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법의 일부 단계를 아래에서 본 평면도들이다. 도 9a 및 도 9b에서는 도 8b에 도시된 단계에 포함되는 단계를 아래에서 본 평면도들을 도시하였다. 이하에서는 도 9a 및 도 9b를 참조하여 본 발명의 제1 시트를 이송하는 단계에서, 공기 배출 장치에서 공기가 배출되는 단계에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 장치에서 공기 배출 장치는 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제1 스틱 흡착 장치(231)에 인접한 제1 공기 배출부(220-1), 제1 시트 흡착 장치(211) 및 제1 스틱 흡착 장치(231)에 인접하고, 제1 공기 배출부(220-1)와 제2 방향(DR2)으로 나란한 제2 공기 배출부(220-2), 제2 시트 흡착 장치(212) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)에 인접하고, 제1 공기 배출부(220-1)와 제1 방향(DR1)으로 나란한 제3 공기 배출부(220-3), 및 제2 시트 흡착 장치(212) 및 제2 스틱 흡착 장치(232)에 인접하고, 제2 공기 배출부(220-2)와 제1 방향(DR1)으로 나란한 제4 공기 배출부(220-4)를 포함할 수 있다. 제1 공기 배출부(220-1)에는 제1 공기 배출 장치(221) 및 제5 공기 배출 장치(225)가 포함될 수 있다. 제2 공기 배출부(220-2)에는 제2 공기 배출 장치(222) 및 제6 공기 배출 장치(226)가 포함될 수 있다. 제3 공기 배출부(220-3)에는 제3 공기 배출 장치(223) 및 제7 공기 배출 장치(227)가 포함될 수 있다. 제4 공기 배출부(220-4)에는 제4 공기 배출 장치(224) 및 제8 공기 배출 장치(228)가 포함될 수 있다.
도 9a를 참조하면, 흡착된 시트에 공기를 배출하는 단계에서, 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)는 동시에 동작할 수 있다. 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)는 동시에 흡착된 시트에 공기를 배출할 수 있다. 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)가 시트에 공기를 배출할 때, 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)는 공기를 배출하지 않을 수 있다.
도 9b를 참조하면, 흡착된 시트에 공기를 배출하는 단계에서, 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)는 동시에 동작할 수 있다. 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)는 동시에 흡착된 시트에 공기를 배출할 수 있다. 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)가 시트에 공기를 배출할 때, 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)는 공기를 배출하지 않을 수 있다.
도 9a에 도시된 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)에서 공기를 배출하는 단계, 및 도 9b에 도시된 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)에서 공기를 배출하는 단계는, 서로 교번하여 반복적으로 수행될 수 있다. 보다 구체적으로, 흡착된 시트에 공기를 배출하는 단계에서는 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)에서 공기를 배출하는 단계 이후에 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)에서 공기를 배출하고, 이어서 다시 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)에서 공기를 배출하는 것일 수 있다. 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)에서 공기를 배출하는 단계, 및 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)에서 공기를 배출하는 단계 각각은 약 1초 내지 약 5초 간격으로 수행될 수 있고, 각각이 10회 이상 20회 이하로 교변하여 반복적으로 수행될 수 있다. 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)에서 공기를 배출하는 단계, 및 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)에서 공기를 배출하는 단계 각각은 1초 간격으로 15회 교번하여 반복적으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서, 흡착되어 상승된 시트에 공기를 배출하는 경우, 공기 배출 장치 중 시트를 기준으로 대각선 방향에 배치된 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계가 교번하여 반복적으로 수행될 수 있다. 보다 구체적으로, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 서로 대각선으로 방향으로 이격되어 배치된 제1 공기 배출부(220-1) 및 제4 공기 배출부(220-4)가 동시에 동작하여 공기를 배출하고, 제2 공기 배출부(220-2) 및 제3 공기 배출부(220-3)가 동시에 동작하여 공기를 배출한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 시트 이송 방법에서는 대각선 방향에 배치된 공기 배출부에서 공기가 배출되고, 서로 상이한 대각선 방향에서 공기를 배출하는 단계가 반복됨으로써, 흡착되어 상승된 시트의 하부에서 함께 상승된 하부 시트를 용이하게 분리해낼 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
10: 시트 이송 장치 100: 테이블
201: 제1 흡착 및 방출 유닛 202: 제2 흡착 및 방출 유닛
300: 승강 유닛

Claims (18)

  1. 연속적으로 적층된 둘 이상의 시트들이 안착되는 테이블;
    상기 테이블 상에 배치되고, 소정의 압력을 통해 상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 흡착하는 시트 흡착 장치; 및
    상기 테이블 상에 배치되고, 상기 시트 흡착 장치에 인접하여 배치되는 공기 배출 장치를 포함하고,
    상기 공기 배출 장치는 상기 시트 흡착 장치에 흡착된 상기 제1 시트의 표면에 공기를 배출하는 시트 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 시트 흡착 장치 및 상기 공기 배출 장치를 상하로 이동시키는 승강 유닛을 더 포함하고,
    상기 승강 유닛은
    제1 방향으로 연장된 장축 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장된 단축을 포함하는 지지부; 및
    상기 지지부를 상하로 이동시키는 승강부를 포함하는 시트 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 시트 흡착 장치는
    상기 지지부에 연결되어 상기 제1 방향으로 서로 이격되어 배치되고, 상기 지지부의 장축 방향 외측에 각각 배치되는 제1 시트 흡착 장치 및 제2 시트 흡착 장치를 포함하는 시트 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 공기 배출 장치는
    상기 제1 시트 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제1 공기 배출 장치 및 제2 공기 배출 장치; 및
    상기 제2 시트 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제3 공기 배출 장치 및 제4 공기 배출 장치를 포함하는 시트 이송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 테이블 상에 금속 스틱이 더 안착되고,
    상기 테이블 상에 배치된 상기 금속 스틱, 상기 금속 스틱 상에 배치된 제2 시트, 및 상기 제2 시트 상에 배치된 상기 제1 시트가 순차적으로 적층되는 시트 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 금속 스틱을 흡착하고, 상기 시트 흡착 장치에 비해 상기 지지부의 장축 방향 내측에 배치되는 스틱 흡착 장치를 더 포함하는 시트 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 스틱 흡착 장치는
    상기 제1 방향으로 이격되어 배치되는 제1 스틱 흡착 장치 및 제2 스틱 흡착 장치를 포함하는 시트 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스틱 흡착 장치에 인접하게 배치되는 보조 공기 배출 장치를 더 포함하고,
    상기 보조 공기 배출 장치는
    상기 제1 스틱 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제5 공기 배출 장치 및 제6 공기 배출 장치; 및
    상기 제2 스틱 흡착 장치를 사이에 두고 상기 제2 방향을 따라 나란히 배치된 제7 공기 배출 장치 및 제8 공기 배출 장치를 포함하는 시트 이송 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 시트 흡착 장치 및 상기 스틱 흡착 장치는
    25 cm 이상 30 cm 이하로 이격되어 배치되는 시트 이송 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 시트 흡착 장치 및 상기 공기 배출 장치는
    40 mm 이상 60 mm 이하로 이격되어 배치된 시트 이송 장치.
  11. 테이블 상에 둘 이상의 시트들이 연속적으로 적층되는 단계; 및
    상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 이송하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 시트를 이송하는 단계는
    시트 흡착 장치에서 제1 압력으로 흡착하여 상기 적층된 시트들 중 최상부에 배치된 제1 시트를 흡착하는 단계;
    상기 제1 시트를 소정의 높이로 상승시키는 단계; 및
    상기 시트 흡착 장치에 인접한 공기 배출 장치에서 상기 제1 시트의 표면에 공기를 배출하여, 상기 흡착된 제1 시트와 함께 상승된 제2 시트를 분리하는 단계를 포함하는 시트 이송 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 시트들이 적층되는 단계 이전에
    상기 테이블 상에 금속 스틱이 안착되는 단계를 포함하고,
    상기 테이블 상에는 상기 금속 스틱, 상기 제2 시트, 및 상기 제1 시트가 순차적으로 적층되는 시트 이송 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 시트를 분리하는 단계 이후에,
    상기 시트 흡착 장치에서 상기 제2 시트를 상기 제1 압력으로 흡착하고 상승시켜 상기 제2 시트를 이송하는 단계; 및
    상기 시트 흡착 장치와 이격된 스틱 흡착 장치에서 상기 금속 스틱을 상기 제1 압력보다 작은 제2 압력으로 흡착하고 상승시켜 상기 금속 스틱을 이송하는 단계를 더 포함하는 시트 이송 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 시트 흡착 장치는
    제1 방향으로 이격된 제1 시트 흡착 장치 및 제2 시트 흡착 장치를 포함하고,
    상기 스틱 흡착 장치는
    상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 시트 흡착 장치 및 상기 제2 시트 흡착 장치 사이에 배치되는 제1 스틱 흡착 장치 및 제2 스틱 흡착 장치를 포함하는 시트 이송 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 공기 배출 장치는
    상기 제1 시트 흡착 장치 및 상기 제1 스틱 흡착 장치에 인접한 제1 공기 배출부;
    상기 제1 시트 흡착 장치 및 상기 제1 스틱 흡착 장치에 인접하고, 상기 제1 공기 배출부와 상기 제2 방향으로 나란한 제2 공기 배출부;
    상기 제2 시트 흡착 장치 및 상기 제2 스틱 흡착 장치에 인접하고, 상기 제1 공기 배출부와 상기 제1 방향으로 나란한 제3 공기 배출부; 및
    상기 제2 시트 흡착 장치 및 상기 제2 스틱 흡착 장치에 인접하고, 상기 제2 공기 배출부와 상기 제1 방향으로 나란한 제4 공기 배출부를 포함하는 시트 이송 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2 시트를 분리하는 단계는
    상기 제1 공기 배출부 및 상기 제4 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계; 및
    상기 제2 공기 배출부 및 상기 제3 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 공기 배출부 및 상기 제4 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계 및 상기 제2 공기 배출부 및 상기 제3 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계는 서로 교번하여 반복적으로 수행되는 시트 이송 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1 공기 배출부 및 상기 제4 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계 및 상기 제2 공기 배출부 및 상기 제3 공기 배출부에서 공기를 배출하는 단계는 10회 이상 20회 이하 교번하여 반복적으로 수행되는 시트 이송 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 제2 시트를 분리하는 단계는 상기 제1 시트가 20 mm 이상 35 mm 이하로 상승되었을 때 수행되기 시작하는 시트 이송 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023214628A1 (ko) * 2022-05-04 2023-11-09 주식회사 티앤디테크 금속 시트를 제조하기 위한 고속 타발 장치 및 이를 이용하여 금속 시트를 제조하는 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060052651A (ko) * 2003-05-13 2006-05-19 미마스 한도타이 고교 가부시키가이샤 웨이퍼 디마운트 방법, 웨이퍼 디마운트 장치 및 웨이퍼디마운트 이송기

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101119814B (zh) * 2005-02-14 2011-01-26 本田技研工业株式会社 板材的分离方法
KR20120067117A (ko) 2010-12-15 2012-06-25 주식회사 토러스기술연구소 비접촉 반송플레이트
KR101462598B1 (ko) 2013-04-30 2014-11-19 주식회사 에스에프에이 기판 이/적재용 로봇 핸드
KR20150068575A (ko) 2013-12-12 2015-06-22 주식회사 킴스코퍼레이션 기판 파지, 이송장치 및 이를 이용한 이송방법
KR101689119B1 (ko) 2015-03-31 2016-12-23 주식회사 퓨어테크 시트타입 원단의 영상프레스 제어방법과 그 시스템
KR101711428B1 (ko) 2015-06-19 2017-03-02 우영관 시트형 제품의 적층 방법 및 장치
US9908725B2 (en) * 2016-05-26 2018-03-06 Oyabe Seiki Co., Ltd Sheet material separation-aiding apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060052651A (ko) * 2003-05-13 2006-05-19 미마스 한도타이 고교 가부시키가이샤 웨이퍼 디마운트 방법, 웨이퍼 디마운트 장치 및 웨이퍼디마운트 이송기

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023214628A1 (ko) * 2022-05-04 2023-11-09 주식회사 티앤디테크 금속 시트를 제조하기 위한 고속 타발 장치 및 이를 이용하여 금속 시트를 제조하는 방법

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