JP2007180108A - 板材保持容器からの板材出し入れ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板材保持容器を機械装置に載置する載置工程101と、上記機械装置のスライドアームで、上記板材保持容器の多段に積層された各載置トレイのうち処理対象の半導体ウエハの位置する載置トレイの把持部を把持する把持工程102と、上記機械装置の連結管を上記処理対象半導体ウエハの位置する載置トレイの吸気孔に取り付ける取付工程103と、上記連結管を介して上記載置トレイの載置面を吸引して上記半導体ウエハを当該載置面に吸着する吸着工程104と、当該半導体ウエハを吸着した載置トレイの位置で、多段に積層された各載置トレイを切り離す切離工程105と、切り離した載置トレイを上記機械装置のスライドアームで支持して分離し処理対象の半導体ウエハの出し入れのために開放する開放工程106とを備える。
【選択図】図1
Description
機械装置のスライドアームで、上記板材保持容器の多段に積層された各載置トレイのうち処理対象板材の位置する載置トレイの把持部を把持すると共に他の載置トレイも把持する把持工程と、当該把持工程で把持した上記処理対象板材の位置する載置トレイと他の載置トレイとを切り離す切離工程と、切り離した各載置トレイを機械装置のスライドアームで支持して分離し処理対象板材の出し入れのために開放する開放工程と、上記機械装置の連結管を上記載置トレイの吸気孔に取り付ける取付工程と、開放された上記載置トレイに板材を載置した後、上記連結管を介して上記載置トレイの載置面を吸引して上記板材を当該載置面に吸着する吸着工程と、当該吸着工程での吸着後の載置トレイをその上下の載置トレイと結合する結合工程とを備えたことを特徴とする。
板材保持容器11は、図2、3に示すように主に、複数枚の載置トレイ12と、各載置トレイ12の間を互いに結合し、結合解除する結合解除手段13とから構成されている。
次に、本発明の第1実施形態に係る、板材保持容器からの板材出し入れ方法について上記構成の板材保持容器11を用いて説明する。
上記半導体ウエハWが上記載置トレイ12に吸着されて持された状態で開放され、上記半導体ウエハWを受け渡すとき等に載置トレイ12の載置面でずれるのを防止するため、上記半導体ウエハWを安全に取り扱うことができる。この結果、上記半導体ウエハWの搬送時の安全を保った状態で、処理作業の効率化および歩留りの向上を図ることができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態では、上記第1実施形態で用いた板材保持容器11を用いて説明する。
上記板材出し入れ方法により、板材保持容器11の多段に積層された載置トレイ12のうちの任意の1つを、他の載置トレイ12から切り離して、当該載置トレイ12で半導体ウエハWを支持させたままで、この半導体ウエハWを上記機械装置の処理部まで移動させて当該処理部に受け渡すため、上記載置トレイと上記機械装置の処理部との間の工程を簡略化することができる。この結果、板材把持ハンドHで半導体ウエハWを吸着して支持することがなくなるため、搬送時の半導体ウエハWの破損のおそれを最小限に低減させることができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態では、上記第1実施形態で用いた板材保持容器11を用いて説明する。
上記各実施形態では、1枚の半導体ウエハWを1つの載置トレイ12に載置した状態で取り扱うようにしたが、1枚の半導体ウエハWをその両側の2つの載置トレイ12で挟持して保持した状態(図4(A)、図5(A)の状態)で取り扱うようにしても良い。
Claims (10)
- 外部の吸引手段を用いて板材を吸着可能な複数の載置トレイが多段に積層して構成された板材保持容器からの板材の出し入れ方法であって、
少なくとも周囲環境に開放された状態で上記載置トレイに載置されている上記板材は全て、上記載置トレイに吸着保持されていることを特徴とする板材保持容器からの板材の出し入れ方法。 - 板材が1枚又は数枚載置される載置トレイを多段に積層して構成された板材保持容器の任意の位置から上記板材を出し入れする、板材保持容器からの板材出し入れ方法であって、
上記板材保持容器を機械装置に載置する載置工程と、
上記機械装置のスライドアームで、上記板材保持容器の多段に積層された各載置トレイのうち処理対象板材をその両側から挟持して保持する2つの載置トレイの把持部を一体的に把持する把持工程と、
上記処理対象板材を挟持した2つの載置トレイの位置で、多段に積層された各載置トレイを切り離して上記板材を挟持した2つの載置トレイを他の載置トレイから分離する分離工程とを備え、
分離した2つの載置トレイで上記板材を挟持して上記機械装置の処理部まで搬送することを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 請求項2に記載の板材保持容器からの板材出し入れ方法において、
上記機械装置の処理部での処理終了後の板材を2つの上記載置トレイで挟持して保持した後、当該2つの載置トレイを各載置トレイの間に戻して多段に積層させて互いに結合させることを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 板材が1枚又は数枚載置される載置トレイを多段に積層して構成された板材保持容器の任意の位置から上記板材を出し入れする、板材保持容器からの板材出し入れ方法であって、
上記板材保持容器を機械装置に載置する載置工程と、
上記機械装置のスライドアームで、上記板材保持容器の多段に積層された各載置トレイのうち処理対象板材の位置する載置トレイの把持部を把持すると共に他の載置トレイも把持する把持工程と、
上記機械装置の連結管を上記処理対象板材の位置する載置トレイの吸気孔に取り付ける取付工程と、
上記連結管を介して上記載置トレイの載置面を吸引して上記板材を当該載置面に吸着する吸着工程と、
当該板材を吸着した載置トレイの位置で、多段に積層された各載置トレイを切り離す切離工程と、
切り離した載置トレイを上記機械装置のスライドアームで支持して分離し処理対象板材の出し入れのために開放する開放工程と
を備えたことを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 請求項4に記載の板材保持容器からの板材出し入れ方法において、
上記載置トレイが結合解除手段を備え、
上記載置トレイが複数枚積層されると上記結合解除手段が各載置トレイを隣同士で互いに固定し、固定解除して、任意の位置で各載置トレイを分離することができることを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 請求項4又は5に記載の板材保持容器からの板材出し入れ方法において、
上記開放工程が、上記処理対象板材を開放した後、板材把持ハンドを挿入して当該処理対象板材を把持する把持工程と、上記載置トレイの吸着を止めて上記板材把持ハンドで上記板材を把持して出し入れする出入工程とから構成されたことを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 請求項4又は5に記載の板材保持容器からの板材出し入れ方法において、
上記開放工程が、上記載置トレイに上記板材を吸着した状態で当該載置トレイを上記機械装置の処理部に移動させる移動工程と、上記機械装置の処理部に移動した上記載置トレイで支持した上記板材を当該処理部に吸着させる処理部吸着工程と、上記載置トレイの吸着を止めて上記板材を上記処理部に受け渡すと共に当該載置トレイを待機させる受け渡し工程とから構成されたことを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 請求項4又は5に記載の板材保持容器からの板材出し入れ方法において、
上記開放工程が、上記載置トレイに上記板材を吸着した状態で当該載置トレイを上記機械装置の処理部に移動させる移動工程と、上記載置トレイを上記機械装置の処理部に組み込んで上記処理対象板材の支持台として用いる組込工程とから構成されたことを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 請求項4乃至8のいずれか1項に記載の板材保持容器からの板材出し入れ方法において、
上記開放工程が、上記載置トレイの載置面に吸着した上記板材をその吸着を止めて上記載置面から切り離す際に、上記載置トレイの吸着を止めた後、上記連結管から気体を導入する気体導入工程をさらに設けたことを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。 - 板材が1枚又は数枚載置される載置トレイを多段に積層して構成された板材保持容器の任意の位置から上記板材を出し入れする、板材保持容器からの板材出し入れ方法であって、
機械装置のスライドアームで、上記板材保持容器の多段に積層された各載置トレイのうち処理対象板材の位置する載置トレイの把持部を把持すると共に他の載置トレイも把持する把持工程と、
当該把持工程で把持した上記処理対象板材の位置する載置トレイと他の載置トレイとを切り離す切離工程と、
切り離した各載置トレイを機械装置のスライドアームで支持して分離し処理対象板材の出し入れのために開放する開放工程と、
上記機械装置の連結管を上記載置トレイの吸気孔に取り付ける取付工程と、
開放された上記載置トレイに板材を載置した後、上記連結管を介して上記載置トレイの載置面を吸引して上記板材を当該載置面に吸着する吸着工程と、
当該吸着工程での吸着後の載置トレイをその上下の載置トレイと結合する結合工程と
を備えたことを特徴とする板材保持容器からの板材出し入れ方法。
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