JP5797430B2 - 基板収容器 - Google Patents
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Description
すなわち、従来のFOUPは、異なる種類の基板が混在すると、FOUP内において異種の基板の間で汚染が生じる相互汚染の恐れがある。例えば、銅を用いている基板から銅被膜の破片等が、アルミニウム配線の基板に付着すると、銅が基板上のデバイスに致命的な欠陥を与える恐れがある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、複数枚の基板を収容する基板収容器において、内部空間を有する収容器本体と、前記収容器本体に形成され、前記内部空間に連通した開口部と、前記収容器本体の内壁に設けられ、基板の端縁下面を当接支持する複数の支持溝と、前記開口部に着脱自在の蓋と、前記複数の支持溝に着脱自在に装着されて、前記内部空間を複数の雰囲気に仕切る仕切り板と、を備え、前記仕切り板は、複数枚の板状部材と、前記複数の支持溝の間隔で前記各板状部材を支持する支持部材とを備え、前記複数枚の板状部材は、複数個の小さな貫通孔が形成されており、前記複数個の小さな貫通孔は、平面視で、前記板状部材ごとに異なる領域に形成されていることを特徴とするものである。
図1は、実施例1に係るFOUPの概略構成を示す縦断面図であり、図2は、実施例1に係る仕切り板を示す平面図であり、図3は、実施例1に係る仕切り板を示す正面図である。
図4は、実施例2に係る仕切り板を示す平面図である。なお、FOUP1の概略構成は、上述した実施例1と同様であるので、ここでは平面図だけを参照して説明する。
図5は、実施例3に係る仕切り板を示す平面図である。なお、FOUP1の概略構成は、上述した実施例1と同様であるので、ここでは平面図だけを参照して説明する。
図6は、実施例4に係る仕切り板を示す正面図である。なお、FOUP1の概略構成は、上述した実施例1と同様であるので、ここでは正面図だけを参照して説明する。
ここで図7を参照して、上述した実施例2の変形例について説明する。図7は、第1の変形例を示す平面図である。なお、以下の説明においては、仕切り板DP2aだけを示して説明する。
ここで図8を参照して、上述した実施例2の変形例について説明する。図8は、第2の変形例を示す平面図である。なお、以下の説明においては、仕切り板DP2bだけを示して説明する。
ここで図9,図10を参照して、上述した実施例2の変形例について説明する。図9は、第3の変形例を示す平面図であり、図10は、第3の変形例を示す縦断面図である。
ところで、上述したFOUP1は、次のような構成であってもよい。ここで、図11を参照する。図11は、FOUPの変形例を示す一部破断縦断面図である。
3 … 収容器本体
5 … 内部空間
7 … 開口部
9 … 支持部
13 … 支持溝
17 … 蓋
21 … 板状部材
DP1 … 仕切り板
SP1 … 第1の空間
SP2 … 第2の空間
Claims (9)
- 複数枚の基板を収容する基板収容器において、
内部空間を有する収容器本体と、
前記収容器本体に形成され、前記内部空間に連通した開口部と、
前記収容器本体の内壁に設けられ、基板の端縁下面を当接支持する複数の支持溝と、
前記開口部に着脱自在の蓋と、
前記複数の支持溝に着脱自在に装着されて、前記内部空間を複数の雰囲気に仕切る仕切り板と、
を備え、
前記仕切り板は、複数枚の板状部材と、前記複数の支持溝の間隔で前記各板状部材を支持する支持部材とを備え、
前記複数枚の板状部材は、複数個の小さな貫通孔が形成されており、
前記複数個の小さな貫通孔は、平面視で、前記板状部材ごとに異なる領域に形成されていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項1に記載の基板収容器において、
前記仕切り板は、ダミー基板であることを特徴とする基板収容器。 - 請求項1に記載の基板収容器において、
前記仕切り板は、基板とは異なる板状部材で構成されていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項1に記載の基板収容器において、
前記仕切り板は、基板とは異なる板状部材で構成され、
前記板状部材は、内部空間の内壁に当接する端面と、内部空間の内壁から離間した端面とを備えていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項1に記載の基板収容器において、
前記仕切り板は、基板とは異なる板状部材で構成され、
前記板状部材は、周囲が内部空間の内壁に当接する端面を備えていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項3から5のいずれかに記載の基板収容器において、
前記板状部材は、縦断面形状が起伏状に構成されていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項3から5のいずれかに記載の基板収容器において、
前記板状部材は、平面視で中心部に一つの貫通穴が形成されていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項3から5のいずれかに記載の基板収容器において、
前記板状部材は、平面視で中心領域に複数個の小さな貫通孔が形成されていることを特徴とする基板収容器。 - 請求項1から8のいずれかに記載の基板収容器において、
前記収容器本体は、前記内部空間の圧力と外部圧力とを一定に保つ機能を備えた吸入部と排気部とを備え、
前記吸入部から不活性ガスを圧入されるとともに、前記排気部から前記内部空間内の気体が強制的に排気されることを特徴とする基板収容器。
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