JP2006114761A - ウェーハ収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板収納容器内の残留気体を置換ガスで置換する場合、短時間にまた置換ガスの使用量を最小限にして置換する。
【解決手段】 一側面が開口した容器本体０１と、上記開口を塞ぐ蓋体０２とを備え、複数の基板Ｗを水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、保持される一方の基板の特定方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ一方の気流制御板０５を設け、さらに保持される他方の基板の前記特定方向と反対方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ他方の気流制御板０６を設ける。
【選択図】 図１

Description

この発明は、半導体デバイス製造工程等で製造途中の製品等の運搬・保管に使用する、基板収納容器（以下では適宜、ウェーハ収納容器とも称する。また、必要に応じ“容器”と略称する。）に関するものである。

従来、製造工程でウェーハを収納するウェーハ収納容器の一例として、図１２に示すようなものがある。このウェーハ収納容器は、前面の一側に開口を有するほぼ直方体形状の容器本体３１と、容器本体３１の密閉性を保つ容器蓋３２を備えている。容器本体３１の内部には、基板Ｗを載置する複数の溝３３を有し複数の基板Ｗを水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段３４が取り付けられている。また、容器蓋３２の外周にはシール部材３５が取り付けられている。

従来、このような容器本体３１にＮ２ガス入口とＮ２ガス出口を取り付け、容器内のエアーをＮ２ガスで置換する場合、容器本体に取り付けられたＮ２ガス入口からＮ２ガスを導入し、容器の反対側に取り付けられたＮ２ガス出口から排出していた。
しかし、この方法では容器内のエアーを一括してＮ２ガスでパージすることとなり、どうしてもＮ２ガス入口からＮ２ガス出口に向かってＮ２ガスがショートパスすることになる。
従がって、容器内に収納されたウェーハ間の隙間および容器の隅などのエアーを完全に置換するのに長時間を要し、それに伴いＮ２ガスの使用量も増加するなどの問題点があった。

その他、従来法による容器内残留エアーのＮ２ガス置換方法としては、以下のものがある。
真空チャンバー内に容器を入れ容器の蓋を開く、次にチャンバーを真空に引き真空度が定められた値に到達した時点でＮ２ガスをパージし大気圧に戻す、その後真空チャンバー内で容器の蓋を閉じ、真空チャンバー内から容器を取り出す。
しかし、この方法では、真空チャンバーや真空ポンプ、更に容器の自動開閉装置などが必要となり、設備費やランニングコストが増大する問題があり、加えて容器内のエアーをＮ２ガスに置換するのに真空引きの時間が必要となり処理に長時間を要する問題がある。
また、従来の他の方法としては、整流板を用いて置換ガスを吹き付けるもの、ノズル部材で置換ガスを吹き付けるものなどがある（特許文献１，２参照）。

特開２００２−１７０８７６号公報 特開２００３−１６７８２８号公報

従来の容器は以上のように、長時間Ｎ２ガスのパージを行ったり、また真空引きを行ったりする必要があり、コスト的にも大量のＮ２ガス使用や真空装置の設置が必要になるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、容器内の残留気体をＮ２ガスなどに置換する場合、短時間にまたＮ２ガスの使用量を最小限にして完全に置換することを目的としており、これに適した容器、更にこの容器に適したＮ２ガス置換方法を提供することを目的とする。

この発明の基板収納容器は、一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、保持される一方の基板の特定方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ一方の気流制御板と、保持される他方の基板の前記特定方向と反対方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ他方の気流制御板とを備えたものである。

また、この発明の基板収納容器は、一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、前記容器本体または蓋体から延長されたガス導管と、このガス導管からそれぞれ隣接して保持される基板の間に延長され、前記基板のほぼ中央部付近に開口する複数のガス枝管とを設けたものである。

また、この発明の基板収納容器は、一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段と、前記容器本体の底部に取り付けられたガス入口と、このガス入口に接続され導入ガスを冷却する冷却手段と、前記容器本体の上部に取り付けられたガス出口とを備えたものである。

また、この発明の基板収納容器は、一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段と、前記容器本体の上部に取り付けられたガス入口と、このガス入口に接続され導入ガスを加温する加温手段と、前記容器本体の底部に取り付けられたガス出口とを備えたものである。

また、の発明の基板収納容器は、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する基板収納容器において、前記容器の底部から前記容器内の残留気体より比重の大きい気体を導入する手段と、前記容器の上部から気体を排出する手段とを備えたものである。

また、この発明の基板収納容器は、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する基板収納容器において、前記容器の上部から前記容器内の残留気体より比重の小さい気体を導入する手段と、前記容器の底部から気体を排出する手段とを備えたものである。

また、この発明の基板収納容器は、複数の基板を上下方向に間隔を置いて保持する基板収納容器であって、前記容器の底部の気体入口から前記容器内に気体を導入する手段と、前記容器の上部から前記容器内の気体を排出する手段と、前記容器を傾斜させ前記気体入口を傾斜下部に位置するように支持する支持手段とを備えたものである。
この発明のその他の特徴は以下に詳述する。

この発明によれば、基板収納容器内の残留気体をＮ２ガスなどの置換ガスに置換する場合、短時間にまた置換ガスの使用量を最小限にして置換することができる。

以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図中、同一または対応する要素には同一符合を付して、重複する説明を適宜に省略する。

実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による基板収納容器（ウェーハ収納容器）の構造を説明するための図で、（ａ）図は平面構造を説明するための透視図、（ｂ）図は断面構造と作用を説明するための図である。また、（ａ）図は（ｂ）図における隣接する２枚のウェーハＷの間を水平に切断した上面図に相当する。また、（ｂ）図はウェーハの配置については（ａ）図のウェーハＷの中心を通り容器蓋に直交する面で切断したときの状態を示し、ガス入口およびガス出口についてはその中心を通る面で切断した状態を示している。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、一側面が開口しており、複数のウェーハＷを収納する容器本体０１と、ウェーハＷの出し入れ時に開閉するとともに、この容器本体０１の密閉性を保つ蓋体としての容器蓋０２を有している。
容器本体０１の内壁には、図示しないが、基板Ｗを載置する複数の溝を有し複数の基板Ｗを水平にかつ縦方向（上下方向）に間隔を置いて保持する保持手段ないしウェーハ載置部が取り付けられている。この保持手段は、例えば図１２に示したようなものであるが、これに限定されない。また、容器本体０１の下部にはＮ２ガス入口０３が取り付けられ、容器本体０１の上部でＮ２ガス入口０３の反対側にＮ２ガス出口０４が取り付けられている。

更に、パージＮ２ガスの流れを所定の方向に制御するための気流制御板として本体側仕切り板０５が、ウェーハ載置部の溝ピッチの１溝毎にウェーハＷ面の高さに合わせ櫛状に取り付けられている。
同様に、パージＮ２ガスの流れを所定の方向に制御するための気流制御板として蓋側仕切り板０６が、ウェーハ載置部の溝ピッチの１溝毎にウェーハＷ面の高さに合わせ櫛状に取り付けられている。
但し、これらの本体側仕切り板０５と蓋側仕切り板０６とは１溝分ピッチをずらして取り付けられている。

次に、この発明による、容器中の残留気体である容器中エアーのＮ２置換方法について説明する。
図１のウェーハ収納容器において、容器内のエアーをＮ２ガスに置換するに際し、Ｎ２ガス入口０３に導入されたＮ２ガスは図中の矢印に添って、容器上部に向かって、ウェーハＷの間を縫いながら蛇行するように流れ、容器内最上部でＮ２ガス出口０４から容器外に排出される。
このように、Ｎ２ガスはウェーハの隙間に残留するエアーを心太のように押し出しながらパージされることになる。
このため、短時間で且つ最小限のＮ２ガスで容器内の残留エアーが置換されることとなる。

なお、気流制御板として仕切り板０５，０６の取り付けについてさらに説明すると次のとおりである。仕切り板０５は容器本体０１の中央より奥側に配置され、例えば容器本体０１の内側で奥の壁面に取り付けられている。そして、対応するウェーハＷの中央より奥側の半周にまでほぼ届くように形成されている。気流の漏れを防ぐために、容器本体０１の内壁との隙間は無いか、小さい方がよい。また、対応するウェーハの外周との隙間も小さい方がよい。このように配置した仕切り板０５の組を一方の仕切り板とする。

また、仕切り板０６は例えば容器蓋０２の壁面に取り付けられ、容器蓋０２と一体として動いて、容器蓋０１が閉じられたとき、対応するウェーハの開口側の半周に向かいあい、その隙間が小さいように位置する。このように配置する仕切り板０６の組を他方の仕切り板とする。
一方の仕切り板と他方の仕切り板とは同一のウェーハには対応しない。言い換えれば、同じ高さにはなく、高さ方向に交互に位置させる。また、ウェーハＷの反対側の半周にそれぞれ向かいあう。このように仕切り板０５，０６を配置して、気流がウェーハ間を残さず通るように制御する。

実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ）図は平面構造を説明するための透視図、（ｂ）図は断面構造と作用を説明するための図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、実施の形態１の図１では容器本体０１の上部に取り付けられたＮ２ガス出口０４を、容器本体０１の下部でＮ２ガス入口０３の反対側に取り付けた構成になっており、容器最上部の空間とこのＮ２ガス出口０４とは排気導管０７で接続されている。
実施の形態１の図１とは、最終的なＮ２ガスの排出方向は異なるが、同様の効果を奏する。

加えて、本実施の形態ではＮ２ガス入口０３とＮ２ガス出口０４とは何れも容器本体０１の底部に取り付けられているため、ウェーハステーションに容器を載置した状態でウェーハステーション側からのＮ２ガス配管、および排気配管との接続・取り合いが容易となる。

実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ）図は平面構造を説明するための透視図、（ｂ）図は断面構造と作用を説明するための図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、実施の形態１、２ではウェーハ載置部の溝ピッチの１溝毎に取り付けられている本体側仕切り板０５および蓋側仕切り板０６を、ウェーハ載置部の溝ピッチの２溝毎に取り付けたもので、Ｎ２ガスへの置換効果は多少低下するが本体側仕切り板０５および蓋側仕切り板０６の枚数が減少し容器の構造が簡略化される特徴がある。
以上の実施の形態１〜３では、本体側仕切り板０５および蓋側仕切り板０６を溝ピッチの１もしくは２溝毎に取り付けた例を説明したが、３溝以上毎に取り付けることも可能である。

実施の形態４．
図４はこの発明の実施の形態４によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ１）図は平面構造を説明するための透視図、（ｂ１）図は断面構造を説明するための図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、一側面が開口しており、複数のウェーハＷを収納する容器本体０１と、ウェーハＷの出し入れ時に開閉するとともに、この容器本体０１の密閉性を保つ容器蓋０２を有している。
容器本体０１の内壁には、図示しないが、基板Ｗを載置する複数の溝を有し複数の基板Ｗを水平にかつ縦方向（上下方向）に間隔を置いて保持する保持手段ないしウェーハ載置部が取り付けられている。
また、容器本体０１の下部にはＮ２ガス入口０３が取り付けられ、同様に容器本体０１の下部でＮ２ガス入口０３の反対側にＮ２ガス出口０４が取り付けられている。

このＮ２ガス入口０３にはＮ２ガス導管０８が接続され、このＮ２ガス導管０８は容器底部で水平方向に延びた後、垂直方向に立ち上がっており、このＮ２ガス導管０８からは各ウェーハＷ間および最上下の各ウェーハＷと容器の上下内壁面間にＮ２ガス枝管０９が、その先端部がウェーハＷの平面中央部まで達するように取り付けられている。
図４の（ａ２）図は、Ｎ２ガス枝管０９の先端部の拡大上面図を示し、（ｂ２）図はその拡大断面図を示すもので、Ｎ２ガス枝管０９先端部上面には開口としてＮ２放出穴１０が設けられている。

次に、この実施の形態のウェーハ収納容器の作用と効果について図面を用いて説明する。
Ｎ２ガス入口０３から導入されたＮ２ガスは、Ｎ２ガス導管０８を経由し各Ｎ２ガス枝管０９の先端部に開けられたＮ２放出穴１０から放出し、各ウェーハＷ間およびウェーハＷと容器上下容器内壁面間をウェーハ平面中央部からウェーハ周辺部に向かって拡がりながら残留エアーを押し出しＮ２ガスに置換して行くことになる。
このため、少量のＮ２ガスでウェーハ間の隙間も含め確実に且つ短時間にＮ２ガス置換が可能となる。

実施の形態５．
図５はこの発明の実施の形態５によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ１）図は平面構造を説明するための透視図、（ｂ１）図は断面構造を説明するための図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、実施の形態４では容器本体０１側に取り付けたＮ２ガス導管０８とＮ２ガス枝管０９を、容器蓋０２側に取り付けた構造となっている。すなわち、容器蓋０２には下端を開状態の接続端としたＮ２ガス導管０８が取り付けられている。
そして、この実施の形態では、Ｎ２ガス入口０３は容器本体０１の下部で容器蓋０２近傍に取り付けられ、このＮ２ガス入口０３には、Ｎ２ガス入口０３とＮ２ガス導管０８を接続するための接続導管１１が接続固定されている。

図５の（ｃ）図の拡大図に示すように、この接続導管１１の先端には、シール部材１２が取り付けられており、容器蓋０２が閉の状態で容器本体０１に取り付けられた接続導管１１とＮ２ガス導管０８との当り面からのＮ２ガスのリークを防止している。
なお、図５の（ａ２）図は、Ｎ２ガス枝管０９の先端部の拡大上面図を示し、（ｂ２）図はその拡大断面図を示すもので、Ｎ２ガス枝管０９先端部上面には開口としてＮ２放出穴１０が設けられている。

容器蓋０２を閉じると、容器本体０１に取り付けられた接続導管１１とＮ２ガス導管０８との当り面がシール部材１２を介して接続され、Ｎ２ガス入口０３から導入されたＮ２ガスは、Ｎ２ガス導管０８を経由し各Ｎ２ガス枝管０９の先端部に開けられたＮ２放出穴１０から放出される。このように、この実施の形態のウェーハ収納容器は、実施の形態４の図４に示したものと同様の作用となり、従がって同様の効果を奏する。

実施の形態６．
図６はこの発明の実施の形態６によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ）図は側面の外観構造図、（ｂ）図は作用を説明するための断面図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、複数のウェーハＷを収納する容器本体０１と、ウェーハＷの出し入れ時に開閉するとともに容器本体０１の密閉性を保つ容器蓋０２を有している。
容器本体０１の内壁には、図示しないが、基板Ｗを載置する複数の溝を有し複数の基板Ｗを水平にかつ縦方向（上下方向）に間隔を置いて保持する保持手段ないしウェーハ載置部が取り付けられている。

容器本体０１の下部にはＮ２ガス入口０３が取り付けられ、容器本体０１の上部でＮ２ガス入口０３の反対側にＮ２ガス出口０４が取り付けられている。
更に、Ｎ２ガス入口０３には容器内に導入するＮ２ガスを冷却するための冷却手段としてのＮ２ガス冷却装置１３（冷却手段）が、Ｎ２ガス配管１４および配管接続継手１５にて取り付けられている。

次に、この実施の形態のウェーハ収納容器の作用と効果について説明する。
容器内エアー置換用Ｎ２ガスは、Ｎ２ガス冷却装置１３で冷却され、Ｎ２ガス配管１４、配管接続継ぎ手１５を通り、容器本体０１の下部に取り付けられたＮ２ガス入口０３より容器内に導入される。
この時、導入されたＮ２ガスは冷却されているため容器内の残留エアーより比重は重くなり容器内の底の部分に広がる。

図６の（ｂ）図に示すように、これにより形成された冷却Ｎ２と残留エアーの界面は、その後の冷却Ｎ２の導入と共に容器内を上昇し容器内上部に到達し、Ｎ２ガス出口から押し出され容器内のＮ２ガスによる置換が終了する。
このように、本実施の形態によるＮ２ガス置換方法では、ほぼ容器内の容積と同等量のＮ２ガスで置換が出来る。
このため、少量のＮ２ガスで確実に且つ短時間に容器内のＮ２ガス置換が可能となる。

なお、この実施の形態は、容器下部ないし底部から置換ガスを冷却して導入し、容器上部ないし頂部から残留ガスを排出する残留ガスの置換方法としても把握することができる。

実施の形態７．
図７はこの発明の実施の形態７によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ）図は側面の外観構造図、（ｂ）図は作用を説明するための断面図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、複数のウェーハＷを収納する容器本体０１と、ウェーハＷの出し入れ時に開閉するとともに容器本体０１の密閉性を保つ容器蓋０２を有している。
容器本体０１の上部にはＮ２ガス入口０３が取り付けられ、容器本体０１の下部でＮ２ガス入口０３の反対側にＮ２ガス出口０４が取り付けられている。
更に、Ｎ２ガス入口０３には容器内に導入するＮ２ガスを加温するための加温手段としてのＮ２ガス加温装置１６が、Ｎ２ガス配管１４および配管接続継ぎ手１５にて取り付けられている。

次に、この実施の形態のウェーハ収納容器の作用と効果について説明する。
容器内エアー置換用Ｎ２ガスは、Ｎ２ガス加温装置１６で加温され、Ｎ２ガス配管１４、配管接続継ぎ手１５を通り、容器本体０１の上部に取り付けられたＮ２ガス入口０３より容器内に導入される。
この時、導入されたＮ２ガスは加温されているため容器内の残留エアーより比重は軽くなり容器内の天井部分に広がる。

図７の（ｂ）図に示すように、これにより形成された加温Ｎ２と残留エアーの界面は、その後の加温Ｎ２の導入と共に容器内を下降し容器内底部に到達し、Ｎ２ガス出口から押し出され容器内のＮ２ガスによる置換が終了する。
この一連の作用は前述した図６の実施の形態６と上下方向がまったく逆の作用となる。
このように、本実施の形態によるＮ２ガス置換方法では、ほぼ容器内の容積と同等量のＮ２ガスで置換が出来る。
このため、少量のＮ２ガスで確実に且つ短時間に容器内のＮ２ガス置換が可能となる。

以上、この発明の実施の形態１〜７では、容器内の残留エアーをＮ２ガスに置換する方法について述べたが、残留気体および置換用気体はエアーやＮ２ガスには限らない。例えば、Ｎ２以外の不活性ガス、ＣＤＡ（クリーン ドライエアー）その他各種混合気体等が含まれる。

なお、この実施の形態は、容器上部ないし頂部から置換ガスを加温して導入し、容器下部ないし底部から残留ガスを排出する残留ガスの置換方法としても把握することができる。

実施の形態８．
図８はこの発明の実施の形態８によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ）図は側面の外観構造図、（ｂ）図は作用を説明するための断面図である。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、構造的には実施の形態６の図６と同様である。ただし、容器本体０１の下部には、容器内の残留気体より比重の大きい気体を導入する手段として、容器内残留エアーより比重の重いＡｒガスを流入させるＡｒガス入口１７が取り付けられ、容器の上部から気体を排出する手段として、容器本体０１の上部でＡｒガス入口１７の反対側にＡｒガス出口１８が取り付けられている。

前述した実施の形態６（図６）では容器内残留エアーをＮ２ガスに置換する際に、比重の重い冷却Ｎ２ガスを使用して容器内残留エアーをＮ２ガスに置換する例を述べたが、この実施の形態８では置換用ガスとして実施の形態６で使用した冷却Ｎ２ガスと同様に容器内残留エアーより比重の重いＡｒガスを使用したものである。
従がって、この実施の形態８での作用と効果は実施の形態６と同様のものとなる。

なお、この実施の形態は、容器下部ないし底部から残留ガスより比重の大きい置換ガスを導入し、容器上部ないし頂部から残留ガスを排出する残留ガスの置換方法としても把握することができる。

実施の形態９．
図９はこの発明の実施の形態９によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図で、（ａ）図は側面の外観構造図、（ｂ）図は作用を説明するための断面図である。
この実施の形態のウェーハ収納容器は、構造的には実施の形態７の図７と同様である。ただし、容器本体０１の上部には、容器内の残留気体より比重の小さい気体を導入する手段として、容器内残留エアーより比重の軽いＨｅガスを流入させるＨｅガス入口１９が取り付けられ、容器の底部から気体を排出する手段として、容器本体０１の下部でＨｅガス入口１９の反対側にＨｅガス出口２０が取り付けられている。

前述した実施の形態７（図７）では容器内残留エアーをＮ２ガスに置換する際に、比重の軽い加温Ｎ２ガスを使用して容器内残留エアーをＮ２ガスに置換する例を述べたが、この実施の形態９では置換用ガスとして実施の形態７で使用した加温Ｎ２ガスと同様に容器内残留エアーより比重の軽いＨｅガスを使用したものである。
従がって、この実施の形態９での作用と効果は実施の形態７と同様のものとなる。

これらの実施の形態８,９においては、残留気体としてはエアーを、また置換用気体としてはＡｒ,Ｈｅガスを使用した例を述べたが、残留気体,置換用気体ともに、ここで述べたエアーおよびＡｒ,Ｈｅガスに限定されることはなく、置換用気体としては残留気体よりも比重の重いまたは軽い気体をそれぞれ選択することが出来る。

なお、この実施の形態は、容器上部ないし頂部から残留ガスより比重の小さい置換ガスを導入し、容器下部ないし底部から残留ガスを排出する残留ガスの置換方法としても把握することができる。

実施の形態１０．
図１０はこの発明の実施の形態１０によるウェーハ収納容器の構造と作用を説明するための断面図である。
この実施の形態のウェーハ収納容器は、前述した実施の形態６〜９の容器内残留エアーの置換効率を更に向上させるためのものである。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、複数のウェーハＷを収納する容器本体０１と、ウェーハＷの出し入れ時に開閉するとともに容器本体０１の密閉性を保つ容器蓋０２を有している。
容器本体０１の内壁には、図示しないが、基板Ｗを載置する複数の溝を有し複数の基板Ｗを上下方向に間隔を置いて保持する保持手段ないしウェーハ載置部が取り付けられている。

容器の底部の気体入口から前記容器内に気体を導入する手段として、容器本体０１の下部には冷却Ｎ２ガスを流入させるＮ２ガス入口０３が取り付けられ、容器の上部から容器内の気体を排出する手段として、容器本体０１の上部でＮ２ガス入口０３の反対側にＮ２ガス出口０４が取り付けられている。なお、図示省略するが、Ｎ２ガス入口０３には、実施の形態６の図６と同様に、Ｎ２ガスを冷却するためのＮ２ガス冷却装置１３をＮ２ガス配管１４および配管接続継ぎ手１５にて取り付けてもよい。

この実施の形態のウェーハ収納容器は、容器内気体の置換時に支持手段としての容器用傾斜台２１に載置される。容器用傾斜台２１には容器内に置換ガスを導入するための配管接続継ぎ手１５が設置されており、ウェーハ収納容器を容器用傾斜台２１に載置したとき、容器用傾斜台２１からウェーハ収納容器へＮ２ガス管が接続されるようになっている。

この実施の形態１０について、実施の形態６で述べたように残留気体としてはエアーをまた置換用気体としては冷却Ｎ２を使用した場合の例でもって、その作用と効果について説明する。
容器内エアー置換用冷却Ｎ２ガスは、配管接続継ぎ手１５を通り容器本体０１の傾斜最下部に取り付けられたＮ２ガス入口０３より容器内に導入される。

この時、導入されたＮ２ガスは冷却されているため容器内の残留エアーより比重は重くなっており容器本体０１の傾斜最下部において残留エアーとの間に比重差による冷却Ｎ２と残留エアーの界面が形成される。
これにより形成された界面は、図示するように、その後の冷却Ｎ２の導入と共に容器内を上昇して行くこととなる。

この時、冷却Ｎ２と残留エアーの界面は容器内に収納されたウェーハＷが傾斜しているため界面の移動は乱流になることなく、ウェーハＷ間を斜め一定方向にスムースに上昇することになり、効率の良い置換が可能となる。
この時の容器用傾斜台２１の傾斜角度は０度以上から９０度まで随意に選択が可能である。

なお、この実施の形態は、容器を傾斜させて容器下部のガス入口が最下部方向になるように支持し、ガス入口から冷却Ｎ２ガス、あるいは残留ガスより比重の大きい置換ガスを導入し、容器上部ないし頂部から残留ガスを排出する残留ガスの置換方法としても把握することができる。

実施の形態１１．
図１１はこの発明の実施の形態１１によるウェーハ収納容器の構造と作用を説明するための断面図である。
図１１において、この実施の形態のウェーハ収納容器は、前述の実施の形態１０の変形であり、容器内に排気導管０７を設け、Ｎ２ガス出口０４を容器本体０１の下方に取り付け、下方からガス排出できるようにしたものである。この場合、容器用傾斜台２１にはガス入口０３に接続するための配管接続継ぎ手１５に加えて、ガス出口０４に接続するための配管接続継ぎ手１５が設置されている。
このような構造にすれば、置換用ガスの導入、排気の接続、取り合いが容易となる。

これらの実施の形態１０，１１は、残留気体としてはエアーを、また置換用気体としては冷却Ｎ２を使用した場合の例でもって説明したが、実施の形態６〜９で示したように残留気体より重い置換ガスを選択した場合はこれを容器の下部に導入し、また残留気体より軽い置換ガスを選択した場合は容器の上部に導入すれば、同様の効果を奏すこととなる。

この発明の実施の形態１による基板収納容器（ウェーハ収納容器）の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態２によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態３によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態４によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態５によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態６によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態７によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態８によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態９によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態１０によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 この発明の実施の形態１１によるウェーハ収納容器の構造を説明するための図。 従来のウェーハ収納容器の一例を説明するための図。

符号の説明

０１ 容器本体、 ０１Ａ 保持手段、 ０２ 容器蓋（蓋体）、 ０３ Ｎ２ガス入口（ガス入口）、 ０４ Ｎ２ガス出口（ガス出口）、 ０５ 本体側仕切り板（気流制御板）、 ０６ 蓋側仕切り板（気流制御板）、 ０７ 排気導管、 ０８ Ｎ２ガス導管（ガス導管）、 ０９ Ｎ２ガス枝管（ガス枝管）、 １０ Ｎ２放出穴（開口）、 １１ 接続導管、 １２ シール部材、 １３ Ｎ２ガス冷却装置（冷却手段）、 １４ Ｎ２ガス配管、 １５ 配管接続継手、 １６ Ｎ２ガス加温装置（加温手段）、 １７ Ａｒガス入口（ガス入口）、 １８ Ａｒガス出口（ガス出口）、 １９ Ｈｅガス入口（ガス入口）、 ２０ Ｈｅガス出口（ガス出口）、 ２１ 容器用傾斜台（支持手段）。

Claims (10)

1. 一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、
   保持される一方の基板の特定方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ一方の気流制御板と、
   保持される他方の基板の前記特定方向と反対方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ他方の気流制御板と
   を備えたことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記一方の気流制御板が、載置される複数の基板の少なくとも１枚を隔てる毎に配置され、前記他方の気流制御板が前記隔てられた基板のうちの１枚の位置に配置されたことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記一方の気流制御板が前記容器本体の開口と反対方向の奥側に配置され、前記他方の気流制御板が前記蓋体に配置されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
4. 前記容器本体の底部に取り付けられたガス入口と、前記容器本体の底部で前記ガス入口と反対方向の位置に取り付けられたガス出口と、前記容器本体の内部上方に一端が開口し前記ガス出口に他端が接続された排気導管とを備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板収納容器。
5. 一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、
   前記容器本体または蓋体から延長されたガス導管と、このガス導管からそれぞれ隣接して保持される基板の間に延長され、前記基板のほぼ中央部付近に開口する複数のガス枝管とを設けたことを特徴とする基板収納容器。
6. 一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段と、前記容器本体の底部に取り付けられたガス入口と、このガス入口に接続され導入ガスを冷却する冷却手段と、前記容器本体の上部に取り付けられたガス出口とを備えたことを特徴とする基板収納容器。
7. 一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段と、前記容器本体の上部に取り付けられたガス入口と、このガス入口に接続され導入ガスを加温する加温手段と、前記容器本体の底部に取り付けられたガス出口とを備えたことを特徴とする基板収納容器。
8. 複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する基板収納容器において、前記容器の底部から前記容器内の残留気体より比重の大きい気体を導入する手段と、前記容器の上部から気体を排出する手段とを備えたことを特徴とする基板収納容器。
9. 複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する基板収納容器において、前記容器の上部から前記容器内の残留気体より比重の小さい気体を導入する手段と、前記容器の底部から気体を排出する手段とを備えたことを特徴とする基板収納容器。
10. 複数の基板を上下方向に間隔を置いて保持する基板収納容器であって、前記容器の底部の気体入口から前記容器内に気体を導入する手段と、前記容器の上部から前記容器内の気体を排出する手段と、前記容器を傾斜させ前記気体入口を傾斜下部に位置するように支持する支持手段とを備えたことを特徴とする基板収納容器。

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